JPH0667050A - リ−ドフレ−ムを用いるコンタクトを有する光学ウェ−ブガイド - Google Patents

リ−ドフレ−ムを用いるコンタクトを有する光学ウェ−ブガイド

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JPH0667050A
JPH0667050A JP5200136A JP20013693A JPH0667050A JP H0667050 A JPH0667050 A JP H0667050A JP 5200136 A JP5200136 A JP 5200136A JP 20013693 A JP20013693 A JP 20013693A JP H0667050 A JPH0667050 A JP H0667050A
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cladding layer
waveguide
core
optical
conductor
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Michael S Lebby
マイケル・エス・レビ−
Davis H Hartman
デイビス・エイチ・ハ−トマン
Shun-Meen Kuo
シュン・ミ−ン・クオ
Christopher K Y Chun
クリストファ−・ケイ・ワイ・チュン
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Motorola Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学デバイスの製造工程が実質的にいっそう
簡潔であり、また組立工程をより簡潔にする新規で改良
された光学ウェ−ブガイドを提供すること。 【構成】 モ−ルドされた電導体(30)を有するモ−
ルドされた光学ウェ−ブガイド(20)は、ウェ−ブガ
イドの1つの端部(35)に配置される光学デバイス
(50)に接触し、ウェ−ブガイドの露出した部分で光
学デバイスに対する外部電気アクセス(38)を提供す
る。ウェ−ブガイドおよび組立られた光学デバイスは、
配線回路基板などに搭載され、リ−ド・ワイヤによって
接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一般に光学デバイスを形
成する方法および装置に関し、特に光学デバイスと光学
ウェ−ブガイドを結合する方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光学デバイスと光学ウェ−ブガイ
ドとの結合は困難な作業であり、一般には手作業または
半自動化工程によって光学ウェ−ブガイドと光学デバイ
スとを相互接続または結合していた。概してこれらの方
法は複雑であり、非効率的であり、大量生産に適したも
のではない。光学デバイスをウェ−ブガイドに結合する
ことに関する主な問題は、光学デバイスとウェ−ブガイ
ドとの間を電気的または機構的に結合する方法および構
造に関するものである。
【0003】従来は、光学デバイスとウェ−ブガイドと
の結合は、光学デバイスを作動させ、注意深く手作業で
調整し、それらの間の光が最大になるように光学デバイ
スをウェ−ブガイドに結合していた。これは、一般にア
クティブ・アライメント(active alignm
ent)と呼ばれ、その後光学デバイスをウェ−ブガイ
ドに結合または固定する。しかし、手作業で光学デバイ
スとウェ−ブガイドを調整することによって、多くの問
題が生じる。たとえば、非常に集中力を要する業務にな
ること,コストがかかること,不正確なおよび/または
良好でないアラインメント等である。さらに、光学デバ
イスと光学ウェ−ブガイドとを共に結合する接着剤が硬
化すると、光学ウェ−ブガイドに対する光学デバイスの
アラインメントをずらし、光学デバイスからの光の伝達
を潜在的に非効率的なものにすることとなる。さらに、
もしアラインメントが十分でなくなると、使用できない
製品が製造され、コストは上昇し、生産能力も減少す
る。
【0004】また、光学デバイスを光学ウェ−ブガイド
に結合する間およびその後の処理過程の間に熱が発生す
る。その熱は、信頼性のある相互接続および信頼性のあ
る動作のために、除去することが望まれる。一般に、光
学デバイスを光学ウェ−ブガイドに結合する従来の装置
および方法は、相互接続の間およびその後の処理過程の
間に発生する熱を散逸させる適切な手段を含んではいな
かった。
