JPH06507981A - 流体振動子及びこのような振動子を備えた流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 流体振動子及びこのような振動子を備えた流量計本発明は流体振動子および流れ る液体またはガス状流体用流量計に関する。

現在の流量計または簡単な計器のほとんどは可動機械部品を有している。これは 特にスピナおよび膜流置針についても言える。

対照的に、流体振動子は経時的に摩耗する可動部品を何ら存しておらず、従って 、振動子を再較正する必要がない。

このような振動子は小さな寸法及び大変簡単な構造のものにすることができる。

かくして、それらの信頼性は非常に高い。しかも、これらの振動子はデジタル信 号に容易に変換することができる振動数信号を出力する。この特性は計器の遠隔 読取りのためには特に有利である。

このような流量計を開発する試みのほとんどは、一般に渦効果流量計およびコア ンダ効果流量計と呼ばれている渦式の流量計に向けられていた。

渦効果式流量計の作動原理は、流体が流れているダクト内に障害物が存在するこ とが周期的な渦の放出を引起こすという周知の事実に基づく。測定原理は所定の 形状寸法の障害物に対する、流量に比例する渦の離脱の振動数を検出することか らなる。

渦の振動数を種々の方法で測定して、平均放出速度、即ち、流量を測定すること かできる。渦効果式流量計は一般にノイズおよび上流の流体状態に非常に敏感で ある。実際、速度分布を一様にするのに整流器が使用される。この種類の流量計 は例えば米国特許第３．５８９．１８５号明細書に記載されている。

同じ呼称の流量計に使用されるコアンダ効果は、壁部の輪郭がジェットの吐出軸 線からそれている場合でも、ジェットをこの壁部の近くに吐出するときに、流体 ジェットが壁部の輪郭に従うという自然傾向にある。この種類の流体振動子は、 流体ジェットが先細ノズルを通って吐出される室を備えている。この室には、２ つの横壁部がジェットの吐出軸線を中心に対称的に位置決めされている。入力部 から振動子に流出するジェットは、それ自身自発的にコアンダ効果により横壁部 のうちの一方に当たる。次いで、流れの一部がジェットが当たる壁部の側チャン ネルによりそらされ、その結果、ジェットがこの壁部から離脱し、それ自身反対 の壁部に当たる。この現象が繰り返し、それにより入力流れの永久的な振動を生 じる。不運にも、この種類の装置では、流量測定の範囲が比較的制限され、校正 曲線の非直線性がむしろ大きい。しかも、この種類の装置は外部摂動を伴う成る 状態下では振動を停止してしまい、その結果、信号の損失が生じる。測定可能範 囲を拡大するために、オカダヤシ等は、一方が低流量で作動し、他方力塙流量で 作動する２つの流体振動子を組み合わせることを米国特許第４．６１０．１６２ 号明細書で提案した。

渦効果式流量計およびコアンダ効果式流量計で生じる問題のため、基本的に異な る原理に従って作動する他の種類の流体振動子を開発する試みが行われてきた。

１つの適用例が米国特許第４，１８４．６３６号明細書および第４．８４３．８ ８９号明細書に記載の流量計に見られる。

例えば、米国特許第４．２４４．２３０号明細書は流体流路の一部から分岐する ダクトに位置決めされた流体振動子流量計を述べている。この振動子はノズルを 形式する問い合った壁部を備えて、並んで位置決めされた２つの部材を有してい る。障害物はノズルに面した前側キャビティを有している。

このキャビティは共通の入口および出口を有している。ノズルを流れるジェット はキャビティに入り、その底部に当たる。

キャビティ内のジェットの横振動により、ジェットの各側に１つずつの２つの渦 か形成される。各局は交互に強く及び弱くなり、各々は互いに位相を異にしてい る。ジェットは共通の出口を流れ、主流に差し向けられる。

圧力センサによりキャビティ内のジェットの振動数を測定することができ、その 振動数は流量に比例している。

この種類の流量計の性能は一般に在来の流体流量計で得られる性能より良好であ る。不幸にも、特に感度および測定範囲に関して、またこの範囲内で装置の直線 性に関する性能は必ずしも満足できるものではない。

本発明の目的はこれらの問題を解消することである。本発明は流体振動子と、従 来の流量計の性能を上回って改良された性能の振動子を備えた流量計とを提供す る。

従来、このような流体振動子の直線性はジェットの振動数ｆを流量。で割った比 に等しい係数にの相対変化により評価される。

一般に、流量が増大する順に、３つの流れ状態、すなわち、層流状態、移行状態 、乱流状態に区別される。

レイノルズ数ＲＥの関数としてのＫの相対変りすなわち、Δに／Ｋを表す第１図 でわかるように、直線性についての問題は本質的に層流状態および移行状態で起 こる。（当業者に周知なレイノルズ数は、入口オリフィスの領域における流体の 速度にこのオリフィスの幅を掛け、これを流体の運動速度で割ったものに等しい ことがわかるであろう）。層流状態且つ低い流量では、係数にの相対変化が急激 に減少することがわかる。移行帯域ては、層流状態帯域の縁部で、曲線がピーク を育する。本発明は広範囲にわたって直線性である流体振動子に関する。係数に の相対変化が±１．５％より少ない場合にこのような振動子が直線性であると考 えられる。以下に示すように、本発明によれば、移行状態で係数にの相対変化の ピークを減少させることが可能であり、かくして直線作動範囲を対応して拡大す ることが可能である。

本発明による流体振動子は長さ方向対称平面を中心に対称である。この流体振動 子は、 両側に渦を伴い長さ方向対称平面に対して振動する二次元ジェットを生じる手段 を備えており、これらの渦は、位相を反対にした状態で、交互に強くおよび弱く 、そしてジェットの振動に関連しており、渦の半径方向延長をジェットの流れ状 態に依存させるようになっている手段を備えている。［半径方向延長」とは、渦 の中心からその周囲までの距離を意味している。

本発明の特定の実施例では、振動子は 輻ｄの入口オリフィスを有し振動する二次元流体ジェットとこのジェットの両側 の渦とを形成するようになっている流体入口と、流体入口オリフィスに連結され た振動チャンバと、振動チャンバに配置され、流体入口オリフィスに面した主キ ャビティが形成された前側部分を有する障害物と、 障害物の前側部分に形成された少なくとも２つの二次キャビティよりなり、渦の 半径方向延長をジェットの流れ状態に依存させるようになっている手段とを備え ており、これらの二次キャビティは主キャビティの両側に対称平面を中心に対称 に配置されている。

この実施例において、高い流量では、二次キャビティに二次渦が形成される。

主局は障害物の前側部分と振動チャンバの壁部との間に局在する。主局の半径方 向延長は二次渦の半径方向延長により制限される。その結果、係数にの増大があ る。反対に、移行状態且つ減少流量では、主局の半径方向延長は大きさがますま す増大し、二次キャビティ内に局在する二次渦の大きさを害する。これらの作動 状態の限度事態に達するのは、主局が大きい間にこれらの主局が二次キャビティ を完全に満たすときである。しかしながら、主局が大きい間、ジェットの振動現 象に関与する主局の半径方向延長が大きくなればなるほど、ジェットの振動の振 動数が減少する。その結果、係数におよびその相対変化は減少し、かくして、一 般には振動子の直線作動状態が増加する。

主キャビティは、２つのアームがキャビティの外側に向かって広がる実質的に７ 字をなす傾斜壁部を存するのが有利である。

主キャビティの壁部は対称平面に対して００〜８０°の範囲内の入口角度を有す るのがよい。

キャビテンは実質的に放物面状の底部を有するのが有利である。入口角度がＯ。

であるとき、主キャビティは矩形であるが、その壁部は対称平面に対して１０゜ 〜４５°の範囲内の入口角度を有するのが好ましい。入口オリフィスから主キャ ビティの底部を分ける距離は３ｄ−１５６の範囲内にある。

ジェットの振動中に測定された振動数は、キャビティの底部から入口オリフィス までのこの距離に依存している。十分に高い振動数を測定するためには、この距 離は４ｄ〜８ｄの範囲内にあるのが有利である。

主キャビティは２ｄ〜１０ｄの範囲内にある幅の入口を育するのが有利である。

特定の実施例では、障害物の前側部分は５ｄ〜３０ｄの範囲内の幅を有する。

障害物の前側部分は対称平面に対して実質的に直角である。この前部分は入口オ リフィスから１ｄ〜ｌｏｄの範囲内にある距離を隔てて配置されるのがよい。

二次キャビティを備えた障害物を備えた流体振動子の特定の実施例では、二次キ ャビティは実質的に、その入口を形成する開口面を有する四辺形内に収まる形状 を有しており、この形状は四辺形の三辺に接している。

もう１つの実施例では、各二次キャビティは実質的に、その入口を形成する開口 面を有する三角形内に収まる形状を有しており、この形状は三角形の二辺に接し ている。

特定の実施例では、各二次キャビティは段状の底部を有している。

特定の実施例では、各二次キャビティは１ｄ−１ａｄの範囲内にある幅の入口を 有している。

流体入口は、入口ダクトに連結されるようになっている六面体状の沈静室と、こ の沈静室の一側部に連結された先細部分とを備えており、この先細部分は振動チ ャンバに連結されるようになっている輻ｄの矩形入口オリフィスを有しているの が有利である。

また、流体入口は流体ジェットを調整する手段を備えているのが好ましい。

−変更例では、これらの調整手段は対称平面に沿って位置決めされたプレートに より構成されている。

もう１つの変更例では、これらの調整手段は対称平面に沿って位置決めされた成 形障害物により構成されている。

調整手段は入口オリフィスから０．５ｄ〜４ｄの範囲内にある距離を隔てられた 端部を有するのが有利である。

本発明はこのような流体振動子を備えた流量計にも関連する。

本発明の特徴は添付図面を参照して後述する説明を読むことにより明らかになる であろう。

既に説明した第１図は従来技術の流体振動子における流量の関数としての係数に の相対変化を概略的に示している。

第２図は本発明による流体振動子を上方から概略的に示している。

第３図は本発明による流体振動子の概略斜視図である。

第４図は本発明による流体振動子の入口の変更形態の概略斜視図である。

第５図は障害物を備えた場合および備えていない場合の流体ジェットの速度分布 を概略的に示している。

第６図は本発明による流体振動子に設けられた障害物の上方からの概略部分図で ある。

第７図はこのような障害物の変更形態の上方からの概略部分図である。

第８図はこのような障害物の他の変更形態の上方からの概略部分図である。

第９図はこのような障害物の他の変更形態の上方からの概略部分図である。

第１０図はこのような障害物の他の変更形態の上方からの概略部分図である。

第１１図は変化状態において作動する本発明による流体振動子の上方からの概略 部分図である。

第１２図は、異なる状況において第１１図の流体振動子を概略的に示している。

第１３図は本発明による振動子における流量の関数としての係数にの相対変化を 概略的に示している。

第２図は本発明による流体振動子の上方からの図である。流体は液体またはガス である。振動子は長手方向の対称平面Ｐを有している。

流体は入口Ｅを通って振動子に侵入し、この人口Ｅは第３図でわかるように流体 入口ダクト１２に連結された沈静室ｌＯと、矩形の入口オリフィス１６で終わる 先細部分１４とを備えている。

沈静室ｌＯは六面体形状を有しており、（入口ダクトに連結されている）その前 面の面積は、（先細部分に連結されている）その後面の面積より大きい。その後 面は好ましくは側面が二次元ジェットの高さに等しい立方体である。それにより 入口ダクト１２を流れる円筒形流体ジェットを実質的に矩形横断面を有するジェ ットに移行させる。先細部分１４は、流体を加速すると同時に、振動する二次元 ジェットを形成し得る。このために、振動チャンバ８への入口オリフィス１６は 、当業者に周知の二次元挙動の条件に応じた比の長さｈおよび輻ｄを持つ矩形状 である。

一般的には、比ｈ／ｄは６程度またはそれ以上であるへきである。輻ｄは下記説 明では基準単位として用いられる。

更に、入口Ｅは流体を調整する手段を備えている。これらの手段は対称平面Ｐに 沿って配置されたプレート２０によって形成されるのがよい。第４図はこれらの 調整手段の変形例を概略的に示している。この変形例では、この手段は対称平面 Ｐに沿って位置決めされた成形障害物２１により形成されている。

第５図でわかるように、調整は低い流量で当然放物線状であるジェットの速度分 布を実質的に平らにすることよりなり、この速度分布が高い流量で平らなままで あることがわかる。従って、速度分布はあらゆる流量で同一のままである。

入口オリフィス１６に面したプレート２０または障害物２１の端は、最も有利な 状態下で所望の作用を得るために０．５ｄ〜４ｄの範囲にある距離だけ上記入口 オリフィスから隔てられている。

例えば、この距離は１ｄに等しくてもよい。

第２図に戻ると、振動二次元ジェットか障害物２２を備えた振動チャンバ１８に 侵入するのかわかる。この室チャンバおよび障害物は長手方向対称平面Ｐに対し て対称である。障害物２２は、長手方向対称平面Ｐと実質的に直角であり、Ｉｄ 〜ＩＯｄの範囲にある入口オリフィス１６から距離Ｄｏを隔てて位置決めされた 前側部分２４を有する。例えば、この距離は３ｄに等しくてもよい。

障害物２２の前側部分２４は５ｄ〜３０ｄの範囲にある輻ＬＯを有している。例 えば、この幅は１２ｄに等しくてもよい。

振動チャンバ１８は、障害物の前側部分が配置された部分で最大幅Ｌｃを有し、 このＬｃは１０ｄ〜５０ｄの範囲内にあるのがよい。例えば、Ｌｃは２０ｄに等 しくてもよい。障害物と室の壁部との間に配置された空間は流体の流れ用チャン ネルＣＬＣ２を構成しており、これらのチャンネルは流体の流れを出口オリフィ スに差し向ける。これらのチャンネルはＬｃ−Ｌｏに実質的に等しい。障害物２ ２には、主キャビティ２６が入口オリフィス１６に面して形成されている。この 主キャビティ２６は２ｄ〜２０ｄの範囲内にある輻Ｌｅの入口を存している。例 えば、Ｌｅは５ｄに等しくてもよい。第２図に示す実施例では、主キャビティ２ ６は実質的７字をなす傾斜壁部２８．３０を有しており、Ｖ字のアームはキャビ ティ２６の外面に向かって開いている。

壁部２８．３０は対称平面Ｐに対して００〜８０°の範囲にある入口角度ａ１を 有している。有利には、ａｌは１００〜４５°の範囲にある。例えばａｔは４５ °に等しくてもよい。

第２図に示す実施例では、主キャビティ２６の横壁部２８．３０は実質的に放物 面状の底部３２に収束している。主キャビティ２６の底部はそこから距離Ｄｆの ところにある入口オリフィス１６に面しており、Ｄｆは３ｄ〜＋５６の範囲にあ る。例えばＤｆは６ｄに等しくてもよい。

振動チャンバ内の二次元ジェットの振動は、ジェットの両側に配置され、位相が 反対であって、この振動に応して交互に強くおよび弱くなる渦の形成を判う。

これらの渦は主として、障害物２２の前側部分２４と入口オリフィス１６が形成 されているチャンバ１８の壁部との間の空間に配置される。ジェットは、振動チ ャンバ１８に侵入すると、交互するスィーブする動きて主キャビティ２６の壁部 および底部に当たる。

本発明によれば、流体振動子は渦の半径方向延長をジェットの流れ状態に依存さ せるようになっている手段を備えている。

渦は円形横断面を有しておらず、むしろ、ジェットの振動中、変形する。その結 果、半径方向の延長はこの渦の中心とその周囲との間の距離を意味するものと考 えられる。

第２図の実施例では、渦の半径方向延長をジェットの流れ状態に依存させるよう になっている手段は、キャビティ２６の両側で障害物２２の前側部分２４に対称 平面Ｐに対して対称的に形成された２つの二次キャビティ３４．３６により構成 されている。第６図においては、二次キャビティ３４．３６は入口を形成するよ うに一辺が開いた四辺形内に収められた形状を有している。かくして、キャビテ ィの形状は四辺形の三辺と接している。形状が四辺形により境界決めされた各二 次キャビティは、第１外側側壁３８．４０、第２内側側壁４２．４４および底４ ６．４８を有している。

対称平面Ｐと平行な平面に対する側壁部の傾きは、装置の作動を大きく変更する ことなしに大きい角度の値を採ることができる。第６図においては、二次キャビ ティの底部は対称平面Ｐと直角であるが、第７図でわかるように、この平面とで 入口角度を形成してもよく、この角度は＋４５°までの値を採り得る。

各二次キャビティへの入口はＩｄ　−＋５ｄの範囲にある幅Ｌｓを有している。

二次キャビティの形状は四辺形自身（開放辺が入口を形成する）から、一点で四 辺形の辺各々と接触するだけの湾曲形状に移行するのがよい。

第８図に概略的に示す変更例では、キャビティの底部４６．４８を段状にするこ とができることがわかり、この例では、底部４６．４８はそれぞれ２つの段部４ ６ａ、４６ｂおよび４８ａ、４８ｂを有しているが、もっと多くの段部を有する ようにしてもよい。これらの段部は対称平面Ｐと直角であってもよく、或いは対 称平面Ｐとで９０°以外の角度を適切に形成してもよい。

