JPH0676947B2 - Package leak measuring device - Google Patents

Package leak measuring device

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JPH0676947B2
JPH0676947B2 JP63078071A JP7807188A JPH0676947B2 JP H0676947 B2 JPH0676947 B2 JP H0676947B2 JP 63078071 A JP63078071 A JP 63078071A JP 7807188 A JP7807188 A JP 7807188A JP H0676947 B2 JPH0676947 B2 JP H0676947B2
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JP
Japan
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chamber
pressure
internal pressure
time
valve
Prior art date
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Application number
JP63078071A
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Japanese (ja)
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JPH01253628A (en
Inventor
滋 堀田
Original Assignee
高千穂精機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 高千穂精機株式会社 filed Critical 高千穂精機株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、食品、医薬品等を気密封塞したパッケージの
リークの有無及びその程度を検査するために使用するパ
ッケージのリーク測定装置に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a package leak measuring device used for inspecting the presence or absence and the degree of leakage of a package in which foods, pharmaceuticals, etc. are hermetically sealed.

[従来の技術] 従来のこの種パッケージのリーク測定装置は、被検パッ
ケージを収容したチャンバーを、真空ポンプに連通させ
て、チャンバー内圧を真空ポンプで減圧し、チャンバー
内圧の変動値を測定してパッケージの気密性の良否を判
定するようにしたものである。
[Prior Art] A conventional leak measuring device of this type of package measures the fluctuation value of the chamber internal pressure by connecting the chamber containing the package to be tested to a vacuum pump and reducing the chamber internal pressure by the vacuum pump. The quality of the airtightness of the package is determined.

チャンバー内空気の吸引について詳しく述べれば、その
方法において次の2種がある。その一つは、チャンバー
と真空ポンプとを連通する吸引管に設けたバルブを閉止
したときに空気の弾性に起因して発生するバルブ内圧の
脈動を小さくするために、チャンバー内空気を低速吸引
(時間当たりの吸引量を少なく)するようにしたもので
あり、他の一つは、チャンバー内圧が設定圧に到達する
までの時間を短くするために、チャンバー内空気を高速
吸引するようにしたものである。
In detail, the suction of the air in the chamber includes the following two methods. One of them is low-speed suction of the air in the chamber in order to reduce the pulsation of the valve internal pressure caused by the elasticity of the air when the valve provided in the suction pipe that connects the chamber and the vacuum pump is closed. (The amount of suction per unit time is reduced), and the other one is to suck the air in the chamber at high speed in order to shorten the time until the chamber internal pressure reaches the set pressure. Is.

また、チャンバー内圧測定について詳しく述べれば、そ
の圧力検出器は、その殆んどのものが前記吸気管から分
岐した管に設けられていた。
Further, to describe the chamber internal pressure measurement in detail, almost all of the pressure detectors were provided in the pipe branched from the intake pipe.

更に、バルブの制御について詳しく述べれば、その制御
は予め設定された時間を基準にして行なうようになって
いた。
Further, when the valve control is described in detail, the control is performed on the basis of a preset time.

ところが、上記従来のリーク測定装置において、チャン
バー内の空気吸引を低速で行なわせるものでは、チャン
バー内圧が設定値に到達するまでに長時間を要するとい
う問題があって、連続的に多量の検査を行なう上で非能
率であった。
However, in the above-mentioned conventional leak measuring apparatus, when the air suction in the chamber is performed at a low speed, there is a problem that it takes a long time for the chamber internal pressure to reach the set value, and therefore a large amount of continuous inspection is required. It was inefficient at doing.

また、チャンバー内空気の吸引を高速で行なうもので
は、急速吸引しながら所定時間でバルブを閉止する為、
閉止に伴なってチャンバー内圧の脈動が大きくなり、そ
の大きな脈動とバルブの動作特性との関係から、バルブ
閉止後のチャンバー内圧が変動を繰り返すという問題点
があった。
Also, in the case where the air in the chamber is sucked at high speed, the valve is closed within a predetermined time while rapidly sucking,
The pulsation of the chamber internal pressure increases with the closing, and there is a problem that the chamber internal pressure after the valve is closed changes repeatedly due to the relationship between the large pulsation and the valve operating characteristics.

また、前記バルブの閉止動作が、予め設定された時間を
基準にして行なわれるため、チャンバー内実圧が、空気
吸引速度誤差及びバルブ動作のばらつきに影響される値
となるという問題点もあった。
Further, since the closing operation of the valve is performed on the basis of a preset time, there is a problem that the actual pressure in the chamber becomes a value that is influenced by the error in the air suction speed and the variation in the valve operation.

更に、チャンバー内圧を測定するための圧力検出器が、
吸気管から分岐した管に設けてあったので、チャンバー
内圧が脈動している間、空気の弾性によって、チャンバ
ー内実圧と測定値との間に偏差が生ずるという問題点が
あった。
Furthermore, a pressure detector for measuring the chamber pressure is
Since it is provided in the pipe branched from the intake pipe, there is a problem that a deviation occurs between the actual pressure in the chamber and the measured value due to elasticity of air while the pressure in the chamber is pulsating.

[発明が解決しようとする課題] 本発明は、従来のパッケージのリーク測定装置の有する
このような問題点を考慮してなされたもので、その目的
とするところは、チャンバー内空気の吸引速度を早く
し、而も、バルブを閉止したときのチャンバー内圧の脈
動を小さくし、また、チャンバー内実圧と検出測定値と
の差を少なくし、これにより、パッケージのリーク試験
を短時間で、高精度に行なうことができるリーク測定装
置を提供しようとするものである。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in consideration of such problems of the conventional package leak measuring device, and its object is to reduce the suction speed of the air in the chamber. The pulsation of the chamber internal pressure when the valve is closed is reduced, and the difference between the actual chamber internal pressure and the detected measurement value is reduced, which enables the package leak test in a short time with high accuracy. It is intended to provide a leak measuring device capable of performing the above.

[課題を解決するための手段] 本発明は、上記課題のもとになされたものであって、被
検パッケージを収容するチャンバーと、真空ポンプと、
該チャンバーの内部を該真空ポンプに連通させる吸気管
と、該吸気管に設けた空気流路開閉用のバルブと、該バ
ルブを開閉制御する制御部と、前記チャンバーの内圧表
示部とを備え、前記バルブと前記真空ポンプとの間に
は、外気を前記吸気管内に導入するリーク開口部を設
け、該リーク開口部による外気導入量をチャンバー内圧
が所定の設定圧に近づくに従って増加し、前記チャンバ
ーには、チャンバー内部の圧力を直接受ける位置に圧力
検出器を設け、前記制御部には、前記検出器の出力と前
記設定圧との比較値に基づいて前記バルブを閉止する制
御回路を設けることによって、真空ポンプの作動でチャ
ンバー内の圧力を急速に所定の設定圧に向けて減圧し、
この設定圧に達する所要時間から被検パッケージのリー
クの有無を検知するとともに、吸気管のリーク状態下に
減圧されるチャンバー内圧力が前記所定の設定圧に達し
た際に、前記空気流路開閉用のバルブを閉止し、このリ
ーク状態下の減圧作用をもってチャンバー内の脈動圧力
を抑制して、チャンバー内の圧力を所定時間に亘って前
記設定圧より僅かに高い判定基準圧に維持させるように
し、被検パッケージを収容しているチャンバー内圧力の
前記所定時間内における変化を前記圧力検出器により検
出して、パッケージのリークの程度を測定するようにし
た。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made based on the above-mentioned problems, and includes a chamber for accommodating a package to be inspected, a vacuum pump,
An intake pipe that communicates the inside of the chamber with the vacuum pump, a valve for opening and closing an air flow path provided in the intake pipe, a control unit that controls opening and closing of the valve, and an internal pressure display unit of the chamber, A leak opening for introducing outside air into the intake pipe is provided between the valve and the vacuum pump, and the amount of outside air introduced by the leak opening increases as the chamber internal pressure approaches a predetermined set pressure. Is provided with a pressure detector at a position that directly receives the pressure inside the chamber, and the control unit is provided with a control circuit for closing the valve based on a comparison value between the output of the detector and the set pressure. By the operation of the vacuum pump, the pressure in the chamber is rapidly reduced toward a predetermined set pressure,
Whether or not there is a leak in the package under test is detected from the time required to reach this set pressure, and when the pressure in the chamber that is decompressed under the leak condition of the intake pipe reaches the predetermined set pressure, the air flow path opening / closing The valve for operation is closed, and the pulsating pressure in the chamber is suppressed by the depressurizing action under this leak state, and the pressure in the chamber is maintained at the judgment reference pressure slightly higher than the set pressure for a predetermined time. The pressure detector detects changes in the pressure in the chamber containing the package to be tested within the predetermined time, and measures the degree of package leakage.

[作用] チャンバー内空気を真空ポンプで高速吸引すると、チャ
ンバー内圧が所定の設定圧に達するまでの時間が短縮さ
れる。チャンバー内圧がこの設定圧に近づくに従って、
リーク開口部が外気を吸気管内部に導入する導入量が増
加し、真空ポンプの吸気量は殆んど変らないがチャンバ
ー内圧を減圧する速度が遅くなる。チャンバー内圧が所
定の設定圧に達して、減圧速度が遅くなった状態で前記
バルブを閉止すると、バルブを閉止したときに生じるチ
ャンバー内圧の脈動が、高速減圧状態でバルブを閉止し
たときよりも遥かに小さくなる。従って、チャンバーの
内圧はより短時間で収斂して略一定値となる。
[Operation] When the air in the chamber is sucked at high speed by the vacuum pump, the time until the chamber internal pressure reaches the predetermined set pressure is shortened. As the chamber pressure approaches this set pressure,
The amount of introduction of the outside air into the intake pipe by the leak opening increases, and the intake amount of the vacuum pump hardly changes, but the speed of reducing the chamber internal pressure becomes slow. When the chamber internal pressure reaches a predetermined set pressure and the valve is closed when the pressure reduction rate is slow, the pulsation of the chamber internal pressure that occurs when the valve is closed is far greater than when the valve is closed in the high-speed pressure reduced state. Becomes smaller. Therefore, the internal pressure of the chamber converges to a substantially constant value in a shorter time.

圧力検出器を、チャンバーの内部圧力を直接受ける位置
に設けたことによって、チャンバー内圧が直接検出され
る。従って、パッケージのリーク値表示やバルブの閉止
動作は、チャンバー内圧の実測値を基にして行なわれ
る。
By providing the pressure detector at a position that directly receives the internal pressure of the chamber, the internal pressure of the chamber is directly detected. Therefore, the package leak value display and the valve closing operation are performed based on the measured value of the chamber internal pressure.

[実施例] 本発明の一実施例について図面を参照して説明する。第
1図は、チャンバー内圧変化と時間との関係を、従来装
置によるものと本発明に係わる装置によるものとを比較
して示す図である。第2図は本実施例におけるチャンバ
ー内圧の変化と測定時間との関係を示す図である。第3
図は本発明装置の操作部と表示部を示す部分図である。
第4図は本発明装置の構成概念図である。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a relationship between a change in chamber pressure and time, comparing a conventional device and a device according to the present invention. FIG. 2 is a diagram showing the relationship between changes in chamber internal pressure and measurement time in this example. Third
The drawing is a partial view showing the operation unit and the display unit of the device of the present invention.
FIG. 4 is a conceptual diagram of the configuration of the device of the present invention.

第1図を参照して、(A)は、従来装置によってチャン
バー内空気を高速吸引した例を示し、この例では、吸引
流路のバルブ閉止後のチャンバー内圧の脈動が大きく、
また、チャンバー内の所定設定圧と実圧との差が大きく
開き、更に、チャンバー内圧が安定するまでの時間aが
長くなるという欠陥がある。(B)は、従来装置によっ
てチャンバー内空気を低速吸引した例を示し、この例で
は、チャンバー内圧が設定圧に到達するまでの時間、即
ち、o−d間が長くなって、リーク検査の開始に手間ど
るという結果となる。(C)は、本発明の装置によって
チャンバー内空気を比較的高速で吸引した例を示し、こ
の例によれば、チャンバー内圧の所定設定圧と実圧との
差が小さくなり、且つ、吸引開始からチャンバー内圧が
安定するまでの時間cが短いことが特徴となっている。
Referring to FIG. 1, (A) shows an example in which the air in the chamber is sucked at high speed by a conventional device. In this example, the pulsation of the chamber pressure after closing the valve in the suction passage is large,
Further, there is a defect that the difference between the predetermined set pressure in the chamber and the actual pressure is widened, and further, the time a until the chamber internal pressure stabilizes becomes long. (B) shows an example in which the air in the chamber is sucked at a low speed by the conventional device. In this example, the time until the chamber internal pressure reaches the set pressure, that is, the interval od becomes long, and the leak inspection is started. The result is that it is troublesome. (C) shows an example in which the air in the chamber is sucked at a relatively high speed by the apparatus of the present invention. According to this example, the difference between the predetermined set pressure of the chamber internal pressure and the actual pressure becomes small, and the suction is started. It is characterized in that the time c from when the chamber pressure stabilizes is short.

