JPH06673A - Laser beam machine - Google Patents
Laser beam machineInfo
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- JPH06673A JPH06673A JP4160849A JP16084992A JPH06673A JP H06673 A JPH06673 A JP H06673A JP 4160849 A JP4160849 A JP 4160849A JP 16084992 A JP16084992 A JP 16084992A JP H06673 A JPH06673 A JP H06673A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はワークにレーザビームを
照射して切断加工を行うレーザ加工装置に関し、特に切
断溝幅を常時均一に保持して加工するレーザ加工装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus for irradiating a work with a laser beam to perform cutting processing, and more particularly to a laser processing apparatus for processing while maintaining a uniform cutting groove width.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、レーザ加工装置は、ワークの切断
加工に広く使用されるようになってきた。このレーザ加
工装置において、安定して均質な切断加工を行うため
に、ワークの材質及び板厚毎に最適な加工条件を設定
し、その加工条件で切断加工を行うようにしている。加
工条件とは、ピーク出力、周波数、デューティ、アシス
トガス品質、アシストガス圧力、集光レンズ焦点距離、
焦点位置、加工ノズル形状、加工ノズル穴径、ビーム伝
播距離、切断加工速度等である。2. Description of the Related Art In recent years, a laser processing apparatus has been widely used for cutting a work. In this laser processing apparatus, in order to perform stable and uniform cutting, optimum processing conditions are set for each material and plate thickness of the work, and the cutting is performed under the processing conditions. Processing conditions are peak output, frequency, duty, assist gas quality, assist gas pressure, focusing lens focal length,
The focus position, the processing nozzle shape, the processing nozzle hole diameter, the beam propagation distance, the cutting processing speed, and the like.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、レーザビー
ムは、拡散角を持っており、レーザ発振器の外部におい
て伝播距離毎にレーザビームの有効径が異なる。また、
このレーザビームは、回折現象等によりビームモード
（ビームの形状）も伝播距離毎に変化する。すなわち、
ワークの表面におけるレーザビームの集束性能は伝播距
離毎に異なる。このため、加工位置によりレーザビーム
の伝播距離が異なるタイプのレーザ加工装置（光伝送タ
イプのレーザ加工装置）の場合、上記の最適加工条件を
保持して切断加工を行っても、全加工域にて安定して均
質な加工を行うということは、厳密な意味では不可能で
ある。By the way, the laser beam has a divergence angle, and the effective diameter of the laser beam varies depending on the propagation distance outside the laser oscillator. Also,
The beam mode (beam shape) of this laser beam also changes for each propagation distance due to a diffraction phenomenon or the like. That is,
The focusing performance of the laser beam on the surface of the work differs depending on the propagation distance. Therefore, in the case of a laser processing device (optical transmission type laser processing device) where the laser beam propagation distance differs depending on the processing position, even if cutting is performed while maintaining the above optimum processing conditions, the entire processing area In a strict sense, it is impossible to perform stable and homogeneous processing.
【０００４】また、集束性能に対する伝播距離の影響を
排除するために、レーザビームの伝播距離が常時一定と
なるように工夫されたレーザ加工装置や、ＸＹテーブル
を駆動してワークを移動させレーザビームの位置が常時
同じになるようにしたレーザ加工装置がある。しかし、
このような光路長一定タイプのレーザ加工装置の場合で
も、レーザ発振器内部鏡の経時変化やレーザ発振器外部
光学部品の経時変化により、レーザビームの品質は変化
し、長期間の使用を考えたときには、ワーク表面におけ
るレーザビームの集束性能は変化する。Further, in order to eliminate the influence of the propagation distance on the focusing performance, a laser processing device devised so that the propagation distance of the laser beam is always constant, or a laser beam for moving a work by driving an XY table. There is a laser processing device in which the position of is always the same. But,
Even in the case of such a laser processing device of a constant optical path length, the quality of the laser beam changes due to the aging of the laser oscillator internal mirror and the aging of the laser oscillator external optical parts, and when considering long-term use, The focusing performance of the laser beam on the work surface changes.
【０００５】一方、ワーク上でのレーザビームの集束性
能等が変化した場合、その変化が切断加工性能に大きな
影響を及ぼすのはいうまでもないが、その影響が最も顕
著に現れるのがカーフ幅である。ところで、カーフ幅が
小さくなり過ぎると、アシストガスの流れが悪くなり、
加工品質も悪化していく。また、カーフ幅が大きくなり
過ぎると切断面粗度が劣悪になる。このように、カーフ
幅は小さくなり過ぎても、大きくなり過ぎても良好な加
工品質を保持することができない。このカーフ幅を常時
モニタし、そのデータをもとにカーフ幅を一定に保持す
る制御を行うことができれば、どのような構成（光伝送
タイプ、光路長一定タイプ）のレーザ加工装置に対して
も、レーザビームの集束性能の変化等による影響をキャ
ンセルすることができる。その結果、安定して均質な切
断加工が可能になる。On the other hand, when the focusing performance of the laser beam or the like on the work changes, it goes without saying that the change has a great effect on the cutting performance, but the effect is most noticeable when the kerf width is increased. Is. By the way, if the kerf width becomes too small, the flow of assist gas will deteriorate,
The processing quality also deteriorates. If the kerf width is too large, the cut surface roughness will be poor. As described above, good processing quality cannot be maintained even if the kerf width is too small or too large. If the kerf width can be constantly monitored and controlled to keep the kerf width constant based on the data, it can be applied to any type of laser processing device (optical transmission type, constant optical path length type). Therefore, it is possible to cancel the influence of a change in the focusing performance of the laser beam. As a result, stable and uniform cutting can be performed.
【０００６】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、安定して均質な切断加工を行うことができる
レーザ加工装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of stably and uniformly cutting.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、ワークにレーザビームを照射して切断加
工を行うレーザ加工装置において、前記ワークの切断溝
幅を検出する溝幅検出手段と、前記切断溝幅が所定幅内
にあるか否かを判別する溝幅判別手段と、前記切断溝幅
が前記所定幅内にないとき前記切断溝幅が前記所定幅内
に入るように切断加工条件を変更し前記切断溝幅を制御
する溝幅制御手段と、を有することを特徴とするレーザ
加工装置が、提供される。According to the present invention, in order to solve the above problems, in a laser processing apparatus for irradiating a work with a laser beam to perform cutting processing, a groove width detecting means for detecting a cutting groove width of the work. A groove width determining means for determining whether the cutting groove width is within a predetermined width, and cutting so that the cutting groove width falls within the predetermined width when the cutting groove width is not within the predetermined width. A laser processing apparatus is provided, which comprises: groove width control means for changing a processing condition to control the cutting groove width.
【０００８】[0008]
【作用】溝幅検出手段は、ワークの切断溝幅を検出す
る。溝幅判別手段は、その切断溝幅が所定幅内にあるか
否かを判別する。溝幅制御手段は、切断溝幅が所定幅内
にないとき切断溝幅が所定幅内に入るように切断加工条
件を変更し切断溝幅を制御する。すなわち、レーザビー
ムの集束性能等の影響を受けて、切断溝幅が所定幅から
外れた場合でも、切断加工条件を変更させて、その集束
性能等の影響を排除することができる。このため、切断
溝幅が常に一定に保持され、加工品質が均一となる。し
たがって、安定して均質な切断加工を行うことができ
る。The groove width detecting means detects the cutting groove width of the work. The groove width determining means determines whether or not the cutting groove width is within a predetermined width. The groove width control means controls the cutting groove width by changing the cutting processing conditions so that the cutting groove width falls within the predetermined width when the cutting groove width is not within the predetermined width. That is, even if the cutting groove width deviates from the predetermined width due to the influence of the laser beam focusing performance or the like, the cutting processing conditions can be changed to eliminate the influence of the focusing performance or the like. Therefore, the cutting groove width is always kept constant, and the processing quality becomes uniform. Therefore, stable and uniform cutting can be performed.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図２は本発明のレーザ加工装置の構成を概念的
に示す図である。図において、レーザ加工装置は、レー
ザ発振器１、伝播距離制御部２、加工ヘッド３及び制御
装置１０から構成される。レーザ発振器１は、制御装置
１０からの出力指令に応じてレーザビームを出射する。
レーザ発振器１から出射したレーザビームは、反射鏡２
１，２２，２３，２４，２５、２６及び加工ヘッド３内
の集光レンズ３１を経由して加工ノズル３２からワーク
５に照射される。このレーザビーム照射により、ワーク
５の切断加工が行われる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a diagram conceptually showing the structure of the laser processing apparatus of the present invention. In the figure, the laser processing apparatus includes a laser oscillator 1, a propagation distance control unit 2, a processing head 3, and a control device 10. The laser oscillator 1 emits a laser beam according to an output command from the control device 10.
