JPH0646508B2 - Magnetic bubble memory - Google Patents

Magnetic bubble memory

Info

Publication number
JPH0646508B2
JPH0646508B2 JP60090823A JP9082385A JPH0646508B2 JP H0646508 B2 JPH0646508 B2 JP H0646508B2 JP 60090823 A JP60090823 A JP 60090823A JP 9082385 A JP9082385 A JP 9082385A JP H0646508 B2 JPH0646508 B2 JP H0646508B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
case
magnetic field
coil
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60090823A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS61250887A (en
Inventor
辰雄 濱本
利男 二見
豊 秋庭
和夫 廣田
伸夫 木城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP60090823A priority Critical patent/JPH0646508B2/en
Publication of JPS61250887A publication Critical patent/JPS61250887A/en
Publication of JPH0646508B2 publication Critical patent/JPH0646508B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は磁気バブルメモリ、特に薄形化,小型化,低消
費電力化に好適な磁気バブルメモリに関する。
Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic bubble memory, and more particularly to a magnetic bubble memory suitable for thinning, downsizing and low power consumption.

〔発明の背景〕[Background of the Invention]

ここ数年実用化されている磁気バブルメモリデバイス
は、磁気バブルメモリチップをマウントしたE字状のセ
ラミックや合成樹脂等の配線基板に、互いに非対象構造
を有する矩形状ソレノイドコイルからなる回転磁界発生
用Xコイル,Yコイルをそれぞれ挿入し直交配置して組
み立てた構造となっている。Xコイル及びYコイルは磁
気バブルメモリチップだけでなく、チップよりもはるか
に大きい配線基板を巻く構造であるため、各コイルの端
から端迄長さが長くなり、駆動電圧,消費電力が大きく
なってしまう。また、Xコイル,Yコイルは磁気バブル
メモリ素子に均一かつ安定した面内回転磁界を付与する
ために均一なインダクタバランスが要求されることか
ら、そのコイル形状が互いに異なる非対象構造となりか
つ大型化構造とならざるを得なかった。さらにはこれら
のXコイル,Yコイルの外面には磁気バブルメモリ素子
に垂直方向のバイアス磁界を付与する一対の永久磁石板
およびその整磁板が配置されてそれらの周辺部分が樹脂
モールドにより被覆されている構造であるため、垂直方
向の積層厚が増大し、磁気バブルメモリデバイスの薄形
化,小型化への要請に対して障害となっていた。
A magnetic bubble memory device that has been put into practical use in recent years is a rotating magnetic field generation that is composed of rectangular solenoid coils having asymmetric structures on a wiring board such as an E-shaped ceramic or synthetic resin on which a magnetic bubble memory chip is mounted. It has a structure in which the X coil and the Y coil for use are respectively inserted and orthogonally arranged to be assembled. The X coil and the Y coil are not only the magnetic bubble memory chip but also a structure in which a wiring board much larger than the chip is wound, so that the length of each coil becomes long, and the driving voltage and power consumption increase. Will end up. Further, since the X coil and the Y coil are required to have a uniform inductor balance in order to apply a uniform and stable in-plane rotating magnetic field to the magnetic bubble memory element, the coil shapes are different from each other in asymmetrical structure and large in size. It had to be a structure. Further, a pair of permanent magnet plates for applying a vertical bias magnetic field to the magnetic bubble memory element and its magnetic compensating plate are arranged on the outer surfaces of these X and Y coils, and their peripheral portions are covered with a resin mold. This structure increases the vertical stack thickness, which is an obstacle to the demand for thinner and smaller magnetic bubble memory devices.

本件出願人が知る本発明に最も近い先行技術としては昭
和54年特許出願公開第55129号公報が挙げられ
る。この公報には、チップを囲む額縁型コアとそれらを
完全に囲む導電性磁界反射箱の構造が記載されている。
しかしながら、それ以上の具体的な構造は何ら示されて
おらず、例えば導体ケースで完全にとり囲んでいるチッ
プへの電気的結線を導体ケースの外側からそれに短絡さ
せることなく行うことは理論的に不可能であり、永久磁
石、整磁板、バイアスコイル等の取付方法が不明である
ことも含め、その記載をきっかけに実用化しようと思い
立つには見るからに不十分である。すなわち、本発明の
実施例が結果として額縁型コアを使用した点で上記公報
の記載とたまたま一致したに過ぎない。
The prior art closest to the present invention known to the applicant of the present invention is Japanese Patent Application Publication No. 55129 of 1979. This publication describes the structure of a frame-shaped core surrounding a chip and a conductive magnetic field reflection box completely surrounding them.
However, no further concrete structure is shown, and it is theoretically impossible to make electrical connection to the chip completely surrounded by the conductor case without shorting it from the outside of the conductor case. It is possible, and it is insufficient from a viewpoint to think that the description will be put into practical use, including the fact that the method of attaching the permanent magnet, the magnetic shunt plate, the bias coil, etc. is unclear. That is, the embodiments of the present invention happened to coincide with the description of the above publication in that the frame type cores are used as a result.

〔発明の目的〕[Object of the Invention]

本発明の目的は、薄形化を可能とした磁気バブルメモリ
を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory that can be made thin.

本発明の他の目的は、全体の体積を小さくして小型化を
可能とした磁気バブルメモリを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory which can be downsized by reducing the entire volume.

本発明の他の目的は、消費電力を低減させた磁気バブル
メモリを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory with reduced power consumption.

本発明の他の目的は、回転磁界発生用コイルのインダク
タンスを小さくしてVI積を小さくさせた磁気バブルメ
モリを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory in which the VI product is reduced by reducing the inductance of the rotating magnetic field generating coil.

本発明の他の目的は、構成部品の組立の自動化を可能又
は容易にした磁気バブルメモリを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory capable of or facilitating automation of assembly of components.

本発明の他の目的は、大容量化等に入出力等の接続端子
数を増大させることができる磁気バブルメモリを提供す
ることにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory capable of increasing the number of connection terminals for input / output and the like for increasing the capacity.

本発明の他の目的は、磁気バブルメモリ素子のバイアス
磁界方向に対する傾斜角度を容易かつ高精度で設定可能
とした磁気バブルメモリを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory in which the inclination angle of the magnetic bubble memory element with respect to the bias magnetic field direction can be easily set with high accuracy.

本発明の他の目的はカセットの小型化が可能な磁気バブ
ルメモリを提供することである。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory capable of miniaturizing a cassette.

本発明の他の目的は磁気バブルメモリデバイスの周辺回
路を安いコストで製造できる磁気バブルメモリを提供す
ることである。
Another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory capable of manufacturing a peripheral circuit of a magnetic bubble memory device at a low cost.

本発明の更に他の目的は動作周囲温度を拡大させた磁気
バブルメモリを提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory having an increased operating ambient temperature.

〔発明の概要〕[Outline of Invention]

本発明では、傾斜板、整磁板、磁石板等からなる磁石体
(BIM)に放熱の役目を持たせ、各部品を、隙間無く
密着させて設けることで、効率良く放熱を行う。また本
発明は、外部磁気シールドケースの四隅からフレキシブ
ル基板の一部を取り出し、折り曲げることで、接続ピン
(CNP)を磁気バブルメモリの底部に設けことがで
き、側面に接続ピンがないことで、パッケージングケー
スの4つの側面に全て放熱板を設けることを可能とした
ものである。本発明によれば下記の磁気バブルメモリが
提供される。
According to the present invention, a magnet body (BIM) made up of an inclined plate, a magnetic shunt plate, a magnet plate, etc. is provided with a role of heat dissipation, and the respective parts are provided in close contact with each other without any gap, so that heat is efficiently dissipated. Further, according to the present invention, by taking out a part of the flexible substrate from the four corners of the external magnetic shield case and bending it, the connection pin (CNP) can be provided at the bottom of the magnetic bubble memory, and the side face has no connection pin. The heat dissipation plate can be provided on all four sides of the packaging case. According to the present invention, the following magnetic bubble memory is provided.

向い合う巻線の組が互いに平行となるようにコイルを施
した絶縁形コア(COR)で形成される空間部に、フレ
キシブル基板(FPC)に搭載した磁気バブルメモリ素
子(CHI)を配設し、前記コイル,コアおよび磁気バ
ブルメモリ素子の全体を回転磁界閉じ込めケース(RF
S)内に挟持させ、かつ前記回転磁界閉じ込めケースの
外面に一対の銅からなる傾斜板(INN)を密着するよ
う重ねて配置し、前記銅からなる傾斜板の外面に一対の
整磁板(HOM)を密着するよう重ねて配置し、前記整
磁板の外面に一対の磁石板(MAG)を密着するよう重
ねて配置し、前記磁石板の外面に一対の磁性材からなる
傾斜板(INM)を密着するよう重ねて配置し、前記磁
性体からなる傾斜板の外面に外部磁気シールドケース
(SHI)を密着させるように設け、前記回転磁界閉じ
込めケース、銅からなる傾斜板、整磁板、磁石板、磁性
材からなる傾斜板を、前記磁気シールドケース内に挟持
させ、前記回転磁界閉じ込めケースの側面と外部磁気シ
ールドケースの側面を密着させるとともに、パッケージ
ングケース(PKG)の4つの側面に放熱体を設けた磁
気バブルメモリ。
A magnetic bubble memory element (CHI) mounted on a flexible substrate (FPC) is arranged in a space formed by an insulating core (COR) in which coils are arranged so that pairs of windings facing each other are parallel to each other. , The coil, the core, and the magnetic bubble memory device as a whole are enclosed by a rotating magnetic field confinement case (RF
S), and a pair of inclined plates (INN) made of copper are superposed on the outer surface of the rotating magnetic field confinement case so as to closely adhere to each other. HOM) are placed in close contact with each other, and a pair of magnet plates (MAG) are placed in close contact with the outer surface of the magnetic shunt plate, and an inclined plate (INM made of a pair of magnetic materials is attached to the outer surface of the magnet plate. ) Are closely stacked, and an external magnetic shield case (SHI) is closely attached to the outer surface of the inclined plate made of the magnetic material, and the rotating magnetic field confinement case, the inclined plate made of copper, the magnetic shunt plate, A magnetic plate and an inclined plate made of a magnetic material are sandwiched in the magnetic shield case so that the side surface of the rotating magnetic field confinement case and the side surface of the external magnetic shield case are in close contact with each other and the packaging case (PKG Magnetic bubble memory having a heat radiator on four sides of.

〔発明の実施例〕Example of Invention

本発明の対象とする磁気バブルメモリの構造について説
明する。
The structure of the magnetic bubble memory which is the object of the present invention will be described.

(全体構造の概要 第1,2図) 第1図及び第2図A,Bは本出願人による先の出願であ
る特願昭60−66456号(特開昭61−22728
6号)で開示されているところの、本発明が対象とする
磁気バブルメモリの全体構造を説明するための図であ
り、第1図は一部破断斜視図、第2図Aはその底面図、
第2図Bは第2図Aの2B−2B断面図である。これら
の図において、CHIは磁気バブルメモリチップ(以下
チップと称する)であり、これらの図ではチップCHI
は省略して1個のみ表示しているが本例では2個並べて
配置しているものとする。
(Outline of Overall Structure FIGS. 1 and 2) FIG. 1 and FIGS.
6) is a view for explaining the entire structure of the magnetic bubble memory targeted by the present invention, which is disclosed in No. 6), FIG. 1 is a partially cutaway perspective view, and FIG. 2A is a bottom view thereof. ,
2B is a sectional view taken along line 2B-2B in FIG. 2A. In these figures, CHI is a magnetic bubble memory chip (hereinafter referred to as a chip), and in these figures, the chip CHI is used.
Is omitted and only one is displayed, but in this example, two are arranged side by side.

(1つの大容量のチップよりも、合計記憶容量をそれに
合せた複数分割チップ構成の方がチップ歩留が良い)。
FPCは2個のチップCHIを搭載しかつ4隅にチップ
CHIと外部接続端子との結線用線群延長部を有するフ
レキシブル配線基板(以下基板と称する)である。CO
Iは2個のチップCHIをほぼ同一平面上でとり囲み対
向辺が互いに平行となるように配置された駆動コイル
(以下コイルと称する)、CORは四角形コイル集合体
COIの中空部分を貫通するように設けられた固定配置
された軟磁性材からなる額縁形コア(以下コアと称す
る)であり、このコアCORと各コイルCOIとでチッ
プCHIに面内回転磁界を付与する磁気回路PFCを構
成している。RFSは基板FPCの中央四角形部分と、
2個のチップCHIおよび磁気回路PFCの全体を収納
する回転磁界閉じ込めケース(以下ケースと称する)で
ある。ケースRFSは2枚の独立した板を加工して形成
され、ケースの側面部で上下の板は電気的に接続されて
いる。チップCHIが配置された部分よりやや広めの範
囲で中央部分の隙間が狭くなるよう周辺部分に絞り部が
形成されている。この絞り部は磁石体の位置決めにも利
用できる。ケースRFSは磁気磁界閉じ込めと軟弱な基
板FPCを機械的に支持する一石二鳥の効果,働きを持
っている。
(The chip yield is better with a multi-divided chip configuration that matches the total storage capacity than with one large-capacity chip).
The FPC is a flexible wiring board (hereinafter referred to as a board) on which two chips CHI are mounted and which has wire group extensions for connecting the chips CHI and external connection terminals at four corners. CO
I is a drive coil (hereinafter referred to as a coil) that surrounds two chips CHI on substantially the same plane and is arranged so that the opposite sides are parallel to each other, and COR penetrates the hollow portion of the rectangular coil assembly COI. Is a frame-shaped core (hereinafter, referred to as a core) made of a fixedly arranged soft magnetic material, and the core COR and each coil COI constitute a magnetic circuit PFC that applies an in-plane rotating magnetic field to the chip CHI. ing. RFS is a central square portion of the substrate FPC,
It is a rotating magnetic field confinement case (hereinafter referred to as a case) that houses the two chips CHI and the magnetic circuit PFC as a whole. The case RFS is formed by processing two independent plates, and the upper and lower plates are electrically connected at the side surface of the case. A narrowed portion is formed in the peripheral portion so that the gap in the central portion is narrowed in a range slightly wider than the portion where the chip CHI is arranged. This narrowed portion can also be used for positioning the magnet body. The case RFS has the effect and function of two birds with one stone that confine the magnetic field and mechanically support the weak substrate FPC.

ケースRFSとチップCHIとの間には、特にチップC
HIの側面部に隙間SIRがあるが、チップCHIの平
面部も含めてこの隙間部分SIRにはシリコーン図示が
コーテイング又は充填され、チップ主表面に組立中に異
物が付着したり、組立後に水分がチップ主表面又は側面
部に侵入することが少なくなるよう、パッシベーション
効果が意図されている。もし、ケースRFSの外側で完
全な気密封止ができる場合、樹脂SIRの充填は省略し
ても良い。INMはケースRFSの外側に配置された磁
性材からなる一対の傾斜板であり、第2図で上側の傾斜
板INMは左に寄るに従ってまた下側の傾斜板INMは
右に寄るに従って板厚が厚くなっており、双方はケース
RFS側に傾斜面が形成されている。傾斜板INMの材
料としては、透磁率μが高く保持力Hcの小さいソフト
・フェライトやパーマロイ等を使用すれば良く、本例で
は傾斜面の加工が容易なソフト・フェライトを選んだ。
MAGは一対の傾斜板INMの内側でそれと重ねて配置
された一対の永久磁石板(以下磁石板と称する)であ
る。HOMは前記各磁石板MAGの内側でそれと重ねて
配置されたソフトフェライトのような磁性材からなる一
対の整磁板である。磁石板MAGは全面にわたって均一
の板厚を有して形成されている。INNは一対の整磁板
HOMの内側対向面にそれと重ねて配置された銅のよう
に熱伝導性が良く非磁性体の材料からなる一対の傾斜板
である。これらの傾斜板INNは傾斜板INMとほぼ同
等の傾斜角でかつ逆方向の傾斜面を有して形成されてい
る。傾斜板INM、磁石板MAG、整磁板HOM及び傾
斜板INNは、それぞれ積み重ねて配置し一体化してバ
イアス磁界発生用磁石体BIM(以下磁石体と称する)
を構成したときに積層板磁石体全体の厚さがほぼ全面に
わたって均一となるように形成されている。一対の磁石
体BIMはケースRFSの絞り部によって囲まれた中央
の平な部分に接着されている。BICは磁石体BIMの
周縁部とケースRFSとの間の溝状隙間部分に配置され
たバイアス磁界発生用コイル(以下バイアスコイルと称
する)である。バイアスコイルBICは磁石板MAGの
磁力をチップCHIの特性に合せて調整したり、不要バ
ブル発生不良の有無をテストする際、チップCHIのバ
ブルのオールクリア(全消去)する場合に駆動される。
SHIは前記チップCHIを搭載した基板FPCおよび
磁気回路PFCを収納したケースRFSと、その外側
で、一対の磁石体BIMa,BIMbおよびバイアスコ
イルBICを収納する磁性材からなる外部磁気シールド
ケース(以下シールドケースと称する)である。シール
ドケースSHIの材料としては、透磁率μが高く、飽和
磁束密度Bsが大きく、Hcの小さい磁性体が好まし
く、パーマロイやフェライトがそのような特性を持って
いるが、本例では折り曲げ加工に適し、機械的な外力に
対して強いパーマロイの鉄・ニッケル合金が選択され
た。PKGは前記シールドケースSHIの外周面に接着
あるいははめ込みにより取り付けられた熱伝導率が高
く、加工のし易いAlのような材質からなるパッケージ
ングケースである。CNPは前記基板FPCの4隅から
延長して設けられ、シールドケースSHIの背面を折り
返された外部接続端子に接触するように配置されたコン
タクトパッドである。TEFは各コンタクトパッドCN
Pを開口部の段差部で支持固定する絶縁性部材からなる
端子固定板である。
Between the case RFS and the chip CHI, especially the chip C
Although there is a gap SIR on the side surface of the HI, the gap SIR including the flat portion of the chip CHI is coated or filled with silicone as shown in the figure, so that foreign matter may adhere to the main surface of the chip during assembly or moisture may be removed after assembly. The passivation effect is intended to reduce penetration into the main chip surface or side surfaces. If complete airtight sealing can be performed outside the case RFS, the filling of the resin SIR may be omitted. INM is a pair of inclined plates made of a magnetic material arranged on the outside of the case RFS. In FIG. 2, the upper inclined plate INM is closer to the left and the lower inclined plate INM is closer to the right. Both of them have an inclined surface on the case RFS side. As the material of the inclined plate INM, soft ferrite or permalloy having a high magnetic permeability μ and a small coercive force Hc may be used. In this example, soft ferrite which is easy to process the inclined surface was selected.
The MAG is a pair of permanent magnet plates (hereinafter referred to as magnet plates) arranged inside the pair of inclined plates INM so as to be superposed thereon. The HOM is a pair of magnetic compensating plates made of a magnetic material such as soft ferrite and arranged inside each of the magnet plates MAG so as to overlap with each other. The magnet plate MAG is formed to have a uniform plate thickness over the entire surface. The INN is a pair of inclined plates made of a non-magnetic material having good thermal conductivity, such as copper, which is arranged on the inner facing surfaces of the pair of magnetic shunting plates HOM so as to be superposed thereon. These inclined plates INN are formed to have an inclined angle substantially equal to that of the inclined plate INM and an inclined surface in the opposite direction. The inclined plate INM, the magnet plate MAG, the magnetic shunt plate HOM, and the inclined plate INN are stacked and arranged, respectively, and integrated to form a bias magnetic field generating magnet body BIM (hereinafter referred to as a magnet body).
Is formed so that the entire laminated plate magnet body has a uniform thickness over substantially the entire surface. The pair of magnet bodies BIM are bonded to the central flat portion surrounded by the narrowed portion of the case RFS. The BIC is a bias magnetic field generating coil (hereinafter referred to as a bias coil) arranged in a groove-shaped gap portion between the peripheral portion of the magnet body BIM and the case RFS. The bias coil BIC is driven when the magnetic force of the magnet plate MAG is adjusted according to the characteristics of the chip CHI or when the presence or absence of a defective bubble generation test is tested and when the bubbles of the chip CHI are all cleared (all erased).
The SHI is a case RFS housing a substrate FPC on which the chip CHI is mounted and a magnetic circuit PFC, and an external magnetic shield case (hereinafter referred to as a shield) made of a magnetic material housing a pair of magnet bodies BIMa, BIMb and a bias coil BIC on the outside thereof. It is called a case). As a material for the shield case SHI, a magnetic material having a high magnetic permeability μ, a large saturation magnetic flux density Bs, and a small Hc is preferable. Permalloy and ferrite have such characteristics, but in this example, they are suitable for bending. , A permalloy iron-nickel alloy that is strong against mechanical external force was selected. The PKG is a packaging case made of a material such as Al, which is attached to the outer peripheral surface of the shield case SHI by adhesion or fitting and has a high thermal conductivity and is easy to process. The CNP is a contact pad that extends from the four corners of the substrate FPC and is arranged so as to contact the folded back external connection terminal of the shield case SHI. TEF is each contact pad CN
It is a terminal fixing plate made of an insulating member that supports and fixes P at the stepped portion of the opening.

(全体構造の特長 第1,2図) 第1図及び第2図に示した磁気バブルメモリデバイス全
体構造の特長点は下記のように列挙される。しかし、本
例による特長点はこれらに限定されるものではなく、他
の特長点は第3図以降の説明からも明らかとなるであろ
うが、ここでは各構成部品間の関連性を中心として特長
点を述べる。
(Characteristics of Overall Structure, FIGS. 1 and 2) Features of the overall structure of the magnetic bubble memory device shown in FIGS. 1 and 2 are listed as follows. However, the features of this example are not limited to these, and other features will be apparent from the description of FIG. Describe the features.

(1)回転磁界発生コイルPFCを額縁型にして、バブ
ルメモリチップCHIをその額内にほぼ同一平面上で配
置しているので、バブルデバイス全体の厚さを薄くでき
る。現今の主流技術では、チップ上下面をX及びYコイ
ルでぐるぐる巻いているため、デバイス全体の厚さはチ
ップ厚、Xコイル厚及びYコイル厚の和の関数となるか
らである。
(1) Since the rotating magnetic field generating coil PFC is of a frame type and the bubble memory chip CHI is arranged on the substantially same plane within the frame, the thickness of the entire bubble device can be reduced. This is because in the current mainstream technology, the upper and lower surfaces of the chip are wound around by the X and Y coils, and the total thickness of the device is a function of the sum of the chip thickness, the X coil thickness, and the Y coil thickness.

(2)Xコイル及びYコイルがほぼ同一平面に配置され
ているので、従来のXコイル上に重ねてYコイルを巻い
た構造に比べ下記の効果がある。
(2) Since the X coil and the Y coil are arranged on substantially the same plane, the following effects are obtained as compared with the conventional structure in which the Y coil is wound on the X coil.

コイルの総巻線長が長くならない。従ってインダクタ
ンスLを小さくでき、低電圧駆動や低消費電力化を可能
とした。
The total winding length of the coil does not become long. Therefore, the inductance L can be reduced, and low voltage driving and low power consumption can be achieved.

Xコイル及びYコイルとチップCHIとの距離を等し
くすることができ、磁界分布をバランスのとれたものと
することができる。
The distance between the X coil and the Y coil and the chip CHI can be made equal, and the magnetic field distribution can be balanced.

(3)回転磁界発生コイルPFCを導体ケースRFSで
囲んでいるので磁束の漏れが少なくチップCHIに対す
る駆動効率を高められる。
(3) Since the rotating magnetic field generating coil PFC is surrounded by the conductor case RFS, the leakage of magnetic flux is small and the driving efficiency for the chip CHI can be improved.

(4)導体ケースRFSは、回転磁界Hr発生コイルP
FCから発生された交流磁界が透磁率μの大きい磁石体
BIMに漏れるのを防ぎ、他方磁石体BIMからチップ
CHIへ加えられるべきバイアス磁石Hbの直流磁界に
対しては実質的にその通過を妨げないという選択性があ
る。
(4) The conductor case RFS includes the rotating magnetic field Hr generating coil P.
The AC magnetic field generated from the FC is prevented from leaking to the magnet body BIM having a large magnetic permeability μ while the DC magnetic field of the bias magnet Hb to be applied from the magnet body BIM to the chip CHI is substantially prevented. There is the option of not having it.

(5)導体ケースRFSとしては、従来配線基板として
使用されていたエポキシガラス等に比べ硬い銅のような
材質を使用しているため、チップCHIを機械的に強固
に支持できる。従って、特に製造歩留を上げるため等に
複数チップ実装構成とした場合は、チップ間の傾斜角度
バラツキが磁気特性に大きな影響を与えるが、本例によ
ればチップ間の傾斜角度のバラツキを小さく押えられ
る。
(5) Since the conductor case RFS is made of a material such as copper, which is harder than epoxy glass or the like which has been conventionally used as a wiring board, the chip CHI can be mechanically and firmly supported. Therefore, especially in the case of a multi-chip mounting structure for increasing the manufacturing yield, the variation in the inclination angle between chips has a great influence on the magnetic characteristics, but according to this example, the variation in the inclination angle between chips is small. It is held down.

(6)配線基板としてフレキシブルフィルム基板FPC
を使用しているため下記の効果が得られる。
(6) Flexible film substrate FPC as wiring substrate
The following effects are obtained by using.

基板厚を小さくできる。The substrate thickness can be reduced.

リードボンディング方式を採用できるので従来のワイ
ヤホンディング方式に比べボンディング部分が占める厚
さを小さくできる。
Since the lead bonding method can be adopted, the thickness occupied by the bonding portion can be reduced as compared with the conventional wire bonding method.

上記,の効果は、磁気回路のギャップ(透磁率μ
の小さい部分)を小さくでき小さい厚さ,又は小さい平
面積のバイアス磁石MAGを使用することができ、デバ
イス全体の薄型化又は平面積の縮小化につながる。
The above effect is due to the gap of the magnetic circuit (permeability μ
The bias magnet MAG having a small thickness or a small plane area can be used, which leads to thinning of the entire device or reduction of the plane area.

チップCHIからの配線の折り曲げ等が自由自在であ
る。従って、端子部分の180゜の裏返し等が可能であ
り、デバイス全体の平面積を制限することができる。
Wiring can be freely bent from the chip CHI. Therefore, the terminal portion can be turned over by 180 ° and the plane area of the entire device can be limited.

回転磁界閉じ込めケースRFSの配線取り出し用開口
幅を小さくできる。従って、回転磁界の漏れを最小限に
留めることができる。
The width of the wiring extraction opening of the rotating magnetic field confinement case RFS can be reduced. Therefore, leakage of the rotating magnetic field can be minimized.

(7)配線基板FPCの外部導出配線を四角形の角部に
集約させているので、回転磁界閉じ込めケースRFSの
開口を最も影響の小さい角部に設けることができる。
(7) Since the external leads of the wiring board FPC are gathered at the corners of the quadrangle, the opening of the rotating magnetic field confinement case RFS can be provided at the corner having the least influence.

(8)傾斜板INNの機能を磁石或は整磁機能と兼用さ
せていないので下記の効果がある。
(8) Since the function of the inclined plate INN is not combined with the function of magnet or degaussing, the following effects are obtained.

傾斜角を形成するために、加工性の良い銅等の材料を
使用できる。
A material such as copper having good workability can be used to form the inclination angle.

熱導率の良い銅等の材料を使用でき、回転磁界発生コ
イルCOIで発生した熱を効率良く発散できる。
A material such as copper having a high thermal conductivity can be used, and the heat generated by the rotating magnetic field generating coil COI can be efficiently dissipated.

非磁性体の材料を使用することによって、整磁板HO
Mを通る磁界を乱さないようにすることができる。
By using a non-magnetic material, the magnetic shunt plate HO
The magnetic field passing through M can be prevented from being disturbed.

(9)傾斜板INNは磁気的ギャップを小さくするため
にできるだけ薄い方が好ましく、その幅を磁石MAGや
整磁板HOMに比べて、傾斜角形成に必要十分なところ
に制限することによって、薄い厚さでの傾斜角形成を容
易としている。
(9) The inclined plate INN is preferably as thin as possible in order to reduce the magnetic gap, and is thin by limiting the width thereof to a position necessary and sufficient for forming the inclination angle as compared with the magnet MAG and the magnetic shunt plate HOM. It makes it easy to form an angle of inclination.

(10)磁石MAGとシールドケースSHI間には、透磁
率μの大きいソフトフェライトのような板INMが挿入
されているので、その間の磁気的ギャップを埋めること
ができる。また、板INMは放熱にも寄与する。板IN
Mとしては磁石MAGよりも保持力Hcの小さい材料を
選んでいるので、永久磁石の実効的な厚さを均一なまま
にしておくことができる。
(10) Since the plate INM such as soft ferrite having a large magnetic permeability μ is inserted between the magnet MAG and the shield case SHI, the magnetic gap between them can be filled. The plate INM also contributes to heat dissipation. Board IN
Since a material having a holding force Hc smaller than that of the magnet MAG is selected as M, the effective thickness of the permanent magnet can be kept uniform.

(11)シールドケースSHIは透磁率μの大きいパーマ
ロイ等の磁性材料で構成しているため、磁石MAGを磁
界源とする磁気回路の磁気抵抗を小さくできるので、磁
石MAGの厚さや平面積を小さくできる。
(11) Since the shield case SHI is made of a magnetic material such as permalloy having a high magnetic permeability μ, the magnetic resistance of the magnetic circuit using the magnet MAG as a magnetic field source can be reduced, so that the thickness and the plane area of the magnet MAG can be reduced. it can.

(12)シールドケースSHIは飽和磁束密度Bsの大き
いパーマロイ等の磁性材料で構成しているため、外来の
磁界ノイズをバイパスし、チップCHIに伝えない働き
がある。
(12) Since the shield case SHI is made of a magnetic material such as permalloy having a high saturation magnetic flux density Bs, it has a function of bypassing external magnetic field noise and not transmitting it to the chip CHI.

(13)上記(11),(12)はそれぞれ、シールドケースSH
Iの厚さを薄くすることにつながる。
(13) The above (11) and (12) are shield case SH, respectively.
This leads to the reduction of the thickness of I.

(14)シールドケースSHIはパーマロイのような鉄−
ニッケル合金を使用しているため、折り曲げ加工に適
し、又機械的な外力に対してその中に組み込まれた部品
を保護する働きがある。
(14) The shield case SHI is made of iron such as permalloy.
Since it uses a nickel alloy, it is suitable for bending work and also has a function of protecting the components incorporated therein against external mechanical force.

(15)回転磁界発生コイルPFCとバイアスコイルBI
Cを共にコア型にしているので、パッケージングケース
SHI又はPKG内での収納効率又は実装密度を高める
ことができる。
(15) Rotating magnetic field generating coil PFC and bias coil BI
Since both C are core type, it is possible to increase the storage efficiency or the mounting density in the packaging case SHI or PKG.

(16)コア−CORと整磁板HOMとの間にはケースR
FSを挿入しているため、その間隔はコイルCOIの厚
さの他に回転磁界閉じ込めケースRFSの厚さ及び折り
曲げ角度で微調整できる。この距離は短ければ短い程全
体の平面的な大きさを小さくすることができ、コイル長
の低減による低消費電力化につながる。しかしながら、
その距離が短か過ぎると磁石MAGからの直流バイアス
磁界Hbが透磁率の高いコア−CORに漏れてしまい、
チップ周辺部分におけるバイアス磁界の一様性が悪くな
る。従って、この距離は上記特性上非常にシビアであ
り、本構造によるとその調整が精密にできる。
(16) Case R is placed between the core-COR and the magnetic shunt plate HOM.
Since the FS is inserted, the distance can be finely adjusted by the thickness and the bending angle of the rotating magnetic field confinement case RFS in addition to the thickness of the coil COI. The shorter this distance is, the smaller the planar size of the whole can be made, which leads to lower power consumption by reducing the coil length. However,
If the distance is too short, the DC bias magnetic field Hb from the magnet MAG leaks to the core-COR having high magnetic permeability,
The uniformity of the bias magnetic field in the peripheral portion of the chip becomes poor. Therefore, this distance is very severe in view of the above characteristics, and according to this structure, the adjustment can be performed precisely.

(17)回転磁界閉じ込めケースRFSの周辺に絞り部を
設けているため、磁石対BIMの位置合せが容易であ
る。
(17) Since the diaphragm is provided around the rotating magnetic field confinement case RFS, it is easy to align the magnet pair BIM.

(18)傾斜板INNは同じ製造条件で作った2枚のもの
を、チップの上下面で平面的に180゜の回転角度差があ
るように配置することによって、チップをはさんで上下
面に配置された1対の整磁板HOMや1対の磁石MAG
をほぼ平行に合せることができる。
(18) The inclined plate INN is made of two pieces under the same manufacturing conditions. By arranging them so that there is a rotation angle difference of 180 ° on the upper and lower surfaces of the chip, the upper and lower surfaces of the chip are sandwiched. A pair of magnetic compensating plates HOM and a pair of magnets MAG arranged
Can be aligned almost parallel.

(組立の概要 第3図) 第3図は前述した磁気バブルメモリデバイスを構成する
各構成部材の積重ね組み立て手順を説明するための組み
立て斜視図であり、前述と同一符号は同一部材を示して
いる。同時において、まず、4隅に突出して入出力配線
の接続部を有しかつ中央部に素子搭載部を有する基板F
PC上に2個のチップCHIを搭載した基板組立体BN
Dを、底面に絶縁性シートを接着配置した外側ケースR
FSa内に配置し、さらにこの基板FPC上に磁気回路
PFCを組み込んだ後、シリコーン樹脂SIR(図示せ
ず)を充填しその上部に内側ケースRFSbを外側ケー
スRFSaに対して組み込み、外側ケースRFSaと内
側ケースRFSbとの側面接触部分を半田付等により電
気的に接続する。次にこれらの外側ケースRFSaおよ
び内側ケースRFSbの外面に設けられている凹状の絞
り部に上側磁石体BIMaおよび下側磁石体BIMbを
配置した後、この上側磁石体BIMaの外縁部と内側ケ
ースRFSbの内側とで形成される図示しない隙間に整
列巻きされたバイアスコイルBICを配置し、これらを
外側ケースSHIa内に収納し、更に内側ケースSHI
Bを組み込み、外側ケースSHIaと内側ケースSHI
bとの側面接触部分を溶接等により磁気的に接続する。
次に内側ケースSHIbの4隅から突出している前記基
板FPCの外部接続端子接続部をこの内側ケースSHI
bの背面に第4図Bに示すように折り返し、一定形状を
有するように組み合わせて配置し、これらの接続部にそ
れぞれ設けられている。半田等で被覆された各外部接続
端子に、図示しないコンタクトパッドCNPを各開口部
に搭載した端子固定板TEFを接触配置して熱圧着等に
より各外部接続端子とコンタクトパッドCNPを半田付
等により電気的に接続させる。次にこれらの組み立て体
にパッケージングケースPKG内に収納し、端子固定板
TEFとパッケージングケースPKGの接触部において
ハーメチックシール等の封止を行って組み立てられる。
(Outline of Assembly FIG. 3) FIG. 3 is an assembly perspective view for explaining a stacking and assembling procedure of each constituent member constituting the above-described magnetic bubble memory device, and the same reference numerals as those used above denote the same members. . Simultaneously, first, a substrate F having projecting portions at four corners and connecting portions for input / output wiring and an element mounting portion in the central portion
Board assembly BN with two chips CHI mounted on a PC
D is an outer case R in which an insulating sheet is adhesively arranged on the bottom surface.
After the magnetic circuit PFC is installed on the substrate FPC and the magnetic circuit PFC is installed on the substrate FPC, silicone resin SIR (not shown) is filled and the inner case RFSb is installed on the upper case RFSa to the outer case RFSa. The side contact portion with the inner case RFSb is electrically connected by soldering or the like. Next, after arranging the upper magnet body BIMa and the lower magnet body BIMb in the concave throttle portions provided on the outer surfaces of the outer case RFSa and the inner case RFSb, the outer edge portion of the upper magnet body BIMa and the inner case RFSb are arranged. Bias coils BIC wound in alignment with each other are arranged in a gap (not shown) formed with the inside of the case, and these are housed in the outer case SHIa.
B inside, outer case SHIa and inner case SHI
The side contact portion with b is magnetically connected by welding or the like.
Next, the external connection terminal connecting portions of the board FPC protruding from the four corners of the inner case SHIb are connected to the inner case SHIb.
As shown in FIG. 4B, it is folded back on the back surface of b and is arranged in combination so as to have a constant shape, and is provided at each of these connecting portions. A terminal fixing plate TEF having a contact pad CNP (not shown) mounted in each opening is placed in contact with each external connection terminal covered with solder or the like, and each external connection terminal and the contact pad CNP are soldered by thermocompression bonding or the like. Make an electrical connection. Next, these assembled bodies are housed in the packaging case PKG, and hermetically sealed at the contact portion between the terminal fixing plate TEF and the packaging case PKG for assembly.

次に前述した各構成部品の構造について説明する。Next, the structure of each component described above will be described.

(フレキシブル配線基板 第4図) 第4図は基板FPCを示す図であり、同図Aはその平面
図、同図Bは4隅から突出している外部接続端子の接続
部を折り返し組み合わせて配置した平面図、同図Cは同
図Aの4C−4C拡大断面図、同図Dは同図Aの4D−
4D拡大断面図である。同図において、基板FPCは、
中央部に角形状の素子保護部1と、この4隅に巾の小さ
い折り曲げ部2(2a,2b,2c,2d)と、この先
端部に角形状の外部接続端子接続部(以下接続部と称す
る)3(3a,3b,3c,3d)とを有し、全体形状
がほぼ風車状をなして一体的に形成されており、また、
この素子保護部1の対向辺側には後述する2個のチップ
CHIを搭載しその端子部に接続させる2重枠構造の矩
形状開口部4(4a,4b)および位置決め用の3個の
穿孔5(5a,5b,5c)が設けられ、さらに1個の
接続部3cの先端には位置決め用の基板突出部6が設け
られている。
(Flexible Wiring Board FIG. 4) FIG. 4 is a view showing a board FPC, FIG. A is a plan view thereof, and FIG. 4B is a view in which the connecting portions of the external connection terminals protruding from the four corners are folded and combined. The plan view, FIG. C is an enlarged sectional view of 4C-4C in FIG. A, and FIG. D is 4D- in FIG.
It is a 4D enlarged sectional view. In the figure, the substrate FPC is
The element protection portion 1 having a square shape at the center, the bent portions 2 (2a, 2b, 2c, 2d) having a small width at the four corners, and the external connection terminal connection portion having a square shape (hereinafter referred to as a connection portion) at the tip portion thereof. 3) (3a, 3b, 3c, 3d), and the overall shape is substantially windmill-shaped and integrally formed.
Rectangular openings 4 (4a, 4b) having a double frame structure for mounting two chips CHI, which will be described later, on the opposite sides of the element protection part 1 and connecting to the terminals thereof, and three holes for positioning. 5 (5a, 5b, 5c) are provided, and a substrate projecting portion 6 for positioning is provided at the tip of one connecting portion 3c.

また、この基板FPCは、同図Cに示すように厚さ例え
ば約50μm程度のポリイミド樹脂フィルムからなるベ
ースフィルム7上にエポキシ系の接着剤8を介して銅薄
膜9を形成し、これを所要のパターン形状にエッチング
することにより、同図Aに示すような配線用リード9
a,円形状の外部端子9b,楕円状のコイルリード接続
用端子9c,記号9dおよびインデックスマーク9e等
のパターンが形成され、さらにこれらの上面には前記同
様な部材からなる接着剤8を介して透光ないし半透光性
のカバーフィルム10が接着配置されている。そして、
この基板FPCの開口部4においては、図示しないチッ
プCHI搭載側となるベースフィルム7が高い精度の寸
法で開口が形成され、また、その上面側カバーフィルム
10には比較的寸法の大きい開口が形成され、さらにベ
ースフィルム7とカバーフィルム10との間には配線用
リード9aが露出し、この配線用リード9aの表面には
錫メッキ層11が形成され、開口形状が2層構造でかつ
2重枠構造を有して形成されている。一方、接続部3に
おいては、同図Dに示すようにカバーフィルム10の前
記円形状外部端子9bおよび図示しない楕円状の外部端
子9cと対応する部位に円形状の開口12が形成され、
その開口12から露出した外部端子9b,9c銅薄膜パ
ターン上にはめっき或いはディップ等による半田層13
が形成されている。そして、これらの接続部3に設けら
れた各外部端子9b,9cは各接続部3a,3b,3
c,3dおよび折り曲げ部2a,2b,2c,2d並び
に素子保護部1上に連続して形成された各配線用リード
9aに接続され、これらの配線用リード9aは素子搭載
部1に設けられた各開口部4a,4bの開口端の一部に
各接続部3a,3b,3c,3dのブロック毎に集結し
てその先端部が各開口部4a,4b内に露出されてい
る。すなわち同図Aに示すように接続部3aの配線用リ
ード9aは開口部4aの左上部に、接続部3bの配線用
リード9aは開口部4bの左下部に、接続部3cの配線
用リード9aは開口部4aの右上部に、また接続部3d
の配設用リード9aは開口部4bの右下部にそれぞれ配
線されている。そして、この基板FPCは、後工程で各
接続部3a,3b,3c,3dが各折り曲げ部2a,2
b,2c,2dで折り曲げられて同図Bに示すように組
み合わされ、半田層13を形成した各外部端子9b,9
cが表面に露出し、また、配線用リード9a,記号9d
およびインデックスマーク9eは表面がカバーフィルム
10により被覆されているので、これらのパターンはカ
バーフィルム10を透かして容易に判読できるように構
成されている。
Further, in this substrate FPC, a copper thin film 9 is formed via an epoxy adhesive 8 on a base film 7 made of a polyimide resin film having a thickness of, for example, about 50 μm as shown in FIG. The wiring lead 9 as shown in FIG.
a, a circular external terminal 9b, an elliptical coil lead connecting terminal 9c, a symbol 9d, an index mark 9e, and other patterns are formed, and the upper surface of these is provided with an adhesive 8 made of the same material as described above. A translucent or semi-translucent cover film 10 is adhesively arranged. And
In the opening 4 of the substrate FPC, an opening is formed with high accuracy in the base film 7 on the chip CHI mounting side (not shown), and a relatively large opening is formed in the upper cover film 10. Further, the wiring lead 9a is exposed between the base film 7 and the cover film 10, the tin plating layer 11 is formed on the surface of the wiring lead 9a, and the opening shape has a two-layer structure and a double layer structure. It is formed to have a frame structure. On the other hand, in the connection portion 3, as shown in FIG. 3D, a circular opening 12 is formed in a portion of the cover film 10 corresponding to the circular external terminal 9b and the oval external terminal 9c (not shown).
On the copper thin film patterns of the external terminals 9b and 9c exposed from the opening 12, a solder layer 13 formed by plating or dipping.
Are formed. The external terminals 9b and 9c provided on these connecting portions 3 are connected to the connecting portions 3a, 3b and 3 respectively.
c, 3d and the bent portions 2a, 2b, 2c, 2d, and each wiring lead 9a continuously formed on the element protection portion 1, and these wiring leads 9a are provided in the element mounting portion 1. The connection portions 3a, 3b, 3c, 3d are assembled in blocks at a part of the opening ends of the openings 4a, 4b, and the tips thereof are exposed in the openings 4a, 4b. That is, as shown in FIG. 3A, the wiring lead 9a of the connecting portion 3a is located in the upper left portion of the opening 4a, the wiring lead 9a of the connecting portion 3b is located in the lower left portion of the opening 4b, and the wiring lead 9a of the connecting portion 3c. Is at the upper right of the opening 4a, and the connecting portion 3d
The arranging lead 9a is wired in the lower right part of the opening 4b. Further, in this substrate FPC, the connection portions 3a, 3b, 3c, 3d are bent at the bent portions 2a, 2 in a later step.
External terminals 9b, 9 which are bent at b, 2c, 2d and combined as shown in FIG.
c is exposed on the surface, and wiring leads 9a and symbol 9d
Since the surface of the index mark 9e and the index mark 9e are covered with the cover film 10, these patterns are configured to be easily readable through the cover film 10.

このような構成において、基板FPCはポリイミド樹脂
フィルムを用い、素子保護部1の4隅に各折り曲げ部2
a,2b,2c,2dを介して各接続部3a,3b,3
c,3dを設けた風車状に構成し、これらの各接続部3
a,3b,3c,3dを折り返し組み合わせて外部端子
部を構成したことにより、素子保護部1と接続部とが2
層配線構造となるので、接続部3の面積を小さくするこ
となく、素子保護部1の面積を大きくさせ、併せて外部
端子部の多端子化が可能となり、全体形状を小形化する
ことができる。
In such a structure, the substrate FPC is made of a polyimide resin film, and the bent portions 2 are provided at the four corners of the element protection portion 1.
Each connecting portion 3a, 3b, 3 via a, 2b, 2c, 2d
c and 3d are provided in the shape of a wind turbine, and each of these connecting portions 3
Since the external terminal portion is formed by folding back and combining a, 3b, 3c, and 3d, the element protection portion 1 and the connection portion are separated from each other.
Because of the layered wiring structure, the area of the element protection portion 1 can be increased without reducing the area of the connection portion 3, and at the same time, the external terminal portion can be multi-terminaled and the overall shape can be reduced. .

また、このような構成において、各外部端子9bから素
子保護部1の各開口部4a,4bまでの配線リード9a
を大幅に短縮できるので、外部雑音等による影響を大幅
に減らすことができる。すなわちS/N比の高い信号を
入出力させることができる。さらに接続部3cの一旦に
基板突出部6を設けるとともに、この突出部6にインデ
ックスマーク9eを設けたことにより、折り返し組み立
てた際の基板中央部の表示用,ケースRFSおよびSH
I(第2図参照)に組み込む際の位置合せ用,配線リー
ド9aの種類の区別用あるいは製品型式の表示用等の判
別に利用してその判別が容易となるので、組み立ておよ
び基板管理等を合理化することができる。また、基板F
PCの素子保護部1の両端側に穿孔5a,5b,5cを
設けたことにより、基板FPCの左右の区別,チップC
HIの位置決め等が容易となり、同様に組み立て性を合
理化することができる。
Further, in such a configuration, the wiring lead 9a from each external terminal 9b to each opening 4a, 4b of the element protection portion 1
Can be significantly shortened, so that the influence of external noise or the like can be greatly reduced. That is, a signal having a high S / N ratio can be input / output. Further, by providing the board protruding portion 6 once on the connecting portion 3c and providing the index mark 9e on the protruding portion 6, the display for the central portion of the board when folded and assembled, the cases RFS and SH.
I (see FIG. 2) can be used for identification when aligning the wiring lead 9a, for identifying the type of the wiring lead 9a, or for displaying the product type, and thus the determination can be easily performed. Can be streamlined. Also, the substrate F
By providing the perforations 5a, 5b, 5c on both ends of the element protection portion 1 of the PC, the left and right of the substrate FPC can be distinguished, and the chip C
Positioning of the HI becomes easy, and likewise, the assembling property can be rationalized.

(基板組立体 第5,6,7図) 第5図は前述した基板FPCにチップCHIを搭載した
平面図を示したものである。同図において、基板FPC
の素子搭載部1には2個のチップCHIが開口部4a,
4b間に並列配置して搭載され基板組立体BNDが構成
されており、このチップCHIの1個は、第6図は拡大
平面図で示すように1Mbチップの2ブロックが一体化
して構成され、2個のチップCHIでは4ブロック、合
計で4Mbチップを構成している。なお、第6図に示し
たチップCHIの1ブロックにおいて、太線は導体パタ
ーン,細線はシェブロンパターン転送路をそれぞれ示し
ている。また、第5図に示したチップCHIは、第7図
A,第7図Bにそれぞれ拡大断面図で示すようにチップ
CHIの端部に金メッキして設けられた各ボンディング
パッド14と、基板FPC開口部4の錫メッキ層11が
形成された配線用リード9aとの間に金バンプ15を介
在させて熱圧着法にによるAu−Sn共晶によりリード
ボンディングされて搭載されている。
(Substrate Assembly FIGS. 5, 6 and 7) FIG. 5 is a plan view showing the chip CHI mounted on the above-mentioned substrate FPC. In the figure, the substrate FPC
Two chip CHIs are provided in the element mounting portion 1 of the opening 4a,
Substrate assembly BND is formed by being mounted in parallel between 4b, and one of the chips CHI is formed by integrating two blocks of 1Mb chips as shown in the enlarged plan view of FIG. Two chips CHI make up four blocks, that is, a total of 4 Mb chips. In one block of the chip CHI shown in FIG. 6, thick lines indicate conductor patterns and thin lines indicate chevron pattern transfer paths. The chip CHI shown in FIG. 5 has bonding pads 14 formed by gold plating on the ends of the chip CHI and the substrate FPC as shown in the enlarged sectional views of FIGS. 7A and 7B. The gold bump 15 is interposed between the opening 4 and the wiring lead 9a on which the tin-plated layer 11 is formed, and is mounted by lead bonding by Au-Sn eutectic by a thermocompression bonding method.

このような構成によれば、基板FPCの開口部4a,4
bの配線用リード9aとチップCHIのボンディングパ
ッド14とがAu−Sn共晶によるリードボンディング
により接続されてチップCHIが支持固定できるので、
接続強度を大幅に向上できるとともに、薄形化が可能と
なる。また、チップCHIの表面が基板FPCの素子搭
載部1により被覆されるので、チップCHIの表面が保
護され、ハンドリング性を向上させることができるとと
もに、基板PFCの機械的強度を保持することができ
る。また、このような構成によれば、各チップCHIが
2ブロックからなり、2個のチップCHIは4ブロック
で構成されているので、各ブロックをそれぞれ最も近接
する各接続部3a,3b,3c,3dへ分配して配線で
き、チップCHI配置の対称性が得られ、試験,検査等
が極めて容易となる。さらに基板PFCに4個の接続部
3a,3b,3c,3dを設けているので、各チップC
HIの磁気バブル検出器DETおよびマップループ等の
配線を他の機能配線と区別して1個所の接続部に集結さ
せ、この接続部を雑音発生源から遠ざける部位に選定し
て配置することにより、雑音の極めて少ない入出力信号
を授受することができる。
According to such a configuration, the openings 4a, 4a of the substrate FPC are
Since the wiring lead 9a of b and the bonding pad 14 of the chip CHI are connected by lead bonding using Au-Sn eutectic, the chip CHI can be supported and fixed.
The connection strength can be greatly improved and the thickness can be reduced. Further, since the surface of the chip CHI is covered with the element mounting portion 1 of the substrate FPC, the surface of the chip CHI is protected, the handling property can be improved, and the mechanical strength of the substrate PFC can be maintained. . Further, according to such a configuration, each chip CHI is made up of two blocks and two chips CHI are made up of four blocks. Therefore, each block is closest to each of the connection portions 3a, 3b, 3c, Wiring can be distributed to 3d, the symmetry of the chip CHI arrangement can be obtained, and testing, inspection, etc. are extremely easy. Further, since the four connecting portions 3a, 3b, 3c, 3d are provided on the substrate PFC, each chip C
The wiring of the HI magnetic bubble detector DET and the map loop, etc. is distinguished from other functional wiring in one connection part, and this connection part is selected and arranged at a part away from the noise source to thereby reduce noise. It is possible to send and receive input / output signals with extremely small number.

(駆動磁気回路 第8,9図) 第8図は磁気回路PFCを示す図であり、同図Aは斜視
図、同図Bはその駆動磁気回路を示す平面図である。同
図において、磁気回路PFCは、軟磁性材料からなる額
縁形のコアCORの互いに平行な対向する辺上に、矢印
方向に巻線を施して4組のコイル20a,20b,20
c,20dからなるコイルCOIが巻設され、互いに対
向する辺上のコイル20aと20bとを接続点21bを
介して直列巻きさせてXコイル22aを、コイル20c
と20dとを接続点21aを介して直列巻きさせてYコ
イル22bをそれぞれ構成している。そして、Xコイル
22aおよびYコイル22bに位相の90度異なる電流
IxおよびIy(例えば三角波電流)を供給することに
より、同図Bに示すようにx軸方向に漏洩磁界Hxが、
Y軸方向には漏洩磁界Hyが発生し、前述した2個のチ
ップCHIに回転磁界として供給される。
(Driving Magnetic Circuit FIGS. 8 and 9) FIG. 8 is a diagram showing a magnetic circuit PFC, FIG. A is a perspective view, and FIG. 8B is a plan view showing the driving magnetic circuit. In the figure, the magnetic circuit PFC has four sets of coils 20a, 20b, 20 in which windings are applied in the arrow direction on mutually parallel opposing sides of a frame-shaped core COR made of a soft magnetic material.
A coil COI composed of c and 20d is wound, and coils 20a and 20b on opposite sides are wound in series via a connection point 21b to form an X coil 22a and a coil 20c.
And 20d are wound in series via the connection point 21a to form the Y coil 22b. Then, by supplying currents Ix and Iy (for example, triangular wave currents) whose phases are different by 90 degrees to the X coil 22a and the Y coil 22b, the leakage magnetic field Hx in the x-axis direction as shown in FIG.
A leakage magnetic field Hy is generated in the Y-axis direction and is supplied to the above-mentioned two chips CHI as a rotating magnetic field.

また、このように構成される磁気回路PFCは、第9図
に斜視図で示すように1本の軟磁性材料からなる直方体
状の磁気コア23に巻線を複数ブロック毎にタップ24
を設け、直列巻きして一対のコイル、例えばコイル20
a,20bからなる一対のXコイル22aを形成した
後、各コイル20aと20bとの間に一定の巾を有する
幅の広い溝25とさらに幅の小さい溝26とを切削加工
して設け、しかる後、この幅の小さい溝26部分から切
断して両者に分割された幅の広い溝25を互いに直交す
る方向に組み合わせて接着し、第8図に示すように額縁
形に構成する。また、逆に前述した幅の広い溝25およ
び幅の小さい溝26を予め形成した直方体コア23にコ
イル20a,20bのタップ24を介して巻設し、一対
のXコイル22aを形成してもよい。また、前述した一
対のYコイル22bについても全く同様に形成される。
Further, in the magnetic circuit PFC configured as described above, as shown in a perspective view in FIG. 9, windings are tapped in blocks of a plurality of blocks in a rectangular parallelepiped magnetic core 23 made of one soft magnetic material.
Are provided and wound in series to form a pair of coils, for example, the coil 20.
After forming a pair of X coils 22a composed of a and 20b, a wide groove 25 having a constant width and a narrower groove 26 are provided by cutting between the coils 20a and 20b. Thereafter, the groove 26 having a small width is cut, and the wide groove 25 divided into both is combined and bonded in a direction orthogonal to each other to form a frame shape as shown in FIG. Conversely, the wide groove 25 and the narrow groove 26 described above may be wound around the rectangular parallelepiped core 23 formed in advance through the taps 24 of the coils 20a and 20b to form a pair of X coils 22a. . Further, the pair of Y coils 22b described above are formed in exactly the same manner.

このような構成において、直方体状磁気コア23にコイ
ル20a,20bを直列方向にタップ24を設けて巻設
しているので、第8図に示すように組み立て構成した場
合、互いに交差させて結線(接続点)する必要がなくな
り、巻線の引き廻しを簡素化することができる。
In such a configuration, the coils 20a and 20b are wound around the rectangular parallelepiped magnetic core 23 by providing the taps 24 in the serial direction. Therefore, when the coils 20a and 20b are assembled as shown in FIG. It is not necessary to make a connection point) and the winding of the winding can be simplified.

このような構成によれば、Xコイル22aとYコイル2
2bとが対称構造となるので、粗カップリングとなり、
インダクタンスバランスが向上し、漏洩磁界に対する磁
性体間の磁気的干渉を防止することができる。また、こ
の磁気回路PFCはチップCHIの上,下面に配置され
ない額縁形構造となるので、積層方向の厚さが小さくな
り、薄形化が可能となる。
According to such a configuration, the X coil 22a and the Y coil 2
Since it has a symmetrical structure with 2b, it becomes a coarse coupling,
The inductance balance is improved, and magnetic interference between the magnetic bodies with respect to the leakage magnetic field can be prevented. Further, since this magnetic circuit PFC has a frame-shaped structure which is not arranged on the upper and lower surfaces of the chip CHI, the thickness in the stacking direction becomes small, and the thickness can be reduced.

(回転磁界閉込めケース 第10,11,12図) 第10図は内側ケースRFSbを示す図であり、同図A
は平面図、同図Bはその10B−10B断面図である。
同図において、内側ケースRFSbは、その中央部分が
凹状となる枠形状の絞り部30と、その対向端辺が上方
向にほぼ90度折り曲げられた折り曲げ部31と、その
各4隅が斜め方向に切断された切り欠き部32とをそれ
ぞれ有して構成されており、このケースRFSbは良導
電性材料、例えば無酸素銅板をプレス加工して形成され
ている。この場合、絞り部30および折り曲げ部31は
この内側ケースRFSbのねじれ方向の機械的強度を向
上させるとともに、互いに対向する折り曲げ部31相互
間の縦横方向の外径寸法Lを適宜制限することができ
る。また、絞り部30は、このケースRFSbの外面側
に配設される磁石体BIMbと、内面側に配置されるチ
ップCHIとの間の距離を適宜調整することができる。
なお、4隅に設けた切り欠き部32は、このケースRF
Sb内に配設される基板FPCの各折り曲げ部2a,2
b,2c,2dの引出し部分を形成している。
(Rotating magnetic field confinement case, FIGS. 10, 11 and 12) FIG. 10 is a view showing the inner case RFSb.
Is a plan view and FIG. 9B is a sectional view taken along line 10B-10B.
In the figure, the inner case RFSb includes a frame-shaped narrowed portion 30 having a concave central portion, a bent portion 31 having its opposite end sides bent upward by approximately 90 degrees, and four corners thereof in an oblique direction. The case RFSb is formed by pressing a highly conductive material such as an oxygen-free copper plate. In this case, the narrowed portion 30 and the bent portion 31 improve the mechanical strength in the twisting direction of the inner case RFSb, and can appropriately limit the outer diameter dimension L in the vertical and horizontal directions between the bent portions 31 facing each other. . Further, the diaphragm portion 30 can appropriately adjust the distance between the magnet body BIMb arranged on the outer surface side of the case RFSb and the chip CHI arranged on the inner surface side.
The cutouts 32 provided at the four corners are the case RF.
Each of the bent portions 2a, 2 of the substrate FPC arranged in Sb
B, 2c, 2d lead-out portions are formed.

このような構成によれば、内側ケースRFSbは、プレ
ス加工法により形成できるので、高精度寸法でかつ低コ
ストで製作することができる。
According to such a configuration, the inner case RFSb can be formed by a press working method, so that the inner case RFSb can be manufactured with high precision and at low cost.

なお、内側ケースRFSbは、無酸素銅を用いたが、こ
の他に銅,銀,金板あるいはこれらの合金板にメッキを
施した板材を用いても良い。
Although oxygen-free copper is used for the inner case RFSb, a plate material obtained by plating a copper, silver, gold plate or an alloy plate of these may be used instead.

第11図は前述した内側ケースRFSbに対応する外側
ケースRFSaを示す図であり、同図Aは平面図、同図
Bはその11B−11B断面図である。同図において、
この外側ケースRFSaは、前述した内側ケースRFS
bと同等の材料および製作法により形成され、その構造
は前述とほぼ同様にその中央部が凹状となる枠形状の絞
り部33と、その対向端辺が上方向にほぼ90度に折り
曲げられた折り曲げ部34と、その各4隅が斜め方向に
切断された切り欠き部35とを有して構成されている。
この場合、互いに対向する折り曲げ部34は、その相互
間の内側寸法が、前述した内側ケースRFSbの折り曲
げ部31相互間の外側寸法L1,L2とほぼ同等値を有
しかつ高さH1を大きくして形成されている。なお、こ
の絞り部33および切り欠き部35は前述した内側ケー
スRFSbとほぼ同等の寸法を有して形成されている。
FIG. 11 is a view showing an outer case RFSa corresponding to the above-mentioned inner case RFSb. FIG. 11A is a plan view and FIG. 11B is a sectional view taken along line 11B-11B. In the figure,
The outer case RFSa is the inner case RFS described above.
It is formed by the same material and manufacturing method as b, and its structure is the frame-shaped narrowed portion 33 whose central portion is concave and the opposite end sides thereof are bent upward by approximately 90 degrees in the same manner as described above. The bent portion 34 and the four corners of the bent portion 34 are provided with notches 35 cut obliquely.
In this case, the bent portions 34 facing each other have inner dimensions that are substantially equal to the outer dimensions L1 and L2 between the bent portions 31 of the inner case RFSb described above, and the height H1 is increased. Is formed. The narrowed portion 33 and the cutout portion 35 are formed to have substantially the same dimensions as the inner case RFSb described above.

このように構成された外側ケースRFSaおよび内側ケ
ースRFSbは、第12図Aにその平面図,第12図B
に12B−12B断面図でそれぞれ示すように外側ケー
スRFSa内に内側ケースRFSbを挿入し、外側ケー
スRFSaの折り曲げ部31の外面とを互いに接触させ
て接続することにより、一体化させケースRFSが組み
立てられる。
The outer case RFSa and the inner case RFSb thus configured are shown in FIG. 12A in a plan view and FIG. 12B.
12B-12B, the inner case RFSb is inserted into the outer case RFSa, and the outer surface of the bent portion 31 of the outer case RFSa is brought into contact with each other to be connected to each other, whereby the case RFS is assembled. To be

(ケース組立体 第13図) 第13図は前述したケースRFS内に基板組立体BND
を収納配置した断面図を示したものである。同図におい
て、外側ケースRFSaの底面には、電気的絶縁性シー
トとして、例えば厚さ約0.1mm程度のポリイミドフィ
ルム36が接着配置され、このフィルム36上には基板
組立体BNDが、また、その周縁部には磁気回路FPC
がそれぞれ配置され、さらに基板組体体BNDの上面に
エポキシ系の接着剤37を塗布した後、これらの上方部
には内側ケースRFSbが挿入されて接合配置されてい
る。この場合、この外側ケースRFSaの折り曲げ部3
4の内面と内側ケースRFSbの折り曲げ部31の外面
とが×印で示す部分でメタルフローあるいは半田付等に
より電気的,機械的に接合されている。また、この外側
ケースRFSaと内側ケースRFSbとの間の隙間部分
にはシリコーン図示SIRが充填され基板組立体BND
および磁気回路PFCが固定配置されている。なお、こ
の場合、これらの外側ケースRFSaおよび内側ケース
RFSbの4隅に設けられた図示しない各切り欠き部3
2,35には基板FPCの折り曲げ部2(2a,2b,
2c,2d)が外部へ引出されている。38はコイルC
OI同志の接続またはコイルCOIと基板FPC上に設
けられた外部端子9cを接続するためのリード線であ
る。
(Case assembly FIG. 13) FIG. 13 shows the board assembly BND in the case RFS described above.
FIG. 6 is a cross-sectional view in which the components are stored and arranged. In the figure, on the bottom surface of the outer case RFSa, a polyimide film 36 having a thickness of, for example, about 0.1 mm is adhesively arranged as an electrically insulating sheet, and the board assembly BND, and A magnetic circuit FPC is provided around the periphery.
Are further arranged, and after the epoxy adhesive 37 is applied to the upper surface of the board assembly BND, the inner case RFSb is inserted and joined to the upper portion of these. In this case, the bent portion 3 of the outer case RFSa
The inner surface of 4 and the outer surface of the bent portion 31 of the inner case RFSb are electrically and mechanically joined to each other by a metal flow or soldering at a portion indicated by X. In addition, the gap between the outer case RFSa and the inner case RFSb is filled with silicone illustrated SIR, and the board assembly BND is formed.
And the magnetic circuit PFC is fixedly arranged. In this case, the notch portions 3 (not shown) provided at the four corners of the outer case RFSa and the inner case RFSb.
2, 35 are bent portions 2 (2a, 2b,
2c, 2d) are pulled out to the outside. 38 is a coil C
It is a lead wire for connecting the OIs or for connecting the coil COI and the external terminal 9c provided on the substrate FPC.

このような構成において、磁気回路FPCの駆動により
漏洩磁界が発生すると、ケースRFSには閉ループを形
成するように誘起電流が流れ、この誘起電流によって回
転磁界がケースRFS内に封じ込められ、したがってチ
ップCHIには均一な回転磁界を付与される。
In such a configuration, when a leakage magnetic field is generated by driving the magnetic circuit FPC, an induced current flows in the case RFS so as to form a closed loop, and the rotating magnetic field is confined in the case RFS by the induced current. Is given a uniform rotating magnetic field.

このような構成によれば、外側ケースRFSaおよび内
側ケースRFSbとの間に中央部分の凹状部内に基板F
PCに搭載されたチップCHIを、周縁部分の凸状部内
に磁気回路PFCをそれぞれ挟持させて配置したのでパ
ッケージング効果が向上できるとともに、組立性が大幅
に向上できる。また、外側ケースRFSaおよび内側ケ
ースRFSbで覆われる体積が減少することにより、V
I積(∝体積)が低減でき、回転磁界を発生させる磁気
回路PFCの小形化が可能となる。さらに外側ケースR
FSaおよび内側ケースRFSbに絞り部30,33で
形成される凹状部を設け対向する凹状部間のギャップを
減少させることにより、回転磁界はチップCHIの平面
に垂直な成分(Z成分)が零に近接して水平な成分のみ
となり、一様性を向上させることができる。
With such a configuration, the substrate F is provided in the central concave portion between the outer case RFSa and the inner case RFSb.
Since the chip CHI mounted on the PC is arranged with the magnetic circuit PFC sandwiched between the convex portions of the peripheral portion, the packaging effect can be improved and the assemblability can be greatly improved. Further, since the volume covered by the outer case RFSa and the inner case RFSb is reduced, V
The I product (∝ volume) can be reduced, and the magnetic circuit PFC that generates the rotating magnetic field can be downsized. Outer case R
By providing concave portions formed by the narrowed portions 30 and 33 on the FSa and the inner case RFSb to reduce the gap between the concave portions facing each other, the component (Z component) perpendicular to the plane of the chip CHI in the rotating magnetic field becomes zero. Only the horizontal components are close to each other, and the uniformity can be improved.

(磁石体 第14図) 第14図は磁石体BIMを示す図であり、同図Aは平面
図、同図Bはその側面図、同図Cはその正面図である。
同図において、磁石体BIMは、対向面の一方が所定の
傾斜面を有する非磁性材、例えば銅からなる傾斜板IN
Nと、この傾斜板INNの傾斜面側に配置する板厚の均
一な第1の整磁板HOMと、この第1の整磁板HOM
の上面側に配置する板厚の均一な磁石板MAGと、こ
の磁石板MAGの上面側に傾斜面を有する第2の整磁板
HOMとを順次積層し、エポキシ系の接着剤により一
体化されて形成され、全体の積層板厚がほぼ全面にわた
って均一となるように構成されている。そして、この磁
石体BIMの上,下面からはほぼ全面にわたって均一な
バイアス磁界発生用の磁界が放出される。
(Magnet Body FIG. 14) FIG. 14 is a diagram showing a magnet body BIM, FIG. A is a plan view, FIG. B is a side view thereof, and FIG. C is a front view thereof.
In the figure, the magnet body BIM has a slant plate IN made of a non-magnetic material, for example, copper, one of the facing surfaces of which has a predetermined slant surface.
N, a first magnetic compensating plate HOM 1 having a uniform thickness arranged on the inclined surface side of the inclined plate INN, and the first magnetic compensating plate HOM
1. A magnet plate MAG having a uniform plate thickness disposed on the upper surface side of No. 1 and a second magnetic shunt plate HOM 2 having an inclined surface on the upper surface side of the magnet plate MAG are sequentially laminated and integrated by an epoxy adhesive. The laminated plate is formed into a uniform shape so that the thickness of the entire laminated plate is uniform over almost the entire surface. Then, a uniform magnetic field for generating a bias magnetic field is emitted from the upper and lower surfaces of the magnet body BIM over substantially the entire surface.

(バイアスコイル 第15図) 第15図はバイアスコイルBICを示す図であり、同図
Aは斜視図、同図Bはその15B−15B断面図であ
る。同図において、バイアスコイルBICは、表面に絶
縁部材として例えば熱硬化性樹脂が外面に被覆された巻
線40を、断面が5×4線の配列とし全体形状が額縁状
となるように整列巻きした後、熱溶着で圧着し、冷却さ
せて所定値の額縁形状に成形して構成されている。この
場合、各巻線40の外面に被覆されている熱硬化樹脂が
互いに熱溶着するとともに、圧着により各巻線40が目
詰りして成形され、冷却させることにより、各巻線40
が結束した状態で硬化されるので、所定形状の額縁形状
に形成される。
(Bias Coil FIG. 15) FIG. 15 is a diagram showing a bias coil BIC, FIG. A is a perspective view, and FIG. 15B is a sectional view taken along line 15B-15B. In the figure, the bias coil BIC has a winding 40 whose surface is covered with, for example, a thermosetting resin as an insulating member, and is arranged in an array with a cross section of 5 × 4 wires in a frame shape. After that, it is pressure-bonded by heat welding, cooled, and formed into a frame shape having a predetermined value. In this case, the thermosetting resins coated on the outer surface of each winding wire 40 are heat-welded to each other, and each winding wire 40 is clogged and formed by crimping, and is cooled.
Is cured in a bound state, so that it is formed into a frame shape having a predetermined shape.

(ケース組立体への磁石体及びバイアスコイルの実装
第16図) 第16図は前記第13図で説明したケースRFS組立体
に前述した磁石体BIMおよびバイアスコイルBICを
組み込んだ断面図を示したものである。同図において、
内部に基板組立体BNDおよび磁気回路PFCを収納し
たケースRFS組立体の上,下面にはそれぞれ上部磁石
体BIMa下部磁石体BIMbが接着配置され、さらに
この上部磁石体BIMaの周縁部と、内側ケースRFS
bの折り曲げ部31とで囲まれて形成される額縁状溝部
にはバイアスコイルBICが収納配置されている。この
場合、上部磁石体BIMaと下部磁石体BIMbとは全
く同一の材料,寸法で構成されており、これらの磁石体
BIMa,BIMbはその傾斜板INN側が、内側ケー
スRFSbの絞り部30で囲われた凹状部および外側ケ
ースRFSaの絞り部33で囲われた凹状部内にそれぞ
れ密着されて配置される。
(Mounting magnet and bias coil to case assembly
FIG. 16) FIG. 16 is a sectional view showing the case RFS assembly described in FIG. 13 and the magnet body BIM and bias coil BIC described above incorporated therein. In the figure,
An upper magnet body BIMa lower magnet body BIMb is adhesively arranged on the upper and lower surfaces of a case RFS assembly that accommodates a board assembly BND and a magnetic circuit PFC inside, and a peripheral portion of the upper magnet body BIMa and an inner case. RFS
The bias coil BIC is housed in the frame-shaped groove formed by being surrounded by the bent portion 31 of b. In this case, the upper magnet body BIMa and the lower magnet body BIMb are made of exactly the same material and size, and these magnet bodies BIMa and BIMb are surrounded by the narrowed portion 30 of the inner case RFSb on the inclined plate INN side. The concave portion and the concave portion surrounded by the narrowed portion 33 of the outer case RFSa are arranged in close contact with each other.

このような構成において、ケースRFS組立体の中央部
両面側に形成された凹状部内に一対の磁石体BIMa,
BIMbが配置され、さらにその周縁部に形成される額
縁状溝部内にバイアスコイルBICが配設できるので、
各構成部品の積層方向の全体の厚さが小さくなり、小
形,薄形化が可能となる。また、外側ケースRFSaと
下部磁石体BIMbの外縁部分とで額縁状の空間溝が形
成されるので、この部分に前記バイアスコイルBICを
配置しても良く、また新たにバイアスコイルを設けても
良く、さらにはコイルボビンとして巻線を施してバイア
スコイルを形成することもできる。
In such a configuration, a pair of magnet bodies BIMa, is formed in the concave portion formed on both sides of the central portion of the case RFS assembly.
The BIMb is arranged, and the bias coil BIC can be arranged in the frame-shaped groove formed in the peripheral portion of the BIMb.
The overall thickness of each component in the stacking direction is reduced, which enables downsizing and thinning. Further, since the frame-shaped space groove is formed between the outer case RFSa and the outer edge portion of the lower magnet body BIMb, the bias coil BIC may be arranged in this portion, or a new bias coil may be provided. Further, it is also possible to form a bias coil by winding a coil bobbin.

(磁気シールドケース 第17,18,19図) 第17図は外側シールドケースSHIaを示す図であ
り、同図Aは平面図、同図Bはその17B−17B断面
図である。同図において、外側シールドケースSHIa
は、平坦部51と、この平坦部51の対向端辺に上方向
にほぼ90度に折り返した折り曲げ部52と、この折り
曲げ部52の中央部に一部が切り欠かれた凹部53と、
その各4隅が斜め方向に切断された切り欠き部54とを
有して構成されており、このシールドケースSHIaは
高透磁率および高飽和磁束密度を有し望ましくは熱伝導
率の大きい材料、例えばパーマロイ板をプレス加工して
形成されている。
(Magnetic Shield Cases 17, 18, and 19) FIG. 17 is a view showing the outer shield case SHIa, FIG. A is a plan view, and FIG. 17B is a sectional view taken along line 17B-17B. In the figure, the outer shield case SHIa
Is a flat portion 51, a bent portion 52 that is folded upward at an angle of approximately 90 degrees to the opposite end side of the flat portion 51, and a recessed portion 53 that is partially cut away in the central portion of the bent portion 52.
Each of the four corners is configured to have a notch 54 that is cut in an oblique direction, and this shield case SHIa has a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density, and preferably has a high thermal conductivity. For example, it is formed by pressing a permalloy plate.

第18図は前述した外側シールドケースSHIaに対応
する内側シールドケースSHIbを示す図であり、同図
Aは平面図、同図Bはその18B−18B断面図であ
る。同図において、この内側シールドケースSHIb
は、前述した外側シールドケースSHIaと同等の材料
および製作法により形成され、その構造は前述とほぼ同
様に平坦部55と、この平坦部55の対向端辺に上方向
にほぼ90度に折り返した折り曲げ部56と、この折り
曲げ部56の中央部に一部が切り欠かれた凹部57と、
その各4隅が斜め方向に切断された切り欠き部58とを
有して構成されている。この場合、互いに対向する折り
曲げ部56はその相互間の外側寸法が、前述した外側シ
ールドケースSHIaの折り曲げ部52相互間の内側寸
法L3,L4とほぼ同等値を有しかつ高さH2を小さく
して形成されている。
FIG. 18 is a view showing an inner shield case SHIb corresponding to the outer shield case SHIa described above. FIG. 18A is a plan view and FIG. 18B is a sectional view taken along line 18B-18B. In the figure, this inner shield case SHIb
Is formed by the same material and manufacturing method as the above-mentioned outer shield case SHIa, and the structure thereof is substantially the same as that described above, and the flat portion 55 and the opposite end sides of the flat portion 55 are folded back upward by approximately 90 degrees. A bent portion 56, and a recessed portion 57 that is partially cut away in the center of the bent portion 56,
Each of the four corners has a notch portion 58 cut obliquely. In this case, the bent portions 56 facing each other have an outer dimension between them that is substantially equal to the inner dimension L3, L4 between the bent portions 52 of the outer shield case SHIa described above, and the height H2 is reduced. Is formed.

このように構成された外側シールドケースSHIaおよ
び内側シールドケースSHIbは第19図Aにその平面
図,第19図Bにその19B−19B断面図でそれぞれ
示すように外側シールドケースSHIa内に内側シール
ドケースSHIbを挿入し、外側シールドケースSHI
aの凹部53と内側シールドケースSHIbの凹部57
とで形成される凹部59にスポット溶接あるいは半田溶
接を施し、磁気的、機械的に固定することにより一体化
させ外側シールドケースSHIaが組み立てられる。
The outer shield case SHIa and the inner shield case SHIb thus constructed are shown in FIG. 19A, a plan view thereof, and FIG. 19B, a sectional view taken along line 19B-19B thereof, respectively. Insert SHIb, outer shield case SHI
The recess 53 of a and the recess 57 of the inner shield case SHIb
The outer shield case SHIa is assembled by spot-welding or solder-welding the recessed portions 59 formed by and magnetically and mechanically fixing them to integrate them.

このような構成において、外側シールドケースSHIa
の折り曲げ部52および内側シールドケースSHIbの
折り曲げ部56を横方向、つまり積層方向と交差する方
向に設定することなく、積層方向に揃えて設定すること
により、横方向の寸法を小さくさせ、小形でかつ構成部
分の高集積化が可能となる。
In such a configuration, the outer shield case SHIa
The folded portion 52 and the folded portion 56 of the inner shield case SHIb are set in the laminating direction without being set in the lateral direction, that is, the direction intersecting the laminating direction, thereby reducing the dimension in the lateral direction and reducing the size. In addition, high integration of constituent parts is possible.

(磁気シールドケース組立体 第20図) 第20図は前述したシールドケースSHI組立体内に、
前記第16図で説明した内部に基板組立体BND,磁気
回路FPCを組み込んだケースRFS組立体と、一対の
磁石板BIMa,BIMb、バイアスコイルBICとか
らなる組立体を組み込んだ断面図を示したものである。
同図において、外側シールドケースSHIaの内部に
は、その底面側から中央部に上部磁石体BIMa,周縁
部にバイアスコイルBIC,ケースRFS組立体(内部
に基板組立体BND,磁気回路PFC等が組み込まれて
いる),下部磁石体BIMbを順次積層配置させた後、
内側シールドケースSHIbを挿入し、前述した外側シ
ールドケースSHIaの凹部53と内側シールドケース
SHIbの凹部57とで形成される凹部59(第19図
参照)で溶接固定して封止される。この場合、このシー
ルドケースSHI内にグリース等を充填させておくこと
により、内部の構成部分が実質的に相互に密着すること
になり、ケースRFSから発生が熱がこのシールドケー
スSHIを介して外部に放出することができる。また、
ケースRFSとシールドケースSHIを圧入方式により
側面で接触させる構造にして放熱効果を向上させること
ができる。
(Magnetic shield case assembly FIG. 20) FIG. 20 shows the above-mentioned shield case SHI assembly.
FIG. 16 is a sectional view showing a case RFS assembly in which the substrate assembly BND and the magnetic circuit FPC are incorporated, and an assembly including a pair of magnet plates BIMa and BIMb and a bias coil BIC, which are incorporated in the interior described with reference to FIG. It is a thing.
In the figure, inside the outer shield case SHIa, from the bottom side to the upper magnet body BIMa in the central part, the bias coil BIC in the peripheral part, the case RFS assembly (the board assembly BND, the magnetic circuit PFC, etc. are incorporated inside). The lower magnet body BIMb is sequentially laminated and arranged,
The inner shield case SHIb is inserted and welded and fixed by a recess 59 (see FIG. 19) formed by the recess 53 of the outer shield case SHIa and the recess 57 of the inner shield case SHIb described above. In this case, by filling the inside of this shield case SHI with grease or the like, the internal components substantially come into close contact with each other, and the heat generated from the case RFS is transferred to the outside via this shield case SHI. Can be released to. Also,
A structure in which the case RFS and the shield case SHI are brought into contact with each other on the side surface by a press-fitting method can improve the heat dissipation effect.

このような構成において、外側シールドケースSHIa
の底面側にケースRFS組立体を、その折り曲げ部3
1,34が対向するように積層配置させることによって
外部シールドケースSHIaと内部シールドケースSH
Ibとの間に積層される各構成部分が密着配置できるの
で、小形化,薄形化が可能となるとともに放熱効果も同
時に得られる。
In such a configuration, the outer shield case SHIa
The case RFS assembly on the bottom side of the
The outer shield case SHIa and the inner shield case SH are arranged by stacking the first and the second stacks so that they face each other.
Since each of the constituent parts laminated with Ib can be arranged in close contact with each other, it is possible to reduce the size and the thickness and simultaneously obtain the heat dissipation effect.

(パッケージングケース 第21図) 第21図はパッケージングケースPKGを示す図であ
り、同図Aは平面図、同図Bはその21B−21B断面
図である。同図において、パッケージングケースPKG
は、熱伝導の良好な材料、例えば板厚約0.5mmのアル
ミニウム板を絞り加工を施して形成され、図示されない
が、その外面には黒色被膜が設けられている。このパッ
ケージングケースPKGは、前記外側シールドケースS
HIaの形状を改良して兼用させて使用することができ
る。
(Packaging Case FIG. 21) FIG. 21 is a view showing a packaging case PKG, in which FIG. A is a plan view and FIG. B is a sectional view taken along the line 21B-21B. In the figure, the packaging case PKG
Is formed by drawing an aluminum plate having a good thermal conductivity, for example, an aluminum plate having a plate thickness of about 0.5 mm, and a black coating film is provided on the outer surface thereof, which is not shown. This packaging case PKG is the outer shield case S
The shape of HIa can be improved and used in combination.

このような構成において、このパッケージングケースP
KGは、磁気バブルメモリデバイス完成後の外側ケース
となるとともに放熱体としての機能を有し、さらにその
内側角部は後述するポッティング法による樹脂モールド
時の型としての機能も同時に有している。
In such a configuration, this packaging case P
The KG serves as an outer case after completion of the magnetic bubble memory device and has a function as a heat radiator, and further, an inner corner portion thereof also has a function as a mold at the time of resin molding by a potting method described later.

(端子固定板及びコンタクトパッド 第22,23図) 第22図は端子固定板TEFを示す図であり、同図Aは
平面図、同図Bはその22B−22B断面図、同図Cは
その背面図である。同図において、端子固定板TEF
は、電気的絶縁性を有する材料、例えばガラスエポキシ
系の樹脂板60からなり、その外形状は前記パッケージ
ングケースPKGの開口部に対して挿入出自在となる縦
横方向の寸法を有して形成されており、またこの樹脂板
60の周辺部を除く部位には多数個の貫通孔61が縦横
方向に所定の間隔をもってマトリックス状の配列で穿設
され、さらにこれらの貫通孔群の角部には回転対称とは
ならない断面が凹状となる非貫通孔62が設けられ、こ
の非貫通孔62内には例えば方向性あるいは特長を位置
付ける白色の塗膜などによるマーク63が付着されてい
る。また、この樹脂板60に穿設された多数個の貫通孔
61には、同図Bに示すようにその背面側に口径の大き
い開口64が同軸的に連通して設けられており、これら
の開口64の全ては板厚の約60%の深さを有しかつ貫
通孔61とは途中に段差を有して連通されている。ま
た、この樹脂板60の背面側には同図Cに示すようにそ
の周辺部分に沿って前記開口6の深さとほぼ同等の深さ
を有しかつ平面方向の幅が異なりその断面が凹形状とな
る溝65が形成され、この溝65内は前述したコイルC
OIの巻線,バイアスコイルBICの巻線の通路部およ
び接続部を構成している。また、この樹脂板60の角部
66は凹形状とはならず、所定の板厚寸法を有し、前述
したパッケージングケースPKGの内側面に体して接触
面を得ている。このように樹脂板60の背面側は板厚の
異なる2段構造を有して形成されている。
(Terminal Fixing Plate and Contact Pads FIGS. 22 and 23) FIG. 22 is a view showing the terminal fixing plate TEF, in which FIG. A is a plan view, FIG. B is a sectional view taken along line 22B-22B, and FIG. It is a rear view. In the figure, the terminal fixing plate TEF
Is made of an electrically insulating material, for example, a glass epoxy resin plate 60, and its outer shape is formed to have vertical and horizontal dimensions that can be inserted into and removed from the opening of the packaging case PKG. In addition, a large number of through holes 61 are formed in a matrix-like arrangement at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions in a portion excluding the peripheral portion of the resin plate 60, and further at the corners of these through hole groups. Is provided with a non-through hole 62 having a concave cross section that is not rotationally symmetrical, and a mark 63 made of a white coating film or the like for positioning the directionality or the feature is attached to the non-through hole 62. Further, as shown in FIG. 3B, the large number of through holes 61 formed in the resin plate 60 are provided with openings 64 having a large diameter on the back side thereof so as to coaxially communicate with each other. All of the openings 64 have a depth of about 60% of the plate thickness and communicate with the through holes 61 with a step in the middle. Further, on the back side of the resin plate 60, as shown in FIG. 7C, the resin plate 60 has a depth substantially equal to the depth of the opening 6 along its peripheral portion, and the width in the plane direction is different, and its cross section is concave. A groove 65 is formed to become the coil C described above.
It constitutes a passage and a connection for the winding of the OI and the winding of the bias coil BIC. Further, the corner portion 66 of the resin plate 60 does not have a concave shape, has a predetermined plate thickness dimension, and is fitted to the inner side surface of the packaging case PKG to obtain a contact surface. In this way, the back surface side of the resin plate 60 is formed to have a two-step structure with different plate thicknesses.

第23図はコンタクトパッドCNPを示す図であり、同
図Aは平面図、同図Bはその23B−23B断面図であ
る。同図において、コンタクトパッドCNPは、良導電
性材料、例えば板厚約0.5mm程度の銅板をプレス加工
により打ち抜いた素片70の表面にニッケルメッキ層7
1,金メッキ層72を形成して構成される。
FIG. 23 is a view showing the contact pad CNP, FIG. 23A is a plan view, and FIG. 23B is a sectional view taken along line 23B-23B. In the figure, the contact pad CNP is a nickel-plated layer 7 formed on the surface of an element 70 obtained by punching out a highly conductive material, for example, a copper plate having a thickness of about 0.5 mm by press working.
1, a gold plating layer 72 is formed.

(最終組立 第20,4,2図) このように構成された各構成部品は、まず最初に前述し
たパッケージングケースPKG内に、第20図で説明し
たシールドケース組立体を挿入する。この状態ではこの
パッケージングケースPKGの4隅から前記基板組立体
BNDの各接続部3a,3b,3c,3d(第4図A参
照)が各折り曲げ部2a,2b,2c,2dから約90
度で折れ曲がって突出する。次に、このパッケージング
ケースPKGの4隅のポッティング法により樹脂モール
ドを行なってこのパッケージングケースPKG内に各個
性部品を固定配置させる。引き続きこれらの各接続部3
a,3b,3c,3dを対応する各折り曲げ部2a,2
b,2c,2dでさらに約90度で折り曲げて内側シー
ルドケースSHIbの外面に接着剤を介して前記第4図
Bに示すように組み合わせた後、前記端子固定板TEF
背面側の各開口64内にコンタクトパッドCNPを搭載
し、あるいは更にコンタクトパッドCNPの側面を接着
剤により固着してパッケージングケースPKGに挿入
し、各接続部3a,3b,3c,3dに接触配置させ
る。この場合、各接続部3a,3b,3c,3dに設け
られている各外部端子9bの配列ピッチと各コンタクト
パッドCNPの配列ピッチとが一致しているので、各外
部端子9bとコンタクトパッドCNPとは電気的に接触
する。次に配置した端子固定板TEFの裏側から各貫通
孔61に例えば先端部の細い加熱体を挿入し、コンタク
トパッドCNPを熱圧着する事により、各外部端子9b
と対応する各コンタクトパッドCNPが電気的に接続さ
れるとともに端子固定板TEFも同時に機械的に固定さ
れて第2図に示した磁気バブルメモリデバイスが完成さ
れる。
(Final Assembly FIGS. 20, 4, and 2) For each of the components thus configured, first, the shield case assembly described in FIG. 20 is inserted into the packaging case PKG described above. In this state, the connecting portions 3a, 3b, 3c, 3d (see FIG. 4A) of the board assembly BND are connected to the bending portions 2a, 2b, 2c, 2d from the four corners of the packaging case PKG by about 90 degrees.
Bends and protrudes. Next, resin molding is performed by the potting method at the four corners of the packaging case PKG, and the individual parts are fixedly arranged in the packaging case PKG. Continue to each of these connections 3
a, 3b, 3c, 3d corresponding bending portions 2a, 2
B, 2c and 2d are further bent at about 90 degrees and combined with the outer surface of the inner shield case SHIb via an adhesive as shown in FIG. 4B, and then the terminal fixing plate TEF
A contact pad CNP is mounted in each opening 64 on the back side, or the side surface of the contact pad CNP is further fixed by an adhesive and inserted into the packaging case PKG, and arranged in contact with each connection portion 3a, 3b, 3c, 3d. Let In this case, since the arrangement pitch of the external terminals 9b provided in the connection portions 3a, 3b, 3c, 3d and the arrangement pitch of the contact pads CNP are the same, the external terminals 9b and the contact pads CNP are the same. Make electrical contact. Next, from the back side of the terminal fixing plate TEF arranged, for example, by inserting a heating body having a thin tip into each through hole 61 and thermocompression-bonding the contact pad CNP, each external terminal 9b.
The corresponding contact pads CNP are electrically connected and the terminal fixing plate TEF is mechanically fixed at the same time to complete the magnetic bubble memory device shown in FIG.

(磁気バブルメモリ素子 第24,25,26,27,28図) 第24図は前述した磁気バブルメモリチップCHIのボ
ンディングパッドPAD近辺の断面図を示すものであ
る。同図において、GGGは gadolinium−gallium−ga
rnet基板であり、LPEは液相エピタキシャル成長法に
よって形成されたバブル磁性膜であり、その組成の一例
は次頁表1に示した通りである。
(Magnetic Bubble Memory Element FIGS. 24, 25, 26, 27, 28) FIG. 24 is a sectional view of the magnetic bubble memory chip CHI in the vicinity of the bonding pad PAD. In the figure, GGG is gadolinium-gallium-ga.
It is a rnet substrate, LPE is a bubble magnetic film formed by a liquid phase epitaxial growth method, and an example of its composition is as shown in Table 1 on the next page.

IONはハードバブル抑制のためにLPE膜表面に形成
されたイオン打込層を示している。SP1は第1のスペ
ーサであり、例えば3000Åの厚さのSiOが気相
化学反応により形成される。CON1及びCON2は2
層の導体層を示しており、後述するバブル発生,複写
(分割)及び交換を制御する機能を持っており、下の第
1の導体層CON1がMo,上の第2の導体層CON2
がAu等の材料でそれぞれ形成されている。SP2及び
SP3は導体層CONとその上に形成されるパーマロイ
等の転送パターン層Pとを電気的に絶縁するポリイミド
樹脂等から成る層間絶縁膜(第2,第3のスペーサ)で
ある。PASは気相化学反応法により形成されたSiO
膜等からなるパッシベーション膜である。PADはチ
ップCHIのボンディングパッドを示しており、Al線
等の細いコネクタワイヤがここに熱圧着法や超音波法に
よりボンディングされる。このボンディングパッドPA
Dは下の第1層PADがCr,中央の第2層PAD
がAu層,上の第3層PADがAuメッキ層等の材料
でそれぞれ形成されており、第2層PADおよび第3
層PADをCr,Cu等の材料で形成しても良い。P
はバブルの転送路やバブルの分割,発生,交換及び検出
部更にはガードレール部に用いられる層を示しており、
以後の説明では便宜上転送パターン層と表現する。
ION indicates an ion implantation layer formed on the surface of the LPE film for suppressing hard bubbles. SP1 is a first spacer, and for example, SiO 2 having a thickness of 3000 Å is formed by a vapor phase chemical reaction. CON1 and CON2 are 2
2 shows a conductor layer of a layer and has a function of controlling bubble generation, copying (division) and exchange described later, the lower first conductor layer CON1 is Mo, and the upper second conductor layer CON2.
Are made of a material such as Au. SP2 and SP3 are interlayer insulating films (second and third spacers) made of a polyimide resin or the like for electrically insulating the conductor layer CON and the transfer pattern layer P such as Permalloy formed thereon. PAS is SiO formed by the vapor phase chemical reaction method.
It is a passivation film composed of two films or the like. PAD indicates a bonding pad of the chip CHI, and a thin connector wire such as an Al wire is bonded thereto by a thermocompression bonding method or an ultrasonic method. This bonding pad PA
As for D, the lower first layer PAD 1 is Cr, and the central second layer PAD 2 is
Is an Au layer, the third layer PAD 3 is formed of a material such as an Au plating layer, and the second layer PAD 2 and the third layer PAD 3 are formed.
The layer PAD 3 may be formed of a material such as Cr or Cu. P
Indicates a layer used for a bubble transfer path, bubble division, generation, exchange, and detection section, as well as a guardrail section,
In the following description, it is referred to as a transfer pattern layer for convenience.

第24図の例ではこの転送パターン層Pは下層PにF
e−Siを、上層PにFe−Niをそれぞれ使用して
いるが、前述したように両者の材質を上下入れ替えるこ
とも可能である。
In the example shown in FIG. 24, the transfer pattern layer P is F on the lower layer P 1 .
The e-Si, but using the Fe-Ni respectively in the upper layer P 2, it is also possible to replace the upper and lower the material of both, as described above.

以下、前述した複数層から成る転送パターン層をチップ
CHIの各部に適用した例を第25図以降の平面図で説
明するが、これらの平面図では転送パターン層の各層は
セルフアラインで形成されているため、同じ輪郭線で表
されていることに注意されたい。第25図はバブル検出
器D部分を示しており、MEMはメイン磁気抵抗素子で
あり、横方向に帯状に引き伸ばされたバブルがそこを通
過するとき抵抗値が変ることを利用してバブルの有無を
検出する。MEDはメイン磁気抵抗素子MEMと同様な
パターン形状のダミー磁気抵抗素子であり、回転磁界の
影響等による雑音成分を検出するために用いられる。メ
イン磁気抵抗素子MEMの上方には2段分しか図示して
いないがバブルを横方向に引き伸ばしながら下方に転送
していくバブルストレッチャーSTが数10段形成され
ている。なお、PRはバブルの転送方向を示している。
ERはバブルの消去器であり、導体層CNDにバブルが
達したとき、消去される。この検出器Dの周囲及びダミ
ー及びメイン検出の間には、3列のパターン群から成る
ガードレールGRが設けられており、ガードレールGR
の内部に発生した不用なバブルをその外側に追い出した
り、ガードレールGRの外側で発生した不用なバブルが
その内側に入り込むのを防ぐようになっている。なお、
第25図以下の平面パターン図では導体層CND以外の
パターンは第24図で説明した転送パターン層Pを示し
ている。同図において、磁気抵抗素子MEM,MEDを
多層磁性層で形成することにより、信号対雑音比(S/
N比)が向上した。例えば、転送パターンとして各層間
にSiO膜を介在させた3層パーマロイ層を使用した
場合は、パーマロイ単層用のものに比べ下記表2に示す
ようにS/N比が2倍以上向上させることができる。
Hereinafter, an example in which the above-mentioned transfer pattern layer composed of a plurality of layers is applied to each part of the chip CHI will be described with reference to plan views of FIG. 25 and subsequent drawings. In these plan views, each transfer pattern layer is formed by self-alignment. Note that they are represented by the same contour line. FIG. 25 shows the bubble detector D portion, and MEM is the main magnetoresistive element, and the presence or absence of bubbles is utilized by utilizing the fact that the resistance value changes when a bubble stretched in a lateral strip shape passes therethrough. To detect. The MED is a dummy magnetoresistive element having the same pattern shape as the main magnetoresistive element MEM, and is used to detect a noise component due to the influence of the rotating magnetic field and the like. Although only two stages are shown above the main magnetoresistive element MEM, several tens of bubble stretchers ST are formed to expand the bubbles in the horizontal direction and transfer the bubbles downward. Note that PR indicates the transfer direction of bubbles.
ER is a bubble eraser, and is erased when the bubble reaches the conductor layer CND. A guard rail GR composed of three rows of pattern groups is provided around the detector D and between the dummy and main detections.
The unnecessary bubbles generated inside the car are prevented from escaping to the outside thereof, and the unnecessary bubbles generated outside the guardrail GR are prevented from entering the inside thereof. In addition,
In the plan pattern diagrams of FIG. 25 and subsequent figures, the patterns other than the conductor layer CND show the transfer pattern layer P described in FIG. In the figure, by forming the magnetoresistive elements MEM and MED with a multilayer magnetic layer, the signal-to-noise ratio (S /
N ratio) was improved. For example, when a three-layer permalloy layer having a SiO 2 film interposed between the layers is used as a transfer pattern, the S / N ratio is improved by a factor of 2 or more as shown in Table 2 below as compared with that for a single permalloy layer. be able to.

また、ガードレールGRの性能も保持力Hcの低減によ
り不用バブルの排除率が高くなるなど改善される。
Further, the performance of the guardrail GR is also improved by reducing the holding force Hc and increasing the rejection rate of unnecessary bubbles.

第26図は磁気バブル発生器GENを示しており、転送
パターン層Pを多層化することにより、磁気バブルの発
生電流を小さくすることができ、磁気バブル発生器の導
体層CNDの寿命を長くすることが可能となった。従っ
て、導体層CNDの駆動回路も電流容量値の小さい半導
体素子が使用でき、低価格化が可能となる。
FIG. 26 shows a magnetic bubble generator GEN. By making the transfer pattern layer P multi-layered, the generated current of the magnetic bubble can be reduced, and the life of the conductor layer CND of the magnetic bubble generator is lengthened. It has become possible. Therefore, the drive circuit of the conductor layer CND can also use a semiconductor element having a small current capacity value, and the cost can be reduced.

第27図はPa〜Ph等の転送パターンで形成されたマ
イナループm,Pw〜Pw等の転送パターン列で形
成された書き込みメイジャーラインWML及びヘアピン
状導体層CNDで形成されたスワップゲート部を示して
いる。同図において、Pは第26図のバブル発生器G
ENにおける転送パターンPと同一のものであり、言
い換えればバブル発生器GENで発生されたバブルはP
〜Pの転送路を通って書き込みメイジャーラインW
MLに転送される。スワップ導体層CNDに電流を流し
たとき、マイナループmの転送パターンPdの磁気バ
ブルは転送パターンPl,Pmを通ってメイジャーライ
ンWMLの転送パターンPwに転送され、メイジャー
ラインPwからの磁気バブルは転送パターンPk,P
j,Piを経てマイナループの転送パターンPeに転送
されてバブルの交換、すなわち情報の書き換えが行なわ
れる。なお、右端のマイナループmdにはスワップゲー
トが設けられていないが、これは、周辺効果を軽減する
ための磁気バブルを注入しないダミーのループである。
このように交換位置における転送パターン層Pi〜Pm
を多層化することにより、小さい電流値で磁気バブルの
交換を行なうことができる。
FIG. 27 shows a swap gate portion formed of a write loop line MML formed of transfer patterns of minor loops m, Pw 1 to Pw 3, etc. formed of transfer patterns of Pa to Ph and a hairpin-shaped conductor layer CND. Shows. In the figure, P 7 is the bubble generator G of FIG.
It is the same as the transfer pattern P 7 in EN, in other words, the bubble generated in the bubble generator GEN is P
Write major line W through the transfer path from 1 to P 7.
Transferred to ML. When a current is applied to the swap conductor layer CND, the magnetic bubbles of the transfer pattern Pd of the minor loop m 1 are transferred to the transfer pattern Pw 3 of the major line WML through the transfer patterns Pl and Pm, and the magnetic bubbles from the major line Pw 1 are transferred. Is the transfer pattern Pk, P
After passing through j and Pi, the data is transferred to the transfer pattern Pe of the minor loop and bubbles are exchanged, that is, information is rewritten. A swap gate is not provided in the minor loop md at the right end, but this is a dummy loop that does not inject magnetic bubbles to reduce the peripheral effect.
Thus, the transfer pattern layers Pi to Pm at the exchange position
By forming multiple layers, it is possible to exchange magnetic bubbles with a small current value.

また、第28図に示すように磁気バブルの複写器、即ち
分割器でも同様に小さい電流値駆動が可能となる。同図
において、通常磁気バブルはPn〜Pg,Ps〜Pxの
順路で転送されており、導体層CNDに電流を流したと
き、転送パターンPgの位置でバブルは分割され、分割
された1つの磁気バブルはPy,P〜P10を経て読出
しメイジャーラインRMLに転送される。
Further, as shown in FIG. 28, a small current value can be driven in a magnetic bubble copying machine, that is, a divider. In the figure, the normal magnetic bubbles are transferred along the route of Pn to Pg and Ps to Px, and when a current is passed through the conductor layer CND, the bubbles are divided at the position of the transfer pattern Pg, and one divided magnetic field is generated. bubble Py, is transferred to the read main jar line RML through P 8 to P 10.

(ホールディング磁界及び回転磁界 第29図) 磁石板MAGはチップCHIに対して約2度程度傾斜さ
せて配置される。これはチップCHIに対しバイアス磁
界Hbが垂直方向よりややずれて印加されるようにした
もので、それによってバブル転送のスタート、ストップ
マージンを約6〔Oe〕向上させるホールディング磁界
Hdcを生み出す(第29図A)。
(Holding magnetic field and rotating magnetic field FIG. 29) The magnet plate MAG is arranged with an inclination of about 2 degrees with respect to the chip CHI. The bias magnetic field Hb is applied to the chip CHI with a slight deviation from the vertical direction, thereby generating a holding magnetic field Hdc that improves the start and stop margins of bubble transfer by about 6 [Oe] (29th). (Figure A).

第29図Aに示したように磁石体BIMとチップCHI
との角度θの傾斜により、直流磁界Hzは、xy平面内
の成分Hdcを持つことになる。そして、この面内成分
Hdcの大きさは、Hz・sinθとなり、通常Hdc
=5〔Oe〕〜6〔Oe〕になるように傾斜角度θが選
定される。また、この面内成分Hdcの方向は、回転磁
界Hrのスタート・ストップ(St/Sp)方向(+x
軸方向)に一致するように傾斜されている。そして、こ
のxy面内成分Hdcは、回転磁界Hrのスタート・ス
トップ(St/Sp)動作に対して有効な働きをし、ホ
ールディングフィールドと呼ばれている公知の磁界であ
る。なお、チップCHI面に垂直に作用するバイアス磁
界Hbの大きさはHz・cosθとなる。
As shown in FIG. 29A, the magnet body BIM and the chip CHI
The DC magnetic field Hz has a component Hdc in the xy plane due to the inclination of the angle θ with. The magnitude of this in-plane component Hdc is Hz · sin θ, which is the normal Hdc.
The inclination angle θ is selected so as to be 5 [Oe] to 6 [Oe]. The direction of the in-plane component Hdc is the start / stop (St / Sp) direction of the rotating magnetic field Hr (+ x
It is inclined so as to match the (axial direction). The xy in-plane component Hdc works effectively for the start / stop (St / Sp) operation of the rotating magnetic field Hr, and is a known magnetic field called a holding field. The magnitude of the bias magnetic field Hb acting perpendicularly to the surface of the chip CHI is Hz · cos θ.

さて、上述したホールディングフィールドHdcは、チ
ップCHIのxy面に対して常時作用するため、第29
図Bに図解したように前記チップCHIに作用する回転
磁界Hr′は偏心する。同図において、Hrは外部から
加えられる回転磁界、Hr′は、チップCHIに作用す
る回転磁界である。この場合、CHIに作用する回転磁
界Hr′は外部から加えられる回転磁界Hrと面内成分
Hdcとを合成したものとなり、その回転磁界Hr′の
中心O′はスタート・ストップ(St/Sp)方向であ
る+x軸方向に面内成分Hdc分だけ平行移動する。こ
のため、同図の結果から明らかなように、外部から加え
ている回転磁界Hrの強さが|Hr|であっても実効的
にチップCHIに作用する回転磁界の強度|Hr′|は
回転磁界Hrの位相によって異なる。すなわちSt/S
p方向での|Hr′|は、|Hr|+|Hdc|とな
り、|Hr|に比べてホールディングフィールドHdc
の強さ|Hdc|だけ強くなっている。逆に、St/S
p方向と逆方向の場合の|Hr′|は|Hr|−|Hd
c|となり、|Hr|に比べて|Hdc|だけ弱まって
いる。
Since the holding field Hdc described above always acts on the xy plane of the chip CHI, the holding field Hdc is
As illustrated in FIG. B, the rotating magnetic field Hr ′ acting on the chip CHI is eccentric. In the figure, Hr is a rotating magnetic field applied from the outside, and Hr 'is a rotating magnetic field acting on the chip CHI. In this case, the rotating magnetic field Hr ′ acting on CHI is a combination of the rotating magnetic field Hr applied from the outside and the in-plane component Hdc, and the center O ′ of the rotating magnetic field Hr ′ is in the start / stop (St / Sp) direction. In parallel to the + x-axis direction, the in-plane component Hdc is translated. Therefore, as is clear from the results in the figure, even if the strength of the rotating magnetic field Hr applied from the outside is | Hr |, the strength | Hr '| of the rotating magnetic field that effectively acts on the chip CHI does not rotate. It depends on the phase of the magnetic field Hr. That is, St / S
| Hr '| in the p direction becomes | Hr | + | Hdc |, which is a holding field Hdc compared to | Hr |
Is stronger by | Hdc |. Conversely, St / S
| Hr '| in the case of the direction opposite to the p direction is | Hr |-| Hd
c |, which is weakened by | Hdc | as compared with | Hr |.

(周辺回路 第30図) 最後にチップCHIの周辺回路を第30図で説明する。
RFはチップCHIのX及びYコイルに90゜位相差の電
流を流し回転磁界Hrを発生するための回路である。S
AはチップCHIの磁気抵抗素子からの微小なバブル検
出信号を回転磁界のタイミングと合わせてサンブリング
し感知、増幅するセンスアンプである。DRは、MBM
デバイスに書き込みに関係するバブル発生及びスワップ
並びに読み出しに関係するレプリケートの各機能導体に
所定のタイミングで電流を流す駆動回路である。以上の
回路は回転磁界Hrのサイクル及び位相角に同期して動
作するようタイミング発生回路TGによって同期化され
ている。
(Peripheral Circuit FIG. 30) Finally, the peripheral circuit of the chip CHI will be described with reference to FIG.
RF is a circuit for generating a rotating magnetic field Hr by passing a current having a 90 ° phase difference through the X and Y coils of the chip CHI. S
A is a sense amplifier that senses and amplifies a minute bubble detection signal from the magnetoresistive element of the chip CHI in synchronization with the timing of the rotating magnetic field. DR is MBM
It is a drive circuit for supplying a current to each functional conductor of a bubble generation and swap related to writing and a replicate related to reading to a device at a predetermined timing. The above circuit is synchronized by the timing generation circuit TG so as to operate in synchronization with the cycle and phase angle of the rotating magnetic field Hr.

(回転磁界分布特性 第31図) 第31図は前述した磁気回路PFCの回転磁界分布特性
を示したものである。すなわち同図において、横軸に第
8図Bで示した磁気回路PFC内の中心をOとしてX軸
方向の長さを、縦軸にそのX軸方向の回転磁界強度Hx
=OとしたときのX軸方向の回転磁界強度Hxをそれぞ
れ示すと、曲線Iで示すような回転磁界分布特性が得ら
れた。同図から明らかなように、磁気回路PFCの対向
するコアCOR間の内側までの距離−Xc〜+Xcの範
囲までほぼ均一な回転磁界強度Hxが得られ、また、チ
ップCHIの有効エリア(回転磁界を付与すべき最小範
囲)−Xe〜+Xeの範囲では±約2%の磁界強度一様
性が得られた。なお、破線で示す曲線IIは従来構成の磁
気回路による回転磁界分布特性である。
(Rotating magnetic field distribution characteristic FIG. 31) FIG. 31 shows the rotating magnetic field distribution characteristic of the magnetic circuit PFC described above. That is, in the figure, the horizontal axis represents the length in the X-axis direction with the center in the magnetic circuit PFC shown in FIG. 8B as O, and the vertical axis represents the rotating magnetic field strength Hx in the X-axis direction.
When the rotating magnetic field strength Hx in the X-axis direction when = 0 is shown, the rotating magnetic field distribution characteristics shown by the curve I were obtained. As is clear from the figure, a substantially uniform rotating magnetic field strength Hx is obtained within a range of −Xc to + Xc to the inner side between the opposing cores COR of the magnetic circuit PFC, and the effective area of the chip CHI (rotating magnetic field is In the range of −Xe to + Xe, the magnetic field strength uniformity of ± about 2% was obtained. A curve II shown by a broken line is a rotating magnetic field distribution characteristic of the conventional magnetic circuit.

以上第1図、第2図に示す磁気バブルメモリの全体構造
に関連して細部を説明した。本発明の放熱体について実
施例を、第32図を用いて説明する。
The details have been described above with reference to the entire structure of the magnetic bubble memory shown in FIGS. An example of the radiator of the present invention will be described with reference to FIG.

第32図は放熱フィンを設けた本発明の実施例の全体構
造を示すもので同図Aは平面図、同図Bは同図Aの32
B−32B断面図、同図Cは同図Aの32C−32C断
面図を示し、前述の図と同一部分は同一符号を付してあ
る。同図において、シールドケースSHI組立体に装着
されたパッケージングケースPKGの外面には、熱伝導
性の良好な材料、例えばアルミニウム材を成形加工を施
して中央部に開口部を、周辺部に複数の放熱フィン81
を一体的に形成した放熱体RADが、その開口部を挿入
して密着配置されている。この場合、開口部の内側に
は、パッケージングケースPKGと十分に接触できる程
度にテーパあるいはスリットを設けさらにはシリコング
リスを塗布して熱抵抗を小さくさせ、熱伝導性を高めて
いる。
FIG. 32 shows the entire structure of an embodiment of the present invention in which a heat radiation fin is provided. FIG. 32A is a plan view and FIG.
B-32B sectional drawing, the same figure C shows the 32C-32C sectional drawing of the same figure A, and the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the above-mentioned figure. In the figure, the outer surface of the packaging case PKG attached to the shield case SHI assembly is molded with a material having good thermal conductivity, for example, an aluminum material, and an opening is formed in the center and a plurality of openings are formed in the periphery. Radiating fin 81
The radiator RAD integrally formed with is inserted into the opening and is closely arranged. In this case, the inside of the opening is provided with a taper or slit enough to make sufficient contact with the packaging case PKG and further coated with silicon grease to reduce the thermal resistance and enhance the thermal conductivity.

このような構成によれば、パッケージングケースPKG
の外面に複数の放熱フィン81を有する放熱体RADを
密着配置したことにより、放熱フィン81による放熱面
積が拡大されるので、内部の磁気回路PFCから放出さ
れる放熱射量が大幅に増大し、これによってチップCH
Iの温度上昇が低減され、動作マージンおよびバイアス
磁界Hb=0のときの上限値のマージンの低下を抑制す
ることができる。
According to such a configuration, the packaging case PKG
Since the radiator RAD having the plurality of heat radiation fins 81 is closely arranged on the outer surface of the, the heat radiation area by the heat radiation fins 81 is expanded, and thus the amount of heat radiation emitted from the internal magnetic circuit PFC is significantly increased. Chip CH by this
The temperature rise of I is reduced, and the decrease of the operating margin and the margin of the upper limit value when the bias magnetic field Hb = 0 can be suppressed.

なお、前述した実施例においては、放熱体RADの全体
形状を角形状とし、さらに放熱フィン81の配列方向を
一方向とした場合について説明したが、本発明はこれに
限定されるものではなく、全体形状を丸形状とし、放熱
フィン81の配列方向を放射上としても前述と全く同様
の効果が得られる。
In addition, in the above-described embodiment, the case where the entire shape of the radiator RAD is a square shape and the arrangement direction of the radiator fins 81 is one direction has been described, but the present invention is not limited to this. Even if the entire shape is circular and the arrangement direction of the heat radiation fins 81 is radial, the same effect as described above can be obtained.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明によれば、駆動コイル,コア
および磁気バブルメモリ素子の全体を良導電性材ケース
内に挟持させかつ前記良導電性材ケースの外面に一対の
磁石体を組み合わせて高透磁性材ケース内に挟持させる
とともに前記高透磁性材ケースに放熱体を設けたことに
より、磁気バブルメモリデバイスの温度上昇を低減でき
るので、全体形状を小形化,薄形化にした動作マージン
を低下させることなく、広い温度範囲での動作が可能と
なるなどの極めて優れた効果が得られる。
As described above, according to the present invention, the entire drive coil, core, and magnetic bubble memory element are sandwiched in the case of a good conductive material, and a pair of magnet bodies are combined on the outer surface of the case of a good conductive material. Since the temperature rise of the magnetic bubble memory device can be reduced by sandwiching it in the magnetically permeable material case and providing a heat radiator in the highly magnetically permeable material case, the overall shape can be made smaller and thinner to provide an operating margin. It is possible to obtain an extremely excellent effect such as enabling operation in a wide temperature range without lowering the temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明が適用される磁気バブルメモリデバイス
の全体を示す一部破断斜視図、第2図Aは底面図、第2
図Bは同図Aの2B−2B断面図、第3図は積み重ね構
造を示す分解斜視図、第4図は基板FPCを説明する
図、第5図は基板FPCにチップCHIを搭載した基板
組立体BNDを示す平面図、第6図はチップCHIを示
す図、第7図は基板組立体BNDのリードボンディング
を説明する図、第8図は磁気回路PFCを説明する図、
第9図は磁気回路PFCの製作方法を説明する図、第1
0図は内側ケースRFSbを示す図、第11図は外側ケ
ースRFSaを示す図、第12図はケースRFSの組立
図、第13図はケースRFS内に基板組立体BNDおよ
び磁気回路FPCを収納した組立体の断面図、第14図
は磁石体BIMの構成を説明する図、第15図はバイア
スコイルを説明する図、第16図はケースRFS組立体
に一対の磁石体BIMおよびバイアスコイルBICを組
み込んだ組立体の断面図、第17図は外側シールドケー
スSHIaを示す図、第18図は内側シールドケースS
HIbを示す図、第19図はシールドケースSHIの組
立図、第20図は第16図に示す組立体をシールドケー
スSHI内に組み込んだ組立体の断面図、第21図はパ
ッケージングケースPKGを示す図、第22図は端子固
定板TEFの構成を説明する図、第23図はコンタクト
パッドの構成を示す図、第24図はチップCHIの断面
図、第25図はチップCHIの磁気バブル検出器Dの構
成を示す図、第26図はチップCHIの磁気バブル発生
器GENの構成を示す図、第27図はチップCHIのス
ワップゲートSWPの構成を示す図、第28図はチップ
CHIのレプリケートゲートREPの構成を示す図、第
29図Aはバイアス磁界Hbとホールディング磁界Hd
cの関係を示す図、同図Bはトータル回転磁界Hr′を
示す図、第30図は磁気バブルメモリボードの全体回路
を示す図、第31図は回転磁界分布特性図である。第3
2図、放熱体RADを設けた本発明の実施例を示す図で
ある。 CHI……磁気バブルメモリチップ(素子)、FPC…
…フレキシブル配線基板(基板)、BND……基板組立
体、COI……駆動コイル(コイル)、COR……額縁
形コア(コア)、PFC……磁気回路、RFS……回転
磁界閉じ込めケース(ケース)、RFSa……外側ケー
ス、RFSb……内側ケース、BIM……バイアス磁界
発生用磁石体(磁石体)、BIMa……上部磁石体、B
IMb……下部磁石体、INM……傾斜板、MAG……
永久磁石板(磁石板)、HOM……整磁板、INN……
非磁性傾斜板、BIC……バイアス磁界発生用コイル
(バイアスコイル)、SHI……外部磁気シールドケー
ス(シールドケース)、SHIa……外側シールドケー
ス、SHIb……内側シールドケース、PKG……パッ
ケージングケース、TEF……端子固定板、CNP……
コンタクトパッド、1……素子搭載部、2,2a,2
b,2c,2d……折り曲げ部、3,3a,3b,3
c,3d……外部接続端子接続部、4,4a,4b……
開口部、5,5a,5b,5c……穿孔、6……基板突
出部、7……ベースフィルム、8……接着剤、9……銅
薄膜、9a……配線用リード、9b……外部端子、9c
……接続用端子、9d……記号、9e……インデックス
マーク、10……カバーフィルム、11……錫メッキ
層、12……開口、13……半田メッキ層、14……ボ
ンディングパッド、15……金バンプ、20a,20
b,20c,20d……ヘリツクスコイル、21a,2
1b……接続点、22a……Xコイル、22b……Yコ
イル、23……磁気コア、24……タップ、25……幅
の大きい溝、26……幅の小さい溝、30……絞り部、
31……折り曲げ部、32……切欠き部、33……絞り
部、34……折り曲げ部、35……切欠き部、36……
ポリイミドフィルム、37……接着剤、38……コイル
巻線、40……巻線、51……平坦部、52……折り曲
げ部、53……凹部、54……切欠き部、55……平坦
部、56……折り曲げ部、57……凹部、58……切欠
き部、59……凹部、60……樹脂板、61……貫通
孔、62……非貫通孔、63……マーク、64……開
口、65……溝、66……角部、70……素片、71…
…ニッケルメッキ層、72……金メッキ層、RAD……
放熱体。
1 is a partially cutaway perspective view showing the entire magnetic bubble memory device to which the present invention is applied, FIG. 2A is a bottom view, and FIG.
FIG. B is a sectional view taken along line 2B-2B of FIG. A, FIG. 3 is an exploded perspective view showing a stacking structure, FIG. 4 is a view for explaining a substrate FPC, and FIG. 5 is a substrate assembly in which a chip CHI is mounted on the substrate FPC. FIG. 6 is a plan view showing a three-dimensional BND, FIG. 6 is a view showing a chip CHI, FIG. 7 is a view explaining lead bonding of a substrate assembly BND, FIG. 8 is a view explaining a magnetic circuit PFC,
FIG. 9 is a diagram for explaining a method of manufacturing the magnetic circuit PFC, first
0 is a view showing the inner case RFSb, FIG. 11 is a view showing the outer case RFSa, FIG. 12 is an assembly view of the case RFS, and FIG. 13 is a case assembly in which the board assembly BND and the magnetic circuit FPC are housed. FIG. 14 is a cross-sectional view of the assembly, FIG. 14 is a view for explaining the structure of the magnet body BIM, FIG. 15 is a view for explaining the bias coil, and FIG. 16 is a case RFS assembly with a pair of magnet body BIM and bias coil BIC. FIG. 17 is a sectional view of the assembled assembly, FIG. 17 is a view showing the outer shield case SHIa, and FIG. 18 is an inner shield case S.
HIb, FIG. 19 is an assembly view of the shield case SHI, FIG. 20 is a sectional view of an assembly in which the assembly shown in FIG. 16 is incorporated in the shield case SHI, and FIG. 21 is a packaging case PKG. FIG. 22, FIG. 22 is a view for explaining the structure of the terminal fixing plate TEF, FIG. 23 is a view for showing the structure of the contact pad, FIG. 24 is a sectional view of the chip CHI, and FIG. 25 is a magnetic bubble detection of the chip CHI. 26 is a diagram showing the configuration of the device D, FIG. 26 is a diagram showing the configuration of the magnetic bubble generator GEN of the chip CHI, FIG. 27 is a diagram showing the configuration of the swap gate SWP of the chip CHI, and FIG. 28 is a replicate of the chip CHI. FIG. 29A shows the structure of the gate REP, and FIG. 29A shows a bias magnetic field Hb and a holding magnetic field Hd.
FIG. 30 is a diagram showing a total rotating magnetic field Hr ′, FIG. 30 is a diagram showing an entire circuit of the magnetic bubble memory board, and FIG. 31 is a rotating magnetic field distribution characteristic diagram. Third
FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention in which a radiator RAD is provided. CHI ... Magnetic bubble memory chip (element), FPC ...
... Flexible wiring board (board), BND ... Board assembly, COI ... Drive coil (coil), COR ... Frame-shaped core (core), PFC ... Magnetic circuit, RFS ... Rotating magnetic field confinement case (case) , RFSa ... Outer case, RFSb ... Inner case, BIM ... Bias magnetic field generating magnet body (magnet body), BIMa ... Upper magnet body, B
IMb ... Lower magnet body, INM ... Inclined plate, MAG ...
Permanent magnet plate (magnet plate), HOM ... magnetic shunt plate, INN ...
Non-magnetic inclined plate, BIC ... Coil for bias magnetic field generation (bias coil), SHI ... External magnetic shield case (shield case), SHIa ... Outer shield case, SHIb ... Inner shield case, PKG ... Packaging case , TEF …… Terminal fixing plate, CNP ……
Contact pad, 1 ... Element mounting part, 2, 2a, 2
b, 2c, 2d ... Bent portions, 3, 3a, 3b, 3
c, 3d ... External connection terminal connection part, 4, 4a, 4b ...
Openings, 5, 5a, 5b, 5c ... Perforations, 6 ... Substrate protrusions, 7 ... Base film, 8 ... Adhesive, 9 ... Copper thin film, 9a ... Wiring leads, 9b ... External Terminal, 9c
...... Connection terminal, 9d ...... symbol, 9e ...... index mark, 10 ...... cover film, 11 ...... tin plating layer, 12 ...... opening, 13 ...... solder plating layer, 14 ...... bonding pad, 15 ... … Gold bumps, 20a, 20
b, 20c, 20d ... Helix coil, 21a, 2
1b ... connection point, 22a ... X coil, 22b ... Y coil, 23 ... magnetic core, 24 ... tap, 25 ... wide groove, 26 ... small groove, 30 ... throttle section ,
31 ... Bending part, 32 ... Notch part, 33 ... Drawing part, 34 ... Bending part, 35 ... Notch part, 36 ...
Polyimide film, 37 ... Adhesive, 38 ... Coil winding, 40 ... Winding, 51 ... Flat portion, 52 ... Bent portion, 53 ... Recessed portion, 54 ... Notched portion, 55 ... Flat Part, 56 ... bent part, 57 ... concave part, 58 ... notch part, 59 ... concave part, 60 ... resin plate, 61 ... through hole, 62 ... non-through hole, 63 ... mark, 64 …… Aperture, 65 …… Groove, 66 …… Corner, 70 …… Element, 71…
… Nickel plated layer, 72 …… Gold plated layer, RAD ……
Radiator.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣田 和夫 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 木城 伸夫 千葉県茂原市早野3350番地の2 日立デバ イスエンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−15888(JP,A) 特開 昭55−14506(JP,A) 実開 昭58−52700(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kazuo Hirota, Kazuo Hirota, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama City, Kanagawa Prefecture, Ltd., Production Engineering Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Nobuo Kishiro, 3350, Hayano, Mobara, Chiba, Hitachi Device Engineering Co., Ltd. (56) Reference JP-A-60-15888 (JP, A) JP-A-55-14506 (JP, A) Practical use Sho-58-52700 (JP, U)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】向い合う巻線の組が互いに平行となるよう
にコイルを施した絶縁形コア(COR)で形成される空
間部に、フレキシブル基板(FPC)に搭載した磁気バ
ブルメモリ素子(CHI)を配設し、前記コイル,コア
および磁気バブルメモリ素子の全体を回転磁界閉じ込め
ケース(RFS)内に挟持させ、かつ前記回転磁界閉じ
込めケースの外面に一対の銅からなる傾斜板(INN)
を密着するよう重ねて配置し、前記銅からなる傾斜板の
外面に一対の整磁板(HOM)を密着するよう重ねて配
置し、前記整磁板の外面に一対の磁石板(MAG)を密
着するよう重ねて配置し、前記磁石板の外面に一対の磁
性材からなる傾斜板(INM)を密着するよう重ねて配
置し、前記磁性体からなる傾斜板の外面に外部磁気シー
ルドケース(SHI)を密着させるように設け、前記回
転磁界閉じ込めケース、銅からなる傾斜板、整磁板、磁
石板、磁性材からなる傾斜板を、前記磁気シールドケー
ス内に挟持させ、前記回転磁界閉じ込めケースの側面と
外部磁気シールドケースの側面を密着させるとともに、
パッケージングケース(PKG)の4つの側面に放熱体
を設けたことを特徴とする磁気バブルメモリ。
1. A magnetic bubble memory device (CHI) mounted on a flexible substrate (FPC) in a space formed by an insulating core (COR) in which a pair of coils facing each other are parallel to each other. ) Is disposed so that the coil, the core and the magnetic bubble memory device are entirely sandwiched in a rotating magnetic field confinement case (RFS), and a pair of inclined plates (INN) are formed on the outer surface of the rotating magnetic field confinement case.
Are placed in close contact with each other, and a pair of magnetic shunts (HOM) are placed in close contact with each other on the outer surface of the inclined plate made of copper, and a pair of magnet plates (MAG) are attached to the outer surface of the magnetic shunt. An inclined plate (INM) made of a pair of magnetic materials is placed on the outer surface of the magnet plate so as to be in close contact with each other. ) Are closely attached, and the rotating magnetic field confinement case, the inclined plate made of copper, the magnetic shunt plate, the magnet plate, and the inclined plate made of a magnetic material are sandwiched in the magnetic shield case, and While sticking the side surface and the side surface of the external magnetic shield case,
A magnetic bubble memory characterized in that a radiator is provided on four sides of a packaging case (PKG).
JP60090823A 1985-04-30 1985-04-30 Magnetic bubble memory Expired - Lifetime JPH0646508B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60090823A JPH0646508B2 (en) 1985-04-30 1985-04-30 Magnetic bubble memory

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60090823A JPH0646508B2 (en) 1985-04-30 1985-04-30 Magnetic bubble memory

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61250887A JPS61250887A (en) 1986-11-07
JPH0646508B2 true JPH0646508B2 (en) 1994-06-15

Family

ID=14009307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60090823A Expired - Lifetime JPH0646508B2 (en) 1985-04-30 1985-04-30 Magnetic bubble memory

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0646508B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI625037B (en) * 2017-04-12 2018-05-21 唐山達創科技有限公司 Heat dissipating system and operating method thereof

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5514506A (en) * 1978-07-14 1980-02-01 Nec Corp Bubble memory plane
JPS5852700U (en) * 1981-10-05 1983-04-09 沖電気工業株式会社 magnetic bubble memory device
JPS6015888A (en) * 1983-07-06 1985-01-26 Hitachi Ltd Magnetic bubble memory module

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61250887A (en) 1986-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0646508B2 (en) Magnetic bubble memory
JPH0638314B2 (en) Method for evaluating characteristics of magnetic bubble memory
EP0201781B1 (en) Magnetic bubble memory module
JPH0646506B2 (en) Magnetic bubble memory
JPH0646510B2 (en) Magnetic bubble memory
JPH0697555B2 (en) Magnetic bubble memory
JPH0646511B2 (en) Magnetic bubble memory
JPH0646512B2 (en) Method for evaluating characteristics of magnetic bubble memory
JPH0646507B2 (en) Magnetic bubble memory
JP2667813B2 (en) Magnetic bubble memory
EP0189926B1 (en) Magnetic bubble memory module
JPH0648594B2 (en) Method for assembling magnetic bubble memory device
JPH0697556B2 (en) Magnetic bubble memory
JPH07114073B2 (en) Magnetic bubble memory
EP0201007A2 (en) Method for measuring holding field of a magnetic bubble memory module using picture-frame-core
JPS61248283A (en) Magnetic bubble memory device
EP0201009A2 (en) Magnetic bubble memory module
KR980011052A (en) Writing / reading matrix magnetic head and manufacturing method thereof
JPS61248291A (en) Magnetic bubble memory device
JPS61248289A (en) Magnetic bubble memory device
JPH0638313B2 (en) Magnetic bubble memory device
JPS61248286A (en) Magnetic bubble memory device
JPS61248290A (en) Magnetic bubble memory device
JPS61248288A (en) Magnetic bubble memory device
JPS61248292A (en) Magnetic bubble memory device