JPH0668106U - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

Info

Publication number
JPH0668106U
JPH0668106U JP579093U JP579093U JPH0668106U JP H0668106 U JPH0668106 U JP H0668106U JP 579093 U JP579093 U JP 579093U JP 579093 U JP579093 U JP 579093U JP H0668106 U JPH0668106 U JP H0668106U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
core
magnetic
film
magnetic film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP579093U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
昌彦 丸山
Original Assignee
株式会社三協精機製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社三協精機製作所 filed Critical 株式会社三協精機製作所
Priority to JP579093U priority Critical patent/JPH0668106U/en
Publication of JPH0668106U publication Critical patent/JPH0668106U/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Heads (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 良好な特性を有するコンポジット型の磁気ヘ
ッドの生産性を向上させることを可能とする。 【構成】 いわゆるラミネート型の多層磁性膜4を膜付
けした構成のヘッドコア2を、コアスライダー1の一部
を構成するように設け、ラミネート型の多層磁性膜4に
より磁気ヘッドのインダクタンスを低減し、高保持力
(HC)媒体に十分対抗可能で、高感度かつ低ノイズの
特性を得るとともに、従来のMIGタイプヘッドのよう
な疑似出力の問題を解消し、かつヘッドコア2をコアス
ライダー1の一部として同時に形成可能として、製造工
程を効率化したもの。
(57) [Abstract] [Purpose] It is possible to improve the productivity of a composite type magnetic head having good characteristics. [Structure] A head core 2 having a so-called laminated type multilayer magnetic film 4 is provided so as to form a part of a core slider 1, and the laminated type multilayer magnetic film 4 reduces the inductance of a magnetic head. It can sufficiently oppose high coercive force (HC) medium, obtains high sensitivity and low noise characteristics, solves the problem of pseudo output like the conventional MIG type head, and makes head core 2 part of core slider 1. It can be formed at the same time, and the manufacturing process is made more efficient.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、コアスライダーを用いた磁気ヘッドに関する。 The present invention relates to a magnetic head using a core slider.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来から、ハードディスク駆動(HDD)用の磁気ヘッド等として、コンポジ ット型の磁気ヘッドが広く採用されている。コンポジット型の磁気ヘッドは、非 磁性部材からなるコアスライダーにヘッドコアを埋設等により配置したものであ り、ヘッドコアをガラス材により固定している。このコンポジット型の磁気ヘッ ドに用いられるヘッドコアとしては、高保持力(HC)媒体に対応するために、 MIGタイプや薄膜を用いたものが一般に採用されており、また磁気ヘッドを高 帯域化するために、小型化を行ってインダクタンスを出来るだけ下げている。 Conventionally, a composite type magnetic head has been widely used as a magnetic head for a hard disk drive (HDD). A composite type magnetic head has a head slider embedded in a core slider made of a non-magnetic member, and the head core is fixed by a glass material. As the head core used in this composite type magnetic head, the one using the MIG type or thin film is generally adopted in order to support a high coercive force (HC) medium, and the magnetic head has a high band. For this reason, the size is reduced to reduce the inductance as much as possible.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

ところがコンポジット型の磁気ヘッドを小型化するには、精密加工のレベルを 大幅に向上させる必要があり、例えば記録トラックの巾を10〜15μm 程度に 微細加工する必要がある。そのため従来から磁気ヘッドの生産性向上が困難にな っている。また特にMIGタイプのヘッドコアを用いる場合には、疑似出力等に よって特性上の問題を生じている。 However, in order to miniaturize the composite type magnetic head, it is necessary to greatly improve the level of precision processing, for example, it is necessary to finely process the width of the recording track to about 10 to 15 μm. Therefore, it has been difficult to improve the productivity of magnetic heads. In particular, when a MIG type head core is used, there is a problem in characteristics due to pseudo output.

【0004】 そこで本考案は、生産性に優れ、かつ良好な特性を有するコンポジット型の磁 気ヘッドを提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a composite type magnetic head having excellent productivity and good characteristics.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記目的を達成するため本考案は、ギャップを形成したヘッドコアを、非磁性 部材からなるコアスライダーに配置した磁気ヘッドにおいて、上記ヘッドコアは 、前記コアスライダーの一部に膜付けした多層磁性膜を備えているとともに、上 記多層磁性膜は、金属磁性膜と絶縁膜とを重ね合わせた組をトラック巾方向に複 数組積層した構成を有している。 In order to achieve the above object, the present invention provides a magnetic head in which a head core having a gap is arranged on a core slider made of a non-magnetic member, wherein the head core includes a multilayer magnetic film formed on a part of the core slider. In addition, the above-mentioned multilayer magnetic film has a structure in which a plurality of sets in which a metal magnetic film and an insulating film are stacked are laminated in the track width direction.

【0006】[0006]

【作用】[Action]

このような構成を有する手段においては、いわゆるラミネート型の多層磁性膜 を膜付けした構成のヘッドコアを用いているため、ラミネート型の多層磁性膜の みによって磁路が形成されることとなり、これによって磁気ヘッドのインダクタ ンスが低減されて広帯域での使用が可能となる。また高飽和磁束密度を有する磁 性膜の積層構造により、高保持力(HC)媒体に十分対抗可能で、高感度かつ低 ノイズの特性が得られる。さらに多層磁性膜がギャップに直交して配置されるた め、従来のMIGタイプヘッドのような疑似出力の問題が解消されるようになっ ている。 加えて、ヘッドコアをコアスライダーの一部として同時に形成可能としている ため、磁気ヘッドの製造が能率的に行われるとともに、記録トラックの巾が積層 膜厚によって高精度にコントロール可能となっている。 In the means having such a structure, since the head core having a structure in which a so-called laminated multi-layer magnetic film is applied is used, the magnetic path is formed only by the laminated multi-layer magnetic film. The inductance of the magnetic head is reduced and it can be used in a wide band. In addition, due to the laminated structure of magnetic films having a high saturation magnetic flux density, it is possible to sufficiently oppose a high coercive force (HC) medium, and obtain high sensitivity and low noise characteristics. Further, since the multi-layer magnetic film is arranged orthogonally to the gap, the problem of pseudo output like the conventional MIG type head is solved. In addition, since the head core can be formed at the same time as part of the core slider, the magnetic head can be manufactured efficiently, and the width of the recording track can be controlled with high accuracy by the laminated film thickness.

【0007】[0007]

【実施例】【Example】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。 図1、図2及び図3に示されているように、コアスライダー1の一側部には、 ヘッドコア2が接着により設けられている。このヘッドコア2は、実質的に上記 コアスライダー1の一部を構成する基板3を有しているとともに、この基板3に は、いわゆるラミネート型の多層磁性膜4が膜付けされており、当該多層磁性膜 4が封着ガラス5により固着されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1, 2 and 3, a head core 2 is provided on one side of the core slider 1 by adhesion. The head core 2 has a substrate 3 which substantially constitutes a part of the core slider 1, and a so-called laminated type multi-layered magnetic film 4 is formed on the substrate 3 and The magnetic film 4 is fixed by the sealing glass 5.

【0008】 特に図2及び図3に示されているように、上記ヘッドコア2の基板3は、ギャ ップGを形成するように対向配置されており、これら両基板3,3の一側面すな わちコアスライダー1側への接着面側には、溝部3a,3aが、ギャップGを中 心として対称的に凹設されている。これらの溝部3a,3aは、トラック長手方 向に並列されており、当該溝部3a,3aのそれぞれに対して、上記多層磁性膜 4,4がトラック巾方向に向かって積層され膜付けされているとともに、積層後 の多層磁性膜4,4が、上記封着ガラス5により覆われている。このような構造 をなすヘッドコア2は、ガラスボンディング層6を介して前記コアスライダー1 に接合されている。As shown in FIGS. 2 and 3, in particular, the substrate 3 of the head core 2 is arranged so as to face each other so as to form the gap G, and one side surface of each of the substrates 3 and 3 is disposed. That is, on the adhesive surface side to the core slider 1 side, the groove portions 3a, 3a are symmetrically recessed with the gap G as the center. These groove portions 3a, 3a are juxtaposed in the longitudinal direction of the track, and the multilayer magnetic films 4, 4 are laminated and filmed in the track width direction with respect to each of the groove portions 3a, 3a. At the same time, the laminated multilayer magnetic films 4 and 4 are covered with the sealing glass 5. The head core 2 having such a structure is bonded to the core slider 1 via the glass bonding layer 6.

【0009】 また上記ヘッドコア2の基板3,3どうしの対向部分には、コイル窓7が形成 されており、このコイル窓7を通すようにして、記録・再生信号を入出力するた めのコイル(図示省略)がヘッドコア2に巻回されている。A coil window 7 is formed in a portion of the head core 2 that faces the substrates 3 and 3. A coil window for inputting and outputting a recording / reproducing signal is formed through the coil window 7. (Not shown) is wound around the head core 2.

【0010】 このとき上記ヘッドコア2の基板3と、コアスライダー1とは、両者とも同一 の材料、具体的にはセラミック等の非磁性材料が採用されており、上述したよう に、ヘッドコア2の基板3は、実質的にコアスライダー1の一部を構成している とともに、多層磁性膜4が、実質的にコアスライダー1の一部に積層形成されて いる。At this time, the substrate 3 of the head core 2 and the core slider 1 are made of the same material, specifically, a non-magnetic material such as ceramics. As described above, the substrate of the head core 2 is made of the same material. 3 substantially constitutes a part of the core slider 1, and the multi-layer magnetic film 4 is substantially laminated on a part of the core slider 1.

【0011】 前記多層磁性膜4は、磁性膜と絶縁膜とを重ね合わせた組をトラック巾方向に 複数組積層してなるものであり、そのうち磁性膜としては強磁性金属、例えばセ ンダスト等が用いられているとともに、絶縁膜としてはガラス材(Si O2 )等 が用いられている。これら磁性膜及び絶縁膜は、公知の薄膜形成技術、例えばス パッタリングやイオンプビームスパッターあるいは蒸着等により均一な膜厚とな るように形成されたものであって、磁気飽和を回避するために全体として十分な 膜厚に形成されている。The multi-layered magnetic film 4 is formed by laminating a plurality of sets in which a magnetic film and an insulating film are superposed on each other in the track width direction. Among them, a ferromagnetic metal such as sendust is used as the magnetic film. In addition to being used, a glass material (SiO 2 ) or the like is used as the insulating film. These magnetic film and insulating film are formed to have a uniform film thickness by a known thin film forming technique, such as sputtering, ion beam sputter or vapor deposition, in order to avoid magnetic saturation. The film is formed to a sufficient thickness as a whole.

【0012】 このように本実施例では、いわゆるラミネート型の多層磁性膜4が膜付された ヘッドコア2が、コアスライダー1の一部として形成されているため、高特性を 有するコンポジット型の磁気ヘッドが効率的に生産されるようになっている。 すなわちまず高特性化について説明すると、本実施例ではラミネート型の多層 磁性膜4のみによって磁路が形成されるため、磁気ヘッドのインダクタンスが低 減され、広帯域での使用が可能となっている。また高飽和磁束密度を有する磁性 膜の積層構造が構成されているため、高保持力(HC)媒体に十分対抗可能で、 高感度かつ低ノイズの特性が得られる。 さらに多層磁性膜4が、封着ガラス5により固着されているため、剥離等の不 良がなく、また多層磁性膜4がギャップGと直交するように配置されているため 、従来のMIGタイプヘッドのような疑似出力の問題が解消される。As described above, in the present embodiment, since the head core 2 having the so-called laminated type multilayer magnetic film 4 formed thereon is formed as a part of the core slider 1, a composite type magnetic head having high characteristics is provided. Are being produced efficiently. That is, first, the improvement of the characteristics will be described. In this embodiment, since the magnetic path is formed only by the laminated type multilayer magnetic film 4, the inductance of the magnetic head is reduced and the magnetic head can be used in a wide band. Further, since the laminated structure of magnetic films having a high saturation magnetic flux density is formed, it is possible to sufficiently oppose a high coercive force (HC) medium, and high sensitivity and low noise characteristics can be obtained. Further, since the multi-layer magnetic film 4 is fixed by the sealing glass 5, there is no problem such as peeling, and the multi-layer magnetic film 4 is arranged so as to be orthogonal to the gap G. Therefore, the conventional MIG type head is used. The problem of pseudo output such as is solved.

【0013】 一方生産効率の向上については、ヘッドスライダー1の一部にヘッドコア2が 形成されているため、ヘッドスライダー1とヘッドコア2とが同時に形成される こととなり、従って磁気ヘッドの全体が能率的に製造されるようになっている。 またこのとき記録トラックの巾は、積層膜厚によって高精度にコントロールされ る。On the other hand, regarding the improvement of the production efficiency, since the head core 2 is formed in a part of the head slider 1, the head slider 1 and the head core 2 are formed at the same time, so that the entire magnetic head is efficient. To be manufactured. At this time, the width of the recording track is controlled with high accuracy by the laminated film thickness.

【0014】 次にこのような磁気ヘッドを形成する工程を説明する。 まず図4(a)に示されているように、ヘッドコア2の基板3となるべきとな るワーク3’に溝部3a’の加工が行われ、ついで図4(b)のように上記溝部 3a’の加工面に対して多層磁性膜4’がスパッタリング等によって積層形成さ れる。さらにこの積層形成された多層磁性膜4’上には、図4(c)に示されて いるように封着ガラス5’によるシーリングが行われた後、図4(d)のように 平面研磨が行われる。そしてこれらのワーク3’の複数体は、図4(e)に示さ れているように積層状に重ね合わせて接着された後、その複数の積層体が、図4 (f)のようにして切断される。ついで図4(g)に示されているように、所定 のギャップ材G’を介してボンディングされた後にスライスされ、上述した図2 のようなヘッドコア2を得る。このヘッドコア2は、図4(h)に示されている ように、ガラスボンディング層6を介してコアスライダー1側に接合される。Next, a process of forming such a magnetic head will be described. First, as shown in FIG. 4 (a), a groove 3a 'is processed on a work 3'to be the substrate 3 of the head core 2, and then the groove 3a' is processed as shown in FIG. 4 (b). The multilayer magnetic film 4'is laminated on the processed surface of'by sputtering or the like. Further, after sealing with the sealing glass 5 ′ as shown in FIG. 4 (c), the multilayer magnetic film 4 ′ thus laminated is subjected to flat polishing as shown in FIG. 4 (d). Is done. Then, a plurality of these work pieces 3 ′ are laminated and adhered to each other as shown in FIG. 4 (e), and then the plurality of stack bodies are formed as shown in FIG. 4 (f). Be disconnected. Then, as shown in FIG. 4G, the head core 2 as shown in FIG. 2 is obtained by slicing after bonding with a predetermined gap material G ′. As shown in FIG. 4H, the head core 2 is joined to the core slider 1 side via the glass bonding layer 6.