The laser beam emitted from the laser oscillator 1 is reflected by the reflecting mirror 2
The workpiece 5 is irradiated from the machining nozzle 32 via the condenser lenses 31 in the machining head 3, 1, 22, 23, 24, 25, 26. By this laser beam irradiation, the cutting of the work 5 is performed.
【００１０】伝播距離制御部２の駆動部２０には、ここ
では図示しないサーボモータとその回転を伝達する機構
（例えばボールネジ、ラック・ピニオンまたはベルト）
が設けられる。制御装置１０は、駆動部２０のサーボモ
ータを回転制御し、伝播距離制御部２は、その回転制御
によってガイド２０Ａに沿ってＺ方向に移動する。A servomotor (not shown here) and a mechanism for transmitting the rotation thereof (for example, a ball screw, a rack and pinion or a belt) are provided to the drive unit 20 of the propagation distance control unit 2.
Is provided. The control device 10 controls the rotation of the servo motor of the drive unit 20, and the propagation distance control unit 2 moves in the Z direction along the guide 20A by the rotation control.
【００１１】加工ヘッド３には、カーフ幅モニタ４が設
けられ、ワーク５のカーフ幅Ｌを検出している。カーフ
幅モニタ４の詳細は後述する。カーフ幅モニタ４の検出
信号は、制御装置１０に送られる。A kerf width monitor 4 is provided on the processing head 3 to detect the kerf width L of the work 5. Details of the kerf width monitor 4 will be described later. The detection signal of the kerf width monitor 4 is sent to the control device 10.
【００１２】制御装置１０は、カーフ幅モニタ４からの
検出信号に基づいて、カーフ幅Ｌが所定幅に入っている
か否かを判別する。カーフ幅Ｌが所定幅に入っていると
判別したときは、そのままの加工条件で切断加工を続行
する。所定幅から外れていると判別したときは、伝播距
離制御部２の駆動部２０にアンプ（図示せず）を経由し
て指令を送り、伝播距離制御部２のＺ方向制御を行う。
このＺ方向制御によって、レーザビームの伝播距離が変
化する。The control device 10 determines whether or not the kerf width L is within a predetermined width based on the detection signal from the kerf width monitor 4. When it is determined that the kerf width L is within the predetermined width, the cutting process is continued under the same processing conditions. When it is determined that the distance is out of the predetermined range, a command is sent to the drive unit 20 of the propagation distance control unit 2 via an amplifier (not shown), and the propagation distance control unit 2 is controlled in the Z direction.
This Z-direction control changes the propagation distance of the laser beam.
【００１３】カーフ幅Ｌが所定幅を越えているときは、
伝播距離制御部２を＋Ｚ方向に移動し、伝播距離を長く
する。伝播距離が長くなると、ビーム径は大きくなり、
集束性能が向上し、カーフ幅Ｌは小さくなる。一方、カ
ーフ幅Ｌが所定幅より小さいときは、伝播距離制御部２
を−Ｚ方向に移動し、伝播距離を短くする。伝播距離が
短くなると、ビーム径は小さくなり、集束性能が低下
し、カーフ幅Ｌは大きくなる。このようにして、伝播距
離制御によってカーフ幅Ｌを所定幅に制御することがで
きる。したがって、安定して均質な切断加工を行うこと
ができる。When the kerf width L exceeds the predetermined width,
The propagation distance control unit 2 is moved in the + Z direction to increase the propagation distance. The longer the propagation distance, the larger the beam diameter,
The focusing performance is improved and the kerf width L is reduced. On the other hand, when the kerf width L is smaller than the predetermined width, the propagation distance control unit 2
In the -Z direction to shorten the propagation distance. When the propagation distance becomes short, the beam diameter becomes small, the focusing performance is deteriorated, and the kerf width L becomes large. In this way, the kerf width L can be controlled to a predetermined width by controlling the propagation distance. Therefore, stable and uniform cutting can be performed.
【００１４】図３は本発明の第２の実施例を示す図であ
る。第１の実施例との相違点は、カーフ幅Ｌの制御を切
断加工速度制御によって行うように構成した点である。
切断加工速度制御は、テーブル６の移動速度を変化させ
ることにより行われる。FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that the kerf width L is controlled by the cutting speed control.
The cutting speed control is performed by changing the moving speed of the table 6.
【００１５】制御装置１０は、第１の実施例の場合と同
様に、カーフ幅モニタ４からの検出信号に基づいて、カ
ーフ幅Ｌが所定幅に入っているか否かを判別し、所定幅
から外れていると判別したときは、アンプ（図示せず）
を経由してサーボモータ６１に指令を送り、テーブル６
の移動速度制御を行う。この移動速度制御によって、ワ
ーク５の切断加工速度が変化する。As in the case of the first embodiment, the control device 10 determines whether or not the kerf width L is within the predetermined width, based on the detection signal from the kerf width monitor 4, and from the predetermined width. If it is determined that it is out, an amplifier (not shown)
Command to the servo motor 61 via the table 6
Control the moving speed of. By this movement speed control, the cutting speed of the work 5 changes.
【００１６】カーフ幅Ｌが所定幅を越えているときは、
切断加工速度を大きくする。切断加工速度が大きくなる
と、ワーク５の受熱量が少なくなり、カーフ幅Ｌは小さ
くなる。一方、カーフ幅Ｌが所定幅より小さいときは、
切断加工速度を小さくする。切断加工速度が小さくなる
と、ワーク５の受熱量が多くなり、カーフ幅Ｌは大きく
なる。このようにして、切断加工速度制御によって、カ
ーフ幅Ｌを所定幅に制御することができる。したがっ
て、安定して均質な切断加工を行うことができる。When the kerf width L exceeds the predetermined width,
Increase the cutting speed. When the cutting speed increases, the amount of heat received by the work 5 decreases and the kerf width L decreases. On the other hand, when the kerf width L is smaller than the predetermined width,
Reduce the cutting speed. When the cutting speed decreases, the amount of heat received by the work 5 increases and the kerf width L increases. In this way, the kerf width L can be controlled to a predetermined width by controlling the cutting speed. Therefore, stable and uniform cutting can be performed.
【００１７】次に、カーフ幅モニタ４の具体例について
説明する。図４はカメラによるカーフ幅検出を示す図で
ある。図において、加工ヘッド３の側壁にカメラ４１が
設けられる。カメラ４１は、ワーク５のカーフ幅Ｌを撮
像し、その撮像データは、画像処理装置４２に送られ
る。画像処理装置４２は、送られてきた撮像データから
カーフ幅Ｌを演算し、その結果を制御装置１０に送る。
制御装置１０は、上述したように、カーフ幅Ｌが所定幅
に入るように制御する。Next, a specific example of the kerf width monitor 4 will be described. FIG. 4 is a diagram showing kerf width detection by the camera. In the figure, a camera 41 is provided on the side wall of the processing head 3. The camera 41 images the kerf width L of the work 5, and the imaged data is sent to the image processing device 42. The image processing device 42 calculates the kerf width L from the sent imaging data and sends the result to the control device 10.
