JPH0682878U - Heater mechanism of thermocompression bonding equipment - Google Patents
Heater mechanism of thermocompression bonding equipmentInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 配線基板等の配線パタ−ン−ン上に被圧着物
を熱圧着する熱圧着装置のヒ−タツ−ルの交換が容易な
ヒ−タ機構を提供すること。
【構成】 ヒ−タツ−ルの長手方向上端部両側に，鍔部
を形成し，この鍔部と係合するＬ型溝を互いに対向する
側面に形成してヒ−タツ−ルを挟持するための開口凹部
を形成するとともに，上下方向に貫通する貫通孔を長手
方向に沿って形成した互いに対向する断面Ｌ型の一対の
ホルダを形成し，一方，一対の導電ブロックは，ヒ−タ
ツ−ルの両鍔部上面および一対のホルダ上面と接し，上
下方向にホルダの貫通孔と連通するねじ孔を開設すると
ともに，ヒ−タツ−ルの長溝に連通する間隙を介在して
対向配置し，一対のホルダの互いに対向するＬ型溝によ
り形成される開口凹部に，ヒ−タツ−ルを挟持するとと
もに，このホルダを導電ブロックにねじ止め固定するよ
うにしたものである。
【効果】 ヒ−タツ−ルの交換が容易であるとともに，
圧着面の平坦度が損なわれることもない。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a heater mechanism in which the heat tool of a thermocompression bonding apparatus for thermocompression bonding an object to be pressure bonded onto a wiring pattern such as a wiring board can be easily replaced. . [Structure] To form a collar part on both sides of the upper end of the heater tool in the longitudinal direction, and to form an L-shaped groove engaging with the flange part on the side surfaces facing each other so as to sandwich the heater tool. And a pair of holders having L-shaped sections facing each other and having through holes penetrating in the up-down direction formed along the longitudinal direction are formed, while the pair of conductive blocks are made of a heater tool. And the upper surface of the pair of holders are in contact with each other, and a screw hole that communicates with the through hole of the holder is opened in the vertical direction. The heater tool is sandwiched between the opening recesses formed by the L-shaped grooves facing each other of the holder, and the holder is screwed and fixed to the conductive block. [Effect] It is easy to replace the heat tool and
The flatness of the crimping surface is not impaired.
Description
【０００１】[0001]
この考案は，配線基板等の配線パタ−ン上に，被圧着物を熱圧着する熱圧着装 置のヒ−タ機構に関するものである。 The present invention relates to a heater mechanism of a thermocompression bonding apparatus for thermocompression bonding an object to be bonded onto a wiring pattern such as a wiring board.
【０００２】[0002]
一般に，図５〜図８に示すように，フェノ−ル樹脂，ガラスエポキシ樹脂等か らなる硬質の絶縁基板１ａやポリイミド樹脂，ポリエステル樹脂等の柔軟な絶縁 基板１ａ上には，ピッチがミクロン単位である配線パタ−ン２が形成されている が，この配線パタ−ン２は，絶縁基板１ａ上に導電層を形成し，この導電層の所 要部分以外をエッチング等で除去して形成される。そして，この配線パタ−ン２ 上には，さらに，リ−ド線４等を接続するために，半田３や異方性導電性フィル ム等が形成されて配線基板１が構成されている。 Generally, as shown in FIGS. 5 to 8, a hard insulating substrate 1a made of phenol resin, glass epoxy resin or the like or a flexible insulating substrate 1a made of polyimide resin, polyester resin or the like has a pitch of a micron unit. The wiring pattern 2 is formed by forming a conductive layer on the insulating substrate 1a and removing the portions other than the essential portions of the conductive layer by etching or the like. It Further, on the wiring pattern 2, a solder 3 and an anisotropic conductive film are further formed in order to connect the lead wire 4 and the like, and the wiring board 1 is constructed.
【０００３】 従って，この配線パタ−ン２にリ−ド線４等を接続する場合には，熱圧着装置 ５に取り付けられているヒ−タツ−ル６を加熱するとともに，圧力を加えて半田 ３あるいは異方性導電フィルム等を用いて熱圧着している。Therefore, when connecting the lead wire 4 etc. to the wiring pattern 2, the heater tool 6 attached to the thermocompression bonding apparatus 5 is heated and pressure is applied to the solder. 3 or an anisotropic conductive film is used for thermocompression bonding.
【０００４】 異方性導電フィルムは，導電粒子を接着材の中に均一に分散させた高分子膜か らなり，熱圧着することによって膜の厚み方向のみ導電性を得ることが出来，そ の他の方向には絶縁性を示す電気的異方性がある。このような特性を有する異方 性導電フィルムや半田３等を用いてリ−ド線４等を熱圧着する場合，安定した電 気的特性や接着強度を得るには，加圧力や加熱温度が接着面に均一に加えられる ことが重要であることから，接着面を加熱するヒ−タツ−ル６の圧着面の面精度 が要求される。The anisotropic conductive film is composed of a polymer film in which conductive particles are uniformly dispersed in an adhesive, and by thermocompression bonding, conductivity can be obtained only in the thickness direction of the film. In the other direction, there is electrical anisotropy indicating insulation. When the lead wire 4 etc. is thermocompression bonded using the anisotropic conductive film or solder 3 etc. having such characteristics, in order to obtain stable electrical characteristics and adhesive strength, the pressing force and heating temperature are Since it is important that the pressure is applied uniformly to the adhesive surface, surface accuracy of the pressure contact surface of the heater 6 that heats the adhesive surface is required.
【０００５】 そこで，従来，熱圧着装置５は，図５〜図６に示すように，可撓性を有する一 対の給電帯７にボルト８により固定されている一対の導電板９，この導電板９に ボルト１０により固定されている一対の導電ブロック１１，互いに対向する導電 ブロック１１の間隙１２に挿入支持されている図７に示す断面Ｕ字型のヒ−タツ −ル６，導電ブロック１１にボルト１３により固定され，スピンドル１４が固定 されている絶縁ブロック１５とにより構成されており，熱圧着装置５のスピンド ル１４を上下方向に移動することにより，加圧，熱圧着が行われる。Therefore, conventionally, as shown in FIGS. 5 and 6, the thermocompression bonding apparatus 5 includes a pair of conductive plates 9 fixed to a pair of flexible power feeding bands 7 by bolts 8, and a pair of conductive plates 9. A pair of conductive blocks 11 fixed to the plate 9 by bolts 10, and a heater block 6 having a U-shaped section shown in FIG. 7 inserted and supported in a gap 12 between the conductive blocks 11 facing each other and the conductive block 11 And an insulating block 15 to which a spindle 14 is fixed, and a spindle 14 is fixed thereto. By vertically moving the spindle 14 of the thermocompression bonding apparatus 5, pressurization and thermocompression bonding are performed.
【０００６】 ヒ−タツ−ル６は，ボルト１６により導電ブロック１１に着脱自在に固定され ている。このヒ−タツ−ル６に供給される加熱電流は，電源側に接続されている 一方の給電帯７→一方の導電板９→一方の導電ブロック１１→ヒ−タツ−ル６→ 他方の導電ブロック１１→他方の導電板９→他方の給電帯７から電源へと流れ， この加熱電流によりヒ−タツ−ル６が加熱される。The heater tool 6 is detachably fixed to the conductive block 11 by bolts 16. The heating current supplied to this heat tool 6 is connected to the power supply side by one power supply band 7 → one conductive plate 9 → one conductive block 11 → heat tool 6 → the other conductive The block 11 → the other conductive plate 9 → flows from the other power feeding band 7 to the power source, and the heating tool 6 heats the heater 6 by this heating current.
【０００７】 従って，テ−ブル１７上に配線パタ−ン２が形成されている配線基板１を載置 し，この配線基板１の上に，被圧着物４として，例えば，配線パタ−ンと接続す るためのパタ−ンが形成されているフレキシブルプリント基板を異方性導電フィ ルムを介して載置し，ついで，スピンドル１４を下降させてヒ−タツ−ル６によ り被圧着物４と配線基板１とを加圧しつつ熱圧着している。Therefore, the wiring board 1 on which the wiring pattern 2 is formed is placed on the table 17, and the object to be crimped 4, such as the wiring pattern, is placed on the wiring board 1. A flexible printed circuit board on which a pattern for connection is formed is placed via an anisotropic conductive film, then the spindle 14 is lowered and the heater tool 6 is used to press the object to be pressure-bonded. 4 and the wiring board 1 are thermocompression bonded while pressurizing.
【０００８】[0008]
このようにして，ヒ−タツ−ル６により被圧着物４と配線基板１とは加圧しつ つ熱圧着されるので，被圧着物４と配線基板１との形状によってヒ−タツ−ル６ を交換しなければならない。しかしながら，ヒ−タ−ツ−ル６は，長手方向に沿 って，両側から多くのボルト１６により導電ブロック１１にねじ止め固定されて いる。 従って，ヒ−タツ−ル６を交換する際には，すべてのボルト１６をはずさなけ れば導電ブロック１１からヒ−タツ−ル６を外すことが出来ない。その上，新し いヒ−タツ−ル６に交換後，再度，ヒ−タツ−ル６を導電ブロック１１にボルト １６でねじ止め固定しなければならず，ヒ−タツ−ル６を交換する際，大変手間 がかかるという問題があった。 In this way, the object 4 and the wiring board 1 are pressed and thermocompressed by the heater tool 6, so that the heat tool 6 can be formed depending on the shapes of the object 4 and the wiring board 1. Must be replaced. However, the heater tool 6 is fixed to the conductive block 11 with screws from both sides along the longitudinal direction by many bolts 16. Therefore, when replacing the heat tool 6, the heat tool 6 cannot be removed from the conductive block 11 unless all the bolts 16 are removed. In addition, after replacing with a new heat tool 6, the heat tool 6 must be screwed and fixed to the conductive block 11 with the bolt 16 again, and the heat tool 6 is replaced. At that time, there was a problem that it was very troublesome.
【０００９】 又，ヒ−タツ−ル６は，図７に示すように，長手方向中心線に沿って長溝６ｂ を介在させた断面Ｕ字型に形成されているので，交換時に，新たなヒ−タツ−ル ６を導電ブロック１１にねじ止めする際，図８に示すように，ボルト１６がヒ− タツ−ル６の両側からねじ込まれる構造となっている。そのため，ヒ−タツ−ル ６にボルト１６がねじ込んで固定する場合，その先端部６ｃには，矢印Ａ，Ｂで 示すように，互いに外方に引っ張られる力が働くことになる。従って，圧着面６ ａは，この力により湾曲してしまい平坦度が失われるため，接着面を平均に加熱 することが出来なくなる場合があるという問題があった。Further, as shown in FIG. 7, the heater tool 6 is formed in a U-shaped cross section with a long groove 6b interposed along the center line in the longitudinal direction. When the tattoo 6 is screwed to the conductive block 11, the bolts 16 are screwed in from both sides of the heater 6 as shown in FIG. Therefore, when the bolt 16 is screwed into and fixed to the heater tool 6, the tip portions 6c thereof have a force of pulling them outwardly as indicated by arrows A and B. Therefore, the pressure-bonded surface 6a is curved by this force and loses the flatness, so that there is a problem that the bonding surface may not be heated evenly.
【００１０】[0010]
この考案は，ヒ−タツ−ルの長手方向上端部両側に，鍔部を形成し，この鍔部 と係合するＬ型溝を互いに対向する側面に形成してヒ−タツ−ルを挟持するため の開口凹部を形成するとともに，上下方向に貫通する貫通孔を長手方向に沿って 形成した互いに対向する断面Ｌ型の一対のホルダを形成し，一方，一対の導電ブ ロックは，ヒ−タツ−ルの両鍔部上面および一対のホルダ上面と接し，上下方向 にホルダの貫通孔と連通するねじ孔を開設するとともに，ヒ−タツ−ルの長溝に 連通する間隙を介在して対向配置し，一対のホルダの互いに対向するＬ型溝によ り形成される開口凹部に，ヒ−タツ−ルを挟持するとともに，このホルダを導電 ブロックにねじ止め固定するようにしたものである。 According to this invention, a flange portion is formed on both sides of an upper end portion in the longitudinal direction of the heater tool, and L-shaped grooves engaging with the flange portion are formed on opposite side surfaces to sandwich the heater tool. And a pair of holders having an L-shaped cross section, which are opposed to each other and have through holes penetrating vertically are formed along the longitudinal direction, while a pair of conductive blocks are formed on the heater. -To make contact with the upper surfaces of both flanges of the tool and the upper surface of the pair of holders, a screw hole is formed in the vertical direction that communicates with the through hole of the holder, and they are opposed to each other with a gap communicating with the long groove of the heater. The heater tool is clamped in the opening recess formed by the L-shaped grooves of the pair of holders facing each other, and the holder is screwed and fixed to the conductive block.
【００１１】[0011]
ヒ−タツ−ル２０は，ホルダ２４の開口凹部２６ａに挟持されているとともに ，ボルト３１によりホルダ２４を介して導電ブロック２５に固定されており，こ の導電ブロック２５はボルト３２により絶縁ブロック３０にねじ止め固定されて いる。 ボルト３１を緩めると，ヒ−タツ−ル２０を締付固定しているホルダ２４が緩 むから，両ホルダ２４の間からヒ−タツ−ル２０を長手方向に沿って引き出せば ，ヒ−タツ−ル２０の鍔部２２とＬ型溝２６とが摺動してヒ−タツ−ル２０はホ ルダ２４の間から容易に引き出すことが出来る。次いで，新しいヒ−タツ−ル２ ０を両ホルダ２４の互いに対向する一対のＬ型溝２６により形成される開口凹部 ２６ａに挿入し，位置決めした後，ボルト３１を締め付ければ，ヒ−タツ−ル２ ０は，ホルダ２４に挟持されるとともに，このホルダ２４に支持されて導電ブロ ック２５に固定される。 The heater tool 20 is clamped in the opening concave portion 26a of the holder 24 and is fixed to the conductive block 25 via the holder 24 by the bolt 31, and the conductive block 25 is fixed by the bolt 32 in the insulating block 30. It is fixed with screws. When the bolt 31 is loosened, the holder 24 fixing the heat tool 20 is loosened. Therefore, if the heat tool 20 is pulled out from between the two holders 24 along the longitudinal direction, the heat tool 20 is pulled out. The flange 22 of the ruler 20 and the L-shaped groove 26 slide, so that the heater tool 20 can be easily pulled out from between the holders 24. Then, a new heat tool 20 is inserted into the opening concave portion 26a formed by the pair of L-shaped grooves 26 of the both holders 24 facing each other, and after positioning, the bolt 31 is tightened. The ruler 20 is sandwiched by the holder 24, and is supported by the holder 24 and fixed to the conductive block 25.
【００１２】[0012]
この考案の実施例を，図１〜図４に基づいて，詳細に説明する。 図１はこの考案の実施例を示す一部断面図を含む正面図，図２は図１の側面図 ，図３は図１の底面図，図４は要部分解斜視図である。なお，従来と同一のもの は同一名称，同一符号を使用する。 An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 is a front view including a partial sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of FIG. 1, FIG. 3 is a bottom view of FIG. 1, and FIG. The same name and the same code are used for the same as the conventional one.
【００１３】 図１，図４において，２０はこの考案によるヒ−タツ−ルで，長手方向中心線 に沿って長溝２１が凹設されているとともに，上端部両側には鍔部２２が一体的 に形成されて外側面がホルダ２４と摺動自在に係合できるように段差が形成され ており，長溝２１の底面外面には圧着面２３が形成されている。1 and 4, reference numeral 20 denotes a heat tool according to the present invention, in which a long groove 21 is formed along the center line in the longitudinal direction, and a collar portion 22 is integrally formed on both sides of the upper end portion. A step is formed so that the outer surface can be slidably engaged with the holder 24, and a crimping surface 23 is formed on the outer surface of the bottom surface of the long groove 21.
【００１４】 ホルダ２４はヒ−タツ−ル２０の両外側面とそれぞれ係合する一対の断面Ｌ型 に形成され，ヒ−タツ−ル２０を両側から挟持して導電ブロック２５に着脱自在 に固定するためのものである。この一対のホルダ２４が互いに対向する面には， ヒ−タツ−ル２０の鍔部２２と係合するＬ型溝２６がヒ−タツ−ル２０の長手方 向両側面にそれぞれ対向して形成されてヒ−タツ−ル２０を挟持するための開口 凹部２６ａが形成されているとともに，図３に示すように，上下方向に貫通する 貫通孔２７が長手方向に沿って形成されている。The holder 24 is formed in a pair of L-shaped cross-sections that engage with both outer side surfaces of the heat tool 20, and holds the heat tool 20 from both sides so as to be detachably fixed to the conductive block 25. It is for doing. L-shaped grooves 26 that engage with the flange portion 22 of the heat tool 20 are formed on the surfaces of the pair of holders 24 that face each other so as to face both side surfaces of the heat tool 20 in the longitudinal direction. An opening recess 26a for holding the heat tool 20 is formed, and a through hole 27 penetrating in the vertical direction is formed along the longitudinal direction as shown in FIG.
【００１５】 なお，この実施例では，ホルダ２４は２個の部品により構成されているが，こ の一対のホルダに背面を形成して一体的な形状に形成してもよい。この場合には ，ホルダは互いに対向するＬ型溝２６により形成される開口凹部にヒ−タツ−ル ２０の鍔部２２が係合し，正面からの差し込み口からヒ−タツ−ル２０が挿脱さ れることになり，部品点数が少なくなり，取り扱いが容易であるとともに，ヒ− タツ−ル２０はホルダの背面に当接して位置決めすることも出来るので，ホルダ へのヒ−タツ−ル２０の着脱がさらに容易になる等の効果がある。In this embodiment, the holder 24 is composed of two parts, but the pair of holders may be formed with a back surface to have an integral shape. In this case, in the holder, the flange portion 22 of the heater tool 20 is engaged with the opening concave portions formed by the L-shaped grooves 26 facing each other, and the heater tool 20 is inserted from the front insertion port. Since it is removed, the number of parts is reduced, handling is easy, and since the heat tool 20 can be positioned by contacting the back surface of the holder, the heat tool 20 for the holder can be removed. It has the effect of making it easier to attach and detach.
【００１６】 導電ブロック２５は，図２，図３に示すように，一対のホルダ２４にそれぞれ 対向する対に構成されており，この一対の導電ブロック２５は，ヒ−タツ−ル２ ０の長溝２１に連通する間隙２８を介在させて互いに対向配置されている。この 導電ブロック２５がヒ−タツ−ル２０の両鍔部２２上面およびホルダ２４の上面 と接触する面には，ホルダ２４の貫通孔２７にそれぞれ連通するねじ孔２９が長 手方向に沿って形成されている。As shown in FIGS. 2 and 3, the conductive blocks 25 are arranged in pairs that face a pair of holders 24. The pair of conductive blocks 25 are formed in the long groove of the heat tool 20. 21 are opposed to each other with a gap 28 communicating with 21 interposed. Screw holes 29 communicating with the through holes 27 of the holder 24 are formed along the longitudinal direction on the surfaces of the conductive block 25 that come into contact with the upper surfaces of both the flange portions 22 of the heater 20 and the upper surface of the holder 24. Has been done.
【００１７】 ３０は絶縁ブロックで，上下動するスピンドル１４が固定されている。３１は ホルダ２４を導電ブロック２５に固定するためのボルトで，貫通孔２７からねじ 孔２９へとねじ込まれている。３２は絶縁ブロック３０と導電ブロック２５とを 固定するためのボルトである。従って，ヒ−タツ−ル２０は，貫通孔２７からね じ孔２９へとねじ込まれたボルト３１によりホルダ２４に挟持されて導電ブロッ ク２５に固定され，この導電ブロック２５はボルト３２により絶縁ブロック３０ に固定されており，これらは一体となってスピンドル（図示せず）により上下動 するように構成されている。Reference numeral 30 denotes an insulating block to which the vertically moving spindle 14 is fixed. Reference numeral 31 is a bolt for fixing the holder 24 to the conductive block 25, which is screwed from the through hole 27 into the screw hole 29. 32 is a bolt for fixing the insulating block 30 and the conductive block 25. Therefore, the heater tool 20 is fixed to the conductive block 25 by being clamped by the holder 24 by the bolt 31 screwed from the through hole 27 into the screw hole 29, and the conductive block 25 is insulated by the bolt 32. They are fixed to the unit 30 and are configured to move up and down integrally by a spindle (not shown).
【００１８】 次に，作用動作について説明する。 図１に示すように，熱圧着工程では，ヒ−タツ−ル２０は，ホルダ２４の開口 凹部２６ａに挟持されているとともに，ボルト３１によりホルダ２４を介して導 電ブロック２５にねじ止め固定されており，この導電ブロック２５はボルト３２ により絶縁ブロック３０にねじ止め固定されている。Next, the operation will be described. As shown in FIG. 1, in the thermocompression bonding process, the heater 20 is clamped in the opening recess 26a of the holder 24, and is also screwed and fixed to the conductive block 25 via the holder 24 by the bolt 31. The conductive block 25 is screwed and fixed to the insulating block 30 with bolts 32.
【００１９】 この状態では，ヒ−タツ−ル２０の鍔部２２上面とホルダ２４の上面とは導電 ブロック２５に接しているから，ヒ−タツ−ル２０への加熱電流は，電源に接続 されている一方の給電帯７から一方の導電板９，一方の導電ブロック２５，ヒ− タツ−ル２０，他方の導電ブロック２５，他方の導電板９から他方の給電帯７を 介して電源へと流れるため，この加熱電流によりヒ−タツ−ル２０は加熱される 。In this state, since the upper surface of the collar portion 22 of the heat tool 20 and the upper surface of the holder 24 are in contact with the conductive block 25, the heating current to the heat tool 20 is connected to the power supply. From one power supply band 7 to one conductive plate 9, one conductive block 25, heat tool 20, the other conductive block 25, the other conductive plate 9 to the power supply via the other power supply band 7. Since the current flows, the heating tool 20 is heated by this heating current.
【００２０】 一方，熱圧着装置５により，絶縁ブロック３０に固定されているスピンドルが 下降し，テ−ブル１７上に載置されている配線基板１と被圧着物４には，ヒ−タ ツ−ル２０の圧着面２３が接触してこれが加熱されるとともに，スピンドルによ り加圧され，両者は半田３あるいは異方性導電フィルム等により熱圧着される。On the other hand, by the thermocompression bonding device 5, the spindle fixed to the insulating block 30 is lowered, and the wiring board 1 and the object to be pressure-bonded 4 mounted on the table 17 are heated by the heater. The crimping surface 23 of the resin 20 comes into contact and is heated, and is pressed by the spindle, and both are thermocompressed by the solder 3 or the anisotropic conductive film.
【００２１】 ここで，テ−ブル１７上の配線基板１および被圧着物４の形状に応じて，ヒ− タツ−ル２０を交換しなければならない。 まず，ボルト３１を緩めると，ヒ−タツ−ル２０を締付固定しているホルダ２ ４が緩むから，両ホルダ２４の間からヒ−タツ−ル２０を長手方向に沿って引き 出せば，ヒ−タツ−ル２０の鍔部２２とＬ型溝２６とが摺動してヒ−タツ−ル２ ０はホルダ２４の間から容易に引き出すことが出来る。Here, the heater tool 20 must be replaced according to the shapes of the wiring board 1 and the object to be pressure-bonded 4 on the table 17. First, when the bolts 31 are loosened, the holder 24 fixing the heater 20 is loosened. Therefore, if the heater 20 is pulled out from between the holders 24 along the longitudinal direction, The flange 22 of the heat tool 20 and the L-shaped groove 26 slide, so that the heat tool 20 can be easily pulled out from between the holders 24.
【００２２】 次いで，新しいヒ−タツ−ル２０を両ホルダ２４の互いに対向するＬ型溝２６ により形成される開口凹部２６ａに挿入し，位置決めした後，ボルト３１を締め 付ければ，ヒ−タツ−ル２０は，ホルダ２４に挟持されるとともに，このホルダ ２４に支持されて導電ブロック２５に固定される。このねじ止めの際，ヒ−タツ −ル２０を固定するボルト３１は，貫通孔２７，ねじ孔２９へと挿入されねじ込 まれるので，ボルト３１のねじ込みによる力は，上下方向に加えられるので，ヒ −タツ−ル２０の圧着面２３には，力が加わることもないから，従来のように， 圧着面２３が湾曲することもない。Next, a new heater tool 20 is inserted into the opening recessed portions 26a formed by the L-shaped grooves 26 of the both holders 24 facing each other, and after positioning, the bolt 31 is tightened. The holder 20 is sandwiched by a holder 24, and is supported by the holder 24 and fixed to a conductive block 25. At the time of this screwing, the bolt 31 for fixing the heater 20 is inserted into the through hole 27 and the screw hole 29 and screwed in. Therefore, the force by screwing the bolt 31 is applied in the vertical direction. Since no force is applied to the crimping surface 23 of the heat tool 20, the crimping surface 23 is not curved unlike the conventional case.
【００２３】[0023]
この考案は，ヒ−タツ−ルの長手方向上端部両側に，鍔部を形成し，この鍔部 と係合するＬ型溝を互いに対向する側面に形成してヒ−タツ−ルを挟持するため の開口凹部を形成するとともに，上下方向に貫通する貫通孔を長手方向に沿って 形成した互いに対向する断面Ｌ型の一対のホルダを形成し，一方，一対の導電ブ ロックは，ヒ−タツ−ルの両鍔部上面および一対のホルダ上面と接し，上下方向 にホルダの貫通孔と連通するねじ孔を開設するとともに，ヒ−タツ−ルの長溝に 連通する間隙を介在して対向配置し，一対のホルダの互いに対向するＬ型溝によ り形成される開口凹部に，ヒ−タツ−ルを挟持するとともに，このホルダを導電 ブロックにねじ止め固定するようにしたので，ヒ−タツ−ルを交換する際，導電 ブロックとホルダとを固定しているボルトを緩める程度で，ヒ−タツ−ルをホル ダから引き抜き，交換することが出来るとともに，新たなヒ−タツ−ルも同様に ホルダに差し込み，緩められているボルトを締め付けるだけでよいので，従来の ように，すべてのボルトを外す必要がなく，ヒ−タツ−ルの交換が非常に容易で ある。 According to this invention, a flange portion is formed on both sides of an upper end portion in the longitudinal direction of the heater tool, and L-shaped grooves engaging with the flange portion are formed on opposite side surfaces to sandwich the heater tool. And a pair of holders having an L-shaped cross section, which are opposed to each other and have through holes penetrating vertically are formed along the longitudinal direction, while a pair of conductive blocks are formed on the heater. -To make contact with the upper surfaces of both flanges of the tool and the upper surface of the pair of holders, a screw hole is formed in the vertical direction that communicates with the through hole of the holder, and they are opposed to each other with a gap communicating with the long groove of the heater. Since the heater tool is clamped in the opening recess formed by the L-shaped grooves of the pair of holders facing each other, the holder is screwed and fixed to the conductive block. The conductive block and holder The heater tool can be pulled out of the holder and replaced by simply loosening the bolts that secure the and, and at the same time, insert a new heater tool into the holder and loosen the bolts. Since it is only necessary to tighten it, it is not necessary to remove all the bolts as in the conventional case, and it is very easy to replace the heater.
【００２４】 その上，ヒ−タツ−ルは，ホルダにより挟持されて導電ブロックに固定されて おり，この固定するためのボルトは，ホルダにねじ込むように構成されており， その上，圧着面に対して上下方向にねじ止め締め付けるように構成されているの で，圧着面に力が加わることもないから，従来のように，圧着面が湾曲して平坦 度が損なわれる事もなく，圧着面の面精度を保持することが出来る。In addition, the heater tool is clamped by the holder and fixed to the conductive block, and the bolt for fixing is configured to be screwed into the holder. On the other hand, since it is configured to be screwed and tightened in the vertical direction, no force is applied to the crimping surface. The surface accuracy of can be maintained.
【図１】この考案の実施例を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention.
【図２】この考案の実施例を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing an embodiment of the present invention.
【図３】この考案の実施例を示す底面図である。FIG. 3 is a bottom view showing an embodiment of the present invention.
【図４】この考案の実施例を示す要部分解斜視図であ
る。FIG. 4 is an exploded perspective view of an essential part showing an embodiment of the present invention.
【図５】従来例を示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing a conventional example.
【図６】従来例を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing a conventional example.
【図７】従来例を示すヒ−タツ−ルである。FIG. 7 is a heat tool showing a conventional example.
【図８】従来例を示す要部説明図である。FIG. 8 is an explanatory view of a main part showing a conventional example.
１ 配線基板 ４ 被圧着物 ５ 熱圧着装置 ２０ ヒ−タツ−ル ２１ 長溝 ２２ 鍔部 ２３ 圧着面 ２４ ホルダ ２５ 導電ブロック ２６ Ｌ型溝 ２６ａ 開口凹部 ２７ 貫通孔 ２９ ねじ孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wiring board 4 Object to be crimped 5 Thermocompression bonding device 20 Heater tool 21 Long groove 22 Collar part 23 Crimping surface 24 Holder 25 Conductive block 26 L-shaped groove 26a Opening recess 27 Through hole 29 Screw hole
Claims (1)
熱電流が給電され，長手方向中心線に沿って長溝を形成
した断面Ｕ字型のヒ−タツ−ルを備えた熱圧着装置のヒ
−タ機構において， 前記ヒ−タツ−ルの長手方向上端部両側に，鍔部を形成
し， この鍔部と係合するＬ型溝を互いに対向する側面に形成
して前記ヒ−タツ−ルを挟持するための開口凹部を形成
するとともに，上下方向に貫通する貫通孔を長手方向に
沿って形成した互いに対向する断面Ｌ型の一対のホルダ
を形成し， 前記一対の導電ブロックは，前記ヒ−タツ−ルの両鍔部
上面および前記一対のホルダ上面と接し，上下方向に前
記ホルダの前記貫通孔と連通するねじ孔を開設するとと
もに，前記ヒ−タツ−ルの前記長溝に連通する間隙を介
在して対向配置し， 前記一対のホルダの互いに対向する前記Ｌ型溝により形
成される前記開口凹部に，前記ヒ−タツ−ルを挟持する
とともに，このホルダを前記導電ブロックにねじ止め固
定することを特徴とする熱圧着装置のヒ−タ機構。1. A heater for a thermocompression bonding apparatus, comprising a heater having a U-shaped cross section having a long groove formed along a longitudinal center line, to which a heating current is supplied from a power source through a pair of conductive blocks. In the mechanism, a flange portion is formed on both sides of an upper end portion in the longitudinal direction of the heater tool, and L-shaped grooves engaging with the flange portion are formed on side surfaces facing each other to form the heater tool. A pair of holders having L-shaped cross sections which are opposed to each other and are formed with a through hole penetrating in the up-down direction along the longitudinal direction while forming an opening concave portion for sandwiching are formed. A screw hole communicating with the through hole of the holder is formed in contact with the upper surfaces of both the collar portions of the tool and the upper surface of the pair of holders, and a gap communicating with the long groove of the heat tool is formed. The pair of holders are opposed to each other with the pair of holders Of the thermocompression bonding apparatus, wherein the heater tool is sandwiched between the opening concave portions formed by the L-shaped grooves facing each other, and the holder is screwed and fixed to the conductive block. Mechanism.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3021593U JPH0682878U (en) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | Heater mechanism of thermocompression bonding equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3021593U JPH0682878U (en) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | Heater mechanism of thermocompression bonding equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682878U true JPH0682878U (en) | 1994-11-25 |
Family
ID=12297509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3021593U Pending JPH0682878U (en) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | Heater mechanism of thermocompression bonding equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682878U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007220769A (en) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thermocompression bonding device of semiconductor component |
| US11482505B2 (en) | 2019-03-29 | 2022-10-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chip bonding apparatus |
-
1993
- 1993-05-13 JP JP3021593U patent/JPH0682878U/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007220769A (en) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thermocompression bonding device of semiconductor component |
| JP4508124B2 (en) * | 2006-02-15 | 2010-07-21 | パナソニック株式会社 | Semiconductor parts thermocompression bonding equipment |
| US11482505B2 (en) | 2019-03-29 | 2022-10-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chip bonding apparatus |
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