JPH0667045A - 光学装置及びその製造方法 - Google Patents
光学装置及びその製造方法Info
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- JPH0667045A JPH0667045A JP24588592A JP24588592A JPH0667045A JP H0667045 A JPH0667045 A JP H0667045A JP 24588592 A JP24588592 A JP 24588592A JP 24588592 A JP24588592 A JP 24588592A JP H0667045 A JPH0667045 A JP H0667045A
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- optical
- optical device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造が容易であり、しかも光源チップから発
せられるレーザー光を効率良く光導波路に導くことがで
きる光学装置を得る。 【構成】 基板２７の表面のバッファ層３０に、レーザ
ー光を出射する光源チップ２６が接着されて固定されて
いる。バッファ層３０と光源チップ２６は光導波路２８
に覆われている。光源チップ２６のレーザー光出射面２
６ａに対向する部分では、光導波路２８に曲面部２８ｂ
が形成され、この曲面部２８ｂによりレーザー光が効率
よく導波路内に導かれるようになる。
せられるレーザー光を効率良く光導波路に導くことがで
きる光学装置を得る。 【構成】 基板２７の表面のバッファ層３０に、レーザ
ー光を出射する光源チップ２６が接着されて固定されて
いる。バッファ層３０と光源チップ２６は光導波路２８
に覆われている。光源チップ２６のレーザー光出射面２
６ａに対向する部分では、光導波路２８に曲面部２８ｂ
が形成され、この曲面部２８ｂによりレーザー光が効率
よく導波路内に導かれるようになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば光集積回路、通
信用デバイス、光ジャイロや光ピックアップ等に用いら
れる光学装置に関する。
信用デバイス、光ジャイロや光ピックアップ等に用いら
れる光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からレーザー光源から出射されたレ
ーザー光を外部に導くための種々の光学装置がある。図
７乃至図９に従来の光学装置の構造を示す。図７に示す
光学装置１は、マルチモードのレーザー光を出射する半
導体レーザー２と、この半導体レーザー２から出射され
たレーザー光を入力される光導波路５と、この光導波路
５が表面に形成された基板６とを備えたものである。上
記半導体レーザー２は、活性層４と、この活性層４の図
示上下面に形成されたクラッド３ａ，３ｂとを備えたも
のであり、レーザー光は活性層４の図示右端面から出射
される。このレーザー光を出射する活性層４が上記光導
波路５の図示左端面に密着されており、これによりレー
ザー光を光導波路５内に導くようにしている。
ーザー光を外部に導くための種々の光学装置がある。図
７乃至図９に従来の光学装置の構造を示す。図７に示す
光学装置１は、マルチモードのレーザー光を出射する半
導体レーザー２と、この半導体レーザー２から出射され
たレーザー光を入力される光導波路５と、この光導波路
５が表面に形成された基板６とを備えたものである。上
記半導体レーザー２は、活性層４と、この活性層４の図
示上下面に形成されたクラッド３ａ，３ｂとを備えたも
のであり、レーザー光は活性層４の図示右端面から出射
される。このレーザー光を出射する活性層４が上記光導
波路５の図示左端面に密着されており、これによりレー
ザー光を光導波路５内に導くようにしている。
【０００３】図８に示す光学装置は、上記図７に示す光
導波路５の図示上面にグレーティング７が加工形成され
たもので、このグレーティング７に向けて上部からレー
ザー光を照射し、グレーティング７によりレーザー光を
回折させるようにして光導波路５内に導くものである。
図９に示す光学装置は、図７や図８に示す光導波路５上
にプリズム８を所定寸法のギャップＧを保持して配置
し、プリズム８の入射面８ａからレーザー光を入射し
て、これにより発生するエバネッセント波を光導波路５
に導くようにしたものである。これは、エバネッセント
波を利用したものである。
導波路５の図示上面にグレーティング７が加工形成され
たもので、このグレーティング７に向けて上部からレー
ザー光を照射し、グレーティング７によりレーザー光を
回折させるようにして光導波路５内に導くものである。
図９に示す光学装置は、図７や図８に示す光導波路５上
にプリズム８を所定寸法のギャップＧを保持して配置
し、プリズム８の入射面８ａからレーザー光を入射し
て、これにより発生するエバネッセント波を光導波路５
に導くようにしたものである。これは、エバネッセント
波を利用したものである。
【０００４】ところで、上記図７，図９に示す構造を備
えた各光学装置では、半導体レーザー２の位置合わせや
プリズム８と光導波路５とのギャップＧの寸法設定が困
難であるという欠点がある。さらに、図９に示す光学装
置ではプリズム８等を用いる必要から、構造が複雑にな
るとともに大型化を余儀なくされ、近年の小型化の要求
には応えられるものではない。
えた各光学装置では、半導体レーザー２の位置合わせや
プリズム８と光導波路５とのギャップＧの寸法設定が困
難であるという欠点がある。さらに、図９に示す光学装
置ではプリズム８等を用いる必要から、構造が複雑にな
るとともに大型化を余儀なくされ、近年の小型化の要求
には応えられるものではない。
【０００５】また、図８に示す光学装置では、グレーテ
ィング７を光導波路５上に形成する必要があるが、この
グレーティング７のパターン形状や寸法は光結合効率に
影響するために精密に形成する必要があり、このため高
度な加工技術を必要とする。また、上記各光学装置で
は、外部に配置された光源からレーザー光を照射する構
造となっているために、光の反射、散乱等によって光の
結合効率が著しく低下するという共通の欠点があった。
ィング７を光導波路５上に形成する必要があるが、この
グレーティング７のパターン形状や寸法は光結合効率に
影響するために精密に形成する必要があり、このため高
度な加工技術を必要とする。また、上記各光学装置で
は、外部に配置された光源からレーザー光を照射する構
造となっているために、光の反射、散乱等によって光の
結合効率が著しく低下するという共通の欠点があった。
【０００６】上記各光学装置の欠点を解決するために図
１０に示す構造を備えた光学装置が提案されている。図
示光学装置１０は、シリコン基板１２と、このシリコン
基板１２上に形成されたエッチング停止層２０と、活性
層１５の上下面にクラッド１３，１４が形成された半導
体レーザー２１と、この半導体レーザー２１の図示下側
クラッド１３の右側面に密着して形成された酸化シリコ
ン（ＳｉＯ2）製のバッファ層１６と、このバッファ層
１６の上面及び半導体レーザー２１のレーザー光の出射
端面２１ａを覆うように形成されたポリイミド等で形成
された光導波路１１とを備えたものである。なお、図中
１８，１９は電極であり、１７はＣＡＰである。この光
学装置１０では、バッファ層１６の厚さにより光の結合
効率を制御している。
１０に示す構造を備えた光学装置が提案されている。図
示光学装置１０は、シリコン基板１２と、このシリコン
基板１２上に形成されたエッチング停止層２０と、活性
層１５の上下面にクラッド１３，１４が形成された半導
体レーザー２１と、この半導体レーザー２１の図示下側
クラッド１３の右側面に密着して形成された酸化シリコ
ン（ＳｉＯ2）製のバッファ層１６と、このバッファ層
１６の上面及び半導体レーザー２１のレーザー光の出射
端面２１ａを覆うように形成されたポリイミド等で形成
された光導波路１１とを備えたものである。なお、図中
１８，１９は電極であり、１７はＣＡＰである。この光
学装置１０では、バッファ層１６の厚さにより光の結合
効率を制御している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の構造を備えた光
学装置１０では、上記図７乃至図９に示す各光学装置で
は得られない、ほぼ８０％以上の光結合効率を得ること
ができるという利点を備えている。このような構造を備
えた光学装置１０は、シリコン基板１２上に半導体レー
ザー２１を形成し、次にバッファ層１６としての酸化シ
リコン層（ＳｉＯ2）を形成し、さらにこのバッファ層
１６上に光導波路１１を一連の工程で製造することが要
求される。しかしながら、上記各製造工程やバッファ層
１６等の厚み寸法の精度等はそれぞれが精密かつ微細で
高度な加工技術を必要とし、このため製造工程が複雑と
なっている。
学装置１０では、上記図７乃至図９に示す各光学装置で
は得られない、ほぼ８０％以上の光結合効率を得ること
ができるという利点を備えている。このような構造を備
えた光学装置１０は、シリコン基板１２上に半導体レー
ザー２１を形成し、次にバッファ層１６としての酸化シ
リコン層（ＳｉＯ2）を形成し、さらにこのバッファ層
１６上に光導波路１１を一連の工程で製造することが要
求される。しかしながら、上記各製造工程やバッファ層
１６等の厚み寸法の精度等はそれぞれが精密かつ微細で
高度な加工技術を必要とし、このため製造工程が複雑と
なっている。
【０００８】そこで本発明は、高い光結合効率を実現し
つつも、容易に製造可能な光学装置及びその製造方法の
提供を目的とする。
つつも、容易に製造可能な光学装置及びその製造方法の
提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による光学装置
は、レーザー光を出射する光源と、この光源が搭載され
た基板と、この基板上に形成され、光源から出射された
レーザー光を導く光導波路とを備えた光学装置におい
て、上記光導波路は、少なくとも光源のレーザー光出射
面を覆うように曲面形状に隆起して形成されているもの
である。
は、レーザー光を出射する光源と、この光源が搭載され
た基板と、この基板上に形成され、光源から出射された
レーザー光を導く光導波路とを備えた光学装置におい
て、上記光導波路は、少なくとも光源のレーザー光出射
面を覆うように曲面形状に隆起して形成されているもの
である。
【００１０】またこの光学装置の製造方法は、レーザー
光を出射する完成された光源チップを基板上に貼着し、
この光源チップのレーザー光出射面を覆う部分を曲面形
状に隆起させて光導波路を形成するものである。さらに
詳しくは、光源チップを基板上に貼着し、この基板上に
光導波路用材料を遠心力によって基板上に拡散させ、光
源チップの出射面を覆う部分が曲面形状となる光導波層
を形成するものである。
光を出射する完成された光源チップを基板上に貼着し、
この光源チップのレーザー光出射面を覆う部分を曲面形
状に隆起させて光導波路を形成するものである。さらに
詳しくは、光源チップを基板上に貼着し、この基板上に
光導波路用材料を遠心力によって基板上に拡散させ、光
源チップの出射面を覆う部分が曲面形状となる光導波層
を形成するものである。
【００１１】
【作用】上記光学装置は、光源が光導波路に埋設された
状態で一体的に形成されているので、光源を外部に設け
た場合のように光導波路との位置調整等が不要となる。
また光源から出射されるレーザー光は、その出射面を覆
う光導波路の曲面により効率よく光導波路内に導かれ
る。
状態で一体的に形成されているので、光源を外部に設け
た場合のように光導波路との位置調整等が不要となる。
また光源から出射されるレーザー光は、その出射面を覆
う光導波路の曲面により効率よく光導波路内に導かれ
る。
【００１２】また光学装置の製造方法では、完成された
光源チップを基板上に貼着し、この光源チップのレーザ
ー光出射面を覆う部分を曲面形状に隆起させるようにし
て光導波路を形成するため、その製造作業も容易であ
る。この光導波路の成形は例えば遠心力により光導波路
用材料を拡散させることにより実現できる。
光源チップを基板上に貼着し、この光源チップのレーザ
ー光出射面を覆う部分を曲面形状に隆起させるようにし
て光導波路を形成するため、その製造作業も容易であ
る。この光導波路の成形は例えば遠心力により光導波路
用材料を拡散させることにより実現できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、一実施例としての光学装置の構造を示す正
面図、図２は図１に示す光学装置の製造工程の一部を示
す説明図である。図示光学装置２５は、レーザー光を出
射する光源チップ２６と、この光源チップ２６が固定さ
れた基板２７と、この基板２７上に形成され、光源チッ
プ２６から出射されたレーザー光を導く光導波路２８と
を備えたものである。上記光源チップ２６は、レーザー
光出射面２６ａと、このレーザー光出射面２６ａの図示
上下面に形成されたクラッド２６ｂ，２６ｃとが予め積
層されて完成状態となっている物である。
る。図１は、一実施例としての光学装置の構造を示す正
面図、図２は図１に示す光学装置の製造工程の一部を示
す説明図である。図示光学装置２５は、レーザー光を出
射する光源チップ２６と、この光源チップ２６が固定さ
れた基板２７と、この基板２７上に形成され、光源チッ
プ２６から出射されたレーザー光を導く光導波路２８と
を備えたものである。上記光源チップ２６は、レーザー
光出射面２６ａと、このレーザー光出射面２６ａの図示
上下面に形成されたクラッド２６ｂ，２６ｃとが予め積
層されて完成状態となっている物である。
【００１４】上記基板２７は、シリコン製の基層２９上
に、蒸着等により形成された酸化シリコン（ＳｉＯ2）
によるバッファ層３０が設けられたものであり、上記光
源チップ２６はバッファ層３０上に、接着剤等によって
貼着されている。上記光導波路２８はたとえばポリイミ
ドやＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリル酸メチル）等の光
導波路用材料であり、本実施例では光源チップ２６を埋
設するようにバッファ層３０上に薄膜状に形成されてい
る。この光導波路２８は、光源チップ２６のレーザー光
出射面２６ａに対向する部分が曲面形状に隆起し曲面部
２８ａ，２８ｂが形成されている。
に、蒸着等により形成された酸化シリコン（ＳｉＯ2）
によるバッファ層３０が設けられたものであり、上記光
源チップ２６はバッファ層３０上に、接着剤等によって
貼着されている。上記光導波路２８はたとえばポリイミ
ドやＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリル酸メチル）等の光
導波路用材料であり、本実施例では光源チップ２６を埋
設するようにバッファ層３０上に薄膜状に形成されてい
る。この光導波路２８は、光源チップ２６のレーザー光
出射面２６ａに対向する部分が曲面形状に隆起し曲面部
２８ａ，２８ｂが形成されている。
【００１５】この曲面部２８ａ，２８ｂの形状として
は、レーザー光出射面２６ａから出射されるレーザー光
が光導波路２８に高い効率で導かれるような形状であれ
ばよい。この曲面２８ａ，２８ｂは、光導波路材料が凝
固する前の表面張力により自然に形成された形状でよ
く、光導波路材料の粘度や成分比、凝固速度などを管理
することにより、最適な曲面形状の設定できる。上記光
導波路２８内にレーザー光を導くためには、光導波路２
８の屈折率をｎfとし、バッファ層３０の屈折率をｎsと
したときに、ｎf＞ｎsであることが必要である。以上の
構造を備えた光学装置では、光源チップ２６の出射面２
６ａから出射されたレーザー光は、曲面部２８ｂにより
屈折されて光導波路２８内に効率良く導かれる。
は、レーザー光出射面２６ａから出射されるレーザー光
が光導波路２８に高い効率で導かれるような形状であれ
ばよい。この曲面２８ａ，２８ｂは、光導波路材料が凝
固する前の表面張力により自然に形成された形状でよ
く、光導波路材料の粘度や成分比、凝固速度などを管理
することにより、最適な曲面形状の設定できる。上記光
導波路２８内にレーザー光を導くためには、光導波路２
８の屈折率をｎfとし、バッファ層３０の屈折率をｎsと
したときに、ｎf＞ｎsであることが必要である。以上の
構造を備えた光学装置では、光源チップ２６の出射面２
６ａから出射されたレーザー光は、曲面部２８ｂにより
屈折されて光導波路２８内に効率良く導かれる。
【００１６】次に上記光学装置の製造方法の一例を図２
により説明する。図中３１は、少なくともいずれか一方
に回転駆動される回転台である。この回転台３１の図示
上部は、光導波路２８が形成される前の、光源チップ２
６と基板２７とが一体となった半完成状態の光学装置２
５′が設置される。光導波路２８が形成されていない半
完成状態の光学装置２５′の載置位置としては、遠心力
により上記光源チップ２６のレーザー光出射面２６ａの
前方に、光導波路の曲面部２８ｂが最適な形状で形成さ
れる位置を選ぶ。図２では、一例として光学装置２５′
が回転台３１の縁部に設置されている。
により説明する。図中３１は、少なくともいずれか一方
に回転駆動される回転台である。この回転台３１の図示
上部は、光導波路２８が形成される前の、光源チップ２
６と基板２７とが一体となった半完成状態の光学装置２
５′が設置される。光導波路２８が形成されていない半
完成状態の光学装置２５′の載置位置としては、遠心力
により上記光源チップ２６のレーザー光出射面２６ａの
前方に、光導波路の曲面部２８ｂが最適な形状で形成さ
れる位置を選ぶ。図２では、一例として光学装置２５′
が回転台３１の縁部に設置されている。
【００１７】光学装置２５′が複数個設置された回転台
３１の上面に、凝固前の光導波路用材料２８′を滴下
し、回転台３１を回転させる。この回転に伴う遠心力に
よって、光導波路用材料２８′は回転中心から外周部分
にかけて拡散されて厚みや形状が変化し、また光学装置
２５′は拡散する光導波路用材料２８′内に埋設された
状態となる。このときに、上記光源チップ２６のレーザ
ー光出射面２６ａに対向する部分が曲面形状に隆起して
形成される。このようにして、上記光導波路２８が形成
された光学装置２５が完成する。なお、上述した光源チ
ップ２６のレーザー光出射面２６ａに対向する部分の隆
起形状は、回転台３１の回転速度、載置部上の光学装置
２５′の位置、光源チップ２６の形状や大きさ、光導波
路用材料２８′の粘性等の組み合わせを適宜設定するこ
とで所望の光結合効率を得ることができる。
３１の上面に、凝固前の光導波路用材料２８′を滴下
し、回転台３１を回転させる。この回転に伴う遠心力に
よって、光導波路用材料２８′は回転中心から外周部分
にかけて拡散されて厚みや形状が変化し、また光学装置
２５′は拡散する光導波路用材料２８′内に埋設された
状態となる。このときに、上記光源チップ２６のレーザ
ー光出射面２６ａに対向する部分が曲面形状に隆起して
形成される。このようにして、上記光導波路２８が形成
された光学装置２５が完成する。なお、上述した光源チ
ップ２６のレーザー光出射面２６ａに対向する部分の隆
起形状は、回転台３１の回転速度、載置部上の光学装置
２５′の位置、光源チップ２６の形状や大きさ、光導波
路用材料２８′の粘性等の組み合わせを適宜設定するこ
とで所望の光結合効率を得ることができる。
【００１８】以上のような構造を備えた光学装置並びに
製造方法であれば、基板２７と光源チップ２６とを別個
の工程で製造し、後に完成された光源チップ２６を基板
２７上に貼着すればよいので、前述した図１０に示す光
学装置に比較してきわめて容易に製造することができ
る。従って、大幅に製造コストを低下させることができ
る。また、本実施例ではレーザー光出射面２６ａを含む
光源チップ２６自体が光導波路２８内に埋設されて一体
的な構造とすることができ、しかも光源チップ２６のレ
ーザー光出射面２６ａに対向する部分に形成された曲面
部２８ｂの隆起形状により、出射されたレーザー光を高
い効率で光導波路２８中に導くことが可能となり、これ
により高い光結合効率を得ることができる。また、上記
隆起形状は、回転台３１の回転速度、載置部３１ａ上の
光学装置２５′の位置、光源チップ２６の形状や大き
さ、光導波路用材料２８′の粘性等の組み合わせを適宜
設定することができるので、所望の光結合効率に設定す
ることも容易である。さらに、回転台３１上に光学装置
２５′を多数載置することにより、さらに生産効率の向
上を図ることができる。
製造方法であれば、基板２７と光源チップ２６とを別個
の工程で製造し、後に完成された光源チップ２６を基板
２７上に貼着すればよいので、前述した図１０に示す光
学装置に比較してきわめて容易に製造することができ
る。従って、大幅に製造コストを低下させることができ
る。また、本実施例ではレーザー光出射面２６ａを含む
光源チップ２６自体が光導波路２８内に埋設されて一体
的な構造とすることができ、しかも光源チップ２６のレ
ーザー光出射面２６ａに対向する部分に形成された曲面
部２８ｂの隆起形状により、出射されたレーザー光を高
い効率で光導波路２８中に導くことが可能となり、これ
により高い光結合効率を得ることができる。また、上記
隆起形状は、回転台３１の回転速度、載置部３１ａ上の
光学装置２５′の位置、光源チップ２６の形状や大き
さ、光導波路用材料２８′の粘性等の組み合わせを適宜
設定することができるので、所望の光結合効率に設定す
ることも容易である。さらに、回転台３１上に光学装置
２５′を多数載置することにより、さらに生産効率の向
上を図ることができる。
【００１９】図３は、光学装置の他の一実施例を示す正
面図、図４は、図３に示す光学装置の平面図である。図
示光学装置３２は、上記図１において説明した光学装置
２５とほぼ同様の構造を備えたものであるが、光導波路
３３の平面形状が図４に示すようになっている。すなわ
ち光源チップ２６のレーザー光出射面２６ａに対向する
部分では、図３に示すように導波路の厚さ方向に曲面部
３３ａが図１と同様に形成されている。また図４に示す
ように、光導波路３３の平面形状においても、光源チッ
プ２６のレーザー光出射面２６ａの前方に両側から徐々
に細くなるような曲面部３３ｂ，３３ｂが形成されてい
る。この両曲面部３３ａと３３ｂによりレーザー光が細
い導波路３３ｃに効率良く導かれるようになる。
面図、図４は、図３に示す光学装置の平面図である。図
示光学装置３２は、上記図１において説明した光学装置
２５とほぼ同様の構造を備えたものであるが、光導波路