本発明による上記特徴に従う第2図を参照して、t1はチ
ャンバー内空気吸引開始時点からチャンバー内圧が所定
の設定圧P1に到達した時点までの時間を示し、t2はチャ
ンバー内圧が設定値に到達した時点からチャンバー内圧
が安定した内圧P2に達するまでの時間を示し、t3は被検
パッケージのリーク状態を測定する時間帯を示す。この
場合、t3の長さは、測定対象となる被検パッケージがチ
ャンバー内で占める容積等の条件を考慮して測定時に予
め定めておくもので、このt3の時間経過後もリークが全
く無い場合には、チャンバー内圧には変動が生じないの
で、このときは、t3の時間経過後の内圧P2′は、時間t3
の初期におけるチャンバー内圧力P2と同じ内圧を示すか
ら、図上P2とP2′とを結ぶ点線を判定基準圧線としてい
る。従って、被検パッケージのリーク測定は、チャンバ
ー内圧が安定するt1+t2時間の経過後に開始するように
している。当然の事ながら、設定圧P1に達する迄の時間
t1に対し、これより長い時間が経っても設定値に至らな
い場合には、その被検パッケージにはリークのある事が
判るが、こうした所定の時間t1より遅れる状態は、被検
パッケージに大きなリークがある場合で、こうした遅れ
の長短は、チャンバー内において占める被検パッケージ
の容積の大きさによっても支配される。被検パッケージ
のリークの程度による良・不良の判定は、測定時間t3
終点に達する間に行なわれ、特に、この時間帯の終点で
チャンバー内圧が、パッケージの良否判判定上の基準と
して予め定める許容範囲pを超えない場合、即ち、P2
+pに相当するチャンバー内圧をP3と定めた場合、チャ
ンバー内圧がP2′とP3との範囲内にある場合には良品と
判定され、逆に許容圧範囲pを超えた場合は不良品と判
定される。被検パッケージにリークがあれば、被検パッ
ケージからリークしてチャンバー内に漏出する内部空気
によって、チャンバー内の内圧は、時間と共に高まって
ゆき、その内圧は、P2からP3或いはそれ以上に達するの
で、図上内圧P2とP3とを結ぶ斜線部とP2,P2′を結ぶ判
定基準圧線と、測定終了時点の内圧P2′とリークによる
許容内圧P3とを結ぶ線で囲まれる三角形の範囲(図上斜
影を施してある)を用いて、時間帯t3の途中のどの経過
時点でも、チャンバー内圧力が、この三角形の領域から
外れる圧力値を示す場合を不良品と判定する。なお、こ
の許容圧範囲pと測定時間t3とは、被検パッケージの仕
様に合わせて設定することは前述の通りで、その設定
は、第3図の符号9及び10で示すディジタルスイッチに
よって行なわれる。この他、図上p′は、設定圧と零リ
セットによって設定された測定上の零レベルとの差であ
る。
Referring to FIG. 2 according to the above feature of the present invention, t 1 represents the time from the start of air suction in the chamber to the time when the chamber internal pressure reaches a predetermined set pressure P 1 , and t 2 represents the chamber internal pressure set. The time from the time when the value reaches the value to the time when the chamber internal pressure reaches the stable internal pressure P 2 is shown, and t 3 shows the time zone for measuring the leak state of the package under test. In this case, the length of t 3, the test packages to be measured is intended to be predetermined at the time of measurement by considering the condition of the volume, such as occupied in the chamber, after the time course of the t 3 also leaks at all If not, the variation in the pressure in the chamber does not occur, this time, the internal pressure P 2 after a time of t 3 ', the time t 3
Since the internal pressure is the same as the chamber internal pressure P 2 at the initial stage of, the dotted line connecting P 2 and P 2 ′ in the figure is used as the determination reference pressure line. Therefore, the leak measurement of the package under test is started after t 1 + t 2 hours when the chamber internal pressure stabilizes. Naturally, the time to reach the set pressure P 1
to t 1, in a case where a long time than this is not even reach the set value passed, although in the test package seen that a leak state lags behind these predetermined time t 1 is the test package In the case of a large leak in the chamber, the length of such delay is also dominated by the volume of the package under test occupying in the chamber. Determination of good or bad depends on the degree of leakage of the test package is carried out during which reaches the end of the measurement time t 3, in particular, the end point in a chamber internal pressure of the time zone, in advance as a reference on the quality-size determination of the package If the allowable range p is not exceeded, that is, P 2
When the chamber internal pressure corresponding to + p is defined as P 3 , if the chamber internal pressure is within the range between P 2 ′ and P 3 , it is judged as a good product, and conversely, if it exceeds the allowable pressure range p, it is a defective product. Is determined. If there is a leak in the package to be inspected, the internal air leaking from the package to be inspected and leaking into the chamber causes the internal pressure in the chamber to increase with time, and the internal pressure increases from P 2 to P 3 or higher. reached since a line connecting 'and criteria pressure curve connecting the internal pressure P 2 of the measurement end time' hatched portion and P 2, P 2 connecting the drawing pressure P 2 and P 3 and the allowable internal pressure P 3 due to leakage Using the range of the triangle surrounded by (shaded in the figure), the case where the chamber internal pressure shows a pressure value outside this triangular area at any point during the time zone t 3 is a defective product. To determine. The allowable pressure range p and the measurement time t 3 are set according to the specifications of the package under test as described above, and the setting is performed by the digital switches 9 and 10 in FIG. Be done. In addition, p'in the figure is the difference between the set pressure and the measured zero level set by the zero reset.

零リセットについて詳しく説明すると、これは、前記時
間t2内におけるチャンバー内圧の脈動及びパッケージ自
体の膨張によって生ずるチャンバー内圧の変動分を測定
結果から除去するために行なうもので、特に良パッケー
ジが不良パッケージと判定されることを防ぐために有効
となる。この零リセットは、チャンバー内圧が設定圧P1
に到達したときから0.1秒経過したときに自動的に行な
われるようになっている。
Explaining in detail about zero reset, this is performed in order to remove the fluctuation of the chamber internal pressure caused by the pulsation of the chamber internal pressure within the time t 2 and the expansion of the package itself from the measurement result. It is effective to prevent the judgment. In this zero reset, the chamber pressure is set to P 1
It will be automatically performed when 0.1 seconds has passed since the time was reached.

なお、第2図において、符号pの幅は、判り易くするた
めに実際よりも拡大して描かれている。
Note that, in FIG. 2, the width of the symbol p is drawn to be larger than the actual size for easy understanding.

次に、上記測定要領により測定を行なわせる各装置各部
について述べると、第3図を参照して、1は表示部、2
は圧力表示部、3a,3bは、圧力スケール切換表示ラン
プ、4は被検パッケージの良否判定結果を表示するラン
プ、5は電源オン・オフ表示ランプである。圧力スケー
ルの切換は、真空ポンプでチャンバー内空気を吸引して
いるときと、リークの程度を測定しているときとで切換
えられるようになっており、吸引時は圧力がmmHgで表示
され、測定時はmmH2Oで表示されるようになっている。
これにより、測定時には吸引時よりもスケール分解能が
高くなるようにしてある。6は測定条件設定部である。
この設定部6には、圧力設定ダイアル7の他、チャンバ
ー内減圧時間設定用ディジタルスイッチ8を組込んであ
り、チャンバー内圧が設定時間内に設定圧に到達したと
きだけ装置の動作が次のステップに進むようになってい
る。チャンバー内圧が設定時間内に到達しなかった場合
は、チャンバーの状態を含め大きなリークがあると判定
されるようになっている。9は測定時間設定用ディジタ
ルスイッチ、10は判定基準値設定用のディジタルスイッ
チである。11は、操作部で、この操作部には、自動測定
用ボタン12、運転停止ボタン13、真空ポンプ遠隔制御ボ
タン14、主電源ボタン15を備えてあって、これらのう
ち、自動測定用ボタン12は、設定部6で所定の値を設定
した後に、このボタンを押すだけで自動測定を遂行でき
るようにしたものであり、運転停止ボタン13は、自動測
定による装置の運転中に、異常が生じた際、何時でも運
転を停止するたの操作ボタンであり、また、真空ポンプ
遠隔制御ボタンは、真空ポンプ電源を接続することで、
遠隔運転を行なわせ得るようにした操作用のボタンであ
り、更に、主電源ボタン15は、測定装置における全電気
系統をオン・オフさせる操作用のボタンである。
Next, description will be given of each part of each device for performing the measurement according to the above-mentioned measuring procedure. Referring to FIG.
Is a pressure display portion, 3a and 3b are pressure scale switching display lamps, 4 is a lamp for displaying the quality judgment result of the package to be tested, and 5 is a power on / off display lamp. The pressure scale can be switched between when the air in the chamber is being sucked by the vacuum pump and when the degree of leak is being measured.The pressure is displayed in mmHg during suction, and the measurement is performed. Time is displayed in mmH 2 O.
As a result, the scale resolution is higher during measurement than during aspiration. 6 is a measurement condition setting unit.
In addition to the pressure setting dial 7, the setting unit 6 incorporates a digital switch 8 for setting the chamber decompression time, and the operation of the apparatus is performed in the next step only when the chamber pressure reaches the set pressure within the set time. It is designed to proceed to. When the chamber internal pressure does not reach within the set time, it is determined that there is a large leak including the state of the chamber. Reference numeral 9 is a measuring time setting digital switch, and 10 is a judgment reference value setting digital switch. Reference numeral 11 denotes an operation section, which is provided with an automatic measurement button 12, an operation stop button 13, a vacuum pump remote control button 14, and a main power button 15, among which the automatic measurement button 12 Is for enabling automatic measurement simply by pressing this button after setting a predetermined value in the setting unit 6, and the operation stop button 13 causes an abnormality during operation of the device by automatic measurement. It is an operation button that stops the operation at any time, and the vacuum pump remote control button is connected to the vacuum pump power supply,
The main power button 15 is an operation button that enables remote operation, and the main power button 15 is an operation button that turns on and off all electrical systems in the measuring apparatus.

これら各操作部材と装置各部との関係を、第4図を参照
して説明すると、21は測定・制御部、22は圧力検出器で
ある。圧力検出器22は半導体式からなり、その検出面
は、チャンバー内部に臨む位置を占める上蓋27に対して
気密状態を保って取付けられている。23はチャンバー26
と真空ポンプ25とを連通する吸気管28に設けた流路開閉
用のバルブ、24はバルブにより開閉されるが、測定中は
常時開放状態に保たれるリーク開口部である。チャンバ
ー26の本体には、その上蓋27と接する部分に両者を気密
に接合するためのパッキングが設けられている。
The relationship between each of these operating members and each part of the apparatus will be described with reference to FIG. 4. Reference numeral 21 is a measurement / control unit, and 22 is a pressure detector. The pressure detector 22 is of a semiconductor type, and its detection surface is attached in an airtight state to an upper lid 27 which occupies a position facing the inside of the chamber. 23 is chamber 26
A valve for opening and closing a flow path provided in an intake pipe 28 that communicates with the vacuum pump 25, and a leak opening 24 that is opened and closed by the valve and is always kept open during measurement. The main body of the chamber 26 is provided with a packing for airtightly joining the two in a portion in contact with the upper lid 27.

前記測定・制御部21は、比較器を備え、その比較器によ
って前記設定圧P1と前記圧力検出器22の出力との比較が
行なわれ、圧力検出器22の出力が設定圧P1に到達したと
きに、前記バルブ23が閉止されるようになっている。
The measurement / control unit 21 includes a comparator, and the comparator compares the set pressure P 1 with the output of the pressure detector 22, and the output of the pressure detector 22 reaches the set pressure P 1 . When this is done, the valve 23 is closed.

本実施例では、吸引時の圧力をmmHgで、測定時で圧力を
mmH2Oで夫々表示するものとしたが、総てをmmH2Oで表示
するようにしてもよいことはいうまでもない。
In this example, the pressure during suction is mmHg, and the pressure during measurement is
mmH it is assumed that each display at 2 O, may of course also be displayed in mmH 2 O all.

次に本実施例の作用について説明する。真空ポンプ25が
作動すると、真空ポンプ25は高速吸引する能力で有する
ので、チャンバー26の内圧は短時間で設定圧に到達す
る。チャンバー内圧が設定圧に近づくに従って、リーク
開口部24から外気を吸気管28に導入する量が増加し、真
空ポンプ25の空気吸引速度は殆んど変らないが、チャン
バー内の減圧速度は遅くなる。チャンバー内圧の減圧速
度が遅くなっても次第にその内圧は設定圧に達し、設定
圧に達すると同時にバルブ23を閉止する。この場合、バ
ルブを閉止したときに発生するチャンバー26の内圧脈動
は、高速減圧状態でバルブを閉止したときよりも小さく
なる。
Next, the operation of this embodiment will be described. When the vacuum pump 25 operates, the vacuum pump 25 has a capability of sucking at high speed, so that the internal pressure of the chamber 26 reaches the set pressure in a short time. As the chamber internal pressure approaches the set pressure, the amount of outside air introduced into the intake pipe 28 from the leak opening 24 increases, and the air suction speed of the vacuum pump 25 hardly changes, but the depressurization speed in the chamber decreases. . Even if the pressure reduction rate of the chamber internal pressure becomes slow, the internal pressure gradually reaches the set pressure, and at the same time when the set pressure is reached, the valve 23 is closed. In this case, the internal pressure pulsation of the chamber 26 that occurs when the valve is closed is smaller than that when the valve is closed in the high-speed depressurization state.

チャンバー26の内圧を直接受けるようにチャンバー内部
に面して設けられた圧力検出器は、チャンバーの内部の
圧力を直接検出する。従って、圧力検出器を分岐管に設
けた場合とは異なり、空気の弾性によって生ずるチャン
バー内圧値と分岐管内圧値との差が測定値に含まれるこ
とがなくなる。
The pressure detector provided inside the chamber 26 so as to directly receive the internal pressure of the chamber 26 directly detects the pressure inside the chamber. Therefore, unlike the case where the pressure detector is provided in the branch pipe, the measured value does not include the difference between the chamber internal pressure value and the branch pipe internal pressure value caused by the elasticity of air.

[発明の効果] 本発明は、以上説明したように構成されているので以下
に記載される効果を奏する。
[Effects of the Invention] The present invention, which is configured as described above, has the effects described below.

高速吸引能力を有する真空ポンプを設けるとともにリー
ク開口部を前記のようにして設けたので、チャンバー内
圧が設定圧近傍に到達するまでの時間が短縮され、且
つ、バルブの閉止による吸引が停止してからチャンバー
内圧が安定するまでの時間が短縮される。従って、被検
パッケージのリーク測定開始時間が短縮され、食品、医
薬品等量産品のパッケージ検査能率を、大幅に向上させ
ることができる。
Since the vacuum pump with high-speed suction capability is provided and the leak opening is provided as described above, the time required for the chamber internal pressure to reach the vicinity of the set pressure is shortened, and suction by stopping the valve is stopped. The time from when the chamber pressure stabilizes is shortened. Therefore, the leak measurement start time of the package to be inspected is shortened, and the package inspection efficiency of mass-produced products such as foods and pharmaceuticals can be greatly improved.

また、チャンバー内圧検出器をその検出面がチャンバー
内圧を直接受けるようにして設け、その圧力検出器の出
力をもってバルブの閉止及びリーク値の測定を行なって
いるので、パッケージのリーク検査を高精度で行なうこ
とができる。
In addition, the chamber internal pressure detector is installed so that its detection surface directly receives the chamber internal pressure, and the valve is closed and the leak value is measured by the output of the pressure detector, so the package leak inspection can be performed with high accuracy. Can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はチャンバー内圧変化と時間との関係を、従来装
置によるものと本発明に係る装置によるものとを比較し
て示す図である。第2図は実施例におけるチャンバー内
圧の変化と測定時間との関係を示す図である。第3図は
本発明装置の操作部と表示部とを示す部分図である。第
4図は本発明装置の構成概念図である。 22……圧力検出器、23……バルブ、24……リーク開口部 25……真空ポンプ、26……チャンバー、28……吸気管
FIG. 1 is a diagram showing a relationship between a change in chamber internal pressure and time, comparing a conventional device and a device according to the present invention. FIG. 2 is a diagram showing the relationship between changes in chamber internal pressure and measurement time in the example. FIG. 3 is a partial view showing the operating section and the display section of the device of the present invention. FIG. 4 is a conceptual diagram of the configuration of the device of the present invention. 22 …… pressure detector, 23 …… valve, 24 …… leak opening 25 …… vacuum pump, 26 …… chamber, 28 …… intake pipe

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被検パッケージを収容するチャンバーと、 真空ポンプと、 該チャンバーの内部を該真空ポンプに連通させる吸気管
と、 該吸気管に設けた空気流路開閉用のバルブと、 該バルブを開閉制御する制御部と、 前記チャンバーの内圧表示部と を備え、 前記バルブと前記真空ポンプとの間には、 外気を前記吸気管内に導入するリーク開口部を設け、 該リーク開口部は、 外気導入量をチャンバー内圧が所定の設定圧に近づくに
従って増加するように構成されており、 前記チャンバーには、 チャンバー内部の圧力を直接受ける位置に圧力検出器を
設け、 前記制御部には、 前記検出器の出力と前記設定圧との比較値に基づいて前
記バルブを閉止する制御回路を設けた ことを特徴とするパッケージのリーク測定装置。
1. A chamber for accommodating a package to be inspected, a vacuum pump, an intake pipe for communicating the inside of the chamber with the vacuum pump, a valve provided in the intake pipe for opening and closing an air flow path, and the valve. A control unit for controlling opening and closing of the chamber, and an internal pressure display unit for the chamber, and a leak opening for introducing outside air into the intake pipe is provided between the valve and the vacuum pump. The outside air introduction amount is configured to increase as the chamber internal pressure approaches a predetermined set pressure, the chamber is provided with a pressure detector at a position that directly receives the pressure inside the chamber, and the control unit includes: A leak measuring device for a package, comprising a control circuit for closing the valve based on a comparison value between an output of a detector and the set pressure.
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