As described above, the control device 10 controls the kerf width L to be within the predetermined width.
【００１８】図５はガス圧センサによるカーフ幅検出を
示す図である。図において、加工ノズル３２の上方にガ
ス圧センサ４３が設けられる。ガス圧センサ４３は、加
工ヘッド３内部のアシストガス圧力を検出する。ここ
で、加工ヘッド３内部のアシストガス圧力は、加工ノズ
ル３２出口でのアシストガス圧力に対応して変化する。
カーフ幅Ｌが小さくなるとアシストガスの流れが悪くな
るので、ワーク５からの背圧は大きくなり、加工ノズル
出口でのアシストガス圧力は、アシストガス圧力の元圧
が一定に保持されていれば上昇する。アシストガス圧力
の元圧は、例えばアシストガス圧力導入口３３での圧力
である。カーフ幅Ｌが大きくなるとアシストガスの流れ
が良くなるので、ワーク５からの背圧は小さくなり、加
工ノズル出口でのアシストガス圧力は、元圧が一定に保
持されていれば上昇する。ガス圧センサ４３は、このア
シストガス圧力の変化を検出しその検出結果を制御装置
１０に送る。FIG. 5 is a diagram showing kerf width detection by a gas pressure sensor. In the figure, a gas pressure sensor 43 is provided above the processing nozzle 32. The gas pressure sensor 43 detects the assist gas pressure inside the processing head 3. Here, the assist gas pressure inside the processing head 3 changes according to the assist gas pressure at the exit of the processing nozzle 32.
As the kerf width L becomes smaller, the assist gas flow becomes worse, so the back pressure from the work 5 becomes larger, and the assist gas pressure at the processing nozzle outlet rises if the original pressure of the assist gas pressure is kept constant. To do. The original pressure of the assist gas pressure is, for example, the pressure at the assist gas pressure inlet 33. When the kerf width L increases, the flow of assist gas improves, so the back pressure from the work 5 decreases, and the assist gas pressure at the exit of the processing nozzle rises if the original pressure is kept constant. The gas pressure sensor 43 detects the change in the assist gas pressure and sends the detection result to the control device 10.
【００１９】図１は本発明のレーザ加工装置のブロック
図である。図において、カーフ幅モニタ（溝幅検出手
段）４は、ワーク５のカーフ幅Ｌを検出し、その検出デ
ータを制御装置１０の溝幅判別手段１１に送る。溝幅判
別手段１１は、そのカーフ幅Ｌが所定幅内にあるか否か
を判別し、その判別結果を溝幅制御手段１２に送る。溝
幅制御手段１２は、カーフ幅Ｌが所定幅内にないときカ
ーフ幅Ｌが所定幅内に入るように切断加工条件を変更し
カーフ幅Ｌを制御する。すなわち、レーザビームの集束
性能等の影響を受けて、カーフ幅Ｌが所定幅から外れた
場合でも、切断加工条件を変更させて、その集束性能等
の影響を排除することができる。このため、切断溝幅が
常に一定に保持され、加工品質が均一となる。したがっ
て、安定して均質な切断加工を行うことができる。FIG. 1 is a block diagram of a laser processing apparatus of the present invention. In the figure, a kerf width monitor (groove width detection means) 4 detects the kerf width L of the work 5 and sends the detection data to the groove width determination means 11 of the control device 10. The groove width determination means 11 determines whether or not the kerf width L is within a predetermined width, and sends the determination result to the groove width control means 12. The groove width control means 12 controls the kerf width L by changing cutting conditions so that the kerf width L falls within the predetermined width when the kerf width L is not within the predetermined width. That is, even if the kerf width L deviates from the predetermined width due to the influence of the focusing performance of the laser beam or the like, the cutting processing conditions can be changed to eliminate the influence of the focusing performance or the like. Therefore, the cutting groove width is always kept constant, and the processing quality becomes uniform. Therefore, stable and uniform cutting can be performed.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、ワーク
の切断溝幅を検出し、その切断溝幅が所定幅に入るよう
に切断加工条件を制御する。このため、レーザビームの
集束性能等の影響を受けて、切断溝幅が所定幅から外れ
た場合でも、切断加工条件を変更させて、その集束性能
等の影響を排除することができる。したがって、切断溝
幅が常に一定に保持され、加工品質が均一となる。その
結果、安定して均質な切断加工を行うことができる。As described above, in the present invention, the cutting groove width of the workpiece is detected, and the cutting processing conditions are controlled so that the cutting groove width falls within the predetermined width. Therefore, even if the cutting groove width deviates from the predetermined width due to the influence of the laser beam focusing performance or the like, the cutting processing conditions can be changed to eliminate the influence of the focusing performance or the like. Therefore, the cutting groove width is always kept constant and the processing quality becomes uniform. As a result, stable and uniform cutting can be performed.
【図１】本発明のレーザ加工装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a laser processing apparatus of the present invention.
【図２】本発明のレーザ加工装置の構成を概念的に示す
図である。FIG. 2 is a diagram conceptually showing the structure of a laser processing apparatus of the present invention.
【図３】本発明の第２の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
【図４】カメラによるカーフ幅検出を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing kerf width detection by a camera.
【図５】ガス圧センサによるカーフ幅検出を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing kerf width detection by a gas pressure sensor.
１ レーザ発振器 １Ａ レーザ加工装置本体 ２ 伝播距離制御部 ３ 加工ヘッド ４ カーフ幅モニタ（溝幅検出手段） ５ ワーク ６ テーブル １０ 制御装置 １１ 溝幅判別手段 １２ 溝幅制御手段 ４１ カメラ ４２ 画像処理装置 ４３ ガス圧センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser oscillator 1A Laser processing apparatus main body 2 Propagation distance control section 3 Processing head 4 Calf width monitor (groove width detection means) 5 Workpiece 6 Table 10 Control device 11 Groove width determination means 12 Groove width control means 41 Camera 42 Image processing device 43 Gas pressure sensor
Claims (5)
工を行うレーザ加工装置において、 前記ワークの切断溝幅を検出する溝幅検出手段と、 前記切断溝幅が所定幅内にあるか否かを判別する溝幅判
別手段と、 前記切断溝幅が前記所定幅内にないとき前記切断溝幅が
前記所定幅内に入るように切断加工条件を変更し前記切
断溝幅を制御する溝幅制御手段と、 を有することを特徴とするレーザ加工装置。1. A laser processing apparatus for irradiating a work with a laser beam to perform a cutting process, and a groove width detecting means for detecting a cutting groove width of the work, and whether or not the cutting groove width is within a predetermined width. And a groove width control means for controlling the cutting groove width by changing cutting processing conditions so that the cutting groove width falls within the predetermined width when the cutting groove width is not within the predetermined width. A laser processing apparatus comprising:
像するカメラ及び前記カメラの撮像データを処理する画
像処理装置から構成されることを特徴とする請求項１記
載のレーザ加工装置。2. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the groove width detecting means is composed of a camera for imaging the cutting groove width and an image processing device for processing image data of the camera.
のアシストガス圧力を計測するガス圧センサであること
を特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。3. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the groove width detection means is a gas pressure sensor that measures the assist gas pressure at the processing nozzle outlet.
加工速度を変更することによって前記切断溝幅を制御す
ることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。4. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the groove width control means controls the cutting groove width by changing a cutting processing speed of the work.
の伝播距離を変更することによって前記切断溝幅を制御
することを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。5. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the groove width control means controls the cutting groove width by changing a propagation distance of the laser beam.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4160849A JP2680973B2 (en) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | Laser processing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4160849A JP2680973B2 (en) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | Laser processing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06673A true JPH06673A (en) | 1994-01-11 |
| JP2680973B2 JP2680973B2 (en) | 1997-11-19 |
Family
ID=15723735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4160849A Expired - Lifetime JP2680973B2 (en) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | Laser processing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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