【0015】[0015]

【考案の効果】[Effect of device]

以上述べたように本考案にかかるコンポジット型の磁気ヘッドは、いわゆるラ ミネート型の多層磁性膜を有するヘッドコアを、コアスライダーの一部として形 成したものであるから、高特性を有するコンポジット型磁気ヘッドを効率的に生 産することができる。 As described above, the composite-type magnetic head according to the present invention has a head core having a so-called laminated multi-layer magnetic film formed as a part of a core slider, and therefore has a high-performance composite-type magnetic head. The head can be efficiently produced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例におけるコンポジット型磁気
ヘッドの構造を表した外観斜視説明図である。
FIG. 1 is an external perspective view showing the structure of a composite type magnetic head according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に表されたコンポジット型磁気ヘッドに用
いられているヘッドコアの構造を表した外観斜視説明図
である。
FIG. 2 is an external perspective view showing the structure of a head core used in the composite magnetic head shown in FIG.

【図3】図1に表されたコンポジット型磁気ヘッドのギ
ャップ部分を拡大して表した平面説明図である。
FIG. 3 is an enlarged plan view showing a gap portion of the composite magnetic head shown in FIG.

【図4】図1乃至図3に表されたコンポジット型磁気ヘ
ッドの製造手順を表した工程説明図である。
FIG. 4 is a process explanatory diagram showing a manufacturing procedure of the composite magnetic head shown in FIGS. 1 to 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コアスライダー 2 ヘッドコア 4 多層磁性膜 G ギャップ 1 core slider 2 head core 4 multilayer magnetic film G gap

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ギャップを形成したヘッドコアを、非磁
性部材からなるコアスライダーに配置した磁気ヘッドに
おいて、 上記ヘッドコアは、前記コアスライダーの一部に膜付け
した多層磁性膜を備えているとともに、 上記多層磁性膜は、金属磁性膜と絶縁膜とを重ね合わせ
た組をトラック巾方向に複数組積層してなることを特徴
とする磁気ヘッド。
1. A magnetic head in which a head core having a gap is arranged on a core slider made of a non-magnetic member, wherein the head core includes a multilayer magnetic film formed on a part of the core slider, and The magnetic head is characterized in that the multi-layer magnetic film is formed by laminating a plurality of sets in which a metal magnetic film and an insulating film are superposed on each other in the track width direction.
JP579093U 1993-01-27 1993-01-27 Magnetic head Pending JPH0668106U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP579093U JPH0668106U (en) 1993-01-27 1993-01-27 Magnetic head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP579093U JPH0668106U (en) 1993-01-27 1993-01-27 Magnetic head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0668106U true JPH0668106U (en) 1994-09-22

Family

ID=11620892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP579093U Pending JPH0668106U (en) 1993-01-27 1993-01-27 Magnetic head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0668106U (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05290317A (en) Magnetic head and its production
JPH0668106U (en) Magnetic head
JP3057861B2 (en) Manufacturing method of magnetic head
JP2618860B2 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JP2933638B2 (en) Manufacturing method of magnetic head
KR100200809B1 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JP2646746B2 (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JPS59203210A (en) Magnetic core and its production
JP2591109B2 (en) Magnetic head
JP2810820B2 (en) Magnetic head and method of manufacturing magnetic head
JPH0386905A (en) Magnetic head and production of magnetic head
JPS60185214A (en) Magnetic head
JP2887204B2 (en) Method of manufacturing narrow track magnetic head
JPH113506A (en) Magnetic head
JPH0585962B2 (en)
JPH06223315A (en) Magnetic head
JPS6126912A (en) Thin film magnetic head
JPH06223324A (en) Magnetic head and its manufacture
JPH0869609A (en) Magnetic head and its production
JPH01251409A (en) Coil thin film magnetic head and its substrate
JPH0438606A (en) Laminated magnetic head and production thereof
JPH0589414A (en) Magnetic head and production thereof
JPH0877508A (en) Laminated magnetic head
JPS61104411A (en) Magnetic head
JPH0643809U (en) Magnetic head