３３の平面形状が図４に示すようになっている。すなわ
ち光源チップ２６のレーザー光出射面２６ａに対向する
部分では、図３に示すように導波路の厚さ方向に曲面部
３３ａが図１と同様に形成されている。また図４に示す
ように、光導波路３３の平面形状においても、光源チッ
プ２６のレーザー光出射面２６ａの前方に両側から徐々
に細くなるような曲面部３３ｂ，３３ｂが形成されてい
る。この両曲面部３３ａと３３ｂによりレーザー光が細
い導波路３３ｃに効率良く導かれるようになる。
【００２０】上記の光導波路３３は、上記図２に示すよ
うにして光導波路を形成して曲面部３３ａを形成し、次
に、たとえばエキシマレーザー等によるレーザー直接描
画法や電子ビームによる直接描画法等により、曲面部３
３ｂ，３３ｂを加工すればよい。なお、光導波路用材料
として有機材料を用いる場合には、マスクパターニング
やＵＶ露光，現像を行ない、これにより図３と図４に示
す形状にしてもよい。
うにして光導波路を形成して曲面部３３ａを形成し、次
に、たとえばエキシマレーザー等によるレーザー直接描
画法や電子ビームによる直接描画法等により、曲面部３
３ｂ，３３ｂを加工すればよい。なお、光導波路用材料
として有機材料を用いる場合には、マスクパターニング
やＵＶ露光，現像を行ない、これにより図３と図４に示
す形状にしてもよい。
【００２１】図５は、光学装置の他の一実施例を示す正
面図、図６は、図５に示す光学装置の平面図である。図
示光学装置３５は、上記図３に示す光学装置３２の光導
波路３３の上面側に光導波路３３を構成する材料に比べ
て屈折率がわずかに小さな誘導体層３６を形成したもの
である。このような誘導体層３６を光導波路３３上に形
成すれば、温度や湿度等を始めとする外部環境の変化や
加えられる外力等から光導波路３３等を保護することが
できる。なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はない。例えば上記各実施例では、光導波路内に光源チ
ップ全体が埋設されたものを示すが、少なくともレーザ
ー光の出射面を覆うように光導波路が曲面形状に隆起し
て形成されていればよい。
面図、図６は、図５に示す光学装置の平面図である。図
示光学装置３５は、上記図３に示す光学装置３２の光導
波路３３の上面側に光導波路３３を構成する材料に比べ
て屈折率がわずかに小さな誘導体層３６を形成したもの
である。このような誘導体層３６を光導波路３３上に形
成すれば、温度や湿度等を始めとする外部環境の変化や
加えられる外力等から光導波路３３等を保護することが
できる。なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はない。例えば上記各実施例では、光導波路内に光源チ
ップ全体が埋設されたものを示すが、少なくともレーザ
ー光の出射面を覆うように光導波路が曲面形状に隆起し
て形成されていればよい。
【００２２】
【発明の効果】請求項１に記載した発明では、少なくと
も光源チップのレーザー光出射面を覆うように光導波路
を曲面形状に隆起して形成したので、高い光結合効率を
実現し且つ製造も容易になる。
も光源チップのレーザー光出射面を覆うように光導波路
を曲面形状に隆起して形成したので、高い光結合効率を
実現し且つ製造も容易になる。
【００２３】請求項２に記載した発明であれば、レーザ
ー光を出射する完成された光源チップを基板上に貼着
し、この光源チップのレーザー光出射面を覆う部分を曲
面形状に隆起させて光導波路を形成したので、簡単な工
程で製造できる。
ー光を出射する完成された光源チップを基板上に貼着
し、この光源チップのレーザー光出射面を覆う部分を曲
面形状に隆起させて光導波路を形成したので、簡単な工
程で製造できる。
【００２４】請求項３に記載した発明であれば、レーザ
ー光を出射する完成された光源チップを基板上に貼着
し、この基板上に光導波路用材料を遠心力によって拡散
させ、光源チップの出射面を覆う部分を曲面形状に隆起
させて光導波路を形成したので、製造が容易であり、ま
た、光導波路用材料の粘性や遠心力を調整することで、
光導波路の隆起形状を容易に変形させることができ、こ
れにより光結合効率の調整を行なうことができる。
ー光を出射する完成された光源チップを基板上に貼着
し、この基板上に光導波路用材料を遠心力によって拡散
させ、光源チップの出射面を覆う部分を曲面形状に隆起
させて光導波路を形成したので、製造が容易であり、ま
た、光導波路用材料の粘性や遠心力を調整することで、
光導波路の隆起形状を容易に変形させることができ、こ
