JPH0666662A - ピラニ真空計 - Google Patents
ピラニ真空計Info
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- JPH0666662A JPH0666662A JP10722492A JP10722492A JPH0666662A JP H0666662 A JPH0666662 A JP H0666662A JP 10722492 A JP10722492 A JP 10722492A JP 10722492 A JP10722492 A JP 10722492A JP H0666662 A JPH0666662 A JP H0666662A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 効果的な温度補償を可能にし、周囲の温度変
化に対する安定性を増し、高精度で低い圧力まで測定可
能なピラニ真空計を提供すること。 【構成】 ピラニ真空計のセンサ本体２の内部に、フィ
ラメント１とセンサ本体２の外壁の中間に内円筒１１を
設けて、センサ周囲の気温の変化が直接フィラメント１
に伝わらないようにし、該内円筒１１に、周囲の温度変
化によるピラニ真空計の指示値の変化を補正するための
温度補償回路に接続される温度センサ１２を直接取付
け、該温度センサ１２をブリッジ回路６と接続して温度
補償を効果的に行なうようにし、更に、測定ガスがフィ
ラメント１周囲へ直接流れ込まないように、シールド板
１４を設けている。
化に対する安定性を増し、高精度で低い圧力まで測定可
能なピラニ真空計を提供すること。 【構成】 ピラニ真空計のセンサ本体２の内部に、フィ
ラメント１とセンサ本体２の外壁の中間に内円筒１１を
設けて、センサ周囲の気温の変化が直接フィラメント１
に伝わらないようにし、該内円筒１１に、周囲の温度変
化によるピラニ真空計の指示値の変化を補正するための
温度補償回路に接続される温度センサ１２を直接取付
け、該温度センサ１２をブリッジ回路６と接続して温度
補償を効果的に行なうようにし、更に、測定ガスがフィ
ラメント１周囲へ直接流れ込まないように、シールド板
１４を設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主として中真空領域の
圧力測定に広く使用されるピラニ真空計の、特にセンサ
部（測定子）に関する。
圧力測定に広く使用されるピラニ真空計の、特にセンサ
部（測定子）に関する。
【０００２】
【従来の技術】ピラニ真空計は、フィラメントに電流を
流すことによって該フィラメントを加熱し、このときフ
ィラメントから奪われる熱量が、フィラメント周囲の気
体の圧力により変化することを利用し、気体の圧力を測
定するものである。
流すことによって該フィラメントを加熱し、このときフ
ィラメントから奪われる熱量が、フィラメント周囲の気
体の圧力により変化することを利用し、気体の圧力を測
定するものである。
【０００３】図２は、従来のピラニ真空計のセンサ部の
要部構成図である。図において、フィラメント１は、一
端（図で下端）が被測定真空室に開放したセンサ本体２
の他端（図で上端）の絶縁部３を貫通して設けられた端
子４と、同様に絶縁部３を貫通して設けられ、フィラメ
ント支持体（サポート）を兼ねた端子５とにそれぞれ両
端を接続され、これらの両端４と５は、真空外部でブリ
ッジ回路（計測回路）６に接続されている。図中、７は
電源である。
要部構成図である。図において、フィラメント１は、一
端（図で下端）が被測定真空室に開放したセンサ本体２
の他端（図で上端）の絶縁部３を貫通して設けられた端
子４と、同様に絶縁部３を貫通して設けられ、フィラメ
ント支持体（サポート）を兼ねた端子５とにそれぞれ両
端を接続され、これらの両端４と５は、真空外部でブリ
ッジ回路（計測回路）６に接続されている。図中、７は
電源である。
【０００４】上記フィラメント１に電流を流して当該ピ
ラニ真空計を作動させるとき、フィラメント１から奪わ
れる熱量Ｑは、次式で与えられる。 Ｑ＝Ｋc Ｐ（Ｔf −Ｔw ）＋ＫR （Ｔf 4 −Ｔw 4 ）＋端損失………（１） 但し、Ｋc ：気体により輸送される熱量の熱伝導係数 Ｐ ：気体の圧力 Ｔf ：フィラメントの温度 Ｔw ：フィラメント周囲の壁の温度 ＫR ：輻射係数 上記（１）式の第１項は、気体の熱伝導による項であ
り、気体の圧力Ｐに比例することから、真空計として使
用できるわけである。第２項は、フィラメント１から壁
２への輻射による項であり、また第３項は、フィラメン
ト１のサポートやリード線を伝わって逃げる熱量であ
る。
ラニ真空計を作動させるとき、フィラメント１から奪わ
れる熱量Ｑは、次式で与えられる。 Ｑ＝Ｋc Ｐ（Ｔf −Ｔw ）＋ＫR （Ｔf 4 −Ｔw 4 ）＋端損失………（１） 但し、Ｋc ：気体により輸送される熱量の熱伝導係数 Ｐ ：気体の圧力 Ｔf ：フィラメントの温度 Ｔw ：フィラメント周囲の壁の温度 ＫR ：輻射係数 上記（１）式の第１項は、気体の熱伝導による項であ
り、気体の圧力Ｐに比例することから、真空計として使
用できるわけである。第２項は、フィラメント１から壁
２への輻射による項であり、また第３項は、フィラメン
ト１のサポートやリード線を伝わって逃げる熱量であ
る。
【０００５】現在市販されているピラニ真空計は、フィ
ラメント１を一辺としたブリッジ回路６を設け、該フィ
ラメント１の温度が一定になる、つまりブリッジの平衡
が常に保持されるような制御を行なう定温度型ピラニ真
空計である。このものにおいては、（１）式から解るよ
うに、フィラメント周囲の壁の温度Ｔw が室温の影響等
により変化すると、熱量Ｑが変化してしまい、ピラニ真
空計の指示値も変動してしまう性質を有している。
ラメント１を一辺としたブリッジ回路６を設け、該フィ
ラメント１の温度が一定になる、つまりブリッジの平衡
が常に保持されるような制御を行なう定温度型ピラニ真
空計である。このものにおいては、（１）式から解るよ
うに、フィラメント周囲の壁の温度Ｔw が室温の影響等
により変化すると、熱量Ｑが変化してしまい、ピラニ真
空計の指示値も変動してしまう性質を有している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のピラニ
真空計（図２）は、フィラメント１周囲の壁は、そのま
ま外気とセンサ内部とを隔離するセンサ本体２の外壁を
兼ねていた。そのため、センサ周辺の室温が変動する
と、フィラメント周囲の壁２の温度も、そのまま変動
し、即ち周囲温度による指示値の変動が大きくなってい
た。
真空計（図２）は、フィラメント１周囲の壁は、そのま
ま外気とセンサ内部とを隔離するセンサ本体２の外壁を
兼ねていた。そのため、センサ周辺の室温が変動する
と、フィラメント周囲の壁２の温度も、そのまま変動
し、即ち周囲温度による指示値の変動が大きくなってい
た。
【０００７】また、上記の変動を補正するために、温度
補償回路がいろいろと工夫されているが、周囲温度を検
知するための温度センサは、ブリッジ回路内の他のブリ
ッジ抵抗と同様に回路基板上に設置されていた。そのた
め、次のような問題点があった。
補償回路がいろいろと工夫されているが、周囲温度を検
知するための温度センサは、ブリッジ回路内の他のブリ
ッジ抵抗と同様に回路基板上に設置されていた。そのた
め、次のような問題点があった。
【０００８】（ｉ）フィラメント１周囲の壁２は真空中
における表面であり、温度センサが上記のように取付け
られている基板上とは、材質や環境が異なり、当然実際
の温度や気温の変化に対する温度変化も変わってくる。
従って、従来のピラニ真空計は、センサ周囲の気温の変
化に対する指示の変動が大きく、更に温度補償を施して
も効果的な補償ができていなかった。
における表面であり、温度センサが上記のように取付け
られている基板上とは、材質や環境が異なり、当然実際
の温度や気温の変化に対する温度変化も変わってくる。
従って、従来のピラニ真空計は、センサ周囲の気温の変
化に対する指示の変動が大きく、更に温度補償を施して
も効果的な補償ができていなかった。
【０００９】(ii) またそのために、従来のピラニ真空
計は、精度や再現性が悪く、測定下限値も１０-1Ｐａ
（パスカル）台にとどまっていた。
計は、精度や再現性が悪く、測定下限値も１０-1Ｐａ
（パスカル）台にとどまっていた。
【００１０】(iii) 更に、チャンバを加熱したり、測定
