JPH0654835A - マイクロマシンシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】複数のマイクロマシンを協調動作することがで
きるマイクロマシンシステムを提供することにある。 【構成】観察手段４を備えたマイクロマシン１と、処置
手段７を備えたマイクロマシン２と、位置変更手段６
ｃ，６ｄを備えたマイクロマシン３と、前記マイクロマ
シン１〜３の相対位置を測定してマイクロマシンを協調
動作させる制御手段とを具備したことを特徴とするマイ
クロマシンシステム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は工業用管路、生体管路
等の観察・処置を行うマイクロマシンシステムに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】生体体腔内の諸情報を検出するために、
経口的に体腔内に挿入する内視鏡が普及しているが、こ
の内視鏡に代って被検者がカプセルを飲み込み、このカ
プセルを体外から制御して体腔内の諸情報を検出する医
療用カプセルが知られている。

【０００３】例えば、実開平２−２５２０７号公報は、
医療用カプセルであり、カプセル本体に生体情報の測定
手段を備えた計測部およびこの計測部からの測定結果を
送信する送信部を備え、この送信部と外部の受信装置と
の間で無線信号を受信するようになっており、生体情報
を体外において知ることができる。

【０００４】また、特開昭５２−１１３０８１号公報
は、外部から発生した交流磁界のエネルギーによりカプ
セル内部の起動手段を動作させ、生体中のサンプルを外
部からの指令によって採取したり、薬液を放出するよう
にしたものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の医療
用カプセルは、被検者がカプセルを飲み込み、食道、
胃、腸の順に自然に移動する途中において、カプセル本
体と外部の受信装置との間で交信し、生体情報を検出す
るものであり、カプセル本体の位置を確認することはで
きても、またカプセル本体によって消化液等を採取した
り、薬液等を投与することができても、生体の情報に応
じて患部等を観察しながら処置することはできない。

【０００６】また、工業用管路等の点検、補修等におい
て１台または複数台のマイクロマシンを用い、マイクロ
マシン本体に設けられた観察手段、マニピュレータによ
って管路の内壁を観察しながらから補修する工業用マイ
クロマシンも知られているが、１台のマイクロマシン本
体に走行手段、観察手段および処置用マニピュレータ等
を備えているためスペースの制約があり、十分な機能を
搭載することはできなかった。また、マイクロマシンを
それぞれ独立して制御しているため複数台のマイクロマ
シンを協調動作させることはできなかった。

【０００７】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、複数のマイクロマシ
ンを協調動作させることができ、狭い部位においても確
実に観察、処置等ができるマイクロマシンシステムを提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は前記目的を達
成するために、少なくとも観察手段を備えたマイクロマ
シンと、少なくとも被対象部を処置する処置手段を備え
たマイクロマシンと、少なくとも移動手段を備えたマイ
クロマシンと、前記マイクロマシンの相対位置を測定し
てマイクロマシンを協調動作させる制御手段とから構成
したことにある。

【０００９】

【作用】制御手段によって各マイクロマシンを制御し、
目的部位にマイクロマシンを近付け、少なくとも１つの
マイクロマシンによって目的部位を観察しながら他のマ
イクロマシンに備えた処置手段によって目的部位の処置
を行う。

【００１０】

【実施例】以下、この発明の各実施例を図面に基づいて
説明する。

【００１１】図１〜図４は第１の実施例を示し、図１は
第１のマイクロマシンシステムの基本的な構成図であ
る。第１のマイクロマシン１と第２のマイクロマシン２
はそれぞれ構造体１ａ，２ａを介して第３のマイクロマ
シン３に接続されている。第１のマイクロマシン１には
被対象部を観察するための観察手段４、基準となる座標
系における位置を検知する位置検出手段５ａおよび位置
を変えるための位置変更手段６ａが設けられている。

【００１２】第２のマイクロマシン２には被対象部を処
置する処置手段７および基準となる座標系における位置
を検知する位置検出手段５ｂおよび位置を変えるための
位置変更手段６ｂが設けられている。

【００１３】第３のマイクロマシン３には後述するマイ
クロマシン本体を前進・後退等の移動を行うための移動
手段８と位置決定のための座標系の基準手段９および位
置を変えるための位置変更手段６ｃ，６ｄが設けられて
いる。

【００１４】第３のマイクロマシン３に設けられた位置
座標の基準手段９を基に第１および第２のマイクロマシ
ン１，２の位置および向きを検知し、その情報を基に、
各種処置を実行する。これらの処置の指示、処置結果等
は例えば電波により第３のマイクロマシン３の外部に設
けられた制御装置との間で同作用のエネルギーも含んで
送受信される。

【００１５】次に、図２〜図４に基づいて説明する。図
２に示すように、第３のマイクロマシンとしてのマイク
ロマシン本体１０の周壁には移動手段８としての複数個
の車輪１１および姿勢を安定に保ちつつ移動固定できる
複数個の支持部材１０ａが設けられている。したがっ
て、マイクロマシン本体１０は前進・後退および旋回で
き、被対象部Ａに対して近付くことができる。

【００１６】さらに、マイクロマシン本体１０には構造
体１ａとしての可動式のアーム１２ａが設けられ、この
アーム１２ａにはＣＣＤ等の撮像素子１３ａおよび照明
光学系１３ｂを設けた第１のマイクロマシン１としての
観察用マイクロマシン１３が設けられている。

【００１７】また、マイクロマシン本体１０には第２の
構造体２ａとしてのアーム１２ｂが設けられ、このアー
ム１２ｂにはグラインダー等の処置部１４を持ったマニ
ピュレータ１４を操作する第２のマイクロマシン２とし
ての操作用マイクロマシン１５が設けられている。

【００１８】マイクロマシン本体１０の外部には制御装
置１６が設けられている。この制御装置１６にはマイク
ロマシン本体１０および観察用マイクロマシン１３に電
源と制御信号を送信する送信アンテナ１７が設けられて
いる。すなわち、後述する受信アンテナ１８に共振周波
数の電磁界を印加する。この電磁界により受信アンテナ
１８に誘導される電圧を整流することによりマイクロマ
シン本体１０の電源とする。

【００１９】マイクロマシン本体１０の内部には図３に
示すように、制御装置１６の送信アンテナ１７からの電
磁界を受ける受信アンテナ１８が設けられている。この
受信アンテナ１８は整流回路１９ａ、平滑用のコンデン
サ１９ｂおよびツェナーダイオード１９ｂからなる電源
回路１９に接続され、受信アンテナ１８で生ずる出力を
平滑化してマイクロマシン本体１０の動作電源としてい
る。また、受信アンテナ１８はマイクロマシン本体１０
を制御するための制御信号用のＢＰＦ２０が内蔵されて
いる。

【００２０】ここで、ＢＰＦ２０は、電源用の周波数以
外の周波数で制御用の信号を印加する制御用の信号はそ
の制御用に多量のデータを効率良く送る必要があるた
め、それを変調（ＡＭ，ＦＭ，ＦＳＫ等）して送出す
る。なお、誤動作を防止するため、電源供給用の周波数
と制御用の周波数はｎ次高調波の関係とならないように
設定し、その周波数のみＢＰＦ２０で制限して制御回路
に信号を送る。マイクロマシン本体１０側では受信信号
を復調して必要な制御信号のみを取り出す。この取り出
した制御信号によりマイクロマシン本体１０の制御を行
う。

【００２１】また、マイクロマシン本体１０とアーム１
２ａ，１２ｂとの接続部およびアーム１２ａと観察用マ
イクロマシン１３との接続部には図４に示すように、円
環状の超音波モータ２１が設けられている。この超音波
モータ２１は、マイクロマシン本体１０と観察用マイク
ロマシン１３とが直線状になったところを基準位置とし
て駆動パルス数、駆動位相により回転量、回転方向を設
定できるようになっている。

【００２２】すなわち、アーム１２ａ，１２ｂはマイク
ロマシン本体１０および観察用マイクロマシン１３に押
圧して係止されている。今、制御信号が上方向へのアー
ム１２ａ，１２ｂの回転および観察用マイクロマシン１
３の光軸を被対象部Ａに維持したときを例に説明する。

【００２３】使用者の指示により制御装置１６の送信ア
ンテナ１７からマイクロマシン本体１０および観察用マ
イクロマシン１３に電源と制御信号が与えられている。
電源が与えられたマイクロマシン本体１０および観察用
マイクロマシン１３は受信した制御信号を復調し、内容
を解析した超音波モータ２１の回転を行う。また、実際
に超音波モータ２１に印加した周波数、方向（移動量、
回転方向）を制御装置１６に伝達し、必要ならその位置
等を表示してもよい。

【００２４】なお、観察用マイクロマシン１３は観察用
のみに限定されず、処置用のマニピュレータを設けても
よい。また、マイクロマシン本体１０に観察用手段など
を内蔵させてもよい。実際に狭い管路空間への進行時に
は全体を１つの管状となるように保ちながら必要に応じ
て最先端に設けられた観察用マイクロマシン１３をアー
ム１２ａに対して回転させることで進入方向の回頭を行
うことができる。

【００２５】図５および図６は第２の実施例を示し、複
数個、この実施例では３台のマイクロマシンを直接接続
せずに、制御装置を通じて間接的に強調動作させるよう
にしたものである。

【００２６】すなわち、３１は第１のマイクロマシン、
３２は第２のマイクロマシン、３３は第３のマイクロマ
シンであり、マイクロマシン本体１０の周壁には移動手
段８としての複数個の車輪１１および姿勢を安定に保ち
つつ移動固定できる複数個の支持部材１０ａが設けられ
ている。３４は制御装置である。

【００２７】第１〜第３のマイクロマシン３１〜３３の
内部にはそれぞれの位置を検知するための３軸直交のセ
ンスコイル３５が内蔵されている。また、制御装置３４
には処置を必要とする空間で十分な磁界を発生できる位
置にｘ，ｙ，ｚの３軸直交のアンテナコイル３６が設置
されている。

【００２８】第１および第２のマイクロマシン３１，３
２には処置部３７ａ，３７ｂを有するマニピュレータ３
８ａ，３８ｂが設けられ、第３のマイクロマシン３３に
はＣＣＤ等の撮像素子からなる観察手段３９および照明
光学系３９ａが設けられている。

【００２９】今、アンテナコイル３６を駆動すると、こ
のアンテナコイル３６と第１〜第３のマイクロマシン３
１〜３３のセンスコイル３５間の距離に二乗に反比例
し、基準軸との回転角、ずれ角で決まる振幅、位相を持
った信号が各センスコイル３５に誘導される。

【００３０】このようにして得られた信号をＡ／Ｄコン
バータで読み込み、基準座標系における位置を算出する
ための制御装置３４に対して送信する。制御装置３４で
は送られてきたデータを基に、第１〜第３のマイクロマ
シン３１〜３３の位置、方向を求める。その結果と第１
〜第３のマイクロマシン３１〜３３の形状データにより
その位置関係をＣＲＴ等の表示装置に表示してもよい。

【００３１】このようにして第１〜第３のマイクロマシ
ン３１〜３３の位置、方向を検出できるため、被対象部
Ａにすべてのマイクロマシン３１〜３３を向かせたり、
他のマイクロマシン３１〜３３の移動の妨げにならない
ようにできる。なお、基準となるアンテナコイル３６は
いずれかのマイクロマシン３１〜３３に内蔵してもよ
い。

【００３２】このとき、同時に動作しているマイクロマ
シン３１〜３３の中に観察機能を持つものが１つしかな
いとすると、この場合、被対象部Ａと観察用マイクロマ
シンの間に他のマイクロマシンやマニピュレータが入っ
てしまうと重なった部分、死角になりその先を知ること
ができなくなる。

【００３３】そこで、図７に示す第２の実施例の変形例
１のように、第４のマイクロマシン３７を追加し、４台
のマイクロマシン３１〜３３および３７を連係動作させ
てもよい。この第４のマイクロマシン３７には第３のマ
イクロマシン３３と同様に観察手段３９および照明光学
系３９ａを備えている。

【００３４】この場合、マイクロマシンが使用する空間
内で自由に位置できればよいが、物体表面等の平面的な
広がりのみが有る空間においては自由に位置することは
困難である。

【００３５】そこで、図８に示す第２の実施例の変形例
２に示すように、死角をなくすために、第３のマイクロ
マシン３３の観察手段３９とは別に、例えば第２のマイ
クロマシン３２に観察手段３９ｅを有するマニピュレー
タ３８ｃおよび照明手段３９ｂを有するマニピュレータ
３９ｄを設けてもよい。このように構成すれば、別の観
察手段の視界を調整することで死角を減らすことができ
る。

【００３６】しかし、複数の画面を操作者が確認しなが
ら、移動等の作業を実施することは困難である。そこ
で、主となる画面上の中心付近に向かってレーザ光等の
光線Ｌを照射し、その照射位置を操作者がジョイスティ
ク等で設定することにより、照射により発生する輝点を
従となる観察用マイクロマシン側の撮像信号により位置
抽出して例えば常に中心に観察用マイクロマシンが向く
ように制御する。なお、従となる観察手段の画角は主と
なる観察手段の画角調整（ズーミング）に連動させるよ
うにしてもよい。

【００３７】また、マニピュレータや被対象部Ａの形状
等で、前記輝点を見付けられない場合も考えられる。そ
の際には各マイクロマシンの相対位置から従の観察用マ
イクロマシンの観察光軸を設定するようにしてもよい。
また、死角の減少が目標であるので関連する障害物を回
避しつつ輝点追跡するようにしてもよい。

【００３８】図９は第３の実施例を示す。第１および第
２の実施例のように、マイクロマシン本体１０の側壁に
アーム１２ａを接続し、その接続部に超音波モータ２１
を設けた構成であると、マイクロマシン１０に対してア
ーム１２ａの回動方向が１方向であり、設定可能な位置
の自由度が低いという問題を解決したものである。

【００３９】すなわち、この実施例は、マイクロマシン
本体１０の一端部には円筒部４０が設けられ、この円筒
部４０には第１の超音波モータ４１が設けられている。
円筒部４０には第１の超音波モータ４１によって回転さ
れるアーム取付部４２が設けられ、このアーム取付部４
２には第１の超音波モータ４１と直角方向に回転を付与
する第２の超音波モータ４３が設けられている。そし
て、この第１と第２の超音波モータ４１，４３によって
アーム４４が回動するように構成されている。なお、４
０ａはＯリングである。このように構成することによ
り、アーム取付部４２が回転自在となり、マイクロマシ
ン本体１０の位置設定の自由度が増えるという効果があ
る。

【００４０】図１０は第４の実施例を示す。第１〜第３
の実施例おいては、超音波モータによってアームを駆動
したが、この実施例は、マイクロマシン本体１０の側壁
に回動自在に枢支されたアーム４５に形状記憶合金製の
ばね４６ａ，４６ｂを設けてアーム４５を回動するよう
に構成したものである。

【００４１】すなわち、アーム４５は枢支ピン４７によ
ってマイクロマシン本体１０の側壁に枢支されている。
枢支ピン４７と離間するアーム４５の端部には固定ピン
４８が突設され、この固定ピン４８を挟んで上下方向に
は前記形状記憶合金製のばね４６ａ，４６ｂが張設さ
れ、これらばね４６ａ，４６ｂを選択的に通電加熱する
ことにより、アーム４５を枢支ピン４７を支点として上
下方向に回動できるようになっている。なお、ばね４６
ａ，４６ｂの長さはこれに電流を流して抵抗値を測定す
ることにより確認できる。

【００４２】図１１および図１２は第５の実施例を示
し、マイクロマシン本体１０に対するアーム４９の取付
け構造に関する。マイクロマシン本体１０の端部にはマ
イクロマシン本体１０の中心を通るすり割溝５０が設け
られ、このすり割溝５０の内部には互いに対向する係合
穴５１が設けられている。アーム４９の端部はすり割溝
５０に挿入され、そのアーム４９の端部には係合穴５１
に係合する枢支ピン５３が設けられている。

【００４３】このように構成することによって、アーム
４９が横方向に振れることはなく、強度的に優れ、アー
ム４９を１本とすることができ、マイクロマシン本体１
０に対してアーム４９および駆動源の占める割合が少な
くなり、小形化できるとともに、構造上の無理がなくな
る。また、アーム４９を回動する駆動源としては超音波
モータ（図示しない）を用いればよい。

【００４４】図１３および図１４は第６の実施例を示
す。マイクロマシン本体１０の端部には球状凹部５４が
設けられ、この球状凹部５４にはアーム５５の端部に設
けられた球状部５６が揺動自在に嵌合されている。球状
凹部５４には互いに直交する円環状の振動子５７が設け
られている。このように構成すると、振動子５７に印加
する信号を変えることにより同一の構造体上で、一軸以
上の振動制御ができる。

【００４５】図１５は第７の実施例で、第６の実施例に
示す構造を採用して超音波ビームの方向を変えるように
したものである。マイクロマシン本体１０の端部には球
状凹部５８が設けられ、この球状凹部５８には球状のハ
ウジング５９が三次元的に揺動自在に収納されている。

【００４６】ハウジング５９の内部には前面側に音響レ
ンズ６０、後面側に整合層、吸収層６１を設けた超音波
振動子６２が設けられ、吸収層６１には駆動回路（図示
しない）とのマッチング用のインダクタンス６３が設け
られている。

【００４７】ハウジング５９と球状凹部５８との間には
球状凹部５８に沿って直交する超音波モータ用の２個の
円環状の振動子（第６の実施例と同様）が設けられ、こ
れは球状凹部５８に設けられた通孔６４を挿通するケー
ブル６５を介してマイクロマシン本体１０に接続されて
いる。ケーブル６５はシリコン等のシールド部材６６で
シールドされ、組立て時にはハウジング５９の内部に整
合用の流体、例えばパラフィン６７を充填し、前面に音
響インピーダンスが略等しいキャップ６８が設けられて
いる。

【００４８】このように構成することによって、超音波
ビームを効率よく走査できる。この際、位置決めされる
側のマイクロマシンではこの超音波ビームを検出して自
身から超音波ビームを出すようにしてもよい。このよう
に構成すると、基準となるマイクロマシンで受信する信
号強度が上がるため、位置の誤検出を防止できる。

【００４９】なお、マイクロマシン本体の作動用の電源
供給は外部から電磁波を印加し、誘導させることにより
実施しているが、これは超音波により信号を印加し、発
生する電圧を制御できるようにしてもよい。複数のマイ
クロマシン本体の場合には、それぞれのマイクロマシン
本体内に電源回路を持たず、印加される電磁波より動作
用の電圧を生成する電源回路を有するマイクロマシン本
体を設け、そのマイクロマシン本体より各マイクロマシ
ン本体に電源を供給するようにしてもよい。また、１台
ですべてのマイクロマシン本体に対して電源を供給する
だけの容量がない場合には各機能マシン（観察用マイク
ロマシン、マニピュレータ内蔵マイクロマシン等）毎に
電源供給用のマイクロマシンもしくは電源供給ブロック
を設けてもよく、多数のマイクロマシンに安定して電源
供給できる。

【００５０】各マイクロマシン本体の位置関係の把握
は、マイクロマシン本体の作動する空間が平面空間であ
れば、直交２軸のアンテナコイルを用いることもでき
る。また、各マイクロマシン本体の位置関係の決定は３
軸のコイルを用いなくてもよい。例えば、マイクロマシ
ン本体に超音波振動子を内蔵させる各マイクロマシン本
体に固有の既定の周波数で超音波振動子を駆動する。こ
の超音波を受信した他のマイクロマシン本体では自分自
信の固有な周波数の信号に変換して出力する。

【００５１】マイクロマシン本体では超音波の出力から
他の周波数の信号の受信間での時間によりその距離を導
出する。多数のマイクロマシン本体間の距離を算出する
ことにより、その位置を導出する。また、発生する超音
波ビーム方向を変えながら（走査しながら）その反射波
の強度ピーク方向を求め、その時の発信が受信するまで
の時間差から距離を求めるようにしてもよい。

【００５２】図１６〜図１９は管路内走行機能を備えた
マイクロマシンを示す。図１６はマイクロマシンの概略
的構成を示し、マイクロマシン本体７０にはケーブル７
１が接続されている。マイクロマシン本体７０の両側に
は支持部材７２が設けられ、この支持部材７２の前端部
および後端部には超音波モータ７３を介して支持脚７４
が設けられている。この支持脚７４の先端部には歯部を
有する支持輪７５が設けられている。そして、ケーブル
７１によって超音波モータ７３の動力用信号およびビデ
オカメラ等の信号を伝送するようになっている。

【００５３】超音波モータ７３は、図１７および図１８
に示すように、軸受部７６とこの軸受部７６に対して回
転および軸方向に移動自在に軸支された軸部７７とから
なり、この軸部７７が前記支持脚７４と一体に形成され
ている。軸受部７６には縦方向の進行波７８ａを発生す
る圧電素子７８と横方向の進行波７９ａを発生する圧電
素子７９がマトリックス状に配置されている。

【００５４】したがって、圧電素子７８に歪の波を縦方
向の進行波７８ａとして発生させることにより、軸部７
７を軸方向に進退させることができ、圧電素子７９に横
方向の進行波７９ａとして発生させることにより、軸部
７７を回転させることができる。

【００５５】このように構成されたマイクロマシンによ
れば、管路８０の内部を走行する場合、まず、マイクロ
マシン本体７０の進行方向側の超音波モータ７３によっ
て軸部７７を介して支持脚７４を縦方向の進行波７８ａ
によってマイクロマシン本体７０の左右方向に突出さ
せ、支持輪７５を管路８０の左右壁８０ａに押し付け
る。

【００５６】この状態で、マイクロマシン本体７０の進
行方向側の超音波モータ７３によって軸部７７を横方向
の進行波７９ａによって略１８０゜回転させると、マイ
クロマシン本体７０が図１９に示すように、マイクロマ
シン本体７０の進行方向側の支持脚７４を支点としてマ
イクロマシン本体７０の全体が進行方向に回転する。

【００５７】マイクロマシン本体７０が半回転すると、
今まで進行方向と反対側にあった支持脚７４が進行方向
に位置し、ここで前述と同様に超音波モータ７３によっ
て軸部７７を介して支持脚７４を縦方向の進行波７８ａ
によってマイクロマシン本体７０の左右方向に突出さ
せ、支持輪７５を管路８０の左右壁８０ａに押し付け
る。

【００５８】次に、今まで管路８０の左右壁８０ａに押
し付けられていたマイクロマシン本体７０の後方側の支
持輪７５を左右壁８０ａから離し、超音波モータ７３に
よって軸部７７を回転させると、再びマイクロマシン本
体７０の進行方向側の支持脚７４を支点としてマイクロ
マシン本体７０の全体が進行方向に回転する。この操作
を繰り返すことにより、管路８０の内部をマイクロマシ
ン本体７０が回転しながら重力に逆らって走行する。

【００５９】前述のようにマイクロマシン本体７０が回
転しながら走行すると、マイクロマシン本体７０に接続
されたケーブル７１がマイクロマシン本体７０に巻き付
いてしまう。しかし、図２０に示す変形例１のように、
マイクロマシン本体７０の胴部にスリップリング８１を
回転自在に嵌合し、このスリップリング８１にケーブル
７１を接続することにより、マイクロマシン本体７０が
回転してもスリップリング８１は回転しないためケーブ
ル７１の巻き付きを防止できる。

【００６０】また、図２１に示す変形例２のように、マ
イクロマシン本体７０の胴部にケーブル７１をあらかじ
め巻き付けておき、マイクロマシン本体７０が回転しな
がら走行することにより、ケーブル７１が解けるように
してもよい。

【００６１】図２２〜図２６はマニピュレータを備えた
マイクロマシンを示す。図２２に示すように、マイクロ
マシンは、本体８２と、走行装置８３と、多自由度湾曲
装置８４および先端処置部８５とから構成されている。
多自由度湾曲装置８４は複数の腕部８６ａ〜８６ｄを繋
ぎ合わすことにより構成されている。

【００６２】腕部８６ａ〜８６ｄは図２３に示すよう
に、マルチルーメンチューブ８７で形成され、各ルーメ
ンはそれぞれガス充填部８８および光ファイバー８９等
が挿通可能なチャンネル部９０から構成されている。ガ
ス充填部８８はその内部にガス９１が充填されている。

【００６３】このガス９１は、例えばフロンガスであ
る。フロンガスは沸点が体温より僅かに高く、光ファイ
バー８９を介して導かれた光で照射されると膨脹し、光
の照射を止めると収縮して元に戻る性質を有する。

【００６４】また、各ガス充填部８８には光源（図示し
ない）からの光を伝送する光ファイバー８９の出射端面
９２が設けられており、ガス充填部８８の内部を照射す
ることができる。チャンネル部９０の内部には光ファイ
バー８９や例えば先端処置部８５を駆動するためのフレ
キシブルシャフト９３が挿通されている。

