JPH0639449Y2 - ウエハ受渡し機構 - Google Patents
ウエハ受渡し機構Info
- Publication number
- JPH0639449Y2 JPH0639449Y2 JP13647488U JP13647488U JPH0639449Y2 JP H0639449 Y2 JPH0639449 Y2 JP H0639449Y2 JP 13647488 U JP13647488 U JP 13647488U JP 13647488 U JP13647488 U JP 13647488U JP H0639449 Y2 JPH0639449 Y2 JP H0639449Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- pulley
- transfer mechanism
- ring
- wafer transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13647488U JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13647488U JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0258335U JPH0258335U (sv) | 1990-04-26 |
JPH0639449Y2 true JPH0639449Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31397020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13647488U Expired - Fee Related JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0639449Y2 (sv) |
-
1988
- 1988-10-19 JP JP13647488U patent/JPH0639449Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0258335U (sv) | 1990-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2856816B2 (ja) | 要素搬送アライメント装置及び方法 | |
JP2002520860A (ja) | ウェハーを極小接触でハンドリングするためのウェハーキャリア及び方法 | |
JPS6372138A (ja) | シリコンウエハ−の位置決め装置 | |
JP4490521B2 (ja) | 回転駆動機構及び被検査体の載置機構並びに検査装置 | |
JPH0639449Y2 (ja) | ウエハ受渡し機構 | |
JPH08335624A (ja) | 回転式基板処理装置 | |
JP4267131B2 (ja) | 被処理体の載置機構 | |
JP3343012B2 (ja) | 回転式基板処理装置 | |
JPH0715136Y2 (ja) | ウエハ回転装置 | |
CN220984492U (zh) | 一种晶圆对中装置 | |
KR100404740B1 (ko) | 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치 | |
JPH0735394Y2 (ja) | ウエハ位置決め装置 | |
JPH059339B2 (sv) | ||
JP3607207B2 (ja) | 収納容器からの半導体ウエーハ取り出し方法と装置 | |
JPH0626231B2 (ja) | 載置体機構 | |
JPH0517885Y2 (sv) | ||
JPH09213769A (ja) | 半導体ウェハの搬送装置 | |
JPH01152634A (ja) | 半導体ペレットの組立装置 | |
JPH0341468Y2 (sv) | ||
JPS62192Y2 (sv) | ||
JP2010199245A (ja) | プリアライナ装置を備えたウェハ搬送システム | |
JPH10154740A (ja) | ウェハとトレーのセッティングシステムとそのためのトレーへのウェハセッティング装置 | |
JPH09246357A (ja) | 半導体ウエハの一斉方向合わせ方法及びその装置 | |
JPH0638441B2 (ja) | 半導体ペレット移送装置 | |
JPH0593044U (ja) | オリエンテーションフラット位置決め装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |