JPH0643464B2 - (メタ)アクリレート及びそれを用いる(共)重合体の製造方法 - Google Patents
(メタ)アクリレート及びそれを用いる(共)重合体の製造方法Info
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- JPH0643464B2 JPH0643464B2 JP63243987A JP24398788A JPH0643464B2 JP H0643464 B2 JPH0643464 B2 JP H0643464B2 JP 63243987 A JP63243987 A JP 63243987A JP 24398788 A JP24398788 A JP 24398788A JP H0643464 B2 JPH0643464 B2 JP H0643464B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光集積回路用導波路やプラスチツク光フアイバ
などの光学材料や電気絶縁材料等の電子部品材料、電子
線やX線等の高エネルギ線用レジスト材料として、また
はつ水材等の表面処理剤、酸素富化膜等の機能膜として
使用可能なハロゲン及び重水素を含むポリ(メタ)アク
リレートに関する。
などの光学材料や電気絶縁材料等の電子部品材料、電子
線やX線等の高エネルギ線用レジスト材料として、また
はつ水材等の表面処理剤、酸素富化膜等の機能膜として
使用可能なハロゲン及び重水素を含むポリ(メタ)アク
リレートに関する。
光学部品や光フアイバの基材としては光伝送損失が小さ
く、伝送帯域が広いことから一般に石英ガラスや多成分
ガラス等の無機系のものが使用されている。一方、プラ
スチツクを基材とする光学材料も開発されている。これ
らのプラスチツク光学材料は、無機系に比べ加工性が良
く、取扱い易い等の特徴を持つことから注目されてい
る。例えば光フアイバにおいてはポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)あるいはポリスチレンのような透明性
に優れたプラスチツクを芯(コア)とし、その芯成分よ
りも屈折率の低いプラスチツクを鞘(クラツド)成分と
した同心のコア−クラツド構造からなるものが知られて
いる。しかしこれらのプラスチツク光フアイバは、無機
系のフアイバに比べて内部を伝達する光の減衰度合が大
きいという欠点がある。光の伝達は光回路あるいはフア
イバの一端に入射した光を長さ方向に沿つて内部で全反
射させて行うが、プラスチツクの内部を光が伝達するに
当り、光が吸収あるいは散乱されることによつて光の減
衰を強めるような要因を最小にすることが重要である。
光回路部品においては現状の光フアイバ通信に用いられ
ている光の波長が1300nm〜1600nmの近赤外光を
用いていることから、プラスチツクを用いる場合その領
域における低損失化はより切実である。
く、伝送帯域が広いことから一般に石英ガラスや多成分
ガラス等の無機系のものが使用されている。一方、プラ
スチツクを基材とする光学材料も開発されている。これ
らのプラスチツク光学材料は、無機系に比べ加工性が良
く、取扱い易い等の特徴を持つことから注目されてい
る。例えば光フアイバにおいてはポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)あるいはポリスチレンのような透明性
に優れたプラスチツクを芯(コア)とし、その芯成分よ
りも屈折率の低いプラスチツクを鞘(クラツド)成分と
した同心のコア−クラツド構造からなるものが知られて
いる。しかしこれらのプラスチツク光フアイバは、無機
系のフアイバに比べて内部を伝達する光の減衰度合が大
きいという欠点がある。光の伝達は光回路あるいはフア
イバの一端に入射した光を長さ方向に沿つて内部で全反
射させて行うが、プラスチツクの内部を光が伝達するに
当り、光が吸収あるいは散乱されることによつて光の減
衰を強めるような要因を最小にすることが重要である。
光回路部品においては現状の光フアイバ通信に用いられ
ている光の波長が1300nm〜1600nmの近赤外光を
用いていることから、プラスチツクを用いる場合その領
域における低損失化はより切実である。
プラスチツクの光伝送損失の最も大きな要因はプラスチ
ツクを構成する炭素−水素間の赤外振動吸収の高調波で
ある。そこで、この炭素−水素結合に起因する高調波を
小さくまた長波長シフトさせるために、プラスチツク構
造中の水素をフツ素等のハロゲン原子や重水素に置換す
ることが提案されている。例えばフツ素に置換したプラ
スチツクとしてはエステル側鎖の水素の一部をフツ素置
換したポリメタクリレート (式中、m、lは正の整数) がPMMAより低損失となることが示された(例えば戒能俊
邦、高分子論文集、第42巻、1985年、第257−
264頁、高分子学会 参照)。しかしながらまだエス
テル側鎖あるいは主鎖のメチル基に炭素−水素結合が残
つているために低損失化は充分ではない。エステル側鎖
の水素をすべて重水素置換あるいはフツ素置換すること
は低損失化に有用と考えられる。しかしながら重水素置
換は水素交換反応が起りやすく、またフツ素置換は原料
アルコールの安定性が悪いため、それぞれモノマーを得
ることは非常に困難であつた。また、コア材料として用
いられる重水素化ポリメチルメタクリレート はポリメチルメタクリレートに比べると低損失化が図れ
るが、小さいながらもC−D結合に起因する高調波吸収
があり、光集積回路のように1300〜1600nm付近
の光を用いる場合、損失が無視できない。更にポリスチ
レン等に比べ吸湿性が高く、2%程度の飽和吸湿率を持
つ。したがつて湿度が高い環境では、水のOHの振動吸
収が光損失に影響を与える。OH振動吸収の高調波によ
つて、特に近赤外域の光伝送損失は低下する〔例えば戒
能俊邦、ポリマー プリプリンツ、ジヤパン(polymer
preprints、Japan)、第32巻、第4号、1983年、
第2525頁 参照〕。
ツクを構成する炭素−水素間の赤外振動吸収の高調波で
ある。そこで、この炭素−水素結合に起因する高調波を
小さくまた長波長シフトさせるために、プラスチツク構
造中の水素をフツ素等のハロゲン原子や重水素に置換す
ることが提案されている。例えばフツ素に置換したプラ
スチツクとしてはエステル側鎖の水素の一部をフツ素置
換したポリメタクリレート (式中、m、lは正の整数) がPMMAより低損失となることが示された(例えば戒能俊
邦、高分子論文集、第42巻、1985年、第257−
264頁、高分子学会 参照)。しかしながらまだエス
テル側鎖あるいは主鎖のメチル基に炭素−水素結合が残
つているために低損失化は充分ではない。エステル側鎖
の水素をすべて重水素置換あるいはフツ素置換すること
は低損失化に有用と考えられる。しかしながら重水素置
換は水素交換反応が起りやすく、またフツ素置換は原料
アルコールの安定性が悪いため、それぞれモノマーを得
ることは非常に困難であつた。また、コア材料として用
いられる重水素化ポリメチルメタクリレート はポリメチルメタクリレートに比べると低損失化が図れ
るが、小さいながらもC−D結合に起因する高調波吸収
があり、光集積回路のように1300〜1600nm付近
の光を用いる場合、損失が無視できない。更にポリスチ
レン等に比べ吸湿性が高く、2%程度の飽和吸湿率を持
つ。したがつて湿度が高い環境では、水のOHの振動吸
収が光損失に影響を与える。OH振動吸収の高調波によ
つて、特に近赤外域の光伝送損失は低下する〔例えば戒
能俊邦、ポリマー プリプリンツ、ジヤパン(polymer
preprints、Japan)、第32巻、第4号、1983年、
第2525頁 参照〕。
すなわち使用環境条件の湿度変化により光伝送損失が変
動するといつた問題があつた。
動するといつた問題があつた。
本発明はこのような現状にかんがみてなされたものであ
り、その目的は可視光〜近赤外光域にわたり低損失であ
り、吸湿に伴うOH振動吸収の影響の少ないプラスチツ
ク光学材料あるいは高感度のレジスト材料、またはつ水
材等の表面処理剤、酸素富化膜等の機能膜として使用可
能なハロゲン及び重水素を含むポリ(メタ)アクリレー
トを提供することにある。
り、その目的は可視光〜近赤外光域にわたり低損失であ
り、吸湿に伴うOH振動吸収の影響の少ないプラスチツ
ク光学材料あるいは高感度のレジスト材料、またはつ水
材等の表面処理剤、酸素富化膜等の機能膜として使用可
能なハロゲン及び重水素を含むポリ(メタ)アクリレー
トを提供することにある。
本発明を概説すれば、本発明の第1の発明は(メタ)ア
クリレートに関する発明であつて、下記一般式I: 〔式中R1はD、CD3又はハロゲン、R2及びR3は同一又は
異なり、CF3又はCF2Clを示す〕で表わされることを特徴
とする。
クリレートに関する発明であつて、下記一般式I: 〔式中R1はD、CD3又はハロゲン、R2及びR3は同一又は
異なり、CF3又はCF2Clを示す〕で表わされることを特徴
とする。
本発明の第2の発明は、ポリ(メタ)アクリレートの製
造方法に関する発明であつて、第1の発明の(メタ)ア
クリレートを重合させて、下記一般式II: 〔式中R1、R2及びR3は式Iと同義である〕で表わされる
繰返し単位を有するポリ(メタ)アクリレートを得るこ
とを特徴とする。
造方法に関する発明であつて、第1の発明の(メタ)ア
クリレートを重合させて、下記一般式II: 〔式中R1、R2及びR3は式Iと同義である〕で表わされる
繰返し単位を有するポリ(メタ)アクリレートを得るこ
とを特徴とする。
そして、本発明の第3の発明は(メタ)アクリレート共
重合体の製造方法に関する発明であつて、第1の発明の
(メタ)アクリレートと、下記式III: で表わされるパー重水素化メチルメタクリレートとを共
重合させて、相当する共重合体を得ることを特徴とす
る。
重合体の製造方法に関する発明であつて、第1の発明の
(メタ)アクリレートと、下記式III: で表わされるパー重水素化メチルメタクリレートとを共
重合させて、相当する共重合体を得ることを特徴とす
る。
従来は前述の通り のようにエステル側鎖の一部がフツ素置換されたポリメ
タクリレートがフアイバ用材料として提案されている
が、これらの発明では残存するC−H結合の影響が大き
く、低損失化は図りえない点が大きく異なつている。
タクリレートがフアイバ用材料として提案されている
が、これらの発明では残存するC−H結合の影響が大き
く、低損失化は図りえない点が大きく異なつている。
本発明における光学材料は前記一般式IIで示される繰返
し単位を有するポリマーを用いることを本質とする。ポ
リメタクリレートのエステル側鎖の水素をハロゲン化す
ることによりC−Hに起因する高調波吸収を小さく、か
つ長波長シフトさせることにより低損失の光学材料を得
ることができる。しかし光損失を極めて低くするために
は主鎖及びメチル基にC−H結合が残つているのはまだ
不十分であり、本発明のように残存水素がハロゲン化あ
るいは重水素化されていることが好ましい。またエステ
ル側鎖あるいは主鎖のハロゲン化によりポリマーの吸湿
性は大幅に低下し吸湿に基づくO−H振動吸収強度は極
めて小さくなる。PMMA系のポリマーが吸湿性が大きいた
めに吸、脱湿によつてOH基に基づく吸収強度が大きく
変動し、安定した導光特性が得られなかつたのに比べ、
本発明は極めて安定した光特性を維持しうるという特徴
がある。
し単位を有するポリマーを用いることを本質とする。ポ
リメタクリレートのエステル側鎖の水素をハロゲン化す
ることによりC−Hに起因する高調波吸収を小さく、か
つ長波長シフトさせることにより低損失の光学材料を得
ることができる。しかし光損失を極めて低くするために
は主鎖及びメチル基にC−H結合が残つているのはまだ
不十分であり、本発明のように残存水素がハロゲン化あ
るいは重水素化されていることが好ましい。またエステ
ル側鎖あるいは主鎖のハロゲン化によりポリマーの吸湿
性は大幅に低下し吸湿に基づくO−H振動吸収強度は極
めて小さくなる。PMMA系のポリマーが吸湿性が大きいた
めに吸、脱湿によつてOH基に基づく吸収強度が大きく
変動し、安定した導光特性が得られなかつたのに比べ、
本発明は極めて安定した光特性を維持しうるという特徴
がある。
本発明によるポリマーの製造は、一般式Iで表わされる
モノマーを、単独重合、あるいは式IIIで表わされるモ
ノマーと共重合させることにより行われる。
モノマーを、単独重合、あるいは式IIIで表わされるモ
ノマーと共重合させることにより行われる。
式IIIで表わされるモノマーの使用量は、前記一般式II
で表わされる繰返し単位を有するポリマーの特性を損わ
ない範囲であれば特に制限はないが、一般的には50モ
ル%より少ない量、更には20モル%より少ない量であ
ることが望ましい。
で表わされる繰返し単位を有するポリマーの特性を損わ
ない範囲であれば特に制限はないが、一般的には50モ
ル%より少ない量、更には20モル%より少ない量であ
ることが望ましい。
本発明におけるポリマーの製造法は、一般的なビニルモ
ノマーのラジカル重合法、例えば塊状重合、溶液重合、
懸濁重合、及び乳化重合が挙げられるが、高純度の重合
体を得るためには塊状重合法が好ましい。重合開始剤と
しては通常のものを使用でき、具体例としては、例えば
ジ−tert−ブチルペルオキシド、ジクミルペルオキシ
ド、メチルエチルケトンペルオキシド、tert−ブチルペ
ルベンゾエート、メチルイソブチルケトンペルオキシ
ド、ラウロイルペルオキシド、シクロヘキシルペルオキ
シド、2,5−ジメチル−2,5−ジtert−ブチルペルオキシ
ヘキサン、tert−ブチルペルオクタノエート、tert−ブ
チルペルイソブチレート、tert−ブチルペルオキシイソ
プロピルカーボネート等の有機過酸化物や、ジメチル2,
2′−アゾビスイソブチレート、1,1′−アゾビスシクロ
ヘキサンカルボニトリル、2−フエニルアゾ−2,4−ジ
メチル−4−メトキシバレロニトリル、2−カルバモイ
ル−アゾビスイソブチロニトリル、2,2′−アゾビス
(2,4−ジブチルバレロニトリル)、2,2′−アゾビスイ
ソブチロニトリル等のアゾ化合物が挙げられる。また高
分子転換率を高め、加工しやすい形状とするために分子
量を適当に制御する必要があるが、通常重合度調整剤と
して使用するアルキルメルカプタンを使用できる。
ノマーのラジカル重合法、例えば塊状重合、溶液重合、
懸濁重合、及び乳化重合が挙げられるが、高純度の重合
体を得るためには塊状重合法が好ましい。重合開始剤と
しては通常のものを使用でき、具体例としては、例えば
ジ−tert−ブチルペルオキシド、ジクミルペルオキシ
ド、メチルエチルケトンペルオキシド、tert−ブチルペ
ルベンゾエート、メチルイソブチルケトンペルオキシ
ド、ラウロイルペルオキシド、シクロヘキシルペルオキ
シド、2,5−ジメチル−2,5−ジtert−ブチルペルオキシ
ヘキサン、tert−ブチルペルオクタノエート、tert−ブ
チルペルイソブチレート、tert−ブチルペルオキシイソ
プロピルカーボネート等の有機過酸化物や、ジメチル2,
2′−アゾビスイソブチレート、1,1′−アゾビスシクロ
ヘキサンカルボニトリル、2−フエニルアゾ−2,4−ジ
メチル−4−メトキシバレロニトリル、2−カルバモイ
ル−アゾビスイソブチロニトリル、2,2′−アゾビス
(2,4−ジブチルバレロニトリル)、2,2′−アゾビスイ
ソブチロニトリル等のアゾ化合物が挙げられる。また高
分子転換率を高め、加工しやすい形状とするために分子
量を適当に制御する必要があるが、通常重合度調整剤と
して使用するアルキルメルカプタンを使用できる。
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。
発明はこれら実施例に限定されるものではない。
モノマー製造例1 ヘプタフルオロイソプロピルメタクリレート−d5の合
成 脱水した7.3gのフツ化カリウムを100mの脱水ア
セトンと共にフラスコ中にいれる。これに21gのヘキ
サフルオロアセトンを滴下し、付加生成物をつくる。次
に溶液を45℃に冷却し、デユーテロメタクリルクロラ
イド−d5 13gを滴下する。液温は5〜10℃に保
つて1.5時間反応させる。反応後、液を150mの氷
水に注ぎ、下層に分離した液を水洗し15gの粗製物を
得た。これを蒸留して沸点101〜101.5℃の生成物
を得た。得たモノマーの屈折率nD 25は1.32であつ
た。赤外線吸収スペクトルにおいて1600cm-1にC=
C,1800cm-1付近にC=O,C−Fの伸縮振動、ま
た2100cm-1付近にC−Dの伸縮振動が見られる。プ
ロトンNMRで残存Hが0.1%以下であることを確かめ
た。
成 脱水した7.3gのフツ化カリウムを100mの脱水ア
セトンと共にフラスコ中にいれる。これに21gのヘキ
サフルオロアセトンを滴下し、付加生成物をつくる。次
に溶液を45℃に冷却し、デユーテロメタクリルクロラ
イド−d5 13gを滴下する。液温は5〜10℃に保
つて1.5時間反応させる。反応後、液を150mの氷
水に注ぎ、下層に分離した液を水洗し15gの粗製物を
得た。これを蒸留して沸点101〜101.5℃の生成物
を得た。得たモノマーの屈折率nD 25は1.32であつ
た。赤外線吸収スペクトルにおいて1600cm-1にC=
C,1800cm-1付近にC=O,C−Fの伸縮振動、ま
た2100cm-1付近にC−Dの伸縮振動が見られる。プ
ロトンNMRで残存Hが0.1%以下であることを確かめ
た。
モノマー製造例2 ヘプタフルオロイソプロピルアクリレート−d3の合成 モノマー製造例1においてデュ−テロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデュ−テロアクリルクロライド−d
3を滴下すること以外は同様な方法で標記モノマーを得
た。モノマーの沸点は86℃であつた。
イド−d5の代りにデュ−テロアクリルクロライド−d
3を滴下すること以外は同様な方法で標記モノマーを得
た。モノマーの沸点は86℃であつた。
モノマー製造例3 β,β′−ジクロロペンタフルオロイソプロピルメタク
リレート−d5 モノマー製造例1においてフツ化カリウムの代りにフツ
化セシウムを、またヘキサフルオロアセトンの代りに1,
3−ジクロロテトラフルオロアセトンを滴下すること以
外は同様な方法で標記モノマーを得た。モノマーの沸点
は162℃であつた。
リレート−d5 モノマー製造例1においてフツ化カリウムの代りにフツ
化セシウムを、またヘキサフルオロアセトンの代りに1,
3−ジクロロテトラフルオロアセトンを滴下すること以
外は同様な方法で標記モノマーを得た。モノマーの沸点
は162℃であつた。
モノマー製造例4 β,β′−ジクロロペンタフルオロイソプロピルアクリ
レート−d3 モノマー製造例3においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロアクリルクロライド−d
3を滴下すること以外は同様な方法で標記モノマーを得
た。モノマーの沸点は148℃であつた。
レート−d3 モノマー製造例3においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロアクリルクロライド−d
3を滴下すること以外は同様な方法で標記モノマーを得
た。モノマーの沸点は148℃であつた。
モノマー製造例5 モノクロロヘキサフルオロイソプロピルメタクリレート
−d5 モノマー製造例1においてフツ化カリウムの代りにフツ
化セシウムを、またヘキサフルオロアセトンの代りにモ
ノクロロペンタフルオロアセトンを滴下すること以外は
同様な方法で標記モノマーを得た。モノマーの沸点は1
32℃であつた。
−d5 モノマー製造例1においてフツ化カリウムの代りにフツ
化セシウムを、またヘキサフルオロアセトンの代りにモ
ノクロロペンタフルオロアセトンを滴下すること以外は
同様な方法で標記モノマーを得た。モノマーの沸点は1
32℃であつた。
モノマー製造例6 モノクロロヘキサフルオロイソプロピルアクリレート−
d3 モノマー製造例5においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロアクリルクロライド−d
3を滴下すること以外は同様な方法で標記モノマーを得
た。モノマーの沸点は118℃であつた。
d3 モノマー製造例5においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロアクリルクロライド−d
3を滴下すること以外は同様な方法で標記モノマーを得
た。モノマーの沸点は118℃であつた。
モノマー製造例7 ヘプタフルオロイソプロピル−α−フルオロアクリレー
ト−d2 モノマー製造例1においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロ−α−フルオロアクリル
クロライド−d2を滴下すること以外は同様な方法で標
記モノマーを得た。
ト−d2 モノマー製造例1においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロ−α−フルオロアクリル
クロライド−d2を滴下すること以外は同様な方法で標
記モノマーを得た。
モノマー製造例8 β,β′−ジクロロペンタフルオロイソプロピル−α−
フルオロアクリレート−d2 モノマー製造例3においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロ−α−フルオロアクリル
クロライド−d2を滴下すること以外は同様な方法で標
記モノマーを得た。
フルオロアクリレート−d2 モノマー製造例3においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロ−α−フルオロアクリル
クロライド−d2を滴下すること以外は同様な方法で標
記モノマーを得た。
モノマー製造例9 モノクロロヘキサフルオロイソプロピル−α−フルオロ
アクリレート−d2 モノマー製造例5においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロ−α−フルオロアクリル
クロライド−d2を滴下すること以外は同様な方法で標
記モノマーを得た。
アクリレート−d2 モノマー製造例5においてデユーテロメタクリルクロラ
イド−d5の代りにデユーテロ−α−フルオロアクリル
クロライド−d2を滴下すること以外は同様な方法で標
記モノマーを得た。
ポリマー製造例1 内容約20mのガラスアンプルにモノマー製造例1で
得られたヘプタフルオロイソプロピルメタクリレート−
d5と重合開始剤として2,2′−アゾビスイソブチロニ
トリル(AIBN)0.005mol/をいれた。このア
ンプルを液体窒素で冷却し、高真空に保ちつつ融氷操作
を数回繰返したのち溶封した。次に80℃で20時間バ
ルク重合を行い、重合を完結させて棒状の重合体を得
た。
得られたヘプタフルオロイソプロピルメタクリレート−
d5と重合開始剤として2,2′−アゾビスイソブチロニ
トリル(AIBN)0.005mol/をいれた。このア
ンプルを液体窒素で冷却し、高真空に保ちつつ融氷操作
を数回繰返したのち溶封した。次に80℃で20時間バ
ルク重合を行い、重合を完結させて棒状の重合体を得
た。
ポリマー製造例2 1,3−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン5mにモ
ノマー製造例1で得られたヘプタフルオロイソプロピル
メタクリレート−d5の5mと重合開始剤としてAIBN
0.005mol/を溶かし反応器に入れた。反応系を密
閉し85℃で14時間反応させた。次に反応液を100
mのメタノールに注ぎ込み重合体を得た。更に1,2,2
−トリクロロトリフロオロエタンに溶解し、メタノール
で再沈殿することによりポリマーの精製を行つた。赤外
線吸収スペクトルにおいて1600cm-1にあつたモノマ
ーのC=C吸収が消失し、1800cm-1付近にC=O、
C−Fの伸縮振動、また2100cm-1付近にC−Dの伸
縮振動が見られる。プロトンNMRで残存Hが0.1%以
下であることを確かめた。ポリマーの屈折率はnD 25=1.
37であつた。また、重合体の分子量はMw=3×105
であつた。
ノマー製造例1で得られたヘプタフルオロイソプロピル
メタクリレート−d5の5mと重合開始剤としてAIBN
0.005mol/を溶かし反応器に入れた。反応系を密
閉し85℃で14時間反応させた。次に反応液を100
mのメタノールに注ぎ込み重合体を得た。更に1,2,2
−トリクロロトリフロオロエタンに溶解し、メタノール
で再沈殿することによりポリマーの精製を行つた。赤外
線吸収スペクトルにおいて1600cm-1にあつたモノマ
ーのC=C吸収が消失し、1800cm-1付近にC=O、
C−Fの伸縮振動、また2100cm-1付近にC−Dの伸
縮振動が見られる。プロトンNMRで残存Hが0.1%以
下であることを確かめた。ポリマーの屈折率はnD 25=1.
37であつた。また、重合体の分子量はMw=3×105
であつた。
ポリマー製造例3 内容約20mのガラスアンプルにモノマー製造例1で
得られたヘプタフルオロイソプロピルメタクリレート−
d5の20モル%及びメチルメタクリレートの水素をす
べて重水素に置換したパーデユーテロメチルメタクリレ
ート80モル%のモノマー混合物に重合開始剤としてAI
BN 0.005mol/をいれた。このアンプルを液体窒素で
冷却し、高真空に保ちつつ融氷操作を数回繰返したのち
溶封した。次に80℃で20時間バルク重合を行い、重
合を完結させて棒状の重合体を得た。
得られたヘプタフルオロイソプロピルメタクリレート−
d5の20モル%及びメチルメタクリレートの水素をす
べて重水素に置換したパーデユーテロメチルメタクリレ
ート80モル%のモノマー混合物に重合開始剤としてAI
BN 0.005mol/をいれた。このアンプルを液体窒素で
冷却し、高真空に保ちつつ融氷操作を数回繰返したのち
溶封した。次に80℃で20時間バルク重合を行い、重
合を完結させて棒状の重合体を得た。
ポリマー製造例4 1,3−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン5mにモ
ノマー製造例1で得られたヘブタフルオロイソプロピル
メタクリレート−d5の20モル%及びメチルメタクリ
レートの水素をすべて重水素に置換したパーデユーテロ
メチルメタクリレート80モル%のモノマー混合物5m
と重合開始剤としてAIBN 0.005mol/を溶かし反応
器に入れた。反応系を密閉し85℃で10時間反応させ
た。更に反応液を100mのメタノールに注ぎ込み重
合体を得た。更に1,2,2−トリクロロトリフロオロエタ
ンに溶解し、メタノールで再沈殿することによりポリマ
ーの精製を行つた。ポリマーの屈折率はnD 25=1.46
であつた。また、重合体の分子量はMw=2×105であ
つた。
ノマー製造例1で得られたヘブタフルオロイソプロピル
メタクリレート−d5の20モル%及びメチルメタクリ
レートの水素をすべて重水素に置換したパーデユーテロ
メチルメタクリレート80モル%のモノマー混合物5m
と重合開始剤としてAIBN 0.005mol/を溶かし反応
器に入れた。反応系を密閉し85℃で10時間反応させ
た。更に反応液を100mのメタノールに注ぎ込み重
合体を得た。更に1,2,2−トリクロロトリフロオロエタ
ンに溶解し、メタノールで再沈殿することによりポリマ
ーの精製を行つた。ポリマーの屈折率はnD 25=1.46
であつた。また、重合体の分子量はMw=2×105であ
つた。
同様な方法によりモノマー製造例に挙げたモノマーを用
いて重合体を得ることができた。
いて重合体を得ることができた。
実施例1 ポリマー製造例1で得た棒状重合体の両端を光学研磨し
分光器で近赤外〜可視光域での吸収を測定した。その結
果660、850、1300、及び1550nmにおける
オプテイカルデンシテイ(OD)はそれぞれ0.008、
0.004、0.003及び0.033(cm-1)であり、極め
て高い透光性を示した。同様にして他のポリマーについ
ても吸収を測定した。表1にその結果をまとめた。
分光器で近赤外〜可視光域での吸収を測定した。その結
果660、850、1300、及び1550nmにおける
オプテイカルデンシテイ(OD)はそれぞれ0.008、
0.004、0.003及び0.033(cm-1)であり、極め
て高い透光性を示した。同様にして他のポリマーについ
ても吸収を測定した。表1にその結果をまとめた。
実施例2 ポリマー製造例4で得たポリマーをコア部分、ポリマー
製造例2で得たポリマーをクラツド成分とする導波路を
作製した。
製造例2で得たポリマーをクラツド成分とする導波路を
作製した。
前述の2種のポリマーを1,3−ビス(トリフルオロメチ
ル)ベンゼンに溶かし溶液とした。まずクラツド成分ポ
リマーをシリコン基板上に約20μmの厚さに塗布し
た。ベーク、乾燥処理後クラツド成分ポリマー上にコア
成分ポリマーを約8μmの厚さに塗布した。次にホトリ
ソグラフイ、ドライエツチングによりコア成分ポリマー
を長さ50mm、幅8μm、高さ8μmの直線矩形パタン
に加工した。加工後クラツド成分をコア成分ポリマー上
に塗布し導波路を得た。波長1300nmの光を導波路の
一端から照射し、他端から出てくる光量を測定すること
により導波路の損失を計算した。この導波路の損失は0.
1dB/cmであり充分に種々の光回路に供しうると考えら
れる。
ル)ベンゼンに溶かし溶液とした。まずクラツド成分ポ
リマーをシリコン基板上に約20μmの厚さに塗布し
た。ベーク、乾燥処理後クラツド成分ポリマー上にコア
成分ポリマーを約8μmの厚さに塗布した。次にホトリ
ソグラフイ、ドライエツチングによりコア成分ポリマー
を長さ50mm、幅8μm、高さ8μmの直線矩形パタン
に加工した。加工後クラツド成分をコア成分ポリマー上
に塗布し導波路を得た。波長1300nmの光を導波路の
一端から照射し、他端から出てくる光量を測定すること
により導波路の損失を計算した。この導波路の損失は0.
1dB/cmであり充分に種々の光回路に供しうると考えら
れる。
実施例3 コア成分としてポリマー製造例3で得たポリマーをまた
クラツド成分としてポリマー製造例1で得たポリマーを
用いて光フアイバを作製した。コア成分重合体を加熱し
つつ押出機にてフアイバ化し、これを溶融化したクラツ
ド成分重合体中に通すことによりコーテイングを行つ
た。この工程を経てコア直径0.75mmクラツド膜厚0.0
5mmの光フアイバを得た。このフアイバは波長650nm
で80dB/km、850nmで50nm/km以下の低損失窓が
観察された。このプラスチツク光フアイバを60℃、9
0%RHの条件下で2昼夜静置してから取出し、光伝送
特性を測定した。吸湿に基づく損失増は850nmで50
dB/km以下であつた。同じ条件下でパーデユ−テロポリ
メチルメタクリレートの吸湿に基づく損失増は300dB
/km以上であり大幅に改善された。
クラツド成分としてポリマー製造例1で得たポリマーを
用いて光フアイバを作製した。コア成分重合体を加熱し
つつ押出機にてフアイバ化し、これを溶融化したクラツ
ド成分重合体中に通すことによりコーテイングを行つ
た。この工程を経てコア直径0.75mmクラツド膜厚0.0
5mmの光フアイバを得た。このフアイバは波長650nm
で80dB/km、850nmで50nm/km以下の低損失窓が
観察された。このプラスチツク光フアイバを60℃、9
0%RHの条件下で2昼夜静置してから取出し、光伝送
特性を測定した。吸湿に基づく損失増は850nmで50
dB/km以下であつた。同じ条件下でパーデユ−テロポリ
メチルメタクリレートの吸湿に基づく損失増は300dB
/km以上であり大幅に改善された。
実施例4 ポリマー製造例2で得たポリマーを電子線照射を行いレ
ジスト特性を調べた。前述のポリマーを1,3−ビス(ト
リフルオロメチル)ベンゼンに溶かし溶液とした。次に
ポリマーをシリコン基板上に約0.5μmの厚さに塗布し
た。120℃、20分間窒素気流中プリベークを行い、
加速電圧20kVの電子線照射を行つた。照射後ウエハを
イソプロピルアルコールで現像した。この時、照射部分
の膜厚が0となる電子線照射量は0.8μC/cm2であつ
た。これは実用上充分な感度であり、また解像性も1.0
μm以下の高いものであつた。
ジスト特性を調べた。前述のポリマーを1,3−ビス(ト
リフルオロメチル)ベンゼンに溶かし溶液とした。次に
ポリマーをシリコン基板上に約0.5μmの厚さに塗布し
た。120℃、20分間窒素気流中プリベークを行い、
加速電圧20kVの電子線照射を行つた。照射後ウエハを
イソプロピルアルコールで現像した。この時、照射部分
の膜厚が0となる電子線照射量は0.8μC/cm2であつ
た。これは実用上充分な感度であり、また解像性も1.0
μm以下の高いものであつた。
また実施例2のような構成の導波路をレジスト、ドライ
エツチングを用いずに直接電子線リソグラフイを用いて
作製し、低損失であることを確認した。
エツチングを用いずに直接電子線リソグラフイを用いて
作製し、低損失であることを確認した。
以上説明したように、本発明によるプラスチツク光学材
料は、従来のものに比べ、可視〜近赤外光域において極
めて優れた光伝送特性を有すると共に、高温多湿条件下
にさらされても損失増が著るしく少ない。そのため、近
赤外光域における光集積回路用材料、可視光域あるいは
近赤外光域用光源を用いる。数100mの距離間の光信
号伝送媒体として安定して使用しうるという利点があ
る。また従来光フアイバ通信に用いられている650〜
1600nmの波長域におて低損失であるので、多成分系
ガラス及び石英系光フアイバと光/電気、電気/光変換
なしに接続使用できる。すなわちこれらの光学材料を使
つて作製した光部品により、経済性に優れたローカルエ
リアネツトワークなどの光信号伝送システムを構成でき
る利点がある。
料は、従来のものに比べ、可視〜近赤外光域において極
めて優れた光伝送特性を有すると共に、高温多湿条件下
にさらされても損失増が著るしく少ない。そのため、近
赤外光域における光集積回路用材料、可視光域あるいは
近赤外光域用光源を用いる。数100mの距離間の光信
号伝送媒体として安定して使用しうるという利点があ
る。また従来光フアイバ通信に用いられている650〜
1600nmの波長域におて低損失であるので、多成分系
ガラス及び石英系光フアイバと光/電気、電気/光変換
なしに接続使用できる。すなわちこれらの光学材料を使
つて作製した光部品により、経済性に優れたローカルエ
リアネツトワークなどの光信号伝送システムを構成でき
る利点がある。
また本発明のポリ(メタ)アクリレートは、エステル側
鎖水素のフツ素置換により電子線照射部分の溶解性がPM
MAに比べて大きく向上し、その結果として2桁以上の感
度の向上を図ることができる利点を持つ。更にフツ素導
入によりはつ油はつ水性、気体選択性が付与されてお
り、はつ水材等の表面処理剤、酸素富化膜等の機能膜と
して使用できる利点がある。
鎖水素のフツ素置換により電子線照射部分の溶解性がPM
MAに比べて大きく向上し、その結果として2桁以上の感
度の向上を図ることができる利点を持つ。更にフツ素導
入によりはつ油はつ水性、気体選択性が付与されてお
り、はつ水材等の表面処理剤、酸素富化膜等の機能膜と
して使用できる利点がある。
Claims (3)
- 【請求項1】下記一般式I: 〔式中R1はD、CD3又はハロゲン、R2及びR3は同一又は
異なり、CF3又はCF2Clを示す〕で表わされることを特
徴とする(メタ)アクリレート。 - 【請求項2】請求項1に記載の(メタ)アクリレートを
重合させて、下記一般式II: 〔式中R1、R2及びR3は式Iと同義である〕で表わされる
繰返し単位を有するポリ(メタ)アクリレートを得るこ
とを特徴とするポリ(メタ)アクリレートの製造方法。 - 【請求項3】請求項1に記載の(メタ)アクリレート
と、下記式III: で表わされるパー重水素化メチルメタクリレートとを共
重合させて、相当する共重合体を得ることを特徴とする
(メタ)アクリレート共重合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63243987A JPH0643464B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | (メタ)アクリレート及びそれを用いる(共)重合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63243987A JPH0643464B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | (メタ)アクリレート及びそれを用いる(共)重合体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0292908A JPH0292908A (ja) | 1990-04-03 |
JPH0643464B2 true JPH0643464B2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=17112026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63243987A Expired - Lifetime JPH0643464B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | (メタ)アクリレート及びそれを用いる(共)重合体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0643464B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9400016D0 (en) * | 1994-01-04 | 1994-03-02 | Minnesota Mining & Mfg | 2-Fluoroacrylate ester polymers and use thereof as optical materials |
JP4655170B2 (ja) * | 2000-01-24 | 2011-03-23 | Dic株式会社 | フルオロアルキル置換(メタ)アクリレートの精製方法およびフッ素系界面活性剤 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0610683B2 (ja) * | 1984-06-08 | 1994-02-09 | 日本電信電話株式会社 | プラスチツク光フアイバ |
JPH0680441B2 (ja) * | 1984-07-10 | 1994-10-12 | 和光純薬工業株式会社 | 導波路のコア用ポリマーの単量体 |
JPS63115106A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-19 | Toray Ind Inc | プラスチツク光フアイバ− |
JPS63182606A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-27 | Fujikura Ltd | プラスチツクオプテイカルフアイバ− |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP63243987A patent/JPH0643464B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0292908A (ja) | 1990-04-03 |
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