JPH0688847A - 温度特性測定方法 - Google Patents
温度特性測定方法Info
- Publication number
- JPH0688847A JPH0688847A JP23970792A JP23970792A JPH0688847A JP H0688847 A JPH0688847 A JP H0688847A JP 23970792 A JP23970792 A JP 23970792A JP 23970792 A JP23970792 A JP 23970792A JP H0688847 A JPH0688847 A JP H0688847A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- measured
- characteristic
- temperature characteristic
- curve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 格別高価でない通常の恒温槽では温度制御を
行なってもある程度の温度変動を生じるものである。一
方、各種装置及び製品の温度特性を得るについて指定さ
れる温度における設定精度は最近精密さを要求されるよ
うになってきている。そこで、上記の通常の恒温槽を用
いてもこのような温度の設定精度についてのきびしい要
求を満たす方法を得ることが本発明の目的である。 【構成】 被測定物１に温度センサ５を付け被測定物の
温度特性（Ｆ1 ）の測定時の温度（Ｔ1 ）を正確に測定
する。そして、このような（Ｆ1 ，Ｔ1 ）の組をＴ1 を
変えてｎ＋１組つくる。通常、被測定物の温度特性の曲
線は経験上ｎ次曲線になることが多いので、上のｎ組の
値からこのｎ次曲線の方程式を求め、この方程式から要
求されている温度に対する被測定物の特性曲線上の値を
得るようにする。
行なってもある程度の温度変動を生じるものである。一
方、各種装置及び製品の温度特性を得るについて指定さ
れる温度における設定精度は最近精密さを要求されるよ
うになってきている。そこで、上記の通常の恒温槽を用
いてもこのような温度の設定精度についてのきびしい要
求を満たす方法を得ることが本発明の目的である。 【構成】 被測定物１に温度センサ５を付け被測定物の
温度特性（Ｆ1 ）の測定時の温度（Ｔ1 ）を正確に測定
する。そして、このような（Ｆ1 ，Ｔ1 ）の組をＴ1 を
変えてｎ＋１組つくる。通常、被測定物の温度特性の曲
線は経験上ｎ次曲線になることが多いので、上のｎ組の
値からこのｎ次曲線の方程式を求め、この方程式から要
求されている温度に対する被測定物の特性曲線上の値を
得るようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は恒温槽を用いて被測定物
例えば水晶振動子の温度特性特に水晶振動子の共振周波
数の温度による変化を測定する方法に関する。
例えば水晶振動子の温度特性特に水晶振動子の共振周波
数の温度による変化を測定する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は図４に示すような構成のシステム
で被測定物１の温度特性を測定していた。このシステム
では温度特性の測定確度は恒温槽２の温度設定精度に大
きく左右されてしまう。つまり、恒温槽２は被測定物１
を要求されるある特定の温度においてしばしその温度で
一定にしておく必要がある。例えば移動体通信機に使用
される水晶振動子の共振周波数の温度特性を測定する例
では−４０℃から１２０℃までの範囲のなかのあるいく
つかの特定の温度が指定される場合があった。この指定
された温度に恒温槽をしてその中にある被測定物がその
指定された温度にあるものとして、そのときの温度特性
の値を測定する。このように恒温槽をある特定の温度に
測定に必要な時間正確に保つために温度制御技術を採用
するのが通例である。なお、図４のＧＰ−ＩＢは国際規
格のインターフェイス・バスで各種の信号が通過する信
号ラインを表わしている。
で被測定物１の温度特性を測定していた。このシステム
では温度特性の測定確度は恒温槽２の温度設定精度に大
きく左右されてしまう。つまり、恒温槽２は被測定物１
を要求されるある特定の温度においてしばしその温度で
一定にしておく必要がある。例えば移動体通信機に使用
される水晶振動子の共振周波数の温度特性を測定する例
では−４０℃から１２０℃までの範囲のなかのあるいく
つかの特定の温度が指定される場合があった。この指定
された温度に恒温槽をしてその中にある被測定物がその
指定された温度にあるものとして、そのときの温度特性
の値を測定する。このように恒温槽をある特定の温度に
測定に必要な時間正確に保つために温度制御技術を採用
するのが通例である。なお、図４のＧＰ−ＩＢは国際規
格のインターフェイス・バスで各種の信号が通過する信
号ラインを表わしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近ごろ、温度特性につ
いて上記した指定された温度について、その設定精度が
±０．１℃以内という様なきびしい要求がされるように
なってきた。例えば、上記した−４０℃〜１２０℃の温
度範囲の内のいくつかの指定された温度例えば−３０℃
とするとその設定精度は、被測定物が−３０．１℃〜−
２９．９℃の範囲に厳格に入っていなければならないこ
とになる。これはよほど高価なつまり性能の高い恒温槽
であればともかく、通常の恒温槽では、この±０．１℃
を実現するのは非常に難しいことである。
いて上記した指定された温度について、その設定精度が
±０．１℃以内という様なきびしい要求がされるように
なってきた。例えば、上記した−４０℃〜１２０℃の温
度範囲の内のいくつかの指定された温度例えば−３０℃
とするとその設定精度は、被測定物が−３０．１℃〜−
２９．９℃の範囲に厳格に入っていなければならないこ
とになる。これはよほど高価なつまり性能の高い恒温槽
であればともかく、通常の恒温槽では、この±０．１℃
を実現するのは非常に難しいことである。
【０００４】これを図５を用いて説明すると、通常は、
恒温槽の特定の場所を指定しても温度制御の能力によっ
て、図５の如くわづかではあるが、設定温度附近を中に
して上下に変動する。つまり温度がある設定温度より上
ったことを検出して温度を下げる働きをなし、下ったこ
とを検出して温度を上げる働きをさせ、これに恒温槽が
応答する働きをなすため、この温度変動は必然的であ
る。図５はこのように変動する様子の１例であるが、こ
の例の場合、上下で２℃の変動があり、従来のままでは
とても先のような設定精度の要求（±０．１℃）に応じ
られない。
恒温槽の特定の場所を指定しても温度制御の能力によっ
て、図５の如くわづかではあるが、設定温度附近を中に
して上下に変動する。つまり温度がある設定温度より上
ったことを検出して温度を下げる働きをなし、下ったこ
とを検出して温度を上げる働きをさせ、これに恒温槽が
応答する働きをなすため、この温度変動は必然的であ
る。図５はこのように変動する様子の１例であるが、こ
の例の場合、上下で２℃の変動があり、従来のままでは
とても先のような設定精度の要求（±０．１℃）に応じ
られない。
【０００５】本発明はこのような場合においても、この
ような要求に応じた温度特性の測定結果を得ようとする
ものである。
ような要求に応じた温度特性の測定結果を得ようとする
ものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】一般に各種装置は先の例
の水晶振動子も含めて、その各種温度特性の曲線は温度
の何らかの表現可能の連続関数で十分に近似できるもの
が多く特にその装置が十分に規格にあい、製品の純粋性
が高ければ通常は適当なｎ次曲線で十分に確度の高い近
似ができるのである。先に例示した水晶振動子の共振周
波数の温度特性曲線は３次曲線で十分近似されるもので
あることがわかった。特にその水晶振動子の品質がよけ
ればよい程そうである。
の水晶振動子も含めて、その各種温度特性の曲線は温度
の何らかの表現可能の連続関数で十分に近似できるもの
が多く特にその装置が十分に規格にあい、製品の純粋性
が高ければ通常は適当なｎ次曲線で十分に確度の高い近
似ができるのである。先に例示した水晶振動子の共振周
波数の温度特性曲線は３次曲線で十分近似されるもので
あることがわかった。特にその水晶振動子の品質がよけ
ればよい程そうである。
【０００７】本発明はこの事実を利用して温度設定精度
がそれ程よくない恒温槽を用いても、指定された正確な
温度でのデータつまり温度特性曲線上の値を得ようとす
るものである。
がそれ程よくない恒温槽を用いても、指定された正確な
温度でのデータつまり温度特性曲線上の値を得ようとす
るものである。
【０００８】そのため、本発明は原則的に従来と同じ恒
温槽及び測定システムを用いるが、さらに被測定物にそ
の温度を正確に測れる温度センサ及びこのセンサからの
信号で温度を計る温度計を設置して測定システムがその
被測定物のデータつまり被測定物の温度特性曲線上の値
を得た時の被測定物の温度をこの温度センサをもって正
確に測るようにする。このような正確な温度とその時の
被測定物のデータとの組をそれぞれ独立にできれば指定
された温度範囲内でできるだけ互いに離れた点でｎ＋１
点得るようにする。例えば先の水晶振動子の共振周波数
の温度特性曲線の場合は上の温度とデータとの組を４組
得るようにする。
温槽及び測定システムを用いるが、さらに被測定物にそ
の温度を正確に測れる温度センサ及びこのセンサからの
信号で温度を計る温度計を設置して測定システムがその
被測定物のデータつまり被測定物の温度特性曲線上の値
を得た時の被測定物の温度をこの温度センサをもって正
確に測るようにする。このような正確な温度とその時の
被測定物のデータとの組をそれぞれ独立にできれば指定
された温度範囲内でできるだけ互いに離れた点でｎ＋１
点得るようにする。例えば先の水晶振動子の共振周波数
の温度特性曲線の場合は上の温度とデータとの組を４組
得るようにする。
【０００９】そして、ｎ＋１個の組の値を元にして、そ
の未知のｎ次方程式の係数を定める。先の水晶振動子の
場合は Ｆ＝ａＴ3 ＋ｂＴ2 ＋ｃＴ＋ｄ …（１） という３次関数で十分近似できるわけであるから先の４
つの組の値からこの３次関数の係数ａ，ｂ，ｃ，ｄを定
める。このようにするとその関数が定まるわけであるか
ら、要求される温度に対する関数の値つまりその温度に
対する特性曲線上の値を定めることができる。
の未知のｎ次方程式の係数を定める。先の水晶振動子の
場合は Ｆ＝ａＴ3 ＋ｂＴ2 ＋ｃＴ＋ｄ …（１） という３次関数で十分近似できるわけであるから先の４
つの組の値からこの３次関数の係数ａ，ｂ，ｃ，ｄを定
める。このようにするとその関数が定まるわけであるか
ら、要求される温度に対する関数の値つまりその温度に
対する特性曲線上の値を定めることができる。
【００１０】
【実施例】図１に本発明を実施するに通常必要とする装
置についてのシステムをブロック図で示す。これは従来
のシステムに対して温度センサ５と温度計６が追加され
た形になっている。
置についてのシステムをブロック図で示す。これは従来
のシステムに対して温度センサ５と温度計６が追加され
た形になっている。
【００１１】この実施例の場合温度センサ５として白金
センサを用いてこの白金センサを被測定物１に付けるこ
とにより白金センサの抵抗値が被測定物の温度を表わす
ようにする。これは、例えば±０．０５℃の確度で温度
を定めることができる。そして、この抵抗値を温度計６
である抵抗値測定器によって測定してこれを温度に変換
することによって温度を測定する。
センサを用いてこの白金センサを被測定物１に付けるこ
とにより白金センサの抵抗値が被測定物の温度を表わす
ようにする。これは、例えば±０．０５℃の確度で温度
を定めることができる。そして、この抵抗値を温度計６
である抵抗値測定器によって測定してこれを温度に変換
することによって温度を測定する。
【００１２】なお、その温度のときの被測定物である水
晶振動子のデータである共振周波数の値の測定は従来の
技術と同様に発振周波数を掃引しながら与えてその振幅
を測定器３で計測することによりその水晶振動子の共振
周波数値を求める。
晶振動子のデータである共振周波数の値の測定は従来の
技術と同様に発振周波数を掃引しながら与えてその振幅
を測定器３で計測することによりその水晶振動子の共振
周波数値を求める。
【００１３】このようにして、被測定物である水晶振動
子の正確な温度Ｔ1 における水晶振動子の共振周波数値
Ｆ1 が求められるのでＴ1 ，Ｆ1 の値の組が得られる。
同様にしてＴ2 ，Ｆ2 ；Ｔ3 ，Ｆ3 ；及びＴ4 ，Ｆ4 の
値の組が得られる。
子の正確な温度Ｔ1 における水晶振動子の共振周波数値
Ｆ1 が求められるのでＴ1 ，Ｆ1 の値の組が得られる。
同様にしてＴ2 ，Ｆ2 ；Ｔ3 ，Ｆ3 ；及びＴ4 ，Ｆ4 の
値の組が得られる。
【００１４】これを図２に示すように・点としてプロッ
トする。同図は例えばほぼ−３０°〜９０℃の範囲の温
度（Ｔ）の範囲を示す予定のものであったとしても実測
値はわずかでもあるがこの範囲を出ることがある。同図
の場合Ｔ1 ＝−３１℃ Ｔａ＝−３０℃ということがあ
り得る。そして、図２において被測定物である水晶振動
子の共振周波数温度特性が３次曲線であるとする。そう
すると、温度Ｔと共振周波数Ｆとの関係は先の（１）式
で表わされることになる。ここで、温度計と測定器によ
り、４点で正確な温度と共振周波数を測定しておき、そ
の値をそれぞれＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 ，Ｔ4 およびＦ1 ，Ｆ
2 ，Ｆ3 ，Ｆ4 とする。
トする。同図は例えばほぼ−３０°〜９０℃の範囲の温
度（Ｔ）の範囲を示す予定のものであったとしても実測
値はわずかでもあるがこの範囲を出ることがある。同図
の場合Ｔ1 ＝−３１℃ Ｔａ＝−３０℃ということがあ
り得る。そして、図２において被測定物である水晶振動
子の共振周波数温度特性が３次曲線であるとする。そう
すると、温度Ｔと共振周波数Ｆとの関係は先の（１）式
で表わされることになる。ここで、温度計と測定器によ
り、４点で正確な温度と共振周波数を測定しておき、そ
の値をそれぞれＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 ，Ｔ4 およびＦ1 ，Ｆ
2 ，Ｆ3 ，Ｆ4 とする。
【００１５】この場合（１）式の３次曲線の係数ａ，
ｂ，ｃ，ｄは下記の連立方程式を解くことにより求めら
れる。
ｂ，ｃ，ｄは下記の連立方程式を解くことにより求めら
れる。
【００１６】Ｆ1 ＝ａＴ1 3＋ｂＴ1 2＋ｃＴ1 ＋ｄ Ｆ2 ＝ａＴ2 3＋ｂＴ2 2＋ｃＴ2 ＋ｄ Ｆ3 ＝ａＴ3 3＋ｂＴ3 2＋ｃＴ3 ＋ｄ Ｆ4 ＝ａＴ4 3＋ｂＴ4 2＋ｃＴ4 ＋ｄ 係数ａ，ｂ，ｃ，ｄが求まれば要求により指定されてい
る温度Ｔａ（例えば−３０℃）を（１）式に代入するこ
とにより、温度Ｔａでの共振周波数Ｆａが求められる。
る温度Ｔａ（例えば−３０℃）を（１）式に代入するこ
とにより、温度Ｔａでの共振周波数Ｆａが求められる。
【００１７】この様にして恒温槽の温度設定精度があま
り良くなく要求により指定された温度に正確にすること
が期待できない場合でも正確に温度特性を求めることが
できる。
り良くなく要求により指定された温度に正確にすること
が期待できない場合でも正確に温度特性を求めることが
できる。
【００１８】なお、連立方程式を解いて係数を求めて、
温度Ｔａを代入して周波数Ｆａを求めるのはパソコンに
より行なえる。又、この計算を実行し必要なＦａを求め
ることのできる特別のハードウエアを製作しておくこと
も可能である。さらに通常の恒温槽を使用して発振周波
数を掃引して水晶振動子の共振周波数を求める実際の計
測器を用いた例における、測定速度による測定誤差の具
体例について考察する。
温度Ｔａを代入して周波数Ｆａを求めるのはパソコンに
より行なえる。又、この計算を実行し必要なＦａを求め
ることのできる特別のハードウエアを製作しておくこと
も可能である。さらに通常の恒温槽を使用して発振周波
数を掃引して水晶振動子の共振周波数を求める実際の計
測器を用いた例における、測定速度による測定誤差の具
体例について考察する。
【００１９】図３に測定時間について示され、発振周波
数の掃引をはじめてから水晶振動子の共振周波数に達す
るのにほぼ３００〜３５０ｍｓｅｃを要したことを示し
ており、共振周波数の測定時点と温度計測時点の差は通
常５０ｍｓｅｃの範囲内にあるのである。つまり測定器
の周波数設定と水晶振動子の共振周波数とが多少ずれた
としてもその時間差つまり温度計測時点と共振周波数の
測定時点との時間差は大きく見ても１００ｍｓｅｃ程度
以内である。ところで、先に示した図５の通常の恒温槽
の時間に対する温度の関係から１００ｍｓｅｃで変化す
る温度は０．０１℃程度であることがわかる。
数の掃引をはじめてから水晶振動子の共振周波数に達す
るのにほぼ３００〜３５０ｍｓｅｃを要したことを示し
ており、共振周波数の測定時点と温度計測時点の差は通
常５０ｍｓｅｃの範囲内にあるのである。つまり測定器
の周波数設定と水晶振動子の共振周波数とが多少ずれた
としてもその時間差つまり温度計測時点と共振周波数の
測定時点との時間差は大きく見ても１００ｍｓｅｃ程度
以内である。ところで、先に示した図５の通常の恒温槽
の時間に対する温度の関係から１００ｍｓｅｃで変化す
る温度は０．０１℃程度であることがわかる。
【００２０】上記したが、指定される設定温度に対する
誤差の範囲は±０．１℃以内であり、白金センサを用い
た場合の温度測定精度は±０．０５℃以内であるから上
記した時間差による誤差０．０１℃が加算されても±
０．０６℃の精度で測定できることになり、十分に±
０．１℃以内であるので、上記の時間差により発生する
誤差は実質上問題ないといえる範囲内である。
誤差の範囲は±０．１℃以内であり、白金センサを用い
た場合の温度測定精度は±０．０５℃以内であるから上
記した時間差による誤差０．０１℃が加算されても±
０．０６℃の精度で測定できることになり、十分に±
０．１℃以内であるので、上記の時間差により発生する
誤差は実質上問題ないといえる範囲内である。
【００２１】なお、指定される温度Ｔａのごく近くに測
定する温度Ｔ1 があるようにすると一層よい。
定する温度Ｔ1 があるようにすると一層よい。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば高価な恒温槽を用いるこ
となく、温度設定精度がそれ程良くない通常程度の恒温
槽を用いてもかなり正確に被測定物の温度特性を割合任
意の時刻に測定することができ、それで指定された温度
での設定精度がかなりきびしい要求に応ずることができ
る。そして水晶振動子の検査システムに限らず、装置の
温度特性カーブが何らかの関数として表わしても十分信
頼性が確保されるものと経験上わかっているものすべて
に応用できる。
となく、温度設定精度がそれ程良くない通常程度の恒温
槽を用いてもかなり正確に被測定物の温度特性を割合任
意の時刻に測定することができ、それで指定された温度
での設定精度がかなりきびしい要求に応ずることができ
る。そして水晶振動子の検査システムに限らず、装置の
温度特性カーブが何らかの関数として表わしても十分信
頼性が確保されるものと経験上わかっているものすべて
に応用できる。
【図１】本発明を実施するシステムのブロック図。
【図２】本発明により定められた温度特性曲線図。
【図３】測定に要する時間の１例を示す図。
【図４】従来の測定システムを示すブロック図。
【図５】温度制御されている恒温槽の温度変化の例を示
す図。
す図。
１ 被測定物 ２ 恒温槽 ３ 測定器 ４ パソコン ５ 温度センサ ６ 温度計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 治朗 東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式会 社アドバンテスト内
Claims (4)
- 【請求項１】 温度制御される恒温槽中で被測定物の温
度特性を測定する方法において、その被測定物のその温
度特性曲線が温度に対してｎ次曲線で近似し得ることが
あらかじめわかっている場合、恒温槽中の温度を変化さ
せながらｎ＋１の互いに異なる各任意の時刻における温
度とその温度におけるその温度特性の値とを測定して、
この測定結果よりそのｎ次曲線を定めるｎ次方程式を求
め、このｎ次方程式から温度特性点として要求される温
度におけるその温度特性の値を求めることを特徴とする
温度特性測定方法。 - 【請求項２】 恒温槽中の温度を変化させるときその変
化を連続的に行ない、その途中で、温度特性点として要
求される温度の近傍点を含んだｎ＋１点において、１点
の測定中、恒温槽中を温度一定の状態になるように温度
制御して、この温度一定の状態のときに、被測定物の温
度とその温度におけるその温度特性の値を求めることを
特徴とする請求項１記載の温度特性測定方法。 - 【請求項３】 被測定物が水晶振動子であり、ｎが３で
あることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の温度
特性測定方法。 - 【請求項４】 被測定物が水晶振動子であり、温度特性
が水晶振動子の共振周波数であって、ｎが３であること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の温度特性測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23970792A JPH0688847A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 温度特性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23970792A JPH0688847A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 温度特性測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688847A true JPH0688847A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=17048733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23970792A Pending JPH0688847A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 温度特性測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0688847A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7231312B2 (en) | 2005-03-31 | 2007-06-12 | Denso Corporation | Physical quantity detecting method and sensor device |
| JP2011196747A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器の周波数温度特性の測定システム及び測定方法 |
| CN108896840A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-11-27 | 北京工业大学 | 一种原位实时测量压电材料高温压电应变常数的装置及方法 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP23970792A patent/JPH0688847A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7231312B2 (en) | 2005-03-31 | 2007-06-12 | Denso Corporation | Physical quantity detecting method and sensor device |
