JP2610590B2 - 流量計 - Google Patents

流量計

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JP2610590B2
JP2610590B2 JP7084292A JP8429295A JP2610590B2 JP 2610590 B2 JP2610590 B2 JP 2610590B2 JP 7084292 A JP7084292 A JP 7084292A JP 8429295 A JP8429295 A JP 8429295A JP 2610590 B2 JP2610590 B2 JP 2610590B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流量計に係り、特に、
流体中に振動可能に配置された振動体を用いて流体の流
量を計測する流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】流体の流量を計測する流量計としては、
従来より渦式流量計や絞り式流量計が使用されていた。
渦式流量計は、図１０に示すように、流体の流路５３中
に配置された物体５４の流路後方側には、２列に亘っ
て、交番的に千鳥状に配置される渦（カルマン渦）が発
生することから、このカルマン渦５５を計数することに
より、流量を計測するものである。
【０００３】即ち、渦式流量計は、渦発生機構と、この
渦発生機構において発生した渦の検出機構とを有し、流
体中の渦が放出する渦の数を、サーミスタや圧電方式に
より検出することにより流量を計測するように構成され
ている。しかしながら、このような従来の渦式流量計に
あっては、カルマン渦５５を発生させることにより当該
流体の振動を検知するように構成されていたため、カル
マン渦５５を発生させるためには、一定以上の幅寸法の
流路を有する所定の大きさの渦発生機構が必要であり、
渦式流量計にあっては小型化することは不可能であると
共に、流体の流速が小さい場合や、流量が小さい場合に
は、カルマン渦５５を発生させることが困難であるた
め、流量を計量することができない、という欠点をも有
している。
【０００４】一方、従来より絞り式流量計と呼ばれる流
量計も広く使用されている。このような絞り式流量計
は、流路内に、オリフィス、ベンチュリー等の絞り機構
を設け、この絞り機構の前後に発生する差圧により流量
を計測するように構成されている。しかしながら、この
ような従来の絞り式流量計にあっては、差圧を測定する
ためには差圧計を必要とすると共に、流量は二次曲線に
より表示されるため、使用しやすい直線により表示され
る流量値へ変換するためには演算回路を備えた流量換算
部を必要としていたため、製作コストが嵩む、という欠
点が存していた。
【０００５】また、従来の絞り式流量計にあっては、計
測する流体の種類により流体の密度、圧力、温度等の条
件が変化した場合には、計測値に対して補正するための
演算を行う必要があり、計測作業が煩雑であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、請求項１に記
載された発明の技術的課題は、流速により振動可能に配
置された振動体の振動を検出して流量を計測し、小型で
あって製作コストを低減することができ、流体の流速や
流量が小さい場合であっても流量を計測することができ
ると共に、計測する流体の密度、圧力、温度等の条件の
変化に拘わらず、流体の体積容量を計測することができ
る流量計を提供することにある。
【０００７】請求項２に記載された発明の技術的課題
は、請求項１に記載された発明の技術的課題に加えて、
上記分流体と振動体との接触による摩擦抵抗を低減し、
流体の差圧が発生した場合に振動エネルギーの変換効率
が良好な流量計を提供することにある。請求項３に記載
された発明の技術的課題は、請求項１又は２に記載され
た発明の技術的課題に加えて、振動体の振動方向を規制
し、計量精度を向上させることが可能な流量計を提供す
ることにある。
【０００８】請求項４及び請求項５に記載された発明の
技術的課題は、請求項１，２又は３に記載された発明の
技術的課題に加えて、振動体が確実に流体の流れを遮断
して差圧を発生させ、より高精度の計量を行うことが可
能な流量計を提供することにある。請求項６に記載され
た発明の技術的課題は、請求項１，２，３，４又は５に
記載された発明の技術的課題に加えて、振動体の振動を
確実に行わせることにある。
【０００９】請求項７に記載された発明の技術的課題
は、請求項１，２，３，４，５又は６に記載された発明
の技術的課題に加えて、より製作コストを低減すること
が可能な流量計を提供することにある。請求項８に記載
された発明の技術的課題は、請求項１，２，３，４，
５，６又は７に記載された発明の技術的課題に加えて、
振動体の振動を確実に行わせ高精度の計量を行うことが
可能な流量計を提供することにある。
【００１０】請求項９に記載された発明の技術的課題
は、請求項１，２，３，４，５，６，７又は８に記載さ
れた発明の技術的課題に加えて、振動体の振幅の制御と
共に振動体が当接部に衝突する、衝突力の制御が可能と
なる流量計を提供することにある。また、請求項１０に
記載された発明の技術的課題は、差圧計及び、差圧を表
示する二次曲線により表される流量値を直線信号に変換
するための演算回路が不要となり、製作コストを低減す
ることができると共に、計測する流体の密度、圧力、温
度等の条件の変化に拘わらず、流体の体積容量を計測す
ることができる絞り式流量計を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このような技術的課題解
決のため、請求項１記載の発明にあっては、計量しよう
とする流体が流下する流路１１を有し、上記流路１１中
には流体の流量を計量する計量部１２を備え、上記計量
部１２は、上記計量部１２内に流入した流体中に配置さ
れると共に、流速による差圧が発生した場合に流路幅方
向において往復振動しうる振動体１３と、この振動体１
３の下流側に設けられ、上記振動体１３に当接して振動
体１３を計量部１２内に保持すると共に流体を分流し、
振動体１３が往復振動しうるように振動体１３に対して
上流側から流体の圧力を供給して振動体１３を振動させ