段部を分ける立上り部は対称平面と平行でもよいし、或いはθ°以外の入口角度 を同等に適切に形成してもよい。特に、立上り部は外側側壁３８．４０と平行で もよい。第９図においては、二次キャビティ３４．３６は入口を形成するように 一辺が開いた三角形内に収まる形状を有している。従って、二次キャビティの形 状は三角形の二辺に接している。また、二次キャビティの形状は入口を形成する １つの開いた側を備えた三角形自身から、一点て三角形の辺各々と接触するだけ の湾曲形状に移行してもよい。

第１０図では、二次キャビティの底部は段状になっている。更に、上記形状が同 等の形状寸法を採ることができ、種々の限界形状が同じ機能を果たすことは理解 されよう。

乱流状態では、主キヤビテイ２６内の流体ジェットのいかなる衝撃箇所でも、二 次渦が各二次キャビティ３４．３６に形成される。これらの二次渦は、この流体 振動子が、二次キャビティを有していない振動子と、全体として、同じように機 能するのに十分に強い。以下の説明は移行状態下での装置の一般的な挙動に関し ており、第１ｔ図および第１２図を参照して説明を行う。

流体ジェットＦの衝撃箇所は末端点１１と１２との間で主キヤビテイ２６スイー ブする。振動に伴って障害物２２の前側部分と入口オリフィスに隣接した振動チ ャンバの壁部との間に局在する生温ＴＬＴ２が形成される。

第１１図では、ジェットの衝撃が点１１に達し、次いで、渦Ｔ１は集められ、強 く、一方、渦Ｔ２は弱い。流体ジェットは主としてチャンネルＣ２を経て逃げる 。

乱流状態下では、２つの二次キャビティ３４．３６は生温と位相が反対であって 交互に強く及び弱くなる二次渦Ｔｓｌ、Ｔｓ２で満たされる。しかしながら、流 量が減少するにつれて、これらの二次渦の強度あるいは、集中は低減する。

その結果、強い生温は、第１１図のＴ１で起こるとき、その半径方向の延長が増 大するので、流量が減少すると、渦は二次キャビティ３４を漸次占めて、二次渦 Ｔｓｌを害し、この二次渦Ｔｓｌは最後にはすっかり消滅する。対照的に、流体 ジェットの逃げにより作られた二次渦Ｔｓ２は常に二次キャビティ３６に存在す る。

第１２図では、流体ジェットの衝撃箇所は１２のところに配置され、次いで、増 大された半径方向の延長を有する渦Ｔ２になり、流れが十分に低いとき、渦Ｔｓ ２は完全に消滅する。生温は、集中されて強いときには、移行状態の場合には、 乱流状態の場合より大きい半径方向の延長を有する（というのは、乱流状態下で は、二次キャビティは両方とも二次渦で占められ、生温の展開に有効な空間が減 小されるからである）。振動の振動数は生温の半径方向の延長の増大に伴って減 少する。

本発明による装置についてのレイノルズ数の関数としての係数にの相対変化を概 略的に示している第１３図かられかるように、渦の半径方向延長を流れの状態に 依存させることにより、乱流状懸下で振動の振動数を増大させ、移行状態で振動 の振動数を減小させて振動子の直線性を向上させることができる。

第２図の流体振動子によれば、この振動子を通る流量の流量を、主キャビティ２ ６の内側の流体ジェットのスィーブの終了点に配置された２つの圧力タップ５０ ．５２によって測定することができる。これらの圧力タップはジェットの振動の 振動数を測定することができる公知の装置に連結されている。この振動数は予備 測定により流量に結びつけられる。かくして、広い測定範囲にわたって線形であ る流量計か得られる。

障害物無し　！書物本１ノ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．長手方向対称平面（Ｐ）に対して対称であり、両側に渦（Ｔ１、Ｔ２）を伴 い、対称平面（Ｐ）に対して横方向に振動する二次元ジェットを作る手段を備え ており、これらの渦が位相を反対にした状態でジェットの振動に応じて交互に強 くおよび弱くなる流体振動子において、渦の半径方向延長をジェットの流れ状態 に依存させるようになっている手段（３４、３６）を更に備えていること、を特 徴とする流体振動子。 ２．振動する二次元流体ジェットを形成するようになっている幅ｄの入口オリフ ィス（１６）を備える流体入口（Ｅ）と、流体入口オリフィス（１６）に連結さ れた振動チャンバ（１８）と、振動チャンバ（１８）に配置され、流体入口オリ フィス（１６）に面した主キャビティ（２６）が形成された前側部分（２４）を 有する障害物（２２）とを備えた流体振動子において、渦の半径方向延長をジェ ットの流れ状態に依存させるようになっている手段が、障害物（２２）の前側部 分（２４）に形成された少なくとも２つの二次キャビティ（３４、３６）よりな ることを、特徴とする請求項１に記載の流体振動子。 ３．前記主キャビティ（２６）は２つのアームがキャビティの外側に向かって広 がっている実質的にＶ字をなす傾斜壁部（２８、３０）を有していること、を特 徴とする請求項２に記載の流体振動子。 ４．前記主キャビティ（２６）の壁部（２８、３０）は対称平面（Ｐ）に対して ０°〜８０°の範囲内にある入口角度（ａ１）を有していること、を特徴とする 請求項３に記載の流体振動子。 ５．前記主キャビティ（２６）の壁部（２８、３０）は対称平面（Ｐ）に対して １０°〜４５°の範囲内にある入口角度（ａ１）を有していること、を特徴とす る請求項４に記載の流体振動子。 ６．前記主キャビティ（２６）の底（３２）が、３ｄ〜１５ｄの範囲内の入口オ リフィスから距離（Ｄｆ）を隔てて入口オリフィス（１６）と対向して配置され ていること、を特徴とする請求項２に記載の流体振動子。 ７．前記主キャビティ（２６）の底（３２）が、４ｄ〜８ｄの範囲内の入口オリ フィスから距離（Ｄｆ）を隔てて入口オリフィス（１６）と対向して配置されて いること、を特徴とする請求項６に記載の流体振動子。 ８．前記主キャビティ（２６）が２ｄ〜１０ｄの範囲内にある幅の入口を有する こと、を特徴とする請求項２に記載の流体振動子。 ９．前記障害物（２２）の前側部分（２４）が、５ｄ〜３０ｄの範囲内にある幅 （Ｌｏ）を有すること、を特徴とする請求項２に記載の流体振動子。 １０．前記障害物（２２）の前側部分（２４）が、対称平面（Ｐ）に対して実質 的に直角であり、オリフィス（１６）から１ｄ〜１０ｄの範囲内にある距離を隔 てて配置されていること、を特徴とする請求項２に記載の流体振動子。 １１．前記各二次キャビティ（３４、３６）が、実質的に、その入口を形成する 開口面を有する四辺形内に収まる形状を有しており、この形状は四辺形の三辺に 接していることを特徴とする請求項２に記載の流体振動子。 １２．前記各二次キャビティ（３４、３６）が、実質的に、その入口を形成する 開口面を有する三角形内に収まる形状を有しており、この形状は三角形の二辺に 接していること、を特徴とする請求項２に記載の流体振動子。 １３．前記各二次キャビティ（３４、３６）が、段状の底を有すること、を特徴 とする請求項１２または１３に記載の流体振動子。 １４．前記各二次キャビティ（３４、３６）が、１ｄ〜１０ｄの範囲内にある幅 （Ｌｓ）の入口を有すること、を特徴とする請求項１２または１３に記載の流体 振動子。 １５．前記流体入口（Ｅ）が、入口ダクト（１２）に連結されるようになってい る六面体状沈静室（１０）と、該沈静室（１０）の一側部に連結された先細部分 （１４）を備えており、該先細部分は振動チャンバ（１８）に連結されるように なっている幅ｄの矩形の入口オリフィスを有していること、を特徴とする請求項 ２に記載の流体振動子。 １６．流体入口（Ｅ）が流体ジェットを調整する手段（２０：２１）を備えてい ること、を特徴とする請求項１５に記載の流体振動子。 １７．前記調整手段は対称平面に沿って位置決めされたプレート（２０）により 構成されていること、を特徴とする請求項１６に記載の流体振動子。 １８．前記調整手段は対称平面（Ｐ）に沿って位置決めされた成形障害物（２１ ）により構成されていること、を特徴とする請求項１６に記載の流体振動子。 １９．前記調整手段は入口オリフィスから０．５ｄ〜４ｄの範囲内にある距離だ け隔てられた端部を有すること、を特徴とする請求項１７または請求項１８に記 載の流体振動子。 ２０．請求項１ないし１９のうちのいずれかに記載の流体振動子を備えたこと、 を特徴とする流量計。