JPH0636446B2 - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPH0636446B2 JPH0636446B2 JP61261989A JP26198986A JPH0636446B2 JP H0636446 B2 JPH0636446 B2 JP H0636446B2 JP 61261989 A JP61261989 A JP 61261989A JP 26198986 A JP26198986 A JP 26198986A JP H0636446 B2 JPH0636446 B2 JP H0636446B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- flow rate
- laser
- adjusting means
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はガスレーザ発振器の改良に関するものである。
［従来の技術］ 第６図は従来のガスレーザ発振器の構成図である。ガス
は循環用ブロワ（３）により閉ループでなるガス循環経
路（２０）内を循環し、ガス循環経路（２０）内に配置
した放電管（１）内で放電（２）を受け励磁される。励
起されたガスの分子は、全反射鏡（５）と部分反射鏡
（６）とで誘導放出を受け、レーザ光として発振するの
である。ガスはボンベ（７）から供給されポンプ（８）
により排出されるが、放電管（１）内で一定圧力を保つ
ように、電磁弁（９）（１０）により制御される。
は循環用ブロワ（３）により閉ループでなるガス循環経
路（２０）内を循環し、ガス循環経路（２０）内に配置
した放電管（１）内で放電（２）を受け励磁される。励
起されたガスの分子は、全反射鏡（５）と部分反射鏡
（６）とで誘導放出を受け、レーザ光として発振するの
である。ガスはボンベ（７）から供給されポンプ（８）
により排出されるが、放電管（１）内で一定圧力を保つ
ように、電磁弁（９）（１０）により制御される。
第７図はガス消費量と放電電力との関係を示す線図で、
曲線Ａはガス消費量が規定消費量の場合を、同Ｂはガス
消費量が規定量に達しない場合を現すものである。
曲線Ａはガス消費量が規定消費量の場合を、同Ｂはガス
消費量が規定量に達しない場合を現すものである。
第８図はレーザ発振器が稼働している時の出力の状況を
示す線図で、横軸を時間として表すと実際に発振してい
る時間は非常に短いことが分る。
示す線図で、横軸を時間として表すと実際に発振してい
る時間は非常に短いことが分る。
しかしその間ガス交換は常に規定消費量で行われている
のである。
のである。
［発明が解決しようとする問題点」 従来のレーザ装置は上記のように構成されているので、
発振器が発振していない場合でも、定格出力時のガス交
換を行っているが、そのためガス消費量が増加し、ガス
のランニングコストが大きくなるので、予てより問題と
なっていた。
発振器が発振していない場合でも、定格出力時のガス交
換を行っているが、そのためガス消費量が増加し、ガス
のランニングコストが大きくなるので、予てより問題と
なっていた。
本発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、ガス消費量を低下させることによりランニングコス
トを低減せしめたレーザ発振器を提供しようとするもの
である。
で、ガス消費量を低下させることによりランニングコス
トを低減せしめたレーザ発振器を提供しようとするもの
である。
［問題点を解決するための手段」 本発明に係るレーザ発振器は、閉ループでなるガス循環
経路内に放電管と循環用ブロワを配置し、前記ガス循環
経路内にボンベから第１の流量調整手段を介してレーザ
媒質ガスを供給し、供給されたレーザ媒質ガスを前記循
環用ブロワにより前記ガス循環経路内を循環させつつ、
第２の流量調整手段を介してポンプによって外部に排出
することにより、レーザ発振器の稼働中常にレーザ媒質
ガスを新しいガスと交換するものにおいて、定格出力で
発振している時はガスを規定交換量で交換し、非発振時
には最低交換量となるように前記第１及び第２の流量調
整手段の開度を制御する流量調整手段を設けたものであ
る。
経路内に放電管と循環用ブロワを配置し、前記ガス循環
経路内にボンベから第１の流量調整手段を介してレーザ
媒質ガスを供給し、供給されたレーザ媒質ガスを前記循
環用ブロワにより前記ガス循環経路内を循環させつつ、
第２の流量調整手段を介してポンプによって外部に排出
することにより、レーザ発振器の稼働中常にレーザ媒質
ガスを新しいガスと交換するものにおいて、定格出力で
発振している時はガスを規定交換量で交換し、非発振時
には最低交換量となるように前記第１及び第２の流量調
整手段の開度を制御する流量調整手段を設けたものであ
る。
［作 用］ 上記の様に構成されたレーザ発振器は、定格出力発振し
ている時は、ガスを規定交換量で交換し、非発振時には
最低交換量となるように調節しうるため、ガス消費量を
大幅に低減させることができる。
ている時は、ガスを規定交換量で交換し、非発振時には
最低交換量となるように調節しうるため、ガス消費量を
大幅に低減させることができる。
「発明の実施例」 第１図は本発明の一実施例であるレーザ発振器の構成図
である。図中、（１）〜（１０）及び（２０）は従来装
置と同一部品、（１１）、（１２）はガス消費量を可変
にするためにガス供給側の電磁弁（９）とガス排出側の
電磁弁（１０）とにそれぞれ並列に設けた電磁弁であ
り、電磁弁（１１）と（９）によって第１の流量調整手
段（１３）が構成され、また電磁弁（１２）と（１０）
によって第２の流量調整手段（１４）が構成されてい
る。（１５）はレーザ出力に応じて第１及び第２の流量
調整手段（１３）、（１４）の開度を制御する流量制御
手段であり、本実施例では定格出力で発振している時は
ガスを規定交換量で交換し、非発振時には最低交換量と
なるように、第１の流量調整手段（１３）の電磁弁（１
１）と第２の流量調整手段（１４）の電磁弁（１２）の
開度を制御するようになっている。
である。図中、（１）〜（１０）及び（２０）は従来装
置と同一部品、（１１）、（１２）はガス消費量を可変
にするためにガス供給側の電磁弁（９）とガス排出側の
電磁弁（１０）とにそれぞれ並列に設けた電磁弁であ
り、電磁弁（１１）と（９）によって第１の流量調整手
段（１３）が構成され、また電磁弁（１２）と（１０）
によって第２の流量調整手段（１４）が構成されてい
る。（１５）はレーザ出力に応じて第１及び第２の流量
調整手段（１３）、（１４）の開度を制御する流量制御
手段であり、本実施例では定格出力で発振している時は
ガスを規定交換量で交換し、非発振時には最低交換量と
なるように、第１の流量調整手段（１３）の電磁弁（１
１）と第２の流量調整手段（１４）の電磁弁（１２）の
開度を制御するようになっている。
前述したように定格出力を得るためには規定のガス量が
必要であるが、非発振時又は低出力時には規定量は不要
である。従ってレーザ出力に応じて、電磁弁（１１）、
（１２）を操作してガス量を制御すれば、ガス消費量を
大幅に低減せしめることができる。第２図はその場合の
レーザ出力とガス消費量との関係を示す線図で、Ａはレ
ーザ出力、Ｂはガス消費量である。しかし第２図は理想
的な場合を示すもので、実際の操業においては第３図に
示すように、出力立上がり時には出力に応じて急速にガ
ス量を増加せしめることが出来ない場合が多い。その場
合は第４図にみるように、出力をＯＮにしてからｔ時間
（ガス量が規定量に達する時間）後に、発振するように
制御すればよい。
必要であるが、非発振時又は低出力時には規定量は不要
である。従ってレーザ出力に応じて、電磁弁（１１）、
（１２）を操作してガス量を制御すれば、ガス消費量を
大幅に低減せしめることができる。第２図はその場合の
レーザ出力とガス消費量との関係を示す線図で、Ａはレ
ーザ出力、Ｂはガス消費量である。しかし第２図は理想
的な場合を示すもので、実際の操業においては第３図に
示すように、出力立上がり時には出力に応じて急速にガ
ス量を増加せしめることが出来ない場合が多い。その場
合は第４図にみるように、出力をＯＮにしてからｔ時間
（ガス量が規定量に達する時間）後に、発振するように
制御すればよい。
なお上記実施例では第１及び第２の流量調整手段（１
３）、（１４）をそれぞれ２個の電磁弁から構成し、そ
のうちの一個の電磁弁はそれぞれ一定の流量しか制御で
きない前提に立っているが、流量制御可能な電磁弁であ
れば、第１図の様に電磁弁を付加することなく、第６図
と同じ構成をとってもよい。またこの場合、第５図に示
すように各出力に応じたガス消費量を設定することも可
能である。
３）、（１４）をそれぞれ２個の電磁弁から構成し、そ
のうちの一個の電磁弁はそれぞれ一定の流量しか制御で
きない前提に立っているが、流量制御可能な電磁弁であ
れば、第１図の様に電磁弁を付加することなく、第６図
と同じ構成をとってもよい。またこの場合、第５図に示
すように各出力に応じたガス消費量を設定することも可
能である。
［発明の効果］ 本発明はレーザ発振器の稼働中常にレーザ媒質ガスを新
しいガスと交換するものにおいて、定格出力で発振して
いる時はガスを規定交換量で交換し、非発振時には最低
交換量となるようにガス消費量を制御し得るようにした
ので、レーザ発振器のガス消費量を大幅に低減せしめる
という勝れた効果を揚げることができた。
しいガスと交換するものにおいて、定格出力で発振して
いる時はガスを規定交換量で交換し、非発振時には最低
交換量となるようにガス消費量を制御し得るようにした
ので、レーザ発振器のガス消費量を大幅に低減せしめる
という勝れた効果を揚げることができた。
第１図は本発明の一実施例であるレーザ発振器の構成
図、第２図はレーザ出力とガス消費量との関係をしめす
線図、第３図、第４図及び第５図は実際の操業における
レーザ出力とガス消費量との関係をしめす線図、第６図
は従来のレーザ発振器の構成図、第７図はその放電電力
とガス消費量との関係を示す線図、第８図は従来の発振
器のレーザ出力とガス消費量との関係を示す線図であ
る。 図中（１）は放電管、（３）は循環用ブロワ、（４）は
ガス、（７）はボンベ、（８）はポンプ、（９）、（１
０）、（１１）（１２）は電磁弁、（１３）は第１の流
量調整手段、（１４）は第２の流量調整手段、（１５）
は流量制御手段、（２０）はガス循環経路である。 なお同一符号は同一部品または相当部品を示すものであ
る。
図、第２図はレーザ出力とガス消費量との関係をしめす
線図、第３図、第４図及び第５図は実際の操業における
レーザ出力とガス消費量との関係をしめす線図、第６図
は従来のレーザ発振器の構成図、第７図はその放電電力
とガス消費量との関係を示す線図、第８図は従来の発振
器のレーザ出力とガス消費量との関係を示す線図であ
る。 図中（１）は放電管、（３）は循環用ブロワ、（４）は
ガス、（７）はボンベ、（８）はポンプ、（９）、（１
０）、（１１）（１２）は電磁弁、（１３）は第１の流
量調整手段、（１４）は第２の流量調整手段、（１５）
は流量制御手段、（２０）はガス循環経路である。 なお同一符号は同一部品または相当部品を示すものであ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】閉ループでなるガス循環経路内に放電管と
循環用ブロワを配置し、前記ガス循環経路内にボンベか
ら第１の流量調整手段を介してレーザ媒質ガスを供給
し、供給されたレーザ媒質ガスを前記循環用ブロワによ
り前記ガス循環経路内を循環させつつ、第２の流量調整
手段を介してポンプによって外部に排出することによ
り、レーザ発振器の稼動中常にレーザ媒質ガスを新しい
ガスと交換するものにおいて、 定格出力で発振している時はガスを規定交換量で交換
し、非発振時には最低交換量となるように前記第１及び
第２の流量調整手段の開度を制御する流量制御手段を設
けたことを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61261989A JPH0636446B2 (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61261989A JPH0636446B2 (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63116480A JPS63116480A (ja) | 1988-05-20 |
| JPH0636446B2 true JPH0636446B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=17369457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61261989A Expired - Lifetime JPH0636446B2 (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636446B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214581A (ja) * | 1984-04-10 | 1985-10-26 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
-
1986
- 1986-11-05 JP JP61261989A patent/JPH0636446B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63116480A (ja) | 1988-05-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |