JPH065800B2 - パルスレ−ザの電源装置 - Google Patents
パルスレ−ザの電源装置Info
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- JPH065800B2 JPH065800B2 JP26138086A JP26138086A JPH065800B2 JP H065800 B2 JPH065800 B2 JP H065800B2 JP 26138086 A JP26138086 A JP 26138086A JP 26138086 A JP26138086 A JP 26138086A JP H065800 B2 JPH065800 B2 JP H065800B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はパルスレーザの電源装置に関し、特にパルスレ
ーザ光の瞬時的なレーザ出力に変動があっても設定通り
のレーザエネルギを各パルスについて得るようにしたも
のである。
ーザ光の瞬時的なレーザ出力に変動があっても設定通り
のレーザエネルギを各パルスについて得るようにしたも
のである。
（従来の技術） ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レ
ーザやガラスレーザ等の固体レーザは、主としてレーザ
発振を起こすＹＡＧロッドやガラスロッド等のレーザロ
ッド（発振素子）と、そのレーザロッドに光を照射して
発振用のエネルギを注入する励起用ランプとで構成され
る。また、レーザロッドにおいて大部分の励起エネルギ
は熱に変わってしまい、温度が高くなると発振しにくく
なるため、レーザロッドを冷やすための冷却装置も大抵
備えられる。
ーザやガラスレーザ等の固体レーザは、主としてレーザ
発振を起こすＹＡＧロッドやガラスロッド等のレーザロ
ッド（発振素子）と、そのレーザロッドに光を照射して
発振用のエネルギを注入する励起用ランプとで構成され
る。また、レーザロッドにおいて大部分の励起エネルギ
は熱に変わってしまい、温度が高くなると発振しにくく
なるため、レーザロッドを冷やすための冷却装置も大抵
備えられる。
このような固体レーザでパルス状のレーザ光を得るに
は、励起用ランプにキセノンフラッシュランプまたはク
リプトンフラッシュランプを使用するとともに、電源装
置にコンデンサを設け、そのコンデンを充電させた後に
放電させることによってパルス状のランプ電流をフラッ
シュランプに供給する。そうすると、フラッシュランプ
がパルス点灯し、レーザロッドを励起してパルス状のレ
ーザ発振を起こさせる。
は、励起用ランプにキセノンフラッシュランプまたはク
リプトンフラッシュランプを使用するとともに、電源装
置にコンデンサを設け、そのコンデンを充電させた後に
放電させることによってパルス状のランプ電流をフラッ
シュランプに供給する。そうすると、フラッシュランプ
がパルス点灯し、レーザロッドを励起してパルス状のレ
ーザ発振を起こさせる。
パルスレーザ光は、例えば切断，穴開け，シーム溶接，
スポット溶接等の瞬間的に高いレーザ出力を要する加工
に用いられ、一般には１〜５０パルス／秒等の時間間隔
で繰り返し発せられることが多く、パルス幅は約０．１
ｍｓ〜２０ｍｓの範囲内で選ばれる。
スポット溶接等の瞬間的に高いレーザ出力を要する加工
に用いられ、一般には１〜５０パルス／秒等の時間間隔
で繰り返し発せられることが多く、パルス幅は約０．１
ｍｓ〜２０ｍｓの範囲内で選ばれる。
（発明が解決しようとする問題点） 上記のようなパルスレーザ光の発生原理にしたがえば、
パルスレーザ光のレーザ出力はパルス状ランプ電流のレ
ベルに対応し、ひいてはコンデンサの充放電電荷量に対
応する。
パルスレーザ光のレーザ出力はパルス状ランプ電流のレ
ベルに対応し、ひいてはコンデンサの充放電電荷量に対
応する。
したがって、各パルスレーザ光による加工品質のバラツ
キをなくすために、従来は、コンデンサの充電電圧を一
定にしてレーザ出力を一定に維持しようとしていた。
キをなくすために、従来は、コンデンサの充電電圧を一
定にしてレーザ出力を一定に維持しようとしていた。
ところが、コンデンサの充電電圧が一定に制御され、し
たがってランプ電流のレベルが一定に制御されても、レ
ーザロッドの発振特性や冷却水の温度に変動が生じるた
め、最終的に得られるパルスレーザ光の出力も不安定で
なかなか設定通りにはならなかった。特に、繰り返し発
振の場合、最初の数パルスのレーザ出力はレーザロッド
の熱レンズ効果によって非常に不安定である。熱レンズ
効果とは、励起エネルギによって熱せられたレーザロッ
ドの芯部と冷却水によって冷やされたレーザロッド表面
部との温度差によってロッドの屈折率が変化し、いわば
凸レンズが形成される現象であり、その温度差が不安定
なうちはレーザ出力も不安定で変動する。
たがってランプ電流のレベルが一定に制御されても、レ
ーザロッドの発振特性や冷却水の温度に変動が生じるた
め、最終的に得られるパルスレーザ光の出力も不安定で
なかなか設定通りにはならなかった。特に、繰り返し発
振の場合、最初の数パルスのレーザ出力はレーザロッド
の熱レンズ効果によって非常に不安定である。熱レンズ
効果とは、励起エネルギによって熱せられたレーザロッ
ドの芯部と冷却水によって冷やされたレーザロッド表面
部との温度差によってロッドの屈折率が変化し、いわば
凸レンズが形成される現象であり、その温度差が不安定
なうちはレーザ出力も不安定で変動する。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、パル
スレーザ光のレーザ出力に変動があっても設定通りのレ
ーザエネルギを各パルスについて得るようにしたパルス
レーザの電源装置を提供することを目的とする。
スレーザ光のレーザ出力に変動があっても設定通りのレ
ーザエネルギを各パルスについて得るようにしたパルス
レーザの電源装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成する本発明の構成は、レーザ媒体がパル
ス状のレーザ発振を起こすよう励起用のフラッシュラン
プをパルス点灯させるパルスレーザの電源装置におい
て、フラッシュランプに点灯用のランプ電流を供給する
手段と；レーザ媒体より発せられたパルスレザー光の出
力を検出し、その出力の大きさに応じたレベルをもつ電
気的なレーザ出力検出信号を生成する光センサ手段と；
各パルスレーザ光に対してレーザ出力検出信号を時間積
分する積分手段と；各パルスレーザ光に対してレーザエ
ネルギの設定値に対応した比較基準値を与える手段と；
積分手段の出力と比較基準値とを比較し、前者が後者に
一致したときに所定の比較出力信号を発生する比較手段
と；比較出力信号に応動してランプ電流の供給を停止す
る手段とを具備することを特徴とする。
ス状のレーザ発振を起こすよう励起用のフラッシュラン
プをパルス点灯させるパルスレーザの電源装置におい
て、フラッシュランプに点灯用のランプ電流を供給する
手段と；レーザ媒体より発せられたパルスレザー光の出
力を検出し、その出力の大きさに応じたレベルをもつ電
気的なレーザ出力検出信号を生成する光センサ手段と；
各パルスレーザ光に対してレーザ出力検出信号を時間積
分する積分手段と；各パルスレーザ光に対してレーザエ
ネルギの設定値に対応した比較基準値を与える手段と；
積分手段の出力と比較基準値とを比較し、前者が後者に
一致したときに所定の比較出力信号を発生する比較手段
と；比較出力信号に応動してランプ電流の供給を停止す
る手段とを具備することを特徴とする。
本発明において、パルスレーザ光の出力とは、単位時間
当たりのレーザエネルギ（ワット）を意味し、瞬時的な
値である。また、レーザエネルギとは１つのレーザパル
ス光がその持続時間（パルス幅）中に与える総エネルギ
（ジュール）を意味し、累積的な値である。
当たりのレーザエネルギ（ワット）を意味し、瞬時的な
値である。また、レーザエネルギとは１つのレーザパル
ス光がその持続時間（パルス幅）中に与える総エネルギ
（ジュール）を意味し、累積的な値である。
（作用） 概して、レーザ光の出力はランプ電流に対応（比例）す
るのであるが、レーザロッドの発振特性や冷却水温度の
変動等によりレーザ出力に変動ないしバラツキが生じる
ことがある。
るのであるが、レーザロッドの発振特性や冷却水温度の
変動等によりレーザ出力に変動ないしバラツキが生じる
ことがある。
本発明は、そのようなレーザ出力の変動ないしバラツキ
に関係なく、各パルスレーザ光のレーザエネルギを設定
通りに制御するように作用する。
に関係なく、各パルスレーザ光のレーザエネルギを設定
通りに制御するように作用する。
すなわち、レーザ発振が開始されると、光センサ手段が
当該パルスレーザ光の出力（ワット）に対応した電気的
なレーザ出力検出信号を生成し、積分手段はそのレーザ
出力検出信号を時間積分する。したがって、積分手段の
出力（積分値信号）は、パルスレーザ光が発生してから
現時刻までの間のレーザ出力の累積値、すなわちレーザ
エネルギ（ジュール）を表す。しかして、積分手段の出
力がレーザエネルギ設定値に対応した比較基準値に一致
したところで、ランプ電流が断たれ、パルスレーザ光の
持続時間が断たれれば、その１つのパルスレーザ光の総
エネルギは設定値に等しくなる。
当該パルスレーザ光の出力（ワット）に対応した電気的
なレーザ出力検出信号を生成し、積分手段はそのレーザ
出力検出信号を時間積分する。したがって、積分手段の
出力（積分値信号）は、パルスレーザ光が発生してから
現時刻までの間のレーザ出力の累積値、すなわちレーザ
エネルギ（ジュール）を表す。しかして、積分手段の出
力がレーザエネルギ設定値に対応した比較基準値に一致
したところで、ランプ電流が断たれ、パルスレーザ光の
持続時間が断たれれば、その１つのパルスレーザ光の総
エネルギは設定値に等しくなる。
（実施例） 以下、添付図を参照して本発明の一実施例を説明する。
第１図は、この実施例によるパルスレーザの電源装置の
構成を示す。電源回路１０は商用交流電圧を昇圧，整流
して高圧の直流電圧を出力し、大容量のコンデンサ１２
を充電する。このコンデンサ１２の充電電圧Ｖは、サイ
リスタ１６が導通した時にそれとダイオード２４とを介
してフラッシュランプ２６に印加される。サイリスタ１
６は、ゲート・ターン・オフ型（ＧＴＯ）で、そのゲー
トに正電流を受けると導通（オン）し、負電流を受ける
と遮断（オフ）するようになっている。サイリスタ１６
に並列に接続されたダイオード１８，抵抗２０，コンデ
ンサ２２は、過大な逆電圧に対してサイリスタ１６を保
護する回路である。
構成を示す。電源回路１０は商用交流電圧を昇圧，整流
して高圧の直流電圧を出力し、大容量のコンデンサ１２
を充電する。このコンデンサ１２の充電電圧Ｖは、サイ
リスタ１６が導通した時にそれとダイオード２４とを介
してフラッシュランプ２６に印加される。サイリスタ１
６は、ゲート・ターン・オフ型（ＧＴＯ）で、そのゲー
トに正電流を受けると導通（オン）し、負電流を受ける
と遮断（オフ）するようになっている。サイリスタ１６
に並列に接続されたダイオード１８，抵抗２０，コンデ
ンサ２２は、過大な逆電圧に対してサイリスタ１６を保
護する回路である。
この電源装置には、フラッシュランプ２６内の放電路を
安定化させるためのシマー回路２８が設けられている。
トリガ電極３４にトリガ回路３６からトリガ信号ＴＲが
与えられるとトリガがかかり、シマー回路２８より抵抗
３０，ダイオード３２を介して１００〜２００ｍＡの微
弱な予備電流（シマー電流）ｉがフラッシュランプ２６
内を流れる。
安定化させるためのシマー回路２８が設けられている。
トリガ電極３４にトリガ回路３６からトリガ信号ＴＲが
与えられるとトリガがかかり、シマー回路２８より抵抗
３０，ダイオード３２を介して１００〜２００ｍＡの微
弱な予備電流（シマー電流）ｉがフラッシュランプ２６
内を流れる。
そして、上記のようにサイリスタ１６が導通してコンデ
ンサ１２の充電電圧Ｖが印加されると、フラッシュラン
プ２６は点灯してレーザロッド４０に光を照射する。こ
れによって、レーザロッド４０は発振してレーザ光を発
し、そのレーザ光は共振ミラー４２Ａ，４２Ｂで反射し
て十分に増幅されてから外部に出力される。出力された
レーザ光ＬＢは、例えば１％の反射率をもつ低反射ビー
ムスプリッタ４４に入射し、そこを透過した大部分（９
９％）のレーザ光ＬＢａは所定の用途に使用される。な
お、レーザロッド４０は冷却装置（図示せず）内い配置
され、冷却水の中に浸されている。
ンサ１２の充電電圧Ｖが印加されると、フラッシュラン
プ２６は点灯してレーザロッド４０に光を照射する。こ
れによって、レーザロッド４０は発振してレーザ光を発
し、そのレーザ光は共振ミラー４２Ａ，４２Ｂで反射し
て十分に増幅されてから外部に出力される。出力された
レーザ光ＬＢは、例えば１％の反射率をもつ低反射ビー
ムスプリッタ４４に入射し、そこを透過した大部分（９
９％）のレーザ光ＬＢａは所定の用途に使用される。な
お、レーザロッド４０は冷却装置（図示せず）内い配置
され、冷却水の中に浸されている。
上述のようにサイリスタ１６が導通してランプ２６が点
灯することにより発振出力されたレーザ光ＬＢは、サイ
リスタ１６が遮断してランプ２６が消灯することによっ
て断ち切られ、パルス状のレーザ光となる。本実施例で
は、次に説明するような制御部いより、各パルスレーザ
光に対してレーザエネルギが一定（均一）になるように
サイリスタ１６の遮断のタイミングが制御される。
灯することにより発振出力されたレーザ光ＬＢは、サイ
リスタ１６が遮断してランプ２６が消灯することによっ
て断ち切られ、パルス状のレーザ光となる。本実施例で
は、次に説明するような制御部いより、各パルスレーザ
光に対してレーザエネルギが一定（均一）になるように
サイリスタ１６の遮断のタイミングが制御される。
先ず、ビームスプリッタ４４で反射された１％のレーザ
光ＬＢｂは光センサ６０の受光面に入射される。この光
センサ６０は、例えばＰＩＮフォトダイオードからな
り、レーザ光ＬＢのレーザ出力ＰＬ（ワット）に対応
（比例）した光電流ＩＬを出力する。そして、この光電
流ＩＬはレーザ出力検出回路６２に供給され、ここで電
流−電圧変換を受ける。しかして、レーザ出力検出回路
６２の出力端子にはレーザ光ＬＢの出力ＰＬを表す直流
電圧のレーザ出力検出信号ＳＬが得られ、このレーザ出
力検出信号ＳＬは積分回路６４に入力される。
光ＬＢｂは光センサ６０の受光面に入射される。この光
センサ６０は、例えばＰＩＮフォトダイオードからな
り、レーザ光ＬＢのレーザ出力ＰＬ（ワット）に対応
（比例）した光電流ＩＬを出力する。そして、この光電
流ＩＬはレーザ出力検出回路６２に供給され、ここで電
流−電圧変換を受ける。しかして、レーザ出力検出回路
６２の出力端子にはレーザ光ＬＢの出力ＰＬを表す直流
電圧のレーザ出力検出信号ＳＬが得られ、このレーザ出
力検出信号ＳＬは積分回路６４に入力される。
この積分回路６４には、フラッシュランプ２６の各点灯
開始時に、したがって各パルスレーザ光ＬＢの発生開始
時に、タイミング回路７２より積分開始を指示するタイ
ミング信号Ｔ３が与えられる。積分回路６４は、このタ
イミング信号Ｔ３に応答し、各パルスレーザ光ＬＢにつ
いてレーザ出力検出信号ＳＬを時間積分し、その積分値
を表す積分値信号ＩＳＬを比較回路８２の一方の入力端
子に与える。理解されるように、この積分値信号ＩＳＬ
は、当該パルスレーザ光ＬＢが発生してから現時刻まで
の間のレーザ出力ＰＬの累積値、すなわちレーザエネル
ギＥＬ（ジュール）を表す。
開始時に、したがって各パルスレーザ光ＬＢの発生開始
時に、タイミング回路７２より積分開始を指示するタイ
ミング信号Ｔ３が与えられる。積分回路６４は、このタ
イミング信号Ｔ３に応答し、各パルスレーザ光ＬＢにつ
いてレーザ出力検出信号ＳＬを時間積分し、その積分値
を表す積分値信号ＩＳＬを比較回路８２の一方の入力端
子に与える。理解されるように、この積分値信号ＩＳＬ
は、当該パルスレーザ光ＬＢが発生してから現時刻まで
の間のレーザ出力ＰＬの累積値、すなわちレーザエネル
ギＥＬ（ジュール）を表す。
比較回路８２の他方の入力端子には、レーザエネルギ設
定回路８０より一定のレーザエネルギ設定値ＥＳ（ジュ
ール）を表す設定値信号ＪＣが与えられる。比較回路８
２は、両入力信号ＩＳＬ，ＪＣのレベルを比較し、前者
が後者に達したときに“１”の比較出力信号ＣＯを発生
する。
定回路８０より一定のレーザエネルギ設定値ＥＳ（ジュ
ール）を表す設定値信号ＪＣが与えられる。比較回路８
２は、両入力信号ＩＳＬ，ＪＣのレベルを比較し、前者
が後者に達したときに“１”の比較出力信号ＣＯを発生
する。
この比較出力信号ＣＯ（“１”）が発生されると、放電
停止回路８４はパルス発生回路７６に作用してパルス信
号ＰＱの出力を止めさせる。そうすると、パルス信号Ｐ
Ｑの立ち下がりに応動してゲート制御回路７８はサイリ
スタ１６のゲートに負の電流ＧＩ-を供給してサイリス
タ１６を遮断（ターンオフ）させる。その結果、フラッ
シュドランプ２６にランプ電流Ｉが流れなくなり、フラ
シュランプ２６は消灯し、レーザロッド４０の発振も止
まる。このようにして、パルスレーザ光ＬＢの瞬時的な
出力ＰＬに関係なく（ＰＬが変動しても）、設定値ＥＳ
に等しい一定量のレーザエネルギＥＬが各パルスについ
て得られる。
停止回路８４はパルス発生回路７６に作用してパルス信
号ＰＱの出力を止めさせる。そうすると、パルス信号Ｐ
Ｑの立ち下がりに応動してゲート制御回路７８はサイリ
スタ１６のゲートに負の電流ＧＩ-を供給してサイリス
タ１６を遮断（ターンオフ）させる。その結果、フラッ
シュドランプ２６にランプ電流Ｉが流れなくなり、フラ
シュランプ２６は消灯し、レーザロッド４０の発振も止
まる。このようにして、パルスレーザ光ＬＢの瞬時的な
出力ＰＬに関係なく（ＰＬが変動しても）、設定値ＥＳ
に等しい一定量のレーザエネルギＥＬが各パルスについ
て得られる。
なお、スタート回路７０は、各パルスレーザ光ＬＢの発
生開始を指示するもので、タイミング回路７２にスター
ト信号ＳＴを与える。そうするとタイミング回路７２
は、先ずトリガ回路３６にトリガ信号ＴＲを発生させる
タイミング信号Ｔ１を与えたのち、放電開始回路７４に
放電（パルス点灯）開始を指示するタイミング信号Ｔ２
を与え、積分回路６４に上記のように積分開始を指示す
るタイミング信号Ｔ３を与える。放電開始回路７４は、
タイミング信号Ｔ２に応動してパルス発生回路７６にゲ
ート駆動用のパルスＰＱを“１”に立ち上げさせる。そ
れによって、ゲート制御回路７８はサイリスタ１６のゲ
ートに正のトリガ電流ＧI+を与えてそれを導通させる。
また、タイミング回路７２はパルス幅制限回路８６にも
作動開始のタイミング信号Ｔ４を与える。このパルス幅
制限回路８６は、一種の保護回路で、レーザエネルギ設
定回路８０から設定値ＥＳを受け、タイミング信号Ｔ４
を入力した時から設定値ＥＳに対応した上限のパルス幅
（点灯時間）に達した時点で放電停止回路８４に対して
上記の比較出力信号ＣＯ（“１”）と同様に作用し、放
電を停止させる。また、レーザ出力モニタ装置６６は積
分回路６４からレーザ出力ＰＬ，積分値ＥＬなどのデー
タを受け、それをディスプレイに表示したり、あるいは
後のモニタのためメモリに蓄積する。
生開始を指示するもので、タイミング回路７２にスター
ト信号ＳＴを与える。そうするとタイミング回路７２
は、先ずトリガ回路３６にトリガ信号ＴＲを発生させる
タイミング信号Ｔ１を与えたのち、放電開始回路７４に
放電（パルス点灯）開始を指示するタイミング信号Ｔ２
を与え、積分回路６４に上記のように積分開始を指示す
るタイミング信号Ｔ３を与える。放電開始回路７４は、
タイミング信号Ｔ２に応動してパルス発生回路７６にゲ
ート駆動用のパルスＰＱを“１”に立ち上げさせる。そ
れによって、ゲート制御回路７８はサイリスタ１６のゲ
ートに正のトリガ電流ＧI+を与えてそれを導通させる。
また、タイミング回路７２はパルス幅制限回路８６にも
作動開始のタイミング信号Ｔ４を与える。このパルス幅
制限回路８６は、一種の保護回路で、レーザエネルギ設
定回路８０から設定値ＥＳを受け、タイミング信号Ｔ４
を入力した時から設定値ＥＳに対応した上限のパルス幅
（点灯時間）に達した時点で放電停止回路８４に対して
上記の比較出力信号ＣＯ（“１”）と同様に作用し、放
電を停止させる。また、レーザ出力モニタ装置６６は積
分回路６４からレーザ出力ＰＬ，積分値ＥＬなどのデー
タを受け、それをディスプレイに表示したり、あるいは
後のモニタのためメモリに蓄積する。
次に、第２図を参照して本実施例の作用をより詳細に説
明する。
明する。
第２図(A)に示すようにランプ電流Ｉが一定レベルＩｏ
に制御されても、レーザロッド４０の発振特性や冷却水
の温度変化等により、第２図(B)に示すようにレーザ出
力ＰＬは各パルス毎に変動する。本実施例では、各パル
スレーザ光ＬＢ１，ＬＢ２，ＬＢ３（３個だけ例示）に
ついて、それぞれのレーザ出力ＰL1，ＰL2，ＰＬ３にバ
ラツキがあっても、各パルス毎のレーザ出力の累積値
（斜線で示す面積に相当）であるレーザエネルギＥL1，
ＥL2，ＥL3は一定に制御される。
に制御されても、レーザロッド４０の発振特性や冷却水
の温度変化等により、第２図(B)に示すようにレーザ出
力ＰＬは各パルス毎に変動する。本実施例では、各パル
スレーザ光ＬＢ１，ＬＢ２，ＬＢ３（３個だけ例示）に
ついて、それぞれのレーザ出力ＰL1，ＰL2，ＰＬ３にバ
ラツキがあっても、各パルス毎のレーザ出力の累積値
（斜線で示す面積に相当）であるレーザエネルギＥL1，
ＥL2，ＥL3は一定に制御される。
すなわち、各レーザ出力ＰLiに相似なレーザ出力検出信
号ＳLiが時間積分されることによってレーザエネルギの
瞬時値に対応した積分値信号ＩＳLiが得られ、この積分
値信号ＩＳLiが一定のエネルギ設定値ＥＳに対応した一
定レベルＪＣに一致したところで、ランプ電流Ｉが断た
れ、各パルスレーザ光ＬＢｉの発振出力が停止する。
号ＳLiが時間積分されることによってレーザエネルギの
瞬時値に対応した積分値信号ＩＳLiが得られ、この積分
値信号ＩＳLiが一定のエネルギ設定値ＥＳに対応した一
定レベルＪＣに一致したところで、ランプ電流Ｉが断た
れ、各パルスレーザ光ＬＢｉの発振出力が停止する。
なお、必要に応じて、各パルスレーザ光のレーザエネル
ギを、一定（均一）に限定せず、個々に設定したほうが
都合の良い場合がある。そのような要求に対しては、第
１図においてレーザエネルギ設定回路８０がタイミング
回路７２からのタイミング信号を受けて各パルスレーザ
光毎のエネルギ設定値に対応した設定値信号ＪＣを比較
回路８２に逐次与えるように構成すればよい。
ギを、一定（均一）に限定せず、個々に設定したほうが
都合の良い場合がある。そのような要求に対しては、第
１図においてレーザエネルギ設定回路８０がタイミング
回路７２からのタイミング信号を受けて各パルスレーザ
光毎のエネルギ設定値に対応した設定値信号ＪＣを比較
回路８２に逐次与えるように構成すればよい。
（発明の効果） 以上のように、本発明によれば、パルスレーザ光の出力
に変動ないしラツキがあっても、設定通りのレーザエネ
ルギを各パルスについて得ることができる。
に変動ないしラツキがあっても、設定通りのレーザエネ
ルギを各パルスについて得ることができる。
第１図は、本発明の一実施例によるパルスレーザ電源装
置の構成を示すブロック図、および 第２図は、第１図の装置の動作を説明するためのタイミ
ング図である。 １０…電源回路、 １２…コンデンサ、 １６…サイリスタ（ＧＴＯ）、 ２６…フラッシュランプ、 ２８…シマー回路、 ３６…トリガ回路、 ４０…レーザロッド、 ４４…低反射率ビームスプリッタ、 ６０…光センサ、 ６２…レーザ出力検出回路、 ６４…積分回路、 ７２…タイミング回路、 ７４…放電開始回路、 ７６…パルス発生回路、 ７８…ゲート制御回路、 ８０…レーザエネルギ設定回路、 ８２…比較回路、 ８４…放電停止回路。
置の構成を示すブロック図、および 第２図は、第１図の装置の動作を説明するためのタイミ
ング図である。 １０…電源回路、 １２…コンデンサ、 １６…サイリスタ（ＧＴＯ）、 ２６…フラッシュランプ、 ２８…シマー回路、 ３６…トリガ回路、 ４０…レーザロッド、 ４４…低反射率ビームスプリッタ、 ６０…光センサ、 ６２…レーザ出力検出回路、 ６４…積分回路、 ７２…タイミング回路、 ７４…放電開始回路、 ７６…パルス発生回路、 ７８…ゲート制御回路、 ８０…レーザエネルギ設定回路、 ８２…比較回路、 ８４…放電停止回路。
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ媒体がパルス状のレーザ発振を起こ
すよう励起用のフラッシュランプをパルス点灯させるパ
ルスレーザの電源装置において、 前記フラッシュランプに点灯用のランプ電流を供給する
手段と、 前記レーザ媒体より発せられたパルスレザー光の出力を
検出し、その出力の大きさに応じたレベルをもつ電気的
なレーザ出力検出信号を生成する光センサ手段と、 各パルスレーザ光に対して前記レーザ出力検出信号を時
間積分する積分手段と、 各パルスレーザ光に対してレーザエネルギの設定値を与
える手段と、 前記積分手段の出力と前記設定値とを比較し、前者が後
者に一致したときに所定の比較出力信号を発生する比較
手段と、 前記比較出力信号に応動して前記ランプ電流の供給を停
止する手段と、 を具備することを特徴とする電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26138086A JPH065800B2 (ja) | 1986-11-01 | 1986-11-01 | パルスレ−ザの電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26138086A JPH065800B2 (ja) | 1986-11-01 | 1986-11-01 | パルスレ−ザの電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63115390A JPS63115390A (ja) | 1988-05-19 |
| JPH065800B2 true JPH065800B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=17361042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26138086A Expired - Fee Related JPH065800B2 (ja) | 1986-11-01 | 1986-11-01 | パルスレ−ザの電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065800B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5604955B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2014-10-15 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ点灯装置 |
| WO2018221111A1 (ja) | 2017-05-31 | 2018-12-06 | 富士フイルム株式会社 | 光音響計測装置 |
| CN115389017B (zh) * | 2022-08-22 | 2024-06-21 | 西北核技术研究所 | 一种基于积分电路的脉冲激光功率测量方法 |
-
1986
- 1986-11-01 JP JP26138086A patent/JPH065800B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63115390A (ja) | 1988-05-19 |
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