【００６５】また、ガス充填部８８は、図２４に示すよ
うに、それぞれが個々に区別されて独立している。チャ
ンネル部９０は各腕部８６ａ〜８６ｄを貫通しており、
複数の腕部８６ａ〜８６ｄを繋ぎ合わせたとき一端から
他端まで連通して１つの通路を構成するようになってい
る。そして、チャンネル部９０に挿通された光ファイバ
ー８９の出射端面９２はそれぞれガス充填部８８の内部
に位置するように設けられている。

【００６６】このように構成されたマイクロマシンは、
例えば管路等の狭い場所に入り作業を行う作業マシンで
あり、先端処置部８５は、例えばグラインダー９４であ
り、管路９５の壁９５ａを研削することができる。

【００６７】すなわち、本体８２には走行装置８３が設
けられているため、作業を行う目的部位まで移動し、目
的部位に到達したところで、多自由度湾曲装置８４を操
作することによってグラインダー９４を壁９５ａに当て
て研削することができる。

【００６８】このとき、作業用マイクロマシンの位置や
グラインダー９４の位置を正確に知るため、観察用マイ
クロマシン（図示しない）が協調動作しているが、この
作業用マイクロマシンに観察手段としてＣＣＤ等を設
け、自ら作業範囲を観察してもよい。

【００６９】この作業用マイクロマシンの多自由度湾曲
装置８４は複数のガス充填部８８にガス９１が充填され
ているため、前述したように、ガス９１が光を受光する
ことにより膨脹し、光の照射を止めることにより元の体
積に戻るものであり、光ファイバー８９からの光はそれ
ぞれ各部屋ごとに独自に照射と停止の制御を加えるよう
にすることで任意に膨脹させたり元に戻したりすること
ができる。

【００７０】次に、多自由度湾曲装置８４の動作を図２
５に基づいて説明する。腕部８６ａ〜８６ｄの湾曲動作
は光源９６からの光を各腕部８６ａ〜８６ｄのガス充填
部８８に伝達することでガス９１を膨脹させ、それによ
り湾曲するようになっている。たとえば、腕部８６ａを
上下２つの部屋（ガス充填部８８）８６Ａと８６Ｂに分
割し、それぞれにガス９１を充填する。さらに、上下に
分割された２つの部屋にはそれぞれ光源９６からの光を
伝達する光ファイバー８９の出射端面９２が設けられて
おり、それぞれの部屋８６Ａと８６Ｂに光を照射するこ
とができる。光ファイバー８９の基部９７は光源装置９
８に接続されており、光源９６からの出射光を受光でき
るようになっている。

【００７１】光源９６と光ファイバー８９の基部９７と
の間にはシャッタ９９が設けられており、各光ファイバ
ー８９への光路を遮断したり、開放できるようになって
いる。シャッタ９９は光ファイバー８９への光を照射を
切換える切換え手段を兼ねており、これにより上下の部
屋８６Ａと８６Ｂに任意の光を照射することができる。

【００７２】ここでは、制御部１００が光源の点灯、消
灯を検知し、消灯から点灯に切替わったことを検知する
と、いったんシャッタ９９を全閉し、両方の光路を閉じ
る。次に、図において下方へ湾曲させた時は上方の部屋
８６Ａ側の光路を開けるようにシャッタ９９を制御す
る。すると、上方の部屋８６Ａの中に光が照射され、内
部のガス９１が膨脹し、腕部８６ａを下方へ湾曲させ
る。そして、光の照射を止めると、ガス９１は通常状態
へと戻り、腕部８６ａも真っ直ぐの状態に戻る。次に、
反対側の部屋８６Ｂに光を照射することで同様に下方の
部屋８６Ｂのガス９１が膨脹して腕部８６ａは上方へ湾
曲する。

【００７３】このように腕部８６ａ〜８６ｄは内部を複
数の部屋に区分し、独立して光を照射することにより任
意の方向に腕部８６ａ〜８６ｄを湾曲させることができ
る。また、１つの光源９６の光路を切換えることで複数
の部屋に独立して光を照射したが、光源を複数設けて光
源そのものの点灯を制御するようにしてもよく、また光
路の切換えも上記実施例に限らず、各部屋に対して独立
して光を照射するものでもよい。また、ガス充填部を３
部屋に分けたり、動作の説明のために２つに分けたが、
部屋数を増やすことで湾曲方向もより細かな動きとなる
ことは言うまでもない。

【００７４】また、先端処置部８５を駆動するための駆
動手段（例えばフレキシブルシャフト９３）を挿通する
チャンネル部９０も中央に設ける必要がなく、例えば図
２６に示すように操作ワイヤ１０１を押し引きすること
によって先端処置部としての把持部（図示しない）を把
持動作するようにしてもよい。さらに、操作ワイヤ１０
１を６つに分割された部屋の１つをチャンネル１０２と
して利用できる。そして６つ部屋を１つ置きにガス充填
部８８とチャンネル部９０として利用することで腕部１
０３を構成している。このように腕部１０３を単純に分
割しても前述した腕部８６と同様の動作をする。

【００７５】このようにマイクロマシンのマニピュレー
タをガスを充填した複数の腕部で構成することで、個々
の腕部を任意の方向に曲げることが可能となり、複雑な
湾曲動作ができるため、狭く複雑な状況下でも自由に先
端処置部を移動でき操作性が向上する。また、湾曲のた
めに必要な機械的な構造を必要としないため小形化が可
能となり、動作不良等の故障をなくすことができる。

【００７６】図２７〜図２８はマニピュレータを備えた
マイクロマシンのマイクログリッパシステムを示すもの
で、軸部１０５の先端部には超音波振動子１０６によっ
て駆動され、物を把持するマイクログリッパ１０７が設
けられている。マイクログリッパ１０８は物を把持する
際に、その把持力が強すぎると把持した物を破損させる
恐れがあるため、適度な把持力に制御する必要がある。

【００７７】図２８はマイクログリッパ１０７を操作す
る超音波振動子１０６に流す電流Ｉの量を観察し、ある
レベル以上の電流が流れないようにしたものである。例
えば超音波振動子１０６の駆動手段１０９から出力され
る電流値を電流検出手段１１０で検出し、ある一定レベ
ルの電流を越えないようにする。もし、一定レベルの電
流値を越えたら、ただちに把持力制御手段１１１が駆動
手段１０９からの出力電流を抑えて一定レベル以上の電
流が流れないようにする。また、電流値を検知するだけ
でなく、負荷インピーダンスを観察することでもマイク
ログリッパ１０７の把持力を制御することができる。こ
のようにマイクログリッパ１０７では必要以上の把持力
が加わらないように制御できるため、非常に強い力が加
わって物を破損してしまうことがなく、一定の把持力を
簡単に得られる。

【００７８】図２９のマイクログリッパ１１２は、形状
記憶合金１１３によって形成したものである。形状記憶
合金１１３は２方向性のものを利用し、通常状態では開
いた状態にあり、電圧を印加することで閉じ、電圧の印
加を停止すると開いた状態に戻るように形成されてい
る。

【００７９】形状記憶合金１１３は開閉状態が常に同じ
状態になるため、常に一定の把持力を与えられる。しか
も、電圧の印加のオン・オフにより開閉が自由に行なえ
るため、制御が簡単である。このようにマイクログリッ
パ１１２を形状記憶合金１１３で形成することによって
常に一定の把持力が得られる。

【００８０】図３０は、同じく形状記憶合金１１３によ
って形成したマイクログリッパ１１４で、人間の手のよ
うに複数本の指１１５を持っており、電圧を印加する
と、物を包むような形状に変形したり、物に絡み付くよ
うに変形するようにしてもよい。

【００８１】このように形状記憶合金１１３の複数本の
指１１５で物を包んだり、絡み付くように囲むことで物
を掴むことができる。しかも、包む形状が決まっている
ため、物を必要以上に圧迫することもなく、それによっ
て破損させる恐れもない。

【００８２】図３１〜図３５は多段湾曲マニピュレータ
システムを示すもので、１２１は被写体を観察するため
の多段湾曲部を持ったマニピュレータである。このマニ
ピュレータ１２１は本体１２２に設けられ、この本体１
２２にはマニピュレータ１２１の各段の湾曲部を駆動す
る第１と第２のモータ１２３ａ，１２３ｂが設けられて
いるとともに、この第１と第２のモータ１２３ａ，１２
３ｂを駆動する信号を送り、本体１２２から各湾曲部の
湾曲角を表示する信号、観察ビデオ信号を受信するコン
トロールユニット１２４と接続されている。また、この
コントロールユニット１２４には使用者が指示を与える
ためのキーボード１２５が設けられている。

【００８３】マニピュレータ１２１は各段の湾曲部の先
端に金属環１２６が設けられ、この金属環１２６の上下
左右にはそれぞれワイヤ１２７ａ〜１２７ｄの一端部が
接続されている。また、この金属環１２６の中心部には
照明用のライトガイドファイバおよび観察用のイメージ
ガイドファイバ（図示しない）が挿通されている。

【００８４】前記本体１２２の内部にはマニピュレータ
１２１の外周面と転接し、これを送り出したり、引き込
むためのローラ１２８が設けられている。また、前記第
１のモータ１２３ａによって回転するスプロケット１２
９ａと第２のモータ１２３ｂによって回転するスプロケ
ット１２９ｂが設けられている。

【００８５】そして、スプロケット１２９ａには縦方向
のチェーン１３０ａが掛け渡され、この両端は前記ワイ
ヤ１２７ａ，１２７ｂに接続されている。同様にスプロ
ケット１２９ｂには横方向のチェーン１３０ｂが掛け渡
され、この両端は前記ワイヤ１２７ｃ，１２７ｄに接続
されている。また、スプロケット１２９ａ，１２９ｂに
は回転角を電気信号に変換するポテンショメータ１３１
が設けられている。

【００８６】前記コントロールユニット１２４には前記
本体１２２から出力されるビデオ信号と各段の湾曲角を
表すポテンショ出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換器１３２，１３３と前記キーボード１２５から入力さ
れるカーソル位置信号よりビデオ信号と同期させて希望
位置にカーソルのキャラクタ信号を作成するキャラクタ
作成回路１３４と、このキャラクタ作成回路１３４のキ
ャラクタ信号位置から任意の範囲のビデオ信号を抜き取
り記憶する抽出回路１３５と、前記Ａ／Ｄ変換器１３２
が出力するデジタルビデオ信号を記憶するメモリ回路１
３６と、前記抽出回路１３５とメモリ回路１３６の出力
を比較し一致する場所を探す位置決定回路１３７と、こ
の位置決定回路１３７の出力する位置に前記キャラクタ
作成回路１３４から出力されるデジタルビデオ信号に加
算する加算回路１３８と、この加算回路１３８から出力
されるデジタルビデオ信号をアナログ信号に変換するＤ
／Ａ変換器１３９と、前記キーボード１２５のカーソル
位置信号からモニター上の中心位置への移動のベクトル
を計算し、そのベクトル信号より各段の湾曲部を駆動す
る第１および第２のモータ１２３ａ，１２３ｂを制御す
る信号を作成し、前記位置決定回路１３７の出力信号よ
り前記第１および第２のモータ１２３ａ，１２３ｂの駆
動信号の補正い、さらに、前記Ａ／Ｄ変換器１３３の出
力するポテンショ信号より各段の湾曲角を判別し、前記
マニピュレータ１２１の各段の湾曲部を前記本体１２２
よりの湾曲部の制御を行い、湾曲部のポテンショ信号が
変化しなくなった時、次の段の湾曲部を駆動するＣＰＵ
１４０とこのＣＰＵ１４０の出力する各モータ１２３
ａ，１２３ｂの駆動信号をアナログ信号に変換するＤ／
Ａ変換器１３９ａとから構成されている。

【００８７】次に、前述のように構成されたマニピュレ
ータシステムの作用について説明する。図３４の（ａ）
に示すように、被観察物１４１が視野内の隅にあり、像
１４１ａが図３５の（ａ）に示すようにモニター上の左
隅にある場合、操作者はキーボード１２５を操作してキ
ャラクタ作成回路１３４で作成されたカーソルをモニタ
ー上の像１４１ａに合わせる。すると、抽出回路１３５
は枠信号を作り、そのエリア内のビデオ信号を記憶す
る。

【００８８】また、ＣＰＵ１４０はカーソル位置とモニ
ターの中心位置よりカーソル位置からモニター中心への
ベクトルを演算し、そのベルトル方向に見合った方向
に、図３４の（ｂ）に示すように、マニピュレータ１２
１の本体１２２寄りの湾曲部から湾曲を開始する。

【００８９】すると、図３４の（ｂ）に示すようにマニ
ピュレータ１２１が障害物１４２に突き当たり、これ以
上アングルがかからなくなると、第１および第２のモー
タ１２３ａ，１２３ｂのスプロケット１２９ａ，１２９
ｂが回転しなくなり、ポテンショメータ１３１の出力は
変化しなくなる。

【００９０】ポテンショメータ１３１の出力が変化しな
くなると、ＣＰＵ１４０は次の段の湾曲部を湾曲するよ
うに指示する。すると、図３４の（ｃ）に示すように、
矢印で示す段の湾曲部の湾曲が行われる。

【００９１】また、マニピュレータ１２１が別の障害物
１４３に当たり、湾曲ができなくなり、ポテンショメー
タ１３１の出力の変化がなくなると、図３４の（ｄ）に
示すように、次の段の湾曲部の湾曲をＣＰＵ１４０が指
示する。

【００９２】位置決定回路１３７は順次入力されるビデ
オ信号を記憶するメモリ回路１３６の出力と抽出回路１
３５で抽出されたカーソルで指示した位置の規定のエリ
ア内のビデオ信号を比較し、一致する部分の位置を決定
する。

【００９３】抽出回路１３５で抽出されたビデオ信号を
ビデオ信号のＨレート、Ｖレートで順次シフトし、メモ
リ回路１３６の出力と比較し一致した時点のＨレート、
Ｖレートでのシフト量より湾曲動作によりモニター上の
どの位置に像１４１ａが移動したかを判断する。

【００９４】この位置決定回路１３７で検知した被観察
物１４１の移動位置にキャラクタ作成回路１３４で作成
したカーソル信号をビデオ信号上に加算回路１３８で加
算することで、図３５の（ｂ）から（ｃ）に示すよう
に、矢印の位置が像１４１ａを追従する。

【００９５】このように、外部より指示した被観察物の
位置のモニター中心位置からのベクトルを算出し、多段
式のマニピュレータ１２１の手前側の湾曲部から優先的
に湾曲動作を行い、湾曲動作が障害物等でこれ以上進ま
なくなった時、次の段の湾曲部の湾曲を行うように制御
することで、マニピュレータ１２１は最短距離で被観察
物１４１に近付けることができる。

【００９６】図３６は、前記マニピュレータシステムの
変形例を示すもので、湾曲部１４４には湾曲部１４４の
各段に共通に接続された４本のガイドワイヤ１４４ａ〜
１４４ｄが周方向に９０゜間隔に挿通されている。この
ガイドワイヤ１４４ａ〜１４４ｄの中途部が超音波モー
タ１４５ａ〜１４５ｈに挿通されていて、超音波モータ
１４５ａ〜１４５ｈによってガイドワイヤ１４４ａ〜１
４４ｄを前後方向に移動することにより、湾曲部１４４
を湾曲するように構成したものである。

【００９７】各段の湾曲部１４４のアングル角の検知
は、各ガイドワイヤ１４４ａ〜１４４ｄの各超音波モー
タ１４５ａ〜１４５ｈの中間位置に磁石１４６ａ〜１４
６ｄを設け、マニピュレータ１２１の内壁にホール素子
１４７ａ〜１４７ｈを磁石１４６ａ〜１４６ｄの前後に
配設することで、前後のホール素子１４７ａ〜１４７ｈ
の出力の相関によりガイドワイヤ１４４ａ〜１４４ｄの
移動量を検知し、各段でのアングル角を検知することが
できる。

【００９８】例えば、ガイドワイヤ１４４ａは超音波モ
ータ１４５ａ，１４６ｅ間で長くなり、ガイドワイヤ１
４４ｄが超音波モータ１４５ｄ，１４５ｈ間で短くなる
と、図３６の（ｂ）に示すように、ガイドワイヤ１４４
ｄの方向へ湾曲する。このとき、ガイドワイヤ１４４ａ
の磁石１４６ａはホール素子１４７ｂに近寄り、ホール
素子１４７ａ，１４７ｂの差分はマイナスになる。ガイ
ドワイヤ１４４ｄの磁石１４６ｄはホール素子１４７ｇ
に近寄り、ホール素子１４７ｇ，１４７ｈの差分はプラ
スになる。この２つの信号によって湾曲方向および角度
が上下方向で分かる。さらに、ガイドワイヤ１４４ｂ，
１４４ｃの各ホール素子１４７ｃ〜１４７ｆの出力を用
いることで上下左右の湾曲方向、角度が分かる。

【００９９】図３７は、前記マニピュレータシステムの
変形例２を示すもので、マニピュレータ１２１を湾曲し
て被測定物１４８がモニター上の中心にくるようにした
状態から、図３７の（ｂ）に示すように、マニピュレー
タ１２１を送り出す際、ΔＬだけ送り出し、モニター上
の中心に被測定物１４８が位置するように湾曲補正を行
い、このときの補正量Δθ／ΔＬをＣＰＵ１４０で演算
すると、送り出し量に応じて湾曲補正量を算出し、モニ
ター上、被測定物１４８を中心に持って来ることが素早
く簡単に行うことができる。

【０１００】図３８〜図４１はロッドアンテナ状のマニ
ピュレータを備えたマイクロマシンシステムを示す。マ
イクロマシン本体１５０は、ロッドアンテナ状のマニピ
ュレータ１５１と、マニピュレータ１５１を内側から送
り出しまたは引き込むための駆動ローラ１５２と、マニ
ピュレータ１５１の内部を通っているライトガイドファ
イバ１５３に光を供給するランプ１５４と、ランプ１５
４の電源１５５と、マニピュレータ１５１の内部を通っ
ているイメージガイドファイバ１５６と、イメージガイ
ドファイバ１５６が伝送する光像を集光するレンズ１５
７と、レンズ１５７が集光した光像を光電変換する固体
撮像素子１５８と、固体撮像素子１５８の出力を映像信
号に変換するビデオ回路１５９とから構成されている。

【０１０１】前記マニピュレータ１５１はロッドアンテ
ナ状の各段の先端部にアングル機構１６０が設けられて
いる。すなわち、金属環１６１の上下左右にはワイヤ１
６２ａ〜１６２ｄの一端が接続されている。ワイヤ１６
２ａと１６２ｂは他端部においてチェーン１６３ａを介
して接続され、このチェーン１６３ａは第１のモータ１
６４ａのスプロケット１６５ａに掛け渡されている。ま
た、ワイヤ１６２ｃと１６２ｄは他端部においてチェー
ン１６３ｂを介して接続され、このチェーン１６３ｂは
第２のモータ１６４ｂのスプロケット１６５ｂに掛け渡
されている。

【０１０２】したがって、図４０の（ａ）に示すよう
に、マイクロマシン本体１５０からマニピュレータ１５
１を送り出し、いったんアングルをかけても、図４０の
（ｂ）に示すように、マニピュレータ１５１を送り出
し、被写体１６６に近接すると、アングルを再度かけ直
せば、視野から被写体１６６が消えてしまうということ
を防ぐことができる。

【０１０３】すなわち、図４１に示すように、ロッドア
ンテナ状のマニピュレータ１５１の最も基端部からアン
グルをかけると、マニピュレータ１５１を被写体１６６
に近接するために、中心部を駆動ローラで送り出すと各
段が引きずられて伸びる。しかし、最も基端部でアング
ルをかけているため、被写体１６６は視野から消えるこ
とがない。また、図４１の（ｃ）に示すように、マニピ
ュレータ１５１の各段のアングルをかけることで被写体
１６６の側面など自由な角度で観察することが可能とな
る。

【０１０４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、観察手段を備えたマイクロマシンと、処置手段を備
えたマイクロマシンと、移動手段を備えたマイクロマシ
ンと、前記マイクロマシンの相対位置を測定して各マイ
クロマシンを協調動作させる制御手段とを具備すること
によって、複数台のマイクロマシンを協調動作すること
ができ、被対象部を少なくとも１つのマイクロマシンで
観察しながら他のマイクロマシンで被対象部を処置する
ことができ、また相互の干渉を防止してスムーズが作業
を実施できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施例のマイクロマシンシス
テムの概略的構成図。

【図２】同実施例のマイクロマシンシステムの斜視図。

【図３】同実施例の電気回路図。

【図４】同実施例のアームの取付け構造を示し、（ａ）
は側面図、（ｂ）は正面図。

【図５】この発明の第１の実施例の変形例１を示すマイ
クロマシンシステムの斜視図。

【図６】同実施例の作用説明図。

【図７】この発明の第１の実施例の変形例２を示すマイ
クロマシンシステムの斜視図。

【図８】この発明の第２の実施例のマイクロマシンシス
テムの斜視図。

【図９】この発明の第３の実施例のマイクロマシンシス
テムのアーム取付け部の側面図。

【図１０】この発明の第４の実施例のマイクロマシンシ
ステムのアーム取付け部の側面図。

【図１１】この発明の第５の実施例のマイクロマシンシ
ステムのアーム取付け部の側面図および平面図。

【図１２】同実施例のアームを示す斜視図。

【図１３】この発明の第６の実施例のマイクロマシンシ
ステムのアーム取付け部の側面図。

【図１４】同実施例のアームの取付け部の斜視図。

【図１５】この発明の第７の実施例のマイクロマシンシ
ステムのアーム取付け部の一部を断面した側面図。

【図１６】管路内走行機能を備えたマイクロマシンの側
面図。

【図１７】同マイクロマシンの超音波モータの作用説明
図。

【図１８】同マイクロマシンの超音波モータの軸受け部
を示す斜視図。

【図１９】同マイクロマシンの作用説明図。

【図２０】同マイクロマシンの変形例１を示す側面図。

【図２１】同マイクロマシンの変形例２を示す側面図。

【図２２】マニピュレータを備えたマイクロマシンの側
面図。

【図２３】図２２のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図２４】図２３のＢ−Ｂ線に沿う断面図。

【図２５】同マニピュレータを備えたマイクロマシンの
作用説明図。

【図２６】同マニピュレータを備えたマイクロマシンの
変形例を示す腕部の断面図。

【図２７】マイクロマシンのマイクログリッパの側面
図。

【図２８】同マイクロマシンのマイクログリッパの駆動
回路図。

【図２９】マイクロマシンのマイクログリッパの側面
図。

【図３０】マイクロマシンのマイクログリッパの側面
図。

【図３１】多段湾曲マニピュレータシステムを示す概略
的構成図。

【図３２】同マニピュレータの縦断側面図。

【図３３】同マニピュレータの湾曲駆動部を示す側面
図。

【図３４】同マニピュレータの作用説明図。

【図３５】同マニピュレータの作用説明図。

【図３６】同マニピュレータの変形例を示す概略的縦断
側面図。

【図３７】同マニピュレータの作用説明図。

【図３８】ロッドアンテナ状のマニピュレータの概略的
構成図。

【図３９】同マニピュレータの湾曲駆動部を示す斜視
図。

【図４０】同マニピュレータの作用説明図。

【図４１】同マニピュレータの作用説明図。

【符号の説明】

１〜３…マイクロマシン、４…観察手段、７…処置手
段、８…移動手段。

【手続補正書】

【提出日】平成４年１１月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】ここで、ＢＰＦ２０は、電源用の周波数以
外の周波数で印加される制御用の信号はマイクロマシン
の制御用の多量のデータを効率良く送る必要があるた
め、それを変調（ＡＭ，ＦＭ，ＦＳＫ等）して送出す
る。なお、誤動作を防止するため、電源供給用の周波数
と制御用の周波数はｎ次高調波の関係とならないように
設定し、その周波数のみＢＰＦ２０で制限して制御回路
に信号を送る。マイクロマシン本体１０側では受信信号
を復調して必要な制御信号のみを取り出す。この取り出
した制御信号によりマイクロマシン本体１０の制御を行
う。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高見澤 一史 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 鈴木 克哉 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも観察手段を備えたマイクロマ
   シンと、少なくとも被対象部を処置する処置手段を備え
   たマイクロマシンと、少なくとも移動手段を備えたマイ
   クロマシンと、前記マイクロマシンの相対位置を測定し
   てマイクロマシンを協調動作させる制御手段とを具備し
   たことを特徴とするマイクロマシンシステム。