JPH0665749B2 - 真空蒸発装置内の溶融金属レベル制御装置 - Google Patents
真空蒸発装置内の溶融金属レベル制御装置Info
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- JPH0665749B2 JPH0665749B2 JP11055186A JP11055186A JPH0665749B2 JP H0665749 B2 JPH0665749 B2 JP H0665749B2 JP 11055186 A JP11055186 A JP 11055186A JP 11055186 A JP11055186 A JP 11055186A JP H0665749 B2 JPH0665749 B2 JP H0665749B2
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空蒸発装置の溶融金属レベル制御装置に関
する。また本発明は、主として鉄鋼材料特に鋼帯に亜鉛
を連続的に真空蒸着する蒸発装置内の溶融亜鉛レベル制
御装置に関する。
する。また本発明は、主として鉄鋼材料特に鋼帯に亜鉛
を連続的に真空蒸着する蒸発装置内の溶融亜鉛レベル制
御装置に関する。
第３図に従来の蒸着室の構造を横から見た概略断面図を
示す。この装置は蒸着室１の真空槽９を真空ポンプ（図
示せず）により排気する構造になつており、蒸着室１は
溶融亜鉛21を大気溶解炉22から導くスノーケル20、溶融
亜鉛21′をメインヒーター13により加熱蒸発させる蒸発
槽18、蒸発槽18からストリツプ３の蒸着面まで亜鉛蒸気
23を導くダクト７から構成されており、蒸発槽18とダク
ト７の間にはストリツプ３への付着量を制御するシヤツ
タ11が設けてある。さらに溶解炉22の下部には高さ調節
手段15が設けてある。
示す。この装置は蒸着室１の真空槽９を真空ポンプ（図
示せず）により排気する構造になつており、蒸着室１は
溶融亜鉛21を大気溶解炉22から導くスノーケル20、溶融
亜鉛21′をメインヒーター13により加熱蒸発させる蒸発
槽18、蒸発槽18からストリツプ３の蒸着面まで亜鉛蒸気
23を導くダクト７から構成されており、蒸発槽18とダク
ト７の間にはストリツプ３への付着量を制御するシヤツ
タ11が設けてある。さらに溶解炉22の下部には高さ調節
手段15が設けてある。
このような構造の蒸着室１で行う亜鉛の真空蒸着めつき
は、亜鉛の供給は大気中の亜鉛溶解炉22で溶解した亜鉛
21を真空槽９内圧力との差圧でスノーケル20を介して行
う。スノーケル20は蒸発槽18につながつており溶融亜鉛
21が凝固しないように加熱し、溶融亜鉛21′は蒸発槽18
で加熱され蒸発する。スノーケル20を用いた亜鉛供給方
式には、（１）真空槽９の外で亜鉛供給ができる。
（２）真空槽９と大気とのシールを溶融亜鉛21を供給し
ながら同時に行うことができる、（３）蒸発槽18内の溶
融亜鉛21′レベルを溶解炉22の溶融亜鉛21レベルで制御
できる、等の特徴がある。
は、亜鉛の供給は大気中の亜鉛溶解炉22で溶解した亜鉛
21を真空槽９内圧力との差圧でスノーケル20を介して行
う。スノーケル20は蒸発槽18につながつており溶融亜鉛
21が凝固しないように加熱し、溶融亜鉛21′は蒸発槽18
で加熱され蒸発する。スノーケル20を用いた亜鉛供給方
式には、（１）真空槽９の外で亜鉛供給ができる。
（２）真空槽９と大気とのシールを溶融亜鉛21を供給し
ながら同時に行うことができる、（３）蒸発槽18内の溶
融亜鉛21′レベルを溶解炉22の溶融亜鉛21レベルで制御
できる、等の特徴がある。
しかし従来の溶融亜鉛21′のレベル制御は溶解炉22の溶
融亜鉛21のレベルを作業者がチエツクしながらインゴツ
ト投入したり溶解炉22の高さ調節をして行つていた。
融亜鉛21のレベルを作業者がチエツクしながらインゴツ
ト投入したり溶解炉22の高さ調節をして行つていた。
ところで、上記従来技術において蒸発槽内の溶解亜鉛レ
ベルを溶解炉高さの変化、および溶解炉内にインゴツト
投入による溶解炉レベル変化等をオペレータがチエツク
しながら保持することは困難であつた。さらに大気圧の
影響もかなり大きいこともわかり、ましてや大気圧の変
化は自然現象であり、いつ気圧が変化するかの予測は困
難であるので、定期的にチエツクする必要があるなどの
問題があつた。また、蒸発槽18からの蒸発量を多くしよ
うとメインヒータ13のヒーターパワーを上げれば蒸発量
が多くなるが、溶融亜鉛レベルは急に下がることにな
り、その都度溶解炉22の高さを調節したり、インゴツト
投入をしたりして蒸発槽18内の溶融亜鉛レベルを一定に
保持することは大変であるという問題があつた。
ベルを溶解炉高さの変化、および溶解炉内にインゴツト
投入による溶解炉レベル変化等をオペレータがチエツク
しながら保持することは困難であつた。さらに大気圧の
影響もかなり大きいこともわかり、ましてや大気圧の変
化は自然現象であり、いつ気圧が変化するかの予測は困
難であるので、定期的にチエツクする必要があるなどの
問題があつた。また、蒸発槽18からの蒸発量を多くしよ
うとメインヒータ13のヒーターパワーを上げれば蒸発量
が多くなるが、溶融亜鉛レベルは急に下がることにな
り、その都度溶解炉22の高さを調節したり、インゴツト
投入をしたりして蒸発槽18内の溶融亜鉛レベルを一定に
保持することは大変であるという問題があつた。
本発明は上記従来技術の問題点を解消する真空蒸発装置
内の溶融金属レベル制御装置を提供することを目的とす
る。また、本発明は、主として鉄鋼材料、特に鋼帯に亜
鉛を連続的に真空蒸着する蒸発装置内の溶融亜鉛レベル
制御装置を提供することを目的とする。
内の溶融金属レベル制御装置を提供することを目的とす
る。また、本発明は、主として鉄鋼材料、特に鋼帯に亜
鉛を連続的に真空蒸着する蒸発装置内の溶融亜鉛レベル
制御装置を提供することを目的とする。
本発明は、溶融金属を真空中で蒸発させてめっきする蒸
着室内の蒸発槽とその下方に設けられた溶解炉とからな
り、前記蒸発槽のスノーケル下端を溶解炉に浸漬して溶
解炉と蒸発槽を連通させた真空蒸発装置内の溶融金属レ
ベル制御装置において、前記溶解炉内の溶融金属レベル
を検出するレベル検出手段と、前記溶解炉高さ位置を検
出する位置検出手段と、前記溶解炉近傍の気圧を計測す
る気圧計測手段と、前記３つの手段からの計測結果の信
号により前記蒸発槽内の蒸発面レベルを演算する演算装
置と、その演算値が予め設定した溶融金属レベルになる
ように前記溶解炉の高さを制御する信号を発信する制御
盤と、制御盤からの信号により前記溶解炉の高さを調節
する手段とからなる真空蒸発装置内の溶融金属レベル制
御装置である。
着室内の蒸発槽とその下方に設けられた溶解炉とからな
り、前記蒸発槽のスノーケル下端を溶解炉に浸漬して溶
解炉と蒸発槽を連通させた真空蒸発装置内の溶融金属レ
ベル制御装置において、前記溶解炉内の溶融金属レベル
を検出するレベル検出手段と、前記溶解炉高さ位置を検
出する位置検出手段と、前記溶解炉近傍の気圧を計測す
る気圧計測手段と、前記３つの手段からの計測結果の信
号により前記蒸発槽内の蒸発面レベルを演算する演算装
置と、その演算値が予め設定した溶融金属レベルになる
ように前記溶解炉の高さを制御する信号を発信する制御
盤と、制御盤からの信号により前記溶解炉の高さを調節
する手段とからなる真空蒸発装置内の溶融金属レベル制
御装置である。
鋼帯に亜鉛を連続的に真空蒸着する蒸発装置内の溶融亜
鉛レベル制御装置を例としてあげて、本発明を説明する
と、本発明は、蒸発槽内溶融亜鉛レベルを一定にするた
めに、溶解炉内溶融亜鉛レベルを検出する如く設けた溶
融亜鉛レベル検出手段と、溶解炉高さ位置を検出する如
く設けた溶解炉高さ位置検出手段と、溶解炉近傍の気圧
を計測する如く設けた気圧計測手段と、前記溶融亜鉛レ
ベル検出手段と前記溶解炉高さ位置検出手段と気圧計測
手段からのそれぞれの計測結果の信号により蒸発槽内溶
融亜鉛レベルを演算する如く設けた演算装置と、該演算
装置からの信号により溶解炉高さ位置を制御する如く設
けた制御盤と、該制御盤からの信号により前記溶解炉高
さを調節る如く設けた溶解炉高さ位置調節手段とからな
ることを特徴とする真空蒸発装置内の溶融金属レベル制
御装置である。
鉛レベル制御装置を例としてあげて、本発明を説明する
と、本発明は、蒸発槽内溶融亜鉛レベルを一定にするた
めに、溶解炉内溶融亜鉛レベルを検出する如く設けた溶
融亜鉛レベル検出手段と、溶解炉高さ位置を検出する如
く設けた溶解炉高さ位置検出手段と、溶解炉近傍の気圧
を計測する如く設けた気圧計測手段と、前記溶融亜鉛レ
ベル検出手段と前記溶解炉高さ位置検出手段と気圧計測
手段からのそれぞれの計測結果の信号により蒸発槽内溶
融亜鉛レベルを演算する如く設けた演算装置と、該演算
装置からの信号により溶解炉高さ位置を制御する如く設
けた制御盤と、該制御盤からの信号により前記溶解炉高
さを調節る如く設けた溶解炉高さ位置調節手段とからな
ることを特徴とする真空蒸発装置内の溶融金属レベル制
御装置である。
この制御装置の作用を説明すると、溶解炉内の溶融亜鉛
レベル変動をレベル検出器で、溶解炉高さ変動を位置検
出器で、気圧変動を気圧計でそれぞれ検出し、その信号
を演算装置で演算し、この演算結果により制御盤を介し
て高さ調節手段を制御し、これによつて蒸発槽内の溶融
亜鉛のレベルを一定に保持するものである。
レベル変動をレベル検出器で、溶解炉高さ変動を位置検
出器で、気圧変動を気圧計でそれぞれ検出し、その信号
を演算装置で演算し、この演算結果により制御盤を介し
て高さ調節手段を制御し、これによつて蒸発槽内の溶融
亜鉛のレベルを一定に保持するものである。
本発明の実施例を第１図および第２図により説明する。
第１図は本発明の実施例装置の概略図、第２図は本発明
の実施例装置による制御手段の説明図を示す。
第１図は本発明の実施例装置の概略図、第２図は本発明
の実施例装置による制御手段の説明図を示す。
本発明は、密封されて真空状態の蒸発装置内で溶融金属
レベルの検出手段として直接測定するのではなく装置外
の比較的測定の容易なものを測定し、間接的に演算で溶
融金属レベルを測定するものである。
レベルの検出手段として直接測定するのではなく装置外
の比較的測定の容易なものを測定し、間接的に演算で溶
融金属レベルを測定するものである。
先ず第２図を説明する。第２図において、H:基準面から
蒸発槽18下面の距離、h1:溶解炉22の高さ位置、h2:溶解
炉22の溶融金属レベル、h3:溶解炉22の溶融金属レベル
から蒸発槽18下面の距離、h4:蒸発槽18の溶融金属レベ
ル、Patm;大気圧、Pch;真空槽内圧である。
蒸発槽18下面の距離、h1:溶解炉22の高さ位置、h2:溶解
炉22の溶融金属レベル、h3:溶解炉22の溶融金属レベル
から蒸発槽18下面の距離、h4:蒸発槽18の溶融金属レベ
ル、Patm;大気圧、Pch;真空槽内圧である。
この場合、蒸発槽18内の溶融金属レベルは、 （Patm−Pch）＝γ（h3＋h4） ……（１） で表わされる（ここでγ：溶融金属の密度である）。こ
こでPatm≫PchであるからPatm−Pch≒Patmとすると
（１）式は Patm＝γ（h3＋h4） ……（２） で表わされる。
こでPatm≫PchであるからPatm−Pch≒Patmとすると
（１）式は Patm＝γ（h3＋h4） ……（２） で表わされる。
（２）式を変形すると となる。
ここでh3は h3＝Ｈ−h2−h1 ……（４） であるから（３）式は となる。
この（５）式のように、Patm,h2,h1を測定すれば蒸発槽
18の溶融金属レベルが計算で求めることができる。
18の溶融金属レベルが計算で求めることができる。
したがつて本発明の制御装置は第１図に示すようにスノ
ーケル20を介して蒸発槽18と溶解炉22が上下に接続され
ている真空蒸発装置において、溶解炉22の溶融金属21の
レベルを検出する如くレベル検出器２を設け、また溶解
炉22の高さ位置を検出する如く位置検出器４が設けられ
ている。さらに溶解炉22の下部には溶解炉22の高さを調
節手段の油圧シリンダ16が設けられている。それに溶解
炉22付近に気圧を計測する気圧計６が設けてある。前記
油圧シリンダ16はサーボ弁14を介して油圧ユニツト12に
接続され、油圧ユニツト12は油圧サーボ制御盤10に接続
されている。またサーボ弁14は油圧サーボ制御盤10にも
接続されている。前記レベル検出器と位置検出器４と気
圧計６および油圧サーボ制御盤10は、蒸発槽18の溶融金
属21′レベルを一定に保持する如く演算する演算装置８
に接続されている。このような本発明の制御装置はメイ
ンヒータ13のヒーターパワーの変化や気圧の変化、イン
ゴツト投入による変化、溶解炉22の高さ変動等により蒸
発槽18の溶融金属21′のレベルが変化した場合、溶解炉
22の溶融金属21のレベルと、溶解炉22の高さをそれぞれ
レベル検出器２と位置検出器４により検出し、また気圧
計６にて気圧を計測し、これらの検出信号および計測信
号を演算装置８に送り、蒸発槽18の溶融金属21′が一定
になるよう演算し、その結果の信号を油圧サーボ制御盤
10に送り、油圧サーボ制御盤10により油圧ユニツト12お
よびサーボ弁14を介して油圧シリンダ16を作動させ溶解
炉22の高さを調節するとともに溶融金属21のレベルを調
節し、さらにはスノーケル20を介して蒸発槽18の溶融金
属21′のレベルを一定に制御する。
ーケル20を介して蒸発槽18と溶解炉22が上下に接続され
ている真空蒸発装置において、溶解炉22の溶融金属21の
レベルを検出する如くレベル検出器２を設け、また溶解
炉22の高さ位置を検出する如く位置検出器４が設けられ
ている。さらに溶解炉22の下部には溶解炉22の高さを調
節手段の油圧シリンダ16が設けられている。それに溶解
炉22付近に気圧を計測する気圧計６が設けてある。前記
油圧シリンダ16はサーボ弁14を介して油圧ユニツト12に
接続され、油圧ユニツト12は油圧サーボ制御盤10に接続
されている。またサーボ弁14は油圧サーボ制御盤10にも
接続されている。前記レベル検出器と位置検出器４と気
圧計６および油圧サーボ制御盤10は、蒸発槽18の溶融金
属21′レベルを一定に保持する如く演算する演算装置８
に接続されている。このような本発明の制御装置はメイ
ンヒータ13のヒーターパワーの変化や気圧の変化、イン
ゴツト投入による変化、溶解炉22の高さ変動等により蒸
発槽18の溶融金属21′のレベルが変化した場合、溶解炉
22の溶融金属21のレベルと、溶解炉22の高さをそれぞれ
レベル検出器２と位置検出器４により検出し、また気圧
計６にて気圧を計測し、これらの検出信号および計測信
号を演算装置８に送り、蒸発槽18の溶融金属21′が一定
になるよう演算し、その結果の信号を油圧サーボ制御盤
10に送り、油圧サーボ制御盤10により油圧ユニツト12お
よびサーボ弁14を介して油圧シリンダ16を作動させ溶解
炉22の高さを調節するとともに溶融金属21のレベルを調
節し、さらにはスノーケル20を介して蒸発槽18の溶融金
属21′のレベルを一定に制御する。
本発明は、以上詳記した構成からなるものであり、これ
を例示として溶融金属のレベル制御装置について説明す
ると、本発明は、メインヒータのヒーターパワーの変化
や大気圧の変化並びに亜鉛インゴツト投入や溶解炉高さ
の変化による溶解炉内の溶融亜鉛レベル変化等によつて
蒸発槽の溶融亜鉛レベルが変化しても、本発明の制御装
置を適用することにより常に蒸発槽内の溶融亜鉛レベル
が一定に保持でき、ストリツプに均一の付着量の亜鉛め
つきができる効果が生ずるものであり、この効果は、溶
融亜鉛にかぎられず、これ以外の金属をめつきする場合
の溶融金属の場合も同様の効果が生ずるものである。
を例示として溶融金属のレベル制御装置について説明す
ると、本発明は、メインヒータのヒーターパワーの変化
や大気圧の変化並びに亜鉛インゴツト投入や溶解炉高さ
の変化による溶解炉内の溶融亜鉛レベル変化等によつて
蒸発槽の溶融亜鉛レベルが変化しても、本発明の制御装
置を適用することにより常に蒸発槽内の溶融亜鉛レベル
が一定に保持でき、ストリツプに均一の付着量の亜鉛め
つきができる効果が生ずるものであり、この効果は、溶
融亜鉛にかぎられず、これ以外の金属をめつきする場合
の溶融金属の場合も同様の効果が生ずるものである。
第１図は、本発明の実施例である真空蒸発装置内の溶融
亜鉛レベル制御装置の概略図であり、第２図は本発明の
制御装置による制御手段を説明するための図である。第
３図は従来の蒸着室の構造の概略断面図である。 １……蒸着室、２……レベル検出器、３……ストリツ
プ、４……位置検出器、５……巻付ロール、６……気圧
計、７……ダクト、８……演算装置、９……真空槽、10
……油圧サーボ制御盤、11……シヤツタ、12……油圧ユ
ニツト、13……メインヒーター、14……サーボ弁、15…
…高さ調節手段、16……油圧シリンダ、18……蒸発槽、
20……スノーケル、21,21′……溶融金属（亜鉛）、22
……溶解炉、23……亜鉛蒸気
亜鉛レベル制御装置の概略図であり、第２図は本発明の
制御装置による制御手段を説明するための図である。第
３図は従来の蒸着室の構造の概略断面図である。 １……蒸着室、２……レベル検出器、３……ストリツ
プ、４……位置検出器、５……巻付ロール、６……気圧
計、７……ダクト、８……演算装置、９……真空槽、10
……油圧サーボ制御盤、11……シヤツタ、12……油圧ユ
ニツト、13……メインヒーター、14……サーボ弁、15…
…高さ調節手段、16……油圧シリンダ、18……蒸発槽、
20……スノーケル、21,21′……溶融金属（亜鉛）、22
……溶解炉、23……亜鉛蒸気
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 免田 繁美 広島県広島市西区観音新町１丁目１番31号 三和システムサービス株式会社内 (72)発明者 大橋 恭輔 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 森山 義輝 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 長廻 誠一 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (56)参考文献 特開 昭53−30432（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−38379（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】溶融金属を真空中で蒸発させてめっきする
蒸着室内の蒸発槽とその下方に設けられた溶解炉とから
なり、前記蒸発槽のスノーケル下端を溶解炉に浸漬して
溶解炉と蒸発槽を連通させた真空蒸発装置内の溶融金属
レベル制御装置において、前記溶解炉内の溶融金属レベ
ルを検出するレベル検出手段と、前記溶解炉高さ位置を
検出する位置検出手段と、前記溶解炉近傍の気圧を計測
する気圧計測手段と、前記３つの手段からの計測結果の
信号により前記蒸発槽内の蒸発面レベルを演算する演算
装置と、その演算値が予め設定した溶融金属レベルにな
るように前記溶解炉の高さを制御する信号を発信する制
御盤と、制御盤からの信号により前記溶解炉の高さを調
節する手段とからなる真空蒸発装置内の溶融金属レベル
制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055186A JPH0665749B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 真空蒸発装置内の溶融金属レベル制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055186A JPH0665749B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 真空蒸発装置内の溶融金属レベル制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62267468A JPS62267468A (ja) | 1987-11-20 |
| JPH0665749B2 true JPH0665749B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=14538691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11055186A Expired - Fee Related JPH0665749B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 真空蒸発装置内の溶融金属レベル制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665749B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI385261B (zh) * | 2010-06-08 | 2013-02-11 | Sunshine Pv Corp | 蒸發機以及適用於蒸發機之液位控制裝置及方法 |
| CN113930738B (zh) * | 2020-06-29 | 2023-09-12 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种真空镀膜用的金属蒸汽调制装置及其调制方法 |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP11055186A patent/JPH0665749B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62267468A (ja) | 1987-11-20 |
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