JPH06502465A - 吸着ポンプ及び吸着ポンプによって密閉容積内のガスの密度を変える方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 吸着ポンプ及び吸着ポンプによって 密閉容積内のガスの密度を変える方法 挟逝公団 本発明は、真空工学技術、より詳細には、吸着ポンプ及び吸着ポンプによって密 閉容積内のガスの密度を変える方法↓こ関する。

従来技術 排気すべき容積との連通用の枝管を備えたチャンノくと、このチャンバ内に収容 され、排気すべき容積からガスを吸着することのできる吸着剤（水素化物）と、 チャンノく内に置かれた熱伝導口・ラドの形態の吸着剤加熱器と、外部シェル入 口及び出口枝管の同軸チャンバの形態に作られ、チャンノくの外表面とその内壁 との間に冷却剤の流れ用空隙を形成する吸着剤冷却器とを有する吸着ポンプが従 来技術において知られている。シェルとチャンノくとの間の空隙への冷却剤の供 給は、冷却剤供給管路に設置された制御部可能な弁によって開始され、或いは止 められる（米国特許第４５０５１２０号）。

密閉容積内のガスの密度はこの吸着ポンプによって次のよ引こ変えられる。

ガスの密度は、吸着中、シェルとチャンＩ（表面との間の空隙（こ冷却剤を流入 させ、水素化物を吸着温度まで冷却すること（こよって小さくされる。密閉容積 内のガスの圧縮は、吸着中、冷却剤１の流れを遮断し、加熱器を作動し、水素化 物を吸着温度まで加熱することによって行われる。

この吸着ポンプの冷却装置に弁を設けることは、その信頼性を減じ、吸着剤の冷 却と加熱は、例えば、予め設定したガス圧力を正確に維持しなければならないと きに、ガス密度の変化率、即ち吸着−脱着進行速度の微調整の可能性を否定する 。

他の周知のポンプは、排気すべき容積との連通用の枝管を備えメニ主ヂャン・ぐ と、このチャンバ内に置かれ、排気しまた容積内に入れられたガスを吸着するこ とのできる吸着剤を収容するセルと、チャンバの外側に置かれた吸着剤収容セル の加熱器と、吸着剤収容セルの冷却器と、ヒートキャリヤを収容し、このヒート キャリヤを吸収することのできる吸着剤を収容する補助容器と連通ずる、冷却剤 と吸着剤収容セルとの開の密閉中間空隙とを有し、前記補助容器は、補助加熱器 を備え、かつ冷却器と熱接触している（英国特許第１５０２２１４号）。周知の 装置の冷却剤は、極低温液体によって構成され、吸着剤をもったチャンバはこの 液体の中に完全に沈められる。チャンバ内に置かれた吸着剤収容セルと冷却剤と の間の密閉中間空隙は、熱スィッチとして機能する。

かかる吸着ポンプの助けによって密閉容積中のガスの密度を変える方法において は、ガス密度を小さく（排気）するには、主チヤンバ内の吸着剤収容セルを冷却 し、冷却器と前記セルの間の空隙をヒートキャリヤで満たすことによって前記セ ルを冷却器と熱接触させ、他方、ガスの密度を大きく　（圧縮）するには、吸収 剤収容セルと冷却器の間の空隙からヒートキャリヤを除き、前記空隙を空にする ことによって主チヤンバ内の吸着剤収容セルを冷却器との熱接触から外し、次い で、主チヤンバ内の吸着剤収容セル、を加熱する。補助容器を吸着剤で機能化す ることは、補助加熱器のスイッチを入れることによって、すなわち、この容器内 の吸着剤を抵抗温文計ブリッジを介して冷却器と接触させることによって制御す る。

公知の吸着ポンプは可動部品を有さず、作動について信頼できるが、この公知の 吸着ポンプでは、ポンプケーシングを、冷却材すなわち極低温液体中に完全に沈 めることが必要とされ、このため、この目的に特に適した新しいＪｊｆのクリオ スタソトの開発が必要とされろう 公知の吸着ポンプの助けによって密閉容積中のガスの密度を変える方法は、吸着 剤収容セルをその容積に亘って冷却Ｉ、たり加熱したりすることによって行われ るが、この方法では、ガス密度変化速度を微調節する可能性が与えられない。

発明の開示 本発明の主な目的は、ポンプを極低温液体中に沈めることなく吸着剤収容セル制 御可能に冷却することを可能にする吸着ポンプと、このポンプの助けによって密 閉容積中のガスの密度を変え、ガス密度変化速度を微調節することを可能にする 方法とを提供することにある。

上述の目的は、排気すべき容積と連通ずる枝管をもつ主チャンバと、排気すべき 容積内にガスを吸着することができる吸着剤を収容する吸着剤収容セルと、チャ ンバの外側に配置された吸着剤収容セルの加熱器と、吸着剤収容セルの冷却器と 、冷却器と吸着剤収容セルとの間に設けられていて、ヒートキャリヤを収容しビ ートキャリヤを吸着することができる吸着剤を収容し補助加熱器を備え冷却器と 熱接触する補助容器と連通ずる密閉中間空隙とを含む吸着ポンプにおいて、冷却 器は、熱伝導材料のロッドの形態を有しており、その一端が冷源に接触し、他端 がこれと同軸な主なチャンバ内に置かれており、チャンバ内に置かれたロッドの 端は、主チャンバの範囲を越えてロッドの周囲を密封し且っロッドの表面とシェ ルとの間に空隙を形成する円筒形シェルによって囲まれており、吸着剤収容セル は、円筒形シェルにロッドに沿って１つずつ滑り嵌めされたリングの形態を有し ていることを特徴とする吸着ポンプによって達成される。

主チャンバの吸着剤加熱器を、制御不能な外部熱源によって構成し、主チャンバ には、チャンバの外壁とシェルとの間に空隙を形成する外部圧雷シェルが設けら れており、空隙は、ヒートキャリヤを収容しており、空隙からヒートキャリヤを 吸着することができる吸着剤を備えた補助容器と連通しており、容器には、補助 加熱器が設けられており冷却器との熱接触を維持させても良い。

吸着ポンプが多成分ガス混合物を排気するようになるには、吸着ポンプがカス混 合物の成分の数に少なくとも等しい数の吸着剤吸収セルを含み、各セルには成分 すなわちカス混合物のうちの１つを選択的に吸収するその能力に応じて吸着剤が 入れられているのが好都合である。

吸着剤収容セルは、最も小さな気孔をもつセルがチャンバに配置されたロッドの 端部から第１番目に位置するように吸収剤の気孔の大きさに応じて次々に配置さ れているのが望ましい。

更に、各セルの吸収剤は、他のセルに対して設定された圧力範囲とは異なる設定 圧力範囲内においてガスを吸収するその能力に応じて選択されるのがよく、この 場合には、吸収剤収容セルは、設定圧力値に応して次々に配置されるべきであり 、最大設定圧力値でガスを吸収することができる吸収剤をもつセルはチャンバに 配置されたロッドの端部から第１番目に位置すべきである。

本発明の目的は又、ガスの密度を減少させるために、主チヤンバ内の吸着剤収容 セルが、冷却器とセルとの間の空隙をビートキャリヤで充填して冷却器と熱接触 させることによって冷却され、ガスの密度を増加させるために、主チヤンバ内の 吸着剤収容セルが、吸着剤収容セルと冷却器との間の空隙からヒートキャリヤを 除去することによって、そして、空隙を真空にし主チヤンバ内の吸着剤収容セル を加熱させる吸着ポンプによって、密閉容積内のガスの密度を変える方法におい て、ヒートキャリヤは、ガス密度の減少の際、液面が徐々に上昇する極低温液体 によって構成されており、吸着剤収容セルを冷却器と次々と熱接触させ、ガス密 度の増加の際に徐々に減少させ、かくして、吸着剤収容セルを徐々に次々と熱接 触から外すことを特徴とする方法によって達成される。

本発明による吸着ポンプは、ポンプケーシングを極低温液体中に沈めることを必 要とせず、このことによって、これらのポンプでは、冷源としてすでに市販され ているクリオスタットを使用することができ、これによって、吸着ポンプのコス トが低減される。

本発明による吸着ポンプの実施例によって、設定圧力範囲内でガスを密閉容積か ら徐々に排気することができ、他方、密閉容積内に多成分ガス混合物が収容され ている場合には、本発明による実施例によって、次々の成分ごとに前記混合物を 排気することができる。本発明による吸着ポンプによって、密閉容積内のガスを 排気したり圧縮したりすることができ、しかも、吸着（脱着）過程において吸収 剤収容セルを次々に接続することによりガス密度変化速度を微調節することがで きる。

図面の簡単な説明 本発明は、添付図面を参照して実施例の説明を読むことによって更に明らかにな るであろう。

第１図は、電気加熱器を備えた、本発明による吸着ポンプの概略縦断面図であり 、第２図は、制御不能な外部熱源を備えた、第１図の吸着ポンプと同様の概略縦 断面図であり、第３図は、外部熱源としてバーナを備えた、本発明による吸着ポ ンプの概略図であり、第４図は、外部熱源として水ラジェータ又はガスラジェー タを備えた、第３図と同様の吸着ポンプの概略図であり、第５図は、放射エネル ギを外部熱源として使用する、第３図と同様の吸着ポンプの断面図であり、第６ 図及び第７図は、本発明による吸着ポンプでガスの密度を変える方法を示す図で ある。

！施撚 第１図は、ガス抜きされている容積（図示せず）と連通ずるための枝管３を備え た主チャンバ２を有する吸着ポンプｌを示している。主チャンバ２は、ガス抜き されている容積内の作用ガスを吸着できる吸着剤が入ったセルを収容しており、 これらのセルは、熱伝導ロッド６の周囲でチャンバ２の範囲を越えて圧密された 円筒形シェル５に滑り嵌めしたリングの形態を有する。ロッド６の一端は冷源（ 例えば極低温の液体が入った容器）と接触し、他端はロッドと同心のチャンバ２ 内に配置され且つシェル５によって包囲され、かくして、ロッド６の表面とシェ ル５との間に中間空隙８を形成しており、この空隙にはヒートキャリヤ９、即ち 液面１０の変化する極低温の液体が充填されている。

中間空隙８は、細管１１を介して、ヒートキャリヤ９を吸着できる吸着剤１３を 収容した補助容器１２と連通している。補助容器１２は、抵抗温度計ブリッジ１ ４でロッド６に熱的に連結されている。主チャンバ２には加熱器１５が設けられ 、補助容器１２は別の加熱器１６を有する。加熱器１５は、チャンバ２の外部に 設置されている。何故ならば、加熱器１５が、セル４と直接接触したこの実施例 の管１７のような熱伝導要素と熱接触した圧密されたフィードスルーで熱を分配 するためである。ロッド６は冷却器として機能し、セル４はロッド６の長さに亘 って円筒形シェル５に互いに嵌められている。

第２図は、制御不能な外部熱源を使用する場合に適した吸着ポンプの実施例を示 している。この実施例では、主チャンバ２が圧密シェル１８を有し、シェル１８ がチャンバ２の外壁との間に第２中間空隙１９を形成し、第２中間空隙Ｉ９がヒ ートキャリヤ２０を収容しているという点で第１図の実施例と相違している。

中間空隙１９は、細管２１を介して、ヒートキャリヤ２ｏを吸着できる吸着剤２ ３が入った第２補助チヤンバ２２と連通している。

チャンバ２２は、付加的な加熱器２４を有しており、抵抗温度計ブリッジ２５に よって、冷却器すなわちロッド６と熱的に連結されている。外部熱源（第２図に は図示せず）は、シェル１８の中央部Ａのみを加熱する。この実施例における熱 伝導要素は、２層シリンダ２６の形態を有しており、シリンダ２６の外層２７は 、チャンバ２の壁と効率的に熱接触し、シリンダの内層２８は、セル４の外面と 良好に接触している。

吸着ポンプが多成分のガス混合物を取り扱おうとしている場合には、吸着ポンプ には、ガス混合物中に存在する成分の数と少なくとも同数の吸着剤収容セルが設 けられる。この場合、各セル４の吸着剤は、ガス混合物の成分の１つを選択的に 吸着する能力に従って選択される。この場合、吸着剤収容セル４は、吸着剤の気 孔の大きさを考慮して連続的に配置され、最も小さな気孔をもつセル４が、チャ ンバ２内のロッド６の端部２９から第一番目に配置される。

しかしながら、吸着ポンプが単一成分の作用ガスの密度を変えようとしている場 合には、各セル４の吸着剤は、他のセル４に設定された圧力範囲と異なる設定圧 力範囲内でガスを吸着する能力に従って選択される。この場合、吸着剤収容セル ４は、設定圧力を考慮して連続的に配置され、最も大きな設定圧力でガスを吸着 する能力をもつ吸着剤を収容するセル４が、チャンバ２内のロッド６の端部２９ から第一番目に配置される。

第３図には、外部熱源としてガスバーナ３０を用いる吸着ポンプｌが概略的に示 されている。ガスバーナ３０からの熱の流れがシェル１８の表面に向けられ、シ ェルＩ８の端部は、断熱材によって加熱しないようにされている。

第４図には吸着ポンプｌの実施例が示されており、この実施例では、制御不能な 外部熱源は、循環ラジェータ３２を通る高温の液体流れ又はガス流で構成されて おり、ラジェータ３２は、ポンプのチャンバを外側から取り囲み且つシェル１８ の外面と接触している。

第５図に示す吸着ポンプの実施例は、制御不能な外部熱源として、放射熱源（例 えば、太陽放射熱）を利用している。この場合、反射器３３が放射熱源に対して 吸着ポンプｌの後側に設けられ、放射熱（波形の矢印で示す）を集めて１点に反 射させる。

本発明による吸着ポンプを用いて密閉容積内のガスの密度を変える方法は、ガス （矢印Ｂで示す排気ガス）の密度を低減させるように主チヤンバ２内の吸着剤収 容セル４（第４図）を冷却し、冷却器（ロッド６）とセル４との間の中間空隙８ をヒートキャリヤ９で充填することによってセル４を冷却器と熱接触させること を含む。作用ガス（矢印Ｃで示す圧縮ガス）の密度を増大させるために、セル４ （第７図）は、吸着剤収容セル４との間の中間空隙８からヒートキャリヤ９を除 去し、空隙８を減圧排気し、そして加熱器１５で主チヤンバ２内の吸着剤収容セ ル４を加熱することによって、冷却器（ロッド６）との熱接触を解かれる。ヒー トキャリヤ９は極低温の液体であり、その液面１０は、ガス密度を低減させる工 程で徐々に上昇し、かくして吸着剤収容セル４は順次、ロッド６との熱接触状態 におかれ、また、この液面１０は、ガス密度を増大させる工程で徐々に降下し、 吸着剤収容セル４は順次、ロッド６との熱接触状態を解かれる。ヒートキャリヤ ９の液面１０を上昇させて吸着剤収容セル４を順次熱接触状態におくことによっ て、これらのセルを次々に冷却することができ、これは、多成分の作用ガスの場 合に、ガス混合物の成分を選択的に、しかも順次、吸着することを可能にする。

これにより、ガスを成分に分け、ポンプの吸着能力を増大させることができる。

単一成分の作用ガスの場合には、先ず、セル４が最大圧力にある吸着ガスの吸着 能力でガスを吸着し、次いで、隣接するセル４が僅かに低い圧力でガスを吸着す る如くである。吸着工程は、吸着ガスがガスを完全に吸着するまで続行され、次 いで、ヒートキャリヤ９は、中間空隙８から除去されるとともに、加熱器１５が 作動される。この加熱器は、細管Ｉ７を介して、吸着剤収容セル４を次々に加熱 し、作用ガスをこれらのセルから脱着させる。

第１図に示す吸着ポンプを説明することにより、上述の方法がより明瞭に理解さ れよう。

排気モードでは、吸着ポンプは以下のように機能する。即ち、補助加熱器１６が 作動され、補助容器Ｉ２内の吸着剤１３の温度がヒートキャリヤ９の脱着温度ま で上昇され、ヒートキャリヤ９は細管ＩＩから中間空隙８内を通り、しかる後、 ビートキャリヤ９は、中間空隙８の下部に溜まる。補助加熱器１６の温度を変え ることによってヒートキャリヤ９の吸着速度を調節する場合には、ヒートキャリ ヤ９の液面ＩＯを調節し、これによって、吸着剤収容セル４と、冷源７（本例で は、極低温液体を有する容器）に接続されたロッド６との熱接触面積を変えるこ とが可能となる。

圧縮モードでは、補助加熱器１６は止められ、補助容器Ｉ２の吸着剤１３の温度 は、抵抗温度計ブリッジＩ４からロッドＩ６への熱伝導の結果、ヒートキャリヤ ９の吸着温度まで低下する。ヒ−トキャリャ９は中間空隙８から細管１１を通っ て補助容器１２へ汲み出され、吸着剤１３に吸着される。対流による熱交換を低 減させるために、ピー１〜キヤリヤは所定の圧力になるまで、汲み出される。し かる後、加熱罷工５が始動し、熱を管１７の形態の熱伝導要素を通して連続的に 吸着剤収容セル４へ送り出す。

脱着工程がエネルギーの吸収を続ける限り、各セル４内の作用ガスの脱着は、加 熱器１５から管１７を通して送り出された熱の吸収を伴うので、作用ガスが次の セル４により完全に脱着されるときまで、管１７を通して熱が遠方に拡散するの が防止される。

これにより、セル４は、徐々に脱着工程に入ることができる。脱着工程は、セル ４が完全に脱着されるまで行われ、しかる後、吸着ポンプ１は、汲み出しモード に切り換えられる。

第２図に示す吸着ポンプは、第１図に示すポンプと同様に機能する。唯一の相違 点は、中間空隙１９がヒートキャリヤ３０で充填されつつあるときに、吸着剤収 容セル４が熱伝導層２７を通して加熱されることである。このポンプでもまた、 加熱器２４の温度変化による空隙１９内のヒートキャリヤ２０の液面の変化によ り、制御不能な外部熱源を用いた場合でも、セル４には徐々に熱が供給される（ 第３図〜第５図を参照されたい）、。

本発明の吸着ポンプについて、種々の作用ガスに用いた幾つかの例を説明する。

例Ｉ 作用ガスは、０．３°Ｋを得るための冷却装置に用いられるヘリウム３である。

吸着作用は、活性炭により達成され、該活性炭の着脱温度は３０〜８０°にであ り、吸着温度は４．２°にである。

吸着剤収容セル・贋を、第１図に示すように加熱器１５により、或いは、７７６ にの窒素スクリーンのような低温槽の高温部からの熱放射により加熱した。後者 の場合には、ポンプの設計は第２図に示すものであった。

本例の冷源７は、大気圧で、４．２°にで沸騰する液体ヘリウム４を備えた容器 によって構成されている。ヒートキャリヤ９もヘリウム４であり、チャンバ２の 外壁とシェル１８との間のヒートギヤリヤ２０は、温度範囲２７に〜４４°に内 のネオン、或いは、７７に〜１２６°Ｋまでの温度の窒素であり、ヒートキャリ ヤ９．２０の吸着剤として活性炭を使用し７た。

例２ 例えば、３０°Ｋを得るための冷却器の作業サイクルに使用した作用ガスは水素 であった。水素の吸着材の機能は、水素化金属によって発揮される。吸着ポンプ による水素圧縮の高温度を提供するため、設定範囲の温度内の水素を選択的に吸 着する能力が異なる水素化金属でセル４を充填した。例えば、設定圧力が間隔を おいて次第に増加する原理で、セル４を以下のように充填した。

すなわち、Ｍｇ、Ｎｉで第１セルを、ＰａＨｏ５で第２セルを、そして、Ｌａｎ １ｓで第３セルを充填した。吸着温度は２７０°にであり、脱着温度は３７０° に〜４００°にであった。

例３ 作用ガスは、作業容量から圧送された空気である。吸着剤は、水素熱合成によっ て作り出された種々の寸法の気孔をもつ合成ゼオライトである。各種のゼオライ トは、厳密に明確な気孔を有しており、寸法形状が気孔の寸法よりも小さい分子 とだけ相互作用することができた。

排気中、小さな気孔を備えた第１ゼオライトは冷却された。従って、セル４の七 オライドを以下の順序、すなわち、ＮａＡ−４；　ＣａＡ−５；ＣａＸ　Ｉ　Ｏ などの順序で配置した（アラビア数字はオンゲストロムにおける気孔の寸法を示 す）。

産業応用性 吸着ポンプは、密閉容積からのガス混合物、例えば、空気を圧送するための極低 温の冷却サイクルでの極低温ガス、例えば、ヘリウム−３や水素の圧縮に利用す ることかできる。これらのポンプは、外部移動部品を備えた装置に使用すること ができ、電気、太陽および熱のような種々の種類のエネルギーを利用しなければ ならない。

ｍｌ 国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．排気すべき容積と連通する枝管（３）をもつ主チャンバ（２）と、排気すべ き容積内にガスを吸着することができる吸着剤を収容する吸着剤収容セル（４） と、チャンバ（２）の外側に配置された吸着剤収容セル（４）の加熱器（１５） と、吸着剤収容セル（４）の冷却器と、冷却器と吸着剤収容セル（４）との間に 設けられていて、ヒートキャリヤ（９）を収容しヒートキャリヤ（９）を吸着す ることができる吸着剤（１３）を収容し補助加熱器（１６）を備え冷却器と熱接 触する補助容器（１２）と連通する密閉中間空隙（８）とを含む吸着ポンプにお いて、冷却器は、熱伝導材料のロッド（６）の形態を有しており、その一端が冷 源（７）に接触し、他端がこれと同軸な主なチャンバ（２）内に置かれており、 チャンバ内に置かれたロッド（６）の端は、主チャンバ（２）の範囲を越えてロ ッド（６）の周囲を密封し且つロッド（６）の表面とシェル（５）との間に空隙 （８）を形成する円筒形シェル（５）によって囲まれており、吸着剤収容セル（ ４）は、円筒形シェル（５）にロッド（６）に沿って１つずつ滑り嵌めされたリ ングの形態を有していることを特徴とする吸着ポンプ。 ２．主チャンバの吸着剤加熱器は、制御不能な外部熱源によって構成されており 、主チャンバ（２）には、チャンバ（２）の外壁とシェル（１８）との間に空隙 （１９）を形成する外部圧密シェル（１８）が設けられており、空隙（１９）は 、ヒートキャリヤを収容しており、空隙（１９）からヒートキャリヤ（２０）を 吸着することができる吸着剤（２３）を備えた補助容器（２１）と連通しており 、容器には、補助加熱器（２４）が設けられており冷却器との熱接触を維持する ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の吸着ポンプ。 ３．多成分ガス混合物を圧送するようになった請求の範囲第１項に記載の吸着ポ ンプにおいて、ガス混合物の成分と同数の吸着剤収容セルを含み、各セル（４） における吸着剤は、混合物の成分のうちいずれか１つを吸着する能力に対して選 定されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の吸着ポンプ。 ４．吸着剤収容セル（４）は、吸着剤の気孔の寸法に応じて次々に配置されてお り、最小寸法の気孔をもつセル（４）は、チャンバ（２）内に位置決めされたロ ッド（６）の端部（２９）から第１番目に位置することを特徴とする請求の範囲 第３項に記載の吸着ポンプ。 ５．各セル（４）の吸着剤は、他のセル（４）の圧力範囲とは異なり、予め設定 した圧力範囲内において吸着する能力に基づいて選定され、吸着剤収容セル（４ ）は、予め設定した最大の圧力においてガスを吸着することができる吸着剤が、 チャンバ（２）に位置決めされたロッド（６）の端部（２９）から第１番目に位 置決めされるように、予め設定した圧力値に応じて次々と配置されていることを 特徴とする請求の範囲第１項に記載の吸着ポンプ。 ６．ガスの密度を減少させるために、主チャンバ（２）内の吸着剤収容セル（４ ）が、冷却器とセル（４）との間の空隙をヒートキャリヤ（９）で充填して冷却 器と熱接触させることによって冷却され、ガスの密度を増加させるために、主チ ャンバ（２）内の吸着剤収容セル（４）が、吸着剤収容セル（４）と冷却器との 間の空隙（９）からヒートキャリヤ（９）を除去することによって、そして、空 隙（８）を真空にし主チャンバ（２）内の吸着剤収容セル（４）を加熱させる吸 着ポンプによって、密閉容積内のガスの密度を変える方法において、ヒートキャ リヤ（９）は、ガス密度の減少の際、液面（１０）が徐々に上昇する極低温液体 によって構成されており、吸着剤収容セル（４）を冷却器と次々と熱接触させ、 ガス密度の増加の際に徐々に減少させ、かくして、吸着剤収容セル（４）を徐々 に次々と熱接触から外すことを特徴とする方法。