| JP2011196747A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器の周波数温度特性の測定システム及び測定方法 |
| CN108896840A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-11-27 | 北京工业大学 | 一种原位实时测量压电材料高温压电应变常数的装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4437773A (en) | Quartz thermometer | |
| Greenspan et al. | Sing‐around ultrasonic velocimeter for liquids | |
| US2707391A (en) | Testing viscous liquids | |
| US4228393A (en) | Moisture meter | |
| US5540094A (en) | Scale factor compensation for piezo-electric rate sensors | |
| Garrison et al. | An absolute noise thermometer for high temperatures and high pressures | |
| JP2002507739A (ja) | 電磁輻射フィルタリングデバイスの波長較正方法 | |
| US2602835A (en) | Microwave spectroscopy | |
| JPH0688847A (ja) | 温度特性測定方法 | |
| US5364185A (en) | High performance miniature hygrometer and method thereof | |
| GB1590794A (en) | Viscosimeter and/or densitometer | |
| US4505599A (en) | Electronic clinical thermometer | |
| US4084131A (en) | Process and apparatus for the determination of the inversion temperature of a quartz piezoelectric resonator element | |
| JPS6129652B2 (ja) | ||
| Yamaguchi et al. | Interferometric method of measuring complex piezoelectric constants of crystals in a frequency range up to about 50 kHz | |
| US3158026A (en) | Self-balancing measuring apparatus | |
| RU2008633C1 (ru) | Устройство для измерения температуры | |
| Pethrick et al. | An ultrasonic resonance technique operating in the frequency range 200 kHz to 30 MHz and designed for chemical relaxation studies | |
| US3965424A (en) | Method and apparatus for tracking an incrementally sweeping generator by a frequency selective receiver | |
| US7187178B2 (en) | Method for determining the voltage sensitivity of the distance between the mirrors of a fabry-perot interferometer | |
| JPH0471172B2 (ja) | ||
| Booth et al. | Crystal oscillators for radio transmitters: an account of experimental work carried out by the Post Office | |
| SU497483A1 (ru) | Прецизионный феррито-резонансный измеритель температуры | |
| JPS6344163B2 (ja) | ||
| Imai | Adiabatic Temperature Change of TGS by Uniaxial Pressures |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011205 |