JPH0656347B2 - ペニング電離真空計 - Google Patents

ペニング電離真空計

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JPH0656347B2
JPH0656347B2 JP62297918A JP29791887A JPH0656347B2 JP H0656347 B2 JPH0656347 B2 JP H0656347B2 JP 62297918 A JP62297918 A JP 62297918A JP 29791887 A JP29791887 A JP 29791887A JP H0656347 B2 JPH0656347 B2 JP H0656347B2
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anode
measuring electrode
vacuum gauge
ignition device
ionization vacuum
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JP62297918A
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ハンス・リンプ
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Leybold AG
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00—Vacuum gauges
    • G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
    • G01L21/34—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with cold cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/06—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、測定電極装置を持ち、この測定電極装置が永
久磁石装置の磁界内に設けられる陽極および陰極を含
み、かつ点弧装置を備えている、ペニング電離真空計に
関する。
〔従来の技術〕
ペニング電離真空計は、低温放電で動作する電離真空計
に属する。ペニング電離真空計は、加熱されない２つの
電極(陰極および陽極)を持つており、これらの電極の間
において２kV程度の直流電圧によつて低温放電が行なわ
れかつ維持される。磁界によつて電子の行程が延長され
るので、電子の気体分子との衝突率は、非常に低い圧力
においても、放電の維持のために必要な数の荷電体を形
成するほど十分大きい。正および負の荷電体は対応する
電極へ移動しかつ圧力に関係する放電電流を生ぜしめ、
この放電電流は測定目盛りに表示される。この種の真空
計における欠点は、放電がいつも行なえるとは限らない
ことである。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第3047744 号明細書か
ら、冒頭に挙げた種類の電離真空計は公知である。確実
な点弧を達成するために、加熱されない電極から成る測
定装置の他に付加的な熱陰極を設けることが提案されて
いる。この手段は十分に大きい電流の供給を必要とし、
したがつて付加的な給電装置を必要とする。
確実な点弧を達成するための別の提案は、1952年８月28
日付けのドイツ連邦共和国特許出願第23166 号明細書か
ら公知である。これらの提案は、測定管内には放射性試
料を設けまたは金属先端を放電空間内へ突出させること
にある。これらの提案は所望の成果を収めなかった(金
属先端)、または放射線防護の理由から疑わしい(放射性
試料)。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の根底にある課題は、冒頭に挙げた種類の電離真
空計に簡単かつ確実な点弧装置を備えることである。
〔問題点を解決するための手段〕
この課題を解決するため本発明によれば、１つの陽極お
よび少なくとも１つの陰極を含みかつ測定電極装置より
小さい寸法を持つ点弧装置が、同様に永久磁石装置の磁
界内に設けられ、測定電極装置の陽極が、導電接続片に
より点弧装置の陽極を保持している。
〔発明の効果〕
測定電極装置より小さく構成される点弧装置の陽極が測
定電極装置の陽極に導電接続されているので、点弧装置
のための付加的な給電装置が不要となる。しかも点弧装
置の陽極は測定電極装置の陽極と同じ高電位を受けるの
で、電離真空計の非常に低い圧力でも、点弧装置の確実
な点弧が行われる。点弧装置のこの点弧の直後に、若干
の荷電体が測定電極装置の範囲へ達するので、測定電極
装置の点弧を妨げる点弧遅れは生じない。しかも点弧装
置の小さい陽極は、導電接続片によつて測定電極装置の
陽極に保持されるので、点弧装置の高電位にある陽極を
電離真空計のハウジングに対して絶縁支持する手段を省
略することもできる。
〔実施態様〕
測定電極装置および点弧装置の陽極が環状陽極として構
成され、かつその軸線を互いに平行にして設けられてい
るのが好ましい。この場合点弧装置の環状陽極の直径
は、測定電極装置の環状陽極の直径より少なくとも４倍
小さい。
〔実施例〕
本発明のそれ以外の利点および詳細を、第１図および第
２図に示した実施例により説明する。
縦断面図(第１図)および横断面図(第２図)に一部示され
ているペニング電離真空計は、気密ハウジング１を持つ
ており、このハウジングは鋼環２により包囲されてい
る。この鋼環の内部に永久磁石３および４が配置されて
いる。それぞれ北極および南極はハウジング１の方へ向
けられており、所望の磁界を生ぜしめる。装置全体は保
護キヤツプ５により覆われている。
ハウジング１はフランジ６を備えており、このフランジ
により電離真空計が受容体に接続され、この受容体にお
いて圧力が測定および／または監視される。
ハウジング１内に測定電極装置の陰極７があり、この陰
極は交換可能な陰極板として構成されている。ハウジン
グ１自体が陰極を形成するようにすることもできる。し
かし放電において生ぜしめられたイオンは陰極へ向けて
加速されかつそこで陰極材料の飛散をひき起こすから、
交換可能な陰極板を設けることが一層好ましい。横断面
を方形に形成された放電空間８内における曲げられた陰
極板７の配置は、数ミリメートルの間隔を置いて対向し
ている陰極板の端面９が放電空間８の短辺の範囲に存在
するように行なわれる。
陰極７により形成された空間に測定電極装置の環状陽極
10が入つており、この陽極の軸線は11で示されている。
圧縮ガラス溶融部12および陽極給電片13によつて陽極10
は放電空間８に保持されている。陽極給電片は正の高電
位(約 2kV)になつている。陰極板７は、接地されたハウ
ジング１に接触している。これらの両電極の間において
装置の運転中放電は維持される。
本発明による点弧装置は15で示されており、測定電極装
置の陽極10のそばに、極３および４の間の磁界に存在す
る。正の電極として環状陽極16が設けられており、この
環状陽極の直径は測定電極装置の環状陽極10の直径より
はるかに小さく(なるべく約４倍小さい)かつこの環状陽
極の軸線17は環状陽極10の軸線11と平行している。環状
陽極16の幅は環状陽極10の幅より約２倍小さい。導電接
続片としての金属棒18によつて点弧装置15の陽極16は測
定装置の陽極10上に保持されているので、両方の環状陽
極は同じ高さの電圧を受ける。
点弧装置15の陰極として２つの円形金属板19が使われ、
これらの金属板の直径は環状陽極16の直径と同じかまた
はそれより少し大きい。陰極19は環状陽極16の端面に対
応せしめられかつ二また保持片21によつてこの位置に固
定される。この保持片21はハウジング１に導電するよう
に取り付けられ(例えばろう付けされ)ているので、陰極
19は大地電位を受ける。好ましいことに、この取り付け
個所22は放電空間８の短辺にあるので、陰極板７の導入
および／または交換は妨げられない。
測定電極装置と同じ高さの電圧を供給される点弧装置15
の寸法がはるかに小さいために、最低の圧力においても
点弧装置の確実な点弧が保証される。点弧装置15の点弧
直後に荷電体が測定電極装置の範囲へ入るので、この測
定電極装置も、障害となる遅れなしに点弧する。
【図面の簡単な説明】
第１図はペニング電離真空計の縦断面図、第２図はペニ
ング電離真空計の横断面図である。 ３，４……永久磁石装置、７，19……陰極、10，16……
陽極、15……点弧装置、18……導電接続片

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ペニング電離真空計が測定電極装置を持
    ち、この測定電極装置が永久磁石装置（３，４）の磁界
    内に設けられる陽極（10）および陰極（７）を含み、か
    つ点弧装置（15）を備えているものにおいて、１つの陽
    極（16）および少なくとも１つの陰極（19）を含みかつ
    測定電極装置より小さい寸法を持つ点弧装置（15）が、
    同様に永久磁石装置（３，４）の磁界内に設けられ、測
    定電極装置の陽極（10）が、導電接続片（18）により点
    弧装置（15）の陽極（16）を保持していることを特徴と
    する、ペニング電離真空計。
  2. 【請求項２】測定電極装置および点弧装置（15）の陽極
    （10，16）が環状陽極として構成され、かつその軸線
    （11，17）を互いに平行にして設けられていることを特
    徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の電離真空計。
  3. 【請求項３】点弧装置（15）の環状陽極（16）の直径が
    測定電極装置の環状陽極（10）の直径より少なくとも４
    倍小さいことを特徴とする、特許請求の範囲第２項に記
    載の電離真空計。
  4. 【請求項４】点弧装置（15）の環状陽極（16）の幅が測
    定電極装置の環状陽極（10）の幅より約２倍小さいこと
    を特徴とする、特許請求の範囲第２項または第３項に記
    載の電離真空計。
  5. 【請求項５】点弧装置（15）が２つの陰極（19）を持
    ち、これらの陰極が二またの保持片（21）により電離真
    空計のハウジング（１）に取り付けられていることを特
    徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の電離真空計。
  6. 【請求項６】測定電極装置および点弧装置（15）の存在
    する放電空間（８）が横断面をほぼ方形に形成され、点
    弧装置（15）の陰極（19）用の二または保持片（21）の
    取り付け個所（22）が放電空間（８）の短辺の範囲に設
    けられていることを特徴とする、特許請求の範囲第５項
    に記載の電離真空計。
JP62297918A 1986-12-13 1987-11-27 ペニング電離真空計 Expired - Lifetime JPH0656347B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3642670.9 1986-12-13
DE19863642670 DE3642670A1 (de) 1986-12-13 1986-12-13 Penning-ionisationsvakuummeter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63151835A JPS63151835A (ja) 1988-06-24
JPH0656347B2 true JPH0656347B2 (ja) 1994-07-27

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ID=6316149

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US (1) US4847564A (ja)
EP (1) EP0271769B1 (ja)
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DE (2) DE3642670A1 (ja)

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Also Published As

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EP0271769A1 (de) 1988-06-22
JPS63151835A (ja) 1988-06-24
DE3767461D1 (de) 1991-02-21
DE3642670A1 (de) 1988-06-23
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EP0271769B1 (de) 1991-01-16

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