JPH0688765A - アナライザバルブのリークテスト方法 - Google Patents

アナライザバルブのリークテスト方法

Info

Publication number
JPH0688765A
JPH0688765A JP26277992A JP26277992A JPH0688765A JP H0688765 A JPH0688765 A JP H0688765A JP 26277992 A JP26277992 A JP 26277992A JP 26277992 A JP26277992 A JP 26277992A JP H0688765 A JPH0688765 A JP H0688765A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
carrier gas
pressure
gas
analyzer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26277992A
Other languages
English (en)
Inventor
Hajime Ota
肇 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP26277992A priority Critical patent/JPH0688765A/ja
Publication of JPH0688765A publication Critical patent/JPH0688765A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガスクロマトグラフのアナライザバルブのリ
ークテストを運転状態でも行えるようにすることを目的
とする。 【構成】 一定量のキャリアガスを供給した後、電磁弁
10を閉じることによりキャリアガスの供給を停止し、
これによるキャリアガスの圧力低下の状態を圧力センサ
3により検出して、これを基準値と比較する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ガスクロマトグラフ
のアナライザバルブのガスの洩れの状態を検出するアナ
ライザバルブのリークテスト方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ガスクロマトグラフは、種々の有機化合
物から構成される液体や気体を分析するときに有用な装
置である。ガスクロマトグラフでは、分析する液体中に
溶解している複数の物質を分離し、加えてその量を各々
検出できるので、定性分析と定量分析が同時にできる。
ガスクロマトグラフは、分析対象の溶液を加熱して気体
にしてこれをキャリアガスにより構造の異なる化合物を
分離するカラム(固定層)を通す。気体となった分析対
象の溶液中に溶解していた複数の化合物は、キャリアガ
スに運ばれてカラムを通過することにより分離され、カ
ラムの出口に配置される検出器によって、その各々の分
量が計測される。
【0003】ガスクロマトグラフは以上のように構成さ
れているので、ガス状態の分析対象物を運ぶキャリアガ
スの流量,流速,圧力などの状態が分析をする度に変化
していると、この分析によって得られた結果は再現性の
低いものとなる。特に、カラムなどが連設されキャリア
ガスの流路を切り換えるアナライザバルブなどが、その
接合部よりキャリアガスが洩れるなどの不具合が発生し
たときは、得られた分析結果は全く信頼性の無いものと
なってしまう。
【0004】図3は、従来のガスクロマトグラフの構成
を示す構成図である。図3において1はキャリアガスの
圧力調整を行う減圧弁、2aは減圧弁1の動作を調整す
るための供給用電磁弁,2bはやはり減圧弁1の動作を
調整するための排出用電磁弁、3は減圧弁1の2次側の
キャリアガスの圧力を検出する圧力センサである。4は
アナライザバルブであり、キャリアガス導入部44と、
試料注入部45と、試料注入部45より入った試料を所
定の量に計量して保持する計量管46と、分析対象物質
を分離する第1カラム47a,第2カラム47bと、第
1と第2カラム47a,bで分離された物質の量をそれ
ぞれ検出する検出器48とアナライザバルブ4を通過し
たキャリアガスや試料ガスを排出する排出管49とから
構成されている。また、8はアナライザバルブを駆動す
るためのガスを制御するバルブ駆動電磁弁、9は圧力セ
ンサ3と検出器48からの信号をA/D変換するA/D
変換器、11aはCPU、12aは供給用電磁弁2a,
排出用電磁弁2bとバルブ駆動電磁弁8の駆動信号を出
力する電磁弁駆動部である。
【0005】アナライザバルブ4は、バルブ駆動電磁弁
8でオンオフ制御されるキャリアガスの圧力により各流
路の接続を切り換える。まず、バルブ駆動電磁弁8がオ
フの状態では、試料注入部45と計量管46と排出管4
9とが連通され、一方、キャリアガス導入部44と第1
カラム47aと排出管49とが連通され、キャリアガス
導入部44と第2カラム47bと検出器48と排出管4
9とが連通されている。次に、バルブ駆動電磁弁8がオ
ンの状態では、キャリアガス導入部44と計量管46と
第1カラム47aと第2カラム47bと検出器48と排
出管49とが連通され、一方、試料注入部45と排出管
49とが連通される。
【0006】このガスクロマトグラフの動作は、まずバ
ルブ駆動電磁弁8がオフのときは試料注入部よりアナラ
イザバルブに導入される試料ガスは計量管46を通り排
出管49より排出されている。一方、このとき減圧弁1
と電磁弁2a,2bにより一定の圧力に調整されたキャ
リアガスはキャリアガス導入部よりアナライザバルブ4
に導入され、第1カラム47aを通過して排出管49よ
り排出されるものと、第2カラム47bを通過した後、
検出器48を通って排出管49より排出されるものとに
分かれる。ここで、バルブ駆動電磁弁8をオンにする
と、アナライザバルブ4はその接続を前述したように切
り換える。このとき、試料導入部45より導入して計量
管46を通過していた試料ガスは、計量管46の連通元
がキャリアガス導入部44になり連通先が第1カラム4
7aになるので、計量管36により所定の量に計量され
分だけがキャリアガスに運ばれて第1カラム47aへと
移動する。この試料ガスは、第1カラム47aを通過し