【0005】したがって、光学デバイスをウェ−ブガイ
ドに結合する従来の方法では、厳しい制限を課すことと
なる。また、光学デバイスとウェ−ブガイドとの間の相
互結合を形成するために用いられる従来のプロセスは、
複雑で高価なものであるだけでなく、非効率的なプロセ
スである。したがって、光学デバイスと光学ウェ−ブガ
イドとを結合する方法および新規な結合が望まれてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電気的コン
タクトを有する新規で改良された光学ウェ−ブガイドを
提供することを目的とする。
【0007】本発明はさらに、光学デバイスの製造工程
が実質的にいっそう簡潔であり、また組立工程を実質的
により簡潔にする新規で改良された光学ウェ−ブガイド
を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】これらの課題および上述
した問題は、以下に述べる光学ウェ−ブガイドを実現す
ることによって解決される。光学ウェ−ブガイドは、そ
の第1クラッド層と、前記第1クラッド層に重なるよう
に形成される第2クラッド層と、前記第1,第2クラッ
ド層の間に配置されてその結果実質的に包囲される光伝
導コアであって、前記コアは前記ウェ−ブガイドの反対
側の端部で光学的にアクセス可能な第1,第2端部を有
する光伝導コアと、前記コアの前記第1端部に隣接する
ウェ−ブガイドの端部内に配置される外部アクセス可能
なコンタクトおよび前記第1クラッド層の外部表面上に
配置される外部アクセス可能な部分と共に前記第1クラ
ッド層内に形成される第1電導体とを含む光学ウェ−ブ
ガイドである。
【0009】上述した課題および問題は、また以下に述
べる以下に述べる電気的コンタクトを有する光学ウェ−
ブガイドを形成する方法を実行することにより解決され
る。その方法は、内側表面を有する第1クラッド層およ
び前記クラッド層内に配置される第1電導体をモ−ルド
する段階であって、前記第1電導体は前記第1クラッド
層の端部に配置される外部アクセス可能なコンタクトお
よび前記第1クラッド層の外部表面上に配置される外部
アクセス可能な部分を有する第1クラッド層をモ−ルド
する段階と、内側表面においてチャネルを有する第2ク
ラッド層をモ−ルドする段階と、第2クラッド層の前記
内側表面に重なるように前記第1クラッド層の前記内側
表面を形成し、前記第1および第2クラッド層の間に配
置されてその結果実質的に包囲される光電導コアを形成
する段階であって、前記コアは前記第1電導体の前記外
部アクセス可能なコンタクトに隣接して配置される前記
第1端部と共に前記ウェ−ブガイドの反対側の端部で光
学的にアクセス可能な第1および第2端部を有する前記
第1クラッド層の前記内側表面を形成する段階とを含む
方法である。
【0010】
【実施例】図1はモ−ルドされたウェ−ブガイド10の
端部を示すものである。モ−ルドされたウェ−ブガイド
10は第1クラッド層12,第2クラッド層14および
コア15からなる。第2クラッド層14は内側表面内の
軸方向に伸びるチャネルと共にモ−ルドされ、そのチャ
ネルは処理されていないコア材料をその中に受けるよう
に設計される。一般に、モ−ルドされた第1クラッド層
12および第2クラッド層の内側表面は、光学的に透明
である材料によって結合され、その材料はウェ−ブガイ
ド10のコア15を形成し、接着剤(adhesiv
e)としてまたは光学的に透明なポリマとして働く。光
学的に透明な材料は一般にいくつかの材料のうちの1つ
であり、例えばエポキシ,プラスチック,ポリイミド等
である。一般にこれらの光学的に透明な材料の屈折率
は、1.54から1.58の範囲である。光学ウェ−ブ
ガイドを形成するためコア15の屈折率はクラッド層1
2,14の屈折率より少なくとも0.01大きくする必
要がある。
【0011】モ−ルドされたウェ−ブガイド10の本実
施例では、第1クラッド層12の内側表面を第2クラッ
ド層14の内側表面に結合するためにエポキシが用いら
れている。エポキシを適用することは、第1クラッド層
12のチャネルを完全に充填し、コア15を形成するよ
うに行われる。その結果コア15は、クラッド層12,
14によって完全に包囲されるので、コア15は光また
は光信号を伝導させるために優れた特性を有することと
なる。これらの優れた特性は、高速通信装置を支援する
ことに使用され、例えばチップからチップへの通信,ボ
−ドからチップへの通信,ボ−ドからボ−ドへの通信,
コンピュ−タからコンピュ−タへの通信などである。さ