している気体の温度が変化すると、壁の温度は更に変動
し、温度センサとの温度差も更に大きくなるため、この
ような状態での指示値は、非常に誤差が大きく、実際上
の使用は不可能であった。
している気体の温度が変化すると、壁の温度は更に変動
し、温度センサとの温度差も更に大きくなるため、この
ような状態での指示値は、非常に誤差が大きく、実際上
の使用は不可能であった。
【００１１】本発明は、上記の問題点を解決するもの
で、効果的な温度補償を可能にし、周囲の温度変化に対
する安定性を増し、高精度で低い圧力まで測定可能なピ
ラニ真空計を提供することを目的としている。
で、効果的な温度補償を可能にし、周囲の温度変化に対
する安定性を増し、高精度で低い圧力まで測定可能なピ
ラニ真空計を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の第１番目の発明は、細い金属線からなる
熱フィラメントをセンサ本体の内部に設け、該熱フィラ
メント周囲の気体による熱伝導により生じるフィラメン
トの熱損失量の変化から気体の圧力を測定するようにし
たピラニ真空計において、周囲の温度変化によるピラニ
真空計の指示値の変化を補正するための温度補償回路に
接続される温度センサを、真空内部におけるフィラメン
ト周囲の壁に直接取付けたことを特徴としている。
めに、本発明の第１番目の発明は、細い金属線からなる
熱フィラメントをセンサ本体の内部に設け、該熱フィラ
メント周囲の気体による熱伝導により生じるフィラメン
トの熱損失量の変化から気体の圧力を測定するようにし
たピラニ真空計において、周囲の温度変化によるピラニ
真空計の指示値の変化を補正するための温度補償回路に
接続される温度センサを、真空内部におけるフィラメン
ト周囲の壁に直接取付けたことを特徴としている。
【００１３】また、第２番目の発明は、細い金属線から
なる熱フィラメントを内部に設けたセンサ本体内部にお
いて、フィラメントとセンサ本体外壁の中間に内円筒を
設けたことを特徴とし、また、第３番目の発明は、温度
補償回路に接続される温度センサを、フィラメントとセ
ンサ本体外壁の中間に設けられた内円筒に直接取付けた
ことを特徴とし、更に、第４番目の発明は、センサ本体
の内部に、測定ガスがフィラメント周囲へ直接流れ込ま
ないようなシールド板を設けたことを特徴としている。
なる熱フィラメントを内部に設けたセンサ本体内部にお
いて、フィラメントとセンサ本体外壁の中間に内円筒を
設けたことを特徴とし、また、第３番目の発明は、温度
補償回路に接続される温度センサを、フィラメントとセ
ンサ本体外壁の中間に設けられた内円筒に直接取付けた
ことを特徴とし、更に、第４番目の発明は、センサ本体
の内部に、測定ガスがフィラメント周囲へ直接流れ込ま
ないようなシールド板を設けたことを特徴としている。
【００１４】
【作用】本発明は、上記のように温度補償回路に接続さ
れる温度センサを、真空内部におけるフィラメント周囲
の壁に直接取付けたことにより、該温度センサが、従来
のようにブリッジ回路基板上に設置されたものに比べ
て、センサ周囲の気温の変化に対する指示の変動が小さ
くなり、高精度の測定が可能となる。
れる温度センサを、真空内部におけるフィラメント周囲
の壁に直接取付けたことにより、該温度センサが、従来
のようにブリッジ回路基板上に設置されたものに比べ
て、センサ周囲の気温の変化に対する指示の変動が小さ
くなり、高精度の測定が可能となる。
【００１５】また、この発明では、前記（１）式のフィ
ラメント周囲の壁の温度Ｔw は、フィラメントとセンサ
本体の外周壁との間に設けられた内円筒の温度となる
が、該内円筒は特に圧力が１００Ｐａ以下の真空におい
て、外気と真空断熱されるため、外気の気温の変動と比
較して温度変化が小さくなり、高精度の測定が可能とな
る。
ラメント周囲の壁の温度Ｔw は、フィラメントとセンサ
本体の外周壁との間に設けられた内円筒の温度となる
が、該内円筒は特に圧力が１００Ｐａ以下の真空におい
て、外気と真空断熱されるため、外気の気温の変動と比
較して温度変化が小さくなり、高精度の測定が可能とな
る。
【００１６】更に、温度補償用の温度センサを、上記内
円筒へ直接取付けることにより、フィラメント周囲の壁
の温度を直接受けるようになって、温度補償機能が向上
し、高精度の測定が可能となる。
円筒へ直接取付けることにより、フィラメント周囲の壁
の温度を直接受けるようになって、温度補償機能が向上
し、高精度の測定が可能となる。
【００１７】更に、シールド板をセンサ本体の内部に設
けることにより、温度センサが取付けられているチャン
バ内部で放電が発生していたり、ガスの温度が上昇して
いる場合でも、フィラメント周囲には高温の気体や、イ
オン等が直接飛び込んで来ないため、フィラメント周囲
の気体温度は常に内円筒の温度と近似することになり、
高精度の測定が可能となる。
けることにより、温度センサが取付けられているチャン
バ内部で放電が発生していたり、ガスの温度が上昇して
いる場合でも、フィラメント周囲には高温の気体や、イ
オン等が直接飛び込んで来ないため、フィラメント周囲
の気体温度は常に内円筒の温度と近似することになり、
高精度の測定が可能となる。
【００１８】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面と共に説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示すピラニ真空計の要
部構成図であって、図中、図２に記載した符号と同一の
符号は同一ないし同類部分を示すものとする。
る。図１は、本発明の一実施例を示すピラニ真空計の要
部構成図であって、図中、図２に記載した符号と同一の
符号は同一ないし同類部分を示すものとする。
【００１９】図において、フィラメント１は、一端（図
で下端）が被測定真空室に開放されたセンサ本体２の他
端（図で上端）の絶縁部３を貫通して設けられた端子４
と、同様に絶縁部３を貫通して設けられ、フィラメント
支持体（サポート）を兼ねた端子５とにそれぞれ両端を
接続され、これらの両端４と５は、真空外部でブリッジ
回路６に接続されている点は従来例と変りはないが、本
実施例では、フィラメント１とセンサ本体２の外周壁と
の中間に、ＳＵＳ製の厚さ０．３ｍｍの円筒状の壁（内
円筒）１１が、フィラメント１を囲むように取付けられ
ており、該内円筒１１に、温度補償用の温度センサ１２
が密着して取付けられ、ブリッジ回路６に端子１３を介
して接続されている。該温度センサ１２は、真空内部で
も使用可能なように、セラミック被覆のものが使用され
る。
で下端）が被測定真空室に開放されたセンサ本体２の他
端（図で上端）の絶縁部３を貫通して設けられた端子４
と、同様に絶縁部３を貫通して設けられ、フィラメント
支持体（サポート）を兼ねた端子５とにそれぞれ両端を
接続され、これらの両端４と５は、真空外部でブリッジ
回路６に接続されている点は従来例と変りはないが、本
実施例では、フィラメント１とセンサ本体２の外周壁と
の中間に、ＳＵＳ製の厚さ０．３ｍｍの円筒状の壁（内
円筒）１１が、フィラメント１を囲むように取付けられ
ており、該内円筒１１に、温度補償用の温度センサ１２
が密着して取付けられ、ブリッジ回路６に端子１３を介
して接続されている。該温度センサ１２は、真空内部で
も使用可能なように、セラミック被覆のものが使用され
る。
【００２０】更に、センサ本体２の内部には、フィラメ
ント１周囲へ測定ガスが直接流れ込まないように、シー
ルド板１４が、内円筒１１の下端部と接触する形で保持
されている。
ント１周囲へ測定ガスが直接流れ込まないように、シー
ルド板１４が、内円筒１１の下端部と接触する形で保持
されている。
【００２１】次に、作用について説明すると、測定中、
センサ本体２の周囲の気温が変化すると、フィラメント
１とセンサ本体外周壁２との中間に設けられた内円筒１
１の温度が、上記気温の変動よりも緩やかに変化する。
気温の変動がエアコンのＯＮ／ＯＦＦのように定常時に
上昇と下降を繰り返えす場合には、内円筒１１の変動幅
は気温の変動幅よりも小さくなる。従って、周囲の温度
変化に対し、内円筒１１の温度変化は小さくなり、ピラ
ニ真空計の指示値の変動も小さくなる。
センサ本体２の周囲の気温が変化すると、フィラメント
１とセンサ本体外周壁２との中間に設けられた内円筒１
１の温度が、上記気温の変動よりも緩やかに変化する。
気温の変動がエアコンのＯＮ／ＯＦＦのように定常時に
上昇と下降を繰り返えす場合には、内円筒１１の変動幅
は気温の変動幅よりも小さくなる。従って、周囲の温度
変化に対し、内円筒１１の温度変化は小さくなり、ピラ
ニ真空計の指示値の変動も小さくなる。
【００２２】また、温度センサ１２は、直接内円筒１１
の温度を検知するため、実際の動作状況の中で補正を効
果的に行なうことができる。
の温度を検知するため、実際の動作状況の中で補正を効
果的に行なうことができる。
【００２３】更に、被測定装置から流れ込む気体は、一
旦、内円筒１１と同じ温度に保持されるシールド板１４
に衝突しながら流れ込むため、フィラメント１に入射す
る気体は常に（１）式の周囲の壁の温度Ｔw と近い温度
になる。
旦、内円筒１１と同じ温度に保持されるシールド板１４
に衝突しながら流れ込むため、フィラメント１に入射す
る気体は常に（１）式の周囲の壁の温度Ｔw と近い温度
になる。
【００２４】上記の作用を前記（１）式を用いて説明す
ると、ピラニ真空計に必要な項である（１）式の第１項
において、Ｔw の変化に対応してＴf が変化し、（Ｔf
−Ｔw ）が常に一定となるような温度補償を施した場
合、温度センサ１２は、フィラメント１周囲の壁に相当
する内円壁１１の温度Ｔw を直接検知した方がよい。
ると、ピラニ真空計に必要な項である（１）式の第１項
において、Ｔw の変化に対応してＴf が変化し、（Ｔf
−Ｔw ）が常に一定となるような温度補償を施した場
合、温度センサ１２は、フィラメント１周囲の壁に相当
する内円壁１１の温度Ｔw を直接検知した方がよい。
【００２５】また、第２項、第３項は圧力には依存しな
い項であり、ピラニ真空計のゼロ点（測定下限値）を限
定するものであるが、やはり周囲温度の影響を受けて変
動する。特に第２項は、フィラメント周囲の壁の温度と
密接な関係があるため、この項に関する温度補償も壁１
１の温度を直接検知する必要がある。
い項であり、ピラニ真空計のゼロ点（測定下限値）を限
定するものであるが、やはり周囲温度の影響を受けて変
動する。特に第２項は、フィラメント周囲の壁の温度と
密接な関係があるため、この項に関する温度補償も壁１
１の温度を直接検知する必要がある。
【００２６】この実施例によれば、温度補償回路に接続
される温度センサ１２を、従来のブリッジ回路の基板に
設ける代りに、フィラメント周囲の壁に相当する内円筒
１１に直接取付けたことにより、フィラメント周囲の壁
の温度を直接検知できることと相俟って温度補償が効果
的に行なわれる。
される温度センサ１２を、従来のブリッジ回路の基板に
設ける代りに、フィラメント周囲の壁に相当する内円筒
１１に直接取付けたことにより、フィラメント周囲の壁
の温度を直接検知できることと相俟って温度補償が効果
的に行なわれる。
【００２７】また、センサ本体外壁２とフィラメント１
との中間に内円筒１１を設けたことにより、センサ１２
の周囲の気温の変化が直接フィラメント周囲の壁１１に
は伝わらないので、（１）式のＴw の変動幅が小さくな
る。
との中間に内円筒１１を設けたことにより、センサ１２
の周囲の気温の変化が直接フィラメント周囲の壁１１に
は伝わらないので、（１）式のＴw の変動幅が小さくな
る。
【００２８】また、センサ本体２の内部にシールド板１
４を設けたことにより、イオンや温度の高いガスが直接
フィラメント１に衝突することを防ぎ、フィラメント１
に衝突するガスの温度は常に内円筒１１の温度となる。
４を設けたことにより、イオンや温度の高いガスが直接
フィラメント１に衝突することを防ぎ、フィラメント１
に衝突するガスの温度は常に内円筒１１の温度となる。
【００２９】従って、精度や再現性が高く、周囲温度に
対する指示の変動が少なく、１０-3〜１０-2Ｐａ（パス
カル）の圧力まで測定可能なピラニ真空計の提供が可能
となる。
対する指示の変動が少なく、１０-3〜１０-2Ｐａ（パス
カル）の圧力まで測定可能なピラニ真空計の提供が可能
となる。
【００３０】更に、チャンバをベーキングしているとき
や、チャンバ内でプラズマが発生しているような状態で
も測定が可能となる。
や、チャンバ内でプラズマが発生しているような状態で
も測定が可能となる。
【００３１】上記した実施例において、内円筒１１に温
度センサ１２を取付けた構造について説明したが、内円
筒１１を除去し、センサ本体外周壁２の内面に取付けた
り、単に真空中に放置するだけでも、該温度センサをブ
リッジ回路の基板上に設置した従来のものよりも、効果
的な補償が可能となる。
度センサ１２を取付けた構造について説明したが、内円
筒１１を除去し、センサ本体外周壁２の内面に取付けた
り、単に真空中に放置するだけでも、該温度センサをブ
リッジ回路の基板上に設置した従来のものよりも、効果
的な補償が可能となる。
【００３２】また、内円筒１１を、取付け取外しが容易
にできるように構成することにより、センサ本体２の内
部が汚れた場合の保守が容易となる。また、温度センサ
１２は、温度補償回路により必要な数量を取付けてやれ
ばよい。また、温度センサ１２、内円筒１１、シールド
板１４の材質や形状は、特に制限されない。
にできるように構成することにより、センサ本体２の内
部が汚れた場合の保守が容易となる。また、温度センサ
１２は、温度補償回路により必要な数量を取付けてやれ
ばよい。また、温度センサ１２、内円筒１１、シールド
板１４の材質や形状は、特に制限されない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
周囲の温度変化によるピラニ真空計の指示値の変化を補
正するための温度補償回路に接続される温度センサを、
真空内部におけるフィラメント周囲の壁に直接取付けた
ことにより、該温度センサをブリッジ回路の基板上に設
けた従来のものに比べて、温度補償が効果的に行なわれ
る。
周囲の温度変化によるピラニ真空計の指示値の変化を補
正するための温度補償回路に接続される温度センサを、
真空内部におけるフィラメント周囲の壁に直接取付けた
ことにより、該温度センサをブリッジ回路の基板上に設
けた従来のものに比べて、温度補償が効果的に行なわれ
る。
【００３４】また、センサ本体内部においてフィラメン
トとセンサ本体外壁との中間に内円筒を設けたことによ
り、センサ本体の周囲の気温の変化が直接フィラメント
周囲の壁には伝わらないので、（１）式におけるＴw の
変動幅を小さくすることができる。
トとセンサ本体外壁との中間に内円筒を設けたことによ
り、センサ本体の周囲の気温の変化が直接フィラメント
周囲の壁には伝わらないので、（１）式におけるＴw の
変動幅を小さくすることができる。
【００３５】また、前記温度センサを上記内円筒に直接
取付けることにより、フィラメント周囲の壁の温度を直
接検知できるとともに、真空断熱の効果で周囲の温度変
化の影響を直接受けることなく、前記（１）式第１項及
び第２項に関する温度補償を実際の動作状況の中で効果
的に行なうことができる。
取付けることにより、フィラメント周囲の壁の温度を直
接検知できるとともに、真空断熱の効果で周囲の温度変
化の影響を直接受けることなく、前記（１）式第１項及
び第２項に関する温度補償を実際の動作状況の中で効果
的に行なうことができる。
【００３６】また、センサ本体の内部に、測定ガスがフ
ィラメント周囲へ直接流れ込まないようなシールド板を
設けたことにより、イオンや温度の高いガスが直接フィ
ラメントに衝突することを防ぎ、フィラメントに衝突す
るガスの温度は常に内円筒の温度となる。
ィラメント周囲へ直接流れ込まないようなシールド板を
設けたことにより、イオンや温度の高いガスが直接フィ
ラメントに衝突することを防ぎ、フィラメントに衝突す
るガスの温度は常に内円筒の温度となる。
【００３７】従って、精度や再現性が高く、周囲温度に
対する指示の変動が少なく、１０-3〜１０-2Ｐａの圧力
まで測定可能なピラニ真空計を得ることが可能となる。
更に、チャンバをベーキングしているときや、チャンバ
内でプラズマが発生しているような状態でも測定が可能
となる。
対する指示の変動が少なく、１０-3〜１０-2Ｐａの圧力
まで測定可能なピラニ真空計を得ることが可能となる。
更に、チャンバをベーキングしているときや、チャンバ
内でプラズマが発生しているような状態でも測定が可能
となる。
【図１】本発明の一実施例を示すピラニ真空計の要部構
成図である。
成図である。
【図２】従来例を示すピラニ真空計の要部構成図であ
る。
る。
１ フィラメント ２ センサ本体 ３ 絶縁体 ４，５ 端子 ６ ブリッジ回路 ７ 電源 １１ 内円筒 １２ 温度センサ １４ シールド板
Claims (4)
- 【請求項１】 細い金属線からなる熱フィラメントをセ
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、周囲の温度変化によるピラニ真空計の指示値の変
化を補正するための温度補償回路に接続される温度セン
サを、真空内部におけるフィラメント周囲の壁に直接取
付けたことを特徴とするピラニ真空計。 - 【請求項２】 細い金属線からなる熱フィラメントをセ
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、センサ本体内部のフィラメントとセンサ本体外壁
の中間に、円筒状の壁を設けたことを特徴とするピラニ
真空計。 - 【請求項３】 細い金属線からなる熱フィラメントをセ
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、温度補償回路に接続される温度センサを、フィラ
メントとセンサ本体外壁の中間に設けられた内円筒に直
接取り付けたことを特徴とするピラニ真空計。 - 【請求項４】 細い金属線からなる熱フィラメントをセ
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、センサ本体の内部に、測定ガスがフィラメント周
囲へ直接流れ込まないようなシールド板を設けたことを
特徴とするピラニ真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10722492A JP3188752B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | ピラニ真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10722492A JP3188752B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | ピラニ真空計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666662A true JPH0666662A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3188752B2 JP3188752B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=14453643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10722492A Expired - Lifetime JP3188752B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | ピラニ真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3188752B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006057148A1 (ja) * | 2004-11-24 | 2008-06-05 | 株式会社アルバック | ピラニ真空計 |
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-
1992
- 1992-04-27 JP JP10722492A patent/JP3188752B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US7694574B2 (en) | 2007-09-13 | 2010-04-13 | Canon Anelva Technix Corporation | Pirani vacuum gauge |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3188752B2 (ja) | 2001-07-16 |
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