て含まれている成分毎にある程度分離され、キャリアガ
スより第2カラム47bに運ばれて完全に分離される。
第2カラム47bにより含まれている成分が完全に分離
された試料ガスは、分離された成分がそれぞれ独立に検
出器48を通過してそれぞれの量が検出される。
【0007】従来のガスクロマトグラフは以上のように
構成されており、アナライザバルブ4はガス流路を切り
換えられるような構造となっているため、可動部はカプ
トンシールなどにより密閉性を保っている。しかし、ア
ナライザバルブ4の可動部の密閉性を確保しているシー
ル部は、時間とともに劣化していきそこよりキャリアガ
スなどが洩れ易い状態となる。アナライザバルブ4でガ
スの洩れ(リーク)があれば、前述したようにキャリア
ガスの圧力は変動し、また、このリークにより計量管4
6で一定容量となった試料ガスも同時に漏れてその量が
変化してしまい、分析結果は信頼性の無いものになって
しまう。
【0008】そこで、アナライザバルブ4の状態を検査
するために、通常リークテストを行う。リークテスト
は、ガスクロマトグラフの動作を停止し、排出管49の
出口をゴム栓などで封止し、キャリアガスをアナライザ
バルブ4に導入する。キャリアガスを一定量導入した
後、キャリアガスの導入を停止する。ここで、アナライ
ザバルブ4がリークしていなければ、導入したキャリア
ガスの圧力は変化しないが、リークがあればその圧力は
降下する。通常は、アナライザバルブ4が正常に動作し
ていても多少のリークはあるので、リークテスト時の単
位時間当たりの圧力低下は微小なものにとどまるが、可
動部の密閉性を確保しているシール部が劣化したりして
いるとリークの量も大きく、リークテスト時の単位時間
当たりの圧力低下は大きいものとなる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来は以上のようにし
て、アナライザバルブのリークテストをしていたが、こ
れではリークテストを行う度にガスクロマトグラフの稼
働を停止して行わなければならず、非常に面倒であっ
た。
【0010】この発明は、以上のような問題点を解決す
るためになされたものであり、ガスクロマトグラフのア
ナライザバルブのリークテストを運転状態でも行えるよ
うにすることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】以上の問題点を解消する
ために、この発明では、一定のキャリアガスを供給した
後、電磁弁によりキャリアガスの供給を停止し、圧力検
出手段によりキャリアガスを停止してからの圧力変動を
測定し、その圧力変動の測定結果と予め設定されている
基準値とを比較することを特徴とする。
【0012】
【作用】電磁弁によりキャリアガスの供給を停止してか
らのキャリアガスの圧力降下の状態が基準値より大きい
ときは、アナライザバルブがリークしていると判断す
る。
【0013】
【実施例】以下、この発明の1実施例を図を参照して説
明する。図1はこの発明の1実施例によるガスクロマト
グラフの構成を示す構成図である。10は減圧弁1の1
次側に設置された電磁弁、11はCPU、12は供給用
電磁弁2a,排出用電磁弁2bとバルブ駆動電磁弁8と
電磁弁10とをCPU11からの信号により駆動する電
磁弁駆動部であり、他は図3と同様である。
【0014】次に、このガスクロマトグラフにおけるア
ナライザバルブ4のリークテスト方法を図2のフローチ
ャートを用いて説明する。まず、バルブ駆動電磁弁8を
開けてアナライザバルブ4をオン状態にし(ステップS
1)、次いで電磁弁10を閉じて、キャリアガスの供給
を停止する(ステップS2)。ここで、圧力センサ3か
らの検出値の変化をCPU11が一定時間監視して(ス
テップS3)、この一定時間内の圧力の変化により圧力
低下率を算出する(ステップS4)。次に、算出した圧
力低下率と設定されている設定値とを比較して(ステッ
プS5)、その圧力低下率が設定値より高い場合は警告
を発生する(ステップS6)。算出した圧力低下率が設
定値より低い場合は、ステップS7に進み、再び電磁弁
10を開けてキャリアガスを供給する。
【0015】再度キャリアガスを供給した後、今度はバ
ルブ駆動電磁弁8を閉じてアナライザバルブをオフにす
る(ステップS8)。ついで、電磁弁10を閉じてキャ
リアガスの供給を停止して(ステップS9)、前記と同
様に圧力センサ3からの検出値の変化をCPU11が一
定時間監視して(ステップS10)、この一定時間内の
圧力の変化により圧力低下率を算出する(ステップS1
1)。算出した圧力低下率と設定されている設定値とを
比較して(ステップS12)、その圧力低下率が設定値
より高い場合は警告を発生する(ステップS6)。一
方、算出した圧力低下率が設定値より低い場合は、アナ
ライザバルブ4はリークしていないと判断し、分析動作
に戻る(ステップ13)。
【0016】なお、上記実施例では、キャリアガスの供
給を停止する電磁弁10が減圧弁1の1次側に配置され
ていたが、これに限るものではなく、減圧弁の2次側で
圧力センサ3の手前に配置されていても良い。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ガスクロマトグラフを停止すること無くアナライザ
バルブのリークテストを行えると言う効果がある。した
がって、プロセスの制御のために分析動作を一定の間隔
で連続的に行っているガスクロマトグラフでも、それら
の妨げになることなくアナライザバルブのリークテスト
を定期的に実施できるので、アナライザバルブの交換時
期が定量的に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1実施例によるガスクロマトグラフ
の構成を示す構成図である。
【図2】この発明の1実施例であるアナライザバルブの
リークテスト方法を示すフローチャートである。
【図3】従来のガスクロマトグラフの構成を示す構成図
である。
【符号の説明】
1 減圧弁 2a 供給用電磁弁 2b 排出用電磁弁 3 圧力センサ 4 アナライザバルブ 9 A/D変換器 10 電磁弁 11 CPU 12 電磁弁駆動部 44 キャリアガス導入部 45 試料注入部 46 計量管 47a 第1カラム 47b 第2カラム 48 検出器 49 排出管