うる振動変換部１４を形成する分流体１５と、上記振動
体１３の上流側に設けられ、上記振動体１３が振動した
場合に当接する振動体当接部１６と、上記振動体１３の
往復振動を検知しうる振動検知部１７とを有し、上記分
流体１５は、計量部１２内を分割して流路１１幅方向に
一対の空隙３０ａ，３０ｂを形成するように配設され、
これら一対の空隙３０ａ，３０ｂにより上記振動変換部
１４が構成され、上記振動体１３は上記一対の空隙３０
ａ，３０ｂの上流側において流路１１幅方向に沿って往
復振動し、上記振動検知部１７により上記振動体１３の
往復振動を検出して流量を検出することを特徴とする。
【００１２】請求項２記載の発明にあっては、請求項１
記載の技術的手段に加えて、上記振動体１３は球状に形
成されていることを特徴とする。請求項３記載の発明に
あっては、請求項１及び２記載の発明の技術的手段に加
えて、上記分流体１５に設けられ、振動体１３の流路１
１幅方向における往復振動を一定方向に規制しうるガイ
ド部２０，２０を有することを特徴とする。
【００１３】請求項４記載の発明にあっては、請求項
１，２及び３記載の発明の技術的手段に加えて、上記計
量部１２は、計量部本体５８と、上記計量部本体５８へ
流体を流入させる流入路２１とからなり、上記流入路２
１は計量部本体５８に形成された空隙の直径よりも小径
に形成され、上記振動体当接部１６は、上記流入路２１
を形成する流路内側面部４３の縁部により形成されてい
ることを特徴とする。
【００１４】請求項５記載の発明にあっては、請求項４
記載の発明の技術的手段に加えて、上記振動体１３は、
上記分流体１５と計量部１２の流路内壁面部４１との間
の間隔寸法Ｌ３よりも大きいと共に上記流入路２１の内
径寸法Ｌよりも大きい直径寸法に形成されていることを
特徴とする。請求項６記載の発明にあっては、請求項
１，２，３，４及び５記載の発明の技術的手段に加え
て、上記分流体１５は、流路１１を流れる流体の流下方
向に沿って配置され、流路１１を幅方向に二分割しうる
板状部材により形成されていると共に上記振動体１３は
板状部材の厚さ方向に往復振動するように構成されてい
ることを特徴とする。
【００１５】請求項７記載の発明にあっては、請求項
１，２，３，４，５及び６記載の発明の技術的手段に加
えて、上記振動検知部１７は、近接センサにより形成さ
れていることを特徴とする。請求項８記載の発明にあっ
ては、上記流路１１は横断面円形に形成されていること
を特徴とする。
【００１６】請求項９記載の発明にあっては、上記振動
体１３は、流体の流速が及ぼす力よりも小さな支持力を
有する支持部５６により支持されていることを特徴とす
る請求項１，２，３，４，５，６，７又は８項記載の流
量計。請求項１０記載の発明にあっては、計量対象とな
る流体が流下する主流路を有し、上記主流路には絞り機
構と、この絞り機構の上流側と下流側とを連通させるバ
イパス路とを有し、上記バイパス路に設けられ、絞り機
構の前後の差圧を計測する計測部を有し、流体の流量を
計測する流量計であって、上記計測部は、絞り機構の上
流側の流体を流入させ流体の流量を計量する計量部１２
を備え、上記計量部１２は、上記計量部１２内に流入し
た流体中に配置されると共に、流速による差圧が発生し
た場合に流路幅方向において往復振動しうる振動体１３
と、この振動体１３の下流側に設けられ、上記振動体１
３に当接して振動体１３を計量部１２内に保持すると共
に流体を分流させ、振動体１３が往復振動しうるように
振動体１３に対して上流側から、主流路の絞りにより発
生した差圧を供給しうる振動変換部１４を形成する分流
体１５と、上記振動体１３の上流側に設けられ、上記振
動体１３が振動した場合に当接する振動体当接部１６
と、上記振動体１３の往復振動を検知しうる振動検知部
１７とを有し、上記分流体１５は、計量部１２内を分割
して流路１１幅方向に一対の空隙３０ａ，３０ｂを形成
するように配設され、これら一対の空隙３０ａ，３０ｂ
により上記振動変換部１４が構成され、上記振動体１３
は上記一対の空隙３０ａ，３０ｂの上流側において流路
１１幅方向に沿って往復振動し、上記振動検知部１７に
より上記振動体１３の往復振動を検出して流量を検出す
ることを特徴とする。
【００１７】
【作用】請求項１に記載された発明にあっては、上記流
路１１内に流体が流入した場合には、上記振動体１３
は、計量部１２内において下流側を上記分流体１５によ
り支持されて、流体中に浮遊する。そして、流体が流路
１１内を流れる際には、流路内壁寄りの部位と、流路中
央の部位とにおいてでは流速が異なるため、このような
流路１１の幅方向における流速の相違等により、上記振
動体１３に対しては上流側から流速による不均一な力が
作用する。
【００１８】従って、上記振動体１３は、このような不
均一な流速により、振動変換部１４を構成する上記分流
体１５により形成される何れか一方の空隙部３０ａ，３
０ｂの上流部位へ移動し、上記一方の振動体当接部１６
に当接する。この場合、振動体１３が移動した空隙部３
０ａへの上流側からの流体の流れは、上記振動体１３に
より遮られるため、振動体１３が移動した空隙部３０ａ
へは流れにくく、上流側からの流体は殆ど他方の空隙部
３０ｂへ流れる。
【００１９】従って、振動体１３が接近した側の空隙部
３０ａ内において流体の流速は急速に低下する。一方、
振動体１３が離間した側の空隙部３０ｂ内へ流れ込む流
体は、上記振動体１３と振動体当接部１６との間に形成
される狭い空隙４４を介して流れ込む。この場合、振動
体１３と振動体当接部１６との間の空隙４４の流体通過
面積は流入路２１の断面積よりも小さいことから、この
空隙４４を境界として上流側の流路２１と下流側の空隙
部３０ｂとの間には、大きな差圧が発生する。
【００２０】従って、この場合、上記分流体１５を境界
として、振動体１３が移動した側の空隙部３０ａと他方
の空隙部３０ｂとの間には、同様に、大きな差圧が形成
される。このように形成された差圧により振動体１３は
差圧の低い空隙部３０ｂ側に慣性力も相まって、移動を
始める。
【００２１】その後、空隙部３０ｂに振動体１３は移動
し、上記とは逆に、振動体１３が接近した側の空隙部３
０ｂ内において流体の流速は急激に低下する。一方、振
動体１３が後退した側の空隙部３０ａ内へ流れ込む流体
は、上記振動体１３と振動体当接部１６との間に形成さ
れる狭い空隙４４を介して流れ込む。この場合、振動体
１３と振動体当接部１６との間の空隙４４の流体通過面
積は流路１１の断面積よりも小さいことから、この空隙
４４を境界として上流側の流入路２１と下流側の空隙部
３０ａとの間には、大きな差圧が発生する。
【００２２】従って、この場合、上記分流体１５を境界
として、振動体１３が移動した側の空隙部３０ｂと他方
の空隙部３０ａとの間には、流体の大きな差圧が形成さ
れる。このように形成された差圧により振動体１３は差
圧の低い側に慣性力も相まって、移動を始める。
【００２３】上記振動体１３を動作させる現象は、振動
体１３の直後の流体の圧力の変化によるものであるが、
所定の長さを有する上記分流体１５の下流側端部４５を
介しての、一方の空隙部３０から他方の空隙部３０への
圧力伝播が一連の動作をより確実なものとする。上記動
作の繰り返しにより、流体が流路１１を流下する際に
は、上記振動体１３は上記分流体１５により形成された
一対の空隙３０ａ，３０ｂの上流側部位の間を、上記分
流体１５に当接しながら所定の振幅にて往復振動し、上
記振動検知部１７はこの振動体１５の振動を検知する。
【００２４】この場合、流入部２１から流入する流体の
流量が多くなれば、空隙４４を介して空隙部３０ａ，３
０ｂ内へ流れ込む流体の差圧は大きくなり、差圧が大き
くなった場合には振動体１３にそれだけ大きな力が作用
することになる。上記振動体１３の振動数特性に関して
は、振動数と力の関係は二乗特性である。一方、流体の
流速は差圧力の１／２乗特性であることから、全体で
は、二乗特性の開平の形となり、最終的には一次特性の
関係、即ち、振動数と流速（流量）は比例することとな
り、上記振動検知部１７によって振動体１３の振動数を
検出することにより、当該流体の密度、温度、圧力等の
条件に拘わらず、補正のための演算を行うことなく体積
流量を計測することができる。
【００２５】請求項２記載の発明にあっては、請求項１
記載の発明の作用に加えて、上記計量部１２内におい
て、球状に形成された振動体１３が往復振動するもので
ある。請求項３記載の発明にあっては、請求項１及び２
記載の発明の作用に加えて、上記振動体１３は、分流体
１５に設けられたガイド２０，２０により一定方向に規
制されて流路幅方向における往復振動を行う。
【００２６】請求項４記載の発明にあっては、請求項
１，２又は３記載の発明の作用に加えて、上記振動体１
３は、上記流入路２１を形成する流路内側面部４３の縁
部により形成された振動体当接部１６に当接して振動す
る。請求項５記載の発明にあっては、請求項４記載の発
明の作用に加えて、流速がない場合に、上記振動体１３
は上記振動体当接部１６の間の上流側に落下することな
く配置され、また、振動する際には、上記一対の空隙３
０ａ，３０ｂの上流部位を交互に閉塞する。
【００２７】請求項６記載の発明にあっては、請求項
１，２，３，４又は５記載の発明の作用に加えて、板状
部材からなる分流体１５により流路１１は幅方向におい
て二分割され、流路には２つの空隙３０ａ，３０ｂが形
成され、上記振動体１３は板状部材からなる分流体１５
の厚さ方向に沿って往復振動する。請求項７記載の発明
にあっては、請求項１，２，３，４，５又は６記載の発
明の作用に加えて、上記振動体１３が計量部１２内にお
いて振動し、振動体当接部１６に振動体１３が接近した
場合には、近接センサ１７が当該振動を検知する。
【００２８】請求項８記載の発明にあっては、請求項１
記載の発明の作用に加えて、流体は断面円形状に形成さ
れた流路１１内を流下する。請求項９記載の発明にあっ
ては、上記振動体１３は支持部５６により支持された状
態で振動する。請求項１０記載の発明にあっては、絞り
式流量計において、振動数により流量を計測することが
できる。
【００２９】
【実施例】以下、添付図面に示す実施例に基づき本発明
を詳細に説明する。図１は、本発明に係る流量計の一実
施例を示す分解斜視図、図２は、本発明に係る流量計の
一実施例を示す概念図、図３は、本発明に係る流量計に
用いられる分流体に設けられたガイド部の一実施例を示
す概念図、図４は、本発明に係る流量計に用いられる分
流体に設けられたガイド部の一実施例を示す概念図、図
５は、本発明に係る流量計に用いられる分流体に設けら
れたガイド部の他実施例を示す概念図、図６は、本発明
に係る流量計に用いられる分流体に設けられたガイド部
の他実施例を示す概念図、図７は、本発明に係る流量計
に用いられる計量部の内部に形成される空隙部の断面形
状を示す概念図、図８は、本発明に係る流量計の他の実
施例を示し、振動体を支持部により支持した状態を示す
側面図、図９は、本発明に係る流量計の他の実施例を示
し、振動体を支持部により支持した状態を示す側面図で
ある。なお、図１及び図２中矢印は流体の流れを表す。
【００３０】図１に示すように、本実施例に係る流量計
１０は、ステンレススチール製であって、全体中空筒状
に形成され、流体を流入させる断面円形状の空隙部３６
を有する流入部２３と、この流入部２３に接続固定され
た計量部１２と、この計量部１２の下流側に接続固定さ
れ、流体を流出させる断面円形状の空隙部３７を有する
流出部２４とを備えている。
【００３１】上記流入部２３及び流出部２４は、軸方向
両端部にフランジ部２５，２６を備えた管状部材からな
ると共に、上記計量部１２は内部に断面正円状に形成さ
れた円筒状の空隙部２９が長さ方向に沿って形成された
直方体から成る。上記流入部２３の下流側フランジ部２
６及び上記流出部２４の上流側フランジ部２６は、何れ
も、横断面正方形に形成されており、ボルト２７により
Ｏリング２８，２８を介して上記計量部１２に接続固定
しうるように形成されている。
【００３２】従って、上記流入部２３の空隙部３６及び
流出部２４の空隙部３７と、上記計量部１２の円筒状の
空隙部２９との間に、流量計の軸方向に沿って貫通し、
軸方向両端部に開口部４６，４７を有し、内部を流体が
流下する流路１１が形成される。図２に示すように、上
記計量部１２は、計量部本体５８と、この計量部本体５
８に流体を流入させる流入路２１とからなり、上記計量
部本体５８は、上記計量部１２内に流入した流体中に浮
遊すると共に、差圧が発生した場合に流路幅方向（流路
１１の流体の流下する方向に直交する面における一定の
方向）において往復振動しうる振動体１３と、この振動
体１３の下流側に設けられ、上記振動体１３に当接して
振動体１３を計量部１２内に保持すると共に流体を分流
させ、振動体１３が往復振動しうるように振動体１３に
対して上流側から差圧を供給しうる振動変換部１４を形
成する分流体１５と、上記振動体１３の上流側に設けら
れ、上記振動体１３が振動した場合に当接する振動体当
接部１６と、上記振動体１３の往復振動を検知しうる振
動検知部１７とを有している。
【００３３】図１に示すように、上記計量部１２内の円
筒状の空隙部２９内には、計量部１２内に流入した流体
中に浮遊するように構成された振動体１３が配設されて
いる。この振動体１３は本実施例にあっては球状に形成
されている。また、上記空隙部２９内であって振動体１
３の下流側には、下端部が上記振動体１３に当接して振
動体１３を計量部１２内に保持すると共に流体を分流す
る分流体１５が配置されている。
【００３４】本実施例にあっては、この分流体１５は板
状部材により形成され、流路方向に沿って配置され、流
路１１を形成する空隙部２９を幅方向において略均等に
二分割しうるように配置されている。この分流体１５は
下流側端部においては幅方向中間部に所定長さ及び所定
幅寸法に形成されたスリット３１が設けられている。ま
た、この分流体１５の上流側端部には切り欠き部３２が
設けられ、この切り欠き部３２の中間部には更に、凹部
３３が設けられている。この切り欠き部３２により上記
振動体１３の一対のガイド部２０，２０が形成されてい
る。
【００３５】これら一対のガイド部２０，２０は振動体
１３の振動方向を分流体１５の厚さ方向であって分流面
部５７に直交する方向に規制する。また、上記凹部３３
には振動体ストッパ３４がビス３５，３５により固定さ
れて設けられ、この振動体ストッパ３４は、流速がある
時は、常時、振動体１３の下流側部に点接触により当接
し、流体が流入した場合には振動体１３を、下流側にお
いて、振動体１３が流路１１の幅方向における往復振動
可能な状態で支持する。
【００３６】また、図２に示すように、上記分流体１５
は、流路１１を形成する空隙２９を幅方向に略均等に二
分割しうるように配設されており、分流体１５の両側に
は、一対の空隙部３０ａ，３０ｂが形成され、これら一
対の空隙部３０ａ，３０ｂにより、振動変換部１４が形
成されている。この振動変換部１４は、上記振動体１３
が流路１１の幅方向であって分流体１５の分流面部５７
に直交する方向に沿って往復振動しうるように振動体１
３に対して、上流側から差圧を振動体１３に対して供給
するように構成されている。
【００３７】一方、図１及び図２に示すように、空隙部
２９内であって上記振動体１３の下流側には、上記分流
体１５が固定されている。また、流体の非流入時には振
動体１３を上流側から支持すると共に、流体が流入し、
流圧により上記振動体１３が振動した場合には振動体１
３の下方部が当接する振動体当接部１６を有する分流体
固定部材３９が配設されている。
【００３８】この分流体固定部材３９は、上記計量部本
体５８の空隙部２９の下端部に挿入固定され、上記分流
体１５が固定されると共に、上記振動体１３を保持しう
るように構成されている。この分流体固定部材３９は断
面凸状に形成され、内部には上下方向に沿って貫通し、
流体の流路を形成する円筒状の空隙部３８が形成され、
この空隙部３８により計量部本体５８への上記流入路２
１が形成されている。
【００３９】また、流入路２１の直径寸法Ｌは、上記円
筒状の空隙部２９の直径寸法Ｌ１よりも小さく形成され
ている。更に、本実施例においては、流入路２１の直径
寸法Ｌは、上記流入部２３に設けられた円筒状の空隙部
３６の直径寸法Ｌ４と同一に形成されている。従って、
この分流体固定部材３９が上記空隙部２９内に固定され
た場合には、分流体固定部材３９の流入路２１及び計量
部本体５８の空隙部２９により、上記流入部２３の空隙
部３６及び流出部２４の空隙部３７に連続する流路１１
が形成される。
【００４０】そして、図１に示すように、この分流体固
定部材３９の上端部には直径方向に沿って、一対のスリ
ット４０，４０が形成されており、この一対のスリット
４０，４０に上記分流体１５の下流側端部に形成された
一対のガイド部２０，２０の先端部が固定されて、分流
体１５は分流体固定部材３９に取付られる。また、図２
に示すように、上記振動体１３の直径寸法Ｌ２は上記分
流体固定部材３９の空隙部３８の直径寸法Ｌよりも大き
く形成されていると共に、上記分流体１５と空隙部２９
の内壁面部４１との間の間隔寸法Ｌ３よりも大きく形成
されている。
【００４１】なお、本実施例においては、上記振動体１
３の直径は９．５ｍｍ、流入路２１は内径９ｍｍ、振動
変換部１４の内径は１８ｍｍに形成されている。図１及
び図２に示すように、上記計量部１０の外方側面部に
は、上記振動体１３が計量部１０内の空隙部２９内に配
設される高さ位置に、振動検知部としての近接センサ１
７が設けられており、流体が流路１１内を流下し、上記
振動体１３が流路１１の幅方向であって分流面部５７に
直交する方向における往復振動を行った場合には、当該
振動体１３の接近を感知して振動を検出しうる様に構成
されている。
【００４２】以下、本実施例に係る流量計１０の作用に
ついて説明する。本実施例に係る流量計１０を使用する
場合には、計量しようとする流体を適宜の手段により流
入部２３の開口部４６を介して流入させる。上記流路１
１内に流体が流入した場合には、上記振動体１３は、計
量部１２内において下流側を上記分流体１５により支持
されて、流体中に浮遊する。
【００４３】そして、流体が流路１１を形成する空隙部
３６及び流入路２１内を流れる際には、流路内側面部４
３寄りの部位と、流路１１の中央の部位とにおいてでは
流速が異なるため、このような流路１１の幅方向におけ
る流速の相違等により、上記振動体１３に対しては、上
流側から流速による不均一な力が作用することとなる。
【００４４】従って、上記振動体１３は、このような不
均一な流速により、振動変換部１４を構成する、上記分
流体１５により形成される何れか一方の空隙部３０ａ，
３０ｂの上流部位へ移動し、上記振動体当接部１６に当
接する。この場合、振動体１３が移動した空隙部３０ａ
への上流側からの流体の流れは、上記振動体１３により
略遮られるため、振動体１３が移動した空隙部３０ａへ
は流れにくく、上流からの流体は殆ど他方の空隙部３０
ｂへ流れる。
【００４５】従って、振動体１３が接近した側の空隙部
３０ａ内において流体の流速は急速に低下する。一方、
振動体１３が離間した側の空隙部３０ｂ内へ流れ込む流
体は、上記振動体１３と振動体当接部１６との間に形成
される狭い空隙４４を介して流れ込む。この場合、振動
体１３と振動体当接部１６との間の空隙４４の流体通過
面積は流入路２１の断面積よりも小さいことから、この
空隙４４を境界として上流側の流路２１と下流側の空隙
部３０ｂとの間には、大きな差圧が発生する。
【００４６】従って、この場合、上記分流体１５を境界
として、振動体１３が移動した側の空隙部３０ａと他方
の空隙部３０ｂとの間には、同様に、大きな差圧が形成
される。このように形成された差圧により振動体１３は
差圧の低い空隙部３０ｂ側に慣性力も相まって、移動を
始める。
【００４７】そして、空隙部３０ｂに振動体１３は移動
し始め、空隙部３０ｂの流速の最大値が、分流体１５に
形成されたスリット３１の下流側端部４５に至った際に
は、更に高い瞬時差圧が上記振動体１３が移動した側の
空隙部３０ａと空隙部３０ｂとの間で伝播し、この空隙
３０ａ内の流速は上昇する。次に、上記とは逆に、振動
体１３が接近した側の空隙部３０ｂ内において流体の流
速は急速に低下する。一方、振動体１３が後退した側の
空隙部３０ａ内へ流れ込む流体は、上記振動体１３と振
動体当接部１６との間に形成される空隙４４を介して流
れ込む。
【００４８】この場合、振動体１３と振動体当接部１６
との間の空隙４４の流体通過面積は流入路２１の断面積
よりも小さいことから、この空隙４４を境界として上流
側の流入路２１と下流側の空隙部３０ａとの間には、大
きな差圧が発生する。従って、この場合、上記分流体１
５を境界として、振動体１３が移動した側の空隙部３０
ｂと他方の空隙部３０ａとの間には、流体の大きな差圧
が形成される。
【００４９】このように形成された差圧により振動体１
３は差圧の低い側に慣性力も相まって、移動を始める。
上記空隙部３０ａの流速の最大値が、分流体１５に形成
されたスリット３１の下流側端部４５に至った際には、
更に、高い瞬時の差圧が上記振動体１３が移動した側の
空隙部３０ａと空隙部３０ｂとの間で伝播し、この空隙
３０ｂ内の流速は更に上昇する。
【００５０】この振動体１３を動作させる現象は、振動
体１３直後の圧力の変化にもよるが、所定の長さを有す
る分流体１５の下流側端部４５を介しての圧力伝播が上
記振動体１３の動作を確実なものとする。この場合、上
述のように、本実施例にあっては、一対のガイド部２
０，２０が設けられているため、振動体１３は両側を規
制された状態で、分流体１５の分流面部５７に直交する
方向に振動する。
【００５１】上記動作の繰り返しにより、流体が流路１
１を流下する際には、上記振動体１３は上記分流体１５
により形成された一対の空隙３０ａ，３０ｂの上流側部
位において、振動体当接部１６の間を、上記分流体１５
に設けられた振動体ストッパ３４に点接触しながら、流
路１１内を流れる流体の流下方向に直交すると共に、板
状に形成された分流体１５の厚さ方向に沿って、分流体
１５のガイド部２０，２０により振動方向を、分流面部
５７に直交する方向に規制されながら所定の振幅にて往
復振動する。
【００５２】なお、本実施例にあっては、上記振動体１
３の振動幅は約０．７ｍｍである。そして、本実施例に
あっては、計量部１２には近接センサ１７が設けられて
いるおり、この近接センサ１７は振動体１３が計量部１
２内に配置された分流体個体部材３９の振動体当接部１
６に接近した時点で振動体１３を検知する。従って、こ
の近接センサ１７により、振動体１３の振動数を計測す
ることができる。
【００５３】この場合、流入路２１から振動変換部１４
へ流入する流体の量が多ければ、上記空隙４４を介して
空隙部３０ａ，３０ｂ内へ流れ込む流体の差圧は高くな
る。また、流入路２１から振動変換部１４へ流入する流
体の量が少なければ、上記空隙４４を介して空隙部３０
ａ，３０ｂ内へ流れ込む流体の差圧は低くくなる。ま
た、振動体１３に対して作用する差圧が高ければ、振動
体１３の流路幅方向における移動速度は大きくなると共
に、振動体１３に対して作用する差圧が低ければ、振動
体１３の移動速度は小さくなる。
【００５４】その結果、上記振動体１３の振動数と当該
計測する流体の流量とは比例関係にあり、上記振動検知
部１７により振動体１３の振動数を検出することにより
流量を計測することができるものである。本実施例に係
る流量計１０にあっては、上記振動体１３は球状に形成
されているため、分流体１５に設けられた振動体ストッ
パ３４との間における摩擦抵抗が非常に小さく、差圧に
より発生したエネルギーを効率良く振動体１３に伝達す
ることができ、精度の高い計量が可能となる。
【００５５】また、振動体１３の往復振動を一定方向に
規制しうるガイド部２０，２０を有していることから、
振動体１３の反復振動に対して流体の流下面積が常に一
定となるため、流量の計測がより確実に行われる。本実
施例に係る流量計１０にあっては、上記振動検知部１７
は、近接センサにより形成されているため、より製作コ
ストを低減することができる。
【００５６】また、上記流路１１は横断面円形に形成さ
れているため、振動体１３の振動により流体の流れを有
効に遮断することが可能となり、精度の高い計量を行う
ことができる。また、上記のように構成された本実施例
に係る流量計１０を絞り式流量計に適用することも可能
である。
【００５７】即ち、流路途中に設けられた適宜の絞り機
構の前後において、バイパス路を設け、そのバイパス路
中に本実施例に係る流量計１０を配置し、絞り機構の上
流側の流体を本実施例に係る流量計１０の流入部２３の
開口部４６から流入させ、流体を流出部２４の開口部４
７から絞り機構の下流側へ流すようにする。この場合、
バイパス路を流れる流量と主たる流路を流れる流量は比
例関係にある。従って、主流路の絞り機構の前後に発生
した差圧とバイパス路に取り付けられた流量計１０の前
後に発生する差圧は比例関係にある。
【００５８】差圧は１／２乗特性で流速に置き換えられ
るのに対し、バイパス路に取り付けられた上記流量計１
０にあっては、差圧（流速）を振動数という一次関数で
流量が表示されるため、主流路の流量を振動数で表示す
ることができる。従って、従来の絞り式流量計にあって
は、流量値は差圧で表示されるため、演算回路を設け、
差圧を開平演算を行うことにより直線信号に変換して読
みとるように構成されていたが、本実施例に係る流量計
１０をこのように絞り式流量計のバイパス路に適用した
場合には、差圧を開平した形の振動数として直接読みと
ることができる。
【００５９】また、従来の絞り式流量計にあっては、測
定する流体の温度、密度、圧力等の条件が変化した場合
には、演算補正が必要であったが、振動数は流体の温
度、密度、圧力によっては影響を受けないため、本実施
例に係る流量計にあっては補正演算が不要となる。その
結果、上記実施例にあっては、従来の絞り式流量計に設
けられていた演算回路が不要となる。
【００６０】本実施例においては、上述のように、分流
体１５の下部には、一対のガイド部２０，２０が設けら
れており、上記振動体１３はこれらのガイド部２０，２
０により側方からガイドされて、板状の分流体１５の厚
さ方向であって分流面部５７に直交する方向に沿って往
復振動を行うように構成されており、流入した流体の状
態によって、振動体１５に作用する圧力が極めて不均一
に働いた場合であっても、振動体１３を常に一定方向に
振動させることが可能となる。
【００６１】このようなガイド部は上記実施例のような
構成に限定されず、例えば、図３乃至図６に示すよう
に、様々な形状に構成することができる。図３及び図４
に示すように、所定の厚さ寸法を有する板状に形成され
た分流体４８の上流側端部に球状に形成された振動体１
３の曲率よりもやや小さい曲率を有する切欠部５０を形
成し、この切欠部５０により振動体１３の、分流体４８
の厚さ方向における振動方向を規制するように構成する
ことも可能である。
【００６２】また、図５及び図６に示すように、分流体
５１の上流側端部の両端に厚さ方向に沿って、所定長さ
寸法に形成された一対のガイド片５２，５２を設け、こ
のようなガイド片５２，５２により振動体１３の振動方
向を規制することも可能である。このようにガイド片５
２，５２が設けられた場合には、より確実に振動体１３
の振動方向を規制することが可能となる。
【００６３】また、本実施例にあっては、流路１１を構
成する流入路２１が横断面正円に形成された円筒からな
る場合を例に説明したが、図７に示すように、長円状の
横断面を有する円筒状に形成されていてもよく、また、
断面形状は楕円であってもよく、上記実施例に限定され
ない。上記実施例にあっては、上記振動体１３が流体中
に浮遊している場合を例に説明したが、上記実施例に限
定されず、例えば、図８及び図９に示すように、流体の
流速が及ぼす力よりも小さな支持力を有する支持部によ
り支持されるように構成されていてもよい。このような
支持部として、好ましくは、流体の流速が及ぼす力より
も小さなバネ定数のコイルスプリング５６を用いる。
【００６４】即ち、このような一対のコイルスプリング
５６，５６を振動変換部１４の内壁面部４１に、夫々、
分流体１５の厚さ方向であって分流面部５７に直交する
方向に対向するように固定し、これらのコイルスプリン
グ５６，５６により上記振動体１３を、振動変換部１４
の幅方向両側から支持するように構成してもよい。この
ように構成した場合には、振動体１３の振幅の制御と振
動体１３が振動体当接部１６に与える衝突力による、振
動体当接部１６の磨耗を有効に防止することができる。
【００６５】更に、本実施例にあっては、上記振動体１
３の形状が球状に形成されている場合を例に説明した
が、上記振動体の形状は上記実施例に限定されない。ま
た、本実施例にあっては、振動検知部１７が近接センサ
により構成されている場合を例に説明したが、上記実施
例に限定されない。例えば、振動体の振動は同時に圧力
振動をも引き起こしているため、圧力検出器又は差圧検
出器を用いることもできる。更に、上記振動変換部１４
を流下する流体は一対の空隙部３０ａ，３０ｂを交互に
流下するため、熱センサ等を用いて流体が当該空隙部３
０ａ，３０ｂを流下する際の熱の奪われる量を測定する
ことにより振動数を検知するように構成することもでき
る。
【００６６】また、上記実施例にあっては、流量計１０
がステンレススチール製の場合を例に説明したが、流体
の流下によって錆びないように各種の不錆鉱又は樹脂に
より形成されていてもよい。また、本実施例に係る流量
計１０は、水、液体、空気、各種ガス等、あらゆる流体
に適用することができ、測定対象としての流体の粘度、
スラッジ、流速には関する制限はあるが、流体の温度、
密度、圧力による制限はない。
【００６７】更に、この流量計１０は、流体の流下方向
が垂直方向の場合及び水平方向の場合の何れの場合にも
適用でき、使用する際の姿勢に限定されない。
【００６８】
【発明の効果】請求項１に記載された発明にあっては、
流体中に振動可能に配置された振動体の振動数を検出し
て流量を計測するように構成されており、従来の渦式流
量計とは異なり、全体として小型化することが可能とな
ると共に製作コストを低減することができる。
【００６９】また、振動体を直接に流路に配置して流量
を測定するように構成されているため、測定が容易であ
り、従来の渦式流量計にあっては測定困難な小流速や小
流量の流体を容易に測定することができる。更に、従来
の渦式流量計と同様に、測定対象となる流体の温度、圧
力、密度等の条件が変化した場合に補正を行う必要がな
く、温度、圧力、密度等の条件の変化に拘わらず、流体
の体積容量を計測することができる。
【００７０】従って、小型であって製作コストを低減で
き、搬送性に富むと共に、計測対象となる流体及び流体
の状態により限定されることのない流量計を提供するこ
とができる。請求項２に記載された発明にあっては、請
求項１に記載された発明の効果に加えて、上記分流体と
振動体との接触による摩擦抵抗が低減され、流体の差圧
が発生した場合のエネルギーを振動に変換する効率が良
い流量計が提供される。
【００７１】請求項３に記載された発明にあっては、請
求項１又は２に記載された発明の効果に加えて、振動体
の振動方向が規制され、計量精度を向上させることが可
能となる。請求項４及び請求項５に記載された発明にあ
っては、請求項１，２又は３に記載された発明の効果に
加えて、振動体が確実に流体の流れを遮断して差圧を発
生させ、高精度の計量を行うことが可能な流量計が提供
される。
【００７２】請求項６に記載された発明にあっては、請
求項１，２，３，４又は５に記載された発明の効果に加
えて、振動体の振動が確実に行われ、精度の高い計量が
行われる。請求項７に記載された発明にあっては、請求
項１，２，３，４，５又は６に記載された発明の効果に
加えて、より製作コストを低減することが可能な流量計
が提供される。
【００７３】請求項８に記載された発明にあっては、請
求項１，２，３，４，５，６又は７に記載された発明の
効果に加えて、振動体の振動がより確実に行われ、精度
の高い計量が行われる。請求項９に記載された発明にあ
っては、請求項１，２，３，４，５，６，７又は８に記
載された発明の効果に加えて、振動体の振幅を適宜制御
できると共に、振動体が振動体当接部に衝突することに
より発生する、振動体当接部の磨耗を有効に防止するこ
とが可能となる。
【００７４】また、請求項１０記載された発明にあって
は、従来の絞り式流量計における差圧計が不要となると
共に、差圧を直線表示するための演算や、測定流体、測
定環境、条件の変更に伴う補正演算のための演算回路が
不要となり、絞り式流量計の製作コストを低減すること
ができる。更に、従来の単なる絞り式流量計とは異な
り、測定対象となる流体の温度、圧力、密度等の条件が
変化した場合に補正を行う必要がなく、温度、圧力、密
度等の条件の変化に拘わらず、流体の体積容量を計測す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る流量計の一実施例を示す分解斜
視図である。
【図２】 本発明に係る流量計の一実施例を示す概念図
である。
【図３】 本発明に係る流量計に用いられる分流体に設
けられたガイド部の一実施例を示す概念図である。
【図４】 本発明に係る流量計に用いられる分流体に設
けられたガイド部の一実施例を示す概念図である。
【図５】 本発明に係る流量計に用いられる分流体に設
けられたガイド部の他実施例を示す概念図である。
【図６】 本発明に係る流量計に用いられる分流体に設
けられたガイド部の他実施例を示す概念図である。
【図７】 本発明に係る流量計に用いられる計量部の内
部に形成される空隙部の断面形状を示す概念図である。
【図８】 本発明に係る流量計の他の実施例を示し、振
動体を支持部により支持した状態を示す側面図である。
【図９】 本発明に係る流量計の他の実施例を示し、振
動体を支持部により支持した状態を示す側面図である。
【図１０】 従来の渦式流量計におけるカルマン渦の発
生状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ 流量計 １１ 流路 １２ 計量部 １３ 振動体 １４ 振動変換部 １５ 分流体 １６ 振動体当接部 １７ 振動検知部
（近接センサ） ２０ ガイド部 ２１ 流入路 ２３ 流入部 ２４ 流出部 ２５ フランジ部 ２６ フランジ部 ２７ ボルト ２８ Ｏリング ２９ 空隙部 ３０ 空隙部 ３１ スリット ３２ 切り欠き部 ３３ 凹部 ３４ 振動体スト
ッパ ３５ ビス ３６ 空隙部 ３７ 空隙部 ３８ 空隙部 ３９ 分流体固定部材 ４０ スリット ４１ 内壁面部 ４３ 流路内側面
部 ４４ 空隙 ４５ 下流側端部 ４６ 開口部 ４７ 開口部 ４８ 分流体 ５０ 切欠部 ５１ 分流体 ５２ ガイド片 ５３ 流路 ５４ 物体 ５５ カルマン渦 ５６ 支持部（コ
イルスプリング） ５７ 分流面部 ５８ 計量部本体 Ｌ 流入路の直径寸法 Ｌ１ 空隙部の直
径寸法 Ｌ２ 振動体の直径寸法 Ｌ３ 分流体と空
隙部の内壁面部との間の間隔寸法 Ｌ４ 流入部の空隙部の直径寸法

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 計量しようとする流体が流下する流路を
    有し、上記流路中には流体の流量を計量する計量部を備
    え、 上記計量部は、上記計量部内に流入した流体中に配置さ
    れると共に、流速による差圧が発生した場合に流路幅方
    向において往復振動しうる振動体と、 この振動体の下流側に設けられ、上記振動体に当接して
    振動体を計量部内に保持すると共に流体を分流し、振動
    体が往復振動しうるように振動体に対して上流側から流
    体の圧力を供給して振動体を振動させる振動変換部を形
    成する分流体と、 上記振動体の上流側に設けられ、上記振動体が振動した
    場合に当接する振動体当接部と、上記振動体の往復振動
    を検知しうる振動検知部とを有し、 上記分流体は、計量部内を分割して流路幅方向に一対の
    空隙を形成するように配設され、これら一対の空隙によ
    り上記振動変換部が構成され、 上記振動体は上記一対の空隙の上流側において流路幅方
    向に沿って往復振動し、上記振動検知部により上記振動
    体の往復振動を検出して流量を検出することを特徴とす
    る流量計。
  2. 【請求項２】 上記振動体は球状に形成されていること
    を特徴とする請求項１記載の流量計。
  3. 【請求項３】 上記分流体に設けられ、振動体の流路幅
    方向における往復振動を一定方向に規制しうるガイド部
    を有することを特徴とする請求項１又は２記載の流量
    計。
  4. 【請求項４】 上記計量部は、計量部本体と、この計量
    部本体へ流体を流入させる流入路とからなり、上記流入
    路は、上記計量部本体に形成された空隙の直径よりも小
    径に形成され、上記振動体当接部は、上記計量部へ流体
    を流入させる流入路を形成する流路内側面部の縁部によ
    り形成されていることを特徴とする請求項１，２又は３
    記載の流量計。
  5. 【請求項５】 上記振動体は、上記分流体と計量部の流
    路内側面部との間の間隔寸法よりも大きいと共に上記流
    入路の内径寸法よりも大きい直径寸法に形成されている
    ことを特徴とする請求項１，２又は４記載の流量計。
  6. 【請求項６】 上記分流体は、流体の流下方向に沿って
    配置され、流路を幅方向において略均等に二分割しうる
    板状部材により形成され、上記振動体は板状部材の厚さ
    方向に往復振動するように構成されていることを特徴と
    する請求項１，２，３，４又は５記載の流量計。
  7. 【請求項７】 上記振動検知部は、近接センサにより形
    成されていることを特徴とする請求項１，２，３，４，
    ５又は６記載の流量計。
  8. 【請求項８】 上記流路は横断面円形に形成されている
    ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７
    記載の流量計。
  9. 【請求項９】 上記振動体は、流体の流速が及ぼす力よ
    りも小さな支持力を有する支持部により支持されている
    ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７又
    は８項記載の流量計。
  10. 【請求項１０】 計量対象となる流体が流下する主流路
    を有し、上記主流路には絞り機構と、この絞り機構の上
    流側と下流側とを連通させるバイパス路とを有し、 上記バイパス路に設けられ、絞り機構の前後の差圧を計
    測する計測部を有し、流体の流量を計測する流量計であ
    って、 上記計測部は、絞り機構の上流側の流体を流入させ流体
    の流量を計量する計量部を備え、 上記計量部は、上記計量部内に流入した流体中に配置さ
    れると共に、流速による差圧が発生した場合に流路幅方
    向において往復振動しうる振動体と、 この振動体の下流側に設けられ、上記振動体に当接して
    振動体を計量部内に保持すると共に流体を分流し、振動
    体が往復振動しうるように振動体に対して上流側から、
    主流路の絞りにより発生した差圧を供給しうる振動変換
    部を形成する分流体と、 上記振動体の上流側に設けられ、上記振動体が振動した
    場合に当接する振動体当接部と、上記振動体の往復振動
    を検知しうる振動検知部とを有し、 上記分流体は、計量部内を分割して流路幅方向に一対の
    空隙を形成するように配設され、これら一対の空隙によ
    り上記振動変換部が構成され、 上記振動体は上記一対の空隙の上流側において流路幅方
    向に沿って往復振動し、上記振動検知部により上記振動
    体の往復振動を検出して流量を検出する計測部を有する
    ことを特徴とする流量計。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6076392A (en) * 1997-08-18 2000-06-20 Metasensors, Inc. Method and apparatus for real time gas analysis
JP2002538431A (ja) 1999-02-25 2002-11-12 メタセンサーズ インコーポレイテッド リアルタイム流体解析装置及び方法
KR100406859B1 (ko) * 1999-04-06 2003-11-21 장덕규 액체용 유동자식 유량계의 유량측정장치
US9689735B2 (en) * 2009-12-01 2017-06-27 Micro Motion, Inc. Vibratory flowmeter friction compensation
WO2011161298A1 (en) * 2010-06-21 2011-12-29 Sami Lakka Flow sensor
US9366273B2 (en) * 2012-05-02 2016-06-14 Husky Corporation Vapor recovery line flow meter
FR3043458B1 (fr) * 2015-11-10 2017-12-22 Oxena Conseil Equipement pour l'estimation du volume de fluide circulant dans un conduit

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3126739A (en) * 1964-03-31 Figure i
US2078837A (en) * 1937-04-27 Mechanism for utilizing the energy
US3605741A (en) * 1969-06-09 1971-09-20 Jordan L Spencer Intravenous flow control system
GB1327751A (en) * 1969-08-20 1973-08-22 Kent Instruments Ltd Devices for measuring fluid velocities
SU441449A1 (ru) * 1972-07-10 1974-08-30 Предприятие П/Я А-7779 Устройство дл измерени массового расхода потока
US3885434A (en) * 1974-01-24 1975-05-27 Cordis Corp Flowmeter
SU523282A1 (ru) * 1974-02-18 1976-07-30 Ленинградский Ордена Красного Знамени Механический Институт Расходомер дл жидкостей и газов
SE408094B (sv) * 1977-09-26 1979-05-14 Fluid Inventor Ab Ett strommande medium metande anordning
US4358954A (en) * 1980-11-24 1982-11-16 Sperry Corporation Traveling wave flow meter
GB8720357D0 (en) * 1987-08-28 1987-10-07 Thorn Emi Flow Measurement Ltd Fluid metering system
US4870859A (en) * 1988-02-25 1989-10-03 Westinghouse Electric Corp. Flowmeter controller for an air inleakage monitoring system

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