JPH0677267A - Jet honing device - Google Patents

Jet honing device

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JPH0677267A
JPH0677267A JP22908792A JP22908792A JPH0677267A JP H0677267 A JPH0677267 A JP H0677267A JP 22908792 A JP22908792 A JP 22908792A JP 22908792 A JP22908792 A JP 22908792A JP H0677267 A JPH0677267 A JP H0677267A
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JP
Japan
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lead frame
resin
water
section
lead
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Tadahiro Fujita
忠弘 藤田
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NEC Kyushu Ltd
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NEC Kyushu Ltd
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Abstract

PURPOSE:To enable a jet honing device to be lessened in production man-hours and production term and enhanced in productivity by a method wherein a jet honing device used for removing dam resin is combined with a water brush unit into a device of integral structure. CONSTITUTION:A jet honing device is equipped with a lead frame feed section 11 which feeds resin-sealed lead frames 2 one by one, a lead frame positioning- fixing section 8 which positions and fixes a lead frame 2, and a nozzle head 5 which jets water of high pressure against the lead frame 2 with a jet nozzle 4 to remove dam resin. A water brush unit section 19 is provided to spout out water of high pressure from a linear nozzle 15 fixed to a movable stage 17 against both the rear and front of the lead frame 2 where dam resin has been removed off to remove resin burrs and smuts from the lead frame 2. Furthermore, a lead frame housing section 12 where the lead frame 2 passing through the water brush unit section 19 is housed in a magazine 10 and a lead frame transfer section 9 are provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はジェットホーニング装置
に関し、特に樹脂モールド後のファインピッチLSIパ
ッケージ用リードフレームのダム樹脂、樹脂ばり、スマ
ットなどを除去するジェットホーニング装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a jet honing device, and more particularly to a jet honing device for removing dam resin, resin flash, smut, etc. of a lead frame for a fine pitch LSI package after resin molding.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種のジェットホーニング装置
は、使用目的により二つの工程に別れて用いられてい
る。一つは、ダム樹脂の除去を目的としたものであり、
次の五つの機能ユニット部から構成されている。これを
図3の構成斜視図および図4のリードフレームの平面図
を用いて説明すると、まず第1に、ダム樹脂1のあるリ
ードフレーム2を長手方向の両側から挟み込んで固定す
るパレット3と、そのリードフレーム2の上部より直射
ノズル4を用いて高圧液体でダム樹脂部をモーター16
でXY方向に移動しながらねらい打ちするノズルヘッド
部5と、第2に、パレット3に固定されたリードフレー
ム2上の樹脂モールドパッケージ6の形状に合わせて掘
込みを入れ高圧液体によりリードフレーム2が変形する
ことを防止するための下受けプレート7を有するリード
フレーム位置決め部8と、第3に、搬送路に沿ってリー
ドフレーム2を搬送するリードフレーム搬送部9と、第
4に、マガジン10よりリードフレーム2を1枚ずつ供
給するリードフレーム供給部11と、第5に、ダム樹脂
が除去されたリードフレーム2をマガジン10に収納す
るリードフレーム収納部12とから構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, this type of jet honing apparatus is used in two separate processes depending on the purpose of use. One is to remove the dam resin,
It is composed of the following five functional unit parts. This will be described with reference to the configuration perspective view of FIG. 3 and the lead frame plan view of FIG. 4. First, a pallet 3 for sandwiching and fixing the lead frame 2 having the dam resin 1 from both sides in the longitudinal direction, From the upper part of the lead frame 2 to the motor 16 by using the direct injection nozzle 4 with a high pressure liquid to dam the resin portion of the dam.
Secondly, the nozzle head portion 5 is aimed at while moving in the XY directions, and secondly, the lead frame 2 is formed by the high pressure liquid by digging according to the shape of the resin mold package 6 on the lead frame 2 fixed to the pallet 3. A lead frame positioning portion 8 having a lower receiving plate 7 for preventing deformation, thirdly, a lead frame transporting portion 9 for transporting the lead frame 2 along a transportation path, and fourthly, from a magazine 10. The lead frame supply unit 11 supplies the lead frames 2 one by one, and fifthly, the lead frame storage unit 12 stores the lead frame 2 from which the dam resin has been removed in the magazine 10.

【0003】もう一つは、リードフレーム表面上の樹脂
ばりや、めっき前処理時にリードフレーム表面に発生す
るスマットの除去を目的としたものであり、次の二つの
ユニット部から構成されている。これを図5の斜視図に
より説明すると、まず第1に、リードフレーム2を回転
ローラ13の回転により搬送を行う搬送部14と、第2
に、搬送部14の途中に設けられた線形ノズル15によ
り線形に噴射された高圧水が搬送中のリードフレーム2
に当ってリードフレーム2上の樹脂ばりやスマットを除
去する水ブラシ部とから構成されている。リードフレー
ムの供給、収納に関しては、通常は搬送部14の入口と
出口に作業者を配置して行っている。
Another purpose is to remove resin burrs on the surface of the lead frame and smut generated on the surface of the lead frame during the pretreatment of plating, and it is composed of the following two unit parts. This will be described with reference to the perspective view of FIG. 5. First, the lead frame 2 is transported by the rotation of the rotary roller 13, and the second transport portion 14 is used.
In addition, the high pressure water linearly jetted by the linear nozzle 15 provided in the middle of the transport unit 14 is being transported by the lead frame 2
And a water brush portion for removing resin flash and smut on the lead frame 2. Regarding supply and storage of the lead frame, a worker is usually arranged at the entrance and the exit of the transport unit 14.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来、この水ブラシ工
程では、ダム樹脂除去とは別の専用の水ブラシ装置で処
理が行われており、生産工数が多大となる欠点があっ
た。また、最近のリードフレームのファインピッチ化に
よりリードフレームは強度が低下しており、水ブラシ工
程を通す時に搬送部の回転ローラー等に引っかかって変
形を生ずることが多くなってきた。そこで変形防止のた
めに、リードフレームを変形防止のプレート上に1枚ず
つ乗せて水ブラシ工程を通していた。そのため、リード
フレームの表裏両面の樹脂ばり及びスマットを除去する
ためには、リードフレームの表裏両面を入れ替えて2回
工程を通さなければならなかった。よって、ダム樹脂除
去のための従来のジェットホーニング装置のリードフレ
ーム搬送ユニットの直後に単に水ブラシ装置の搬送ユニ
ットを接続しただけでは、ファインピッチのリードフレ
ームを変形させずに通すことは困難であった。
Conventionally, in this water brush process, the treatment is carried out by a dedicated water brush device different from the dam resin removal, and there is a drawback that the number of production steps becomes large. Further, the strength of the lead frame has been reduced due to the recent fine pitch of the lead frame, and the lead frame is often deformed by being caught by a rotating roller or the like of a carrying section when passing through the water brush process. Therefore, in order to prevent the deformation, the lead frames are placed one by one on the deformation preventing plate and the water brush process is performed. Therefore, in order to remove resin burrs and smut on both the front and back surfaces of the lead frame, it was necessary to replace the front and back surfaces of the lead frame and pass through the process twice. Therefore, it is difficult to pass the fine-pitch lead frame without deforming it by simply connecting the transport unit of the water brush device immediately after the lead frame transport unit of the conventional jet honing device for dam resin removal. It was

【0005】本発明の目的は、ダム樹脂除去のためのジ
ェットホーニング装置に水ブラシユニットを結合させて
一体化装置とすることにより、生産工数および工期の短
縮や生産性の向上を可能とするものである。
An object of the present invention is to combine a water brush unit with a jet honing device for dam resin removal to form an integrated device, thereby making it possible to shorten the number of production steps and the period, and improve the productivity. Is.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、高圧液体を直
射ノズルから噴射させてリードフレームのダム樹脂をね
らい打ちしこれを破壊または洗い流して除去するノズル
ヘッド部と、ねらい打ちを行うためにリードフレームの
位置決めと固定を行うリードフレーム位置決め部と、リ
ードフレームに送りを与えるリードフレーム搬送部と、
マガジンより樹脂封止済みのリードフレームを1枚ずつ
供給するリードフレーム供給部と、ダム樹脂が除去され
たリードフレームを収納するリードフレーム収納部とを
有するジェットホーニング装置において、リードフレー
ム全面の樹脂ばり及びスマットを除去するためにリード
フレームの両側端を両面から挟み込んで固定し、リード
フレームの表面および裏面に線形ノズルより高圧液体を
噴射する水ブラシユニットをリードフレーム位置決めユ
ニットとリードフレーム収納部との間のリードフレーム
搬送路内に配設し、定期的な搬送インデックス動作を基
準として前記各部を連係動作させてリードフレームのリ
ード間のダム樹脂を除去する工程と、リードフレーム全
面の樹脂ばり及びスマットを除去する工程とを同一工程
内で行える機能を備えている。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a high-pressure liquid is jetted from a direct nozzle to aim a dam resin of a lead frame and destroy or wash away the dam resin, and a lead frame for aiming. A lead frame positioning part for positioning and fixing the lead frame, and a lead frame carrying part for feeding the lead frame,
In a jet honing device having a lead frame supply unit for supplying resin-sealed lead frames one by one from a magazine and a lead frame storage unit for storing a lead frame from which dam resin has been removed, a resin flash on the entire lead frame In order to remove the smut, both ends of the lead frame are sandwiched and fixed from both sides. A step of removing the dam resin between the leads of the lead frame by arranging them in the lead frame conveying path between them and operating the above-mentioned respective parts in conjunction with each other on the basis of the periodical conveying index operation; The function to perform the process of removing Eteiru.

【0007】[0007]

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。まず、図2の斜視図を用いて本発明の一実施例に用
いる水ブラシユニット19について説明する。リードフ
レーム2はその両側端をパレット3にて表裏両面より挟
み込まれ固定されている。さらに、その下部に、線形ノ
ズル15をエアシリンダー18にて前後に移動させる機
構を備えた線形ノズル移動ステージ17があり、線形ノ
ズル15より高圧液体を線形に噴射して前後に移動する
ことにより、リードフレーム2の裏面のスマットや樹脂
ばりを除去する。このパレット3の上部にも、下部機構
と同じものがパレット3を挟んで対称位置に設置されて
おり、リードフレーム2の表裏両面のスマットや樹脂ば
りを同時に除去する。
The present invention will be described below with reference to the drawings. First, the water brush unit 19 used in one embodiment of the present invention will be described with reference to the perspective view of FIG. Both ends of the lead frame 2 are sandwiched and fixed by pallets 3 from the front and back sides. Furthermore, there is a linear nozzle moving stage 17 having a mechanism for moving the linear nozzle 15 back and forth with an air cylinder 18 at the lower part thereof, and by linearly ejecting a high-pressure liquid from the linear nozzle 15 and moving back and forth, The smut and resin flash on the back surface of the lead frame 2 are removed. The same mechanism as the lower mechanism is also installed in the upper part of the pallet 3 at symmetrical positions with the pallet 3 interposed therebetween, and simultaneously removes smut and resin flash on both the front and back surfaces of the lead frame 2.

【0008】このような機構でリードフレーム2を固定
してスマットや樹脂ばり除去を行う場合に、リードフレ
ーム厚を0.125mm、リード幅0.3mm、材質C
uのリードフレームを使用し、線形ノズルの噴射角度4
0°、リードフレームとの距離55mm、圧力100K
g/cm2 の水で噴射を行うことによって、リードフレ
ームの変形なしにスマットや樹脂ばりを除去できる。
When the lead frame 2 is fixed by such a mechanism to remove smut and resin flash, the lead frame thickness is 0.125 mm, the lead width is 0.3 mm, and the material C is
Using u lead frame, linear nozzle spray angle 4
0 °, distance from lead frame 55mm, pressure 100K
By spraying with water of g / cm 2 , smut and resin flash can be removed without deformation of the lead frame.

【0009】次に本発明に係るジェットホーニング装置
の一実施例を図1の構成斜視図を用いて説明する。マガ
ジン10より1枚ずつリードフレーム2がリードフーレ
ーム供給部11により取り出される。取り出されたリー
ドフレーム2は、装置の中を移動するリードフーレーム
搬送部9によりダム樹脂を高圧水でねらい打ちするため
の位置まで搬送される。搬送されたリードフレーム2
は、パレット3により両側端を両面から挟み込まれて固
定され、かつリードフレーム2に樹脂モールドされたパ
ッケージ6の形状に合わせて掘込みを入れた下受けプレ
ート7が、リードフレーム位置決め部8が上下すること
によりリードフレーム2の底面まで上昇してリードフレ
ーム2を受けている。
Next, an embodiment of the jet honing device according to the present invention will be described with reference to the structural perspective view of FIG. The lead frames 2 are taken out one by one from the magazine 10 by the lead frame supply unit 11. The lead frame 2 taken out is conveyed to a position for aiming the dam resin with high-pressure water by the lead frame conveying section 9 moving in the apparatus. Lead frame 2 transported
Is fixed by sandwiching both side ends from both sides with a pallet 3, and the lower receiving plate 7 in which the lead frame positioning portion 8 is vertically moved is dug in accordance with the shape of the package 6 resin-molded on the lead frame 2. By doing so, it rises to the bottom surface of the lead frame 2 and receives the lead frame 2.

【0010】リードフレーム2の上部には、高圧水が噴
射される直射ノズル4と、その直射ノズル4を固定する
ノズルヘッド部5と、そのノズルヘッド部5をパッケー
ジの形状に合わせてXY方向に動かすためのモーター1
6があり、高圧水を噴射しながら移動してダム樹脂をね
らい打ちすることによってダム樹脂が除去される。ダム
樹脂が除去されたリードフレームは、再びリードフーレ
ーム搬送部9によって水ブラシユニット19まで搬送さ
れ、前述したようにスマットと樹脂ばりが除去される。
スマットと樹脂ばりが除去されたリードフレーム2は、
最後にリードフレーム収納部12によりマガジン10に
1枚ずつ収納されて作業が完了する。
On the upper portion of the lead frame 2, a direct nozzle 4 for injecting high-pressure water, a nozzle head portion 5 for fixing the direct nozzle 4, and the nozzle head portion 5 in XY directions according to the shape of the package. Motor for moving 1
There is 6, and the dam resin is removed by moving while jetting high-pressure water and aiming at the dam resin. The lead frame from which the dam resin has been removed is again transported to the water brush unit 19 by the lead frame transport unit 9, and the smut and resin flash are removed as described above.
The lead frame 2 with the smut and resin burr removed is
Finally, the lead frame storage section 12 stores the sheets one by one in the magazine 10 to complete the work.

【0011】このような機構とすることにより、リード
フレームの入ったマガジンをセットするだけでスマット
と樹脂ばり除去を自動的に実施でき、従来2名で行って
いた作業工数を完全になくすことができる。また、水ブ
ラシ部でのリードフレームの固定方式をダム樹脂除去部
と同じパレット方式とすることにより、新たに設計を行
う必要もなくなる。
With such a mechanism, the smut and the resin flash can be automatically removed only by setting the magazine containing the lead frame, and the work man-hours conventionally performed by two persons can be completely eliminated. it can. Further, by adopting the same pallet method as the dam resin removing portion for fixing the lead frame at the water brush portion, it is not necessary to newly design.

【0012】[0012]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、高圧液体
によるねらい打ちジェットホーニング装置のダム樹脂除
去部とリードフレーム収納部との間に、スマットと樹脂
ばりを除去するための水ブラシユニットを結合した一体
構造とすることにより、従来分離されていた作業工程を
一つの工程で処理することが可能となり、作業工数、工
期の短縮が図れ、かつ水ブラシユニットをリードフレー
ムを上下に挟むノズル移動方式とすることによって品質
の安定した製品が製造できる効果がある。
As described above, according to the present invention, the water brush unit for removing the smut and the resin burr is connected between the dam resin removing section and the lead frame housing section of the jet honing apparatus for aiming with the high pressure liquid. With this integrated structure, it is possible to process the work processes that were conventionally separated in one process, shortening the work man-hours and work period, and moving the nozzle unit with the water brush unit vertically sandwiching the lead frame. By doing so, there is an effect that a product with stable quality can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例のユニット構成を示す斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view showing a unit configuration of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の一部である水ブラシユニッ
トの斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a water brush unit that is a part of an embodiment of the present invention.

【図3】従来のジェットホーニング装置のユニット構成
を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a unit configuration of a conventional jet honing device.

【図4】樹脂モールドされたリードフレームの平面図で
ある。
FIG. 4 is a plan view of a resin-molded lead frame.

【図5】従来の水ブラシ装置の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a conventional water brush device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ダム樹脂 2 リードフレーム 3 パレット 4 直射ノズル 5 ノズルヘッド部 6 樹脂モールドパッケージ 7 下受けプレート 8 リードフレーム位置決め部 9 リードフレーム搬送部 10 マガジン 11 リードフレーム供給部 12 リードフレーム収納部 13 回転ローラ 14 搬送部 15 線形ノズル 16 モーター 17 線形ノズル移動ステージ 18 エアシリンダー 19 水ブラシユニット 1 Dam Resin 2 Lead Frame 3 Pallet 4 Direct Nozzle 5 Nozzle Head 6 Resin Mold Package 7 Lower Support Plate 8 Lead Frame Positioning 9 Lead Frame Conveying 10 Magazine 11 Lead Frame Supply 12 Lead Frame Storage 13 Rotating Roller 14 Conveying Part 15 Linear nozzle 16 Motor 17 Linear nozzle moving stage 18 Air cylinder 19 Water brush unit

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マガジンより樹脂封止済のリードフレー
ムを1枚ずつ供給するリードフレーム供給部と、供給さ
れたリードフレームの位置決めと固定を行うリードフレ
ーム位置決め固定部と、固定されたリードフレームに高
圧水を直射ノズルにより噴射しダム樹脂をねらい打ちし
て除去するノズルヘッド部と、ダム樹脂が除去されたリ
ードフレームの表裏両面に向けて移動ステージに取り付
けられた線形ノズルより高圧水を噴射しリードフレーム
の樹脂ばり及びスマットを除去する水ブラシユニット部
と、水ブラシユニット部を経たリードフレームをマガジ
ンに収納するリードフレーム収納部と、上記各部を搬送
路でつなぎリードフレームを搬送するリードフレーム搬
送部とを有することを特徴とするジェットホーニング装
置。
1. A lead frame supply unit for supplying resin-sealed lead frames one by one from a magazine, a lead frame positioning fixing unit for positioning and fixing the supplied lead frames, and a fixed lead frame. High-pressure water is sprayed from a direct nozzle to aim and remove dam resin, and a high-pressure water is jetted from a linear nozzle mounted on a moving stage toward both the front and back sides of the lead frame from which dam resin has been removed. A water brush unit that removes resin burrs and smut on the frame, a lead frame housing that houses the lead frame that has passed through the water brush unit, and a lead frame carrier that connects the above-mentioned parts with a carrier path and carries the lead frame. And a jet honing device.
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