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 供給されたキャリアガスの圧力を一定に
    する減圧弁と、前記減圧弁の動作を制御する電磁弁と、
    前記減圧弁の2次側に配置し前記キャリアガスの圧力を
    検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段が検出した
    前記減圧弁の2次側のキャリアガスの圧力により前記電
    磁弁の開閉動作を制御するキャリアガス圧力制御手段
    と、前記減圧弁の2次側に配置され、複数の成分から構
    成されキャリアガスによって運ばれてきた被測定対象の
    ガスを各成分に分離するカラムと、前記カラムが連通
    し、前記キャリアガス圧力によって動作してキャリアガ
    スの流路を切り換えるアナライザバルブと、ガスの濃度
    を検出する検出手段とから構成されるガスクロマトグラ
    フにおいて、 一定のキャリアガスを供給した後、キャリアガス流路中
    に設けた電磁弁によりキャリアガスの供給を停止し、 前記圧力検出手段によりキャリアガスを停止してからの
    圧力変動を測定し、 その圧力変動の測定結果と予め設定されている基準値と
    を比較して測定結果が基準値より大きいときにリーク検
    出とすることを特徴とするアナライザバルブのリークテ
    スト方法。
JP26277992A 1992-09-07 1992-09-07 アナライザバルブのリークテスト方法 Pending JPH0688765A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26277992A JPH0688765A (ja) 1992-09-07 1992-09-07 アナライザバルブのリークテスト方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26277992A JPH0688765A (ja) 1992-09-07 1992-09-07 アナライザバルブのリークテスト方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0688765A true JPH0688765A (ja) 1994-03-29

Family

ID=17380485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26277992A Pending JPH0688765A (ja) 1992-09-07 1992-09-07 アナライザバルブのリークテスト方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0688765A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6401698B1 (en) * 1999-03-19 2002-06-11 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Vehicle fuel gas supply system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6401698B1 (en) * 1999-03-19 2002-06-11 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Vehicle fuel gas supply system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6439026B2 (en) Odor measuring apparatus
US6324892B1 (en) Multi-gas analysis system for analyzing high-purity gases
US6940067B2 (en) Hazardous material detection system
JP4787344B2 (ja) 検体透過検査装置の検出セル用湿度制御システム
US20230236150A1 (en) Trace detection device
US20020002857A1 (en) Odor identifying apparatus
WO1995033202A1 (en) A gas sensing system
KR100570552B1 (ko) 수분분석기
US4114419A (en) Method of testing an analyzer to determine the accuracy thereof and a volumetric primary standard apparatus for doing same
US10753916B2 (en) Systems, methods, and devices for detecting leaks in a chromatography system
US5616827A (en) Flow manifold for high purity analyzers
US5996397A (en) Reactive gas sampling/analyzing hygrometry system
JPH0688765A (ja) アナライザバルブのリークテスト方法
EP0698778B1 (en) A small gas component addition apparatus
JP4182913B2 (ja) 気体試料導入装置
JP2961680B2 (ja) ガスクロマトグラフ
JPS6361141A (ja) 表面積測定装置
JPH09178718A (ja) ガスクロマトグラフ
JP3957333B2 (ja) 半導体用特殊材料ガス成分濃度測定装置
CN116465694A (zh) 一种气体中油蒸气或碳氢化合物的测量装置以及测量方法
JPH04198861A (ja) ガスクロマトグラフ
JPH09210979A (ja) ガスクロマトグラフ
SU682808A1 (ru) Газоанализатор дл определени примесей в балллонах со сжатым газом
SU1640566A1 (ru) Способ калибровки газоаналитического течеискател
RU2207539C1 (ru) Сенсорная ячейка детектирования