JPH0653288A - タブテープ及びタブテープの実装方法 - Google Patents
タブテープ及びタブテープの実装方法Info
- Publication number
- JPH0653288A JPH0653288A JP20267692A JP20267692A JPH0653288A JP H0653288 A JPH0653288 A JP H0653288A JP 20267692 A JP20267692 A JP 20267692A JP 20267692 A JP20267692 A JP 20267692A JP H0653288 A JPH0653288 A JP H0653288A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tab
- tab tape
- axis
- tape
- punching
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- Pending
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 タブテープとして運搬荷扱いが現状と変わら
ず、実装方法としては専用の金型を必要としないTAB
テープ及びこのTABテープを用いた実装方法を得る。 【構成】 タブテープ3のタブ(TAB)6を囲繞する
様に不連続なスリット11を設け、連結部(ランド)1
2をポンチプレス14で打ち抜いた後に実装を行なう。
ず、実装方法としては専用の金型を必要としないTAB
テープ及びこのTABテープを用いた実装方法を得る。 【構成】 タブテープ3のタブ(TAB)6を囲繞する
様に不連続なスリット11を設け、連結部(ランド)1
2をポンチプレス14で打ち抜いた後に実装を行なう。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明のタブ(TAB,Tape Aut
omated bonding)テープ及びこのタブテープを用いた実
装方法に係わり、特にタブテープからのタブの打ち抜き
に汎用性を持たせたタブテープ及びこのタブテープを用
いた実装方法に関する。
omated bonding)テープ及びこのタブテープを用いた実
装方法に係わり、特にタブテープからのタブの打ち抜き
に汎用性を持たせたタブテープ及びこのタブテープを用
いた実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、ICの高密度化に伴いTAB実装
技術が広く利用され始めている。従来のワイヤボンディ
ング等では150〜200ピン程度の結線密度が限界と
されていたがTAB実装技術を用いてより多ピン化され
たICに適用が可能となっている。更に薄型実装等にも
対応可能なためVTR一体化カメラ、メモリーカード等
のICに多く利用されている。
技術が広く利用され始めている。従来のワイヤボンディ
ング等では150〜200ピン程度の結線密度が限界と
されていたがTAB実装技術を用いてより多ピン化され
たICに適用が可能となっている。更に薄型実装等にも
対応可能なためVTR一体化カメラ、メモリーカード等
のICに多く利用されている。
【0003】図5及び図6並に図7は従来のTABテー
プ及び分離型TABの構成を示すものである。
プ及び分離型TABの構成を示すものである。
【0004】図5は従来のTABテープの平面図を、図
6はTABテープからTABを打ち抜いた状態を示す平
面図である。一般にTABは半導体素子(ICチップ)
上の電極パットとパッケージのリード或はプリント基板
のパターン等を電気的に一括ボンディングする用語とし
て用いられる。
6はTABテープからTABを打ち抜いた状態を示す平
面図である。一般にTABは半導体素子(ICチップ)
上の電極パットとパッケージのリード或はプリント基板
のパターン等を電気的に一括ボンディングする用語とし
て用いられる。
【0005】本発明では薄型化をめざしたポリイミド樹
脂等のフィルムベース7上にリードパターン2を接着或
は蒸着し、フィルムベース7の両側端にスプロケット孔
用のパーフォレーション4を穿ったフィルムキャリヤ或
はチップICにバンプを形成し、ICチップ1を熱圧着
してTABテープ3と成し、これらTABテープ3に仮
想点線で示した打ち抜きパターン5に沿って図6に示す
様に打ち抜いたTAB6を各種機器に実装する様にした
ものである。
脂等のフィルムベース7上にリードパターン2を接着或
は蒸着し、フィルムベース7の両側端にスプロケット孔
用のパーフォレーション4を穿ったフィルムキャリヤ或
はチップICにバンプを形成し、ICチップ1を熱圧着
してTABテープ3と成し、これらTABテープ3に仮
想点線で示した打ち抜きパターン5に沿って図6に示す
様に打ち抜いたTAB6を各種機器に実装する様にした
ものである。
【0006】実際にこの様なTABはユーザに図5で示
す様なTABテープ3として提供され、ユーザ側が図6
の様にTAB6部分を専用の金型で打ち抜き後のパター
ン8から得られるTABを用いて各種機器に実装する様
に成されている。
す様なTABテープ3として提供され、ユーザ側が図6
の様にTAB6部分を専用の金型で打ち抜き後のパター
ン8から得られるTABを用いて各種機器に実装する様
に成されている。
【0007】更に他のユーザへのTABの提供方法とし
ては分離されたTABを用いる場合もある。この場合
は、図7に示す様に分離されたTAB10をトレー9に
載置して、例えは矢印A方向に移動させながら実装を行
なう様に成されている。
ては分離されたTABを用いる場合もある。この場合
は、図7に示す様に分離されたTAB10をトレー9に
載置して、例えは矢印A方向に移動させながら実装を行
なう様に成されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図7で示した従来構成
の場合は分離されたTAB10をトレー9上に並べる工
程が必要となり、トレー9上に並べる際に裏及び表が混
在する恐れがあり、他の種類の打ち抜かれたTAB10
が混入されても判断が困難であり、更に収納数量が少な
いため多数のトレー9を必要とし、流通費、トレー対応
の設備費がかさみ実装コストが上昇する問題がある。
の場合は分離されたTAB10をトレー9上に並べる工
程が必要となり、トレー9上に並べる際に裏及び表が混
在する恐れがあり、他の種類の打ち抜かれたTAB10
が混入されても判断が困難であり、更に収納数量が少な
いため多数のトレー9を必要とし、流通費、トレー対応
の設備費がかさみ実装コストが上昇する問題がある。
【0009】そこで、実際には図5及び図6で示す様な
TABテープ3上に順次配列されたTAB6を利用する
ことで上述の分離したTABを用いる場合の問題点は解
消出来る。然し、この様なTABテープ3を用いて実装
を行なう場合の問題はTABテープ3にパターンニング
されるリードピン数やICチップの種類に応じて専用の
金型を作製する必要があり、ユーザ側の金型の管理が大
変で金型管理技術も難しい等の問題があった。
TABテープ3上に順次配列されたTAB6を利用する
ことで上述の分離したTABを用いる場合の問題点は解
消出来る。然し、この様なTABテープ3を用いて実装
を行なう場合の問題はTABテープ3にパターンニング
されるリードピン数やICチップの種類に応じて専用の
金型を作製する必要があり、ユーザ側の金型の管理が大
変で金型管理技術も難しい等の問題があった。
【0010】本発明は叙上の問題点を解消するために成
されたものでその目的とするところはTABテープとし
て運搬、荷扱いが現状と変わらず、実装機としては専用
の金型を必要としないTABテープ及びこのTABテー
プの実装方法を提供しようとするものである。
されたものでその目的とするところはTABテープとし
て運搬、荷扱いが現状と変わらず、実装機としては専用
の金型を必要としないTABテープ及びこのTABテー
プの実装方法を提供しようとするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明のTABテープは
その例が図1に示されている様にテープの長手方向に間
歇的に複数の所定のリードパターン2が形成されたフィ
ルムベース7と、このフィルムベース7上の複数のリー
ドパターン2と接合される複数のICチップ1とからな
る複数のタブ6とを具備し、複数のタブ6を囲繞する様
に打ち抜き可能な不連続なスリット11を形成して成る
ことを特徴とするものである。
その例が図1に示されている様にテープの長手方向に間
歇的に複数の所定のリードパターン2が形成されたフィ
ルムベース7と、このフィルムベース7上の複数のリー
ドパターン2と接合される複数のICチップ1とからな
る複数のタブ6とを具備し、複数のタブ6を囲繞する様
に打ち抜き可能な不連続なスリット11を形成して成る
ことを特徴とするものである。
【0012】本発明のTABテープの実装方法はその例
が図1及び図3に示されている様に複数のタブ6をフィ
ルムベース7の長手方向に沿って配列すると共にタブ6
を囲繞する様な不連続のスリット11を設けたタブテー
プ3と、このタブテープ3の不連続のスリット11の非
スリット部12を打ち抜くためのX軸及びY軸ステージ
を有する打ち抜き手段13と、この打ち抜き手段13に
移送されたタブテープ3の不連続のスリット11の非ス
リット部12位置をX軸及びY軸ステージを移動させ、
該X軸及びY軸ステージに配設した打ち抜き手段13で
不連続スリット11の非スリット部12を打ち抜いた後
に、打ち抜かれたタブを所定部品に実装する様にして成
ることを特徴とするものである。
が図1及び図3に示されている様に複数のタブ6をフィ
ルムベース7の長手方向に沿って配列すると共にタブ6
を囲繞する様な不連続のスリット11を設けたタブテー
プ3と、このタブテープ3の不連続のスリット11の非
スリット部12を打ち抜くためのX軸及びY軸ステージ
を有する打ち抜き手段13と、この打ち抜き手段13に
移送されたタブテープ3の不連続のスリット11の非ス
リット部12位置をX軸及びY軸ステージを移動させ、
該X軸及びY軸ステージに配設した打ち抜き手段13で
不連続スリット11の非スリット部12を打ち抜いた後
に、打ち抜かれたタブを所定部品に実装する様にして成
ることを特徴とするものである。
【0013】
【作用】本発明のTABテープはTABを囲繞する様に
不連続なスリットを形成させ、TABとTABテープと
の非スリットの連続部をポンチ等の汎用性の高い打ち抜
き金型で打ち抜く様にした後に得られた打ち抜きTAB
で実装を行なう様にしたので現状と変わらないTABテ
ープが得られると共に異なった種類のTABに対応する
金型を作製する必要がないので一種類の金型作製コスト
が極めて高価(約70〜100万)のものを何種類も作
製する必要が無くなり管理も容易なものが得られる。
不連続なスリットを形成させ、TABとTABテープと
の非スリットの連続部をポンチ等の汎用性の高い打ち抜
き金型で打ち抜く様にした後に得られた打ち抜きTAB
で実装を行なう様にしたので現状と変わらないTABテ
ープが得られると共に異なった種類のTABに対応する
金型を作製する必要がないので一種類の金型作製コスト
が極めて高価(約70〜100万)のものを何種類も作
製する必要が無くなり管理も容易なものが得られる。
【0014】
【実施例】以下、本発明のTABテープ並にこのTAB
テープを用いた実装方法を図1乃至図4について詳記す
る。尚、図5及び図6との対応部分には同一符号を付し
て重複説明を省略する。
テープを用いた実装方法を図1乃至図4について詳記す
る。尚、図5及び図6との対応部分には同一符号を付し
て重複説明を省略する。
【0015】本例では図5及び図6に示すと同様のTA
Bテープ3が用いられ、ポリイミド樹脂等のフィルムベ
ース7を製作するフィルム材料メーカでスプロケット用
のパーフォレーション4並に本発明の要旨であるTAB
6を囲繞する様に不連続な打ち抜きスリット11を形成
するか、このフィルムを購入したリードパターンを加工
するフィルム加工メーカ又はフィルムベース上にICチ
ップ1を圧着するボンディングメーカがこの不連続なス
リット11を打ち抜く様にしてもよいが、ボンディング
メーカ等がICチップ1をベースフィルム7に圧着後に
スリット11の加工を施すことが最も好ましい。
Bテープ3が用いられ、ポリイミド樹脂等のフィルムベ
ース7を製作するフィルム材料メーカでスプロケット用
のパーフォレーション4並に本発明の要旨であるTAB
6を囲繞する様に不連続な打ち抜きスリット11を形成
するか、このフィルムを購入したリードパターンを加工
するフィルム加工メーカ又はフィルムベース上にICチ
ップ1を圧着するボンディングメーカがこの不連続なス
リット11を打ち抜く様にしてもよいが、ボンディング
メーカ等がICチップ1をベースフィルム7に圧着後に
スリット11の加工を施すことが最も好ましい。
【0016】又、本例ではICチップ上にAuバンブを
設けても、或はフィルムベース7にリードパターン2を
形成する際にバンブを形成してICチップ1を圧接する
様にしてもよい。
設けても、或はフィルムベース7にリードパターン2を
形成する際にバンブを形成してICチップ1を圧接する
様にしてもよい。
【0017】即ち、ICチップ1にバンブを形成するか
フィルムベース7上に銅等をエッチングし、高密度、高
精密加工したインナリード上にバンブを形成して、IC
チップ1とインナリードを接合したTAB6の周囲を囲
繞する様にICの種類に応じた打ち抜きパターン5に沿
って不連続スリット11が形成される。
フィルムベース7上に銅等をエッチングし、高密度、高
精密加工したインナリード上にバンブを形成して、IC
チップ1とインナリードを接合したTAB6の周囲を囲
繞する様にICの種類に応じた打ち抜きパターン5に沿
って不連続スリット11が形成される。
【0018】この不連続スリット11,11‥‥間に形
成されるTAB6とフィルムベース7との非スリットの
連結部(以下ランドと記す)12,12‥‥はICチッ
プ1のボンディング後に或はモールド工程後もフィルム
ベース7のテープ面に対して傾きが発生しない様にバラ
ンスされた位置に設けられると共に、このランドの大き
さは汎用性の大きいポンチの打ち抜き直径以下に選択さ
れる。
成されるTAB6とフィルムベース7との非スリットの
連結部(以下ランドと記す)12,12‥‥はICチッ
プ1のボンディング後に或はモールド工程後もフィルム
ベース7のテープ面に対して傾きが発生しない様にバラ
ンスされた位置に設けられると共に、このランドの大き
さは汎用性の大きいポンチの打ち抜き直径以下に選択さ
れる。
【0019】この様にTAB6の周辺に不連続な打ち抜
きスリット11の形成されたTABテープ3はリール又
はカセットに巻回され、所定の部品に実装される前に図
3に示す様なX及びY軸ステージを有するX−Y打ち抜
き装置に搬送される。
きスリット11の形成されたTABテープ3はリール又
はカセットに巻回され、所定の部品に実装される前に図
3に示す様なX及びY軸ステージを有するX−Y打ち抜
き装置に搬送される。
【0020】図3A及び図3BはX−Y打ち抜き装置1
3のプレス台に移送されたTABテープ3に対しX軸及
びY軸方向(TABテープの長手方向及び幅方向)に自
由に移送可能なポンチプレス14でランド12を打ち抜
く状態を示すX−Y打ち抜き装置の正面及び側面図を示
すものである。
3のプレス台に移送されたTABテープ3に対しX軸及
びY軸方向(TABテープの長手方向及び幅方向)に自
由に移送可能なポンチプレス14でランド12を打ち抜
く状態を示すX−Y打ち抜き装置の正面及び側面図を示
すものである。
【0021】図3A及び図3Bで15は板状の略々正方
形状のベースを示し、該ベース15上にはXステージ2
1をX軸方向に移動させるためにベース15と平行に軸
受17,18間に軸19が橋絡され、X軸駆動モータ2
0によってX軸ステージ21は軸19に沿って軸長のX
軸方向に移動可能と成されている。
形状のベースを示し、該ベース15上にはXステージ2
1をX軸方向に移動させるためにベース15と平行に軸
受17,18間に軸19が橋絡され、X軸駆動モータ2
0によってX軸ステージ21は軸19に沿って軸長のX
軸方向に移動可能と成されている。
【0022】即ち、ステージ21は軸19に摺動自在に
遊嵌されている。又、このX軸ステージ21上には図3
Bに示す様にY軸ステージ22をY軸方向に移動させる
ためにX軸ステージ21と平行に軸受け23,24間に
軸25が橋絡され、Y軸駆動モータ26によってY軸ス
テージ22は軸25に沿って軸長のY軸方向に移動可能
と成されている。
遊嵌されている。又、このX軸ステージ21上には図3
Bに示す様にY軸ステージ22をY軸方向に移動させる
ためにX軸ステージ21と平行に軸受け23,24間に
軸25が橋絡され、Y軸駆動モータ26によってY軸ス
テージ22は軸25に沿って軸長のY軸方向に移動可能
と成されている。
【0023】Y軸ステージ22上にはプレス台27が固
定されて、X及びY軸方向に摺動可能に成されている。
プレス台27は固定台27aと可動台27bより成り、
固定台27aと可能台27b間に移送されたTABテー
プ3は可動台27bに配設したポンチプレス14によっ
てランド12を順次打ち抜く様に構成されている。
定されて、X及びY軸方向に摺動可能に成されている。
プレス台27は固定台27aと可動台27bより成り、
固定台27aと可能台27b間に移送されたTABテー
プ3は可動台27bに配設したポンチプレス14によっ
てランド12を順次打ち抜く様に構成されている。
【0024】即ち、可動台27bに穿った透孔28には
図4に示す様な打ち抜き用のポンチプレス14が摺動可
能に嵌挿され、コイルバネ29によってポンチプレス1
4は上方に偏倚されている。
図4に示す様な打ち抜き用のポンチプレス14が摺動可
能に嵌挿され、コイルバネ29によってポンチプレス1
4は上方に偏倚されている。
【0025】ポンチプレス14は例えば図4Aの側面図
及び図4Bの正面図に示す様に、略々円筒状に形成さ
れ、可動台27bに穿った透孔28に遊嵌される主軸部
14aとフランジ部14b並にランド12を打ち抜くた
めの略々円柱状の雄金型となるポンチ部14cより構成
されている。固定台27aにはこのポンチ部14cが挿
入可能な雌金型となる透孔30が穿たれている。
及び図4Bの正面図に示す様に、略々円筒状に形成さ
れ、可動台27bに穿った透孔28に遊嵌される主軸部
14aとフランジ部14b並にランド12を打ち抜くた
めの略々円柱状の雄金型となるポンチ部14cより構成
されている。固定台27aにはこのポンチ部14cが挿
入可能な雌金型となる透孔30が穿たれている。
【0026】上述の如きX−Y打ち抜き装置13に移送
されたTABテープ3のランド12は例えば図2に示す
様に12a,12b,12c,12d,12e,12f
の順序でポンチプレス14でプレスされて打ち抜かれ
る。
されたTABテープ3のランド12は例えば図2に示す
様に12a,12b,12c,12d,12e,12f
の順序でポンチプレス14でプレスされて打ち抜かれ
る。
【0027】即ち、図示されないパターン認識用のセン
サ等でランド12a,12b‥‥12f位置のX及びY
軸位置が検出され、X及びY軸用の駆動モータ20及び
26を駆動し、X及びY軸ステージ上のポンチ部14c
の中心を始めはTABテープ3のランド12aの中心位
置に持ち来たし、図3A及びB図示のポンチプレス14
をP方向に降下させて、プレスする。次にこの様なX及
びY軸方向の位置検出及びX及びY軸ステージの移動並
にプレスを順次、ランド12b,12c‥‥12fと行
なうことで打ち抜き後のパターン8に示す様にTAB6
はフィルムベース7から打ち抜かれる。
サ等でランド12a,12b‥‥12f位置のX及びY
軸位置が検出され、X及びY軸用の駆動モータ20及び
26を駆動し、X及びY軸ステージ上のポンチ部14c
の中心を始めはTABテープ3のランド12aの中心位
置に持ち来たし、図3A及びB図示のポンチプレス14
をP方向に降下させて、プレスする。次にこの様なX及
びY軸方向の位置検出及びX及びY軸ステージの移動並
にプレスを順次、ランド12b,12c‥‥12fと行
なうことで打ち抜き後のパターン8に示す様にTAB6
はフィルムベース7から打ち抜かれる。
【0028】この様に打ち抜かれたTAB6は実装用の
実装機に送られて各種機器に実装される。
実装機に送られて各種機器に実装される。
【0029】尚、ランドの打ち抜き順序は図2で12
a,12b‥‥12fとX軸方向に行なった後にY軸方
向に移動させたが、Y軸方向の12a,12d,12
b,12e,12c,12fとすることも出来る。これ
らは打ち抜きパターンの形状に応じて適宜定められる。
a,12b‥‥12fとX軸方向に行なった後にY軸方
向に移動させたが、Y軸方向の12a,12d,12
b,12e,12c,12fとすることも出来る。これ
らは打ち抜きパターンの形状に応じて適宜定められる。
【0030】更に上述の実施例ではTABを囲繞する不
連続なスリットについて説明したが、このスリット部分
をミシン目状にすることも、或はランド部分をミシン目
状とし、スリットとミシン目の組合せとする様にしても
よい。
連続なスリットについて説明したが、このスリット部分
をミシン目状にすることも、或はランド部分をミシン目
状とし、スリットとミシン目の組合せとする様にしても
よい。
【0031】本発明のTABテープ並にTABテープを
用いた実装方法によれば運搬は現状のTABテープと変
わらずに荷扱いが簡単で、金型としてはTABテープに
応じてパターン形状の変わる高価な金型を作製する必要
がなく、すべてのTABテープに適用可能で汎用性に富
んだポンチプレス装置を用いることが出来るので、実装
機でのTABテープ供給機の簡素化や実装精度の簡素化
が図れ歩留も向上するものが得られる。
用いた実装方法によれば運搬は現状のTABテープと変
わらずに荷扱いが簡単で、金型としてはTABテープに
応じてパターン形状の変わる高価な金型を作製する必要
がなく、すべてのTABテープに適用可能で汎用性に富
んだポンチプレス装置を用いることが出来るので、実装
機でのTABテープ供給機の簡素化や実装精度の簡素化
が図れ歩留も向上するものが得られる。
【0032】
【発明の効果】本発明のTABテープ及びTABテープ
の実装方法によれば、TABテープとしは運搬荷扱いが
現状と変わらず、実装方法としては専用の金型を必要と
しないものが得られる。
の実装方法によれば、TABテープとしは運搬荷扱いが
現状と変わらず、実装方法としては専用の金型を必要と
しないものが得られる。
【図1】本発明のTABテープの一実施例を示す平面図
である。
である。
【図2】本発明のTABテープのTAB打ち抜き後の平
面図である。
面図である。
【図3】本発明のTABテープ打ち抜き装置の正面及び
側面図である。
側面図である。
【図4】本発明のTABテープ打ち抜き装置に用いるポ
ンチプレスの一実施例を示す側面及び正面図である。
ンチプレスの一実施例を示す側面及び正面図である。
【図5】従来のTABテープの平面図である。
【図6】従来のTABテープの打ち抜き後の平面図であ
る。
る。
【図7】従来の分離型TABの平面図である。
1 ICチップ 2 リードパターン 3 TABテープ 4 パーフォレーション 6 TAB 11 不連続スリット 12 連結部(ランド) 14 ポンチプレス 14c ポンチ部
Claims (2)
- 【請求項1】 テープの長手方向に間歇的に複数の所定
のリードパターンが形成されたフィルムベースと、 上記フィルムベース上の複数のリードパターンと接合さ
れる複数のICチップとからなる複数のタブとを具備
し、 上記複数のタブを囲繞する様に打ち抜き可能な不連続な
スリットを形成して成ることを特徴とするタブテープ。 - 【請求項2】 複数のタブをフィルムベースの長手方向
に沿って配列すると共に該タブを囲繞する様な不連続の
スリットを設けたタブテープと、 上記タブテープの不連続のスリットの非スリット部を打
ち抜くためのX軸及びY軸ステージを有する打ち抜き手
段と、 上記打ち抜き手段に移送された上記タブテープの上記不
連続のスリットの非スリット部位置を上記X軸及びY軸
ステージを移動させ、該X軸及びY軸ステージに配設し
た上記打ち抜き手段で上記不連続スリットの非スリット
部分を打ち抜いた後に、打ち抜かれたタブを所定部品に
実装する様にして成ることを特徴とするタブテープの実
装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20267692A JPH0653288A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | タブテープ及びタブテープの実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20267692A JPH0653288A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | タブテープ及びタブテープの実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0653288A true JPH0653288A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16461312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20267692A Pending JPH0653288A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | タブテープ及びタブテープの実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0653288A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6911725B2 (en) | 2001-09-27 | 2005-06-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Film substrate, semiconductor device, method of manufacturing film substrate, method of manufacturing semiconductor device and method of manufacturing circuit board with semiconductor device |
-
1992
- 1992-07-29 JP JP20267692A patent/JPH0653288A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6911725B2 (en) | 2001-09-27 | 2005-06-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Film substrate, semiconductor device, method of manufacturing film substrate, method of manufacturing semiconductor device and method of manufacturing circuit board with semiconductor device |
KR100550171B1 (ko) * | 2001-09-27 | 2006-02-10 | 가부시끼가이샤 도시바 | 필름 기판, 반도체 장치, 필름 기판의 제조 방법, 및반도체 장치를 갖는 회로 기판의 제조 방법 |
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