JPH0642504B2 - Inner lead bonder - Google Patents
Inner lead bonderInfo
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- JPH0642504B2 JPH0642504B2 JP1154200A JP15420089A JPH0642504B2 JP H0642504 B2 JPH0642504 B2 JP H0642504B2 JP 1154200 A JP1154200 A JP 1154200A JP 15420089 A JP15420089 A JP 15420089A JP H0642504 B2 JPH0642504 B2 JP H0642504B2
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- tape
- carrier tape
- bonding
- carrier
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、キャリアテープのインナーリードをチップの
端子にボンデイングするインナーリードボンダーに関す
るものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an inner lead bonder for bonding inner leads of a carrier tape to terminals of a chip.
［従来の技術］ 従来、キャリアテープのインナーリードをチップの端子
にボンデイングするインナーリードボンダーは公知であ
る。[Prior Art] Conventionally, an inner lead bonder for bonding an inner lead of a carrier tape to a terminal of a chip is known.
例えば、特開昭５８−１６５３３５号公報においては、
ボンデイングステージ上に載置されてボンデイング位置
に位置決めされるチップの上方からキャリアテープのイ
ンナーリードをボンデイングツールで押し付け、インナ
ーリードをチップの端子にボンデイングせしめるボンデ
イング装置と、供給リールを回転させてキャリアテープ
を送り出すテープ供給装置との間に、テープテンション
装置を配設すると共にボンデイング装置と、巻取リール
を回転させてボンデイングを終えたキャリアテープを巻
き取るテープ巻取装置との間にも、テープテンション装
置を配設したインナーリードボンダーが開示されてい
る。For example, in JP-A-58-165335,
It is placed on the bonding stage and positioned at the bonding position.The inner lead of the carrier tape is pressed with a bonding tool from above the chip, and the bonding device that bonds the inner lead to the chip terminal and the carrier tape by rotating the supply reel. The tape tension device is provided between the tape feeding device and the tape feeding device that feeds the tape, and the tape tension is also provided between the bonding device and the tape winding device that winds the carrier tape that has finished bonding by rotating the winding reel. An inner lead bonder having a device is disclosed.
［発明が解決しようとする課題］ しかし、このボンダーは、キャリアテープを間歇移送し
てボンデイング位置にキャリアテープのインナーリード
を位置決めさせるテープ移送装置を、キャリアテープの
幅方向両端部にテープの全長にわたって一定ピッチに穿
設されている矩形穴に、駆動回転されるスプロケットホ
イールの爪を次々と係合させてキャリアテープを移送す
る所謂、スプロケットホイール方式に構成している為、
その移送中において、両テープテンション装置によって
所定の張力が付与せしめられているキャリアテープの矩
形穴部分に不必要若しくは過大な力が作用し、これに起
因してキャリアテープが変形、損傷あるいは伸長等した
りしてインナーリードをボンデイング位置に正確に位置
決めすることができなくなるといった欠点を有してい
た。[Problems to be Solved by the Invention] However, this bonder has a tape transfer device for intermittently transferring the carrier tape to position the inner leads of the carrier tape at the bonding position over the entire length of the tape at both ends in the width direction of the carrier tape. Since the rectangular holes formed at a constant pitch are engaged with the claws of the sprocket wheel that is driven and rotated one after another to transfer the carrier tape, a so-called sprocket wheel system is configured.
During the transfer, unnecessary or excessive force acts on the rectangular hole part of the carrier tape to which a predetermined tension is applied by both tape tension devices, which causes deformation, damage or extension of the carrier tape. Therefore, there is a drawback that the inner lead cannot be accurately positioned at the bonding position.
そこで、この欠点を解消する為に、かかるテープテンシ
ョン装置に代えて、例えば、特開昭６１−１０８１４４
号公報において開示されているように、キャリアテープ
の送り出し及び巻き取りに際し、キャリアテープをＵ字
状に懸垂せしめて一定長さを貯留するように供給リール
及び巻取リールを所定に回転制御すること等が行われる
ようになった。Therefore, in order to eliminate this drawback, instead of such a tape tension device, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 61-108144.
As disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. JP-A-2004-242242, when the carrier tape is sent out and wound up, the supply reel and the take-up reel are rotationally controlled in a predetermined manner so that the carrier tape is suspended in a U-shape to store a certain length. And so on.
しかし、この方法は、供給リールを介してのキャリアテ
ープの送り出し長さ（又は、巻取リール介してのキャリ
アテープの巻き取り長さ）と、テープ移送装置を介して
のキャリアテープの移送長さとのバランスが崩れると、
一定長さの懸垂貯留が困難となり、過大に懸垂せしめら
れて貯留された場合においては、キャリアテープが、そ
の周辺の部材に接触して損傷する恐れがあると共に、過
小に懸垂せしめられて貯留された場合においては、テー
プ移送装置によるキャリアテープの移送時に（又は、巻
取リール介してのキャリアテープの巻き取り時に）、か
かるテープに過大な張力を付与させる恐れがある。However, this method is not limited to the delivery length of the carrier tape via the supply reel (or the winding length of the carrier tape via the take-up reel) and the transport length of the carrier tape via the tape transport device. When the balance of
If it becomes difficult to store the suspension for a certain length and the suspension is stored by suspending it excessively, the carrier tape may come into contact with the surrounding members and be damaged, and the storage may be suspended too small and stored. In this case, when the carrier tape is transferred by the tape transfer device (or when the carrier tape is wound on the take-up reel), excessive tension may be applied to the tape.
その為、キャリアテープの送り出し又は巻き取りにより
変化する、供給リール又は巻取リールのテープ巻径を考
慮して回転数を決定し、それに基づいて所定長さを送り
出し又は巻き取るといったことの制御が必要とされ、従
って、供給リール及び巻取リールの回転制御を煩雑高度
化しなければならないといった欠点を有していた。Therefore, it is possible to control the number of revolutions that is changed in consideration of the tape winding diameter of the supply reel or the take-up reel, which changes depending on the feeding or winding of the carrier tape, and the feeding or winding of a predetermined length based on that. Therefore, there is a drawback in that the rotation control of the supply reel and the take-up reel must be complicated and sophisticated.
本発明は、このようなことに着目し、これを解決すべく
鋭意検討の結果、Ｕ字状に懸垂せしめられるキャリアテ
ープの下端下限位置及び下端上限位置を検出する一対の
テープ検出器を装着し、これらの検出器による検出の有
無に基づいて供給リール及び巻取リールを間歇的に回転
制御するようにすることにより、供給リール及び巻取リ
ールの両方を、常に一定数に回転させてキャリアテープ
の送り出し及び巻き取りを行なうことができ、従って、
供給リール及び巻取リールの回転制御の煩雑高度化を阻
止することができることを見出すると共に、それに加え
て、テープ移送装置を、把持器でキャリアテープの幅方
向両端部を把持して移送する型式に構成することによ
り、キャリアテープの変形あるいは伸長等が発生すると
いった諸問題を一挙に解決し得て、キャリアテープのイ
ンナーリードを、ボンデイング位置に正確に位置決めす
ることができることを見出したのである。The present invention pays attention to such a situation, and as a result of earnest studies to solve this, as a result, a pair of tape detectors for detecting the lower limit lower limit position and the lower limit upper limit position of a carrier tape suspended in a U shape are mounted. By intermittently controlling the rotation of the supply reel and the take-up reel based on the presence / absence of detection by these detectors, both the supply reel and the take-up reel are always rotated by a constant number, and the carrier tape Can be sent and wound, and
It was found that the complicated control of rotation of the supply reel and the take-up reel can be prevented, and in addition, the tape transfer device transfers the carrier tape by grasping both ends of the carrier tape in the width direction. It has been found that, by configuring in a model, various problems such as deformation or extension of the carrier tape can be solved all at once, and the inner leads of the carrier tape can be accurately positioned at the bonding position. .
［課題を解決するための手段］ すなわち、本発明に係る第１の、インナーリードボンダ
ーは、キャリアテープを間歇移送してボンデイング位置
に前記キャリアテープのインナーリードを位置決めさせ
るテープ移送装置と、ボンデイングステージにより移動
されて前記ボンデイング位置に位置決めされるチップの
上方から前記キャリアテープのインナーリードをボンデ
イングツールで押し付け、前記インナーリードを前記チ
ップの端子にボンデイングせしめるボンデイング装置
と、供給リールを回転させて前記キャリアテープを送り
出すテープ供給装置と、前記供給リールから送り出され
る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留する
第１テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終えて
移送されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せし
めて貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リールを
回転させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記キャ
リアテープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたインナ
ーリードボンダーにおいて、前記第１，２テープ弛緩貯
留装置を、前記供給リール及び前記巻取リール夫々に接
近されて配設された一対のテープガイドフリーローラ
と、Ｕ字状に懸垂せしめられる前記キャリアテープの下
端上限位置を検出する第１テープ検出器と、Ｕ字状に懸
垂せしめられる前記キャリアテープの下端下限位置を検
出する第２テープ検出器とで構成し、かつ、前記第１テ
ープ弛緩貯留装置の第１テープ検出器が、前記下端上限
位置を未検出のときに前記供給リールを回転させて前記
キャリアテープを送り出すと共に前記第１，２テープ検
出器が、前記下端上限位置及び下端下限位置を検出した
ときに前記供給リールの回転を停止させ、また、前記第
２テープ弛緩貯留装置の前記第１，２テープ検出器が、
前記下端上限位置及び下端下限位置を検出したときに前
記巻取リールを回転させて前記キャリアテープを巻き取
ると共に第１テープ検出器が、前記下端上限位置を未検
出のときに前記巻取リールの回転を停止させるようにし
たことを特徴とするものである。[Means for Solving the Problems] That is, the first inner lead bonder according to the present invention is a tape transfer device for intermittently transferring a carrier tape to position the inner lead of the carrier tape at a bonding position, and a bonding stage. Is moved and positioned at the bonding position by pressing the inner lead of the carrier tape with a bonding tool from above the chip, and a bonding device for bonding the inner lead to the terminal of the chip and a carrier for rotating the supply reel. A tape feeding device that feeds out a tape, a first tape relaxation storage device that hangs the U-shaped carrier tape that is fed from the supply reel and stores the carrier tape, and a U-shaped carrier tape that is transported after the bonding. Condition An inner lead bonder comprising: a second tape relaxation storage device that hangs up and stores the tape; and a tape winding device that winds the carrier tape that is suspended and stored in a U shape by rotating a winding reel. , A pair of tape guide free rollers arranged near the supply reel and the take-up reel for the first and second tape slack storage devices, and a lower end upper limit of the carrier tape suspended in a U-shape A first tape detector for detecting a position, and a second tape detector for detecting a lower limit lower limit position of the carrier tape suspended in a U shape, and a first tape loose storage device When the tape detector does not detect the lower limit upper limit position, the supply reel is rotated to feed the carrier tape, and the first and second tape detectors are The rotation of the supply reel upon detection of a serial lower limit position and the lower limit position is stopped, also the first and second tape detector of the second tape loosening storage device,
When the lower end upper limit position and the lower end lower limit position are detected, the take-up reel is rotated to wind up the carrier tape, and the first tape detector detects that the lower end upper limit position is not detected. It is characterized in that the rotation is stopped.
また、本発明に係る第２の、インナーリードボンダー
は、キャリアテープを間歇移送してボンデイング位置に
前記キャリアテープのインナーリードを位置決めさせる
テープ移送装置と、ボンデイングステージにより移動さ
れて前記ボンデイング位置に位置決めされるチップの上
方から前記キャリアテープのインナーリードをボンデイ
ングツールで押し付け、前記インナーリードを前記チッ
プの端子にボンデイングせしめるボンデイング装置と、
供給リールを回転させて前記キャリアテープを送り出す
テープ供給装置と、前記供給リールから送り出される前
記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留する第１
テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終えて移送
されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて
貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リールを回転
させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記キャリア
テープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたインナーリ
ードボンダーにおいて、前記テープ移送装置を、ボンデ
イング位置より第１テープ弛緩貯留装置側に位置されて
いるキャリアテープの幅方向両端を把持する第１テープ
把持器と、ボンデイング位置より第２テープ弛緩貯留装
置側に位置されているキャリアテープの幅方向両端を把
持する第２テープ把持器と、前記第１，２テープ把持器
を一緒に往復動させる把持器移動装置と、前記第１，２
テープ把持器がキャリアテープの把持を解除してキャリ
アテープを把持する位置へリターンされる間中、キャリ
アテープを移動させないようにロックするテープロック
装置とで構成したことを特徴とするものである。The second inner lead bonder according to the present invention includes a tape transfer device for intermittently transferring a carrier tape to position the inner lead of the carrier tape at a bonding position, and a tape moving device moved by a bonding stage for positioning at the bonding position. A bonding device that presses the inner leads of the carrier tape from above the chip to be bonded with a bonding tool to bond the inner leads to the terminals of the chip;
A tape supply device that rotates a supply reel to supply the carrier tape, and a storage device that suspends the carrier tape supplied from the supply reel in a U-shape and stores the same.
A tape slack storage device, a second tape slack storage device that hangs and stores the carrier tape that has been transferred after the bonding in a U shape, and a winding reel that rotates to hang it in a U shape. An inner lead bonder having a tape winding device that winds the stored carrier tape, wherein the tape transfer device is provided at both ends in a width direction of the carrier tape positioned closer to the first tape relaxation storage device than a bonding position. A first tape gripping device for gripping the first tape gripping device, a second tape gripping device for gripping both widthwise ends of the carrier tape located on the side of the second tape relaxation storage device from the bonding position, and the first and second tape gripping devices. A gripper moving device that reciprocates together, and the first and second
The tape gripping device is configured with a tape lock device that locks the carrier tape so as not to move while the carrier gripper releases the carrier tape and returns to the position where the carrier tape is gripped.