らに、モ−ルドされたウェ−ブガイド10においてクラ
ッド層12,14の屈折率を適合させるとより有用性が
増進する。
【0012】一般にエポキシは様々な方法で硬化され
る。たとえば空気乾燥,紫外線にさらすもの,熱を用い
るものなどがある。特定の硬化させる方法を選択するこ
とは特定の製品に依存し、更には第1,第2クラッド層
12,14を形成するために用いられる接着剤またはク
ラッド材料を選択することに依存する。
【0013】例をもって示せば、第1クラッド層および
第2クラッド層14は透明なエポキシ・モ−ルド化合物
を目的に応じて提供されたモ−ルド(図には示されてい
ない)に注入することによって形成される。これにはた
とえばDexter社の商品HYSOLが利用可能であ
る。モ−ルドの温度は150℃ないし175℃の範囲内
であり、好適な温度範囲は摂氏160度ないし摂氏16
5度である。モ−ルドをモ−ルドする圧力の範囲は、5
00psiないし1000psiであり、好適な圧力の
範囲は1平方インチ当り750ポンドないし1平方イン
チ当り800ポンドである。一般に転移時間の範囲は1
50℃の温度で30ないし50秒であり、175℃の温
度で20ないし30秒である。硬化時間の範囲は一般に
150℃で3ないし5分であり、175℃の温度で2か
ら4分である。
【0014】硬化する工程の後、第1クラッド層12お
よび第2クラッド層14はモ−ルドから取り除かれる。
一般に、ポスト・キュア(post−cure)工程
は、HYSOL材料が最大の物理的および電気的特性で
接着するために必要である。この工程は一般に摂氏15
0℃で約2ないし4時間続く。ポスト・キュア工程の
後、第1クラッド層12および第2クラッド層14は約
1.52の屈折率を有するようになる。
【0015】モ−ルドおよび硬化の処理がなされ、更に
そのモ−ルドからクラッド層12およびクラッド層14
が除去されると、第1クラッド層および第2クラッド層
12,14は組立準備に入る。組立は、クラッド層の1
つの内側表面に、光学的に透明な接着剤を適用すること
によって行われる。その光学的に透明な接着剤の屈折率
は第1,第2クラッド層12,14を形成する材料より
少なくとも0.01高くする必要がある。この特定の実
施例においては、エポキシ・テクノロジ社(EPOXY
TECHNOLOGY INC)の商品EPO−TE
K301−2を用いて光学的に透明なエポキシを適用し
ている。一般に、接着剤が第1クラッド層12の内側表
面に適用された後、第2クラッド層14の内側表面は第
1クラッド層12の内側表面に対して圧力がかけられ、
その結果チャネルを圧縮して充填し、第1クラッド層1
2と第2クラッド層14を共に接着する。
【0016】エポキシを接着するための硬化時間は温度
に依存する。たとえば、室温では硬化時間は2日であ
り、摂氏80℃では硬化時間は1.5時間である。モ−
ルドおよびモ−ルドされたウェ−ブガイド10の構造に
関する更なる情報は、シリアル番号07/889,33
5の現在係属している米国特許出願”Molded w
aveguide and method for M
aking Same”に記載されており、これは19
92年5月28日に出願され、本発明と同じ譲受人に譲
渡されている。
【0017】図2,3,4は、電気的結合部と共に描か
れたモ−ルドされたウェ−ブガイド20である。光学ウ
ェ−ブガイド20は第1クラッド層22および第2クラ
ッド層24を含み、上述したようにそれらの間に配置さ
れたコア25を含む。さらに、第2クラッド層24は最
下面に配置されるグランド・プレ−ン(groundp
lane)すなわち接地導体を有する。また、複数の電
気的導体30は、本実施例では各々のコア25につき1
つであり、例えば柔軟性のあるリ−ドフレ−ムのとして
提供され、そのリ−ドフレ−ムは半導体技術の分野では
周知のものである。接地導体26および導体30は、
銅,アルミニウム,金,銀などの適切な電気導電性材料
のうちの1つである。
【0018】図3,4において見られるように電気的導
体30は第1クラッド層22内にモ−ルドされ、その各
々は第1端部を有し、モ−ルドされた光学ウェ−ブガイ
ド20の端部35において電気的にアクセス可能なコン
タクト32を形成する。電気的導体30は第1クラッド
層22のバルク(bulk)内に伸び、37において直
角に2回折り曲げられ、各電気的導体30の一部分38
が第1クラッド層22の上部表面上に横たわるように形
成され、外部と電気的に結合することが可能になる。第
1クラッド層22の上部表面内の部分38は、その用途
ならびに形成される外部電気結合部の配置および種類に
依存する。
【0019】接地導体26は、銅,アルミニウム,金,
銀などの電気導電性材料の層である。接地導体26は、
クラッド層24の中にまたはクラッド層に沿って、クラ
ッド層が形成された後にクラッド層24上に堆積され
る。さらに、接地導体26は本実施例においてはグラン
ド・プレ−ンとして参照される。しかし、ある特定の製
品では接地導体26は第2クラッド層24内にモ−ルド
され、電導体30と同様な複数の個々の導体を含むこと
も可能であることは当業者にとって明らかであろう。何
れの場合も、接地導体26は一般に第2クラッド層24
の端部40内に配置された外部アクセス可能な電気的コ
ンタクト39を含む。その端部40は第1クラッド層2
2の端部35と同一面内にあり、両者は光学ウェ−ブガ
イド20の第1端部を決定することになる。また、接地
導体26は一般に第2クラッド層24の外部表面におい
て電気的に外部アクセス可能な部分42を含む。
【0020】図3,4では、光学ウェ−ブガイド20の
第1端部41に固定された光学アレイ50が描かれてい
る。その光学アレイ50は少なくとも1つの光学デバイ
スを含む。本実施例にあっては、光学アレイ50は5つ
の光学デバイス52を含む。光学デバイス52は当該業
界で知られたデバイスの1つであり、例えば光検出ダイ
オ−ド,光放出ダイオ−ド,縦型空洞表面放出レ−ザ−
(verticalcavity surface e
mitting lasers),その他レ−ザ−に関
する装置,電界放出デバイス(field emitt
ion device)等である。各々の光学デバイス
52は、光学アレイ50の表面55内に配置される光学
入力/出力54を含む。各々の光学入力/出力54は、
個々のコア25の1つと共に調整され、調整されたコア
25を伝播する光は光学デバイス52の入力/出力54
に入射する。あるいは光学デバイス52によって発せら
れた光は入力/出力54から放たれ、調整されたコア2
5に入射し、反対側の端部に達することとなる。
【0021】各々の光学デバイス52は、光学アレイ5
0の表面55内に配置される、互いに離れた1組の電気
端子を有し、その端子の1つは調整されたコア25に隣
接する、または関連するコンタクト32に結合する。他
の端子は接地導体26のコンタクト39に結合する。各
々の光学デバイス52の電気端子は、導電性エポキシ,
ハンダ,ハンダペ−スト等の溶融するまたはリフロ可能
な結合材料によって、44および45(図3)におい
て、調整されたコア25に隣接するまたは関連するコン
タクト32,39に結合される。一般に、電導体30は
クラッド層22内にモ−ルドされ、接地導体26はクラ
ッド層24内にまたはその表面上に堆積されるので、コ
ンタクト32,39の配置は十分に正確なものとなり、
各光学デバイスの1組の端子52を単に固定することに
よって、コア25と共に光学入力/出力54を十分に調
整することが可能になる。その固定する工程は手作業で
行うことが可能であり、また用途に応じて現在用いられ
ている装置と共に行うことも可能である。
【0022】光学アレイ50が光学ウェ−ブガイド20
に物理的および電気的に結合されると、装置全体は例え
ば配線回路基板上に表面実装され、または半導体チップ
等と共にハイブリッド実装(hybrid packa
ge)することも可能である。光学デバイス52に対す
る電気的結合部52は、いくつかの有用な手段により形
成され、例えば外部電気アクセス可能な部分38とコン
タクトまたはボンディング・パッドとの間のワイヤ・ボ
ンディングである。一般に、接地導体26に対する単独
のコンタクトは、光学デバイス52全体の反対側に対す
る結合を与える。
【0023】光学ウェ−ブガイド20に対する電気的コ
ンタクトを提供することに加えて、電導体30およびグ
ランド・プレ−ン26は、組立工程または動作中に光学
アレイ50から生じる熱を伝導させるヒ−ト・シンクと
しても機能することに留意すべきである。断面の大き
さ,電導体30および接地導体26の長さ、更には電導
体30の部分38および接地導体26の部分42の長さ
は、用途に応じて、多かれ少なかれ熱を伝達できるよう
に選択される。また、本来の組立工程の間、リフロまた
は溶融する際の熱を除去するため、外部ヒ−ト・シンク
を部分38,42と共にコンタクト内に配置することが
可能である。
【0024】リ−ドフレ−ムを介する電気信号の高速動
作に対しては、電導体の長さはその信号速度に依存して
選択する必要がある。そのような製品では、電導体の長
さはモ−ルドされたクラッド層またはその電導体の長さ
よりも短くすることが可能であり、モ−ルドされたクラ
ッド層は許容範囲の長さだけ短くすることが可能であ
る。たとえば電導体の長さは、そのクラッド層の高さ
(コアから外部表面までの距離)とほぼ同一にすること
が可能である。そのような製品では、より小さな電導体
を使用することが有用であり、例えばその範囲は1ない
し2ミリである。また他の製品では、インダクタンスを
減少させることが必要であり、係る場合は例えば電導体
は断面よりも大きく形成される。
【0025】図5は、電気コンタクトを有するモ−ルド
されたウェ−ブガイドの他の実施例を示す。本実施例で
は、電導体62は上述したものと同様に第1クラッド層
64内にモ−ルドされる。しかし本実施例では、電導体
62は連続的に曲げられており。領域66で示される部
分から始まって、クラッド層64の端部68まで続いて
いる。2回直角に曲げられている図2ないし図4に示す
実施例では、電導体62にストレスをかけすぎることと
なる場合に、本実施例が有用である。種々の電導体およ
びその形状は、用いられている材料および光学ウェ−ブ
ガイドの用途に応じて、開示されたウェ−ブガイドに用
いることが可能であることは、当業者にとって明らかで
あろう。
【0026】図6は、図2のモ−ルドされた光学ウェ−
ブガイドを形成する1つの方法における、中間段階での
断面図である。この方法を用いると、2つのモ−ルドさ
れたクラッド層は1つのリ−ドフレ−ムから同時に形成
される。この形成方法は、リ−ドフレ−ムの折れ曲がり
(fold)に対して均整のとれたストレスを提供し、
さらには導体間の間隔を精密かつ一定に維持する。リ−
ドフレ−ムがクラッド層内にモ−ルドされると、そのク
ラッド層は、ソ−(saw)または同様な装置によっ
て、「カット」で示される矢印のところで切断される。
【0027】図7は、図2のモ−ルドされた光学ウェ−
ブガイドを形成する他の方法における、中間段階での断
面図である。この方法では、2つの離れた位置で1つの
リ−ドフレ−ムが再度折り畳まれ、または曲げられてい
る。そのリ−ドフレ−ムは、たとえば2つの別々のモ−
ルド内において、2つの別々のクラッド層内にモ−ルド
される。その2つのクラッド層は、「カット」で示され
る2つの矢印のところで、そのリ−ドフレ−ムを切断す
ることによって分離される。
【0028】
【発明の効果】以上本発明によれば、製造工程がより簡
潔で正確な新規で改良された、電気的接続を有するモ−
ルドされた光学ウェ−ブガイドが開示され、光学ウェ−
ブガイドに関する後の工程も実質的に簡単になる。その
電気的接続はウェ−ブガイドがモ−ルドされるのと同時
にウェ−ブガイド内にモ−ルドされるので、そのコンタ
クトはより正確なものとなり、また、より配置しやすい
ものとなる。その電気的コンタクトは正確に配置される
ので、後の組立工程は装置(ロボットなど)を用いて行
うことが可能であり、光学デバイスとウェ−ブガイドの
コアを光学的に調整するよりも、その電気的コンタクト
の信頼性の方が高いものになる。さらに、開示された光
学ウェ−ブガイドは、組立工程中のダメ−ジを減少させ
るヒ−ト・シンクをも提供し、信頼性のある動作および
効率的な動作を与える。
【図面の簡単な説明】
【図1】モ−ルドされた光学ウェ−ブガイドの端部を示
す。
【図2】本発明による電気的結合部を有するモ−ルドさ
れた光学ウェ−ブガイドの断面図を示す。
【図3】電気的および光学的に結合された光学デバイス
について、図2の線3−3で示される部分の断面図であ
る。
【図4】図3のモ−ルドされた光学ウェ−ブガイドおよ
び光学デバイスの斜視図である。
【図5】モ−ルドされた光学ウェ−ブガイドの他の実施
例の図3に対応する断面図を示す。
【図6】図2のモ−ルドされた光学ウェ−ブガイドを形
成する1つの方法における、中間段階での断面図であ
る。
【図7】図2のモ−ルドされた光学ウェ−ブガイドを形
成する他の方法における、中間段階での断面図である。
【符号の説明】
10 モ−ルドされた光学ウェ−ブガイド 12 第1クラッド層 14 第2クラッド層 15 コア 20 モ−ルドされた光学ウェ−ブガイド 22 第1クラッド層 24 第2クラッド層 25 コア 26 接地導体 30 電導体 32,38,39,42 コンタクト 35,40,41 端部 50 光学アレイ 52 光学デバイス 54 光学入力/出力 55 光学アレイの表面 62 電導体 64 第1クラッド層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デイビス・エイチ・ハ−トマン アメリカ合衆国アリゾナ州フェニックス、 サウス・17番・ストリ−ト16435 (72)発明者 シュン・ミ−ン・クオ アメリカ合衆国アリゾナ州チャンドラ−、 ウェスト・ギャリ−・ドライブ5943 (72)発明者 クリストファ−・ケイ・ワイ・チュン アメリカ合衆国アリゾナ州メサ、ナンバ− 2006・サウス・ロングモア843

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1クラッド層(22);前記第1クラ
    ッド層に重なるように形成される第2クラッド層(2
    4);前記第1,第2クラッド層の間に配置されてその
    結果実質的に包囲される光伝導コア(25)であって、
    前記コアは前記ウェ−ブガイドの反対側の端部で光学的
    にアクセス可能な第1,第2端部を有する光伝導コア
    (25);および前記コアの前記第1端部に隣接するウ
    ェ−ブガイドの端部(35)内に配置される外部アクセ
    ス可能なコンタクト(32)および前記第1クラッド層
    の外部表面上に配置される外部アクセス可能な部分(3
    8)と共に前記第1クラッド層内に形成される第1電導
    体(30);から構成されることを特徴とする光学ウェ
    −ブガイド。
  2. 【請求項2】 第1表面(55)上に配置される光学的
    入力/出力(54)および電気的端子(45)を有する
    光学デバイス(50);第1クラッド層(22),前記
    第1クラッド層に重なるように形成される第2クラッド
    層(24),前記第1および第2クラッド層の間に配置
    されてその結果実質的に包囲される光伝導コア(25)
    であって、前記コアは前記ウェ−ブガイドの反対側の端
    部で光学的にアクセス可能な第1および第2端部を有す
    る光伝導コア(25),前記コアの前記第1端部に隣接
    するウェ−ブガイドの端部(35)内に配置される外部
    アクセス可能なコンタクト(32)および前記第1クラ
    ッド層の外部表面上に配置される外部アクセス可能な部
    分(38)と共に前記第1クラッド層内に形成される第
    1電導体(30)を含む光学ウェ−ブガイド(20);
    および前記外部アクセス可能なコンタクト(32)と共
    に電気的コンタクトにおいて前記コア(25)の前記第
    1端部および前記電気的端子(45)と共に実質的に調
    節された前記光学入力/出力(54)を有する前記光学
    デバイス(50)を前記ウェ−ブガイドの前記端部(3
    5)に結合させる手段(44,45);から構成される
    ことを特徴とする光学ウェ−ブガイドに結合された光学
    デバイス。
  3. 【請求項3】 内側表面を有する第1クラッド層(2
    2)と、前記クラッド層内に配置される第1電導体(3
    0)とをモ−ルドする段階であって、前記第1電導体は
    前記第1クラッド層の端部(35)に配置される外部ア
    クセス可能なコンタクト(32)および前記第1クラッ
    ド層の外部表面上に配置される外部アクセス可能な部分
    (38)を有する第1クラッド層(22)をモ−ルドす
    る段階;内側表面においてチャネルを有する第2クラッ
    ド層(24)をモ−ルドする段階;および第2クラッド
    層の前記内側表面に重なるように前記第1クラッド層の
    前記内側表面を形成し、前記第1および第2クラッド層
    の間に配置されてその結果実質的に包囲される光電導コ
    ア(25)を形成する段階であって、前記コアは前記第
    1電導体(30)の前記外部アクセス可能なコンタクト
    (32)に隣接して配置される前記第1端部と共に前記
    ウェ−ブガイドの反対側の端部で光学的にアクセス可能
    な第1および第2端部を有する前記第1クラッド層の前
    記内側表面を形成する段階;から構成されることを特徴
    とする電気的コンタクトを有する光学ウェ−ブガイドを
    形成する方法。
JP5200136A 1992-07-27 1993-07-21 リ−ドフレ−ムを用いるコンタクトを有する光学ウェ−ブガイド Pending JPH0667050A (ja)

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