JPH0648156Y2 - 真空ポンプのシール装置 - Google Patents
真空ポンプのシール装置Info
- Publication number
- JPH0648156Y2 JPH0648156Y2 JP1573589U JP1573589U JPH0648156Y2 JP H0648156 Y2 JPH0648156 Y2 JP H0648156Y2 JP 1573589 U JP1573589 U JP 1573589U JP 1573589 U JP1573589 U JP 1573589U JP H0648156 Y2 JPH0648156 Y2 JP H0648156Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas bearing
- contact screw
- damper
- screw seal
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は，真空ポンプのシール装置に関するものであ
る。
る。
（従来の技術） 従来の真空ポンプを第2,3図により説明すると，（１）
が回転軸，（1a）が同回転軸（１）の外周面に設けた多
段の動翼，（2a）が同回転軸（１）を回転可能に支持す
る上部気体軸受，（2b）が同回転軸（１）を回転可能に
支持する下部気体軸受，（2c）が同回転軸（１）を回転
可能に支持する最下部気体軸受，（３）（３）が同気体
軸受（2a）（2b）に一体のダンパ，（４）が同各ダンパ
（３）を弾性支持するゴムリング，（６）が下部ハウジ
ング，（７）が上部ハウジング，（7a）が同上部ハウジ
ング（７）の内周面側に設けた多段の静翼，（５）が上
記下部ハウジング（６）に固定した単段の非接触ねじシ
ールで，同非接触ねじシール（５）には，円筒内面にス
パイラル状溝を設けた円筒体が使用されて，同非接触ね
じシール（５）の内周面が回転軸（１）の外周面に対向
している。また（８）が上記下部ハウジング（６）に設
けた気体軸受（2a）への圧力気体給気口，（９）が上記
下部ハウジング（６）の上部に設けた中間真空排気口，
（13）が上記上部ハウジング（７）の上端部に設けた吸
気口，（14）が同上部ハウジング（７）の下部に設けた
排気口，（15）が上記回転軸（１）に設けたガスタービ
ン，(D1)が真空ポンプの高真空側，(D2)が真空ポンプの
低真空側で，ガスタービン（15）により多段の動翼（1
a）を有する回転軸（１）を高速回転させ，吸気口（1
3）→排気口（14）に排気して，(D1)側に高真空を発生
させる。このとき，低真空側(D2)は，図示しない別の真
空ポンプに連絡しており，さらに真空排気されている。
また非接触ねじシール（５）の排気下流側→中間真空排
気口（９）を経て別の真空ポンプへ真空排気し（(B1)参
照），非接触ねじシール（５）の排気下流側圧力（上部
気体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)を下げ，高真空側(D
1)へのリーク量を少なくして，真空ポンプの排気側圧力
(P0)を下げ，それにより真空ポンプの吸気側圧力を下げ
て，高真空側(D1)にさらに高い高真空を発生させるよう
にしている。なおガスタービン給気(C1)は，ガスタービ
ン（15）を経て矢印(C2)方向に流れて，また軸受給気(A
1)(B2)(B3)は，矢印(B1)(C2)方向に流れて，排気され
る。
が回転軸，（1a）が同回転軸（１）の外周面に設けた多
段の動翼，（2a）が同回転軸（１）を回転可能に支持す
る上部気体軸受，（2b）が同回転軸（１）を回転可能に
支持する下部気体軸受，（2c）が同回転軸（１）を回転
可能に支持する最下部気体軸受，（３）（３）が同気体
軸受（2a）（2b）に一体のダンパ，（４）が同各ダンパ
（３）を弾性支持するゴムリング，（６）が下部ハウジ
ング，（７）が上部ハウジング，（7a）が同上部ハウジ
ング（７）の内周面側に設けた多段の静翼，（５）が上
記下部ハウジング（６）に固定した単段の非接触ねじシ
ールで，同非接触ねじシール（５）には，円筒内面にス
パイラル状溝を設けた円筒体が使用されて，同非接触ね
じシール（５）の内周面が回転軸（１）の外周面に対向
している。また（８）が上記下部ハウジング（６）に設
けた気体軸受（2a）への圧力気体給気口，（９）が上記
下部ハウジング（６）の上部に設けた中間真空排気口，
（13）が上記上部ハウジング（７）の上端部に設けた吸
気口，（14）が同上部ハウジング（７）の下部に設けた
排気口，（15）が上記回転軸（１）に設けたガスタービ
ン，(D1)が真空ポンプの高真空側，(D2)が真空ポンプの
低真空側で，ガスタービン（15）により多段の動翼（1
a）を有する回転軸（１）を高速回転させ，吸気口（1
3）→排気口（14）に排気して，(D1)側に高真空を発生
させる。このとき，低真空側(D2)は，図示しない別の真
空ポンプに連絡しており，さらに真空排気されている。
また非接触ねじシール（５）の排気下流側→中間真空排
気口（９）を経て別の真空ポンプへ真空排気し（(B1)参
照），非接触ねじシール（５）の排気下流側圧力（上部
気体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)を下げ，高真空側(D
1)へのリーク量を少なくして，真空ポンプの排気側圧力
(P0)を下げ，それにより真空ポンプの吸気側圧力を下げ
て，高真空側(D1)にさらに高い高真空を発生させるよう
にしている。なおガスタービン給気(C1)は，ガスタービ
ン（15）を経て矢印(C2)方向に流れて，また軸受給気(A
1)(B2)(B3)は，矢印(B1)(C2)方向に流れて，排気され
る。
（考案が解決しようとする課題） 前記第2,3図に示す従来の真空ポンプでは，非接触ねじ
シール（５）が単段であり，シール長が短く，シール特
性が悪くて，上部ケーシング（７）内の真空度も悪い。
シール（５）が単段であり，シール長が短く，シール特
性が悪くて，上部ケーシング（７）内の真空度も悪い。
また上部気体軸受（2a）の出口側（非接触ねじシール
（５）の出口側）の中間真空排気口（９）は，真空であ
るため，上部気体軸受（2a）からの気体が排気口（９）
へ直接多量にリークして，非接触ねじシール（５）の排
気下流側圧力（上部気体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)
が上昇し，真空ポンプの排気側圧力(P0)も上昇して，真
空度が低下する。
（５）の出口側）の中間真空排気口（９）は，真空であ
るため，上部気体軸受（2a）からの気体が排気口（９）
へ直接多量にリークして，非接触ねじシール（５）の排
気下流側圧力（上部気体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)
が上昇し，真空ポンプの排気側圧力(P0)も上昇して，真
空度が低下する。
また必要真空度を保つためには，中間真空排気口（９）
に接続する低真空ポンプの排気速度を上げる必要があ
り，同低真空ポンプに大型のものを使用する必要があっ
て，装置が大型化する上に，コスト高になる。
に接続する低真空ポンプの排気速度を上げる必要があ
り，同低真空ポンプに大型のものを使用する必要があっ
て，装置が大型化する上に，コスト高になる。
また非接触ねじシール（５）の排気下流側圧力（上部気
体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)が真空圧，下部ケーシ
ング（６）内の圧力(P2)が大気圧であり，互いの圧力差
により軸方向の力Ｆが上部気体軸受（2a）及びダンパ
（３）に上向きに加わり，上部気体軸受（2a）及びダン
パ（３）が上方へ移動して，回転軸（１）に接触した
り，上部気体軸受（2a）及びダンパ（３）が傾いたりし
て，回転軸（１）の回転に支障を来すという問題があっ
た。
体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)が真空圧，下部ケーシ
ング（６）内の圧力(P2)が大気圧であり，互いの圧力差
により軸方向の力Ｆが上部気体軸受（2a）及びダンパ
（３）に上向きに加わり，上部気体軸受（2a）及びダン
パ（３）が上方へ移動して，回転軸（１）に接触した
り，上部気体軸受（2a）及びダンパ（３）が傾いたりし
て，回転軸（１）の回転に支障を来すという問題があっ
た。
本考案は前記の問題点に鑑み提案するものであり，その
目的とする処は，上部ケーシング内の真空度を向上でき
る。装置を小型化できる上に，コストを低減できる。さ
らに回転軸の回転に支障を生じさせない真空ポンプのシ
ール装置を提供しようとする点にある。
目的とする処は，上部ケーシング内の真空度を向上でき
る。装置を小型化できる上に，コストを低減できる。さ
らに回転軸の回転に支障を生じさせない真空ポンプのシ
ール装置を提供しようとする点にある。
（課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するために，本考案は，気体軸受及び
ダンパにより回転軸をハウジング内に回転可能に支持
し，同気体軸受及び同ダンパの高真空側を非接触ねじシ
ールによりシールする真空ポンプにおいて，前記非接触
ねじシールを，前記ハウジングに取付けた多段の高真空
側非接触ねじシールと，前記気体軸受及びダンパに取付
けた低真空側非接触ねじシールとにより構成し，同気体
軸受及び同ダンパの軸方向変位のみを同低真空側非接触
ねじシールを介して拘束するストツパを上記ハウジング
に取付けている。
ダンパにより回転軸をハウジング内に回転可能に支持
し，同気体軸受及び同ダンパの高真空側を非接触ねじシ
ールによりシールする真空ポンプにおいて，前記非接触
ねじシールを，前記ハウジングに取付けた多段の高真空
側非接触ねじシールと，前記気体軸受及びダンパに取付
けた低真空側非接触ねじシールとにより構成し，同気体
軸受及び同ダンパの軸方向変位のみを同低真空側非接触
ねじシールを介して拘束するストツパを上記ハウジング
に取付けている。
（作用） 本考案の真空ポンプのシール装置は前記のように気体軸
受及びダンパの高真空側をシールする非接触ねじシール
を，ハウジングに取付けた多段の高真空側非接触ねじシ
ールと，前記気体軸受及びダンパに取付けた低真空側非
接触ねじシールとにより構成し，同気体軸受及び同ダン
パの軸方向変位のみを同低真空側非接触ねじシールを介
して拘束するストツパをハウジングに取付けたので，シ
ールクリアランスを回転軸の振動に影響されずに非常に
小さくでき，上部気体軸受からのリーク量が少なくなっ
て，上部ケーシング内の真空度が向上する。
受及びダンパの高真空側をシールする非接触ねじシール
を，ハウジングに取付けた多段の高真空側非接触ねじシ
ールと，前記気体軸受及びダンパに取付けた低真空側非
接触ねじシールとにより構成し，同気体軸受及び同ダン
パの軸方向変位のみを同低真空側非接触ねじシールを介
して拘束するストツパをハウジングに取付けたので，シ
ールクリアランスを回転軸の振動に影響されずに非常に
小さくでき，上部気体軸受からのリーク量が少なくなっ
て，上部ケーシング内の真空度が向上する。
また上記のように上部気体軸受からのリーク量が少なく
なるので，中間真空排気を行う場合，中間真空排気口に
接続する低真空ポンプに大型のものを使用する必要がな
くて，装置が小型化される上に，コストが低減する。
なるので，中間真空排気を行う場合，中間真空排気口に
接続する低真空ポンプに大型のものを使用する必要がな
くて，装置が小型化される上に，コストが低減する。
また上記のように気体軸受及びダンパの軸方向変位のみ
を低真空側非接触ねじシールを介して拘束するストツパ
をハウジングに取付けたので，上部気体軸受及びダンパ
が回転軸に接触したり，上部気体軸受及びダンパが傾い
たりすることがなくて，回転軸の回転に支障が生じな
い。
を低真空側非接触ねじシールを介して拘束するストツパ
をハウジングに取付けたので，上部気体軸受及びダンパ
が回転軸に接触したり，上部気体軸受及びダンパが傾い
たりすることがなくて，回転軸の回転に支障が生じな
い。
（実施例） 次に本考案の真空ポンプのシール装置を第１図に示す一
実施例により説明すると，（１）が回転軸，（2a）が同
回転軸（１）を回転可能に支持する上部気体軸受，
（３）が同気体軸受（2a）に一体のダンパ，（４）が同
ダンパ（３）を弾性支持するゴムリング，（６）が下部
ハウジング，（７）が上部ハウジング，（5a）が多段の
高真空側非接触ねじシール，（5b）が低真空側非接触ね
じシール，（12）が同低真空側非接触ねじシール（5b）
と上記ストツパ（11）との間に介装したＯリング，（1
3）が上記低真空側非接触ねじシール（5b）と上記下部
ケーシング（６）との間に介装したＯリングで，上部気
体軸受（2a）及びダンパ（３）の高真空側をシールする
非接触ねじシールを，下部ハウジング（６）の上端部に
取付けた多段の高真空側非接触ねじシール（5a）と，上
記上部気体軸受（2a）及び上記ダンパ（３）に取付けた
低真空側非接触ねじシール（5b）とにより構成し，同気
体軸受（2a）及び同ダンパ（３）の軸方向変位のみを同
低真空側非接触ねじシール（5b）を介して拘束するスト
ツパ（11）を上記下部ハウジング（６）に取付けてい
る。また低真空側非接触ねじシール（5b）のシールクリ
アランスを組立，加工の精度内で可能な限り小さくして
いる。
実施例により説明すると，（１）が回転軸，（2a）が同
回転軸（１）を回転可能に支持する上部気体軸受，
（３）が同気体軸受（2a）に一体のダンパ，（４）が同
ダンパ（３）を弾性支持するゴムリング，（６）が下部
ハウジング，（７）が上部ハウジング，（5a）が多段の
高真空側非接触ねじシール，（5b）が低真空側非接触ね
じシール，（12）が同低真空側非接触ねじシール（5b）
と上記ストツパ（11）との間に介装したＯリング，（1
3）が上記低真空側非接触ねじシール（5b）と上記下部
ケーシング（６）との間に介装したＯリングで，上部気
体軸受（2a）及びダンパ（３）の高真空側をシールする
非接触ねじシールを，下部ハウジング（６）の上端部に
取付けた多段の高真空側非接触ねじシール（5a）と，上
記上部気体軸受（2a）及び上記ダンパ（３）に取付けた
低真空側非接触ねじシール（5b）とにより構成し，同気
体軸受（2a）及び同ダンパ（３）の軸方向変位のみを同
低真空側非接触ねじシール（5b）を介して拘束するスト
ツパ（11）を上記下部ハウジング（６）に取付けてい
る。また低真空側非接触ねじシール（5b）のシールクリ
アランスを組立，加工の精度内で可能な限り小さくして
いる。
次に前記第１図に示す真空ポンプのシール装置の作用を
具体的に説明する。高真空側非接触ねじシール（5a）及
び低真空側非接触ねじシール（5b）の円筒内面にスパイ
ラル状ねじ溝を設けており，上部気体軸受（2a）からリ
ークした気体を同スパイラル状ねじ溝のポンピング効果
により押し戻す。このとき，中間真空排気口（９）から
真空排気しており，多段の高真空側非接触ねじシール
（5a）の排気下流側圧力（上部気体軸受（2a）の出口側
圧力）(P1)をより一層下げて，ねじシール圧縮比を極力
上昇させる。また多段の非接触ねじシール（5a）の排気
下流側圧力（上部気体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)と
下部ケーシング（６）内の圧力(P2)との圧力差により上
部気体軸受（2a）及びダンパ（３）が軸方向上方へ移動
するのをストツパ（11）により阻止しており，上部気体
軸受（2a）及びダンパ（３）を回転軸（１）に接触させ
たり，上部気体軸受（2a）及びダンパ（３）を傾斜させ
たりして，回転軸（１）の回転に支障を来すことがな
い。
具体的に説明する。高真空側非接触ねじシール（5a）及
び低真空側非接触ねじシール（5b）の円筒内面にスパイ
ラル状ねじ溝を設けており，上部気体軸受（2a）からリ
ークした気体を同スパイラル状ねじ溝のポンピング効果
により押し戻す。このとき，中間真空排気口（９）から
真空排気しており，多段の高真空側非接触ねじシール
（5a）の排気下流側圧力（上部気体軸受（2a）の出口側
圧力）(P1)をより一層下げて，ねじシール圧縮比を極力
上昇させる。また多段の非接触ねじシール（5a）の排気
下流側圧力（上部気体軸受（2a）の出口側圧力）(P1)と
下部ケーシング（６）内の圧力(P2)との圧力差により上
部気体軸受（2a）及びダンパ（３）が軸方向上方へ移動
するのをストツパ（11）により阻止しており，上部気体
軸受（2a）及びダンパ（３）を回転軸（１）に接触させ
たり，上部気体軸受（2a）及びダンパ（３）を傾斜させ
たりして，回転軸（１）の回転に支障を来すことがな
い。
（考案の効果） 本考案の真空ポンプのシール装置は前記のように気体軸
受及びダンパを高真空側をシールする非接触ねじシール
を，ハウジングに取付けた多段の高真空側非接触ねじシ
ールと，前記気体軸受及びダンパに取付けた低真空側非
接触ねじシールとにより構成し，同気体軸受及び同ダン
パの軸方向変位のみを同低真空側非接触ねじシールを介
して拘束するストツパをハウジングに取付けたので，シ
ールクリアランスを回転軸の振動に影響されずに非常に
小さくでき，上部気体軸受からのリーク量を少なくでき
て，上部ケーシング内の真空度を向上できる。
受及びダンパを高真空側をシールする非接触ねじシール
を，ハウジングに取付けた多段の高真空側非接触ねじシ
ールと，前記気体軸受及びダンパに取付けた低真空側非
接触ねじシールとにより構成し，同気体軸受及び同ダン
パの軸方向変位のみを同低真空側非接触ねじシールを介
して拘束するストツパをハウジングに取付けたので，シ
ールクリアランスを回転軸の振動に影響されずに非常に
小さくでき，上部気体軸受からのリーク量を少なくでき
て，上部ケーシング内の真空度を向上できる。
また上記のように上部気体軸受からのリーク量を少なく
できるので，中間真空排気を行う場合，中間真空排気口
に接続する低真空ポンプに大型のものを使用する必要が
なくて，装置を小型化できる上に，コストを低減でき
る。
できるので，中間真空排気を行う場合，中間真空排気口
に接続する低真空ポンプに大型のものを使用する必要が
なくて，装置を小型化できる上に，コストを低減でき
る。
また上記のように気体軸受及びダンパの軸方向変位のみ
を低真空側非接触ねじシールを介して拘束するストツパ
をハウジングに取付けたので，上部気体軸受及びダンパ
を回転軸に接触させたり，上部気体軸受及びダンパを傾
斜させたりすることがなくて，回転軸の回転に支障を生
じさせない効果がある。
を低真空側非接触ねじシールを介して拘束するストツパ
をハウジングに取付けたので，上部気体軸受及びダンパ
を回転軸に接触させたり，上部気体軸受及びダンパを傾
斜させたりすることがなくて，回転軸の回転に支障を生
じさせない効果がある。
第１図は本考案に係わる真空ポンプのシール装置の一実
施例を示す縦断側面図，第２図は従来の真空ポンプの第
３図矢印II部分を示す縦断側面図，第３図は従来の真空
ポンプの全体を示す縦断側面図である。 （１）……回転軸，（2a）……気体軸受，（３）……ダ
ンパ，（5a）……高真空側非接触ねじシール，（5b）…
…低真空側非接触ねじシール，（６）（７）……ハウジ
ング，（11）……ストツパ。
施例を示す縦断側面図，第２図は従来の真空ポンプの第
３図矢印II部分を示す縦断側面図，第３図は従来の真空
ポンプの全体を示す縦断側面図である。 （１）……回転軸，（2a）……気体軸受，（３）……ダ
ンパ，（5a）……高真空側非接触ねじシール，（5b）…
…低真空側非接触ねじシール，（６）（７）……ハウジ
ング，（11）……ストツパ。
Claims (1)
- 【請求項１】気体軸受及びダンパにより回転軸をハウジ
ング内に回転可能に支持し，同気体軸受及び同ダンパの
高真空側を非接触ねじシールによりシールする真空ポン
プにおいて，前記非接触ねじシールを，前記ハウジング
に取付けた多段の高真空側非接触ねじシールと，前記気
体軸受及びダンパに取付けた低真空側非接触ねじシール
とにより構成し，同気体軸受及び同ダンパの軸方向変位
のみを同低真空側非接触ねじシールを介して拘束するス
トツパを上記ハウジングに取付けたことを特徴とする真
空ポンプのシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1573589U JPH0648156Y2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 真空ポンプのシール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1573589U JPH0648156Y2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 真空ポンプのシール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02107787U JPH02107787U (ja) | 1990-08-28 |
| JPH0648156Y2 true JPH0648156Y2 (ja) | 1994-12-07 |
Family
ID=31228042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1573589U Expired - Lifetime JPH0648156Y2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 真空ポンプのシール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648156Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP1573589U patent/JPH0648156Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02107787U (ja) | 1990-08-28 |
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