JPH066444Y2 - Sample stage - Google Patents
Sample stageInfo
- Publication number
- JPH066444Y2 JPH066444Y2 JP13954187U JP13954187U JPH066444Y2 JP H066444 Y2 JPH066444 Y2 JP H066444Y2 JP 13954187 U JP13954187 U JP 13954187U JP 13954187 U JP13954187 U JP 13954187U JP H066444 Y2 JPH066444 Y2 JP H066444Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- case
- vacuum chamber
- moving
- moving mechanism
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本考案は、例えば、ＥＳＣＡやＳＩＭＳのような表面分
析装置などに好適な試料ステージに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a sample stage suitable for a surface analyzer such as ESCA or SIMS.
（ロ）従来技術とその問題点 一般にこの種の表面分析装置では、真空チャンバ（分析
室）の内部が１０−８torr〜１０−１１torr程度の超高
真空に保持させ、この中で試料ステージにより試料を移
動させて分析を行っている。(B) Prior art and its problems Generally, in this type of surface analysis apparatus, the inside of the vacuum chamber (analysis chamber) is maintained at an ultrahigh vacuum of about 10 −8 torr to 10 −11 torr, and the sample stage The sample is moved to analyze.
従来、このような超高真空用の試料ステージとして、例
えば、第２図に示されるマニピュレータ方式のものがあ
る。この第２図において、２０は高真空に保持される真
空チャンバ、２１は取り付けフランジ、２２は気密保持
用のベローズ、２３は銅ガスケット、２４は試料、２５
は試料ブロック、２６は前記試料２４を軸２７を介して
移動させるための移動機構であり、図の左右方向に移動
させるための第１，第２可動部２８，２９と、前後方向
に移動させるための第３，第４可動部３０，３１と、上
下方向に移動させるための第５，第６可動部３２，３３
とから構成されている。Conventionally, as such a sample stage for ultra-high vacuum, there is, for example, a manipulator type stage shown in FIG. In FIG. 2, 20 is a vacuum chamber that is maintained at a high vacuum, 21 is a mounting flange, 22 is a bellows for maintaining airtightness, 23 is a copper gasket, 24 is a sample, 25
Is a sample block, and 26 is a moving mechanism for moving the sample 24 via a shaft 27, and first and second movable parts 28 and 29 for moving the sample 24 in the left-right direction, and for moving it in the front-back direction. Third and fourth movable portions 30 and 31 for moving, and fifth and sixth movable portions 32 and 33 for moving vertically.
It consists of and.
このような従来の試料ステージでは、ベローズ２２およ
び移動機構２６は、真空チャンバ２０の外側に配置され
ており、軸２７を介して試料２４を移動させているため
に、軸２７が長く、また、一端で支持されているため
に、外側の振動の影響を受けて試料２４が振動し易いと
いう難点がある。In such a conventional sample stage, the bellows 22 and the moving mechanism 26 are arranged outside the vacuum chamber 20, and the sample 24 is moved via the shaft 27. Therefore, the shaft 27 is long, and Since it is supported at one end, there is a drawback that the sample 24 is likely to vibrate under the influence of external vibration.
本考案は、上述の点に鑑みて為されたものであって、振
動が少ない高精度の試料ステージを提供することを目的
とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a high-precision sample stage with less vibration.
（ハ）問題点を解決するための手段 本考案の試料ステージでは、上述の目的を達成するため
に、真空チャンバ内に配置された開口部を有するケース
内に、試料載置用の部材を支持移動させる移動機構が収
納配置され、前記ケースの開口部には、気密保持用の伸
縮自在の継ぎ手の一方の端部が気密に取り付けられ、こ
の継ぎ手の他方の端部には、前記試料載置用の部材が、
前記真空チャンバ内におけるケースの内側と外側とを隔
離するように気密に取り付けられている。(C) Means for Solving the Problems In the sample stage of the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a sample mounting member is supported in a case having an opening arranged in the vacuum chamber. A moving mechanism for moving is accommodated and arranged, and one end of an expandable joint for airtightness is airtightly attached to the opening of the case, and the sample mounting portion is attached to the other end of the joint. Parts for
The case is attached in an airtight manner so as to separate the inside and the outside of the case in the vacuum chamber.
（ニ）作用 上記構成によれば、真空チャンバ内に配置されたケース
内に、移動機構を収納配置し、この移動機構により伸縮
自在の継ぎ手を介して試料載置用の部材を支持移動させ
る構成としているので、前記移動機構を、試料載置用の
部材に近接配置でき、試料載置用の部材を安定に支持あ
るいは移動させることができる。(D) Operation According to the above configuration, the moving mechanism is housed and arranged in the case placed in the vacuum chamber, and the moving mechanism supports and moves the sample mounting member via the extendable joint. Therefore, the moving mechanism can be disposed close to the sample mounting member, and the sample mounting member can be stably supported or moved.
（ホ）実施例 以下、図面によって本考案の実施例について詳細に説明
する。第１図は本考案の一実施例の試料ステージの断面
図である。同図において、１は高真空に保持される真空
チャンバであり、この真空チャンバ１内の適宜位置、例
えば、中央位置には、上壁が開口部Ａとなっているケー
ス２が、真空チャンバ１の内壁から突設された支持部３
によって支持されている。このケース２内には、試料載
置用の部材である試料プレート４を、支持移動させる移
動機構５が収納配置されている。(E) Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a sample stage according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a vacuum chamber that is maintained in a high vacuum, and a case 2 having an upper wall having an opening A is located at an appropriate position in the vacuum chamber 1, for example, at a central position. Support part 3 protruding from the inner wall of the
Supported by. A moving mechanism 5 for supporting and moving the sample plate 4, which is a sample mounting member, is housed and arranged in the case 2.
このケース２の前記開口部Ａには、気密保持用の伸縮自
在の継ぎ手であるベローズ６の一方の端部が取り付け部
７を介して取り付けられる。この取り付け部７とケース
２の端部との間には、気密性保持のための銅ガスケット
８が介装される。To the opening A of the case 2, one end of a bellows 6 which is a stretchable joint for keeping airtightness is attached via an attachment portion 7. A copper gasket 8 for maintaining airtightness is interposed between the mounting portion 7 and the end of the case 2.
このベローズ６の他方の端部は、取り付け部９を介して
試料プレート４に気密に取り付けられる。この試料プレ
ート４には、試料１０および試料ブロック１１が載置さ
れる。この試料プレート４とベローズ６の取り付け部９
との間には、気密性保持のための銅ガスケット１２が介
装される。The other end of the bellows 6 is airtightly attached to the sample plate 4 via the attachment portion 9. A sample 10 and a sample block 11 are placed on the sample plate 4. Attachment part 9 of this sample plate 4 and bellows 6
A copper gasket 12 for maintaining the airtightness is interposed between and.
このようにしてケース２、ベローズ６および試料プレー
ト４により真空チャンバ１内におけるケース２の内側と
外側とが気密に隔離される。In this way, the case 2, the bellows 6 and the sample plate 4 hermetically separate the inside and the outside of the case 2 in the vacuum chamber 1.
ケース２内に収納されている移動機構５は、試料プレー
ト４を支持し、このプレート４を図の左右方向（Ｘ軸方
向）、前後方向（Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方
向）の３軸方向に移動させる。The moving mechanism 5 housed in the case 2 supports the sample plate 4 and supports the plate 4 in the left-right direction (X-axis direction), the front-back direction (Y-axis direction), and the up-down direction (Z-axis direction). Move in 3 axis directions.
この移動機構５は、上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる
ための第１，第２可動部１３，１４と、前後方向（Ｙ軸
方向）に移動させるための第３，第４可動部１５，１６
と、左右方向（Ｘ軸方向）に移動させるための第５，第
６可動部１７，１８とから構成されている。The moving mechanism 5 includes first and second movable portions 13 and 14 for moving in the vertical direction (Z-axis direction) and third and fourth movable portions 15 for moving in the front-back direction (Y-axis direction). , 16
And fifth and sixth movable parts 17 and 18 for moving in the left-right direction (X-axis direction).
すなわち、第５可動部１７が第６可動部１８に沿って左
右方向に移動することにより、第５可動部１７上の各部
が左右方向に移動し、また、第３可動部１５が第４可動
部１６に沿って前後方向に移動することにより、第３可
動部１５上の各部が前後方向に移動し、さらに、第１可
動部１３が第２可動部１４に沿って上下方向に移動する
ことにより、第１可動部１３と一体的な試料プレート４
が上下方向に移動する。したがって、試料プレート４上
の試料１１は、移動機構５により左右方向、前後方向お
よび上下方向に移動する。That is, when the fifth movable portion 17 moves in the left-right direction along the sixth movable portion 18, each part on the fifth movable portion 17 moves in the left-right direction, and the third movable portion 15 moves in the fourth movable portion. By moving in the front-back direction along the portion 16, each part on the third movable portion 15 moves in the front-back direction, and further, the first movable portion 13 moves in the vertical direction along the second movable portion 14. As a result, the sample plate 4 integrated with the first movable portion 13
Moves up and down. Therefore, the sample 11 on the sample plate 4 is moved in the left-right direction, the front-back direction, and the up-down direction by the moving mechanism 5.
この移動機構５は、例えば、ラックとピニオンとを利用
して構成されており、図示しない駆動手段によって駆動
される。この駆動制御のために、ケース２には、真空チ
ャンバ１の外部に連通する管路１９が形成されており、
この管路１９を通るリード線を介して駆動制御が行われ
る。The moving mechanism 5 is configured by using, for example, a rack and a pinion, and is driven by a driving unit (not shown). For this drive control, the case 2 is formed with a conduit 19 communicating with the outside of the vacuum chamber 1.
Drive control is performed via a lead wire passing through the conduit 19.
このように真空チャンバ１内にケース２を配置し、この
ケース２内に移動機構５を収納配置しているので、試料
プレート４とこの移動機構５とを近接して配置させるこ
とができ、第２図の従来例に比べて振動に対して安定と
なり、また、移動機構５は真空チャンバ１とは隔離され
たケース２内にあるために真空チャンバ１内へのガスの
放出が少なくなり、高精度の試料ステージとなる。さら
に、ケース２を適宜位置に配置することにより試料プレ
ート４の移動距離を短くでき、したがって、ベローズ６
の長さも短くて済むことになる。Since the case 2 is arranged in the vacuum chamber 1 and the moving mechanism 5 is housed in the case 2 as described above, the sample plate 4 and the moving mechanism 5 can be arranged close to each other. As compared with the conventional example shown in FIG. 2, the movement mechanism 5 is more stable against vibration, and since the moving mechanism 5 is in the case 2 separated from the vacuum chamber 1, the amount of gas released into the vacuum chamber 1 is reduced, which is high. It becomes a precision sample stage. Furthermore, by arranging the case 2 at an appropriate position, the moving distance of the sample plate 4 can be shortened.
The length will be short.
上述の実施例では、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸方向の移動機構５
であったけれども、さらに、試料プレート４を傾斜させ
る機構を付加してもよい。In the above-described embodiment, the moving mechanism 5 in the X-, Y-, and Z-axis directions is used.
However, a mechanism for inclining the sample plate 4 may be added.
（ヘ）効果 以上のように本考案によれば、真空チャンバ内に配置さ
れた開口部を有するケース内に、試料載置用の部材を支
持移動させる移動機構が収納配置され、前記ケースの開
口部には、気密保持用の伸縮自在の継ぎ手の一方の端部
が気密に取り付けられ、この継ぎ手の他方の端部には、
前記試料載置用の部材が、前記真空チャンバ内における
ケースの内側と外側とを隔離するように気密に取り付け
られているので、前記移動機構を試料載置用の部材に近
接配置させることができ、試料載置用の部材が移動機構
によって安定に支持あるいは移動されることになり、振
動に対して安定な高精度の試料ステージとなる。(F) Effect As described above, according to the present invention, the moving mechanism for supporting and moving the sample mounting member is housed in the case having the opening arranged in the vacuum chamber, and the opening of the case is opened. One end of a stretchable joint for airtightness is airtightly attached to the part, and the other end of this joint is
Since the sample mounting member is airtightly attached so as to isolate the inside and the outside of the case in the vacuum chamber, the moving mechanism can be arranged close to the sample mounting member. The member for mounting the sample is stably supported or moved by the moving mechanism, and the sample stage is stable and highly accurate against vibration.
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は従来例の
断面図である。 １…真空チャンバ、４…試料プレート、６…ベローズ、
５…移動機構。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional example. 1 ... vacuum chamber, 4 ... sample plate, 6 ... bellows,
5 ... Moving mechanism.
Claims (1)
るケース内に、試料載置用の部材を支持移動させる移動
機構が収納配置され、前記ケースの開口部には、気密保
持用の伸縮自在の継ぎ手の一方の端部が気密に取り付け
られ、この継ぎ手の他方の端部には、前記試料載置用の
部材が、前記真空チャンバ内におけるケースの内側と外
側とを隔離するように気密に取り付けられることを特徴
とする試料ステージ。1. A moving mechanism for supporting and moving a member for mounting a sample is housed in a case having an opening arranged in a vacuum chamber, and the opening of the case is a telescopic member for maintaining airtightness. One end of the universal joint is airtightly attached, and the other end of the universal joint is airtight so that the sample mounting member separates the inside and the outside of the case in the vacuum chamber. A sample stage characterized by being attached to.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13954187U JPH066444Y2 (en) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | Sample stage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13954187U JPH066444Y2 (en) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | Sample stage |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6444556U JPS6444556U (en) | 1989-03-16 |
| JPH066444Y2 true JPH066444Y2 (en) | 1994-02-16 |
Family
ID=31402894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13954187U Expired - Lifetime JPH066444Y2 (en) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | Sample stage |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066444Y2 (en) |
-
1987
- 1987-09-11 JP JP13954187U patent/JPH066444Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6444556U (en) | 1989-03-16 |
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