JPH0658812A - 分光光学装置 - Google Patents
分光光学装置Info
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- JPH0658812A JPH0658812A JP4210563A JP21056392A JPH0658812A JP H0658812 A JPH0658812 A JP H0658812A JP 4210563 A JP4210563 A JP 4210563A JP 21056392 A JP21056392 A JP 21056392A JP H0658812 A JPH0658812 A JP H0658812A
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- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0262—Constructional arrangements for removing stray light
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 グレーティングとシリコンフォトダイオード
アレイの位置関係に設計上の無理が生じても、機能上の
重大な障害などが生ぜず、無駄な測定を無くして、短時
間で有意なデータが得られるようにする。 【構成】 被測定試料に照射された光の該被測定試料に
よる物体反射光が、グレーティングに達して分光された
後、シリコンフォトダイオードアレイ上に結像して、前
記被測定試料の物性が検出される分光光学装置におい
て、前記シリコンフォトダイオードアレイの受光面の法
線が、前記グレーティングからの光の入射方向に対して
一定角度をなすように前記シリコンフォトダイオードア
レイを装着して、該シリコンフォトダイオードアレイ表
面による反射光が、前記グレーティングに戻らないよう
にする。
アレイの位置関係に設計上の無理が生じても、機能上の
重大な障害などが生ぜず、無駄な測定を無くして、短時
間で有意なデータが得られるようにする。 【構成】 被測定試料に照射された光の該被測定試料に
よる物体反射光が、グレーティングに達して分光された
後、シリコンフォトダイオードアレイ上に結像して、前
記被測定試料の物性が検出される分光光学装置におい
て、前記シリコンフォトダイオードアレイの受光面の法
線が、前記グレーティングからの光の入射方向に対して
一定角度をなすように前記シリコンフォトダイオードア
レイを装着して、該シリコンフォトダイオードアレイ表
面による反射光が、前記グレーティングに戻らないよう
にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定試料に照射され
た光の該被測定試料による物体反射光が、グレーティン
グ等の回折手段に達して分光された後、シリコンフォト
ダイオードアレイ等の測定センサ上に結像して、被測定
試料の物性などが検出される分光光学装置に係わり、特
に、測定センサの受光面の法線が、回折手段からの光の
入射方向に対して一定角度をなすように測定センサを装
着して、測定センサ表面による反射光が、前記回折手段
に戻らないようにした分光光学装置に関する。
た光の該被測定試料による物体反射光が、グレーティン
グ等の回折手段に達して分光された後、シリコンフォト
ダイオードアレイ等の測定センサ上に結像して、被測定
試料の物性などが検出される分光光学装置に係わり、特
に、測定センサの受光面の法線が、回折手段からの光の
入射方向に対して一定角度をなすように測定センサを装
着して、測定センサ表面による反射光が、前記回折手段
に戻らないようにした分光光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】分光式色彩計などの分光光学装置は、被
測定試料に照射された光が、該被測定試料で反射して生
ずる物体反射光を、入射スリットなどを介してグレーテ
ィングに導き分光した後、測定センサ上に結像させて、
被測定試料の色彩などを検出するようになっている。
測定試料に照射された光が、該被測定試料で反射して生
ずる物体反射光を、入射スリットなどを介してグレーテ
ィングに導き分光した後、測定センサ上に結像させて、
被測定試料の色彩などを検出するようになっている。
【０００３】図４は、このような分光光学装置の従来例
を説明するための要部構成説明図であり、図中、１０は
入射スリット、１２は、表面が凹面の凹面グレーティン
グ、１４は、光検出器としてのシリコンフォトダイオー
ドアレイである。
を説明するための要部構成説明図であり、図中、１０は
入射スリット、１２は、表面が凹面の凹面グレーティン
グ、１４は、光検出器としてのシリコンフォトダイオー
ドアレイである。
【０００４】この図において、物体反射光Ｌ1 は、入射
スリット１０を通って透過光Ｌ2 となった後、拡散しな
がらグレーティング１２に達する。その後、グレーティ
ング１２の表面で分光されて光Ｌ3 となり、シリコンフ
ォトダイオードアレイ１４上に結像する。
スリット１０を通って透過光Ｌ2 となった後、拡散しな
がらグレーティング１２に達する。その後、グレーティ
ング１２の表面で分光されて光Ｌ3 となり、シリコンフ
ォトダイオードアレイ１４上に結像する。
【０００５】尚、シリコンフォトダイオードアレイ１４
は、通常、短冊状に複数個の検出素子（例えば、シリコ
ンフォトダイオード）が配列された構成となっている。
は、通常、短冊状に複数個の検出素子（例えば、シリコ
ンフォトダイオード）が配列された構成となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の分光光学装置においては、装置のコンパク
ト化等を図るため、グレーティング１２とシリコンフォ
トダイオードアレイ１４を接近させて配置する等、両者
の位置関係に設計上の無理が生ずると、次のような不都
合な現象が生ずるという問題があった。
ような従来の分光光学装置においては、装置のコンパク
ト化等を図るため、グレーティング１２とシリコンフォ
トダイオードアレイ１４を接近させて配置する等、両者
の位置関係に設計上の無理が生ずると、次のような不都
合な現象が生ずるという問題があった。
【０００７】即ち、図４において、グレーティング１２
の表面で分光してシリコンフォトダイオードアレイ１４
上に到達した光Ｌ3 が、シリコンフォトダイオードアレ
イ１４上で反射して反射光Ｌ4 となり、再び、グレーテ
ィング１２に達して反射する。この反射光Ｌ5 が、再
度、シリコンフォトダイオードアレイ１４上に結像する
現象が生ずる。このため、特定波長だけを検出すること
を目的として長手方向に複数に分割されたシリコンフォ
トダイオードによって、設定波長以外の波長の成分が検
出され、その結果、分光光学装置の機能上重大な障害と
なるという問題があった。
の表面で分光してシリコンフォトダイオードアレイ１４
上に到達した光Ｌ3 が、シリコンフォトダイオードアレ
イ１４上で反射して反射光Ｌ4 となり、再び、グレーテ
ィング１２に達して反射する。この反射光Ｌ5 が、再
度、シリコンフォトダイオードアレイ１４上に結像する
現象が生ずる。このため、特定波長だけを検出すること
を目的として長手方向に複数に分割されたシリコンフォ
トダイオードによって、設定波長以外の波長の成分が検
出され、その結果、分光光学装置の機能上重大な障害と
なるという問題があった。
【０００８】図５は上述のような従来の分光光学装置を
用いて被測定試料を測定したときのスペクトルを示す図
であり、横軸は波長（単位はnm）を示し縦軸は反射率
（単位は％）を示している。この図から明らかなよう
に、従来の分光光学装置を用いて被測定試料を測定する
場合には、本来のスペクトルＡ以外に余分なスペクトル
Ｂが現れ、スペクトルＢを他の試料と誤認するなど分光
光学装置の機能上重大な障害となっていた。このような
問題点は、特に、凹面グレーティングを用いた場合に顕
著となる。
用いて被測定試料を測定したときのスペクトルを示す図
であり、横軸は波長（単位はnm）を示し縦軸は反射率
（単位は％）を示している。この図から明らかなよう
に、従来の分光光学装置を用いて被測定試料を測定する
場合には、本来のスペクトルＡ以外に余分なスペクトル
Ｂが現れ、スペクトルＢを他の試料と誤認するなど分光
光学装置の機能上重大な障害となっていた。このような
問題点は、特に、凹面グレーティングを用いた場合に顕
著となる。
【０００９】本発明は、かかる状況に鑑み、上述のよう
な従来例の問題などを解消せんとして成されたものであ
り、回折手段と測定センサの位置関係に設計上の無理が
生じても、機能上の重大な障害などが生ぜず、無駄な測
定を無くして短時間で有意なデータが得られる、操作性
に優れた分光光学装置を提供することを目的とする。
な従来例の問題などを解消せんとして成されたものであ
り、回折手段と測定センサの位置関係に設計上の無理が
生じても、機能上の重大な障害などが生ぜず、無駄な測
定を無くして短時間で有意なデータが得られる、操作性
に優れた分光光学装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を達成するための手段】本発明は、被測定試料に
照射された光の該被測定試料による物体反射光が、回折
手段に達して分光された後、測定センサ上に結像して、
前記被測定試料の物性が検出される分光光学装置におい
て、前記測定センサの受光面の法線が、前記回折手段か
らの光の入射方向に対して一定角度をなすように前記測
定センサを装着して、該測定センサ表面による反射光
が、前記回折手段に戻らないようにしたことにより、前
記課題を解決したものである。
照射された光の該被測定試料による物体反射光が、回折
手段に達して分光された後、測定センサ上に結像して、
前記被測定試料の物性が検出される分光光学装置におい
て、前記測定センサの受光面の法線が、前記回折手段か
らの光の入射方向に対して一定角度をなすように前記測
定センサを装着して、該測定センサ表面による反射光
が、前記回折手段に戻らないようにしたことにより、前
記課題を解決したものである。
【００１１】また、同様にして、本発明は、分光光学装
置において、内部に放射光を照射する光源、該放射光が
内部で完全拡散して生じた拡散光を検出するモニタセン
サー、被測定試料に前記拡散光を導く試料窓、該被測定
試料で反射された物体反射光を導出する測定窓、および
該物体反射光の中の正反射光を除去するライトトラップ
を有する積分球と、前記測定窓、集光レンズおよび入射
スリットを介して導出された前記物体反射光を分光する
グレーティングと、該グレーティングで分光された光を
結像させて前記被測定試料の物性を検出する測定センサ
とを具備し、該測定センサの受光面の法線が、前記グレ
ーティングからの光の入射方向に対して一定角度をなす
ように前記測定センサを装着して、該測定センサ表面に
よる反射光が、前記グレーティングに戻らないようにし
たことにより、前記課題を解決したものである。
置において、内部に放射光を照射する光源、該放射光が
内部で完全拡散して生じた拡散光を検出するモニタセン
サー、被測定試料に前記拡散光を導く試料窓、該被測定
試料で反射された物体反射光を導出する測定窓、および
該物体反射光の中の正反射光を除去するライトトラップ
を有する積分球と、前記測定窓、集光レンズおよび入射
スリットを介して導出された前記物体反射光を分光する
グレーティングと、該グレーティングで分光された光を
結像させて前記被測定試料の物性を検出する測定センサ
とを具備し、該測定センサの受光面の法線が、前記グレ
ーティングからの光の入射方向に対して一定角度をなす
ように前記測定センサを装着して、該測定センサ表面に
よる反射光が、前記グレーティングに戻らないようにし
たことにより、前記課題を解決したものである。
【００１２】
【作用】以下、本発明の作用について説明する。
【００１３】図１は本発明の作用を説明するための構成
斜視図であり、図中、１０は入射スリット、１２は凹面
グレーティング、１４は短冊状に複数個の検出素子（例
えば、シリコンフォトダイオード）が配列されて構成さ
れ光検出器として機能するシリコンフォトダイオードア
レイである。この図において、シリコンフォトダイオー
ドアレイ１４は、その受光面の法線が、グレーティング
１２からの光の入射方向に対して一定角度（例えば、３
０゜）を有するように配置されている。
斜視図であり、図中、１０は入射スリット、１２は凹面
グレーティング、１４は短冊状に複数個の検出素子（例
えば、シリコンフォトダイオード）が配列されて構成さ
れ光検出器として機能するシリコンフォトダイオードア
レイである。この図において、シリコンフォトダイオー
ドアレイ１４は、その受光面の法線が、グレーティング
１２からの光の入射方向に対して一定角度（例えば、３
０゜）を有するように配置されている。
【００１４】図１において、物体反射光Ｌ1 は、入射ス
リット１０を通って透過光Ｌ2 となった後、拡散しなが
らグレーティング１２に達する。その後、グレーティン
グ１２の表面で分光した光Ｌ3 となり、シリコンフォト
ダイオードアレイ１４上に結像する。と同時に、シリコ
ンフォトダイオードアレイ１４上に到達した光が、シリ
コンフォトダイオードアレイ１４上でも反射し、反射光
Ｌ4 となって再びグレーティング１２方向に直進する。
リット１０を通って透過光Ｌ2 となった後、拡散しなが
らグレーティング１２に達する。その後、グレーティン
グ１２の表面で分光した光Ｌ3 となり、シリコンフォト
ダイオードアレイ１４上に結像する。と同時に、シリコ
ンフォトダイオードアレイ１４上に到達した光が、シリ
コンフォトダイオードアレイ１４上でも反射し、反射光
Ｌ4 となって再びグレーティング１２方向に直進する。
【００１５】しかし、上述のようにシリコンフォトダイ
オードアレイ１４の受光面は、グレーティング１２から
の光に対して一定角度を有しているため、反射光Ｌ4 が
グレーティング１２に達して再び反射することはない。
このため、図２に示す如く、前記従来例のように特定波
長だけを検出することを目的として、長手方向に複数に
分割されたシリコンフォトダイオードで構成されたシリ
コンフォトダイオードアレイ１４によって、設定波長以
外の波長の成分が検出されることもなくなり、その結
果、分光光学装置の機能上重大な障害となるという現象
も回避される。
オードアレイ１４の受光面は、グレーティング１２から
の光に対して一定角度を有しているため、反射光Ｌ4 が
グレーティング１２に達して再び反射することはない。
このため、図２に示す如く、前記従来例のように特定波
長だけを検出することを目的として、長手方向に複数に
分割されたシリコンフォトダイオードで構成されたシリ
コンフォトダイオードアレイ１４によって、設定波長以
外の波長の成分が検出されることもなくなり、その結
果、分光光学装置の機能上重大な障害となるという現象
も回避される。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１７】図３は、本実施例の構成断面図であり、図
中、１６は積分球、１６a は、積分球１６の一部に設け
られた試料窓、１６b は、積分球１６の一部に設けられ
た測定窓、１８は被測定試料、２０はモニタセンサー、
２２は、正反射光を除去するライトトラップ、２４は、
例えば冷陰極クセノン放電管からなる光源、２６は、光
源２４に電圧を印加する電源、２８は、測定窓１６b か
ら導出された物体反射光を、一定角度（例えば、直角方
向）に全反射させるミラー、３０は集光レンズ、３２は
入射スリット、３４は、例えば表面が凹面状に形成され
ている凹面グレーティング、３６は、例えばシリコンフ
ォトダイオードアレイでなる測定センサである。
中、１６は積分球、１６a は、積分球１６の一部に設け
られた試料窓、１６b は、積分球１６の一部に設けられ
た測定窓、１８は被測定試料、２０はモニタセンサー、
２２は、正反射光を除去するライトトラップ、２４は、
例えば冷陰極クセノン放電管からなる光源、２６は、光
源２４に電圧を印加する電源、２８は、測定窓１６b か
ら導出された物体反射光を、一定角度（例えば、直角方
向）に全反射させるミラー、３０は集光レンズ、３２は
入射スリット、３４は、例えば表面が凹面状に形成され
ている凹面グレーティング、３６は、例えばシリコンフ
ォトダイオードアレイでなる測定センサである。
【００１８】尚、積分球１６内において、測定窓１６b
とライトトラップ２２は、試料窓１６ａに対して一定角
度（例えば、８゜）を有し、互いに略対称の位置に配置
されている。また、測定センサ３６は、その受光面の法
線が、グレーティング３４からの光の入射方向に対して
一定角度（例えば、３０゜）を有するように、アレイ方
向を中心として回転して配置されている。
とライトトラップ２２は、試料窓１６ａに対して一定角
度（例えば、８゜）を有し、互いに略対称の位置に配置
されている。また、測定センサ３６は、その受光面の法
線が、グレーティング３４からの光の入射方向に対して
一定角度（例えば、３０゜）を有するように、アレイ方
向を中心として回転して配置されている。
【００１９】この図において、電源２６のそれぞれ図示
しないコンデンサとトリガ回路に光源２４が接続され、
該トリガ回路から高圧トリガ信号が光源２４に印加され
ると、コンデンサに充電されていた電荷が放電して、数
十ないし数百μs 程度の短時間に強力なフラッシュ光
が、光源２４から積分球１６内に放射される。
しないコンデンサとトリガ回路に光源２４が接続され、
該トリガ回路から高圧トリガ信号が光源２４に印加され
ると、コンデンサに充電されていた電荷が放電して、数
十ないし数百μs 程度の短時間に強力なフラッシュ光
が、光源２４から積分球１６内に放射される。
【００２０】この放射光が、積分球１６によって完全拡
散光に変換され、拡散光として試料窓１６a に密着され
た被測定試料１８を照射すると共に、モニタセンサー２
０に入射してモニタ信号Ｓ2 を与え、該信号Ｓ2 により
照射光量が測定される。
散光に変換され、拡散光として試料窓１６a に密着され
た被測定試料１８を照射すると共に、モニタセンサー２
０に入射してモニタ信号Ｓ2 を与え、該信号Ｓ2 により
照射光量が測定される。
【００２１】一方、照射光である拡散光の、被測定試料
１８による物体反射光は、ライトトラップ２２と測定窓
１６b に導かれ、ライトトラップ２２に導かれた光は正
反射光として除去される。
１８による物体反射光は、ライトトラップ２２と測定窓
１６b に導かれ、ライトトラップ２２に導かれた光は正
反射光として除去される。
【００２２】また、測定窓１６b に導かれた物体反射光
は、測定光としてミラー２８で全反射され、その後、集
光レンズ３０で集光され、入射スリット３２を通ってグ
レーティング３４に達する。その後、グレーティング３
４の表面で分光した光となり、測定センサ３６に結像す
る。
は、測定光としてミラー２８で全反射され、その後、集
光レンズ３０で集光され、入射スリット３２を通ってグ
レーティング３４に達する。その後、グレーティング３
４の表面で分光した光となり、測定センサ３６に結像す
る。
【００２３】ところで、上述のような本発明の実施例に
おいては、測定センサ３６上に到達した光が、測定セン
サ３６上で反射し再びグレーティング３４方向に直進し
ても、前述のように測定センサ３６の受光面がグレーテ
ィング３４からの光に対して一定角度を有しているた
め、測定センサ３６で反射された光が、グレーティング
３４で再び反射されて測定センサ３６上に再度結像する
ような現象は生じない。
おいては、測定センサ３６上に到達した光が、測定セン
サ３６上で反射し再びグレーティング３４方向に直進し
ても、前述のように測定センサ３６の受光面がグレーテ
ィング３４からの光に対して一定角度を有しているた
め、測定センサ３６で反射された光が、グレーティング
３４で再び反射されて測定センサ３６上に再度結像する
ような現象は生じない。
【００２４】このため、特定波長だけを検出することを
目的として長手方向に複数に分割されたシリコンフォト
ダイオードで構成されている測定センサ３６によって、
前記従来例のように設定波長以外の波長の成分が検出さ
れることもなくなり、その結果、分光光学装置の機能上
重大な障害となるという現象も回避される。
目的として長手方向に複数に分割されたシリコンフォト
ダイオードで構成されている測定センサ３６によって、
前記従来例のように設定波長以外の波長の成分が検出さ
れることもなくなり、その結果、分光光学装置の機能上
重大な障害となるという現象も回避される。
【００２５】図２は、上述のような本発明に係わる分光
光学装置を用いて被測定試料を測定したときのスペクト
ルを示す図であり、横軸は波長（単位はnm）を示し縦軸
は反射率（単位は％）を示している。この図と前記図５
を比較すれば明らかなように、従来の分光光学装置を用
いて被測定試料を測定する場合には、本来のスペクトル
Ａ以外に余分なスペクトルＢが現れていたが、本発明に
係わる分光光学装置を用いて被測定試料を測定する場合
には、スペクトルＢのような余分なスペクトルは現れず
本来のスペクトルＡだけが現れる。
光学装置を用いて被測定試料を測定したときのスペクト
ルを示す図であり、横軸は波長（単位はnm）を示し縦軸
は反射率（単位は％）を示している。この図と前記図５
を比較すれば明らかなように、従来の分光光学装置を用
いて被測定試料を測定する場合には、本来のスペクトル
Ａ以外に余分なスペクトルＢが現れていたが、本発明に
係わる分光光学装置を用いて被測定試料を測定する場合
には、スペクトルＢのような余分なスペクトルは現れず
本来のスペクトルＡだけが現れる。
【００２６】このため、本発明に係わる分光光学装置を
用いて被測定試料を測定する場合には、従来の分光光学
装置を用いて被測定試料を測定する場合のように余分な
スペクトルを他の試料と誤認するなど、分光光学装置の
機能上重大な障害が発生することもなく、無駄な測定を
無くして短時間で有意なデータが得られるようになる。
用いて被測定試料を測定する場合には、従来の分光光学
装置を用いて被測定試料を測定する場合のように余分な
スペクトルを他の試料と誤認するなど、分光光学装置の
機能上重大な障害が発生することもなく、無駄な測定を
無くして短時間で有意なデータが得られるようになる。
【００２７】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば、集光レンズ３
０及び入射スリット３２に代えてコリメータレンズを用
いても良いものとする。
となく種々の変形が可能であり、例えば、集光レンズ３
０及び入射スリット３２に代えてコリメータレンズを用
いても良いものとする。
【００２８】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明は、
分光光学装置において測定センサの受光面の法線が、回
折手段からの光の入射方向に対して一定角度となるよう
に測定センサが装着されているため、測定センサ表面に
よる反射光が、回折手段に戻ることはない。
分光光学装置において測定センサの受光面の法線が、回
折手段からの光の入射方向に対して一定角度となるよう
に測定センサが装着されているため、測定センサ表面に
よる反射光が、回折手段に戻ることはない。
【００２９】このため、特定波長だけを検出することを
目的として長手方向に複数に分割されたシリコンフォト
ダイオードなどで構成されている測定センサによって、
前記従来例のように設定波長以外の波長の成分が検出さ
れることもなくなり、その結果、分光光学装置の機能上
重大な障害となるという現象も回避される。
目的として長手方向に複数に分割されたシリコンフォト
ダイオードなどで構成されている測定センサによって、
前記従来例のように設定波長以外の波長の成分が検出さ
れることもなくなり、その結果、分光光学装置の機能上
重大な障害となるという現象も回避される。
【００３０】従って、本発明によれば、装置のコンパク
ト化等を図るため、回折手段と測定センサを接近させて
配置する等、両者の位置関係に設計上の無理が生じて
も、機能上の重大な障害などが生ぜず、無駄な測定を無
くして、短時間で有意なデータが得られる、操作性に優
れた分光光学装置が実現する。
ト化等を図るため、回折手段と測定センサを接近させて
配置する等、両者の位置関係に設計上の無理が生じて
も、機能上の重大な障害などが生ぜず、無駄な測定を無
くして、短時間で有意なデータが得られる、操作性に優
れた分光光学装置が実現する。
【図１】本発明の作用を説明するための分光光学装置の
要部構成斜視図
要部構成斜視図
【図２】本発明に係わる分光光学装置を用いて被測定試
料を測定したときのスペクトルを示す図であって、シリ
コンフォトダイオードアレイの出力として現われる反射
率と波長の関係を示す図
料を測定したときのスペクトルを示す図であって、シリ
コンフォトダイオードアレイの出力として現われる反射
率と波長の関係を示す図
【図３】本発明の実施例を説明するための分光光学装置
の構成断面図
の構成断面図
【図４】従来例を説明するための分光光学装置の要部構
成斜視図
成斜視図
【図５】従来の分光光学装置を用いて被測定試料を測定
したときのスペクトルを示す図であって、シリコンフォ
トダイオードアレイの出力として現われる反射率と波長
の関係を示す図
したときのスペクトルを示す図であって、シリコンフォ
トダイオードアレイの出力として現われる反射率と波長
の関係を示す図
１０、３２…入射スリット １２、３４…グレーティング １４…シリコンフォトダイオードアレイ １６…積分球 １６a …試料窓 １６b …測定窓 １８…被測定試料 ２０…モニタセンサー ２２…ライトトラップ ２４…光源 ２６…電源 ２８…ミラー ３０…集光レンズ ３６…測定センサ
Claims (4)
- 【請求項１】被測定試料に照射された光の該被測定試料
による物体反射光が、回折手段に達して分光された後、
測定センサ上に結像して、前記被測定試料の物性が検出
される分光光学装置において、 前記測定センサの受光面の法線が、前記回折手段からの
光の入射方向に対して一定角度をなすように前記測定セ
ンサを装着して、該測定センサ表面による反射光が、前
記回折手段に戻らないようにしたことを特徴とする分光
光学装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記回折手段が、凹面
グレーティングであることを特徴とする分光光学装置。 - 【請求項３】請求項１において、前記測定センサが、短
冊状に複数個の検出素子が配列されたシリコンフォトダ
イオードアレイであり、該シリコンフォトダイオードア
レイが、前記回折手段からの光の入射方向に対して一定
角度をなすように、アレイ方向を中心として回転して装
着されていることを特徴とする分光光学装置。 - 【請求項４】内部に放射光を照射する光源、該放射光が
内部で完全拡散して生じた拡散光を検出するモニタセン
サー、被測定試料に前記拡散光を導く試料窓、該被測定
試料で反射された物体反射光を導出する測定窓、および
該物体反射光の中の正反射光を除去するライトトラップ
を有する積分球と、 前記測定窓、集光レンズおよび入射スリットを介して導
出された前記物体反射光を分光するグレーティングと、 該グレーティングで分光された光を結像させて前記被測
定試料の物性を検出する測定センサとを具備し、 該測定センサの受光面の法線が、前記グレーティングか
らの光の入射方向に対して一定角度をなすように前記測
定センサを装着して、該測定センサ表面による反射光
が、前記グレーティングに戻らないようにしたことを特
徴とする分光光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4210563A JPH0658812A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 分光光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4210563A JPH0658812A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 分光光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0658812A true JPH0658812A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16591396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4210563A Pending JPH0658812A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 分光光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658812A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2246676A2 (en) | 2009-04-30 | 2010-11-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral colorimetric apparatus |
| US8705154B2 (en) | 2009-04-30 | 2014-04-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral colorimetric apparatus and image forming apparatus using the same |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP4210563A patent/JPH0658812A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2246676A2 (en) | 2009-04-30 | 2010-11-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral colorimetric apparatus |
| US8184289B2 (en) | 2009-04-30 | 2012-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral colorimetric apparatus and color image forming apparatus using the same |
| US8705154B2 (en) | 2009-04-30 | 2014-04-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral colorimetric apparatus and image forming apparatus using the same |
| EP2246676A3 (en) * | 2009-04-30 | 2017-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral colorimetric apparatus |
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