JPH0662771U - Magnetic levitation electromagnetic actuator - Google Patents

Magnetic levitation electromagnetic actuator

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JPH0662771U
JPH0662771U JP328793U JP328793U JPH0662771U JP H0662771 U JPH0662771 U JP H0662771U JP 328793 U JP328793 U JP 328793U JP 328793 U JP328793 U JP 328793U JP H0662771 U JPH0662771 U JP H0662771U
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horizontal
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levitation
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孝之 水野
幹雄 鷹野
憲一 箭野
浩史 緑川
龍児 中野
立太 片村
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Ebara Corp
Kajima Corp
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Ebara Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 水平方向のギャップ量が大きくても、小電力
で水平方向の安定した制御を可能にする。 【構成】 ロータ1の下部に絶縁板5を介して水平フラ
ンジ6を設け、水平フランジ6とステータ10との間に
リニアモータ20を設け、リニアモータ20と水平方向
ギャップセンサ12とを水平振動制御用コントローラ3
1に接続する。
(57) [Abstract] [Purpose] Even if the horizontal gap amount is large, stable horizontal control is possible with a small amount of power. [Structure] A horizontal flange 6 is provided below a rotor 1 via an insulating plate 5, a linear motor 20 is provided between the horizontal flange 6 and a stator 10, and horizontal vibration control is performed between the linear motor 20 and the horizontal gap sensor 12. Controller 3
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、除振装置等に用いられる磁気浮上式電磁アクチュエータに関する。 The present invention relates to a magnetic levitation electromagnetic actuator used for a vibration isolation device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

ロータをステータに設けた浮上用電磁石で磁気浮上し、水平方向制御用電磁石 で吸引して水平方向の位置を制御する電磁アクチュエータは周知である。 An electromagnetic actuator in which a rotor is magnetically levitated by a levitation electromagnet and is attracted by a horizontal direction control electromagnet to control a horizontal position is well known.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

従来の電磁アクチュエータにおいては、水平方向の制御に吸引式の電磁石を用 いているので、大地震などに対処するために水平方向のギャップ量を大きくする と、大きな吸引力を発生させるために、水平方向制御用電磁石の容量が大きくな り、消費電力が増大する。 In conventional electromagnetic actuators, a suction-type electromagnet is used for horizontal control.Therefore, if the horizontal gap amount is increased to deal with a large earthquake, a large suction force will be generated. The capacity of the direction control electromagnet increases, which increases power consumption.

【0004】 本考案は、水平方向のギャップ量が大きくても小電力で水平方向の安定した制 御を可能にする磁気浮上式電磁アクチュエータを提供することを目的としている 。An object of the present invention is to provide a magnetic levitation electromagnetic actuator that enables stable horizontal control with a small amount of electric power even if the horizontal gap amount is large.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案によれば、ロータの下部に絶縁部材を介して一体に設けた水平フランジ とステータとの間にリニアモータを設け、該リニアモータと水平方向ギャップセ ンサとを水平振動制御用コントローラに接続し、前記ステータに浮上制御用コン トローラに接続したギャップセンサを設けている。 According to the present invention, the linear motor is provided between the horizontal flange integrally provided on the lower part of the rotor via the insulating member and the stator, and the linear motor and the horizontal gap sensor are connected to the horizontal vibration control controller. The stator is provided with a gap sensor connected to the levitation control controller.

【0006】 上記水平フランジの下面に、リニアモータ移動部を設け、その移動部を、相互 に相隣る磁極が異極の永久磁石で構成し、ステータに設けたリニアモータ固定部 は、電磁石で構成するのが好ましい。A linear motor moving part is provided on the lower surface of the horizontal flange, and the moving part is composed of permanent magnets having mutually different magnetic poles, and the linear motor fixing part provided on the stator is an electromagnet. It is preferable to configure.

【0007】[0007]

【作用】[Action]

上記のように構成された電磁アクチュエータにおいて、水平振動制御用コント ローラは、水平方向ギャップセンサからの信号に基づきロータの水平方向の変位 を検出し、変位量に応じた制御電流をリニアモータ固定部に出力して制御する。 In the electromagnetic actuator configured as described above, the horizontal vibration control controller detects the horizontal displacement of the rotor based on the signal from the horizontal gap sensor, and outputs the control current according to the displacement amount to the linear motor fixed part. To output and control.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

以下図面を参照して本考案の実施例を説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】 図1において、除振テーブルTを支持したロータ1には、水平なテーブル支持 フランジ2と、縦部3と、縦部3から水平に突設された浮上用フランジ4とが形 成されている。また、縦部3には、絶縁板5を介して水平フランジ6が一体に設 けられている。In FIG. 1, the rotor 1 supporting the vibration isolation table T is formed with a horizontal table support flange 2, a vertical portion 3, and a levitation flange 4 horizontally protruding from the vertical portion 3. Has been done. A horizontal flange 6 is integrally provided on the vertical portion 3 with an insulating plate 5 interposed therebetween.

【0010】 他方、床Fに固設されたステータ10には、ロータ1の縦部3、浮上用フラン ジ4及び水平フランジ6を隙間を設けて収める溝11が形成されている。その溝 11の縦部3の上部寄りに対向する部分には、水平方向ギャップセンサ12が設 けられ、浮上用フランジ4の上面に対向する部分には、浮上用電磁石13と浮上 用ギャップ14とが設けられている。On the other hand, the stator 10 fixed to the floor F is formed with a groove 11 for accommodating the vertical portion 3, the floating flange 4 and the horizontal flange 6 of the rotor 1 with a gap. A horizontal gap sensor 12 is provided in a portion of the groove 11 facing the upper part of the vertical portion 3, and a levitation electromagnet 13 and a levitation gap 14 are provided in a portion facing the upper surface of the levitation flange 4. Is provided.

【0011】 そして、水平フランジ6と溝11の底面との間には、リニアモータ20が設け られている。そのリニアモータ20の水平フランジ6に設けられたリニアモータ 移動部21は、相隣る磁極が異極の永久磁石で構成されている。他方、溝11の 底面に設けられたリニアモータ固定部22は、図示しない電磁石で構成されてい る。A linear motor 20 is provided between the horizontal flange 6 and the bottom surface of the groove 11. The linear motor moving portion 21 provided on the horizontal flange 6 of the linear motor 20 is composed of permanent magnets having mutually different adjacent magnetic poles. On the other hand, the linear motor fixing portion 22 provided on the bottom surface of the groove 11 is composed of an electromagnet (not shown).

【0012】 図2において、浮上用ギャップセンサ14は、浮上制御用コントローラ30に 接続され、そのコントローラ30には、浮上用電磁石13が接続されている。In FIG. 2, the levitation gap sensor 14 is connected to a levitation control controller 30, and the levitation electromagnet 13 is connected to the controller 30.

【0013】 また、水平方向ギャップセンサ12は、水平振動制御用コントローラ31に接 続され、そのコントローラ31には、リニアモータ固定部22が接続されている 。Further, the horizontal gap sensor 12 is connected to a horizontal vibration control controller 31, and the linear motor fixing portion 22 is connected to the controller 31.

【0014】 次に、作用について説明する。Next, the operation will be described.

【0015】 浮上制御用コントローラ30は、浮上用ギャップセンサ14からの鉛直方向ギ ャップ量信号に基づき浮上用電磁石13に制御電流を出力し、浮上用フランジを 吸引してギャップ量が所定値を保つように制御する。The levitation control controller 30 outputs a control current to the levitation electromagnet 13 based on the vertical gap amount signal from the levitation gap sensor 14, and attracts the levitation flange to keep the gap amount at a predetermined value. To control.

【0016】 水平振動制御用コントローラ31は、水平方向ギャップセンサ12からの水平 方向ギャップ量信号に基づき、リニアモータ固定部22に制御電流を出力し、リ ニアモータ20を駆動してギャップ量が所定値になるように制御する。したがっ て、リニアモータ20により水平方向のギャップを制御するので、ギャップ量を 大きくとることができ、小電力で微振動から大地震に対処することができる。The horizontal vibration control controller 31 outputs a control current to the linear motor fixing portion 22 based on the horizontal gap amount signal from the horizontal gap sensor 12 to drive the linear motor 20 so that the gap amount reaches a predetermined value. Control to become. Therefore, since the linear motor 20 controls the horizontal gap, it is possible to increase the gap amount, and it is possible to cope with a small earthquake and a large earthquake with a small amount of electric power.

【0017】 また、リニアモータ20の移動部21と固定部22との間のギャップ量は、浮 上制御用コントローラ30により、ロータ1の浮上位置を介して一定に保たれる ので、安定した制御力が得られる。Further, since the gap amount between the moving portion 21 and the fixed portion 22 of the linear motor 20 is kept constant by the levitation control controller 30 via the levitation position of the rotor 1, stable control is possible. Power is gained.

【0018】[0018]

【考案の効果】[Effect of device]

本考案は、以上説明したように構成されているので、水平方向のギャップが大 きくても、小電力で水平方向の安定した制御を行い、微振動から大地震に対処す ることができる。 Since the present invention is configured as described above, even if the gap in the horizontal direction is large, stable control in the horizontal direction can be performed with a small amount of electric power, and it is possible to cope with a large earthquake from a slight vibration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例を示す側断面図。FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の制御回路図。FIG. 2 is a control circuit diagram of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

F・・・床 T・・・除振テーブル 1・・・ロータ 2・・・テーブル支持フランジ 3・・・縦部 4・・・浮上用フランジ 5・・・絶縁板 6・・・水平フランジ 10・・・ステータ 11・・・溝 12・・・水平方向ギャップセンサ 13・・・浮上用電磁石 14・・・浮上用ギャップセンサ 20・・・リニアモータ 21・・・リニアモータ移動部 22・・・リニアモータ固定部 30・・・浮上制御用コントローラ 31・・・水平振動制御用コントローラ F ... Floor T ... Vibration isolation table 1 ... Rotor 2 ... Table support flange 3 ... Vertical part 4 ... Floating flange 5 ... Insulation plate 6 ... Horizontal flange 10 ... Stator 11 ... Groove 12 ... Horizontal gap sensor 13 ... Levitation electromagnet 14 ... Levitation gap sensor 20 ... Linear motor 21 ... Linear motor moving part 22 ... Linear motor fixed part 30 ... Levitation control controller 31 ... Horizontal vibration control controller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 箭野 憲一 東京都調布市飛田給二丁目19番1号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)考案者 緑川 浩史 東京都調布市飛田給二丁目19番1号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)考案者 中野 龍児 東京都調布市飛田給二丁目19番1号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)考案者 片村 立太 東京都調布市飛田給二丁目19番1号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Kenichi Yasuno Kenichi Yasuno 2-1-1, Tobita, Chofu-shi, Tokyo Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Institute (72) Hiroshi Midorikawa 2-1-1, Hibita, Chofu-shi, Tokyo No. 19 Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Institute (72) Inventor Ryuji Nakano No. 19-1 Tobita Syo, Chofu City, Tokyo Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Center (72) Inventor Ryota Katamura Two Tobita, Chofu City, Tokyo No. 19-1 Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Institute

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ロータの下部に絶縁部材を介して一体に
設けた水平フランジとステータとの間にリニアモータを
設け、該リニアモータと水平方向ギャップセンサとを水
平振動制御用コントローラに接続し、前記ステータに浮
上制御用コントローラに接続したギャップセンサを設け
たことを特徴とする磁気浮上式電磁アクチュエータ。
1. A linear motor is provided between a stator and a horizontal flange integrally provided on a lower portion of a rotor via an insulating member, and the linear motor and the horizontal gap sensor are connected to a horizontal vibration control controller, A magnetic levitation type electromagnetic actuator, wherein a gap sensor connected to a levitation control controller is provided on the stator.
JP1993003287U 1993-02-08 1993-02-08 Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration isolation device Expired - Lifetime JPH0753412Y2 (en)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5381150A (en) * 1976-12-25 1978-07-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Fine adjustment base
JPH0274621U (en) * 1988-11-29 1990-06-07
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