JPH0655044A - フィルターエレメント - Google Patents
フィルターエレメントInfo
- Publication number
- JPH0655044A JPH0655044A JP20665692A JP20665692A JPH0655044A JP H0655044 A JPH0655044 A JP H0655044A JP 20665692 A JP20665692 A JP 20665692A JP 20665692 A JP20665692 A JP 20665692A JP H0655044 A JPH0655044 A JP H0655044A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter membrane
- filter
- filter element
- molecular weight
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高集積化、高精密化部品の製造に十分対応
できる金属溶出分、ＴＯＣの低レベル化を実現できるフ
ィルターエレメントを提供すること。 【構成】 内筒、外筒、それらの間に配置されたフィ
ルター膜とそれをはさみ込むネット状支持体とからなる
フィルター部材及びエンドキャップからなるフィルター
エレメントにおいて、フィルター膜が金属含有量４０ｐ
ｐｍ以下、有機系添加物含有量が１ｗｔ％以下の重量平
均分子量１００万以上の超高分子量ポリエチレン樹脂か
らなり、フィルター膜以外の部材が金属含有量２０ｐｐ
ｍ以下で、かつ有機系添加物が実質的に添加されていな
いポリオレフィン樹脂からなることを特徴とするフィル
ターエレメント。
できる金属溶出分、ＴＯＣの低レベル化を実現できるフ
ィルターエレメントを提供すること。 【構成】 内筒、外筒、それらの間に配置されたフィ
ルター膜とそれをはさみ込むネット状支持体とからなる
フィルター部材及びエンドキャップからなるフィルター
エレメントにおいて、フィルター膜が金属含有量４０ｐ
ｐｍ以下、有機系添加物含有量が１ｗｔ％以下の重量平
均分子量１００万以上の超高分子量ポリエチレン樹脂か
らなり、フィルター膜以外の部材が金属含有量２０ｐｐ
ｍ以下で、かつ有機系添加物が実質的に添加されていな
いポリオレフィン樹脂からなることを特徴とするフィル
ターエレメント。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体、液晶等の精密
部品を対象とする洗浄装置で、薬品、水などの超精密化
に利用されるフィルターエレメントに関する。
部品を対象とする洗浄装置で、薬品、水などの超精密化
に利用されるフィルターエレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置などの電子部品や精密工学部
品などの製造工程中には、薬品処理及び水洗工程があ
る。そして、そこに供給される薬品、水などは、製品の
歩留まり向上、高品質化を図る上で高純度化されたもの
でなければならず、又、微量の異物も含まれていてはな
らない。そこで、この微量の異物を除去するためフィル
ターエレメントが使用されている。このフィルターエレ
メントは、内筒、外筒、それらの間に設けられた、フィ
ルター膜とそれを挾みこみ流路を確保するネットからな
るフィルター部材、及び開放端部を閉止するエンドキャ
ップ（図１）から構成されている。
品などの製造工程中には、薬品処理及び水洗工程があ
る。そして、そこに供給される薬品、水などは、製品の
歩留まり向上、高品質化を図る上で高純度化されたもの
でなければならず、又、微量の異物も含まれていてはな
らない。そこで、この微量の異物を除去するためフィル
ターエレメントが使用されている。このフィルターエレ
メントは、内筒、外筒、それらの間に設けられた、フィ
ルター膜とそれを挾みこみ流路を確保するネットからな
るフィルター部材、及び開放端部を閉止するエンドキャ
ップ（図１）から構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フィルターエメレントを用いた場合には、そのフィルタ
ーエレメントに由来する金属溶出物、ＴＯＣが超純水の
水や薬品に混入し、製品の歩留まり低下をきたしてお
り、まして最近の高度に集積化された超精密部品を製造
するための要求性能には対応することはできない。
フィルターエメレントを用いた場合には、そのフィルタ
ーエレメントに由来する金属溶出物、ＴＯＣが超純水の
水や薬品に混入し、製品の歩留まり低下をきたしてお
り、まして最近の高度に集積化された超精密部品を製造
するための要求性能には対応することはできない。
【０００４】従来のフィルターエレメントのフィルター
膜は、通常ポリエチレンなどの合成樹脂で構成されてい
るが、この合成樹脂中にはその製造過程で添加された重
合触媒、熱安定剤などの金属成分や有機成分が相当量含
有されており、前記金属溶出分、ＴＯＣ（全有機炭素）
の混入はこれらの成分の存在が影響していると考えられ
る。
膜は、通常ポリエチレンなどの合成樹脂で構成されてい
るが、この合成樹脂中にはその製造過程で添加された重
合触媒、熱安定剤などの金属成分や有機成分が相当量含
有されており、前記金属溶出分、ＴＯＣ（全有機炭素）
の混入はこれらの成分の存在が影響していると考えられ
る。
【０００５】一方、近年は半導体や液晶の高集積化、高
精密化の傾向が著しく、それに伴い前記の洗浄あるいは
処理に使用される水や薬品に対する金属溶出分、ＴＯＣ
の低レベル化への要求も厳しさを増している。例えば、
４メガバイトのダイナミックランダムアクセスメモリー
（４Ｍ ＤＲＡＭ）の製造に使用するＥＬ薬品中の金属
溶出分は１〜０．１ｐｐｂ以下、又、ＴＯＣは１０ｐｐ
ｍ以下に保つことが要求されている。
精密化の傾向が著しく、それに伴い前記の洗浄あるいは
処理に使用される水や薬品に対する金属溶出分、ＴＯＣ
の低レベル化への要求も厳しさを増している。例えば、
４メガバイトのダイナミックランダムアクセスメモリー
（４Ｍ ＤＲＡＭ）の製造に使用するＥＬ薬品中の金属
溶出分は１〜０．１ｐｐｂ以下、又、ＴＯＣは１０ｐｐ
ｍ以下に保つことが要求されている。
【０００６】そこで、フィルター膜を構成する合成樹脂
としては、できるだけ金属成分及び有機成分含有量の少
ないものが望まれるが、高強度特性からフィルター膜に
好適とされている超高分子量ポリエチレンは、それらの
含有量の低下には製造上の限界があり、すでに述べたよ
うに実際の使用時における成分溶出の防止は十分とは言
えない。
としては、できるだけ金属成分及び有機成分含有量の少
ないものが望まれるが、高強度特性からフィルター膜に
好適とされている超高分子量ポリエチレンは、それらの
含有量の低下には製造上の限界があり、すでに述べたよ
うに実際の使用時における成分溶出の防止は十分とは言
えない。
【０００７】本発明は、こうした実情の下に、高集積
化、高精密化部品の製造に十分対応できる金属溶出分、
ＴＯＣの低レベル化を実現できるフィルターエレメント
を提供することを目的とするものである。
化、高精密化部品の製造に十分対応できる金属溶出分、
ＴＯＣの低レベル化を実現できるフィルターエレメント
を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、フィルターエレメント構成部材からの金属溶
出分、ＴＯＣの発生は、意外なことにフィルター膜より
も、むしろ膜以外の部材、特に比表面積の大きいネット
からの発生の方が大きいことを究明し、したがって、フ
ィルター膜以外の部材中に含有する金属分を抑制するこ
とが実際上有効であることを見出し、本発明に至った。
した結果、フィルターエレメント構成部材からの金属溶
出分、ＴＯＣの発生は、意外なことにフィルター膜より
も、むしろ膜以外の部材、特に比表面積の大きいネット
からの発生の方が大きいことを究明し、したがって、フ
ィルター膜以外の部材中に含有する金属分を抑制するこ
とが実際上有効であることを見出し、本発明に至った。
【０００９】すなわち、本発明は、内筒、外筒、それら
の間に配置されたフィルター膜とそれをはさみ込み流路
を確保するネットとからなるフィルター部材及びエンド
キャップからなるフィルターエレメントにおいて、フィ
ルター膜が金属含有量４０ｐｐｍ以下、有機系添加物含
有量が１ｗｔ％以下の重量平均分子量１００万以上の超
高分子量ポリエチレン樹脂からなり、フィルター膜以外
の部材が金属含有量２０ｐｐｍ以下で、かつ有機系添加
物が実質的に添加されていないポリオレフィン樹脂から
なることを特徴とするフィルターエレメントを要旨とす
るものである。 以下、本発明を詳細に説明する。
の間に配置されたフィルター膜とそれをはさみ込み流路
を確保するネットとからなるフィルター部材及びエンド
キャップからなるフィルターエレメントにおいて、フィ
ルター膜が金属含有量４０ｐｐｍ以下、有機系添加物含
有量が１ｗｔ％以下の重量平均分子量１００万以上の超
高分子量ポリエチレン樹脂からなり、フィルター膜以外
の部材が金属含有量２０ｐｐｍ以下で、かつ有機系添加
物が実質的に添加されていないポリオレフィン樹脂から
なることを特徴とするフィルターエレメントを要旨とす
るものである。 以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】本発明のフィルターエレメントの構造自体
は特に制限はないが、図１に示すように内筒、外筒、そ
れらの間に配置されたフィルター膜とそれを挾み込み流
路を確保するネットとからなるフィルター部材、及び上
下の開放端部を閉鎖するエンドキャップから構成される
タイプが一般的である。
は特に制限はないが、図１に示すように内筒、外筒、そ
れらの間に配置されたフィルター膜とそれを挾み込み流
路を確保するネットとからなるフィルター部材、及び上
下の開放端部を閉鎖するエンドキャップから構成される
タイプが一般的である。
【００１１】内筒、外筒の形状は、図１のような円筒状
に限らず、多角柱状や半球状、半カプセル状、その他の
任意の形状でよい。また、内筒、外筒が半球状や半カプ
セル状のように開放端部が片側の場合はエンドキャップ
は開放端側だけでよい。
に限らず、多角柱状や半球状、半カプセル状、その他の
任意の形状でよい。また、内筒、外筒が半球状や半カプ
セル状のように開放端部が片側の場合はエンドキャップ
は開放端側だけでよい。
【００１２】フィルタ−膜は、ネット支持体でサンドイ
ッチ状に挾み込み、プリ−ツ状とするのが一般的であ
る。
ッチ状に挾み込み、プリ−ツ状とするのが一般的であ
る。
【００１３】本発明において、前記フィルター膜は、金
属含有量４０ｐｐｍ以下、有機系添加物含有量が１重量
％以下の重量平均分子量１００万以上の超高分子量ポリ
エチレン樹脂から構成される。超高分子量ポリエチレン
は、フィルター膜に対する強度的要求を満たすためには
好適である。
属含有量４０ｐｐｍ以下、有機系添加物含有量が１重量
％以下の重量平均分子量１００万以上の超高分子量ポリ
エチレン樹脂から構成される。超高分子量ポリエチレン
は、フィルター膜に対する強度的要求を満たすためには
好適である。
【００１４】一方、超高分子量ポリエチレンは残留する
金属触媒成分を抑制するには限界があり、又、これをフ
ィルター膜に加工する過程においてＴＯＣ成分となる熱
安定剤等有機系成分の添加が不可欠であるため、これら
の含有量が比較的高いという点では不利である。しか
し、本発明は、フィルターエレメントを構成する部材の
中でフィルター膜以外の部材の金属成分及び有機系添加
剤成分を抑制することにより、膜材料に高強度の超高分
子量ポリエチレンを使用しながらもフィルターエレメン
ト全体から発生する金属溶出分及びＴＯＣ成分のレベル
を著しく低減することに成功した。
金属触媒成分を抑制するには限界があり、又、これをフ
ィルター膜に加工する過程においてＴＯＣ成分となる熱
安定剤等有機系成分の添加が不可欠であるため、これら
の含有量が比較的高いという点では不利である。しか
し、本発明は、フィルターエレメントを構成する部材の
中でフィルター膜以外の部材の金属成分及び有機系添加
剤成分を抑制することにより、膜材料に高強度の超高分
子量ポリエチレンを使用しながらもフィルターエレメン
ト全体から発生する金属溶出分及びＴＯＣ成分のレベル
を著しく低減することに成功した。
【００１５】前記したように、フィルターエレメント構
成部材の中で形状が複雑で比表面積の大きい部材、特に
ネット及び外筒が金属溶出分及びＴＯＣの成分の主要な
発生源となっていることを究明したが、本発明において
はこれらの部材をはじめ内筒、エンドキャップを、樹脂
中のトータル金属分（例えば、Ｔｉ、Ｍｇ、Ａｌ等）を
２０ｐｐｍ以下に抑制した、しかも熱安定剤等有機系の
成分を実質上添加しないポリオレフィン樹脂から成形す
ることが重要である。このようなポリオレフィン樹脂と
しては分子量１〜２０万程度の高密度ポリエチレン、分
子量１０〜４０万程度のポリプロピレンを好ましく使用
することができる。
成部材の中で形状が複雑で比表面積の大きい部材、特に
ネット及び外筒が金属溶出分及びＴＯＣの成分の主要な
発生源となっていることを究明したが、本発明において
はこれらの部材をはじめ内筒、エンドキャップを、樹脂
中のトータル金属分（例えば、Ｔｉ、Ｍｇ、Ａｌ等）を
２０ｐｐｍ以下に抑制した、しかも熱安定剤等有機系の
成分を実質上添加しないポリオレフィン樹脂から成形す
ることが重要である。このようなポリオレフィン樹脂と
しては分子量１〜２０万程度の高密度ポリエチレン、分
子量１０〜４０万程度のポリプロピレンを好ましく使用
することができる。
【００１６】これらの樹脂中のト−タル金属含有量を２
０ｐｐｍ以下とするのは、当初から触媒活性の高い触媒
を用いて重合することにより使用触媒量を少なくする
か、または重合後触媒除去操作を行なうなどして、樹脂
中に残留する金属触媒成分を減らすことにより達成する
ことができる。これらの樹脂は、樹脂中に残留する金属
触媒成分を２０ｐｐｍ以下とすることが超高分子量ポリ
エチレンに比べ比較的容易であり、又、これらの材料か
ら内外筒、キャップ、ネットの成形にはフィルター膜に
加工する場合と異なり特に熱安定剤を添加しなくても成
形は可能である。
０ｐｐｍ以下とするのは、当初から触媒活性の高い触媒
を用いて重合することにより使用触媒量を少なくする
か、または重合後触媒除去操作を行なうなどして、樹脂
中に残留する金属触媒成分を減らすことにより達成する
ことができる。これらの樹脂は、樹脂中に残留する金属
触媒成分を２０ｐｐｍ以下とすることが超高分子量ポリ
エチレンに比べ比較的容易であり、又、これらの材料か
ら内外筒、キャップ、ネットの成形にはフィルター膜に
加工する場合と異なり特に熱安定剤を添加しなくても成
形は可能である。
【００１７】
【実施例】以下、本発明を実施例により詳述するが、本
発明はその要旨を越えない限り、実施例により限定され
るものではない。
発明はその要旨を越えない限り、実施例により限定され
るものではない。
【００１８】膜材料として超高分子量ポリエチレン（分
子量２２０万、密度０．９３４、トータル金属含有量３
６ｐｐｍ、有機リン系熱安定剤０．５％）、エンドキャ
ップ、内筒、外筒、ネットの材料として高密度ポリエチ
レン（ＭＩ０．３ｇ／ｍｉｎ、密度０．９６、トータル
金属含有量２０ｐｐｍ、添加剤無添加）を使用して図１
に示すタイプのフィルターエレメントを作製した。本フ
ィルターを使用してＥＬ塩酸の循環瀘過を（２４）時間
実施した結果、瀘過後のＥＬ塩酸中の金属成分及びＴＯ
Ｃは以下に示す通り瀘過前の液と同一レベルで増加は認
められなかった。
子量２２０万、密度０．９３４、トータル金属含有量３
６ｐｐｍ、有機リン系熱安定剤０．５％）、エンドキャ
ップ、内筒、外筒、ネットの材料として高密度ポリエチ
レン（ＭＩ０．３ｇ／ｍｉｎ、密度０．９６、トータル
金属含有量２０ｐｐｍ、添加剤無添加）を使用して図１
に示すタイプのフィルターエレメントを作製した。本フ
ィルターを使用してＥＬ塩酸の循環瀘過を（２４）時間
実施した結果、瀘過後のＥＬ塩酸中の金属成分及びＴＯ
Ｃは以下に示す通り瀘過前の液と同一レベルで増加は認
められなかった。
【００１９】（金属成分例）
【００２０】
【表１】
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のフィルタ
ーエレメントは、そのフィルター膜材料に金属成分やＴ
ＯＣ成分の残留レベルの高い高強度の超高分子量ポリエ
チレンを使用しながら、他のフィルター部材中の該残留
レベルを特定値以下に抑制することにより、フィルター
エレメント全体から発生する溶出分を著しく低減するこ
とを可能とし、半導体チップなどの高集積化、高精密化
にも十分対応できる。
ーエレメントは、そのフィルター膜材料に金属成分やＴ
ＯＣ成分の残留レベルの高い高強度の超高分子量ポリエ
チレンを使用しながら、他のフィルター部材中の該残留
レベルを特定値以下に抑制することにより、フィルター
エレメント全体から発生する溶出分を著しく低減するこ
とを可能とし、半導体チップなどの高集積化、高精密化
にも十分対応できる。
【図１】フィルターエレメントの概略説明図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河口 真治 北九州市八幡西区黒崎城石１番１号 三菱 化成株式会社黒崎工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 内筒、外筒、それらの間に配置されたフ
ィルター膜とそれをはさみ込むネット状支持体とからな
るフィルター部材及びエンドキャップからなるフィルタ
ーエレメントにおいて、フィルター膜が金属含有量４０
ｐｐｍ以下、有機系添加物含有量が１ｗｔ％以下の重量
平均分子量１００万以上の超高分子量ポリエチレン樹脂
からなり、フィルター膜以外の部材が金属含有量２０ｐ
ｐｍ以下で、かつ有機系添加物が実質的に添加されてい
ないポリオレフィン樹脂からなることを特徴とするフィ
ルターエレメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20665692A JPH0655044A (ja) | 1992-08-03 | 1992-08-03 | フィルターエレメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20665692A JPH0655044A (ja) | 1992-08-03 | 1992-08-03 | フィルターエレメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655044A true JPH0655044A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16526966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20665692A Pending JPH0655044A (ja) | 1992-08-03 | 1992-08-03 | フィルターエレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0655044A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010234344A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Kitz Microfilter Corp | 中空糸膜モジュールとその製造方法 |
| WO2017155026A1 (en) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | Es Fibervisions Co., Ltd. | Low-elution polyethylene-based fibers and nonwoven fabric using same |
-
1992
- 1992-08-03 JP JP20665692A patent/JPH0655044A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010234344A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Kitz Microfilter Corp | 中空糸膜モジュールとその製造方法 |
| WO2017155026A1 (en) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | Es Fibervisions Co., Ltd. | Low-elution polyethylene-based fibers and nonwoven fabric using same |
| CN108779581A (zh) * | 2016-03-11 | 2018-11-09 | Es飞博比琼斯株式会社 | 低溶出性聚乙烯系纤维及使用其的不织布 |
| US20190062952A1 (en) * | 2016-03-11 | 2019-02-28 | Es Fibervisions Co., Ltd. | Low-elution polyethylene-based fibers and nonwoven fabric using same |
| JP2019508601A (ja) * | 2016-03-11 | 2019-03-28 | Ｅｓファイバービジョンズ株式会社 | 低溶出性ポリエチレン系繊維およびそれを用いた不織布 |
| KR20190044027A (ko) * | 2016-03-11 | 2019-04-29 | 이에스 화이바비젼즈 가부시키가이샤 | 저용출 폴리에틸렌계 섬유 및 이를 이용한 부직포 |
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