［作用］ テープ供給装置１の供給リール７の回転により送り出さ
れるキャリアテープ８が、第１テープ弛緩貯留装置５に
よりＵ字状に懸垂されて貯留され、そして、ここからテ
ープ移送装置４によりボンデイング位置Ａに間歇移送さ
れてボンデイング装置３によりインナーリードボンデイ
ングされる。その際、ボンデイングを終えて移送されて
来るキャリアテープ８が第２テープ弛緩貯留装置６によ
りＵ字状に懸垂されて貯留され、そして、テープ巻取装
置２の巻取リール９の回転により巻き取られる。[Operation] The carrier tape 8 delivered by the rotation of the supply reel 7 of the tape supply device 1 is suspended and stored in a U shape by the first tape relaxation storage device 5, and from this, the tape transfer device 4 bonds it to the bonding position. It is intermittently transferred to A and is bonded to the inner lead by the bonding device 3. At that time, the carrier tape 8 which has been transported after being bonded is suspended and stored in a U-shape by the second tape relaxation storage device 6, and is wound by the rotation of the winding reel 9 of the tape winding device 2. To be
なお、供給リール７は、第１テープ弛緩貯留装置５の第
１，２テープ検出器１１ａ，１１ｂを介してのテープ検
出の有無により、また、巻取リール９は、第２テープ弛
緩貯留装置６の第１，２テープ検出器１３ａ，１３ｂを
介してのテープ検出の有無により夫々回転制御され、更
に、テープ移送装置４は、把持器移動装置３２によって
一緒に移動される第１，２テープ把持器３０，３１（第
４，５図参照）でキャリアテープ８の幅方向両端を把持
して移送する。The supply reel 7 depends on the presence / absence of tape detection through the first and second tape detectors 11a and 11b of the first tape slack storage device 5, and the take-up reel 9 the second tape slack storage device 6. Of the first and second tape detectors 13a and 13b, the rotation of which is controlled by the presence or absence of tape detection, and the tape transfer device 4 is moved together by the gripper moving device 32. Both ends of the carrier tape 8 in the width direction are gripped and transferred by the containers 30 and 31 (see FIGS. 4 and 5).
［実施例］ 以下、本発明に係る実施例について述べると、インナー
リードボンダーの正面図である第１図において、このボ
ンダーは、テープ供給装置１とテープ巻取装置２との間
にボンデイング装置３やテープ移送装置４等を配設する
と共にテープ供給装置１側に第１テープ弛緩貯留装置５
を、また、テープ巻取装置２側に第２テープ弛緩貯留装
置６を配設して構成されている。[Embodiment] An embodiment according to the present invention will be described below. In FIG. 1, which is a front view of an inner lead bonder, this bonder includes a bonding device 3 between a tape supply device 1 and a tape winding device 2. And a tape transfer device 4 and the like, and a first tape relaxing storage device 5 on the tape supply device 1 side.
And a second tape loosening storage device 6 is arranged on the tape winding device 2 side.
なお、テープ供給装置１は、図示されていない電動機
（パルスモータ若しくは同期電動機）により回転される
供給リール７を備え、このリール７からボンデイングし
ようとするキャリアテープ８を送り出す。一方、テープ
巻取装置２は、図示されていない電動機（パルスモータ
若しくは同期電動機）により回転される巻取リール９を
備え、このリール９にボンデイングを終えたキャリアテ
ープ８を巻き取る。なお、供給リール７及び巻取リール
９の回転数は常に一定に保たれる。The tape supply device 1 includes a supply reel 7 rotated by an electric motor (a pulse motor or a synchronous electric motor) (not shown), and feeds a carrier tape 8 to be bonded from the reel 7. On the other hand, the tape winding device 2 includes a winding reel 9 rotated by an electric motor (a pulse motor or a synchronous electric motor) not shown, and winds the carrier tape 8 that has been bonded onto the reel 9. The number of rotations of the supply reel 7 and the take-up reel 9 is always kept constant.
次に、第１テープ弛緩貯留装置５は、供給リール７に接
近されて同一レベルに配設された一対のテープガイドフ
リーローラ１０ａ，１０ｂと、第１，２テープ検出器１
１ａ，１１ｂとを備え、供給リール７から送出されるキ
ャリアテープ８をＵ字状に懸垂せしめて貯留する。な
お、この貯留長さは一定の範囲に保たれる。Next, the first tape slack storage device 5 includes a pair of tape guide free rollers 10a and 10b arranged close to the supply reel 7 at the same level, and the first and second tape detectors 1.
1a and 11b are provided, and the carrier tape 8 sent from the supply reel 7 is suspended in a U shape and stored. The storage length is kept within a certain range.
すなわち、キャリアテープ８の送り出し長さが増加する
に従って、テープガイドフリーローラ１０ａ，１０ｂを
介してＵ字状に懸垂せしめられるキャリアテープ８の下
端が次第に下方へ移動され、それが上限位置に達すると
第１テープ検出器１１ａで検出され、更に、下方へ移動
されて下限位置に達すると第２テープ検出器１１ｂで検
出される。すると供給リール７の回転が停止される。That is, as the delivery length of the carrier tape 8 increases, the lower end of the carrier tape 8 suspended in a U shape via the tape guide free rollers 10a and 10b is gradually moved downward, and when it reaches the upper limit position. It is detected by the first tape detector 11a, further moved downward, and when it reaches the lower limit position, it is detected by the second tape detector 11b. Then, the rotation of the supply reel 7 is stopped.
そして、このようにして所定長さに懸垂貯留されたキャ
リアテープ８が、後述するテープ移送装置４によりボン
デイング装置３側へ移送されると、その移送長さが増加
するに従って、Ｕ字状に懸垂せしめられているキャリア
テープ８の下端が次第に上方へ移動される。When the carrier tape 8 suspended and stored in a predetermined length in this manner is transferred to the bonding device 3 side by the tape transfer device 4 described later, the carrier tape 8 is suspended in a U-shape as the transfer length increases. The lower end of the carrier tape 8 which has been pressed is gradually moved upward.
その為、第２テープ検出器１１ｂによる検出が解除され
ると共に、その後、第１テープ検出器１１ａによる検出
が解除される。すると、供給リール７が回転され、それ
からキャリアテープ８が送出される。Therefore, the detection by the second tape detector 11b is canceled, and then the detection by the first tape detector 11a is canceled. Then, the supply reel 7 is rotated, and then the carrier tape 8 is delivered.
なお、第１，２テープ検出器１１ａ，１１ｂは、光電管
型検出器等、周知のものが用いられ、また、Ｕ字状に懸
垂せしめられているキャリアテープ８の下端上限位置を
検出する第１テープ検出器１１ａは、テープガイドフリ
ーローラ１０ａ，１０ｂより少し下方に位置させて配設
することもできるが、これでは、Ｕ字状に懸垂貯留する
テープ長さが十分に得られないから、可能な限りそれよ
りも下方に位置せしめられて配設されている。As the first and second tape detectors 11a and 11b, known ones such as phototube detectors are used, and the first lower end upper limit position of the carrier tape 8 suspended in a U shape is detected. The tape detector 11a can be disposed slightly below the tape guide free rollers 10a and 10b, but this is not possible because the tape length for suspending and storing in a U-shape cannot be obtained. It is arranged so as to be located below it as much as possible.
一般には、テープ移送装置４が１回の間歇移送によりボ
ンデイング装置３側へ移送し得るテープ長さの数倍以上
を常にＵ字状に懸垂貯留し得るようにテープ検出器１１
ａを所定レベルに配設すればよい。加えて、他の第２テ
ープ検出器１１ｂは、Ｕ字状に懸垂せしめられるキャリ
アテープ８が過大に懸垂されて、その周辺の部材に接触
するのを防止するに適した位置に配設される。In general, the tape detector 11 is configured so that the tape transfer device 4 can always suspend and store several times or more of the tape length that can be transferred to the bonding device 3 side by one intermittent transfer in a U-shape.
It is sufficient to arrange a at a predetermined level. In addition, the other second tape detector 11b is arranged at a position suitable for preventing the carrier tape 8 suspended in a U-shape from being excessively suspended and coming into contact with the members around it. .
一方、第２テープ弛緩貯留装置６は、巻取リール９に接
近されて同一レベルに配設された一対のテープガイドフ
リーローラ１２ａ，１２ｂと、第１，２テープ検出器１
３ａ，１３ｂとを備え、テープ移送装置４によりボンデ
イング装置３側から移送されて来るボンデイングを終え
たキャリアテープ８をＵ字状に懸垂せしめて貯留する。
なお、この貯留長さは一定の範囲に保たれる。On the other hand, the second tape slack storage device 6 includes a pair of tape guide free rollers 12a and 12b arranged close to the take-up reel 9 and arranged at the same level, and the first and second tape detectors 1.
The carrier tape 8 which is provided with 3a and 13b and which has been transferred from the bonding device 3 side by the tape transfer device 4 is hung in a U shape and stored.
The storage length is kept within a certain range.
すなわち、ボンデイング装置３側から移送されて来るキ
ャリアテープ８の長さが増加するに従って、テープガイ
ドフリーローラ１２ａ，１２ｂを介してＵ字状に懸垂せ
しめられるキャリアテープ８の下端が次第に下方へ移動
され、それが上限位置に達すると第１テープ検出器１３
ａで検出され、更に、下方へ移動されて下限位置に達す
ると第２テープ検出器１３ｂで検出される。すると、テ
ープ巻取装置２の巻取リール９が回転され、キャリアテ
ープ８が巻き取られる。That is, as the length of the carrier tape 8 transferred from the side of the bonding device 3 increases, the lower end of the carrier tape 8 suspended in a U shape via the tape guide free rollers 12a and 12b is gradually moved downward. , When it reaches the upper limit position, the first tape detector 13
When it is detected by "a" and further moved downward to reach the lower limit position, it is detected by the second tape detector 13b. Then, the take-up reel 9 of the tape take-up device 2 is rotated and the carrier tape 8 is taken up.
そして、かかる巻き取り長さが増加するに従って、Ｕ字
状に懸垂せしめられているキャリアテープ８の下端が次
第に上方へ移動される。その為、第２テープ検出器１３
ｂによる検出が解除されると共に、その後、第１テープ
検出器１３ａによる検出が解除される。すると、巻取リ
ール７の回転が停止され、キャリアテープ８の巻き取り
が停止される。Then, as the winding length increases, the lower end of the carrier tape 8 suspended in a U shape is gradually moved upward. Therefore, the second tape detector 13
The detection by b is canceled, and then the detection by the first tape detector 13a is canceled. Then, the rotation of the take-up reel 7 is stopped, and the winding of the carrier tape 8 is stopped.
なお、第１，２検出器１３ａ，１３ｂも、光電管型検出
器等、周知のものが用いられ、また、Ｕ字状に懸垂せし
められているキャリアテープ８の下端上限位置を検出す
る第１テープ検出器１３ａは、テープガイドフリーロー
ラ１３ａ，１３ｂより少し下方に位置させて配設するこ
ともできるが、これでは、Ｕ字状に懸垂貯留するテープ
長さが十分に得られないから、可能な限りそれよりも下
方に位置せしめられて配設されている。As the first and second detectors 13a and 13b, known ones such as a photoelectric tube type detector are used, and the first tape for detecting the lower limit upper limit position of the carrier tape 8 suspended in a U shape. The detector 13a can be disposed so as to be positioned slightly below the tape guide free rollers 13a and 13b, but this is possible because the tape length for suspending and storing in a U shape cannot be obtained sufficiently. As far as it can be, it is located below it.
一般には、テープ移送装置４の一回の移送動作によりボ
ンデイング装置３側から移送されて来るテープ長さの数
倍以上を常にＵ字状に懸垂貯留し得るように第１テープ
検出器１３ａを所定レベルに配設すればよい。加えて、
他の第２テープ検出器１３ｂは、Ｕ字状に懸垂せしめら
れるキャリアテープ８が過大に懸垂されて、その周辺の
部材に接触するのを防止するに適した位置に配設されて
いる。In general, the first tape detector 13a is predetermined so that several times or more of the tape length transferred from the bonding device 3 side can be suspended and stored in a U shape by one transfer operation of the tape transfer device 4. It may be arranged on the level. in addition,
The other second tape detector 13b is arranged at a position suitable for preventing the carrier tape 8 suspended in a U shape from being excessively suspended and coming into contact with a peripheral member.
このように、テープ供給装置１側に配設される第１テー
プ弛緩貯留装置５及びテープ巻取装置２側に配設される
第２テープ弛緩貯留装置６は共に、Ｕ字状に懸垂せしめ
られて貯留されるキャリアテープ８の下端上限位置及び
下端下限位置を検出して供給リール７又は巻取リール９
の回転制御を行なうことができるように構成されてい
る。In this way, both the first tape slack storage device 5 arranged on the tape supply device 1 side and the second tape slack storage device 6 arranged on the tape winding device 2 side are suspended in a U shape. The upper limit position and the lower limit position of the carrier tape 8 stored in the supply reel 7 or the take-up reel 9 are detected.
It is configured so that the rotation control can be performed.
その為、キャリアテープ８の送り出し及び巻き取りを行
うことにより変化する、供給リール７及び巻取リール９
のテープ巻径を考慮して回転数を決定し、それに基づい
て所定長さを送り出し及び巻き取るといったことの制御
をしなくても、常に一定の回転数でキャリアテープ８の
送り出し及び巻き取りを行なって、その懸垂貯留長さを
一定の範囲に保つことができ、従って、供給リール及び
巻取リールの回転制御の煩雑高度化を阻止することがで
きる。Therefore, the supply reel 7 and the take-up reel 9 are changed by feeding and winding the carrier tape 8.
The number of rotations is determined in consideration of the tape winding diameter and the carrier tape 8 is always fed and wound at a constant number of rotations without controlling the feeding and winding of a predetermined length based on the number of rotations. Therefore, the suspended storage length can be maintained within a certain range, and therefore, complicated and sophisticated rotation control of the supply reel and the take-up reel can be prevented.
次に、ボンデイング装置３は、ボンデイングステージ１
６と、位置検出器（カメラ）１８と、ボンデイングツー
ル１９と、チップ供給装置２０と、ボンデイング用テー
プロック器２１とを備え、これらを機台１５上、又は適
当なブラケット１７等を介して装置フレーム２２に装着
している。Next, the bonding device 3 is connected to the bonding stage 1
6, a position detector (camera) 18, a bonding tool 19, a chip supply device 20, and a bonding tape lock device 21, which are installed on the machine base 15 or through an appropriate bracket 17 or the like. It is attached to the frame 22.
なお、チップ供給装置２０は、トレー若しくはコンベア
上のチップを、ボンデイングステージ１６の小さな矩形
のワーク受けステージ（最上段のステージ）に移載し得
るように構成され、また、ボンデイングステージ１６は
ＸＹテーブル等を備え、多方向へ移動し得るように構成
されている。The chip supply device 20 is configured so that chips on a tray or conveyor can be transferred to a small rectangular work receiving stage (uppermost stage) of the bonding stage 16, and the bonding stage 16 is an XY table. Etc., and is configured to be movable in multiple directions.
その為、かかる移動制御により、チップ供給装置２０よ
りチップを受け取る位置（平面視においてキャリアテー
プ８の幅方向の側方位置）からキャリアテープ８の下方
位置へ移動することができると共に、それに引き続い
て、前記ワーク受けステージに載置されているチップの
端子を、ボンデイング位置Ａに位置決めされてボンデイ
ング用テープロック器２１によりロックされているキャ
リアテープ８のインナーリードに対して精密に位置決め
させることできる。Therefore, by such movement control, it is possible to move from the position where the chips are received from the chip supply device 20 (the side position in the width direction of the carrier tape 8 in plan view) to the position below the carrier tape 8, and subsequently to that. The terminals of the chip mounted on the work receiving stage can be precisely positioned with respect to the inner leads of the carrier tape 8 positioned at the bonding position A and locked by the bonding tape lock device 21.
また、ボンデイングツール１９はヒータを内蔵し、か
つ、垂直に上下動し得るように装着され、キャリアテー
プ８のインナーリードを、チップの端子に押し付けて加
熱圧着し得るように構成されている。Further, the bonding tool 19 has a built-in heater and is mounted so as to be vertically movable. The inner lead of the carrier tape 8 can be pressed against the terminals of the chip for thermocompression bonding.
更に、ボンデイング用テープロック器２１は、第１図の
部分拡大図である第２図において示されているように、
装置フレーム２２に適当なブラケットを介して装着され
たシリンダー２３と、このシリンダー２３のピストンロ
ッドに装着された上チャック爪板２４と、シリンダー２
３の本体に装着された下チャック爪板２５とで構成され
ている。Further, as shown in FIG. 2 which is a partially enlarged view of FIG.
A cylinder 23 mounted on the device frame 22 via an appropriate bracket, an upper chuck claw plate 24 mounted on a piston rod of the cylinder 23, and a cylinder 2
3 and the lower chuck claw plate 25 mounted on the main body of the third embodiment.
なお、ピストンロッドを突出させた姿を、その側方向か
ら見た場合、上チャツク爪板２４とピストンロッドと下
チャック爪板２５とでコの字を形成し、しかも、上チャ
ック爪板２４と下チャック爪板２５とで、第３図におい
て示されている後述の第１テープ把持器３０の左右のニ
ップ部４３ａ，４３ｂと同様の左ニップ部及び右ニップ
部を形成することができるように設けられている。従っ
て、かかる上チャック爪板２４と下チャック爪板２５と
を接近させることにより、キャリアテープ８の幅方向両
端を把持してロックすることができる。When the piston rod is projected from the side, the upper chuck claw plate 24, the piston rod and the lower chuck claw plate 25 form a U-shape, and the upper chuck claw plate 24 is With the lower chuck claw plate 25, it is possible to form a left nip portion and a right nip portion similar to the left and right nip portions 43a and 43b of the first tape gripper 30 shown in FIG. It is provided. Therefore, by bringing the upper chuck claw plate 24 and the lower chuck claw plate 25 close to each other, both ends in the width direction of the carrier tape 8 can be gripped and locked.
なお、上チャック爪板２４に、ボンデイングツール１９
の下端を挿入する為の正四角形穴を貫通させていると共
に下チャック爪板２５に、ボンデイングステージ１６の
小さな矩形のワーク受けステージ（最上段のステージ）
を挿入することができる矩形穴を貫通させている。その
為、後述するテープ移送装置４によって移送されて来
て、キャリアテープ８のインナーリードがボンデイング
位置Ａに位置決めされると、かかるテープ８を、このロ
ック器２１でロックし、次いで、この状態において、ボ
ンデイングツール１９を下方へ移動させて、その下端を
上チャック爪板２４の前記穴に挿入させてボンデイング
することができる。In addition, the upper chuck claw plate 24, the bonding tool 19
A rectangular work receiving stage (uppermost stage) of the bonding stage 16 on the lower chuck claw plate 25 while passing through a square hole for inserting the lower end of
Has a rectangular hole that can be inserted. Therefore, when the inner lead of the carrier tape 8 is moved to the bonding position A by being transferred by the tape transfer device 4 which will be described later, the tape 8 is locked by the lock device 21, and then in this state. The bonding tool 19 can be moved downward and the lower end thereof can be inserted into the hole of the upper chuck claw plate 24 for bonding.
その際、ボンデイングに先行して、ロックされているキ
ャリアテープ８のインナーリードに対し、ボンデイング
ステージ１６の移動制御により、チップの端子が精密位
置決めされる。すなわち、ロックされたキャリアテープ
８のインナーリードの位置が位置検出器（カメラ）１８
で読み取られ、その位置にチップの端子を位置させるよ
うにボンデイングステージ１６の移動制御が行われる。At that time, prior to the bonding, the terminals of the chip are precisely positioned by the movement control of the bonding stage 16 with respect to the inner leads of the locked carrier tape 8. That is, the position of the inner lead of the locked carrier tape 8 is determined by the position detector (camera) 18
Is read and the movement control of the bonding stage 16 is performed so that the terminal of the chip is positioned at that position.
次に、テープ移送装置４は、第１，２図において示され
ているように、ボンデイング位置Ａより第１テープ弛緩
貯留装置５側に位置されている第１テープ把持器３０
と、ボンデイング位置Ａより第２テープ弛緩貯留装置６
側に位置されている第２テープ把持器３１と、第１，２
把持器３０，３１を一緒に往復動させる把持器移動装置
３２と、テープロック装置３３とを備えている。Next, the tape transfer device 4 is, as shown in FIGS. 1 and 2, a first tape gripper 30 located closer to the first tape slack storage device 5 than the bonding position A.
And from the bonding position A, the second tape relaxing storage device 6
The second tape gripper 31, which is located on the side,
A gripper moving device 32 for reciprocating the grippers 30, 31 together and a tape lock device 33 are provided.
なお、第１テープ把持器３０は、第２図のＺ−Ｚ矢視図
である第３図及び第２図のＹ−Ｙ矢視図である第４図に
おいて示されているように、アーム３４の一端に固着さ
れた一対のガイドピン３５ａ，３５ｂと、これらのピン
３５ａ，３５ｂに嵌装されると共に、その右側突起部が
アーム３４の貫通穴３６に挿入された凹形のチャックブ
ラケット３７と、このブラケット３７の上端にボルト３
８により装着された上チャック爪板３９と、アーム３４
に装着されたシリンダーブラケット４０と、ピストンロ
ッド４１をチャックブラケット３７に螺結し、かつ、シ
リンダーブラケット４０に装着されたシリンダー４２と
で構成されている。The first tape gripper 30 is provided with an arm as shown in FIG. 3 which is a ZZ arrow view of FIG. 2 and FIG. 4 which is a YY arrow view of FIG. A pair of guide pins 35a and 35b fixed to one end of the armature 34, and a concave chuck bracket 37 that is fitted to the pins 35a and 35b and has its right side protrusion inserted into the through hole 36 of the arm 34. And bolt 3 to the top of this bracket 37
8, the upper chuck claw plate 39 and the arm 34
The cylinder bracket 40 is mounted on the cylinder bracket 40, and the piston rod 41 is screwed to the chuck bracket 37. The cylinder 42 is mounted on the cylinder bracket 40.
その為、シリンダー４２のピストンロッド４１を出没さ
せることにより、上チャック爪板３９とチャックブラケ
ット３７とを一緒に上下動させることができるが、その
際、アーム３４の左端部の上面と上チャック爪板３９の
下面とで左右のニップ部４３ａ，４３ｂを形成すること
ができる。Therefore, the upper chuck claw plate 39 and the chuck bracket 37 can be moved up and down together by retracting the piston rod 41 of the cylinder 42. At that time, the upper surface of the left end portion of the arm 34 and the upper chuck claw are moved. The left and right nip portions 43a and 43b can be formed with the lower surface of the plate 39.
従って、シリンダー４２のピストンロッド４１を没する
ことにより、空間部４４に位置されるキャリアテープ８
の幅方向両端を把持することができる。また、把持して
いる状態からシリンダー４２のピストンロッド４１を突
出することにより、かかる把持を解除することができ
る。Therefore, by retracting the piston rod 41 of the cylinder 42, the carrier tape 8 positioned in the space 44 is
Both ends in the width direction can be gripped. Further, by protruding the piston rod 41 of the cylinder 42 from the gripped state, the gripping can be released.
なお、第２テープ把持器３１も、第２図のＸ−Ｘ矢視図
である第５図において示されているように、第１テープ
把持器３０と同一に構成されている。また、第１テープ
把持器３０のアーム３４と第２テープ把持器３１のアー
ム４５とが、連結バー４６に所定間隔に装着され、そし
て、アーム３４は、装置フレーム２２に装着されている
レール４７で案内されて水平に移動し得るように装着さ
れていると共にアーム４５も、装置フレーム２２に装着
されているレール４８で案内されて水平に移動し得るよ
うに装着されている。The second tape gripper 31 is also configured in the same manner as the first tape gripper 30 as shown in FIG. 5 which is an XX arrow view of FIG. Further, the arm 34 of the first tape gripper 30 and the arm 45 of the second tape gripper 31 are mounted on the connecting bar 46 at a predetermined interval, and the arm 34 is mounted on the rail 47 mounted on the device frame 22. The arm 45 is also mounted so that it can be moved horizontally while being guided by the rails 48 that are mounted on the apparatus frame 22.
次に、把持器移動装置３２は、装置フレーム２２に装着
されている電動機５０（パルスモータ若しくは同期電動
機）と、これの出力軸とカップリング５１を介して連結
され、かつ、装置フレーム２２に装着された軸受５２，
５３により回転し得るように支持された螺子軸５４と、
この螺子軸５４と螺結されると共にアーム４５の下端に
装着されたナット５５と、装置フレーム２２に装着され
ているブラケット５６，５７で回転し得ないように支持
されたバー５８と、このバー５８の所定位置に装着され
た検出器５９，６０，６１と、ナット５５に装着された
検出片６２と、カップリング５１に装着された多孔円板
６３と、装置フレーム２２に装着されたパルス検出器６
４とで構成されている。Next, the gripper moving device 32 is connected to the electric motor 50 (pulse motor or synchronous electric motor) mounted on the device frame 22 via the output shaft of the electric motor 50 via the coupling 51, and is mounted on the device frame 22. Bearing 52,
A screw shaft 54 rotatably supported by 53;
A nut 55 screwed to the screw shaft 54 and attached to the lower end of the arm 45, a bar 58 supported by the brackets 56 and 57 attached to the apparatus frame 22 so as not to rotate, and this bar. Detectors 59, 60, 61 mounted at predetermined positions of 58, a detection piece 62 mounted on the nut 55, a perforated disk 63 mounted on the coupling 51, and pulse detection mounted on the device frame 22. Bowl 6
It is composed of 4 and.
而して、電動機５０（パパルスモータ若しくは同期電動
機）を運転して螺子軸５４を回転させることにより、ナ
ット５５及びアーム４５を、レール４８で案内して移動
させることができ、従って、これと連結バー４６で一体
化されているアーム３４もレール４７で案内して移動さ
せることができる。すなわち、第１テープ把持器３０と
第２テープ把持器３１とを一定の間隔を保ちながら一緒
に移動させることができる。Then, by driving the electric motor 50 (papulse motor or synchronous electric motor) to rotate the screw shaft 54, the nut 55 and the arm 45 can be guided and moved by the rail 48. The arm 34 integrated by 46 can also be guided and moved by the rail 47. That is, the first tape gripper 30 and the second tape gripper 31 can be moved together while maintaining a constant gap.
その際、電動機５０（パルスモータ若しくは同期電動
機）の回転方向を所定方向に制御することにより、第２
テープ把持器３１をボンデイング位置Ａに接近させた
り、あるいは、遠ざけたりすることができる。そして、
かかる移動距離は、パルス検出器６４によるパルスカウ
ントに基づく電動機５０の回転制御により行われる。な
お、検出器６０は検出片６２と関係されて検出信号を得
るが、これによりナット５５の移動基準点を検出する。
また、他の検出器５９，６１はオーバーラン防止の為に
装着されている。At that time, the second direction is controlled by controlling the rotation direction of the electric motor 50 (pulse motor or synchronous electric motor) to a predetermined direction.
The tape gripper 31 can be moved toward or away from the bonding position A. And
The moving distance is controlled by controlling the rotation of the electric motor 50 based on the pulse count by the pulse detector 64. The detector 60 is related to the detection piece 62 to obtain a detection signal, which detects the movement reference point of the nut 55.
The other detectors 59 and 61 are mounted to prevent overrun.
次に、テープロック装置３３は、第２図において、装置
フレーム２２の左端に装着されたリターン用第１テープ
ロック器７０ａと、装置フレーム２２の右端に装着され
たリターン用第２テープロック器７０ｂとを備えてい
る。なお、両テープロック器７０ａ，７０ｂは、第２図
のＷ−Ｗ矢視図である第６図において示されているよう
に、装置フレーム２２に装着されたアーム７１に装着さ
れ、かつ、上述の第１テープ把持器３０と同一に構成さ
れている。Next, as shown in FIG. 2, the tape lock device 33 includes a first return tape lock device 70a attached to the left end of the device frame 22 and a second return tape lock device 70b attached to the right end of the device frame 22. It has and. Both tape lock devices 70a and 70b are mounted on the arm 71 mounted on the device frame 22 as shown in FIG. 6 which is a WW arrow view of FIG. The first tape gripper 30 has the same structure.
その為、把持器移動装置３２により、第１，２テープ把
持器３０，３１が一緒に、第２において（イ）の方向へ
一定距離移動された後、（ロ）の方向へ移動して元の位
置にリターンされる際、リターン用第１，２テープロッ
ク器７０ａ，７０ｂで、キャリアテープ８の幅方向両端
を把持してロックし、キャリアテープ８の移動を阻止す
ることができる。Therefore, the gripper moving device 32 moves the first and second tape grippers 30, 31 together in the second direction by a certain distance in the direction (a), and then moves in the direction (b). When returned to the position, the return first and second tape lock devices 70a and 70b can hold and lock both ends in the width direction of the carrier tape 8 to prevent the carrier tape 8 from moving.
すなわち、第１，２テープ把持器３０，３１は、図２に
おいて示されている位置（基準位置）においてキャリア
テープ８を把持し、そのままの状態で（イ）の方向へ一
定距離移動される。これにより、キャリアテープ８がボ
ンデイング位置Ａに位置決めされる。That is, the first and second tape grippers 30, 31 grip the carrier tape 8 at the position (reference position) shown in FIG. 2, and are moved in the direction (a) by a certain distance in the same state. As a result, the carrier tape 8 is positioned at the bonding position A.
すると、リターン用第１，２テープロック器７０ａ，７
０ｂがキャリアテープ８を把持してロックし、次いで、
第１，２テープ把持器３０，３１がキャリアテープ８の
把持を解除して（ロ）の方向へ移動されて元の位置（基
準位置）にリターンされる。Then, the first and second return tape lock devices 70a, 7
0b grips and locks the carrier tape 8, and then
The first and second tape grippers 30, 31 release the grip of the carrier tape 8 and are moved in the direction (b) to return to the original position (reference position).
そして、続いて、ボンデイング用テープロック器２１
が、キャリアテープ８を把持してロックすると、リター
ン用第１，２テープロック器７０ａ，７０ｂがキャリア
テープ８のロックを解除し、ボンデイング装置３がボン
デイングを開始する。Then, subsequently, the tape lock device 21 for bonding
However, when the carrier tape 8 is gripped and locked, the return first and second tape lock devices 70a and 70b unlock the carrier tape 8 and the bonding device 3 starts bonding.
以下、上述のようにしてボンデイングを終えると、第
１，２テープ把持器３０，３１がキャリアテープ８を把
持し、次いで、ボンデイング用テープロック器２１がキ
ャリアテープ８のロックを解除し、把持器移動装置３２
により、第１，２テープ把持器３０，３１が一緒に
（イ）の方向へ一定距離移動される。このようにして、
次々と、キャリアテープ８のインナーリードをチップの
端子にボンデイングすることができる。なお、これと並
行して、第１，２テープ弛緩貯留装置５，６が、キャリ
アテープ８の懸垂貯留長さを常に一定の範囲に保つよう
に制御される。Hereinafter, when the bonding is completed as described above, the first and second tape grippers 30, 31 grip the carrier tape 8, and then the bonding tape locker 21 unlocks the carrier tape 8 to grip the carrier tape 8. Moving device 32
Thus, the first and second tape grippers 30, 31 are moved together in the direction (a) by a certain distance. In this way
The inner leads of the carrier tape 8 can be bonded to the terminals of the chip one after another. In parallel with this, the first and second tape slack storage devices 5 and 6 are controlled so that the suspension storage length of the carrier tape 8 is always kept within a fixed range.
よって、第１，２テープ弛緩貯留装置５，６により、Ｕ
字状に懸垂せしめられ貯留されているキャリアテープ８
を、テープ把持器３０，３１で把持して移送することが
できるから、キャリアテープ８に過大な張力を付与させ
ずに移送することができ、従って、キャリアテープ８の
変形あるいは伸長等の発生を防止し得て、キャリアテー
プ８のインナーリードを、ボンデイング位置に常に正確
に位置決めすることができる。Therefore, by the first and second tape relaxation storage devices 5 and 6, U
Carrier tape 8 suspended in a letter shape and stored
Can be transferred while being held by the tape grippers 30 and 31, and therefore can be transferred without applying excessive tension to the carrier tape 8. Therefore, deformation or extension of the carrier tape 8 can be prevented. This can be prevented and the inner lead of the carrier tape 8 can always be accurately positioned at the bonding position.
なお、ボンデイングステージ１６は、ボンデイングを終
えると、所定に移動制御されてチップ供給装置２０より
チップを受け取る位置にリターンされると共にボンデイ
グツール１９は、上方の元の位置へ移動される。When the bonding stage 16 finishes the bonding, the bonding stage 16 is controlled to be moved in a predetermined manner and returned to a position for receiving the chips from the chip supply device 20, and the bonding tool 19 is moved to the original upper position.
［発明の効果］ 上述の如く、本願に係る第１の発明によると、キャリア
テープの送り出し側及び巻き取り側にテープ弛緩貯留装
置を配設したインナーリードボンダーに関し、供給リー
ル及び巻取リールの両方を、常に一定数に回転させてキ
ャリアテープの送り出し及び巻き取りを行なうことがで
き、従って、供給リール及び巻取リールの回転制御の煩
雑高度化を阻止することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the first invention of the present application, the inner lead bonder in which the tape slack storage device is arranged on the sending side and the winding side of the carrier tape, both of the supply reel and the take-up reel are provided. The carrier tape can be fed out and wound up by always rotating the carrier tape at a fixed number. Therefore, it is possible to prevent the rotation control of the supply reel and the take-up reel from being complicated and sophisticated.
また、本願に係る第２の発明によると、キャリアテープ
の送り出し側及び巻き取り側にテープ弛緩貯留装置を配
設したインナーリードボンダーに関し、キャリアテープ
の変形あるいは伸長等の発生を防止し得て、キャリアテ
ープのインナーリードを、ボンデイング位置に正確に位
置決めすることができる。Further, according to the second invention of the present application, with respect to the inner lead bonder in which the tape slack storage device is disposed on the sending side and the winding side of the carrier tape, it is possible to prevent deformation or extension of the carrier tape, The inner lead of the carrier tape can be accurately positioned at the bonding position.
【図面の簡単な説明】 第１図はインナーリードボンダーの正面図、第２図は第
１図の一部を拡大した図、第３図は第２図のＺ−Ｚ矢視
図、第４図は第２図のＹ−Ｙ矢視図、第５図は第２図の
Ｘ−Ｘ矢視図、第６図は第２図のＷ−Ｗ矢視図である。 １…テープ供給装置 ２…テープ巻取装置 ３…ボンデイング装置 ４…テープ移送装置 ５…第１テープ弛緩貯留装置 ６…第２テープ弛緩貯留装置 ７…供給リール ８…キャリアテープ ９…巻取リール １０ａ，１０ｂ…テープガイドフリーローラ １１ａ，１３ａ…第１テープ検出器 １１ｂ，１３ｂ…第２テープ検出器 １２ａ，１２ｂ…テープガイドフリーローラ １６…ボンデイングステージ １９…ボンデイングツール ３０…第１テープ把持器 ３１…第２テープ把持器 ３２…把持器移動装置 ３３…テープロック装置 ７０ａ…リターン用第１テープロック器 ７０ｂ…リターン用第２テープロック器 Ａ…ボンデイング位置BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a front view of an inner lead bonder, FIG. 2 is an enlarged view of a portion of FIG. 1, FIG. 3 is a ZZ arrow view of FIG. 2 is a view taken along the line YY of FIG. 2, FIG. 5 is a view taken along the line XX of FIG. 2, and FIG. 6 is a view taken along the line WW of FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Tape supply device 2 ... Tape winding device 3 ... Bonding device 4 ... Tape transfer device 5 ... 1st tape loose | storing storage device 6 ... 2nd tape loose | storing storage device 7 ... Supply reel 8 ... Carrier tape 9 ... Winding reel 10a , 10b ... Tape guide free roller 11a, 13a ... First tape detector 11b, 13b ... Second tape detector 12a, 12b ... Tape guide free roller 16 ... Bonding stage 19 ... Bonding tool 30 ... First tape gripper 31 ... Second tape gripper 32 ... Gripping device moving device 33 ... Tape lock device 70a ... First tape lock device for return 70b ... Second tape lock device for return A ... Bonding position
Claims (2)
グ位置に前記キャリアテープのインナーリードを位置決
めさせるテープ移送装置と、ボンデイングステージによ
り移動されて前記ボンデイング位置に位置決めされるチ
ップの上方から前記キャリアテープのインナーリードを
ボンデイングツールで押し付け、前記インナーリードを
前記チップの端子にボンデイングせしめるボンデイング
装置と、供給リールを回転させて前記キャリアテープを
送り出すテープ供給装置と、前記供給リールから送り出
される前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留
する第１テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終
えて移送されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂
せしめて貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リー
ルを回転させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記
キャリアテープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたイ
ンナーリードボンダーにおいて、前記第１，２テープ弛
緩貯留装置を、前記供給リール及び前記巻取リール夫々
に接近されて配設された一対のテープガイドフリーロー
ラと、Ｕ字状に懸垂せしめられる前記キャリアテープの
下端上限位置を検出する第１テープ検出器と、Ｕ字状に
懸垂せしめられる前記キャリアテープの下端下限位置を
検出する第２テープ検出器とで構成し、かつ、前記第１
テープ弛緩貯留装置の前記第１テープ検出器が、前記下
端上限位置を未検出のときに前記供給リールを回転させ
て前記キャリアテープを送り出すと共に前記第１，２テ
ープ検出器が、前記下端上限位置及び前記下端下限位置
を検出したときに前記供給リールの回転を停止させ、ま
た、前記第２テープ弛緩貯留装置の前記第１，２テープ
検出器が、前記下端上限位置及び前記下端下限位置を検
出したときに前記巻取リールを回転させて前記キャリア
テープを巻き取ると共に前記第１テープ検出器が、前記
下端上限位置を未検出のときに前記巻取リールの回転を
停止させるようにしたことを特徴とするインナーリード
ボンダー。1. A tape transfer device for intermittently transferring a carrier tape to position an inner lead of the carrier tape at a bonding position, and a carrier tape from above a chip which is moved by a bonding stage and positioned at the bonding position. The inner lead is pressed by a bonding tool to bond the inner lead to the terminal of the chip, a bonding device that rotates the supply reel to supply the carrier tape, and the carrier tape that is supplied from the supply reel. A first tape slack storage device for suspending and storing in a letter shape, a second tape slack storage device for suspending and storing the carrier tape transferred after finishing the bonding in a U shape, and a winding reel. Rotate U In an inner lead bonder including a tape winding device that winds the carrier tape that is suspended and stored in the form of a tape, the first and second tape slack storage devices are brought close to the supply reel and the winding reel, respectively. A pair of tape guide free rollers arranged in parallel, a first tape detector for detecting the lower end upper limit position of the carrier tape suspended in a U shape, and a lower end of the carrier tape suspended in a U shape. A second tape detector for detecting a lower limit position, and the first tape detector
When the first tape detector of the tape slack storage device does not detect the lower limit upper limit position, the supply reel is rotated to feed the carrier tape, and the first and second tape detectors measure the lower limit upper limit position. And the rotation of the supply reel is stopped when the lower limit lower limit position is detected, and the first and second tape detectors of the second tape relaxation storage device detect the lower limit upper limit position and the lower limit lower limit position. At this time, the take-up reel is rotated to wind up the carrier tape, and the first tape detector stops the rotation of the take-up reel when the lower end upper limit position is not detected. A featured inner lead bonder.
グ位置に前記キャリアテープのインナーリードを位置決
めさせるテープ移送装置と、ボンデイングステージによ
り移動されて前記ボンデイング位置に位置決めされるチ
ップの上方から前記キャリアテープのインナーリードを
ボンデイングツールで押し付け、前記インナーリードを
前記チップの端子にボンデイングせしめるボンデイング
装置と、供給リールを回転させて前記キャリアテープを
送り出すテープ供給装置と、前記供給リールから送り出
される前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留
する第１テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終
えて移送されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂
せしめて貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リー
ルを回転させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記
キャリアテープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたイ
ンナーリードボンダーにおいて、前記テープ移送装置
を、ボンデイング位置より第１テープ弛緩貯留装置側に
位置されているキャリアテープの幅方向両端を把持する
第１テープ把持器と、ボンデイング位置より第２テープ
弛緩貯留装置側に位置されているキャリアテープの幅方
向両端を把持する第２テープ把持器と、前記第１，２テ
ープ把持器を一緒に往復動させる把持器移動装置と、前
記第１，２テープ把持器がキャリアテープの把持を解除
してキャリアテープを把持する位置へリターンされる間
中、キャリアテープを移動させないようにロックするテ
ープロック装置とで構成したことを特徴とするインナー
リードボンダー。2. A tape transfer device for intermittently transferring a carrier tape to position an inner lead of the carrier tape at a bonding position, and a carrier moving from above a chip which is moved by a bonding stage and positioned at the bonding position. The inner lead is pressed by a bonding tool to bond the inner lead to the terminal of the chip, a bonding device that rotates the supply reel to supply the carrier tape, and the carrier tape that is supplied from the supply reel. A first tape slack storage device for suspending and storing in a letter shape, a second tape slack storage device for suspending and storing the carrier tape transferred after finishing the bonding in a U shape, and a winding reel. Rotate U An inner lead bonder having a tape winding device that winds the carrier tape that is suspended and stored like a carrier, in which the tape transfer device is located closer to the first tape relaxation storage device than the bonding position. A first tape gripper for gripping both widthwise ends of the tape, and a second tape gripper for gripping both widthwise ends of the carrier tape positioned on the second tape relaxation storage device side from the bonding position; 2. A gripper moving device that reciprocates the two tape grippers together, and moves the carrier tape while the first and second tape grippers release the carrier tape and return to the position where the carrier tape is gripped. An inner lead bonder that is configured with a tape lock device that locks so that it will not be locked.
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|---|---|---|---|
| JP1154200A JPH0642504B2 (en) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | Inner lead bonder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1154200A JPH0642504B2 (en) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | Inner lead bonder |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH0319249A JPH0319249A (en) | 1991-01-28 |
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Family
ID=15579031
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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-
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