JPH0666717A - 顕微拡散反射測定装置 - Google Patents
顕微拡散反射測定装置Info
- Publication number
- JPH0666717A JPH0666717A JP24120392A JP24120392A JPH0666717A JP H0666717 A JPH0666717 A JP H0666717A JP 24120392 A JP24120392 A JP 24120392A JP 24120392 A JP24120392 A JP 24120392A JP H0666717 A JPH0666717 A JP H0666717A
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- Japan
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- hole
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】試料の拡散反射光のスペクトルを高い感度とＳ
／Ｎ比で測定すること。 【構成】中心軸に通孔２を備えた凸面鏡１と、中央部に
窓４を備えた凹面鏡３とを反射面を対向させて同軸上に
配置し、凸面鏡１の通孔２を介して試料Ｓに光を照射
し、また試料Ｓからの反射光を凸面鏡１と凹面鏡３で集
光させて光検出手段に入射させる。凸面鏡１の通孔２か
ら出射した光は、試料Ｓの表面に垂直に入射するため、
試料Ｓからの反射光はその広がり抑えられ、効率よく集
光され、また試料Ｓからの正反射光は系外に出て、検出
手段に入射しないからＳ／Ｎ比が向上する。
／Ｎ比で測定すること。 【構成】中心軸に通孔２を備えた凸面鏡１と、中央部に
窓４を備えた凹面鏡３とを反射面を対向させて同軸上に
配置し、凸面鏡１の通孔２を介して試料Ｓに光を照射
し、また試料Ｓからの反射光を凸面鏡１と凹面鏡３で集
光させて光検出手段に入射させる。凸面鏡１の通孔２か
ら出射した光は、試料Ｓの表面に垂直に入射するため、
試料Ｓからの反射光はその広がり抑えられ、効率よく集
光され、また試料Ｓからの正反射光は系外に出て、検出
手段に入射しないからＳ／Ｎ比が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料からの拡散反射ス
ペクトルの測定技術に関する。
ペクトルの測定技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料表面の拡散反射スペクトルを測定す
る場合には、通常図３に示したような対物鏡にカセグレ
ン型光学系Ａを使用してこの光学系の領域を対称的に２
分割し、一方の領域を照射光の光路に、また他方の領域
を試料からの反射光の光路に使用するように構成されて
いた。
る場合には、通常図３に示したような対物鏡にカセグレ
ン型光学系Ａを使用してこの光学系の領域を対称的に２
分割し、一方の領域を照射光の光路に、また他方の領域
を試料からの反射光の光路に使用するように構成されて
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このため、試料Ｓへの
入射光が試料面に対して角度を持つことになって試料か
らの反射光が広い角度に拡散してしまって集光漏れとな
る光量が多く、検出出力が小さいという問題の他に、試
料からの正反射光が入射して、Ｓ／Ｎ比に低下を来すと
いう問題を抱えていた。本発明はこのような問題に鑑み
てなされたものであって、その目的とするとろは試料か
らの拡散反射光だけを高い高率で集光することができる
新規な顕微拡散反射測定装置を提供することにある。
入射光が試料面に対して角度を持つことになって試料か
らの反射光が広い角度に拡散してしまって集光漏れとな
る光量が多く、検出出力が小さいという問題の他に、試
料からの正反射光が入射して、Ｓ／Ｎ比に低下を来すと
いう問題を抱えていた。本発明はこのような問題に鑑み
てなされたものであって、その目的とするとろは試料か
らの拡散反射光だけを高い高率で集光することができる
新規な顕微拡散反射測定装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、中心軸に通孔を備えた凸面
鏡と、中央部に窓を備えた凹面鏡とを反射面を対向させ
て同軸上に配置し、前記凸面鏡の通孔を介して試料に光
を照射し、また試料からの反射光を前記凸面鏡により受
け、ついで前記凹面鏡で集光させて光検出手段に入射さ
せるするようにした。
るために本発明においては、中心軸に通孔を備えた凸面
鏡と、中央部に窓を備えた凹面鏡とを反射面を対向させ
て同軸上に配置し、前記凸面鏡の通孔を介して試料に光
を照射し、また試料からの反射光を前記凸面鏡により受
け、ついで前記凹面鏡で集光させて光検出手段に入射さ
せるするようにした。
【０００５】
【作用】凸面鏡の通孔から出射した光は、試料の表面に
垂直に入射するため、試料から拡散反射光の広がりが可
及的に抑えられる。そして試料からの正反射光は凸面鏡
の通孔から系外に放射され、拡散光だけが効率よく集光
されて高い感度と、Ｓ／Ｎ比でもって試料の拡散反射光
のスペクトルが測定されることになる。
垂直に入射するため、試料から拡散反射光の広がりが可
及的に抑えられる。そして試料からの正反射光は凸面鏡
の通孔から系外に放射され、拡散光だけが効率よく集光
されて高い感度と、Ｓ／Ｎ比でもって試料の拡散反射光
のスペクトルが測定されることになる。
【０００６】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
ので図中符号１は、凸面鏡で、その中心軸上に試料Ｓに
光を照射するための通孔２が形成されている。３は、凹
面鏡で、中央部に窓４を設けて構成されており、前記凸
面鏡１の反射面と対向し、また窓４が通孔２と同軸上に
位置するように配置されている。なお、図中符号５は、
試料Ｓを照射する光源を示す。
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
ので図中符号１は、凸面鏡で、その中心軸上に試料Ｓに
光を照射するための通孔２が形成されている。３は、凹
面鏡で、中央部に窓４を設けて構成されており、前記凸
面鏡１の反射面と対向し、また窓４が通孔２と同軸上に
位置するように配置されている。なお、図中符号５は、
試料Ｓを照射する光源を示す。
【０００７】この実施例において光学系を試料Ｓに対向
させた状態で、凸面鏡１の通孔２を介して試料Ｓに光源
５の光を照射すると、光は試料Ｓの面に対して垂直に入
射することになる。この光は試料の組成に支配されて反
射され、反射光の内、正反射光は凸面鏡１の通孔２から
光源側に通過して光電検出手段に入射することが無く、
また拡散光だけが凸面鏡１で反射され、次いで凹面鏡３
により拡散光だけが集光されて図示しない光電検出手段
に入射する。この結果、試料からの拡散光のみを十分に
集光することができて、高い感度とＳ／Ｎ比で試料の拡
散スペクトルを測定できる。
させた状態で、凸面鏡１の通孔２を介して試料Ｓに光源
５の光を照射すると、光は試料Ｓの面に対して垂直に入
射することになる。この光は試料の組成に支配されて反
射され、反射光の内、正反射光は凸面鏡１の通孔２から
光源側に通過して光電検出手段に入射することが無く、
また拡散光だけが凸面鏡１で反射され、次いで凹面鏡３
により拡散光だけが集光されて図示しない光電検出手段
に入射する。この結果、試料からの拡散光のみを十分に
集光することができて、高い感度とＳ／Ｎ比で試料の拡
散スペクトルを測定できる。
【０００８】ところで、試料Ｓを照射する光は、試料Ｓ
の面に対して垂直に入射するため、試料から反射した光
の拡散角が、従来の光学系に比較して小さく、このため
より多くの反射光を検出手段に導くことができる。この
結果、図２に示したように試料Ｓと光学系との間に入射
角を規制する色々なサイズのスリット７を挿入しても測
定可能な程度の光を取り込むことができ、例えば粉末状
のセラミックや薬剤の微小領域の性質を測定することが
可能となる。
の面に対して垂直に入射するため、試料から反射した光
の拡散角が、従来の光学系に比較して小さく、このため
より多くの反射光を検出手段に導くことができる。この
結果、図２に示したように試料Ｓと光学系との間に入射
角を規制する色々なサイズのスリット７を挿入しても測
定可能な程度の光を取り込むことができ、例えば粉末状
のセラミックや薬剤の微小領域の性質を測定することが
可能となる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
中心軸に通孔を備えた凸面鏡と、中央部に窓を備えた凹
面鏡とを反射面を対向させて同軸上に配置し、この凸面
鏡の通孔を介して試料に光を照射し、また試料からの反
射光を凸面鏡により受け、ついで凹面鏡で集光させて光
検出手段に入射させるようにしたので、試料からの反射
光の広がりを可及的に抑えつつ、正反射光が光電検出手
段に入射するのを防止して拡散光だけを高い高率で光電
検出手段に導くことができ、粉末状の試料の微小領域の
性質を高い感度とＳ／Ｎ比で測定することができる。
中心軸に通孔を備えた凸面鏡と、中央部に窓を備えた凹
面鏡とを反射面を対向させて同軸上に配置し、この凸面
鏡の通孔を介して試料に光を照射し、また試料からの反
射光を凸面鏡により受け、ついで凹面鏡で集光させて光
検出手段に入射させるようにしたので、試料からの反射
光の広がりを可及的に抑えつつ、正反射光が光電検出手
段に入射するのを防止して拡散光だけを高い高率で光電
検出手段に導くことができ、粉末状の試料の微小領域の
性質を高い感度とＳ／Ｎ比で測定することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す装置の構成図である。
【図２】同上装置の使用形態を示す図である。
【図３】従来の顕微拡散反射測定装置の光学系の一例を
示す構成図である。
示す構成図である。
１ 凸面鏡 ２ 通孔 ３ 凹面鏡 ４ 窓 ５ 光源
Claims (1)
- 【請求項１】 心軸に通孔を備えた凸面鏡と、中央部に
窓を備えた凹面鏡とを反射面を対向させて同軸上に配置
し、前記凸面鏡の通孔を介して試料に光を照射し、また
試料からの反射光を前記凸面鏡により受け、ついで前記
凹面鏡で集光させて光検出手段に入射させる顕微拡散反
射測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04241203A JP3137148B2 (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | 顕微拡散反射測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04241203A JP3137148B2 (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | 顕微拡散反射測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666717A true JPH0666717A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3137148B2 JP3137148B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=17070739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04241203A Expired - Fee Related JP3137148B2 (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | 顕微拡散反射測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3137148B2 (ja) |
-
1992
- 1992-08-18 JP JP04241203A patent/JP3137148B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3137148B2 (ja) | 2001-02-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001108 |
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