JPH0654246B2 - 流体製品の監視兼制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、配管を通つて流出する流体製品の監視兼制御
装置において、その計測管が前記配管の中へ導入されて
いる磁気誘導流量計と、製品の流れに影響を与え、かつ
機械的に移動可能になつたロツド状の作動装置を介して
駆動装置によつて作動されるように設計されている制御
要素とを含む流体製品の監視兼制御装置に関する。

この型の装置は特に、所定量の流体製品を容器に充填す
るための計測装置として用いられる。この場合、前記制
御要素は製品の流れを制御する弁である。磁気誘導流量
計によつて、弁が開いてから配管を通過していつた製品
の量を決定することが可能である。計測された製品の量
が設定値と一致すると、弁は閉じられる。磁気誘導流量
計を用いることは、製品の流路の中で動的部分あるいは
動的構造が存在していないという利点がある。このよう
にして、特に食品に関する規制を守るために必要な、流
量計をも含んだプラントの浄化を容易に完全に行うこと
が可能である。

従来の技術 問題にしている型式の装置は、例えば、西独国公開特許
公報３３ ３９ ２７４号及び西独国特許明細書第８３
１１ ７２５号によつて知られている。これらの既知
の装置においては、磁気誘導流量計は流れの方向におい
て弁及びその作動機構の上流側において配管の中へ導入
されており、従つてこれらの構成要素は磁気誘導流量計
の動作を妨害することはない。従つて、磁気誘導流量計
は製品の出口開口からかなりの距離をおいて位置してい
る。これによつて応答が遅くなつたり、あるいは製品の
残流が生じ計測誤差がじることがある。西独国特許明細
書第８３ １１ ７２５号によつて知られている装置に
おいては、弁は残流を防ぐために実際の出口開口に位置
しており、配管の端部を形成している充填管の中を軸線
方向に延在する作動ロツドによつて作動される。しかし
ながら、磁気誘導流量計は配管の中で充填管の前に位置
されており、出口開口及び弁から相当長い距離をおいて
位置されている。

発明が解決しようとする問題点 この既知の構造の原理を適用すると、特に、比較的多数
の容器に同時に充填するために、互いに他に対して密接
に位置した比較的多数の計測装置からなる充填プラント
においてはスペースの問題が生じてくる。この場合に
は、各々の計測装置にはもちろんそれ自身の磁気誘導流
量計を備えていなければならず、また必要な数の磁気誘
導流量計を収納することは、特に流路を短くすることが
要求されているので、困難となり得る。

問題点を解決するための手段 本発明の目的は始めに記載した型の装置を提供すること
にあり、これはその構造が非常に簡単になつているの
で、磁気誘導流量計の動作に悪影響を及ぼさないで、磁
気誘導流量計を制御要素から短い距離のところに配置す
ることができる。

本発明によると、この目的は前記磁気誘導流量計が前記
駆動装置と制御要素との間で前記配管の中へ導入されて
おり、また前記ロツド状の作動装置は磁気誘導流量計の
計測管の中を軸線方向に延在していることによつて達成
される。

制御要素のためのロツド状の作動装置が本発明による装
置における磁気誘導流量計の計測管の中を延在している
ので、流量計は、たとえ制御要素が出口開口のところに
直接位置していても、流路の中で制御要素に対して望み
通りに近づけて配置することができる。このようにし
て、流路の端部に位置する計測装置の充填管の中へ磁気
誘導流量計を特に直接的に導入することができ、その中
を充填ノズルを制御する弁のための作動ロツドが存在す
る。これによつて非常にスペースを節約した構造が得ら
れ、特に、比較的多数の計測装置を簡単な配置にして収
納することができる。

驚いたことに、磁気誘導流量計の動作は妨害されず、計
測管の中を軸線方向に延在しているロツド状の作動装置
によつて実際的に改善されている。これには幾つかの理
由がある。一方で、有効な流路断面積はロツド状の作動
装置によつて減少され、従つて、同一の製品の量に関し
ては、流速がそれに応じて増加される。磁気誘導流量計
は流速に比例した電圧を発生するので、計測の精度は改
善される。さらい、特に、粘性製品あるいは糊状製品の
流速は自由な管断面積におけるよりも、流路を画定して
いるロツド状の作動装置と計測管の壁との間の環状の中
間スペースにおける方が、より均一になり、またこの環
状の中間スペースにおいてより均一な磁場の強さが得ら
れる。これらの効果もまた磁気誘導流量計の計測精度を
改善することになる。

最後に、ロツド状の作動装置の形状を特別なものにする
ことにより、磁気誘導量計の特性に対して望み通りに影
響を与えることが可能である。異なつた断面積を有した
ロツド状の作動装置を選択的に使用することにより、同
一の磁気誘導流量計に対して異なつた流路断面積を得る
ことができ、従つて、計測端子の感度は最適に調節する
ことができる。さらに、ロツド状の作動装置は少なくと
も磁気誘導流量計の領域において、少なくとも部分的に
軟質の磁性材料を有していてもよく、従つて、磁束路の
磁気抵抗が減り、その結果要求されるエネルギーは少な
くて済む。さらに、環状流路における磁場分布もまた軟
質の磁気材料によつて改善される。ロツド状の作動装置
の制御要素を作動させるために軸線方向に移動可能であ
つて、柔かい磁性材料が磁気誘導流量計の活性領域に保
持されている場合には、軟質の磁性材料の軸線方向移動
が磁気誘導流量計の磁気特性を変化させ、これが移動を
監視するために用いられる。

最後に、簡単で、共軸的な構造は、磁気誘導流量計を含
んだ装置全体を浄化するのを容易にしている。このこと
は、特に本装置が食品産業に使用される場合には、大き
な重要な点である。

本発明の有利な実施例やさらに開発した点は、添付した
特許請求の範囲の中で特徴が記載されている。

本発明の他の利点、特徴は、添付図面に示されている１
つの実施例に関する以下の説明から明らかになるであろ
う。

実施例 第１図は所定量の流体製品を容器１１の中へ導入するよ
うに設計されている充填プラントの計測装置１０を概略
的に示す。貯蔵容器１２は容器１１の中へ充填されるよ
うになつている流体製品１３を収納しており、この製品
の糊状の液体であつてもよい。前記計測装置１０は直線
状の垂直方向の充填管１４を含み、これはその上端にお
いて配管１５によつて容器１２に連結されている。前記
充填管１４の下端には充填ノズル１６が形成あるいは配
置されている。この充填ノズル１６は弁１７によつて閉
鎖することができるが、前記弁は充填管１４の上端の上
に配置された駆動装置１８によつて、充填管１４の中を
軸線方向に延在した作動ロツド１９を介して作動され
る。説明している実施例においては、弁１７は直線状に
上下動によつて開閉されるものと仮定する。従つて、駆
動装置１８はそれが作動ロツド１９をその軸線方向に移
動させるように設計されている。この場合には、前記駆
動装置１８は、例えば、電磁装置あるいは液圧式あるい
は電気圧式のピストン−シリンダー式の装置であつても
よい。

充填管１４の中には充填ノズル１６と駆動装置１８との
間に磁気誘導の流量計２０が据付けられており、これは
流体製品の流速、従つて、流路の断面積がわかつている
ので、製品の量の特性である電気信号を発するように、
周知の方法で設計されている。前記磁気誘導流量計２０
の出力はコンピユータ２１に連結されており、コンピユ
ータは磁気誘導流量計２０の出力信号から積分によつ
て、充填管１４から出て充填ノズルから放出される製品
の量を計算する。コンピュータ２１の出力は駆動装置１
８を制御する制御装置２２に連結されている。

充填用の容器１１は、充填ノズル１６の下へうまく運ば
れる。光源２４と光電池２５とによつて形成される光バ
リヤが、容器１１が充填ノズル１６の下に存在している
ことを感知する。光電池２５の出力は制御装置２２に連
結されている。最後に、同様にして制御装置２２に連結
された起動・停止スイツチ２６が存在する。この起動・
停止スイツチ２６は充填プラントを入切りさせることが
できる。

第１図に示す充填プラントの運転方法は容易に理解する
ことができる。起動・停止スイツチ２６を入れることに
よつてプラントが起動されると、容器１１は充填ノズル
１６の下へ運ばれる。光電池２５は容器１１が充填の準
備ができていることを示す信号を制御装置２２に送る。
制御装置２２は駆動装置１８をして作動ロツド１９によ
つて弁１７を開放させる。容器の中へ入れられる製品
は、充填管１４と、磁気誘導流量計２０と、充填ノズル
１６とを通過し、容器１１の中へ入る。磁気誘導流量計
２０は製品の流量を示す信号をコンピユータ２１に送
る。コンピユータ２１は弁１７が開いてからの流出した
製品の量を連続的に計算するが、これは充填ノズル１６
から容器１１の中へ導入される量に等しく、この計算の
結果を、例えば、所定の、小さな部分量を表わすパルス
の形にして制御装置２２へ連続的に送る。制御装置２２
の中では、容器の中へ導かれる製品の量は、各々の容器
１１の中へ導かれることになつている製品の望みの量を
表わす設定値と連続的に比較されている。この比較によ
つて、容器１１の中へ導かれた量が設定値と一致する
と、制御装置２２は駆動装置１８をして弁１７を閉めさ
せる。充填ノズル１６の下へ運ばれてくる他の各々の容
器１１に対して同じ工程が繰返される。

第２図と第３図は計測装置１０をさらに詳細に示してお
り、第２図は弁１７は閉位置にあり、第３図では開位置
にあるところが示されている。充填管１４は２つの部分
３０，３１に分割されており、これらの間に磁気誘導流
量形２０が配置されている。充填管の上端においては、
上部充填管部分３０は拡大部分３２を有し、その中へは
連結ソケツト３３が直角をなして開放している。この連
結ソケツト３３は配管１５（第１図参照）を連結するた
めに設けられている。前記連結ソケツト３３の開口のす
ぐ上においては、上部充填管部分３０は端壁３４によつ
て閉鎖されており、この端壁は作動ロツド１９を通すた
めの中央開口３５を有している。作動ロツド１９のその
端部上にはねじ頭部３６が配置されており、このロツド
は駆動装置１８に連結するために中央開口３５から上方
へ突出している。前記拡大部分３２の中には折りたたみ
ベロー３７が配置されており、これはその上端において
端壁３４に対して密着されており、またその下端におい
て作動ロツド１９に密着されている。前記折りたたみベ
ロー３７は、作動ロツド１９の軸線方向移動を妨害する
ことなく、中央開口３５の中を通る作動ロツドを完全に
密封する。拡大部分３２は流路面積を許容できない程に
減少させることなしに、下りたたみベロー３７を収納す
ることができるようになつている。充填管３０には、そ
の下端において、ユニオンナツト３９のためのストツパ
として作用するフランジ３８が一体構造的に形成されて
いる。

充填管１４の下部３１は充填ノズル１６と弁１７とを収
納している。充填ノズル１６は円筒状の出口開口４０
（第３図参照）を有し、弁１７は前記出口開口４０の中
へ滑動的に入り込む円筒状の弁体４１いよつて形成され
ている。前記弁体４１は作動ロツド１９の下端に対して
固定的に連結されており、従つて、前記弁体は作動ロツ
ド１９によつて軸線方向に移動されるようになつてい
る。弁対４１は、その下端近くにおいて、Ｏ−リング４
３を着座させるための環状溝４２を有している。弁が閉
じた位置においては（第２図参照）、Ｏ−リング４３は
出口開口４０の中に位置し、従つて密閉される。その開
位置においては（第３図）、弁体４１は完全に出口開口
４０から引き抜かれており、従つて、製品は充填ノズル
１６から自由に流出することができる。弁体４１上には
ガイドベーン４４が配置されており、これは充填管部分
３１の内壁上と滑動接触し、その引き抜き位置（第３図
参照）においても弁体４１を正確に中央に保持するよう
になつている。

下部充填管部分３１の上端には、ユニオンナツト４６に
対するストツパとして作用するフランジ４５が一体構造
的に形成されている。充填管部分３１の外側には、充填
ノズル１６の近くで環状溝４７が形成されているが、こ
の目的については後で説明する。

磁気誘導流量計２０は普通の構造を有している。それは
２つの充填管部分３０と３１との間に配置された標準的
な商用の磁気誘導流量計であつてもよい。前記磁気誘導
流量計は２つの軸線方向の管状ソケツト５１と５２を一
体構造的に形成したハウジング５０からなり、前記ソケ
ツトにはユニオンナツト３９と４６がねじどめできるよ
うに外ねじが設けられている。このようにして、磁気誘
導流量計２０は、充填管部分３０，３１のフランジ３
８，４５の間で、それらの間にシール５３，５４を設け
て、密接に固定されている。

隣接した充填管部分３０，３１と同一の内直径を有した
計測管５５が、ハウジング５０と管ソケツト５１，５２
の内部を、磁気誘導流量計２０の全長に亘つて延在して
いる。従つて、前記計測管５５は充填管１４の流路の連
続性を確立している。ハウジング５０の中で、計測管５
５の直径方向の２つの両反対側において２つの電磁石６
０，６１が配置されており、計測管５５の内側において
直径方向に向かつた磁場を発生させる。電磁石６０は界
磁コイル６２と、界磁コイル６２に取囲まれた磁心と、
曲がつた板の形状となつた極片６６とを有し、前記極片
は磁心６４の前面と接触し、また計測管５５の外面上と
接触している。同様に電磁石６１は界磁コイル６３と磁
心６５と極片６７とからなつている。電流が界磁コイル
６２，６３を通過すると、電磁石６０，６１は計測管５
５の内側で極片６６と６７との間で磁場を発生し、この
磁場は計測管の軸線とは垂直方向に向けられている。こ
の磁束はハウジング５０が軟質の磁性材料からなつてい
る場合にはハウジングを介して、あるいは特別な磁石ヨ
ークを介して反射される。

問題にしている型の磁気誘導流量計の動作モードはフア
ラデーの誘導の法則に基づいている。導電性の液体が計
測管５５の中を流れると、磁場は流れの方向に対して垂
直方向に向けられていることになる。従つて、導電性液
体に電圧が誘導され、これは磁場の強さと流速とに比例
する。磁場の強さが一定であれば、この電圧は流速に直
接比例する。この電圧を取出すために、磁気誘導流量計
は、計測管５５の壁の上で互いに他に対して直径方向反
対側に配置された２つの電極を有し、この２つの電極を
連結している直径方向の軸線は流れの方向に対して、ま
た磁場の軸線に対して垂直方向に、即ち、第２図と第３
図の図の面に対して垂直方向に延在している。これらの
電極は第２図と第３図においては見ることができない
が、それは１つの電極は切り離されていて、他の作動ロ
ツド１９の陰にかくれているからである。

電極から取出された電圧は磁気誘導流量計２０の電子装
置によつて、コンピユータ２１の中で処理するのに適し
た信号に転換され、この信号は製品の量、即ち、単位時
間あたりに流路断面を流れる製品の量を表わす。

問題にしている型式の磁気誘導流量計を正確に動作させ
るための既知の要求事項は、導電性液体と接触している
計測管５５の表面が、非導電性になつていることであ
る。従つて、計測管全体が絶縁材料あるいは非常に抵抗
の大きな材料でできているか、あるいはその内面が絶縁
層で覆われていなければならない。

作動ロツド１９は２つの充填管３０と３１との両方を軸
線方向に通過し、また磁気誘導流量計２０の計測管５５
の中も通過する。従つて、流れにとつては、これらの管
の全断面積よりも、管壁と作動ロツドとの間に残つてい
る環状の断面積のみが有効である。このために磁気誘導
流量計の機能が弱められることはなく、反対に、幾つか
の理由で改善されることになる。１つの改善点は、与え
られた製品量に関して、流速が断面積減少の分だけ増加
されるという点から生じる。従つて、磁気誘導流量計の
電極から取出された誘導電圧もまた大きくなる。従つ
て、磁気誘導流量計の測定感度や精度も増加する。

他の重要な改善点は、特に粘性の高い糊状の製品に関し
て、作動ロッド１９と計測管５５との間の環状空間にお
ける流れの状態は自由な管断面積の場合よりもかなり均
一であるという点から生じる。もちろん磁気誘導流量計
は、磁場の強さと、この磁場によつて覆われた断面にお
ける流速とにおける、製品の平均値のみを測定してい
る。従つて、測定の結果は、異なつた磁場の強さの領域
において、流速が異なると影響を受ける。計測管５５の
中を延在する作動ロツド１９は、流速及び磁場の強さの
両方が自由な管断面積におけるよりも環状空間における
方においてより均一であるので、これらの影響を減少さ
せている。

測定しようとしている製品が比較的大きな導電性を有し
ている場合には、作動ロツド１９は、例えそれが金属で
できていても、製品に対して絶縁させる必要はない。も
し、それとは対照的に、製品の導電性が作動ロツドの導
電性に対して非常に小さい場合には、製品と接触する作
動ロツド１９の表面は、例えば、作動ロツドの外面に設
けられた絶縁層によつて、少なくとも磁気誘導流量計の
内側に位置した部分に亘つて、製品に対して絶縁しなけ
ればならない。

作動ロツドを特別の形状にすることによつて、磁気誘導
流量計の特性に対して、必要な方法で影響を与えること
が可能である。従つて、異なつた断面寸法を有した作動
ロツドを用いることによつて、同一の磁気誘導流量計に
関して異なつた流路断面を得ることができ、流量計の感
度を特定の用途に対して最適化することができる。作動
ロツド１９の外径と計測管５５の内径との比率は、用途
に応じて、０．２から０．９の間にある。さらに、もし
作動ロツドが、少なくとも磁気誘導流量計の有効領域に
おいて、軟質の磁性材料でできておれば、磁気誘導流量
計の磁気特性もまた改善される。このようにして、磁気
回路の空隙は流量測定のために実際に用いられる環状中
間領域に限定され、磁気抵抗は減少し、従つて、磁場を
発生させるために必要な励磁エネルギーは比較的低くて
もよいことになる。環状の空隙における磁場分布もまた
軟質の磁性材料によつてうまく影響を受ける。

最後に述べた測定を行うために用いられる作動ロツド１
９の１つの特定の実施例が第２図と第３図に示されてい
る。作動ロツド１９は中実体ではなく、代わりに中空管
７０によつて形成されている。前記中空管７０は非磁性
金属でできていてもよく、この場合には、それは少なく
とも磁気誘導流量計の領域において付加的な絶縁層で覆
われており、あるいは、前記中空管は絶縁材料あるいは
抵抗が十分大きな材料、例えば、プラスチツク材料でで
きていてもよい。軟質の磁性材料７１が中空管７０の内
側に配置されているが、これは、弁１７が開いている時
には（第３図参照）、磁気誘導流量計２０の極片６６と
６７との間における活性領域に対応した領域においてし
つかりと保持されている。従つて、軟質の磁性材料７１
は、流量測定の間に、前述したようにうまい影響を生み
出し、これは弁が開いている場合だけのことである。対
照的に、弁１７が閉じた位置にある時（第２図参照）に
は、軟質の磁性材料７１は、磁気誘導流量計２０の活性
領域から部分的にずれている。従つて、磁気誘導流量計
の磁気特性は変化する。この磁気特性の変化は適当な電
子回路によつて検出され、これは作動ロツド１９の移動
を表わす信号を発する。このようにして弁１７の正確な
開閉が監視される。磁気特性の変化は、弁が閉じている
間は流量測定を行なわないので、流量測定にとつて欠点
とはならない。

中空管７０の残り領域は空のままいしておいてもよい
し、または非磁性材料を詰めておいてもよい。

今までに述べた実施例はもちろん多くの修正が可能であ
る。特に、本発明はその用途を充填プラントの計測装置
の弁の操作に限ることはしていない。基本的には、これ
は配管から放出される流体製品の流れが磁気誘導流量計
によつて測定され、またロツド状の作動装置によつて作
動される制御要素によつて影響を受けるようになつてい
る、あらゆる装置に適している。また前記ロツド状の作
動装置は制御装置の作動のために軸線方向に移動させる
必要あない。前述した利点は、ロツド状の作動装置を、
シヤフトの場合のように、単に回転させるだけでも、あ
るいはスクリユースピンドルの場合のように、回転運動
と軸線方向運動との組合わせによつても、得られる。

ロツド状の作動装置の形状に関しても、また多数の可能
性が存在する。純粋な回転運動の場合には不可能である
が、もし移動の監視を省略する場合には、作動ロツド全
体を軟質の磁性材料で中実状にしてもよい。例えばフエ
ライトの場合のように、もしその軟質の磁性材料が十分
多きな抵抗を有しておれば、外側の絶縁層も不要とな
る。

第３図は、弁が開いている時には、充填される製品の代
わりに洗浄液を連結ソケツト３３から導入することによ
つて、装置が全体としてが容易に浄化、消毒可能となつ
ていることを示している。どのような突起部分あるいは
死角のない共軸構造になつているので、浄化液は妨害を
受けないで完全に流れることが可能であり、製品と接触
している全ての表面を洗浄することができる。

第４図は充填ノズル１６の外側を完全に浄化することの
できる取付装置を示している。この目的のために、アダ
プタ８０が充填管１４の下端上に押付けられ、環状溝４
７と係合する止め金８１によつて保持される。アダプタ
８０は充填ノズル１６を取囲んだ室８２と、断面積の小
さくなつた出口８３とを有している。前記出口８３は浄
化液の流れに対して逆圧力を発生し、従つて、浄化液は
室８２に充填されて、充填ノズル１６を十分に洗浄す
る。アダプタ８０の内部環状溝８４にはＯ−リング８５
が挿入され、これはその上端において、室８２をシール
している。

【図面の簡単な説明】

第１図は充填プラントの計測装置の概略図、第２図は弁
が閉じた状態にある第１図の計測装置の詳細図、第３図
は弁が開いた状態にある計測装置の詳細図、第４図は浄
化用取付装置を取付けた計測装置の充填ノズルの図であ
る。 図において １６……出口開口 １７……制御要素（弁） １８……駆動装置 １９……ロツド状の作動装置 ２０……磁気誘導流量計 ５５……計測管 ７１……軟質の磁性材料 ８０……アダプタ ８２……室

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】配管（１４，１５）を通して供給される流
   体製品を監視し、かつ制御する装置であって、該配管内
   における流体製品の流れに作用する制御要素（１７）
   と、この制御要素まで延びている機械的に変位可能な動
   作ロッド（１９）によって該制御要素を作動させる駆動
   ユニット（１８）と、流体製品の流れを計測して該制御
   要素の制御を可能にする計測管（５５）を有する磁気誘
   導量計（２０）を含むような流体製品を監視し、かつ制
   御する装置において、 配管（１４，１５）に関連した駆動ユニット（１８）と
   該配管内に配置された制御要素（１７）との間において
   該配管に配置された整合した磁気誘導流量計（２０）を
   有する配管（１４，１５）を含み、該磁気誘導流量計
   （２０）は該駆動ユニット（１８）に接続された作動ロ
   ッド（１９）を有し、この作動ロッド（１９）は該配管
   内に軸線方向に該磁気誘導流量計（２０）の計測管（５
   ５）を貫通して延び、かつ該制御要素（１７）まで延
   び、かつ該制御要素に接続されていて該制御要素を作動
   させて流体製品の流れに作用することを特徴とする、流
   体製品を監視し、かつ制御する装置。
2. 【請求項２】該作動ロッド（１９）が軸線方向に変位可
   能であって該制御要素を作動させることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項に記載の装置。
3. 【請求項３】該作動ロッド（１９）が回転可能であって
   該制御要素を作動させることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項に記載の装置。
4. 【請求項４】該制御要素が流体製品の流れを制御する弁
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   装置。
5. 【請求項５】容器に流体製品を充填させるための出口開
   口を有する計測ヘッドであることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項に記載の装置。
6. 【請求項６】さらに計測ヘッドの出口開口を清掃し、か
   つ消毒するアダプタ（８０）を含み、このアダプタは計
   測ヘッドの出口開口に関連し、かつ該出口開口に嵌合し
   ており、該アダプタは、計測ヘッドの出口開口を包囲す
   る室（８２）と、該出口開口よりも断面積の小さい出口
   （８３）を有することを特徴とする特許請求の範囲第５
   項に記載の装置。
7. 【請求項７】該配管内の流体製品と接触する該作動ロッ
   ド（１９）の少なくとも一部が絶縁材料の層により表面
   を被覆されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載の装置。
8. 【請求項８】該絶縁材料で被覆された該作動ロッド（１
   ９）の一部が少なくとも磁気誘導流量計（２０）内に延
   びる部分であることを特徴とする特許請求の範囲第７項
   に記載の装置。
9. 【請求項９】磁気誘導流量計（２０）内に延びる該作動
   ロッド（１９）の部分が少なくとも軟質の磁性材料で部
   分的に作られていること特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載の装置。
10. 【請求項１０】該作動ロッド（１９）が該制御要素（１
    ７）を開放位置と閉鎖位置へ作動させるため軸線方向に
    変位可能であり、該軟質の磁性材料が弁の開放位置にお
    いて磁気誘導流量計（２０）が磁気回路の作用区域内へ
    延びる該作動ロッド（１９）の部分に極限されているこ
    と、および該磁気回路の磁気特性における変化に依存し
    た信号を発生して該制御要素（１７）の作動を監視する
    回路が設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
    第９項に記載の装置。
11. 【請求項１１】該作動ロッド（１９）が内部に該軟質の
    磁性材料を収容した管であることを特徴とする特許請求
    の範囲第９項または第１０項に記載の装置。