JPS598386A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS598386A JPS598386A JP11626782A JP11626782A JPS598386A JP S598386 A JPS598386 A JP S598386A JP 11626782 A JP11626782 A JP 11626782A JP 11626782 A JP11626782 A JP 11626782A JP S598386 A JPS598386 A JP S598386A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- shutter
- laser beam
- control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Landscapes
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- Lasers (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、低出力ないし中出力におけるレーデ出力のＩ
ｆ７’制御を効率よく行なうようにしたレーザ装置に関
するものである。
ｆ７’制御を効率よく行なうようにしたレーザ装置に関
するものである。
従来のレーザ出力の龍１伺ｊは、その出力の一部を取り
出して検出し、検出結果をレーザ発振装置に帰還して連
続的に制御していた。
出して検出し、検出結果をレーザ発振装置に帰還して連
続的に制御していた。
第１図は、従来例の構成を示したもので、１はレーザ管
、２はレーザ管１の放電電極に接続された電源、３は全
反射鏡、４は部分反射鏡で、レーデ光の一部が通過する
。いまこれをレーザ全出力Ｐｏとする。５はビームスシ
リツタで、レーザ全出力Ｐｏの一部の光ｐ、を反射し、
他の光Ｐ２を透過させてこれを出射レーザ光とする。こ
こでＰＯ＝Ｐｌ＋Ｐ２である。６は光検出器で、ビーム
スノリツタ５で反射した光Ｐｌを受けて、その出力を電
源２に帰還する。
、２はレーザ管１の放電電極に接続された電源、３は全
反射鏡、４は部分反射鏡で、レーデ光の一部が通過する
。いまこれをレーザ全出力Ｐｏとする。５はビームスシ
リツタで、レーザ全出力Ｐｏの一部の光ｐ、を反射し、
他の光Ｐ２を透過させてこれを出射レーザ光とする。こ
こでＰＯ＝Ｐｌ＋Ｐ２である。６は光検出器で、ビーム
スノリツタ５で反射した光Ｐｌを受けて、その出力を電
源２に帰還する。
第２図は、他の従来例の構成を示したもので、第１図の
全反射鏡３を部分反射鏡７に置き替え、この部分反射鏡
７を通過した光Ｐ、 を光検出器６で検出し、その出力
を電源２に帰還する。
全反射鏡３を部分反射鏡７に置き替え、この部分反射鏡
７を通過した光Ｐ、 を光検出器６で検出し、その出力
を電源２に帰還する。
このように、従来のレーザ装置では、レーザ出力のうち
の一部Ｐ、を取シ出して出力の検出およびその制御のた
めに供していた。この場合、目的とする出射レーザ光０
強度が大きいとき、例えば、２２２１０ｗではｐ、−−
Ｌｐ２程度に選ぶこと０ によりレーザ全出力Ｐｏのほとんどを出射レーザ状態で
検出できる値である。
の一部Ｐ、を取シ出して出力の検出およびその制御のた
めに供していた。この場合、目的とする出射レーザ光０
強度が大きいとき、例えば、２２２１０ｗではｐ、−−
Ｌｐ２程度に選ぶこと０ によりレーザ全出力Ｐｏのほとんどを出射レーザ状態で
検出できる値である。
しかし、Ｐｚが１０ ｍｗ位のとき、同一のビームスプ
リッタで処理しようとすると、ＰＬ がＩｍｗ程度にな
ってしまい、同一の光検出器では検出不可能となる。ビ
ームスグリツタを交換してＰ、＝１０Ｐ２程度にすると
検出可能となるが、レーザ全出力ＰＯのほとんどを検出
のため消費することになって効率が非常に悪く、また、
ビームスプリッタの切替えＫよりコスト高になるという
欠点もあった。第２図の場合も同様に、出力に応じて部
分反射鏡７の種類を替えれば光検出が可能であるが、著
しく煩雑な調整操作を必要とする。
リッタで処理しようとすると、ＰＬ がＩｍｗ程度にな
ってしまい、同一の光検出器では検出不可能となる。ビ
ームスグリツタを交換してＰ、＝１０Ｐ２程度にすると
検出可能となるが、レーザ全出力ＰＯのほとんどを検出
のため消費することになって効率が非常に悪く、また、
ビームスプリッタの切替えＫよりコスト高になるという
欠点もあった。第２図の場合も同様に、出力に応じて部
分反射鏡７の種類を替えれば光検出が可能であるが、著
しく煩雑な調整操作を必要とする。
本発明は、上記従来例の欠点を解消するために、７ヤツ
タがレーザ光を遮断したとき、その遮断したレーザ全出
力Ｐｏを光検出器によシ検出し、その光検出器の出力を
ホールド回路を介してレーザ発振器に帰還してレーザ出
力を効率よく制御するようにしたレーザ装置を提供する
ものである。以下、図面により実施例を詳細に説明する
。
タがレーザ光を遮断したとき、その遮断したレーザ全出
力Ｐｏを光検出器によシ検出し、その光検出器の出力を
ホールド回路を介してレーザ発振器に帰還してレーザ出
力を効率よく制御するようにしたレーザ装置を提供する
ものである。以下、図面により実施例を詳細に説明する
。
第３図は、本発明の一実施例を示したもので、第１図と
同一符号のものは同一のものを示しておシ、また、８は
レーデ光遮断用のシャッタ、９け光検出器６と電源２と
の間に配置したホールド回路である。シャッタ８の受光
面はレーザ光反射面となっておシ、反射したレーデ光は
光検出器６に入射するように光検出器６が配置されてい
る。ホールド回路９は、シャッタ８の開閉動作に連動し
て入力側回路が切れたシつながったシする。光検出器６
の出力は、ホールド回路９を通して電源２に帰還され、
電源２に予め用意された基準電圧と比較される。そして
両者の差電圧が零になるように、レーザ媒質の励起エネ
ルギーが調整される。
同一符号のものは同一のものを示しておシ、また、８は
レーデ光遮断用のシャッタ、９け光検出器６と電源２と
の間に配置したホールド回路である。シャッタ８の受光
面はレーザ光反射面となっておシ、反射したレーデ光は
光検出器６に入射するように光検出器６が配置されてい
る。ホールド回路９は、シャッタ８の開閉動作に連動し
て入力側回路が切れたシつながったシする。光検出器６
の出力は、ホールド回路９を通して電源２に帰還され、
電源２に予め用意された基準電圧と比較される。そして
両者の差電圧が零になるように、レーザ媒質の励起エネ
ルギーが調整される。
第４図は、シャッタ８の開閉に伴う出力制御の様子を示
したものである。Ｓはシャッタ８の閉区間、０は閉区間
とする。まず、ｔｔ−ｔ２のＳ区間では光検出器６の出
入力が電源２に帰還されているので、光出力Ｐｏは設定
値に保たれている。レーザパラメータは徐々に変化する
ので、制御量（制御のだめの操作量）は変化する。いま
、ｔ２においてンヤッタ８が開くと、ホールド回路９で
は入力端が切れ、シャッタ８が開く直前の光検出器の出
力値を、次にシャッタ８が閉じるｔ３まで保持する。こ
れによって電源２の制御量はｔ２における値に保たれる
が、光出力Ｐｏはこの間徐々に変化する。ｔ３において
スイッチ８が閉じると光出力Ｐｏは再び設定値に戻って
保持される。
したものである。Ｓはシャッタ８の閉区間、０は閉区間
とする。まず、ｔｔ−ｔ２のＳ区間では光検出器６の出
入力が電源２に帰還されているので、光出力Ｐｏは設定
値に保たれている。レーザパラメータは徐々に変化する
ので、制御量（制御のだめの操作量）は変化する。いま
、ｔ２においてンヤッタ８が開くと、ホールド回路９で
は入力端が切れ、シャッタ８が開く直前の光検出器の出
力値を、次にシャッタ８が閉じるｔ３まで保持する。こ
れによって電源２の制御量はｔ２における値に保たれる
が、光出力Ｐｏはこの間徐々に変化する。ｔ３において
スイッチ８が閉じると光出力Ｐｏは再び設定値に戻って
保持される。
レーザ光を間欠的に利用するレーザ装置、例えば、医用
レーザ装置、レーザトリミング装置などでは、連続照射
時間はせいぜい数秒の程度であるから、本発明による出
力制御を行った場合、シャツタ開のときの光出力Ｐｏの
変化は無視できる程度に小さい。また、がスレーザ放電
管の場合、電源２ｉｌｉ定電流制御回路を含む電源であ
シ、制御量は放電電流である。このようなレーザ装置で
は、Ｌ２〜ｔ３における光出力Ｐｏの変化は、冷却水の
温度変化や、反射鏡３，４の周囲温度の変動に伴う平行
度のずれなど、熱的な原因によるものがほとんどであり
、その時定数は数十秒の程度である。従って、シャツタ
開の時間が短かければｔ４〜ｔ５のようにレーザ照射時
の光出力Ｐ。はほとんど一定値に保たれる。
レーザ装置、レーザトリミング装置などでは、連続照射
時間はせいぜい数秒の程度であるから、本発明による出
力制御を行った場合、シャツタ開のときの光出力Ｐｏの
変化は無視できる程度に小さい。また、がスレーザ放電
管の場合、電源２ｉｌｉ定電流制御回路を含む電源であ
シ、制御量は放電電流である。このようなレーザ装置で
は、Ｌ２〜ｔ３における光出力Ｐｏの変化は、冷却水の
温度変化や、反射鏡３，４の周囲温度の変動に伴う平行
度のずれなど、熱的な原因によるものがほとんどであり
、その時定数は数十秒の程度である。従って、シャツタ
開の時間が短かければｔ４〜ｔ５のようにレーザ照射時
の光出力Ｐ。はほとんど一定値に保たれる。
以上説明したように、本発明によれば、間欠的にレーザ
光の照射を行なう装置において、光出力Ｐｏが低レベル
から中レベル、例えば１０ｍｗ〜１ｗ程度においても、
特殊仕様のビームスノリツタ等を用いることなく、また
複雑な調整等を必要とせず、かつ、光パワーを無駄に消
費することなく、実用的なレーザ出力の制御を行なうこ
とができる。
光の照射を行なう装置において、光出力Ｐｏが低レベル
から中レベル、例えば１０ｍｗ〜１ｗ程度においても、
特殊仕様のビームスノリツタ等を用いることなく、また
複雑な調整等を必要とせず、かつ、光パワーを無駄に消
費することなく、実用的なレーザ出力の制御を行なうこ
とができる。
なお、第３図において、シャッタの受光面をレーザ光反
射面とし、その反射したレーザ光を、シャッタから離れ
た位置に配置した光検出器に入射させるようにしたが、
光検出器をシャッタ自体にとりつけ、シャッタとともに
移動するようにしても、実施例と同様の効果が得られる
ことは許う１でもない。
射面とし、その反射したレーザ光を、シャッタから離れ
た位置に配置した光検出器に入射させるようにしたが、
光検出器をシャッタ自体にとりつけ、シャッタとともに
移動するようにしても、実施例と同様の効果が得られる
ことは許う１でもない。
、第１図および第２図は、それぞれ従来例の構成図、第
３図は、本発明の一実施例の構成図、第４図は、／ヤッ
タの開閉に伴う出力制御の状態を示す図である。 １・・・レーザ管、２・・・電源、３・・・全反射鏡、
４・・・部分反射鏡、６・・・光検出器、８・・・シャ
ッタ、９・・ホールド回路。 第１図 第２図
３図は、本発明の一実施例の構成図、第４図は、／ヤッ
タの開閉に伴う出力制御の状態を示す図である。 １・・・レーザ管、２・・・電源、３・・・全反射鏡、
４・・・部分反射鏡、６・・・光検出器、８・・・シャ
ッタ、９・・ホールド回路。 第１図 第２図
Claims (1)
- レーザ光遮断用シャッタと、該ンヤッタのレーデ光入射
面もしくけ該レーデ光入射面で反射したレーザ光が達す
る位置に配置されたレーザ光検出手段と、該レーザ光検
出手段とレーザ発振手段との間に配置されたホールド回
路とを備え、前記シへ・ツタがレーデ光を遮断したとき
、前記レーザ光検出手段によりレーザ出力を検出し、そ
の信号を前記ホールド回路を介してレーザ発振手段に帰
還してレーザ出力を制御するようにしたこ（！：を特徴
とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11626782A JPS598386A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11626782A JPS598386A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS598386A true JPS598386A (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=14682853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11626782A Pending JPS598386A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598386A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194579A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-01 | Fanuc Ltd | 高周波放電励起レーザ装置 |
-
1982
- 1982-07-06 JP JP11626782A patent/JPS598386A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194579A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-01 | Fanuc Ltd | 高周波放電励起レーザ装置 |
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