JP2000341929A - Linear motor - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はリニアモータに係る
もので、さらに詳しくは、リニアモータを駆動する時、
発生される垂直力及び分塊圧延(Cogging)を減少させる
ことができるリニアモータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor, and more particularly, to driving a linear motor.
The present invention relates to a linear motor capable of reducing generated vertical force and cogging.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般的に従来のリニアモータは、図8及
び図9に図示されたように、磁性体である界磁バックア
イアン50とこのバックアイアン50の上面に配置された多
数のコイルユニット51を備えた固定子52と、電機子バッ
クアイアン53と前記コイルユニット51との上部に位置さ
れると共に所定間隔ほど離隔されスライド移動され、前
記電機子バックアイアン53に付着された多数の磁石54
と、から成る可動子55とにより構成される。前記コイル
ユニット51は、図9に図示したように、磁性体であるコ
ア57にコイル58を所定巻数ほど巻かれて構成されてい
る。2. Description of the Related Art As shown in FIGS. 8 and 9, a conventional linear motor generally comprises a magnetic field back iron 50 and a plurality of coil units disposed on an upper surface of the back iron 50. As shown in FIG. A plurality of magnets 54 attached to the armature back iron 53, the stator 52 having a stator 52, the armature back iron 53 and the coil unit 51, which are positioned above the coil unit 51 and are slid and separated by a predetermined distance.
And a mover 55 composed of As shown in FIG. 9, the coil unit 51 is configured by winding a coil 58 around a predetermined number of turns around a core 57 made of a magnetic material.
【0003】上述したように構成された従来のリニアモ
ータは、コイルユニット51のコイル58に電流を印加する
ようになれば、前記コイル58から磁界が発生されると共
に可動子56に設置された磁石54から磁界が発生する。こ
れによって、推力が発生されるので可動子56が移動す
る。ここで、前記コイルユニット51及び磁石54から発生
された磁界が閉回路を成すためには、前記界磁及び電機
子バックアイアン50,53が磁性体と構成されなければな
らない。即ち、前記コイルユニット51及び磁石54から発
生された磁界が、前記界磁及び電機子バックアイアン5
0,53を介して磁界閉回路を成すことができるようにする
ことである。In the conventional linear motor configured as described above, when a current is applied to the coil 58 of the coil unit 51, a magnetic field is generated from the coil 58 and the magnet mounted on the mover 56 A magnetic field is generated from 54. As a result, a thrust is generated, and the mover 56 moves. Here, in order for the magnetic field generated by the coil unit 51 and the magnet 54 to form a closed circuit, the field and the armature back irons 50 and 53 must be made of a magnetic material. That is, the magnetic field generated from the coil unit 51 and the magnet 54 is generated by the field and the armature back iron 5.
That is, it is possible to form a magnetic field closed circuit via 0,53.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、界磁及び電機子バックアイアンを磁性体と形
成すると共に互いに対向された状態を維持すれば、前記
界磁及び電機子バックアイアン50,53との間において垂
直力が発生される問題がある。前記界磁及び電機子バッ
クアイアン50,53との間において垂直力が発生すること
によって、可動子56が移動する時、前記垂直力のために
これを制御する制御精密度が低下される。前記垂直力が
大きい場合には、可動子56の垂直位置を限定する別の制
御器具が要求される。さらに、前記固定子52を構成する
ためには、比較的に小さい部品である多数のコア57及び
コイル58を界磁バックアイアン50に付着すべきであるの
で、これによってリニアモータの組立作業が難儀な仕事
になる問題がある。However, as described above, if the field and the armature back iron are formed of a magnetic material and are maintained in a state of facing each other, the field and the armature back iron 50, There is a problem that a normal force is generated between them. Since a vertical force is generated between the field and the armature back irons 50 and 53, when the mover 56 moves, the control precision for controlling the vertical force is reduced. If the vertical force is large, another control device for limiting the vertical position of the mover 56 is required. Further, in order to configure the stator 52, a large number of relatively small parts such as the core 57 and the coil 58 should be attached to the field back iron 50. This makes it difficult to assemble the linear motor. There is a problem that becomes a serious job.
【0005】本発明の目的は、従来の上述したような問
題等を解決するために案出したものであって、コイルユ
ニット及び磁石から発生される磁界閉回路を制限せず、
界磁及び電機子バックアイアンとの間で発生される垂直
力が外部直線運動ガイド(図示せず)に及ばないように
構成したリニアモータを提供する事にある。さらに、本
発明の他の目的は、固定子の組立能率を向上させること
ができるリニアモータを提供する事にある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-described conventional problems and the like, and does not limit a magnetic field closed circuit generated by a coil unit and a magnet.
An object of the present invention is to provide a linear motor configured so that a vertical force generated between a field and an armature back iron does not reach an external linear motion guide (not shown). Still another object of the present invention is to provide a linear motor capable of improving the efficiency of assembling a stator.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上述したような目的を達
成するために本発明は、複数のコイルユニットと、その
下部一側が固定部に設置され、コイルユニットをその両
側に配列させた固定板と、固定板を上部で覆い被せるよ
うに形成され、その内側にコイルユニットと対向するよ
うに設置される磁石を備えたバックアイアンと、によっ
てリニアモータを構成する。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a fixing plate in which a plurality of coil units and a lower part thereof are installed on a fixing part, and the coil units are arranged on both sides thereof. And a back iron which is formed so as to cover the fixing plate at the upper part and has a magnet provided inside thereof so as to face the coil unit, thereby constituting a linear motor.
【0007】なお、上述したような目的を達成するため
に本発明は、コイル部と、該コイル部に電気的に連結さ
れるコネクティング手段と、コイル部をエポキシ樹脂で
モールディングし、固定部に一体に形成するように固定
板と、該固定板を覆い被せるように形成され、その内側
にコイルユニットと対向するように設置される磁石を備
えたバックアイアンと、によってリニアモータを構成す
る。[0007] In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a coil part, a connecting means electrically connected to the coil part, and molding the coil part with an epoxy resin to be integrated with a fixed part. A linear motor is constituted by a fixed plate formed so as to cover the fixed plate, and a back iron provided with a magnet provided inside the fixed plate so as to face the coil unit.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。本発明の第1の実施例による
リニアモータは、図1乃至図3に図示されたように、固
定部2の上部には“I”字状の固定板3が設置され、前記
固定板3の両側には、コイルユニット1,1aが垂直状態に
設置されている。前記固定板3は、アルミニウム等のよ
うな非磁性体とから成る。かつ、前記固定板3は、
“∩”状と構成され、磁性体であるバックアイアン5に
よって覆い被せるように構成するようになる。前記バッ
クアイアン5の内測には、前記コイルユニット1,1aに近
接するように多数の磁石4,4aが順次に配列される。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the linear motor according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, an “I” shaped fixing plate 3 is installed on a fixing portion 2, On both sides, the coil units 1, 1a are installed vertically. The fixing plate 3 is made of a non-magnetic material such as aluminum. And, the fixing plate 3
It is configured in a “∩” shape, and is configured to be covered with the back iron 5 that is a magnetic material. In the internal measurement of the back iron 5, a large number of magnets 4, 4a are sequentially arranged close to the coil units 1, 1a.
【0009】さらに、前記固定部2の上面には、位置検
出回路(ホール素子等とから成ったスイッチング回路)6
が設置され、この位置検出回路6が電機子であるバック
アイアン5の位置を検出するようにバックアイアン5の底
面には、前記位置検出回路6に対向するように位置検出
磁石7が付着されている。かつ、前記位置検出回路6及び
位置検出磁石7によって前記電機子が位置された部分の
みのコイルユニット1,1aに電流を印加することができる
ように構成されている。Further, a position detecting circuit (a switching circuit including a Hall element or the like) 6
A position detection magnet 7 is attached to the bottom surface of the back iron 5 so that the position detection circuit 6 detects the position of the back iron 5 as an armature so as to face the position detection circuit 6. I have. In addition, the position detection circuit 6 and the position detection magnet 7 are configured so that current can be applied to the coil units 1 and 1a only in the portion where the armature is located.
【0010】前記コイルユニット1,1aは、図2に図示さ
れたように、非磁性体であるコア8と、該コア8に巻かれ
た所定巻き数のコイル9とからなっている。即ち、図1
に図示されたように、“A”部分において前記バックア
イアン5が非磁性体である固定板3を間に置いて磁界回路
を形成するようになる。As shown in FIG. 2, each of the coil units 1 and 1a includes a core 8, which is a nonmagnetic material, and a coil 9 having a predetermined number of turns wound around the core 8. That is, FIG.
As shown in FIG. 3, the back iron 5 forms a magnetic field circuit with the fixing plate 3 made of a non-magnetic material interposed therebetween at the portion "A".
【0011】前記コイル9に電流が印加されば、該コイ
ル9で磁界が発生されると共に前記磁石4,4aとの間にお
いて推力が発生される。前記コイル9に電流が印加さ
れ、磁界が発生される時、前記固定板3が非磁性体であ
るので、両側のコイルユニット1,1aで形成された磁界
は、磁界閉回路D(図3参照)を形成するようになる。
即ち、前記バックアイアン5と固定板3との間において反
発力/吸引力が発生してこそ垂直力が発生するので、前
記固定板3を非磁性体と構成し、バックアイアン5を磁性
体で構成するようになれば反発力/吸引力は発生されな
いようになる。さらに、前記コア8を非磁性体と構成す
れば、前記コイルユニット1の上面を覆い被せているバ
ックアイアン5との間において反発力/吸引力が発生され
ないようになる。When a current is applied to the coil 9, a magnetic field is generated in the coil 9 and a thrust is generated between the coil 9 and the magnets 4 and 4a. When a current is applied to the coil 9 and a magnetic field is generated, the magnetic field formed by the coil units 1 and 1a on both sides becomes a magnetic field closed circuit D (see FIG. 3) because the fixed plate 3 is a non-magnetic material. ).
That is, since a vertical force is generated only when a repulsive force / suction force is generated between the back iron 5 and the fixed plate 3, the fixed plate 3 is formed of a non-magnetic material, and the back iron 5 is formed of a magnetic material. Once configured, no repulsion / suction will be generated. Furthermore, if the core 8 is made of a non-magnetic material, no repulsive / attracting force is generated between the core 8 and the back iron 5 that covers the upper surface of the coil unit 1.
【0012】上述したように、固定板3及びコア8とバッ
クアイアン5との間において反発力/吸引力が発生されな
いと、前記バックアイアン5及び磁石4,4aとから成った
可動子(電機子)の移動制御精密度をより高精度で制御
し得る。かつ、前記固定板3とバックアイアン5との間に
垂直力が発生されないようにすることによって、前記可
動子の垂直位置を限定するための別の外部装置が要らな
いようになる。前記位置検出回路6及び位置検出磁石7に
よって電機子であるバックアイアン5の内部に位置され
るコイルユニット1,1aのみに制御装置(図示せず)が電
流を供給して励磁させるようになる。As described above, if no repulsion / attractive force is generated between the fixed plate 3 and the core 8 and the back iron 5, the mover (the armature) formed by the back iron 5 and the magnets 4 and 4a. The precision of the movement control of ()) can be controlled with higher precision. Further, by preventing the vertical force from being generated between the fixed plate 3 and the back iron 5, another external device for limiting the vertical position of the mover is not required. By the position detection circuit 6 and the position detection magnet 7, a control device (not shown) supplies a current to only the coil units 1, 1a located inside the back iron 5, which is an armature, to excite the unit.
【0013】なお、本発明の第2の実施例によるリニア
モータは、図4及び図5に図示されたように、固定部2
にコイル部10がエポキシ樹脂11でモールディングされる
ことにより、固定板3を形成するようになる。なお、前
記固定部2の一側には、コイル部10に電流を印加し得る
ようにコネクティング手段12が設置されている。前記固
定板3は、上述した第1の実施例と同様に“∩”状に構
成され、磁性体とから成ったバックアイアン5によって
覆い被せるように構成するようになる。The linear motor according to the second embodiment of the present invention has a fixed portion 2 as shown in FIGS.
Then, the coil portion 10 is molded with the epoxy resin 11 to form the fixing plate 3. A connecting means 12 is provided on one side of the fixed part 2 so that a current can be applied to the coil part 10. The fixing plate 3 is formed in a “∩” shape as in the first embodiment described above, and is configured to be covered with a back iron 5 made of a magnetic material.
【0014】前記バックアイアン5の内側には、図4に
図示したように、コイル部10と所定の間隔を置いて多数
の磁石4,4aが順次に配列される。前記コイル部10は、エ
ポキシ樹脂11等のような絶縁物(コイルユニットを垂直
に支持し得るほどの強さを有すもの)で一体とモールデ
ィングして一体的に形成する。As shown in FIG. 4, a number of magnets 4, 4a are sequentially arranged inside the back iron 5 at a predetermined interval from the coil unit 10. The coil portion 10 is integrally molded with an insulator such as an epoxy resin 11 (having enough strength to support the coil unit vertically).
【0015】一方、前記固定部2の上面には、位置検出
回路(ホール素子等とから成ったスイッチング回路)6が
設置され、この位置検出回路6が電機子であるバックア
イアン5の位置を検出するように該バックアイアン5の底
面には、前記位置検出回路6に対向するように位置検出
磁石7が付着されている。On the other hand, on the upper surface of the fixed part 2, a position detecting circuit (switching circuit comprising a Hall element or the like) 6 is installed, and the position detecting circuit 6 detects the position of the back iron 5 as an armature. To this end, a position detecting magnet 7 is attached to the bottom surface of the back iron 5 so as to face the position detecting circuit 6.
【0016】このように構成された本発明の第2の実施
例によるリニアモータは、コイル部10の中で一番側面に
位置するコイル部10に電流を印加するようになれば、前
記コネクティング手段12を介して多数のコイル部10に電
流が供給される。In the linear motor according to the second embodiment of the present invention, when the current is applied to the coil unit 10 located at the outermost side of the coil unit 10, the connecting means A current is supplied to a number of coil units 10 via 12.
【0017】多数のコイル部10に電流が供給されれば、
コイル部10に一体と陥沈成形されているそれぞれのコイ
ル部10に電流の供給が行われながら磁界が発生され、前
記磁石4との間で反発力によって推力が発生される。前
記それぞれのコイル部10に電流が印加されて磁界が発生
される時、前記コイル部10には、バックアイアンの役割
を行える磁性体がなく、エポキシ11だけあるので、前記
磁界はエポキシ樹脂11を通過し、磁石4が付着されたバ
ックアイアン5との間でそれぞれ磁界閉回路D(図5参
照)を形成するようになる。前記バックアイアン5及び
対向される両方の磁石4,4aとコイル部10との間で磁界閉
回路が形成されると、垂直力が直線運動ガイド(図示せ
ず)に影響を及ばないようになる。かつ、前記コイル部
10を構成しているコア8を非磁性体で構成すれば、分塊
圧延(Cogging)を減少させることができるようになる。If current is supplied to a large number of coil units 10,
A magnetic field is generated while current is supplied to each of the coil portions 10 formed integrally with the coil portion 10, and a thrust is generated between the coil portion 10 and the magnet 4 by a repulsive force. When a current is applied to the respective coil units 10 to generate a magnetic field, the coil unit 10 does not have a magnetic material that can function as a back iron, and has only the epoxy 11, so the magnetic field is generated by the epoxy resin 11. After passing through, the magnetic field closed circuit D (see FIG. 5) is formed with the back iron 5 to which the magnet 4 is attached. When a closed magnetic field circuit is formed between the back iron 5 and the magnets 4 and 4a and the coil unit 10 facing each other, the normal force does not affect the linear motion guide (not shown). . And the coil section
If the core 8 constituting 10 is made of a non-magnetic material, it becomes possible to reduce cogging.
【0018】このように、コイル部10とバックアイアン
5との間で垂直力が発生されないようになれば、バック
アイアン5及び磁石4とから成った可動子(電機子)の移
動制御精密度をより向上させることができるようにな
る。また、前記コイル部10とバックアイアン5との間、
即ち、可動子と固定子との間に垂直力が発生されないよ
うにすることによって、前記可動子の垂直位置を限定す
るための別の外部装置が要らないようになる。前記位置
検出回路6及び位置検出磁石7によって電機子であるバッ
クアイアン5の内部に位置されるコイル部10のみに制御
装置(図示せず)が電流を供給して励磁させるようにな
る。As described above, the coil section 10 and the back iron
If a vertical force is not generated between the armature and the back iron 5, the movement control precision of the mover (armature) including the back iron 5 and the magnet 4 can be further improved. Also, between the coil portion 10 and the back iron 5,
That is, by preventing a vertical force from being generated between the mover and the stator, another external device for limiting the vertical position of the mover is not required. By the position detection circuit 6 and the position detection magnet 7, a control device (not shown) supplies a current to only the coil unit 10 located inside the back iron 5, which is an armature, to excite it.
【0019】また、本発明の第3の実施例によるリニア
モータは、図6及び図7に図示されたように、固定部2
の一側には、“L”字状の固定板3が設置され、この固
定板3の一側には、アルミニウム等のような非磁性体と
から成ったコイルユニット1が垂直状態で付着されてい
る。かつ、前記固定板3を上部で覆い被せるように
“∩”状に形成されたバックアイアン5が設置され、こ
のバックアイアン5の内側には前記コイルユニット1に近
接するように多数の磁石4が順次に配列される。Further, the linear motor according to the third embodiment of the present invention has a fixed portion 2 as shown in FIGS.
On one side, an "L" shaped fixing plate 3 is installed, and on one side of the fixing plate 3, a coil unit 1 made of a non-magnetic material such as aluminum is vertically attached. ing. In addition, a back iron 5 formed in a “∩” shape is installed so as to cover the fixing plate 3 at an upper portion, and a number of magnets 4 are provided inside the back iron 5 so as to be close to the coil unit 1. They are arranged sequentially.
【0020】前記固定部2の上面には、上述した実施例
等と同様に位置検出回路(ホール素子等とから成ったス
イッチング回路)6が設置され、この位置検出回路6が電
機子であるバックアイアン5の位置を検出するようにバ
ックアイアン5の底面には、前記位置検出回路6に対向す
るように位置検出磁石7が付着されている。On the upper surface of the fixed part 2, a position detecting circuit (switching circuit composed of a hall element or the like) 6 is installed in the same manner as in the above-described embodiments and the like. A position detecting magnet 7 is attached to the bottom surface of the back iron 5 so as to detect the position of the iron 5 so as to face the position detecting circuit 6.
【0021】上述したように構成された本発明の第3の
実施例によるリニアモータの動作関係は、前述した実施
例等と類似であるので、その詳しい説明は省くことにす
る。The operation relationship of the linear motor according to the third embodiment of the present invention configured as described above is similar to that of the above-described embodiments and the like, and will not be described in detail.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上説明したように本発明のリニアモー
タは、非磁性体である固定板にコイルユニットを順次に
配列し、固定子を構成すると共にこれを覆い被せるよう
に一つのバックアイアンを設置し、このバックアイアン
に磁石を付着し、可動子を形成するようになるので、可
動子の位置制御がより精密に行われる利点がある。As described above, in the linear motor of the present invention, the coil units are sequentially arranged on the fixed plate which is a non-magnetic material, the stator is formed, and one back iron is formed so as to cover the stator. Since the magnet is attached and a magnet is attached to the back iron to form a mover, there is an advantage that the position control of the mover is performed more precisely.
【0023】また、非磁性体であるエポキシ樹脂でコイ
ル部を形成し、コイル部をコネクティング手段によって
連結して固定子を構成することによって、リニアモータ
の組立が非常に単純になる利点がある。加えて、エポキ
シ樹脂と磁石を付着したバックアイアンの間において垂
直力が発生されないので、可動子の位置制御がより精密
に行われる利点がある。Also, by forming the coil portion with a nonmagnetic epoxy resin and connecting the coil portions by connecting means to form a stator, there is an advantage that the assembly of the linear motor becomes very simple. In addition, since no vertical force is generated between the epoxy resin and the back iron to which the magnet is attached, there is an advantage that the position of the mover can be controlled more precisely.
【図1】本発明の第1の実施例によるリニアモータを示
した断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a linear motor according to a first embodiment of the present invention.
【図2】図1のリニアモータの側面図である。FIG. 2 is a side view of the linear motor of FIG.
【図3】図1のリニアモータの平断面図である。FIG. 3 is a plan sectional view of the linear motor of FIG. 1;
【図4】本発明の第2の実施例によるリニアモータを示
した断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a linear motor according to a second embodiment of the present invention.
【図5】図4のリニアモータの平断面図である。FIG. 5 is a plan sectional view of the linear motor of FIG. 4;
【図6】本発明の第3の実施例によるリニアモータを示
した断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a linear motor according to a third embodiment of the present invention.
【図7】図6のリニアモータの平断面図である。FIG. 7 is a plan sectional view of the linear motor of FIG. 6;
【図8】従来の片側式リニアモータを示した断面図であ
る。FIG. 8 is a sectional view showing a conventional one-side linear motor.
【図9】図8のリニアモータのコイルユニットを示した
斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a coil unit of the linear motor of FIG. 8;
1,1a:コイルユニット、 2:固定部、 3:固定板、 4,4a:磁石、 5:バックアイアン、 6:位置検出回路、 7:位置検出磁石、 8:コア、 9:コイル、 10:コイル部、 11:エポキシ樹脂、 12:コネクティング手段。 1,1a: Coil unit, 2: Fixed part, 3: Fixed plate, 4,4a: Magnet, 5: Back iron, 6: Position detection circuit, 7: Position detection magnet, 8: Core, 9: Coil, 10: Coil part, 11: epoxy resin, 12: connecting means.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ド・ヒュン・キム 大韓民国、キュンキ−ド、ウイワン−シ、 ナイソン−ドン 624、ジョーコン・アパ ートメント 120−402 (72)発明者 ジャン・スン・チュン 大韓民国、ソウル、スンブク−ク、ドナム −ドン、ドンソムンハンジン・アパートメ ント 202−811 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor De Hyun Kim South Korea, Kyunkid, Uiwan-shi, Nyson-Dong 624, Jaw-Con Apartment 120-402 (72) Inventor Jang Sung Chung South Korea , Seoul, Sumbuk, Donam-Dong, Dongseomun Hanjin Apartment 202-811
Claims (9)
側にコイルユニットと対向するように設置される磁石を
備えたバックアイアン(back iron)と、を具備すること
を特徴とするリニアモータ。1. A plurality of coil units, a lower part of which is installed on a fixed part, a fixed plate in which the coil units are arranged on both sides thereof, and an upper part which is formed to cover the fixed plate, And a back iron having a magnet installed so as to face the coil unit.
が設置されることを特徴とする、請求項1に記載のリニ
アモータ。2. The linear motor according to claim 1, wherein a position detecting circuit is provided on one side of the fixing plate.
回路に対向するようにその底面に位置検出磁石が設置さ
れることを特徴とする、請求項1に記載のリニアモー
タ。3. The linear motor according to claim 1, wherein a position detecting magnet is provided on a bottom surface of the back iron so as to face a predetermined position detecting circuit.
と、 前記コイル部をエポキシ樹脂でモールディングし、前記
コイル部に一体に形成するような固定板と、 前記固定板を覆い被せるように形成され、その内側に所
定のコイルユニットと対向するように設置される磁石を
備えたバックアイアンと、を具備することを特徴とする
リニアモータ。4. A coil unit; connecting means electrically connected to the coil unit; a fixing plate formed by molding the coil unit with an epoxy resin so as to be integrally formed with the coil unit; And a back iron having a magnet provided inside thereof so as to face a predetermined coil unit.
が設置されることを特徴とする、請求項4に記載のリニ
アモータ。5. The linear motor according to claim 4, wherein a position detection circuit is provided on one side of the fixing plate.
回路に対向するようにその底面に位置検出磁石が設置さ
れることを特徴とする、請求項4に記載のリニアモー
タ。6. The linear motor according to claim 4, wherein a position detecting magnet is provided on a bottom surface of the back iron so as to face a predetermined position detecting circuit.
をその側面一側に配列させた固定板と、 前記固定板を上部で覆い被せるように形成され、その内
側に前記コイルユニットと対向するように設置される磁
石を備えたバックアイアンと、を具備することを特徴と
するリニアモータ。7. A coil unit, a lower part of which is installed on a fixing part, a fixing plate in which the coil unit is arranged on one side of the side, and a fixing plate which is formed so as to cover the fixing plate on an upper part, and is formed inside the fixing unit. And a back iron having a magnet installed to face the coil unit.
が設置されることを特徴とする、請求項7に記載のリニ
アモータ。8. The linear motor according to claim 7, wherein a position detecting circuit is provided on one side of the fixing plate.
回路に対向するようにその底面に位置検出磁石が設置さ
れることを特徴とする、請求項7に記載のリニアモー
タ。9. The linear motor according to claim 7, wherein a position detecting magnet is provided on a bottom surface of the back iron so as to face a predetermined position detecting circuit.
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