れにより光結合効率の調整を行なうことができる。
【図１】一実施例としての光学装置の構造を示す正面
図。
図。
【図２】図１に示す光学装置の製造工程の一部を示す説
明図。
明図。
【図３】光学装置の他の一実施例を示す正面図。
【図４】図３に示す光学装置の平面図。
【図５】光学装置の他の一実施例を示す正面図。
【図６】図５に示す光学装置の平面図。
【図７】従来の光学装置の構造を示す正面図。
【図８】従来の光学装置の構造を示す正面図。
【図９】従来の光学装置の構造を示す正面図。
【図１０】従来の光学装置の構造を示す正面図。
２６ 光源チップ ２６ａ レーザー光出射面 ２７ 基板 ２８ 光導波路 ２８ｂ 曲面部 ３３ 光導波路 ３３ａ，３３ｂ 曲面部
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザー光を出射する光源と、この光源
が搭載された基板と、この基板上に形成され、光源から
出射されたレーザー光を導く光導波路とを備えた光学装
置において、上記光導波路は、少なくとも光源のレーザ
ー光出射面を覆うように曲面形状に隆起して形成されて
いることを特徴とする光学装置。 - 【請求項２】 レーザー光を出射する完成された光源チ
ップを基板上に貼着し、少なくともこの光源チップのレ
ーザー光出射面を覆う部分を曲面形状に隆起させて光導
波路を形成することを特徴とする光学装置の製造方法。 - 【請求項３】 レーザー光を出射する完成された光源チ
ップを基板上に貼着し、この基板上に光導波路用材料を
遠心力によって拡散させて、この光導波路用材料により
光源チップの出射面を覆い、この出射面を覆う部分が曲
面形状となるように光導波路を形成することを特徴とす
る光学装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24588592A JPH0667045A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 光学装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24588592A JPH0667045A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 光学装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0667045A true JPH0667045A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=17140257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24588592A Withdrawn JPH0667045A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 光学装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0667045A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10160976A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Fujitsu Ltd | 光結合装置 |
| CN114839716A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-08-02 | 天津华慧芯科技集团有限公司 | 一种可实现端面低粗糙度的光学调制器结构及制备方法 |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP24588592A patent/JPH0667045A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10160976A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Fujitsu Ltd | 光結合装置 |
| CN114839716A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-08-02 | 天津华慧芯科技集团有限公司 | 一种可实现端面低粗糙度的光学调制器结构及制备方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |