JPH0753412Y2 - Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration isolation device - Google Patents
Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration isolation deviceInfo
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- JPH0753412Y2 JPH0753412Y2 JP1993003287U JP328793U JPH0753412Y2 JP H0753412 Y2 JPH0753412 Y2 JP H0753412Y2 JP 1993003287 U JP1993003287 U JP 1993003287U JP 328793 U JP328793 U JP 328793U JP H0753412 Y2 JPH0753412 Y2 JP H0753412Y2
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、除振テーブルを支持し
たロータと、そのロータを収める溝を有し床に固設され
たステータとを備える磁気浮上式除振装置用電磁アクチ
ュエータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetic actuator for a magnetic levitation vibration isolator, which comprises a rotor supporting a vibration isolation table and a stator fixed to the floor having a groove for accommodating the rotor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ロータをステータに設けた浮上用電磁石
で磁気浮上し、水平方向制御用電磁石で吸引して水平方
向の位置を制御する電磁アクチュエータは周知である。2. Description of the Related Art An electromagnetic actuator in which a rotor is magnetically levitated by a levitation electromagnet and is attracted by a horizontal direction control electromagnet to control a horizontal position is well known.
【０００３】従来の電磁アクチュエータにおいては、水
平方向の制御に吸引式の電磁石を用いているので、大地
震などに対処するために水平方向のギャップ量を大きく
すると、大きな吸引力を発生させるために、水平方向制
御用電磁石の容量が大きくなり、消費電力が増大する。In the conventional electromagnetic actuator, since a suction type electromagnet is used for horizontal control, if a large gap amount in the horizontal direction is used to cope with a large earthquake, a large suction force is generated. The capacity of the horizontal control electromagnet increases, and the power consumption increases.
【０００４】ギャップセンサによりギャップを制御する
磁気浮上式電磁アクチュエータは例えば実開平２−７４
６２１号公報に開示されている。しかしながら、この公
知技術は磁気軸受装置に関するものであり、したがっ
て、位置制御はすべて吸引方式の電磁石で行っている。
そのためにリニアモータには適用できない。また、リニ
アモータ自体は種々知られており、例えば特開昭５３−
８１１５０号公報に開示されている。しかしながら、こ
の公知技術は浮上制御は行っておらず、機械的な接触部
分を有している。したがって、除振装置には対応ができ
ない。また特開平４−２４８３０号公報に開示されてい
る技術は浮上を水平方向のガイドに関する技術が開示さ
れており、リニアモータによる横移動は行われていない
のでやはり除振装置には適用できない。A magnetic levitation type electromagnetic actuator for controlling a gap by a gap sensor is, for example, an actual Kaihei 2-74.
No. 621 is disclosed. However, this known technique relates to a magnetic bearing device, and therefore, all position control is performed by an attraction type electromagnet.
Therefore, it cannot be applied to linear motors. Various linear motors themselves are known, for example, JP-A-53-53.
It is disclosed in Japanese Patent No. 81150. However, this known technique does not perform levitation control and has a mechanical contact portion. Therefore, it cannot be applied to a vibration isolation device. Further, the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 24-24830 discloses a technique relating to a horizontal guide for levitation, and since lateral movement by a linear motor is not performed, it cannot be applied to a vibration isolation device.
【考案が解決しようとする課題】したがって本考案の目
的は、水平方向のギャップ量が大きくても比較的に小電
力で水平方向の安定した制御ができる磁気浮上式除振装
置用電磁アクチュエータを提供するにある。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide an electromagnetic actuator for a magnetic levitation vibration eliminator capable of stable horizontal control with relatively small electric power even if the horizontal gap amount is large. There is.
【００００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本考案によれば、除振テ
ーブル（Ｔ）を支持したロータ（１）と、そのロータ
（１）を収める溝（１１）を有し床（１２）に固設され
たステータ（１０）とを備える磁気浮上式除振装置用電
磁アクチュエータにおいて、前記ロータ（１）には下部
に絶縁部材（５）を介して一体に水平フランジ（６）が
設けられ、前記水平フランジ（６）にはリニアモータ
（２０）のリニアモータ移動部（２１）が設けられ、前
記ステータ（１０）の溝（１１）の底面にはリニアモー
タ（２０）のリニアモータ固定部（２１）が設けられ、
そして前記ステータ（１０）にはロータ（１）を構成す
る縦部（３）の水平方向ギャップを検知する水平方向ギ
ャップセンサ（１２）と、ロータ（１）の浮上フランジ
（４）の浮上ギャップを検知する浮上ギャップセンサ
（１４）と、浮上用電磁石（１３）とが設けられ、前記
水平方向ギャップセンサ（１２）からの信号を受けてリ
ニアモータ固定部（２２）に制御電流を出力する水平振
動制御用コントローラ（３１）と、浮上用ギャップセン
サ（１４）からの信号を受けて浮上用電磁石（１３）に
制御電流を出力する浮上制御用コトンローラ（３０）と
を備えている。According to the present invention, a rotor (1) supporting a vibration isolation table (T) and a groove (11) for accommodating the rotor (1) are provided and are fixed to a floor (12). In an electromagnetic actuator for a magnetic levitation type vibration isolator, comprising a stator (10) provided, a horizontal flange (6) is integrally provided on the lower part of the rotor (1) via an insulating member (5), The horizontal flange (6) is provided with a linear motor moving part (21) of the linear motor (20), and the linear motor fixing part (21) of the linear motor (20) is provided on the bottom surface of the groove (11) of the stator (10). ) Is provided,
The stator (10) is provided with a horizontal gap sensor (12) for detecting the horizontal gap of the vertical portion (3) of the rotor (1) and a floating gap of the floating flange (4) of the rotor (1). A horizontal vibration in which a levitation gap sensor (14) for detecting and a levitation electromagnet (13) are provided, and which receives a signal from the horizontal gap sensor (12) and outputs a control current to a linear motor fixing portion (22). A control controller (31) and a levitation control cotton roller (30) that receives a signal from the levitation gap sensor (14) and outputs a control current to the levitation electromagnet (13) are provided.
【０００６】[0006]
【作用効果の説明】したがって、浮上制御用コントロー
ラは浮上用ギャップセンサからの鉛直方向のギャップ量
の信号に基づいて浮上用電磁石に制御電流を出して浮上
用フランジを吸引してギャップ量が所定になるように制
御する。この制御は従来技術と同様である。[Description of Operation and Effect] Therefore, the levitation control controller outputs a control current to the levitation electromagnet based on the signal of the vertical gap amount from the levitation gap sensor to attract the levitation flange to set the gap amount to a predetermined value. Control to be. This control is similar to the conventional technique.
【０００７】しかしながら、本考案では、水平振動制御
用コントローラが水平方向ギャップセンサからの水平方
向ギャップ量の信号によりリニアモータ固定部に制御電
流を出力して、リニアモータを移動させて水平方向のギ
ャップを制御する。したがって、ギャップ量が多くても
充分に小電力で対応でき、大地震時の振動に対しても充
分に対処することができる。そしてリニアモータの移動
部と固定部との間のギャップ量は浮上用制御用コントロ
ーラにより一定に保たれるので、制御力が安定してい
る。このように本考案では水平方向の制御をリニアモー
タで行うことにより小電流で安定した制御が得られる。However, according to the present invention, the horizontal vibration control controller outputs a control current to the linear motor fixing portion in response to the horizontal gap amount signal from the horizontal gap sensor to move the linear motor to move the horizontal gap. To control. Therefore, even if the gap amount is large, it is possible to sufficiently cope with the small electric power, and it is possible to sufficiently cope with the vibration at the time of a large earthquake. Since the gap amount between the moving portion and the fixed portion of the linear motor is kept constant by the levitation control controller, the control force is stable. As described above, in the present invention, stable control can be obtained with a small current by performing horizontal control by the linear motor.
【０００８】[0008]
【実施例】以下図面を参照して本考案の実施例を説明す
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【０００９】図１において、除振テーブルＴを支持した
ロータ１には、水平なテーブル支持フランジ２と、その
テーブル支持フランジ２から下方に延びる縦部３と、そ
の縦部３から水平方向に突設された浮上用フランジ４と
が形成されている。また、縦部３の下部には、絶縁板５
を介して水平フランジ６が一体に設けられている。In FIG. 1, a rotor 1 supporting an anti-vibration table T has a horizontal table support flange 2, a vertical portion 3 extending downward from the table support flange 2, and a horizontal projection from the vertical portion 3. The levitation flange 4 is provided. In addition, the insulating plate 5 is provided below the vertical portion 3.
The horizontal flange 6 is integrally provided via the.
【００１０】他方、床Ｆに固設されたステータ１０に
は、ロータ１の縦部３と、浮上用フランジ４と水平フラ
ンジ６とを隙間を設けて収める溝１１が形成されてい
る。その溝１１の縦部３の上部寄りに対向する部分に
は、水平方向ギャップセンサ１２が設けられ、浮上用フ
ランジ４の上面に対向する部分には、浮上用電磁石１３
と浮上用ギャップ１４とが設けられている。On the other hand, the stator 10 fixed to the floor F is provided with a groove 11 for accommodating the vertical portion 3 of the rotor 1 and the levitation flange 4 and the horizontal flange 6 with a gap. A horizontal gap sensor 12 is provided in a portion of the groove 11 facing the upper portion of the vertical portion 3, and a levitation electromagnet 13 is provided in a portion facing the upper surface of the levitation flange 4.
And a levitation gap 14 are provided.
【００１１】そして、水平フランジ６と溝１１の底面と
の間には、リニアモータ２０が設けられている。その水
平フランジ６に設けられたリニアモータ２０のリニアモ
ータ移動部２１は、相隣る磁極が異極の永久磁石で構成
されている。他方、溝１１の底面に設けられたリニアモ
ータ２０のリニアモータ固定部２２は、図示しない電磁
石で構成されている。A linear motor 20 is provided between the horizontal flange 6 and the bottom surface of the groove 11. The linear motor moving portion 21 of the linear motor 20 provided on the horizontal flange 6 is composed of permanent magnets having mutually different adjacent poles. On the other hand, the linear motor fixing portion 22 of the linear motor 20 provided on the bottom surface of the groove 11 is composed of an electromagnet (not shown).
【００１２】図２において、浮上用ギャップセンサ１４
は、浮上制御用コントローラ３０に接続され、そのコン
トローラ３０には、浮上用電磁石１３が接続されてい
る。In FIG. 2, the levitation gap sensor 14 is shown.
Is connected to the levitation control controller 30, and the levitation electromagnet 13 is connected to the controller 30.
【００１３】また、水平方向ギャップセンサ１２は、水
平振動制御用コントローラ３１に接続され、そのコント
ローラ３１には、リニアモータ固定部２２が接続されて
いる。The horizontal gap sensor 12 is connected to a horizontal vibration controller 31, and a linear motor fixing portion 22 is connected to the controller 31.
【００１４】次に、作用について説明する。Next, the operation will be described.
【００１５】浮上制御用コントローラ３０は、浮上用ギ
ャップセンサ１４からの鉛直方向ギャップ量信号に基づ
き浮上用電磁石１３に制御電流を出力し、浮上用フラン
ジを吸引してギャップ量が所定値を保つように制御す
る。The levitation control controller 30 outputs a control current to the levitation electromagnet 13 based on the vertical gap amount signal from the levitation gap sensor 14 to attract the levitation flange and keep the gap amount at a predetermined value. To control.
【００１６】水平振動制御用コントローラ３１は、水平
方向ギャップセンサ１２からの水平方向ギャップ量信号
に基づき、リニアモータ固定部２２に制御電流を出力
し、リニアモータ２０を駆動してギャップ量が所定値に
なるように制御する。したがって、リニアモータ２０に
より水平方向のギャップを制御するので、ギャップ量を
大きくとることができ、小電力で微振動から大地震に対
処することができる。The horizontal vibration control controller 31 outputs a control current to the linear motor fixing portion 22 based on the horizontal gap amount signal from the horizontal gap sensor 12 to drive the linear motor 20 to set the gap amount to a predetermined value. Control to become. Therefore, since the horizontal gap is controlled by the linear motor 20, it is possible to increase the gap amount, and it is possible to cope with a small earthquake from a small vibration to a large earthquake.
【００１７】また、リニアモータ２０の移動部２１と固
定部２２との間のギャップ量は、浮上制御用コントロー
ラ３０により、ロータ１の浮上位置を介して一定に保た
れるので、安定した制御力が得られる。Further, since the gap amount between the moving portion 21 and the fixed portion 22 of the linear motor 20 is kept constant by the levitation control controller 30 via the levitation position of the rotor 1, a stable control force is obtained. Is obtained.
【００１８】[0018]
【考案の効果】以上の通り本考案によれば下記のすぐれ
た効果を奏する。 （１） 水平方向の移動をリニアモータで行うので、小
電力で制御ができる。 （２） リニアモータの移動部と固定部とのギャップ量
が一定に保たれるので、安定した制御力が得られる。 （３） したがって、微振動から大地震まで、どのよう
な振動にも対処でき、除振装置として好適である。As described above, according to the present invention, the following excellent effects are obtained. (1) Since the horizontal movement is performed by the linear motor, it can be controlled with a small amount of electric power. (2) Since the gap amount between the moving portion and the fixed portion of the linear motor is kept constant, a stable control force can be obtained. (3) Therefore, it can cope with any vibrations from a slight vibration to a large earthquake, and is suitable as a vibration isolation device.
【図１】本考案の一実施例を示す側断面図。FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１の制御回路図。FIG. 2 is a control circuit diagram of FIG.
Ｆ・・・床 Ｔ・・・除振テーブル １・・・ロータ ２・・・テーブル支持フランジ ３・・・縦部 ４・・・浮上用フランジ ５・・・絶縁板 ６・・・水平フランジ １０・・・ステータ １１・・・溝 １２・・・水平方向ギャップセンサ １３・・・浮上用電磁石 １４・・・浮上用ギャップセンサ ２０・・・リニアモータ ２１・・・リニアモータ移動部 ２２・・・リニアモータ固定部 ３０・・・浮上制御用コントローラ ３１・・・水平振動制御用コントローラ F ... Floor T ... Vibration isolation table 1 ... Rotor 2 ... Table support flange 3 ... Vertical part 4 ... Floating flange 5 ... Insulation plate 6 ... Horizontal flange 10 ... Stator 11 ... Groove 12 ... Horizontal gap sensor 13 ... Levitation electromagnet 14 ... Levitation gap sensor 20 ... Linear motor 21 ... Linear motor moving part 22 ... Linear motor fixed part 30 ... Levitation control controller 31 ... Horizontal vibration control controller
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 箭野 憲一 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)考案者 緑川 浩史 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)考案者 中野 龍児 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)考案者 片村 立太 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭53−81150（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−248303（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−74621（ＪＰ，Ｕ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kenichi Yasuno Kenichi Yasuno 2-1-1, Tobita, Chofu-shi, Tokyo Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Institute (72) Hiroshi Midorikawa 2-1-1, Hibita, Chofu-shi, Tokyo No. 19 Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Institute (72) Inventor Ryuji Nakano No. 19-1 Tobita Syo, Chofu City, Tokyo Kashima Construction Co., Ltd. Technical Research Center (72) Inventor Ryota Katamura Two Tobita, Chofu City, Tokyo No. 19-1 Kashima Construction Co., Ltd., Technical Research Laboratory (56) References JP-A-53-81150 (JP, A) JP-A-4-248303 (JP, A) Jitsukaihei 2-74621 (JP, U)
Claims (1)
（１）と、そのロータ（１）を収める溝（１１）を有し
床（１２）に固設されたステータ（１０）とを備える磁
気浮上式除振装置用電磁アクチュエータにおいて、前記
ロータ（１）には下部に絶縁部材（５）を介して一体に
水平フランジ（６）が設けられ、前記水平フランジ
（６）にはリニアモータ（２０）のリニアモータ移動部
（２１）が設けられ、前記ステータ（１０）の溝（１
１）の底面にはリニアモータ（２０）のリニアモータ固
定部（２１）が設けられ、そして前記ステータ（１０）
にはロータ（１）を構成する縦部（３）の水平方向ギャ
ップを検知する水平方向ギャップセンサ（１２）と、ロ
ータ（１）の浮上フランジ（４）の浮上ギャップを検知
する浮上ギャップセンサ（１４）と、浮上用電磁石（１
３）とが設けられ、前記水平方向ギャップセンサ（１
２）からの信号を受けてリニアモータ固定部（２２）に
制御電流を出力する水平振動制御用コントローラ（３
１）と、浮上用ギャップセンサ（１４）からの信号を受
けて浮上用電磁石（１３）に制御電流を出力する浮上制
御用コトンローラ（３０）とを備えることを特徴とする
磁気浮上式除振装置用電磁アクチュエータ。1. A rotor (1) supporting a vibration isolation table (T), and a stator (10) fixed to a floor (12) having a groove (11) for accommodating the rotor (1). In an electromagnetic actuator for a magnetic levitation type vibration isolator, a horizontal flange (6) is integrally provided on a lower portion of the rotor (1) via an insulating member (5), and a linear motor (6) is provided on the horizontal flange (6). 20) is provided with a linear motor moving part (21), and the groove (1) of the stator (10) is provided.
A linear motor fixing portion (21) of the linear motor (20) is provided on the bottom surface of 1), and the stator (10) is provided.
Includes a horizontal gap sensor (12) for detecting the horizontal gap of the vertical portion (3) of the rotor (1) and a floating gap sensor (for detecting the floating gap of the floating flange (4) of the rotor (1). 14) and a levitation electromagnet (1
3) are provided, and the horizontal gap sensor (1
The controller for horizontal vibration control (3) which outputs a control current to the linear motor fixing part (22) in response to the signal from (2).
1) and a levitation control cotton roller (30) which receives a signal from the levitation gap sensor (14) and outputs a control current to the levitation electromagnet (13). Electromagnetic actuator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993003287U JPH0753412Y2 (en) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration isolation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993003287U JPH0753412Y2 (en) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration isolation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0662771U JPH0662771U (en) | 1994-09-02 |
| JPH0753412Y2 true JPH0753412Y2 (en) | 1995-12-06 |
Family
ID=11553191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993003287U Expired - Lifetime JPH0753412Y2 (en) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | Electromagnetic actuator for magnetic levitation type vibration isolation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0753412Y2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5381150A (en) * | 1976-12-25 | 1978-07-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Fine adjustment base |
| JPH0274621U (en) * | 1988-11-29 | 1990-06-07 | ||
| JPH04248303A (en) * | 1991-01-23 | 1992-09-03 | Ebara Corp | Magnetic levitation carrier |
-
1993
- 1993-02-08 JP JP1993003287U patent/JPH0753412Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0662771U (en) | 1994-09-02 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |