JPH06510142A

JPH06510142A - 光ファイバーの中心を所定基準軸線に沿って位置決めする装置

Info

Publication number: JPH06510142A
Application number: JP5505365A
Authority: JP
Inventors: ジョンソン，メルビン，ハリー; リー，ジェラルド，デイナ; ウィリス，フランク，マースデン
Original assignee: イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー
Priority date: 1991-08-30
Filing date: 1992-08-28
Publication date: 1994-11-10
Also published as: EP0608298A1; WO1993005415A1; EP0608298A4; AU2689492A; CA2116668A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

光ファイバーの中心を所定基準軸線に沿って位置決めする装置に　゛のクロス嘗ファレンス本出願は、１９９０年１２月２０日に出願された出願番号０７／６３１．２６２の出願（ＥＤ−３７７−Ｂ）の一部継続出願であり、この一部継続出願は、１９８９年８月２日に出願された出願番号０７／３８８．５４６の出願（ＥＤ−３７７）　（現在は、放棄されている）の継続出願である。ここに開示されている内容は、ここに同時に出願された出願番号０７／７５３．２５５、発明の名称“所定の基準軸線に沿って光ファイバーの中心を位置決めする装置を有する光ファイバー連結具”）である同時継続中の出願（ＥＤ−３７７ −Ｄ）において開示され、特許請求の範囲に記載されている。この出願は、１９９０年１２月１７日に出願された出願番号０７／６２８．００１の同時継続中の出願（ＥＤ−３７７−Ａ）の一部継続出願であり、この一部継続出願は、１９８９年８月２日に出願された出願番号０７／３８８．５４６の分割出願（ＥＤ−３７７１である（現在は、放棄されている）。ここに開示されている内容もまた、同時に出願された出願番号０７／７５３．２８３、発明の名称“関係づけられ位置決めされた光ファイバーを有すオブトエレクトロニクコンポーネント”である同時継続中の出願（ＥＤ−３７８−Ａ）において開示されている。この出願は、１９８９年８月２日に出願された出願番号０７／３８８．５４８（７）同時継続中の出願（ＥＤ−３７８１の一部継続出願である。なお、本明細書の記述は本件出願の優先権の基礎たる米国特許出願第０７／７５３．２７７号（１９９１年８月３０日出願）の明細書の記載に基づくものであって、当該米国特許出願の番号を参照することによって当該米国特許出願の明細書の記載内容が本明細書の一部分を構成するものとする。及旦Ａどｌ旦兄ＪしＹ野本発明は、光ファイバーまたは毛管のようなその他の小寸法の筒状部材の中心を、部材の外径の変動とは無関係に所定の基準軸線に沿って位置決めする位置決め装置に関する。支米閥盃立盈」ファイバーの中心軸を基準軸線に関して位置決めするように光ファイバーを位置決めするための装置は知られている。かかる装置に使用される典型的な手段は、基板材に形成された一般にＶ型の溝であり、これは位置決めされるファイバーを受け入れるクレードルとして作用する。かかる装置の典型が米国特許第４７５６５９１号（フィッシャー他）に示され、これにおいては■溝はシリコン基板に形成され、弾性部材がファイバーに押し付けられこれを溝の中に保持する。溝は装置内でファイバーのジャケットを保持するように、より深い溝部分を形成するように段付きにすることができる。米国特許第４７５６５９１号（シーム）は、交差している、１対の■溝を有する溝付きのシリコン基板を開示する。位置決めされるファイバーは溝の一方に配され、同時に他方の溝にはシムが配される。シムはテーパーまたは偏心したファイバーの形を取ることができ、これが第１のファイバーの下で滑らされまたは回転させられたとき、その軸が基準軸線と一致するように第１のファイバーを持ち上げるように作用する。第１のファイバーの適正位置への把持を確実にするために基板上にカバーを置くことができる。米国特許第４８０２７２７号（スタンレイ）もＶ溝構造を利用した光学要素用および導波管用の位置決め用の装置を開示する。米国特許第４８２６２７２号（ビムビネラ他）および米国特許第４８３０４５０号（コーネル他）は、円錐台状の貫通孔を有する部材を利用した位置決め用の配置を開示する。単結晶シリコンは、シリコン結晶が正確に結晶面に沿ってエツチング（腐食）され、従って写真石版式微細加工技術により正確な溝または構造的特徴を形成するので上述の装置に最適の素材であると信じられる。エツチングは、選定された結晶面に対して隣接面とは異なった度合で作用し、所要の正確な制御ができる。実際上、■溝は管理された幅と先の平らになった深さに腐食できる。成る条件下では、■溝は自己限定作業で腐食することができる。写真式微細加工方法は一般にプロディーおよびミュレイの「ザ・フィジックス・オブ・マイクロッアプリケーション　（ＴｈｅＰｈｙｓｉｃｓ　ｏｆ　Ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ）Ｊ　（１９８２）、ブレナム出版社、ニューヨークに説明される。光ファイバーは、小屈折率の被覆層で囲まれた所定屈折率を持つ内部コアを備える。内部コアは光エネルギーの案内される媒体であり、一方、被覆層はコアと屈折率境界を定める。ファイバーの外径は所定呼び寸法を中心として寸法の変動がありうる。例えば、同一製造業者からの呼び寸法が同じ２個のファイバーは、外径がプラスまたはマイナスで４ａｍの大きさで変わりつる。ファイバー間の外径のこの変動は、■溝構造を有する位置決め装置を用いての所定基準軸線に関するファイバーのコアの中心軸線の正確な位置決めを困難とする。以上の見地より、ファイバーまたはその他の（毛管のような）小寸法の長くて一般に円筒状の部材の中心を正確に位置決めする位置決め装置を構成するように、結晶材に正確な構造、通路および／または面を形成するには、微細加工技術の能力を使用することが有利であると信じられる。さらに、大きな熟練度、高価な装置、および多くの整合手順を要することなくファイバーまたはその他の円筒状部材の所定点を基準軸線と一貫して揃える位置決め装置を提供することが有利と信じられる。１１立盟１本発明は、光ファイバーのような円筒状部材の端部面における幾何学的中心のような所定の点を所定の基準軸線に沿って位置決めする位置決め装置に関する。好ましい事例においては、位置決め装置は第１および第２のアームを有し、その各々は、中に溝を定めるように共同作用する第１および第２の側壁を持つ。好ましくは、各アームの溝は先狭の溝であり、アームが重ねられて配されたとき、先狭の溝はその長さの少なくとも所定の部分に亙り漏斗状のチャンネルを形成するように共同作用する。チャンネルは入り口端と出口端、およびこれらの間を延びる基準軸線を持つ。ファイバーの軸線が基準軸線から離れた状態でチャンネルの入り口端に導入されたファイバーは、一方のアームの少なくとも一方の側壁との接触により、部材の端面の所定点が基準軸線と揃うように置かれ、第１および第２のアームとの接触によりここに保持されるように変位できる。ファイバーをチャンネルの入り口に向かって案内するため、第１および第２のアームの各々は、その中にトラフを有し、各トラフはアームの溝の後方に所定距離でアーム上に配置され、従って、閉鎖位置においてトラフは案内路を定めるように共同作用する。先狭の溝を有するアームは、好まれるように、第１の、閉鎖位置から第２の、センタリング位置に可動とすることができる。このとき、重ねられたアームは基台に片持ち梁状に取り付けられる。アームの各々を実質的に等しくかつ方向が反対の偏倚力で第１の位置の方に付勢する手段が設けられる。好ましい実施例においては、付勢手段は第１および第２のアームの各々に厚さの薄い部分を備え、この薄い部分は、各アームが円筒状部材との接触により撓んだとき、各アームを閉鎖位置に向けて押す力を各アームに発生する曲がり部を形成する。 λアームが可動でありかつ閉鎖位置の方に偏倚される限り、これに形成された溝が先狭の溝であることは必要でないことを理解すべきである。従って、アームが可動であるが各アームの溝が先狭の溝でない形を持ったその他の位置決め装置が本発明の企図内にあるとして構成可能である。簡潔に言えば、本発明は、各アームの溝が先狭の溝の形であってもあるいは別の形の溝であっても、アームの可動ないかなる位置決め装置も包含する。あるいは、本発明は、アームが互いに可動かまたは固定かのいずれでも、各アームの溝が先狭の形であるいかなる位置決め装置も含む。別の態様においては、本発明は向かい合った１対の位置決め装置より形成されるファイバ一対ファイバ一連結具に関する。かかる連結具は、好ましい例では、ハウジング内に配置されている。いかなる実施例においても、位置決め装置は、微細加工技術を使用して、単結晶シリコンのような結晶材で作られることが好ましい。位置決め装置の各構造要素（すなわち、各アームおよび各基台）はシリコンウェーハの固まりに作られる。仕上げられたウェーハは整列され、重ねられ、さらに接合され、接合ウェーへの仕上げられた組立体から、結果の位置決め装置の各々が切断される。重ねられたウェーハの整列は、ウェーハの各の複数の整列用の溝のうちの選定されたもの、および組み合わせられた正確な直径のファイバーの使用により確実化される。最も好ましい実施例では、２つのアームの各々は溝の僅かな不整列を補償すべく、２つの部分すなわちフィンガーに分割されている。区１ヱ１４皇３」夏服本発明は、本出願の一部を形成する添付図面を参照しつつ行なわれる以下の詳細な説明よりさらに完全に理解されるであろう。第１図は所定の基準軸線に関し光フアイバ一端面の所定点を位置決めするための本発明による位置決め装置の分解斜視図である。第１Ａはこの出願で使用される用語としての先狭の溝の特性を図示する定義図である。第２図は完全に組み立てられた状態の第１図の位置決め装置の斜視図である。第３図は第２図の線３−３に沿って得られた第１図および第２図の組み立てられた位置決め装置の正面図である。第４図は線４−４に沿って得られた第２図の組み立てられた位置決め装置の立話面図であり、この図においては内部の先が平らにされたＶ溝を示す。第４Ａ図は第４図と一般に同様な図であり、これにおいては位置決め装置には完全な■溝が形成され、一方、第４Ｂ図は第４図と一般に第４図と同様な図であり、これにおいては完全な■溝と先の平らにされた■溝の双方が形成されている。第５図は溝の中心軸と案内路の中心軸との関係を示す第１図の位置決め装置のアームの一方の平面図である。第６Ａ図と第６Ｂ図、第７Ａ図と第７Ｂ図、および第８Ａ図と第８Ｂ図は、第１図および第２図に示された位置決め装置のアームに配されたクリップの、内部への光ファイバーの導入に応じた作用を示す図解的な立面図および端面図である。第９図および第１０図は、アームが先狭でない溝を有しかつアームが一つの軸にのみ沿い互いに関節式に動きつる本発明による位置決め装置の別の実施例の、第１図および第２図と一般に同様な分解斜視図および組立て斜視図である。第１１図および第１２図は第１０図の線１１−１１および１２−１２において得られた断面図である。第１３図および第１４図は、一方のアームのみが先狭でない溝を有しかつ両方のアームが互いに関節式に動きつる本発明による位置決め装置のなお別の実施例の、第１図および第２図と一般に同様な分解斜視図および組立て斜視図である。第１５図および第１６図は第１４図の線１５−１５および１６−１６に沿って得られた断面図である。第１７図および第１８図はアームが先狭の溝を有しかつアームが互いに固定された本発明による位置決め装置の別の実施例の、第１図および第２図と一般に同様な分解斜視図および組立て斜視図である。第１９図は第１８図の線１９−１９に沿って得られた断面図である。第２０図は第１８図に示された本発明の別の実施例による位置決め装置の溝の中のファイバーの位置を示す、第１８図の線２０−２０に沿って得られた側面断面図である。第２１図は本発明によるファイバ一対ファイバ一連結具を形成する第１図に示されたような位置決め装置の対を示す分解等角図であり、一方、第２２図は完全に組み立てられた第２１図の連結具の等角図である。第２３図および第２４図は、それぞれ、本発明によるファイバ一対ファイバ一連結具の形成に使用される第１７図に示されたような本発明の実施例による位置決め装置の対の平面断面図および側面断面図である。第２５図および第２６図は、それぞれ、開放位置および部分的閉鎖位置にある第２１図および第２２図に示されたファイバ一対ファイバ一連結具に使用されるハウジングの等角図であり、一方、第２７図は第２６図の切断線２７−２７に沿って得られた完全閉鎖位置における第２５図のハウジングの断面図である。第２８図は第２４図に示されたファイバ一対ファイバ一連結具に使用されるハウジングの第２７図と一般に同様な断面図である。第２９図は位置決め装置の対で形成されたファイバ一対ファイバ一連結具用の別のハウジングの等角図である。第３０図および第３１図は、それぞれ、表面取り付けされた端面発光動作デバイスの中心軸線に関し光ファイバーを位置決めするために、本発明による位置決め装置の使用を示す等角分解図および等角組立図である。第３１Ａ図は、オブトエレクトロニクコンポーネントに関してレンズを位置決めする本発明による位置決め装置を示す、一般に第３１図と同様な側面立面図である。第３２図および第３３図は、それぞれ位置決め装置の端部に取り付けられた表面動作デバイスを有するデバイスの中心軸線に関して光ファイバーを位置決めするための本発明による位置決め装置の使用を示す、第３０図および第３１図と一般的に同様な等角分解図および組立図である。第３４Ａ図ないし第３４Ｆ図は本発明により少な（とも３つの接触点に沿い筒状部材を保持している可動アームの代替的配列を示す端面図である。第３５図は所定の基準軸線に関し光フアイバ一端面の中心点を位置決めする本発明の他の実施例による関節的に動き得る４つのアームの１組を有する位置決め装置の斜視図であり、取付台が省略されている。第３６Ａ図および第３６Ｂ図は第３５図の位置決め装置のフィンガーのうち２つの分離された斜視図である。第３７図は第３５図の組立てられた位置決め装置の側室面図である。第３８図および第３９図は第３７図の線３８−３８および線３９−３９に沿ってそれぞれ得られた、第３７図の組立てられた位置決め装置の断面図である。第４０図は第３７図の線４０−４０に沿って得られた第３７図の位置決め装置の上面図である。第４１図および第４２図はファイバーを中心位置に保持するフィンガーを備えた組立てられた位置決め装置の側室面図および正立面図であり、位置決め装置の取付台は省略されている。第４３図はフィンガ一対が誤整列されたときの状況を図解する第４２図と同様の正立面図であり、一方、第４４図は中心位置でフィンガーを保持する誤整列されたフィンガ一対を図解する図である。第４５図は第３５図の位置決め装置を含み、さらにそれから後方に配置されたクランプを含む強化された位置決め装置の斜視図であり位置決め装置の取付台は省略されている。第４６図は本発明による位置決め装置に使用される複数のアームまたは基台の製造に使用されるウェーハの斜視図である。第４７図は本発明による位置決め装置用の複数のアームまたは基台を製造する写真石版的処理に使用されるマスクの斜視図である。第４８図はウェーハ３４上に複数のアームを作るために使用されるマスクの一部の拡大図である。第４９Ａ図ないし第４９Ｅ図はウェーハ製造中に行なわれる処理ステップの図式的表現である。第５０図はウェーハ上にはんだマスクを作るために使用されるマスクの一部の拡大図である。第５１図はウェーハ上に基台を作るに使用されるマスクの一部の拡大図である。第５２Ａ図ないし第５２Ｄ図は、アームおよび基材を有する重ねられたウェーハからの複数のファイバ一対ファイバ一連結具の形成に使用されるステップの図式的表現である。日の・　な！日以下の詳細な説明を通して、同様な番号が総ての図面の同様な要素に対して付けられる。大まかな全体像の目的のために、第１図および第２図は本発明の一実施例による位置決め装置を総じて参照符号２０によって、分解された、および完全に組み立てられた状態で示している。第９図ないし第１２図は本発明の他の実施例による位置決め装置を総じて参照番号２０’によって示しており、一方、第１３図ないし第１６図および第１７図ないし第２０図は本発明によるさらに他の実施例２０ ”、２０”をそれぞれ示している。第３４Ａ図ないし第３４Ｃ図はまた別の実施例（３つのアームを有する）の位置決め装置２０４を示している。第３４０図ないし第４５図は本発明によるさらに別の実施例の位置決め装置２０’を示し、これにおいては、上側および下側のアームが上側および下側のアームセグメント、すなわち、フィンガーの対に細分されている。この出願を通して、位置決め装置は光ファイバーの位置決め用として説明されているが、本発明は小さな径の筒状対象物の形態を有する他の部材にも有効に利用され得ることが理解されるべきである。限定でなく例示として、本発明による位置決め装置は、例えばマイクロチューブないしは毛管の長さ方向の端面に配置された点を位置決めするのに用いられ得る。小さな径とは一般に０．０４インチ（１ｍｍ）より小さく、しかし通常は０．０２０インチ（０，５ｍ＋ｎ）より小さい。さらに、円筒状という用語は完全に円形の外側輪郭を有する対象物に厳密に限定されず、その外側形状がその中心軸線に対称である全ての対称物にも適用されるということも理解されるべきである。かくて、再度、限定でな（例示として、本発明の位置決め装置は、例えば多角形状部材または楕円状部材の端面に配置された点を位置決めするのに用いられ得る。ここに展開されるように、好ましい例では、本発明による位置決め装置の各々は単結晶シリコンあるいは他の差別的にエツチング可能な単結晶材から微細加工される。結晶材は、差別的エツチングの工程を用いる本発明による位置決め装置の構造的特徴の正確な形成を許容するので、好ましい。ここで開示される位置決め装置はいずれも、ファイバーの中心点、典型的にはファイバーの端面の中心軸線点を所定の基準軸線に整列するよう正確に置く、すなわち、正確に位置決めし、かつ、中心点を基準軸線との整列状態に維持するのに有効である。後述のように、この基準軸それ自身は他の軸線に関し同軸的に整列され得る。中心点を所定の基準軸線に整列するよう正確に買く、すなわち、正確に位置決めするとは、端面の点のようなファイバーの点が基準軸線から所定の距離内にもたらされることを意味する。この距離は、一般にマルチモードファイバーに対しては、数ミクロン（μｍ）のオーダー（すなわち、約５ミクロン（μｍ）より小さい）である。シングルモードの光ファイバーの場合には、本発明による位置決め装置はファイバーの端面上の点のようなファイバーの点を、シングルモードファイバーから他のファイバーあるいは光電装置に効果的に光結合するため、またはソリッドステートレーザとしての光源からファイバーに効果的に光り結合するために要求される正確な距離内に位置決めするために特に適合されている。この正確な距離はマルチモードファイバー用よりも、比べうる結合損失のため、に小さい。本発明による位置決め装置はまた、基準軸線に関しマルチモードファイバーの端面上の点を位置決めするためにも適合されている。ファイバーは、その端面上の点が基準軸線へ整列する正確な位置決めを得るためには、その端面において位置決め装置によって保持される必要はない。実際には、位置決め装置は端面から所定の近接距離（２００ミクロン（μｍ）のオーダー）でファイバーに接触する。端面から後方の位置でファイバーに接触することは、ファイバーの端面を、対峙しているファイバーの端面に（コネクタ内のように）当接させる、あるいはファイバーの端面を装置の対峙している面に（光電部品内のように）当接させる能力を与える。ある例では、ファイバーの端面上の点を所定の軸線に関して整列させてさらに正確に置くこと、すなわち、さらに正確に位置決めすることを許容するために、強化された位置決め装置が設けられ得る。この目的のために、第１の位置決め装置から後方に離間された第２の位置決め装置が、ファイバーのための整列用クランプとして機能すべく用いられ得る。この装置は第４５図に示されている。強化された位置決め装置を用いると、ファイバーの端面上の中心点は所定の基準軸線に整列されて正確に位置決めされ得、そして、中心点は基準軸線から１ミクロン（ μｌ１１）より小さい距離内に存する。前記から明らかでないなら、本発明による位置決め装置は、ファイバーの中心軸線上の他のいがなる点も所定の軸線に整列して正確に置く、すなわち、正確に位置決めするために用いられ得ると言うこともまた理解されるべきである。注意したように、筒状部材は好ましくは光ファイバーの形態を採る。本発明の位置決め装置は、光ファイバーＦの端面Ｒ上の所定の点Ｐを所定の基準軸線Ｒに沿って置くように特に適合されている。実際には。点Ｐは幾何学的中心であり、ファイバーＦのコアＣ（例えば、第６Ａ図、第６Ｂ図、第４１図および第４２図）の軸線上Ａに存在する。コアＣはそれ自体外側の被覆層りによって取り囲まれている。ジャケットＪが被覆層りの回りに設けられているが、しかし、これはファイバーＦの位置決め装置２０への挿入の前にファイバーから剥ぎ取られる。ジャケットは１層より多（の眉を備えてもよい。前にも述べたように、ファイバーＦの被覆層りの外径り寸法は、ファイバー毎に変わり得る。典型的には、このファイバー毎の径の変化は３ミクロン（μｍ）のオーダーである。かかる状況が、従来の位置決め装置を用いて基準軸線Ｒに沿って点Ｐを位置決めすることを困難にしている。第１図および第２図を参照するに、そこに示されている位置決め装置２０の実施例は第１のアーム２２Ａおよび第２のアーム２２Ｂを備えることがわかる。好ましくは、アーム２２Ａ、　２２Ｂの各々が以下に説明される方法で同一な形に作られる。従って、一方のアームだけ、例えばアーム２２Ａの構造の詳細が説明されるであろう。しかし、アーム２２Ａの各構造上細部は、他方のアーム２２Ｂに対応するものが見出されることは明らかであろう。従って、適切なアルファベットの添字を持った対応番号が、アーム２２Ｂの対応構造の詳細を示すであろう。もしく例えば、第１３図ないし第１６図および第４２図の実施例におけるように）アームが実質的に同じでない場合は、基準軸線Ｒ上に点Ｐを維持するために所要の付勢力をもたらす調整をしなければならない。アーム２２Ａは、第１の主面２６Ａと反対側の第２の主面２８Ａとを持つベース部分２４Ａを備える。ベース部分２４Ａはアーム２２Ａの全長に沿って延び、ベース部分２４Ａの中心領域２５Ａの寸法がアーム２２Ａの基本寸法を定める。一般に番号３０Ａで示されたクリップがアーム２２Ａの第１の端部に定められる。クリップ３０Ａは、アーム２２Ａの第１の面２６Ａ上にある比較的厚い受け台（ａｂｕｔｍｅｎｔ）部分３２Ａに形成される。受は台３２Ａはその上に好ましくは第１の主面２６Ａと平行な平坦面３４Ａを持つ。持っている物理的寸法に就いての感覚を与えるために説明すれば、アーム２２Ａは全長約２８００μｍ、幅は、約３５０μｍ、のオーダーである。中央領域２５Ａにおいては、アーム２２Ａは厚さ約５０μｍ、であり、またアーム２２Ａのその他の部分は厚さ約１２５μ ｍ、のオーダーである。第３図および第４図を参照しよく分かるように、一般に先狭のＶ型の溝３６Ａが、一般に平坦な第１の側壁３８Ａと第２の側壁４０Ａおよびベース２４Ａの第１の面２６Ａの前端部より、クリップ３０Ａの受け台３２Ａに定められる。側壁３８Ａはその上に上端エツジ３９Ａを有しく第１図）、一方、側壁４０Ａはその上に上端エツジ４１Ａを持つ。用語「平坦」とは、エツチングにより単結晶材に形成されて顕微鏡的な段が結晶の格子構造により必然的に作られた面を含んで意味することを理解すべきである。ここに定義用の第１Ａ図を参照するに、（第１図および第２図の参照符号を使用して）ここに開示された本発明の全ての実施例における溝に適用される場合の用語「先狭」の意味がより明瞭になる。ここに使用されたような「先狭」の溝は、少なくとも２個の平らな側壁３８．４０により定められ、かつ拡大された入り口端４２と狭い出口端４３とを有する溝３６である。溝３６の側壁３８．４０のそれぞれの上端のエツジ３９．４１は、内部に基準軸線Ｒが存する基準面ＲＰ内にある。平坦面３４もまた基準面ＲＰ内にある。基準軸線Ｒは基準面ＲＰ内を溝３６の入り口端４２から出口端４３に延びる。基準軸線Ｒ上の各点が、側壁３８．４０のそれぞれの上端エツジ３９．４１から等間隔に基準面ＲＰ内で間を空けて置かれる。側壁の上端エツジ間の距離は溝３６の入り口端４２がら出口端４３に行（に従って減少する。側壁３８．４０の面は等しく、かっＯｏより大き（９ｏ。よりは小さな角度で基準面に関して対向的に傾けられる。傾斜角度Ａは、結晶の格子構造により決定され、（１００）シリコンの場合は５４．７４°である。側壁３８．４０の投射は線りにおいて交差し、この線自体は溝３６の出口端４３を前方に通過した基準軸線Ｒと交差する。線りはＯｏより大きくかっ９０°より小さい角度Ｂで基準面ＲＰに関して傾けられる。基準面ＲＰにおいて、側壁３８．４０の上端エツジ３９．４１の各々が約２．５°から５゜の範囲、最も好ましくは約３°の角度Ｃで基準軸線Ｒの方に向かって狭（なる。角度Ｂは角度ＡおよびＣの値に依存し、典型的には角度Ｂは４°から５°の範囲にある。ここで使用される「完全に漏斗状の」チャンネルとは、少な（とも２個の先狭の溝の協働関係により定められたチャンネルである。「部分的に漏斗状の」チャンネルとは、１個の先狭の溝と面とにより定められたチャンネルである。以上より、「一定幅」の溝とは、溝３６の入り口端４２から出口端４３に進むとき、基準軸線Ｒ上の各点が基準面ＲＰにおいて側壁３８．４０のエツジ３９．４１から均一な距離で間隔を空けられたものであることが容易に理解される。均一幅の溝の側壁は、これを基準面ＲＰに関して傾けることができ、または希望により基準面と垂直に延びるようにもできる。１個または２個の均一幅の溝より形成されたチャンネルは、「均一幅」チャンネルと呼ばれる。かがるチャンネルは、溝の側壁が傾きが無いとすれば、基準面および基準軸線の双方に対して垂直な面において矩形断面を持つことができる。テーパーの付いた溝とは、平坦な側壁は基準面に垂直であるが、平坦な側壁の延長は基準軸線に直交する線上で交差するように基準軸線と側壁のエツジとの間の基準面上の距離が溝の入り口から出口に進むと共に減少する溝である。第３図および第４図に見られる実施例においては、１３６は先狭の溝であり、より好ましくは、これが配されるアーム２２の主面２６の一部により定められた第３の側壁の存在により先が平らにされた（切頭）■溝である。この切頭■溝は、主面２６Ａに向かう方向に受け台３２Ａの面３４Ａに直角に立てられた寸法線に沿って計測したとき、溝の全長を通じて同じ深さである。溝３６ＡのＶ型は別の形を取ることができ、かつこれが本発明の意図内に止どまることを理解すべきである。例えば第４Ａ図に見られるように、溝３６Ａを第１および第２の側壁３８Ａ、　４０Ａのみで定めることができ、この場合は、溝３６Ａはその全長を通して完全なＶ型が現れる。従って、溝３６Ａの頂点４２Ａが溝３６Ａの全長に亙り現れる。第４Ｂ図は、（第１の側壁３８Ａ、第２の側壁４０Ａ、および主面２６Ａの一部により定められた）切頭Ｖ溝が所定の軸方向距離を延び、同時に（第１の側壁３８Ａおよび第２の側壁４０Ａにより定められた）完全な■溝がある第２の所定距離を延びるような別の配置を示す。従って、第４Ｂ図に見られるように、主面２６Ａに向かう方向で受け台３２Ａの面３４Ａに直角に立てられた寸法線に沿って計ったとき、受は台３２Ａに至る溝３６の深さは、（寸法矢印４６Ａにより示される）その出口端４３におけるよりも（寸法矢印４４Ａにより示される）その入り口端４２における深さの方が大きい。第４図に示された完全に先が切頭された■溝が第１図および第２図の実施例に対しては好ましい。製造性を容易にするためには、ここに明らかにされるように、溝３６Ａは受け台３２Ａを通る軸方向距離の総てに亙り先挟でないことが好ましい。受は台３２Ａ、　３２Ｂの端部の付近に形成されたタブ４８Ａ、　４８Ｂの設置により（第１図および第５図）　、　ｆｉ３６Ａを定める側壁３８Ａ、　４０Ａは、溝の全長に亙っては先狭ではなく、溝３６Ａの先狭の部分を通り過ぎた直後に短い均一幅の部分を定める。（先狭の部分と均一幅の部分との双方を含んだ）溝３６の軸方向の総長さは、約０．３＋ｎｍであり、一方、溝の均一幅の部分は軸方向の長さが０．１ｍｍを占める。第５図に最もよく見られると思われるが、溝３６Ａの先狭の部分と先狭でない部分とは、これらに関係して共通軸線５０Ａを有する。再び第２図を参照するに、平坦面５６Ａを有する長い拡大領域５４Ａが、受は台３２Ａの後方に所定の軸方向距離５８Ａの間隔を空けてアーム２２Ａのベース部分２４Ａ上に存する。距離５８Ａは約１ｆｆｌＩＩ１１である。面５６Ａは面３４Ａと同一平面にある。拡大部５４Ａには、傾けられた側壁６２Ａ、　６４Ａおよびベース部分２４Ａの主面２６Ａの第２の端部近（の一部により定められた先狭でな（均一幅の切頭された■型トラフ６０Ａが設けられる。第１図および第２図に示された実施例においては、トラフ６０Ａは、主面２６に向かって面５６Ａに垂直に立てられた寸法線において計った深さは、その軸方向長さに沿って一様である。トラフ６０Ａは先狭の導入部６８Ａと連なる。希望するならば、溝３６Ａについて第４Ａ図および第４Ｂ図に関連して示された状況と同様に、トラフ６０Ａが完全■型または部分的ｖ型になるように、壁６２Ａ、　６４Ａを互いに傾けることができる。あるいは、トラフ６０Ａ、　６０Ｂを定めている壁６２Ａ、　６４Ａは互いに平行であるかまたはそうでなくて都合よく方向付けることができる。第５図に最もよく見られるように、トラフ６０Ａおよび導入部６８Ａは共通軸線７０Ａを持つ。トラフ６０Ａおよび組み合わせられた導入部６８Ａの長さは約１．５９ｍｍである。第５図は１個のアーム２２Ａの平面図である。第１図および第２図の実施例の好ましい実施においては、（それぞれｉｌ！　３６Ａおよびトラフ／導入部６０Ａ／６８Ａを通る）軸ＩＩ　５０Ａ、　７０Ａは基準面ＲＰ（第５図の面）内で所定の距離７２だけオフセットされている。好ましくは、オフセット７２は位置決めされるファイバーの予想された最大直径と最小直径との間の差の少なくとも２分の１である。ここに明らかになるように、構造３６Ａ、　６０Ａ／６８Ｂの軸線５０Ａ、　７０Ａをオフセットすることは、ファイバーが装置２０に導入されるとき、ファイバーは溝３６Ａを形成している側壁３８Ａ、　４０Ａ　（および同様に溝３６Ｂを形成している側壁３８Ｂ、　４０Ｂ）の一方に当たるように偏倚されるのを確実とし、位置決め装置２０の中心合わせ（センタリング）作用を促進にする。これは、間隔を空けた少なくとも２箇所の位置で壁がファイバーと接触することを保証する。しかしながら、オフセット７２の存在は、後述されるようにさらに製造上の考慮を必要とする。ここで論じられた方法におけるファイバーの偏倚により生ずる力（または重力によりファイバーに加わる力）は、基準軸線上にファイバーをセンタリングするのに働くアームの偏倚力よりも強さにおいて小さいことに注意すべきである。アーム２２Ａ、　２２Ｂは、組み合わせられた状態においては、一方が他方の上に重ねられた関係に配され、このとき一方のアーム２２Ａの１１３６Ａ、）ラフ６０Ａおよび導入部６８Ａは他方のアーム２２Ｂの対応した溝３６Ｂ、トラ７６０Ｂおよび導入部６８Ｂと揃った状態にある。受は台３２Ａ、　３２Ｂの整合された先狭の溝３６Ａ、　３６Ｂは共同作用して、入り口端９４（第４図）と出口端９６（第４図および第５図）とを有する漏斗状のチャンネル９２を定める。（タブ４８が設けられた場合は、このように定められたチャンネル９２はその出口端９６に先行する均一幅の部分を有することに注意されたい。）基準軸線Ｒはチャンネル９２の中央を軸線方向に通って延びる。基準軸線Ｒは（結合された面３４Ａ、　３４Ｂを含んだ）基準面ＲＰと先狭の溝３６Ａ、　３６Ｂの軸線５０Ａ、　５０Ｂを含んだ面との交線上にある。整合されたトラフ６０と導入部６８とは案内路９８を定めるように共同作用する（第２図）。同様に、案内路９８を通る軸線Ｒ′は、拡大部５４Ａ、　５４Ｂの結合面５６Ａ、　５６Ｂを含んだ面（好ましい事例における基準面）とトラフ／導入部６０Ａ／６８Ａ、　６０Ｂ／６８Ｂの軸線７０Ｂ、　７０Ｂを含んだ面（第５図）との交線上にある。軸線ＲとＲ′の両者は基準面ＲＰ（面３４Ａ、　３４Ｂ、　５６Ａ、　５６Ｂ）内にあるが、軸線ＲとＲ′とは、この基準面内において所定のオフセット距離１００で互いに横方向でオフセットされている。ファイバーに対しては、オフセット距離１００は典型的には約５μｍ、である。（第４図および第５図に最もよく見られる）完全な漏斗状のチャンネル９２の入り口端９４は、被覆層Ｌ（または外側表面）が最大期待外径寸法を何するファイバーＦに外接し、これによりファイバーを受け入れる寸法にされる。チャンネル９２の出口端９６は、被覆層Ｌ（または外側表面）がファイバーＦの最小期待外径寸法より幾らか小さい寸法を有するファイバーＦに外接し、これによりこのファイバーＦを受け入れる寸法にされる。実際上、呼び外径寸法が１２５μｍ、の光ファイバーを位置決めするには、最大期待外径寸法は約１２９μｍ、であり、最小期待外径寸法は１２１μｍ、である。トラフ６０Ａ、　６０Ｂの各々の寸法は、整合されたトラフ６０Ａ、６ＧＢによりこのように形成された案内路９８が最大期待外径寸法を有する被覆層りのあるファイバーＦを受け入れるような寸法である。案内路９８は、ファイバーに関するこの寸法にも拘わらず、ファイバーの位置決め装置２０内への挿入を助け、この点で有利である。第１図ないし第５図に示された実施例においては、アーム２２Ａ、　２２Ｂのそれぞれの面３４Ａ、　３４Ｂは、第１の、閉鎖位置においては、互いに接触しているか、または希望するならば、互いに所定の近接距離内にあるかのいずれかである。光ファイバーについては、所定近接距離は典型的には５から２５μｍである。この実施例においては、クリップ３０Ａ、　３０Ｂの受け台３２Ａ、　３２Ｂの平坦面３４Ａ、　３４Ｂは互いに固定されず、後述されるように、第２の、センタリング位置に動（ことができる。アーム２２Ａ、　２２Ｂのそれぞれの平坦面５６Ａ、　５６Ｂは融着またははんだ付けによるなどの通常の取り付は手段により互いに固定される。表面５６Ａ、　５６Ｂを互いに取り付は一緒に保持するために適宜の別の機械的固定方法を使用しうることを理解すべきである。位置決め装置２０は、取り付は用基台７４をさらに備える（第１図および第２図）。取り付は用基台７４にはこの上に平らな取り付は面７６が設けられる。取り付は用基台７４の段部７８は、取り付は面７６を第２の面８２から所定の間隙距離８０だけ間隔を空けるように作用する。アーム２２Ａ上の向かい合う主面、例えば、面２８Ａは、融着またははんだ付けにより基台７４の平らな取り付は面７６に固定される。勿論、ここでもアームの第２の主面を基台７４に取り付け、あるいは−緒に保持するために適宜の機械的取り付は方法を使用しうることを理解すべきである。基台の第２の面は好ましい例においては一般に平坦であるとして図面に示されるが、この面８２は任意の希望の形状を取りうること理解すべきである。ここにさらに完全に認識されるように、基台７４に固定されたアーム２２Ａの対向面２８Ａは、少なくともクリップ３０Ａの領域において、（面８２が面７６と平行であるとして）第２の面８２から少なくとも所定の間隙で間隔を空けて置かれる限り、説明のように基台に取り付けられたアーム２２Ａのクリップ（図におけるクリップ３０Ａ）の運動は妨げられない。組み立てられたとき、アーム２２Ａ、　２２Ｂの端部に配されたそれぞれのクリップ３０Ａ、　３０Ｂは、アームの両端の結合された拡大部５４Ａ、　５４Ｂから片持ち梁成に支持される。アーム２２Ａ、２２Ｂは、第１図に示された座標軸により定められたｘ−ｙ平面内では剛性である。さらに、アーム２２Ａ、　２２Ｂのそれぞれの受け台３２Ａ、３２Ｂと拡大部５４Ａ、　５４Ｂとの軸方向中間にあるベース部分２４Ａ、　２４Ｂの比較的薄い寸法の中央部分２５Ａ、　２５Ｂは、曲がり部分として作用し、各アーム２２がｙ−ｚ面において矢印８８の方向にスプリングボードのように撓むことを許す。ここに使用されたように、曲がり部分はある一つの面においては剛性であり、これに直交する面においては曲がるようにされたばね部材であることを認識すべきである。クリップ３０Ａ、３０Ｂがその対応するそれぞれの方向８８Ａ、　８８Ｂに曲げられたとき、曲がり部分として作用するベース２４Ａ、　２４Ｂの薄い中央領域２５Ａ、　２５Ｂの弾性は、クリップ３０Ａ、　３０Ｂを第１の、閉鎖された位置に向かって経にする手段を定めることを認識すべきである。付勢力は、アームの運動方向８８Ａ、　８８Ｂとは反対の矢印９０Ａ、　９０Ｂに示された方向でクリップ３０Ａ、　３０Ｂに作用する。付勢力は実質的に等しくかつ方向が逆でなければならない。一般に、位置決め装置に使用されるアームの数には拘わりなく、各アームの力は基準軸線を通過し、センタリング位置にあるときは力の和は実質的に０と等しい。（第１図および第４図に示すように）曲がり部分としてベース２４の薄い中央領域を使用した付勢手段は、微細加工技術を使用した単結晶材で実現されたとき、付勢力の正確な管理を達成しつるため全ての開示された実施例にとって好ましい。典型的には、各アームの付勢力は約５ｇである。各アーム上の力が基準軸線を通過し、かつアームがセンタリング位置にあるときにアーム上の力の和が実質的に０に等しい限り、アームおよびその上のクリップ３０を閉鎖位置に向けて偏倚する手段を定めるために、適宜のその他の便宜な機構を使用しうろことを理解すべきである。選定された偏倚手段の形式に拘らず付勢力はアームの変形と共に増加しなければならない。第１図および第２図の実施例の位置決め装置２０の構造を定めれば、所定の基準軸線Ｒに沿って光ファイバーＦの端面Ｒ上の点Ｐを位置決めするその動作は、第５図ないし第７図に関連して容易に理解することができる。作動の際は、ファイバーＦは矢印１０２の方向に位置決め装置２０内に挿入される（第６Ａ図）。導入部６８Ａ。６８Ｂ（第１図）は共同作用して、拡大部５４Ａ、　５４Ｂ　（第１図）の整合されたトラフ６０Ａ、　６０Ｂにより定められた案内路９８（第２図）内にファイバーＦを案内する。通路９８の軸線Ｒ′は完全な漏斗状のチャンネル９２の軸１１ｉ１　Ｒからずれているので、案内路９８は、ファイバーＦの面Ｅを軸線Ｒに関して所定の方位でチャンネル９２の入り口端９４の方に案内する。その結果、ファイバーＦの端面Ｅはチャンネル９２内に入り、クリップ３ＯＡ、　３０Ｂの一方の主面２６Ａ、　２６Ｂの側壁３８Ａまたは３８Ｂ、　４０Ａまたは４０Ｂ（または第４図におけるように、溝３６Ａ、　３６Ｂを定めるように使用されたときの主面２６Ａ、　２６Ｂの一部）の少なくとも一つと接触し、ファイバーＦの端面Ｅの所定点Ｐは基準軸線Ｒと整列するために要する距離だけ最初に変位ないしは移動される。ファイバーＦの端部Ｅが出口端９６の方に動くと、チャンネル９２内へのファイバーＦの軸線方向の挿入経路上のある点において、ファイバーＦの被覆層りの外径がチャンネル９２の寸法より大きくなる。第７Ａ図、第７Ｂ図に示された第１の、閉鎖位置から、第８Ａ図、第８Ｂ図に示された第２の、センタリング位置に付勢力に対抗して動くことによりファイバーＦによって加えられた方向８８Ａ、　８８Ｂの力にアーム２２Ａ、　２２Ｂが応答する。センタリング位置においては、クリップ３０Ａ、３０Ｂは、アーム２２Ａ、　２２Ｂの撓みにより発生した、方向９０Ａ、　９０Ｂに作用している付勢力に対抗して開き、その上の面３４Ａ、　３４Ｂを離す。しかしながら、第１の位置から第２の位置に向かうアーム２２Ａ、　２２Ｂのこの運動が、ファイバーＦの端面Ｅの点Ｐを基準軸線Ｒ上に位置決めする。こうして、ファイバーＦの端面Ｅは、点Ｐが第８Ａ図、第８Ｂ図に示されたように基準軸線Ｒと正確に揃えられた（すなわち、１μｍ以内の）状態で、完全な漏斗状のチャンネル９２の出口端９６を通って出る。ファイバーＦは側壁３８Ａ、　３８Ｂ、　４０Ａおよび４０Ｂとの接触によりこの位置に保持される。受は台３２Ａ、　３２Ｂにタブ４８Ａ、４８Ｂが形成された場合は、これらタブは、漏斗状チャンネルの出口と連なり軸方向に沿って均一な幅の通路を定めるように共同作用する。ファイバーＦはファイバーＦの端面の点Ｐがなお基準軸線Ｒに沿った状態でかがる導管を通過してこれから出て（る。アームの運動はこれまで説明されたようなその曲がり以外のもので可能であることに注意すべきである。従って、例えば適宜の方式のビン結合式または連結（関節）式の運動によるようなその他の方法でアームを動かすことは、本発明の意図内にある。さて、第９図から第１２図を参照すれば、本発明による位置決め装置の別の実施例２０’が示される。この実施例においては、先に説明された実施例と同様なアーム２２’は、その中央部分２５１により定められた曲がり部分の偏倚に対抗して、互いに片持ち梁成に関節式に動くことができる。しかし、アーム２２１に形成された溝３６１は先狭の溝ではなく、均一幅の溝である。従って、一方が他方の上に重ねられたときのアーム２２１の共同作用する組み合わせにより形成されたチャンネル９２１は均一幅のチャンネルである。基準軸線Ｒに垂直な面におけるかかるチャンネル９２１の最大寸法は、ファイバーＦの最小予想外径寸法より小さい。位置決め装置２０１のさらに別の変更が第１２図に見られる。トラフ６０１の平らな壁６２’、６４’が互いに傾けられず、平行であることがまず注意される。さらに、軸線ＲとＲ′との間のオフセット１００′が横方向のオフセット（すなわち、面５６’を含んだ面内）とは異なり垂直面、すなわちトラフ６０１の軸線７０１を含む面内にある。導入部分６ｇ’Ａ、６ｇ’Ｂはここでは省略されたが設けることもできる。作業の際は、ファイバーＦは位置決め装置２０’内に差し込まれ、嵌合されたトラフ６０’Ａ、６０’Ｂにより定められた通路９８゛により案内される。通路９ｇ’の軸線Ｒ′はチャンネル９２’の軸線Ｒから垂直方向にオフセットしているので、通路９８１を境界付けるアーム２２’Ｂの面２６１ＢがファイバーＦをチャンネル９２’の入り口端９４’に向かって案内するように作用する。ファイバーＦはチャンネル９２１に入り、側壁３８’Ａ、３８’Ｂ、４０’Ａおよび４０１Ｂのエツジと接触する。４３６’Ａ、　３６’Ｈの寸法のため、ファイバーＦはアーム２２’Ａ、２２’Ｂの主面２６’Ａ。２６１Ｂと接触しない。ファイバーのチャンネル９２’への差し込みの容易化のために、ファイバーは面取りされ、またはテーパー付けられ、あるいは機械装置を使用することができる。ファイバーＦはチャンネル９２１の寸法より大きいので、クリップ３０’Ａ、３０’Ｂは第１の、閉鎖位置から第２の、センタリング位置に動かされる。クリップ３０’Ａ、３０’Ｂのこの運動がファイバーＦの端面Ｅの点Ｐを基準軸線Ｒ上に維持する。こうしてファイバーＦの端面Ｅは、点Ｐが正確に基準軸線Ｒに整列された状態でチャンネル９２’の出口端９６１を通り出てくる。ファイバーＦは、文字ＬＣで示された側壁３８’Ａ、　３８’Ｂ、　４０’Ａおよび４０１Ｂのエツジとの接触によりこの位置に保持される。第９図から第１２図に示された位置決め装置２０’の実施例は、第１３図ないし第１６図に示された位置決め装置２０２に見られるようにさらに変更できる。この変更例においては、アーム２２２Ｂはこれまで示されたものとは異なり、内部に溝が設けられていない（第１５図）。この実施例において、溝が先狭の溝であるならば１部分的に漏斗状にされたチャンネルが定められる。ファイバーＦは主面２６２Ｂに対する接触により案内され、主面２６２Ｂとの接触および文字ＬＣで示された側壁３８”Ａ、　３８”Ｂのエツジとの接触によりその位置に保持される。第１７図および第１８図は、本発明による位置決め装置の別の実施例２０３の、第１図および第２図と一般に同様な分解図および組立て斜視図であり、第１９図はその端面図を示す。この実施例においては、先に説明された関節式に可動のアームとは異なり、アームは互いに固定される。アーム２２３Ａおよび２２３Ｂの各々が先狭の溝を有し、一方が他方の上に重ねられたときにアーム２２３の共同作用するように組み合わせることにより形成されたチャンネル９２３は形状が完全な漏斗状である。チャンネル９２３は基準軸線Ｒに垂直な面において最小寸法、すなわちその出口端の付近でファイバーＦの予想最小外径より小さな寸法を定める。作業の際は、ファイバーＦは位置決め装置２０３内に挿入され、チャンネル９２３０入り口端９４３に向かってチャンネル９２３を通って案内される。ファイバーＦは漏斗状チャンネル９２３に入り、側壁３８３Ａ、　３Ｂ’Ｂ、　４０３Ａおよび４０３Ｂの内の１個または複数個および／または主面２６３Ａ、　２６３Ｂとの接触によりファイバーＦの点Ｐを軸線Ｒ上に置くように案内される。しかしながら、アーム２２３は互いに固定されているので、ファイバーＦはファイバーＦの外径がチャンネル９２３０局部寸法と等しくなる軸線方向位置にまでチャンネル９２３内を前進する。チャンネル内のこの軸線方向位置において、ファイバーは、ファイバーＦと側壁３ｇ”Ａ、　３８”Ｂ、　４０”Ａおよび４０３Ｂの各々との間の（文字ＰＣで示された）最小４点の接触によりこの位置に保持される。チャンネルの寸法は、ファイバーが基準軸線Ｒに沿って保持されたとき、ファイバーがアーム２２３の主面と接触しえない寸法である。第２０図はファイバーがチャンネル９２３内に保持されたところを示す。ファイバーＦの端面Ｅとチャンネル９２８出口端９６３との間の軸線方向間隔１０４は、ファイバーＦの外径寸法に応じて変動する。本発明の以上説明の実施例のいずれかによる位置決め装置２０．２０’、２０２および２０３は、ファイバーＦの端面Ｒ上の点Ｐを基準軸線Ｒに沿って正確に位置決めすることが要求される種々の装置に使用できる。第２１図および第２２図において、１対の位置決め装置２０−１．２Ｏ−２（第１図および第２図に示された実施例に対応する）が、番号１２０で一般に示されたファイバ一対ファイバ一連結具を定めるように配置される。この配置においては、装置２０−１．２０−２は互いに向かい合って配され、従ってそれぞれのチャンネル９２の出口端９６はこれらを通過するそれぞれの基準軸線Ｒが同一直線である状態で所定距離１２２だけ離して置かれる。かがる配列を得るために、基台７４は軸線方向に延び、かつその軸端に平らな取り付は用の面７６が設けられる。各位置決め装置２０−１．２０−２はそのそれぞれの取り付は面７６に取り付けられる。連結すべきファイバーＦ−１、およびＦ−２が、それぞれの位置決め装置２０− １．２０−２の導入部６８内に挿入される。上述の方法で作動している各位置決め装置２０−１゜２０−２は、それぞれのファイバーＦ−１またはＦ−２の端面Ｒ上の点Ｐを同一直線上に配された軸線Ｒ′に沿って位置決めするように作動する。ファイバーＦ−１，Ｆ−２は、端面Ｅが突き当たるまで、それぞれ装置２０ −１．２０−２に差し込まれる。ファイバーＦ−１，，Ｆ−２の端部Ｅは、位置決め装置の上述の保持作用により固定される。希望するならば、コネチカット州ダンバリー、エレクトロライト・コーポレーション（Ｅｒｅｃｔｒｏ−１ｉｔｅ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）より番号８２００１ＥＬＣ４４８０として製造され発売される紫外線硬化接着剤のような屈折率の適合した適切な接着剤を使用できる。ファイバ一対ファイバ一連結具は、位置決め装置の上述の種々の実施例２０’、２０”および２０３のいずれかを使用して実現することができることが理解されるべきである。第１７図に示されたような１対の位置決め装置２０３が使用される場合（第２３図および第２４図参照）は、位置決め装置２０”−１，２０”− ２の向かい合う端部は、好ましくは付きあわせにされ固定され、あるいは１対の位置決め装置が互いに一体に形成される。ファイバーＦ−２，Ｆ−２の端面Ｅ間の間隙１２２は、この実施例においては、距離１０４−１．１０４−２の和により定められる。間隙１２２は上に定められた接着剤のような屈折率の適合した材料で充填される。このため、ファイバーＦ−１゜Ｆ−２の向かい合う端面の間の領域内に、屈折率の適合した材料を導入できる接近用の孔１２４が設けられる。（いかなる形式でも）位置決め装置内への挿入より前に、ファイバーＦのジャケットＪはその自由端から所定距離だけその全部に亙り剥ぎ取られる。ファイバーの露出部分はアルコールで清浄にされる。ファイバーは端面Ｅを形成するように切り離される。希望するならば、端面Ｅを尖端を作るように中高に研摩し、またはレンズ状にすることができる。希望するならば、ファイバ一対ファイバ一連結具１２０を適切なハウジング１３０内に配置できる（第２５図）。ハウジング１３０の好ましい形式は、本発明の譲受人に譲渡された米国特許第４７８４４５６号（スミス）で開示されたものと一般に同様である。この特許は、ここに参照として取り入れられる。ハウジング１３０はベース１３２とカバー１３４とを備える。総ての場合、ベース１３２には連結具１２０を密に受け入れるような寸法とされた凹所１３６が設けられる。連結具１２０が関節式の適宜の形式の位置決め装置を使用して具現化された場合は、連結具を形成するために使用される位置決め装置のアームの関節運動を許すために、カバー１３４には対応した凹所１３８が設けられなければならない。連結具１２０が第２３図および第２４図に示された形式の位置決め装置を使用して具現化された場合は、凹所１３８を設ける必要はない。かかるハウジング１３０が第２８図に示される。カバー１３４は３個の部分１４０Ａ、　１４０Ｂ、　１４０Ｇに分割され、その各々がベース１３２にヒンジ結合される。ベース１３２は、凹所１３６の各端部に隣接して、Ｖ状の溝の部分１４２Ａ、　１４２Ｂを持つ。頂部の端部部分１４０Ａ、　１４０Ｂの各々はそれぞれ一般にテーパーにされたランド部分］、４３Ａ、１４３Ｂを含む。ランド部分の各々はそれぞれその上にセレーション１４５Ａ、　１４５Ｂを持つ。使用の際は、連結具はハウジング１３０の凹所１３６内に挿入される。これは摩擦により定位置に保持されるが、希望ならばその他の方法により固定することができる。カバーの中央部分１４０ｃは、希望ならば閉じることができる。所定長さのジャケットＪが剥がされ清浄にされた光ファイバーがｖ型の溝の領域１４２Ａ、１４２Ｂの一方を通り挿入され、ファイバーの剥がされた端部が連結具１２０内に配される。溝の領域は、ファイバーを凹所１３６内の連結具１２０に関して適正方向に向けかつ位置決めするように作用する。組み合わせられた頂部の端部分１４０Ａ、　１４０Ｂは、事情に応じて、ベース１３２の対応位置に閉鎖され鎮錠される（第２５図、明瞭とするためファイバーは省略）。頂部がベースに固定されたとき、セレーション１４５はファイバーを連結具の方に押し、すなわち偏倚するようにファイバーのジャケットに対し作用する。第２のファイバーが同様な方法でハウジングおよび連結具内に対応して導入される。もしまだそうされていなければ、次にカバーの中央部分１４０Ｃが閉鎖される。ハウジング１３０は射出成形により形成されることが好ましい。第２９図に見られるように、別の形式においては、ハウジング１３０は上に特定したような屈折率の適合する材料の塊１６０を使用して実現することができる。塊１６０は連結具１２０（これは内部に埋められる）およびファイバーＦ−１，Ｆ−２のジャケットＪのある所定部分の双方に亙り延在する。ファイバーＦの点Ｐが位置決めされた基準軸線Ｒはそれ自体、種々の適宜のデバイスの軸線Ｘと同一軸線上に延在してもよい。従って、位置決め装置２０は、特定のデバイス１７０の軸ＩＩ　Ｘに関してファイバーＦの端面Ｅ上の点Ｐを正確に位置決めするために使用できる。第３０図、第３１図および第３２図、第３３図はデバイス１７０の軸線Ｘに沿ってファイバーＦを配置するための位置決め装置２０の使用例の幾つかを示す。デバイス１７０は、例λば、固体レーザー、フォトダイオード、発光ダイオードのような適宜の動作光学素子により、これらのデバイスが端面動作型デバイスか表面動作型デバイスのいずれであるかに拘わらず実現可能である。この説明においては参照符号２０が位置決め装置を示すために使用されるが、ここに説明された位置決め装置２０’、２０”または′２０３の実施例の適宜のものを使用しうることを理解すべきである。端面動作型（ｅｄｇｅ　ａｃｔｉｖｅ）デバイス１７０に関連して使用されるときには、第３０図および第３１図の配置が好ましい。この実施例においては、基台７４はその軸線方内端部において台座１７４を定めるように軸線方向に延ばされている。台座１７４の上面１７６が平らな取り付は面を定める。面１７６は取り付は面７６の上方に所定距離だけ間隔をあけられ、または動作光学素子１７０が面１７６に取り付けられたときデバイス１７０の軸線ｘと基準軸線Ｒとが同一線になるように配置される。軸線ＸとＲとが同一線にあるので、軸線Ｒに沿ったファイバーＦの点Ｐの位置決めが、この点Ｐを軸線Ｘと同じ関係で自動的に位置決めするであろう。デバイス１７０は、その軸ＩＩ　Ｘが軸線Ｒと同一線に揃えられるように面１７６に正確に載置されねばならない。デバイス１７０を取り付けるために、面１７６には金／錫はんだのようなはんだ層の層を設けることができる。デバイス１７０は同じ材料の対応した層を持ちうる。デバイス１７０は、真空プローブのような適切な微細位置決め装置を使用して面１７６上に位置決めすることができる。デバイスはエツジに整列され、はんだ接合が形成されるように、はんだの融点以上に加熱され、そして冷却される。表面動作型（ｓｕｒｆａｃｅ　ａｃｔｉｖｅ）デバイスと使用されるときには、第３２図および第３３図に見られるように、デバイス１７０のアクティブ面が台座１７４の前面１７８に固定される。前面１７８へのデバイスの取り付けが、位置決め装置２０にデバイス１７０を固定するに十分な接合面積を提供すると信じられる。台座１７４の面１７６は、デバイス１７０のアクティブ領域とファイバーＦの端面Ｅとの間の障害を回避すべく切除されている。第３１Ａ図に示されるように、これまで説明された実施例の適宜のものによる位置決め装置は、ボールまたは棒レンズＬのようなレンズを（デバイスが端面動作型デバイスでも表面動作型デバイスのいずれであっても）デバイス１７０の軸線Ｘに関して正確に位置決めするように形成できる。位置決め装置はレンズＬを受け入れべ（寸法付けされたシート３１Ｓをクリップ３０内に設けるように変更されるであろう。本発明の位置決め装置２０．２０’、２０”および２０３のための２ア一ム形式の種々の実施例に加えて、２つより多いアーム２２を呈すことも、この発明による位置決め装置のためのこの発明の企図内に存する。これに関して、第３４Ａ図から第３４Ｃ図は一般に３つのアーム２２Ａ、　２２Ｂおよび２２Ｃを有する位置決め装置２０４を示している。第３４０図ないし第３４Ｆ図は一般に４つのアーム２２Ａ。２２Ｂ、２２Ｃ、および２２Ｄを有する位置決め装置２０’を示している。４つのアーム付きの位置決め装置２０５の実施例の詳細な説明はここでは述べない。より大きなアーム数に拡張することは、当業者には容易に明白である。一般的に言って、第３４Ａ図ではアームの各々は上述したアームの形状と同じように形状付けられている。アームは、もし望むなら、それは必要とはされないと理解されるべきではあるが、溝を持ってもよい。第３４Ｂ図、第３４Ｅ図では、アームはロッドに形状付けられている。ロッドは丸断面として示されているけれども、それらは所要の他の断面を有し得ることが理解されるべきである。第３４Ｃ図、第３４Ｆ図では、アームは概ね平坦なバー形態に形状付けられている。ここに充分に述べられるように、第３４Ｄ図において４つのアームは、（第１図から第４図では符号２２Ａ、　２２Ｂで指示されている）上側および下側のアームを、各アームの主面２６および２８に直交して延在する切断線に沿ってノコ引くことによって形成されており、これにより上側および下側のアームセグメント、すなわち、「フィンガー」の対を画成する。この出願において用いられるとき、「フィンガー」という用語は、既に用いられてきた「アーム」が軸方向に細長い２つのセグメントに細断されたときに画成される構造、と理解されるべきである。しかしながら、第３４Ａ図から第３４Ｆ図には、それらの協力間係で画成されているチャンネル９２を取り囲む関係で等角度にアームが形状付けられて示されている。前に述べた状況と同様に、アームの弾性がアームを閉鎖位置に付勢する偏倚手段を定めている。しかしながら、偏倚手段は、各アーム上の力が基準軸線を通り、かつ、センタリング位置にあるときアーム上の力の和が略ゼロに等しい限り、他にも定められてもよい。偏倚手段の形態がどのように選ばれたとしても、偏倚力はアームの撓みと共に増加しなければならない。アームは、第３４図に示されている種々の接触線ＬＣに沿ってチャンネル内に挿入されたファイバーに対し、そのファイバーの所定の点を基準軸線Ｒ上に維持するように作用する。実際には、位置決め装置の製造の際に、アーム対（第１図）における第１および第２のアーム間に、時々誤整列が発生する。結果として、使用時にファイバーは第１および第２のアームの、直径方向に対向する側壁によってのみ支持されるかもしれない（第４３図を見よ）。かくて、ファイバーは基準軸線に沿って横たわるように位置決めされないかもしれない。第３５図から第４０図に示されるこの発明の実施例による位置決め装置２０５は、この結果を避けることができると信じられる。これらの図に関して、各アーム（２２ＳＡ、２２５Ｂ、第３５図）ハソレ自身、ス’）　ットｌｌ１２１’に沿って長手方向にスリットが設けられ、これにより、第１（７）、上側（７）　７　イ：／　力対（２２’−１，２２’−２）に　、Ｊ：　ヒ第２の、下側のフィンガ対（２２’−３，２２’−４１に配列された４つのフィンガ２２’−１，２２’−２，２２’−３，２２’−４（７）組ヲ画成している。第３６Ａ図に示すように、前に論じた実施例と概ね同様の方法でその組の各フィンガーは、第１の主面２６’および対向する第２の主面２ｇ’を有するベース部分２４５を含んでいる。ベース部分２４’は各フィンガーの全長に沿って延在し、ベース部分２４″の中央領域２５’の寸法は各フィンガーの基本寸法を定める。参照符号３０’によって総称されているクリップは、各フィンガー２２２の第１の端部に定められている。クリップ３０５はフィンガー２２８の第１の面２６’ に存する比較的厚い当接（受は台）部分３２’内に形成される。当接部３２８はその上に、第１の主面２Ｂ’に好ましくは平行に存する平坦面３４″を有している。再度、物理的寸法に対するある感覚を与えるために、フィンガー２２′は全長寸法が２４００マイクロメートルで、幅が８００μｍのオーダーである。中央領域２５’では、各フィンガー２２′は厚さ寸法１００μｍのオーダーである。各当接部３２’は、各フィンガーの主面２６６に直交する面から（５４，７４° の角度で）傾斜して存在する平坦な側壁３３Ｂを含んでいる。第１の対２２’− １および２２’−２のフィンガーにおける側壁３３’は、均一な幅の溝３６’を画成するのに協働し、一方、他のつがう２２’−３および２２’−４のフィンガーにおける側壁３３６はまた、同様に均一な幅の溝３６’を画成するのに協働する。各フィンガーは、当接部３２’に対向する端部に、参照符号５４５で総称される拡大部を有している。拡大部はその上に当接部５５５Ａおよび５５５Ｂを有している。各当接部５５’Ａには、対の他のフィンガーの対応する壁６２’と協働する壁６２５および第２端部近傍のベース部分２４’の主面２６Ｓの一部が、先狭でない、均一な幅の切頭された■形状のトラフ６０’を形成すべく設けられている。第３５図および第３６図に示された実施例では、トラフ６０５は、主面２６５に向がって延在する面５６５Ａに直交して立つ寸法線に関して測定したとき、その軸線方向長さに沿って深さにおいて均一である。トラフは中心を軸線方向に貫通して延びる軸線７０’を有している。トラフ６ｏ″は溝３６５の幅寸法よりも広い。より好ましい配列では、トラフ６０’は対のフィンガー上の各当接部５５５Ａに設けられた面６９’の協働関係によって画成された先狭の導入部６８８に連なっている。最も好ましい配列は、第３６８図に示すように、各当接部の各導入部角に２つに角度付けられた面を有している。当接部３２５は、当接部３２５の直線状前縁を形成すべく切られる前は、第３６Ｂ図に示されるように、当接部５５５　と同様に見える。ここで明らかとなるように、対向するフィンガ一対の当接部５５５Ａ上の面５６ＩＩＡは、溶着またははんだ付けのような都合のよい取付は手段によって結合されている。第３６Ｂ図において、当接部３２５および当接部５５’Ａの横面ば主面２６８に関して勾配付けられ、すなわち、傾斜付けられている。面２８５から垂下している当接部５５６Ｂの面５６’Ｂは、フィンガー２２８の面２８１′から所定の距離８０’だけ離間されている。ここでより明がとなるように、当接部５５′Ｂはそれが載置される台あるいは厚板からフィンガーを離間する支えとして機能する。第３５図および第３７図から第４０図に最もよく示されるように、組み立てられた状態では、各対の対応するフィンガーは他方の上に一方が重ねられた関係で配置され、一方の対のフィンガーによって協働的に形成された溝３６′およびトラフ６０’は他方の対のフィンガーの協働作用によって形成される対応する溝およびトラフと整列する。各対の協動作用によって形成された溝３６’はそれ自身整列され、そしてチャンネル９２８（第３５図および第３９図）を画成すべく協働する。チャンネル９２ ’は入り口端９４８および出口端９６６を有している。基準軸線Ｒはチャンネル９２６の中心を軸線方向に貫通して延在する。好ましくは、基準軸線Ｒは各フィンガー２２’上の面５６５Ａを含む基準面ＲＰＩ内に存する（第３８図を見よ）。最も好ましくは、基準軸線Ｒはまた、フィンガー組の各フィンガ一対を定めるスリット線を包含する第２の基準面ＲＰ２（第３８図）内に存する。製造誤差により基準面ＲＰ２に関して軸線Ｒの僅かな誤整列を生じ得ると言うことが理解されるべきである。かがる誤整列の結果については後で詳細に論じられる。整列されたトラフ６０５（および、もし存在するなら導入口６８５）は案内路９８５（第３６図および第３８図）を画成すべく協働する。案内路９８５を通る軸線Ｒ′は当接部５５５Ａの共結合面５６５Ａを含む面内に存する（第３８図を見よ）。面ＲＰ２　（第３８図）はトラフの軸線を包含している。軸線ＲおよびＲ ′は両者とも基準面ＲＰＩ　Ｃ面５６’の面）内に存し、好ましくは、両者は基準面ＲＰＺ内に存すべきである。第３５図ないし第４０図に示した実施例では、各対の対向する対応フィンガー上の面３４６は、結合動作中に悪影響を受けないことを保証するために、第１の、閉じられた位置では、互いに接触しているか、あるいは、好ましいように互いに所定の近接距離内にあってもよい。光ファイバーに対しては、所定の近接距離は典型的に１ないし２ｕｍのオーダーである。平坦面３４は互いに固定されておらず、かくて、それらは後述の如く第２のセンタリング位置に動き得る。第３５図から解がるように、好ましい実施例では、位置決め装置２０ｇはさらに平坦な取付は面７６６を有する載置厚板（ｓｌａｂ）７４’を含んでいる。各フィンガー２２’−３，２２”４上の当接部５５’Ｂの面５６８Ｂは、溶着ないしははんだ付けによって、厚板７４′上の平坦取付は面７６５に固設されている。当接部５５’Ｂの存在のお陰で、下側の対のフィンガー２２’−３，２２’−４上の面２ｇ’は取付は面７６５から距離８０’だけ離間されている。当接部５５ ’Ｂハ省略サレ、下ｉｎ＋１’７　インカー２２’−３，２２’−４ｂｓ第１図に示したのと同様に、各対の下側のフィンガーの動きを許すに必要な隙間距離をもたらすべく段部８２を有する基台７４に載置されてもよいと言うことが理解されるべきである。上側の対におけるフィンガー２２’−１゜２２’−２もまた、溶着ないしははんだ付けにより第２の厚板７４５上の平坦取付は面７Ｂ’に固定されてもよい。第２の厚板７４Ｓは概略的に第３５図に示されている。組み立てられたとき、第３５図に示すように、フィンガー２２′の端部に配置されたクリップ３０’はフィンガーの対向する端部における共結合された拡大部５４８から片持ち梁の形態で支持される。フィンガー２２’の各々は、第３５図に示される座標軸に定義されるｘ−２面内においては比較的側である。さらに、各フィンガー２２５のそれぞれの当接部２４’および拡大部５４６の軸方向中間におけるベース部分２４８の中央領域２５′の比較的薄い寸法部は曲がり部（ｆｌｅｘｕｒｅ）として作用し、クリップ３０８が各フィンガー２２’の端部において、Ｙ−Ｚ面内で矢印８８８の方向にスプリングボードのようにたわむことを許容する。再度、ここに用いられる用語として、曲がり部（ｆｌｅｘｕｒｅ）とは一つの面内では比較的側であり、それに直交する面内では曲がるよう強制されているばね材である。クリップ３０５がその対応するそれぞれの方向８８″′にたわまされたとき、曲がり部材として作用するベース２４５の薄い中央領域２５５の弾性は、フィンガー２２′′およびその上のクリップ３０８を第１の、閉鎖位置に偏倚する手段を定めると言うことがさらに認識されるべきである。付勢力は各クリップ３０６に、偏倚方向８８″と反対の矢印９０″によって示される方向に作用する。クリップ３０’を閉鎖位置方向に偏倚する手段をもたらすには、他の好都合な機構が用いられてもよいことが理解されるべきである。偏倚力は略等しくなければならず、かつ、対向方向でなければならない。しかしながら、曲がり部材としてベース２４’の薄い中央領域２５′１を採用した偏倚手段は好ましい。というのも、微細加工技術を用いて単結晶材に実施されたとき、偏倚力の精確な制御が実現されるからである。典型的には各フィンガーの付勢力は２０ｇのオーダーである。発明のこの実施例による位置決め装置２０’の構造が定まると、所定の基準軸線Ｒに沿って光ファイバーＦの中心軸線および端面Ｅ上の点Ｐの位置決め動作は、第３８図ないし第４３図との関係において容易に理解されよう。前に述べたように、および第４１図に見られるように、点Ｐを基準軸線Ｒに整列するよう位置決めするとき、位置決め装置は実際に端面Ｅから近接距離に存する接触点でもってファイバーに接触する。チャンネル９２の基準軸線Ｒ（第３９図）が第１および第２の基準面ＲＰ１．ＲＰ２ｆ第１．ＲＰの両者に整列していると仮定すれば、位置決め装置２０６の動作は、前に第６図ないし第８図との関係で示されかつ論じられた位置決め装置の動作と略同−である。か（て、ファイバーＦは位置決め装置２０６に矢印１０２Ｉ′の方向に挿入される（第３７図、第４１図）。ファイバーＦは整列されたトラフ６０Ｓによって定められた案内路９８６内に挿入される。ファイバーＦはチャンネル９２’に入り、クリップ３０’の一つの溝３６６を画成するのに用いられる主面２６″の側壁３３１１の少なくとも一つ、あるいは部分との接触を介して、ファイバーＦの端面Ｅ上の所定の点Ｐを基準軸線Ｈに整列させるよう正確に置（に必要なだけ初めに変位、すなわち、移動される。第４１図および第４２図に示すファイバーＦの被覆層りの外径は側壁によって形成されるチャンネル７６’の寸法を越えるので、フィンガー２２’は、ファイバーＦによってもたらされた８８’の方向のたわみ力に、（第３９図で示される）第１の、閉鎖位置から第４２図および第４３図で示される第２の、センタリング位置に向けて変位されて応する。センタリング位置では、クリ・ンブ３０５はフィンガー２２″の曲がりによって発生され、９０５の方向に作用している付勢力に対向してその面３４５を分離するように開く。この第１から第２の位置に向けてのフィンガー２２’の動きが、ファイノ＼−Ｆの端面Ｅ上の声、を基準軸線Ｒに整列させて正確に位置決めするのである。ファイバーＦの端面Ｅは、か（て、点Ｐが基準軸線Ｒに整列して正確に位置決めされた状態で、第３４図および第４２図に示すように、チャンネル９２８の出口端９６５を通って出る。ファイバーＦは側壁３３５に接触されてこの位置に保持されている。前にも言及したように、ある例では、（フィンガ一対を形成すべ（細断される前の）アーム間の不整列、各フィンガ一対におけるスリット線２１１′と各アーム上のスリット線の所望の位置との間の不整列、フィンガーの厚みの不適合、および／またはフィンガーの幅の不適合のために、重ねられたフィンガ一対の組立位置が第４３図に示されるように現われる。径方向に対向する当接部３２６上の径方向に対向する側壁３３１１は基準軸４１　Ｒから等しく離間されていない、（フィンガ一対を形成すべく細断される前の）アームの不整列は参照符号Ｍａによって示されている。結果のスリット線２１’の不整列は参照符号Ｍｓ−１，Ｍｓ −２によって示されている。フィンガーの厚みの不適合は参照符号Ｍｔによって示されている。フィンガー幅の不適合は参照符号Ｍｗによって示されている。第４３図から解かるように、このような不整列なアームないしはフィンガーから形成されたチャンネル９２＠内にファイバーＦが挿入されるときは、フィンガーは側壁３３５に接触する前に、当接部３２６（第３６Ｂ図）の導入口の径方向に対向し傾斜している２つの横面のうちの一番目に、それから二番目に衝突するであろう。このようなフィンガー２２’−２，２２’−３上の最初の接触点は、第４４図に参照符号３３８１で示されている。ファイバーＦが最初に接触する側壁３３５は、９３’Ａ、９３’Ｂの方向に強制的に離される。しかしながら、最初に接触する側壁の動きによって発生される偏倚力は対向しているので、ファイバーＦはかかる２つの面に平行でその間の中心面内で仮のセンタリング位置にセンタリングされる。この仮にセンタリングされた位置は、第４４図に参照符号ＰＩで示された線によって指示された面内のある点に存する。ファイバーＦのチャンネル９２′を通る継続的な前進は、ファイバーＦの外径の残りの側壁対の一方あるいは両方への接触を生ぜしめる。ファイバーの側壁３３５への最初の接触はファイバーの最終位置ではない。ファイバーの最終位置は、側壁上の２つのフィンガー２２’−１，２２’−４（第４４図）がファイバーをセンタリングするに充分に動いたときに達成される。これらの最終接触点は第４４図に参照符号３３６Ｆで図示されている。これら最後の２つの側壁の動きによって生じた偏倚力は、また、等しく対向しているので、ファイバーは面ＰＩおよび他の面ＰＦの交差上に最終的にセンタリングされる。面ＰＦは接触点３３８Ｆで接触されている２つの面に平行でそれらの間の中央に位置されている。ファイバーの最終位置は、前に定義された不整列に起因する所望の基準軸線から、以下に述べるように製造誤差内の他の変形に変位され得る。典型的なシングルモード光ファイバー用の位置決め装置、あるいはこれを利用する連結具ないしは充電部品を作るためには、位置決め装置はその直径において、１２５μｍから１２８μｍの範囲のファイバーを取り扱うことができなければならない。この範囲は良質なシングルモードファイバーにおいて典型的な直径の変種として見いだされる。最も好ましい実施例（第３５図から第４５図）において、ファイバーが４つのフィンガーの全てによって適当に保持されることを確実にするためには、論じられる製造過程中の結合のためのウェハの整列が、溝を横切る方向の不整列の変化（第４３図の寸法Ｍａ）をプラスまたはマイナス９．５内に制限しなければならない。この不整列の方向は、最も好ましい実施例において取り扱われるファイバーの直径の変種の範囲を狭める。他の方向、すなわち基準軸線の長さに沿う方向におけるウェハの不整列は、２０μｍを越えるべきでない。この方向の不整列は、一対の並んだフィンガーのクランプ点を、他の対の並んだフィンガーのクランプ点から軸線方向にずらす結果となり、これはファイバーを上方あるいは下方に僅かに曲げる傾向となろう。スリットすなわちソーカット（ｓａｗ　ｃｕｔ）の不整列（第４３図のＭｓ）は、典型的な６０ｇｍのソー（ｓａｗ）を用いることにより得られるように、スリット幅が６６μｍであるときに溝の側壁を切り込んでしまうことを避けるために、１０μｍを越えてはならない。フィンガーの曲がり部の厚みは、ばね力が中心のファイバーに釣り合うように、プラスないしはマイナス３μｍより大きく変化すべきではない。圧力破裂ディスクのごとき装置の微細加工のような微細加工技術分野において通常保有される誤差は、上記範囲内に充分に収まる。事実、第４５図に示すように、整列クランプを有する強化された位置決め装置を用いると仮定すると、実際に上記の最大変動が下記に帰することを評価は示している。側方向誤整列、Ｍａ、＋／−５μｍ湾曲部厚み、　Ｍｔ、＋／−１，５μｍウェハの軸線方向誤整列、＋／−１０μ ｍ曲がり部の幅、およびファイバーが４つのフィンガーの作用によりセンタリングされるときに遭遇する摩擦のような他の変動は小さい。微細加工される部品の普通に達成可能な製造誤差を用いた正味の結果は、ファイバーの端面上の中心点の基準軸線との整列からの変位において、１μｍより充分に下回る。上で論じた最大変動に対してさえも、ファイバ一端面の所望の基準軸線との整列からの変位は、充分に１μｍ以下である。第４２図および第４４図に関して、（フィンガーが誤適合されているか否かにかかわらず）ファイバーは、各フィンガ一対における各フィンガー間の接触点においてのみ支持されているので、接触点より後方のファイバーの長さ部は回動自由である。この偶発性を避けるためには、ファイバーを基準軸線に整列状態で正確に位置決めするよう位置決め装置の能力を向上することが望ましい。このために、ファイバーＦとフィンガー２２５との接触点の近傍から基準軸線に沿って所定距離２２４フアイバーに係合する、参照符号２２０で総称された、クランプを設けることは、本発明の企図内に存する。かかる強化された位置決め装置２０５Ｅが第４５図に示されている。第４５図に最もよく見られるように、強化された位置決め装置２０’日よ、第１の、前方、位置決め装置２０″、および、その位置決め装置２０８の後方の所定距離に配置されたクランプ２２０を備えている。クランプ２２０は、好ましくは第２の位置決め装置２０’を用いて実用化される。しかしながら、ここに開示された他の位置決め装置２０．２０’、２Ｇ”、２０”、または２０’もクランプ２２０として用いることができる。さらに、クランプ機能は適当な形態のいかなる配列によっても遂行され得る。もちろん、第４５図に参照符号２０６Ｅで示された位置決め装置と同様の強化された位置決め装置は、位置決め装置の前方および後方配列を用いて得られてもよい。ここに開示されたような位置決め装置２０．２０’、２０”、２０−”、２０’　、または２０５のいかなる組み合わせも、前方位置決め装置およびクランプを実施し、これにより強化された位置決め装置２０６Ｅを形成するのに用いられ得る。クランプ２２０は、ファイバーの中心軸線上の点を基準軸線に整列して正確に位置決めするのに役立つ。ファイバーの中心軸線上のこの第２の点は、ファイバーの端面から所定距離能れている。クランプ２２０を設けることによって、ファイバー軸線と基準軸線との間の角度的誤整列が最小に保持される。第３０図ないし第３３図に開示した状況と同様に、本発明による位置決め装置２０’または強化された位置決め装置２０５Ｆは、光電部品を構成する端面動作型または表面動作型光電装置と共に用いることができると言うこともまた明らかである。このような使用においては、第３０図および第３１図に示される方法で、端面動作型デバイス１７０が載置され得る台座１７４と同様の台座をもたらすべく、厚板７４５が延長される。このデバイス１７０は前に論じた方法で台座に載置されてもよい。代わりに、厚板は、表面動作型デバイスを受け入れるために、第３２図および第３３図に示された台座と同様の台座をもたらすべく変形されてもよい。前の場合と同様に、装置１７０は、端面または表面動作型であろうが、固体レーザ、フォトダイオード、または発光ダイオードの形態を採ることができる。装置の軸線Ｘは位置決め装置２０１′の基準軸線と同一線上にあり、従って、装置２０８によって基準軸線に整列されたファイバーは装置１７０に整列する。位置決め装置２０５は、もし望むなら、レンズを受け入れるべく第３１Ａ図に提案されるように変形されてもよい。もしさらに望まれるなら、本発明による位置決め装置２０″または強化された位置決め装置２０’Ｅは、２つの対峙するファイバーの面端を各々、所定の共通基準軸線に沿って整列させて保持する連結装置を作るのに用いられると言うことが理解されるべきである。このために、厚板７４’の上に、２つの対峙して配置された位置決め装置２０５、または２つの対峙して配置された強化位置決め装置２０″ε、（またはこれらの組み合わせ）を載置することが有利である。位置決め装置２０５または２０５Ｅの連結配列は、第２５図ないし第２８図に示されたハウジングと概ね同様な適正に適合されたハウジング内に配置されてもよい。第２５図ないし第２９図の参照符号１２０は、対峙している装置２０″または２０８Ｅから形成された連結具を指していることが理解されよう。最も好ましくは、このハウジングは一４５℃から＋８５℃Ｆの温度範囲に亘り、低熱膨張係数の製造材であるべきである。適当な好ましい材料は、ホークスト　セラニーズ　コーポレーション（Ｈｏｅｃｈｓｔ　Ｃｅ１ａｎｅｓｅ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）からｒ　ＶｅｃｔｒａＪのマークの下に販売されているような液晶ポリマーである。かかるポリマーに対しては、ハウジングを形成するのに従来の成形工程が用いられ得る。本発明による位置決め装置の製造に使用される写真石版式微細加工技術は第４６図から第５２図を参照して行なわれる以下の説明より理解されよう。説明は第４５図に示されたような強化された位置決め装置２０８Ｅの好ましい実施例を使用したファイバ一対ファイバ一連結具の製造に向けられるが、この技術はこれまで説明された位置決め装置のどの実施例の製造に対しても、これまで説明されたその他の種々の応用におけるその使用を含んで、容易に拡張することができる（記述の簡明化のために、位置決め装置の要素の基本参照符号（すなわち、上付文字無し）を用いる）ｈ適切な所定の結晶方位を有するシリコンウェーハ２００が、本発明による位置決め装置２０のアーム２２製造の出発点である。ゲルマニウムのようなその他の単結晶基板材も適切に使用可能であり、選ばれた別の基板と両立できる別の腐食液および素材が使用されることを理解すべきである。ウェーハ２００は少な（ともその−面が研磨されている。適当なシリコンウェーハは、在ニューシャーシー州スパルタの信越半導体株式会社、東京、日本、の子会社ニス・イー・エッチ・アメリカ、インク（ＳＥＨＡｍｅｒｉｃａ）より入手可能である。ウェーハ２００は「ｐ型」、「ｎ型」、または真性シリコンでよいことを理解すべきである。（＋００）面シリコンは、ｆｌｏｏ）結晶面上には容易に作用するが（１１１）面は実質的に腐食しない異方性腐食液によりエツチングできるので、この基板素材は好ましいものである。その結果、好ましく先の平らにされた■型溝３６Ａ、　３６Ｂ、トラフ６０Ａ、６０Ｂ　、導入部分６８Ａ、　６８Ｂおよびアーム２２Ａ、　２２Ｂの受け台３２Ａ、　３２Ｂと拡大部５４Ａ。５４Ｂとの間の中央部分２５Ａ、　２５Ｂが容易に形成される。かかる特徴部の幅および深さは、使用される写真石版マスクの開口の予め選定された幅および腐食液の作用時間に依存する。腐食液は、完全■溝の形成に有用な性質を持つ本質的に自己限定をする方法で１００面シリコン上に作用する。当業者は、他の断面形状が要求される場合はシリコンの別の所定の結晶方位を使用できることを認識するであろう。例えば正方形の断面の特徴が望まれるならば、（１１０１面シリコンウェー八を使用できる。しかし、特徴の別の断面形状はかなり費用がかさみ、かつ後述されるようにＶ溝の特徴に相当するファイバーの中心合わせ作用を得るにはさらに複雑な形状が必要である。第４６図はウェーハ２００の上面図である。ウェーハ２００はＳＥＭＩ標準により特定されるように外周平坦面２０１．２０２を持つ。平坦面２０１，２０２はシリコンの結晶構造の方向を示し、ウェーハの同定およびマスクの整列にも使用される。長い方の平坦面２０１は結晶面（１１０）の方向を示す。短い方の平坦面２０２は平坦面２０１に関しウェーハ周囲に所定の角度量に置かれ、角度の太きさは結晶のドーピングに依存する。展開されるように、ウェーハ２００の周辺領域２０３は、調整されたとき、位置合わせ用の溝を有し、一方、ウェーハ２００の中央領域２０４は、場合４こよっては、これに形成された位置決め装置のアームまた番よ基材の構造的特徴を持つ。第４７図は直角の整列用溝あるいは整列用スル−ホール２１２Ｈおよび対応するウェル２１２ｍのような整夕１ｊ用特徴のパターン２１２を備えたマスク２１０を示す。ホーｌし２１２Ｈはウェルと同じくウェーハの反対面力）らエツチングされる。もし、溝が用いられるなら、各ノ（ターン２１２の溝は種々の寸法（直径）の水晶の整夕Ｉ　したファイバーを受け入れる寸法に等綴付１−１もれる。溝２１２は、ファイバーを受け入れるように幅力３約０．００４８２５インチ（０，１２３ｍｍ）から０．００５０００インチ（０，１２７ｍｍ）までの範囲で０．０３９３７０インチ（０，１ｍｍ１刻みで分布してしする■型断面を持ち、５個の溝２１２が図示される。（溝の開いた頂部における）溝幅はファ旬く−の直径より大きく、従ってファイバーがその関係する溝の中Ｉこ配置されたときは、ファイバーの中心

【よ実質的１こウェーＡの面と同一面になる。従って、０．１２３ｍｍのファイバーに対しては、溝０．１５０６ｍ＋ｎが形成されろ。同様に、０、１２４ｍｍのファイバーに対しては、溝の開口した頂部の寸法は０．１５１８ｍｍである。０．１２５ｍｍファイノ（一につし１ては、溝の開口頂部寸法は０．１５３１ｍｍであり、Ｏ，１２６ｍｍファイバーについては溝の開口頂部寸法は０．１５４３ｍｍであり、さらに０．１２７＋＋ｍファイバーに対しては、溝の開口頂部寸法は０．１５５５ｍｍである。マスク２１０の中央部分２１４は、位置決め装置２０の所定数の構造的特徴（すなわち、アームまたは基台または厚板）を含んだ繰り返しパターン２２０（その１個が第４８図に示される）をもたらしている。典型的なウェーハ２００は直径が約３．９３８１インチ（１０１，０２８１１Ｉ１ｍｌであり、典型的な連結具１２０の寸法は最大幅部分が約３５０μｍ、長さが約２８００μｍであり、ウェーハ２００の中央部分２０４から約１０００個の連結具１２０用の構造的特徴を形成できる。第４８図は、マスク２１０の中央領域２１４に設けられたパターンの部分２２０の拡大図である。第４８図においては、図示されたパターンは連結具１２０に使用される複数の結合されたアーム２２の形成に使用されるものである。パターン２２０は、全領域を覆うように公知の処理ステップと繰り返し工程とを用いてマスク２１０の中央領域２１４の表面に形成される。第４８図に示された繰り返しパターン２２０は、隣接する平行なげかき線２２６の列と第１の分離線２２７Ａ、第２の分離線２２７Ｂの間に定められた複数のコラム２２４により構成される。各コラム２２４は１０個の独立した帯域２２７Ａないし２２７Ｅを含み、これらはコラム２２４内において切断線２３０に関して対称である隣接した２個のけかき線の間に、前端と前端とがつながった２個のアーム２２の形状が見られろ。隣接した３個のけかき線の間には、側部と側部とが長手方向でつながった２個のアーム２２の形状が見られる。帯域２２８Ａはアーム２２の導入部分６８Ａの領域を定める特徴に相当する。帯域２２８Ｂはアーム２２Ａのトラフ６０Ａを定める特徴に相当する。同様に、帯域２２８Ｃはアーム２２Ａの中央部分２５Ａに相当し、一方、帯域２２８Ｄはアーム２２Ａの先狭の溝３６Ａの領域を定める特徴に相当する。先狭の溝３ＦＩＡＯ軸！＋！５０Ａはトラフ６０Ａの軸線７０Ａからオフセット距離１００だけ食い違う。最後に、もし設けられるなら、帯域２２８Ｅはアーム２２Ａのタブ４８Ａの部分を定める特徴に相当する。第４８図に示されたマスクもこお５ｓでは、この配置が必ず必要であるというわけで（よなし１が、切断線２３０の一方の側のオフセット１００の位置カタ切断線の反対側におけるオフセット１００の位置とＣま逆にされることに注意されたい。アーム２２Ｂ用のマスクの繰り返しパターン番ヨ、アーム２２Ｂのオフセット距離１００の方向がアーム２２Ａの〕（ターンの鏡像になる点を除いて、第４８図に示されたものと同様である。ここに明らかにされるように、オフセットの間の鏡像関係は、一方が裏返しにされてイ也方の上にに重ねられたとき得られるアーム２２Ａ、　２２Ｂの特徴が互いに整合するために必要である。勿論、オフセット１００が無いときは、アーム２２Ａのマスクとアーム２２Ｂのマスクとは同じである。第４８図でハツチングした部分はウェーハ２００の（説明されるように）レジスト材料の層で保護される中央部分の領域に相当し、一方、ハツチング無しで示された部分は後のエツチングステップ中、保護されないままであろう。ネガ型レジストが使用されるが、第４８図のハツチ領域とハツチ無し領域の位置は希望すれば逆にできることが明らかである。これは次の工程を多少変えるであろうが、これは当業者によく知られた方法である。第４９Ａ図ないし第４９Ｅ図は、結晶シリコンのウェーハ２００が第４７図および第４８図のマスクに示された配列に相当するアーム２２Ａの配列に形成される処理段階を示す。第４９Ａ図に見られるように、ウェーハ２００はマスクと同様に作用する材料の層２３２で予め被覆される。二酸化シリコン（ＳｉＯｚ）が好ましく、これは、公知のように、高？Ｍ（約１１５０℃）で酸素雰囲気内で二酸化シリコン層を熱的に成長させてシリコンウェーハ２００の研摩された活性表面上を被覆する。示したように、シリコン酸化物が用いられる。というのも、シリコンの腐食に利用できる腐食液は、公知のフォトレジストもまた腐食するが、酸化物は僅かにしか腐蝕しないからである。この僅かな腐蝕がフォトマスクの寸法法めのときに考慮される。次いで、酸化シリコンＮ２３２はフォトレジスト２３４で被覆される。レジストは、２−エトキシルアセテート、Ｎ−ブチルアセテートおよび「マイクロボジツ１、・フォトレジスト（Ｍｉｃｒｏｐｏｓｉｔ　Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）　１４００−３７Ｊとしてマサチューセッツ州のシップレイ・カンバニイ、インコーホレーテッド・オブ・ニュートン（Ｓｈｉｐｌｅｙ　Ｃｏｍｐａｎｙ　ｏｆ　Ｎｅｗｔｏｎ）より発売のキシレン（ｘｙｌｅｎｅ）の混合物のようなポジ型レジストが好ましい。レジストは、テキサス州のヘッドウェイ・リサーチ・インコーボレテツド・オブ・ガーランド（Ｈｅａｄｗａｙ　Ｒｅ５ｅａｒｃｈ　Ｉｎｃｏｒｐｏｒｔｅｄ　ｏｆ　Ｇａｒｌａｎｄ）よりモデル番号ＥＣＲ４８５として入手可能のような標準の装置を用いて、ザ・シップレイ・マイクロエレクトロニック・プロダクツ・ブローシュア　（ｔｈｅ　ＳｈｔｐｌｅｙＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　Ｂｒｏｃｈｕｒｅ）（１９８４）に説明された指示に従って二酸化シリコンの表面上にスピン塗布される。マスク２１０がウェーハ２００上に取り付けられ、アライメントバー２３５を使用してウェーハ２００の平面２０１゜２０２に関して揃えられる。従って、仕上がりのウェーハにおいては、マスクにおけるアライメントバー２１３の使用により、アライメント用のａ２１２がウェーハの平面に関して正確に位置決めされる。ウェーハ２００はマスクを通して紫外線に露光され、次いで現像される。ポジ型レジストが使用されたので、第４９Ｂ図に示されるように、露光され硬化したレジスト２３４、二酸化シリコン２３２およびウェーハ２００を残してレジストの未露光部分は超純水を使用して洗浄される。次に、マスク２】０のパターンがシリカ層内にエツチングされる。弗化水素酸（ＨＦ）緩衝液が好ましい。このステップは第４９Ｃ図に示された配置を生ずる。当業者は、例えば濃度、時間および温度の総てが、説明されたウェット処理ステップの総てにおいて最適な結果を得るように調整されることを認識するであろう。その後に、アーム２２Ａの特徴を形成すべ（シリコンを腐食するために、第２の差動的なエツチング処理が行なわれる。好ましい異方性腐食液は１０％の水酸化カリウム（に０旧である。エチレンダイアミン（ＥＤ）、ピロカテコール（Ｐ）および水のＥＤ７５０ｍｌ、Ｐ１２０ｇおよび水２４０ｍ１の混合が使用されてもよい。希望するならば、水酸化カリウム（ＫＯＨ）を使用した２段階腐蝕も使用できる。このエツチングにより第４９Ｄ図に参照符号２３６で図式的に示されたシリコン表面の構造的特徴が作られる。特徴２３６の深さは、公知のようにエツチング時間の制御により制御される。勿論、差動的エツチングは、構造の内側角度のために、進行が続いても、自己限定のものである。次に、二酸化シリコン層２３２が弗化水素酸（ＨＦ）緩衝液によるエツチングで除去され、シリカ、すなわち二酸化シリコンの他の層を表面に成長させる。次に、ウェーハの表面にレジストを堆積させ、第５０図に示されるようにマスクを通して像を映す。この結果、ウェーハの接合されるべき所定部分（帯域２２８Ｃないし２２８Ｅおよびトラフ６０に相当する（第４８図参照））に、形成され硬化されたレジストの層２３８が得られる。次に二酸化シリコン層が、弗化水素酸（ＨＦ）を使い、接合されるべき領域よりエツチングされる。レジスト層２３８は、接合のために準備のできた、完成のウェーハを残して、アセトンを使用して除去される。これにより、アーム２２Ａの配列を持った第１のウェーハ２００の製造が完了する。先に注意したように、案内路９８Ａの軸線は溝９２Ａの軸線からオフセットされているので、アーム２２Ｂのマスクはアーム２２Ａを形成するために使われるマスクとは同じでなくてもよい。従って、アーム２２Ｂの配列を有する第２のウェーハを第４９図に示された工程に従って調整しなければならない。仕上げられた第２のウェーハ（特に図示はしないが以後符号２００′で示される）はオフセット１００の位置を除いて総て同じである。もし、両ウェーハが同じであるなら、第２のウェーハは第１のウェーハと全（同様に準備される。一部分が第５１図に示される基台用のマスクを使用して第３のウェーハ２００　 ″が作られる。第５１図は、（第４８図に示されたアーム用のマスクに類似した）基台用マスクの中央部分に設けられたパターン２２０′の一部分の拡大図である。繰り返しパターン２２０′は、隣接した平行なげかき線２４６の列と第１の分離線２４８Ａ、第２の分離ＩＩｉ！２４８Ｂとの間に定められた複数のコラム２４４よりなる。各コラム２４４は４個の独立した帯域２５０を含み、これら帯域はコラム２４４内で中心線２５２に関して対称である。帯域２５０Ａは基台７４上の取り付は面７６を定める。帯域２５０Ｂは基台に設けられる面８２に相当する。基台７４を含んだウェーハ２００″′は、はんだマスクの露光が行なわれない点を除いて第４９図に示されたものと類似の方法で露光される。しかし、シリカ層はウェーハ２００　”の表面から除かれる。アーム２２Ａ用のウェーハ２００、アーム２２Ｂ用のウェーハ２００′および基台７４用のウェーハ２００＃が作られると、連結具１２０の最終組立てが第５２図に示されるように行なわれる。ウェーハ２００の上にウェーハ２００′が置かれる。結合されるべきウェーハを整列する好ましい方法は、１つのウェーハを通り抜けるホールをエツチングすることと、エツチングに用いられる精密フォトマスクによって正確に位置決めされた結合ウェーハ上にウェル（残いホール）をエツチングすることとを含み、この結果、各ウェーハ上の少なくとも２つの位置で、ウェルとスルーホールとを一致させることによって両ウェーハが整列される。一つの方法は、切頭ピラミッド状スルーホールとウェルとをエツチングすることを含み、一つのウェーハが裏返され、かつ第２のウェーハに対して置かれたとき、各ホールおよびウェルは、微細加工技術分野で周知のように、ウェーハが精密調節機構でもって位置決めされたとき、顕微鏡で観察することによって一致される。よりよい方法は、ホールとウェル位置に十字を形成するように■溝をエツチングし、両ウェハを通過するビームによって形成される最高輝度像を探査する、赤外線源とカメラとによって一致させることである。かかる赤外線設備は（例えば、リサーチ　ディバイス　ディビジョン　オブ　アメ　リカ　オプティカル　コーポレーション（ＲｅｓｅａｒｃｈＤｅｖｉｃｅｓ　Ｄｉｖｉｓｉｏｎ　ｏｆ　Ａｍｅｒｉｃａ　０ｐｔｉｃａｌ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）から）市販されており、最も好ましい方法は、１ｏＬＬＩ１１のオーダーで互いに離間する格子パターンの線をエツチングすることである。赤外線ビーム像は、エツチングされた線が整列されている画像内で多くの赤外線ビームを２つのシリコンウェーハに通過させている最高輝度で最も均一な線に対して検査され得る。この後者の方法は、典型的に１０μｍの精度である十字を用いた方法と比較して、０．５μｍの精度であると信じられる。さらに他の代替として、ウェーハ２００’上の特徴なウェーハ２００のその上に整列することは、少なくとも２つ、好ましくは４つの長さ部のむかれた光ファイバーと溝の各列２１２の整列用溝の対応する適当な１つとを用いて行うことができる。光ファイバーの各長さ部の直径はマイクロメータによって測定され、精度はプラス・マイナス０．５μｍである。ファイバーの各々は、溝列２１２の測定された直径に最も近く対応する溝内に置かれる。かくて、各整列用ファイバーは選ばれた整列用溝内に座し、整列用ファイバーの軸線がウェーハ２００の表面の面内に存し、各ファイバーの残りの部分がその面の上方に突出する。ウェーハ２００′は裏返しにされたウェーハ２００の上に置かれ、ウェーハ２００′の対応した溝がファイバーの突出部分を受け入れこれにより２個のウェーハのパターンを正確に揃える。各ウェーハの整列用溝はウェーハの特徴の形成と同時に形成され、かつ各ウェーハのマスクは一方から他方が光学的に形成されるため、ウェーハ間の正確な整列が達成される。第５２Ａ図および第５２Ｂ図においては、図を明瞭にするため、１個のファイバー２５４および溝１２１だけが示されることに注意されたい。さほど好ましくない方法では、第５２Ａ図に示された重ねられたウェーハ２００．２００′の組立体は、シンポ（Ｓｈｉｍｂｏ）他の報告「シリコン対シリコンの直接接合方法（Ｓｉｌｉｃｏｎ−ｔｏ−ｓｉｌｉｃｏｎ　ｄｉｒｅｃｔ　ｂｏｎｄｉｎｇ　ｍｅｔｈｏｄ）Ｊ、ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス、８６年１０月、およびラスキ（Ｌａｓｋｙ）他の報告「接合およびエッチバックによる絶縁体上のシリコン（ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎＩｎｓｕｌａｔｏｒ（ＳＯＩ）Ｂｙ　Ｂｏｎｄｉｎｇ　ａｎｄ　Ｅｔｃｈｂａｃｋ）Ｊ　、ＬＥＤＭ８５に記述された方法に従って湿式雰囲気制御炉において接合される。第５２Ｂ図に示されるように、ウェーハ２００′の外面２５６′は、その厚さを最初の厚さく典型的には約１７μｍ）から最終厚さく５μｍ）に減らすためにラッピングされる。より好ましい接合方法は上記を用いるがアームおよいフィンガーの部分のエツチングによる高価なラッピングを避け、かつ厚板上に当接部が形成されるのを避ける。得られた接合構造体は裏返しにされ、ウェーハ２００′の外面２５６′がウェーハ２００″の上に取り付けられる。これらウェーハの整列は、ウェーハ２００の平面２０１，２０２に押し付ける水晶のブロック２６０を使った治具を使用して行なわれる。次にウェーハ２００′がウェーハ２００”に接合される。プラス（Ｗａｌｌｉｓ）とボメランツ（Ｐｏｍｅｒａｎｔｚ）の「ガラス−金属シーリング支援分野（Ｆｉｅｌｄ　Ａｓ５ｉｓｔｅｄ　Ｇｌａｓｓ−Ｍｅｔａｌ　Ｓｅａｌｉｎｇ）Ｊ　、ジャーナル・オブ、アプライド、フィジックス、６９年９月の報告に検討されたようなその他の接合技術をウェーハ接合に使用しうろことを理解すべきである。さらに別の接合技術が金属またはガラスの接合を含むであろう。次いで、ウェーハ２００の寸法がウェーハ２００′の寸法になるまで、ウェーハ２００の外面２５６がラッピングされる。これで、実質的に等しい撓みによる偏倚力が得られる。次に、第５２Ｄ図に示される得られた３個の接合されたウェーハの積重ねが切断される。接合された積重ねのうちの上の２個のウェーハ２００，２００’　（それぞれアーム２２−ＩＢ、　２２−２Ｂおよびアーム２２−ＩＡ、　２２−２Ａを含む、第２２図）だけが、まず、アームマスクの切断線２３０．２３０’に相当するウェーハ内の線に沿って切断される（第３６図）。この切断は、第２２図の距離１２２を作るように約０、００３インチのオーダーのブレードを用いて行なわれる。次に、接合された積重ねは、厚さ０．０１５インチのブレードを使用して、ウェーハ２００の分離線２２７Ａ。２２７Ｂ、ウェーハ２００′の分離線２２７Ａ’、２２７Ｂ’　、およびウェーハ２００　″の分離Ｉｌｌ　２４８Ａ、　２４８Ｂ　、並びに（ウェーハ２００、２００’および２００″の）けがき線２２Ｇ、　２２６’および２４６に沿って切断される。これらの線は、総て互いに整合し、これにより約１０００個のファイバ一対ファイバ一連結具１２０の接合された積重ねが製造される。前に述べたように、第３５図〜第４５図に示す位置決め装置２０５または第４５図に示す強化された位置決め装置２０５Ｅ　（および全ての連結具またはこれを用いたオブトエレクトロニクコンポーネント）は位置決め装置２０の場合について前に論じたのと概ね同様の方法で製造される。ある特別な点が注意されてもよい。ウェーハの頂面の一部は、製造が完了した時、フィンガ一対の面５６５Ｂを定める。ウェーハの隣接している部分が各フィンガ一対の面２８６を形成すべくエツチングされる。ウェーハの裏面側においては、その面の一部は各当接部５４５の面５６’Ａとなり、一方、そのウェーへ面の他の部分は各クリップ３０’の当接部３２″の面３４″を形成すべくエツチングされる０面５６６Ａおよび３４″の間のウェーハの面の隣接する部分は、撓み部を画成する面２６８の主要部を形成すべく僅かにエツチングされる。当接部５４’、３２’はまた、それぞれ側壁面６２’、３３’ を形成すべくエツチングされる。各側壁面６２’　、　３３’は、シリコン結晶構造に起因してウェーハの平面から５４．７４°の角度をなす。使用されるエツチング処理は溝の端部に鋭い角を作らないことが注意される。角は各側において内方にエツチングされる。シリコンの結晶構造により、２つの角度付けられた面が第３６Ｂ図に示すように角位置に形成される。図において直角な角部はソーイングすなわち切断によって形成されている。かかる傾いた角部が形成されることは、それらがファイバーのような筒状物をトラフ６０’および溝３Ｇ’によってそれぞれ形成されたチャンネル９０’および９２’に導入すべく案内として機能するので有利である。単一のシリコンウェーハにいくつかのフィンガ一対がエツチングされる。全てのエツチングは他の製造工程の前に行われる。所定の多数の未分離フィンガーを包含するウェーハが、対応する所定の多数の未分離ファンガーを包含する他のウェーハの上に位置決めされる。両ウェーハは整列され、各ウェーハ面上の未分離フィンガーの面５６’Ａ　（第３６Ａ図を見よ）が接触している。各ウェーハの僅かなエツチングにより各未分離フィンガー上の面３４５を取除き、それらの接触と接合とを防いでいる。未分離フィンガーを包含する２つのウェーハは、多数の未分離厚板７４’を包含している第３のウェーハ上に置かれる。ウェーハは炉内で溶融温度に加熱されて、面５６’Ａにおいてのみ結合される。はんだのような公知の接合方法もまた用いられ得る。接合ステップが完了した後は、シリコンウェーハは、（ｉ）フィンガーの協働する組を分離すべ（（当接部３０５を介して、および好ましいが、選択的に当接部５４’を介して）講９０１１．９２１１の中心を、（ｉｆ）位置決め装置となる４つのフィンガーの組を分離すべく、および（ｉｉｉ）底部のウェーハを切断すべくスライス、ないしは切断される。この底部のウェーハは、（第３５図のように）位置決め装置として機能する４つのフィンガーの組のための取付用厚板を形成すべく、（第４５図のように）後方のクランプを備えた位置決め装置として構成するため４つのフィンガーの前方組および後方組の両者を包含すべく、あるいは、２つの対峙して配置された位置決め装置（各々は単一の位置決め装置を、または前方および後方のフィンガー組を有している位置決め装置を含んでもよい）を包含すべく、分離されてもよい。以上説明された本発明の教示の便宜を有する当業者は、これに多くの変更を加えることができる。ここに述べられたような変更およびその他は請求事項に定義される本発明の意図内にあって構成されることを理解すべきである。特表平６−５１０１４２　（２４）Ｆｉｇ、　６Ａ　Ｆｉｇ、　６Ｂ −二２０’ 〜八　ｍ句い　リＦＩＧ、３６ＢＦＩＧ、４０ＦＩＧ、３７ＦＩＧ、３８ＦＩＧ、３９ＦＩＧ、４１ＦＩＧ、４３＾−＼―慟ｌ−一一１甲−雫■Ｉ−―＼フロントページの続き（７２）発明者　リー、ジェラルド、デイナアメリカ合衆国　１９３５７　ペンシルバニア州　メンデンホール　バロウズ　ラン　ロード　ボックス　４（７２）発明者　ウィリス、フランク、マースデンアメリカ合衆国　０８０９０　ニュージャージ州　ウニノナ−レナペ　トレイル　１０２

Claims

【特許請求の範囲】１．少なくとも第１および第２のアーム、各アームは第１の閉鎖位置から第２のセンタリング位置に可動であり、閉鎖位置においてはアームが共同作用して通過基準曲線を有するチャンネルを定め、チャンネルは入り口端と出口端とを有し、各アームの力が基準軸線を通過しかつセンタリング位置においてはアームの力の和が実質的に０に等しいような第１の閉鎖位置にアームの各々を偏倚する手段、アームの各々は、部材の軸が基準軸線から間隔を空けられた状態でチャンネルの入り口端に導入された円筒状部材が、少なくとも一方のアームとの接触により始めに部材の所定点が基準軸線と一致して置かれるように変位可能に配置され、アームは、センタリング位置に向かう強制力に対抗して動くことによりチャンネルを通る部材のさらなる軸方向運動に応答して基準軸線上の部材の点を維持することを特徴とする筒状部材位置決め用の位置決め装置。２．第１の、閉鎖位置から第２の、センタリング位置に可動な第３のアームを有し、閉鎖位置において第３のアームは第１および第２のアームと協働してチャンネルを画成し、閉鎖位置にあるとき３つのアームの力の和が実質的に０に等しくなるように、第３のアームを第１の、閉鎖位置に向けて偏倚する偏倚手段を有し、第３のアームは、チャンネルの入口端に軸線が基準軸線から離れて導入された筒状部材が、３つのアームのうちの少なくとも１つに接触することにより部材の中心軸線上の点が筒状部材の径にかかわりなく基準軸線に整列する方向に移動すべく初めに変位されるように配列されており、第３のアームはまたチャンネルを通した部材のさらなる軸線方向の動きに対し、センタリング位置に向かう偏倚力に抗ずる動きによって部材上の点を基準軸線に整列するよう位置決めすべく応ずることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の筒状部材の位置決め用の位置決め装置。３．第１および第２のアーム、少なくとも第１のアームは溝を定めるように共同作用する少なくとも第１の側壁と第２の側壁とを有し、アームは重ね合わせられる相互関係に配置され、各アームは第１の閉鎖位置から第２のセンタリング位置に可動であり、実質的に等しくかつ反対方向で第１の閉鎖位置に向いた強制力でアームの各々を強制する手段、閉鎖位置においてはアームが共同作用して通過基準軸線を有するチャンネルを定め、チャンネルは入り口端と出口端とを有し、アームの各々は、部材の軸が基準軸線から間隔を空けられた状態でチャンネルの入り口端に導入された円筒状部材が、少なくとも一方のアームとの接触により部材の端面の所定点が基準軸線と一致して置かれるように始めに変位可能であるように配置され、アームは、センタリング位置に向かう強制力に対抗して動くことによりチャンネルを通る部材の更なる軸方向運動に応答して部材および第１のアームと第２のアームとの双方の間の接触により基準軸線上の部材の点を維持することを特徴とする円筒状部材の位置決め用の位置決め装置。４．第１のアームの第１および第２の側壁が共同作用してその中に先狭の溝を定め、チャンネルはその軸方向長さの少なくとも所定部分に亙り少なくとも部分的に漏斗状にされる請求の範囲第３項に記載の位置決め装置。５．第２のアームがその上に平面を有することを特徴とする請求の範囲第４項に記載の位置決め装置。６．第２のアームがこれに配された少なくとも第１および第２の側壁を有し、第２のアームの第１および第２の側壁は共同作用してその中に先狭の溝を定め、第１のアームの先狭の溝と第２のアームの先狭の溝とが共同作用してチャンネルを定め、チャンネルはその軸方向長さの少なくとも所定部分において形が完全に漏斗状である請求の範囲第４項に記載の位置決め装置。７．第１のアームはこれに配された少なくとも第１および第２の側壁を有し、第１のアームの第１および第２の側壁は共同作用してその全長に亙って均一な幅寸法を有する溝を定め、チャンネルはその軸方向長さの少なくとも所定部分に亙り断面形状が長方形である請求の範囲第３項に記載の位置決め装置。８．第２のアームがこれに配された少なくとも第１および第２の側壁を有し、第２のアームの第１および第２の側壁は共同作用してその中に全長に亙り均一な幅寸法を有する溝を定め、第１のアームの均一溝と第２のアームの均一溝とは共同作用してチャンネルを定め、チャンネルはその軸方向長さの少なくとも所定部分に亙り長方形断面である請求の範囲第７項に記載の位置決め装置。９．第１のアームの溝の各側壁および第２のアームの溝の各側壁はエッジを有し、この側壁のエッジが部材に接触することを特徴とする請求の範囲第８項に記載の位置決め装置。１０．第２のアームは平坦面を有し、かつ第１のアームの溝の各側壁はエッジを有し、この側壁のエッジが部材に接触することを特徴とする請求の範囲第７項に記載の位置決め装置。１１．各アームがこれに配されたトラフを有し、アームのトラフは共同作用してその間にファイバーを案内する案内路を定める請求の範囲第３項に記載のの位置決め装置。１２．案内路はその中に軸を有し、案内路の軸はチャンネルの軸と所定距離だけ食い違っている請求の範囲第９項に記載の位置決め装置。１３．強制用手段は第１および第２のアームの各々に厚さの薄い部分を備え、厚さの薄い部分は各アームにおける撓み部分を定め、これは、各アームが部材との接触により曲げられたとき、各アームを閉鎖位置の方に強制する各アーム上の力を発生する請求の範囲第３項に記載のの位置決め装置。１４．さらに基材を備え、第１のアームが基材に取り付けられている請求の範囲第３項に記載の位置決め装置。１５．第１および第２のアームの各々が結晶材より製造される請求の範囲第６項に記載の位置決め装置。１６．第１および第２のアームの各々が結晶材より製造される請求の範囲第１４項に記載の位置決め装置。１７．アームの各々がその上に主面を有し、主面の一部は第１および第２の側壁を連結しかつ共同作用してここに溝を定め、各アームのこのように定められた先狭の溝は先の平らにされたＶ型を持つ請求の範囲第３項に記載の位置決め装置。１８．基台を有し、第１のアームがこの基台に載置されていることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の位置決め装置。１９．基台および第１および第２のアームは各々結晶材料から製造されていることを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の位置決め装置。２０．強制用手段は第１および第２のアームの各々に厚さの薄い部分を備え、厚さの薄い部分は各アームにおける撓み部分を定め、これは、各アームが部材との接触により曲げられたとき、各アームを閉鎖位置の方に強制する各アーム上の力を発生する請求の範囲第６項に記載の位置決め装置。２１．第１および第２のアームの各々が結晶材より製造された請求の範囲第２０項に記載の位置決め装置。２２．アームの各々がその上に主面を有し、主面の一部は第１および第２の側壁を連結しかつ共同作用してここに溝を定め、各アームのこのように定められた先狭の溝は先の平らにされたＶ型を持つ請求の範囲第６項に記載の位置決め装置。２３．第１および第２のアームの各々がその中にトラフをさらに有し、各トラフはアームの溝の後方の所定距離にアーム上に配置され、閉鎖位置においてはトラフは共同作用して円筒状部材をチャンネルの入り口端に向かつて案内する案内路を定める請求の範囲第６項に記載の位置決め装置。２４．案内路はその中に軸を有し、案内路の軸はチャンネルの軸と所定距離だけ食い違っている請求の範囲第２３項に記載の位置決め装置。２５．第１および第２のアーム、各アームはその中に配された少なくとも第１および第２の側壁を有し、第１および第２の側壁は共同作用して各アームに先狭の溝を定め、アームは先狭の溝が共同作用してその間にその長さの少なくとも所定部分に亙り形状が漏斗状のチャンネルを定めるようにして重ねられた相互関係に配置され、チャンネルは入り口端と出口端およびこれを通って延びている基準軸線を持ち、アームは、軸が基準軸線から間隔を空けられた状態でチャンネルの入り口端に導入された円筒状部材が、少なくとも一方のアームの一方の側壁との接触により部材の端面の所定点が基準軸線と一致して置かれそこに第１および第２のアームとの接触により保持されるように変位可能に配置され、第１および第２のアームの各々がその中にトラフをさらに有し、各トラフはアームの溝の後方の所定距離にアーム上に配置され、閉鎖位置においてはトラフは共同作用して円筒状部材をチャンネルの入り口端に向かつて案内する案内路を定めるを備えた円筒状部材の位置決め用の位置決め装置。２６．アームの各々がその上に主面を有し、主面の一部は第１および第２の側壁を連結しかつ共同作用してここに溝を定め、各アームのこのように定められた先狭の溝は先の平らにされたＶ型を持つ請求の範囲第２５項に記載の位置決め装置。２７．第１のアームが基台に取り付けられた請求の範囲第２４項に記載の位置決め装置。２８．第１のアームが基台に取り付けられた請求の範囲第２５項に記載の位置決め装置。２９．第１および第２のアームおよび基台の各々が結晶材より製造された請求の範囲第２８項に記載の位置決め装置。３０．第１および第２のアームの各々が結晶材より製造された請求の範囲第２５項に記載の位置決め装置。３１．所定の直径範囲の外径を有する筒状部材を位置決めするための位置決め装置であって、各フィンガーが側壁を有し、各フィンガーが第１の、閉鎖位置から第２の、センタリング位置に関節的に可動である４つのフィンガーの一組を有し、閉鎖位置においてフィンガーの側壁は基準軸線を有し入口端と出口端とを有するチャンネルを画成すべく協働し、フィンガーがセンタリング位置にあるときフィンガーに作用する偏倚力の和が実質的に０に等しいように、フィンガーの各々を所定の偏倚力でもって第１の、閉鎖位置に向けて偏倚する手段を有し、フィンガーの各々は、チャンネルの入口端に軸線が基準軸線から離れて導入された筒状部材が、フィンガーの少なくとも１つの側壁に接触することにより筒状部材の端面上の中心点が基準軸線に整列する方向に移動すべく初めに変位されるように配列されており、フィンガーの各々は、チャンネルを通した筒状部材のさらなる軸線方向の動きに対し、その偏倚力に抗して撓むことによって、筒状部材の端面上の中心点を部材と各フィンガー上の接触点との間の接触により基準軸線に整列して位置決めすべく応ずることを特徴とする位置決め装置。３３．各フィンガーは軸線方向に細長く第１および第２の軸線方向の端部を有し、かつ、第１の軸線方向端部に側壁が配置され、各フィンガーは第１および第２の軸線方向端部の中間に配置された低減された厚み領域を有し、該低減された厚み領域は各フィンガーが部材との接触により撓まされたとき、各アームを閉鎖位置に向けて偏倚すべく各フィンガーに復帰力を発生する曲がり部を各フィンガーに定めることを特徴とする請求の範囲第３１項に記載の位置決め装置。３４．前記フィンガーは第１および第２のフィンガー対に配列され、各フィンガー対は厚板上に取付けられていることを特徴とする請求の範囲第３３項に記載の位置決め装置。３５．フィンガーの各々は結晶材から製造されていることを特徴とする請求の範囲第３１項に記載の位置決め装置。３６．前記フィンガーは第１および第２のフィンガー対に配列され、少なくとも１つのフィンガ一対が厚板に取付けられていることを特徴とする請求の範囲第３１項に記載の位置決め装置。３７．さらに、フィンガーの側壁上の全ての接触点の近傍から基準軸線に沿って所定距離の位置で部材に係合する整列用クランプを備え、クランプは部材の中心軸線上の所定の第２の点を基準軸線に整列して正確に位置決めするよう部材に係合することを特徴とする請求の範囲第３１項に記載の位置決め装置。４３．前記整列用クランプは第２の位置決め装置を備え、第２の位置決め装置自体は、４つのフィンガーの一組を有し、第２の組の各フィンガーが側壁を有し、第２の組の各フィンガーが第１の、閉鎖位置から第２の、センタリング位置に関節的に可動であり、閉鎖位置において第２の組のフィンガーの側壁は第２の基準軸線を有し入口端と出口端とを有する第２のチャンネルを画成すべく協働し、第２の基準軸線は第１の基準軸線と同一線にあり、第２の組のフィンガーがセンタリング位置にあるとき第２の組のフィンガーに作用する偏倚力の和が実質的に０に等しいように、第２の組のフィンガーの各々を所定の偏倚力でもって第１の、閉鎖位置に向けて偏倚する手段を有し、第２の組のフィンガーの各々は、第２のチャンネルの入口端に軸線が第２の基準軸線から離れて導入された筒状部材が、第２の組のフィンガーの少なくとも１つの側壁に接触することにより筒状部材の端面上の中心点が第２の基準軸線に整列する方向に移動すべく初めに変位されるように配列されており、第２の組のフィンガーの各々は、チャンネルを通した筒状部材のさらなる軸線方向の動きに対し、その偏倚力に抗して撓むことによって、筒状部材の中心軸線上の第２の点を第２の基準軸線に整列する向きに動かすべく応じ、第２の組のフィンガーの各々は、筒状部材の所定の第２の点を部材と各フィンガー上の接触点との間の接触により基準軸線に整列して位置決めすべく偏倚力に抗って撓むことを特徴とする請求の範囲第３７項に記載の位置決め装置。４５．第２の組の各フィンガーは軸線方向に細長く第１および第２の軸線方向の端部を有し、かつ、第１の軸線方向端部に側壁が配置され、第２の組の各フィンガーは第１および第２の軸線方向端部の中間に配置された低減された厚み領域を有し、該低減された厚み領域は第２の組の各フィンガーが部材との接触により撓まされたとき、第２の組の各アームを閉鎖位置に向けて偏倚すべく第２の組の各フィンガーに復帰力を発生する曲がり部を各フィンガーに定めることを特徴とする請求の範囲第４３項に記載の位置決め装置。４６．第２の位置決め装置が厚板に取付けられていることを特徴とする請求の範囲第４５項に記載の位置決め装置。４７．第２の組のフィンガーの各々が結晶材で製造されていることを特徴とする請求の範囲第４３項に記載の位置決め装置。４８．第２の組のフィンガーは第１および第２のフィンガー対に配列されていることを特徴とする請求の範囲第４３項に記載の位置決め装置。