JPH0636054U - Pellicle frame with adhesive - Google Patents
Pellicle frame with adhesiveInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大きな荷重を加えることなく、基板と隙間な
く接着できる接着剤付きペリクルフレームを提供する。
【構成】 ペリクル１を張設したフレーム２に、表面を
凹凸にして接着剤を塗布し、接着剤表面に基板を圧着し
た際に接着剤がつぶれやすくなっている。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a pellicle frame with an adhesive that can be adhered to a substrate without leaving a large load without any gap. [Structure] When a frame 2 having a pellicle 1 stretched is coated with an adhesive with a roughened surface, and the substrate is pressure-bonded to the adhesive surface, the adhesive is easily crushed.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、半導体露光装置などに用いるレチクル、マスク等の基板に装着する 接着剤付きペリクルフレームに係り、特にフレームに塗布される接着剤に関する ものである。 The present invention relates to a pellicle frame with an adhesive to be mounted on a substrate such as a reticle and a mask used in a semiconductor exposure apparatus, and more particularly to an adhesive applied to the frame.
【０００２】[0002]
従来の接着剤付きペリクルフレームは、図５（ａ）、（ｂ）に示すような構成 になっていた。矩形フレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。フレー ム２の裏面にはアクリル系の硬質の接着剤１３が全面にわたってほぼ同じ厚さに 塗布されていた。 A conventional pellicle frame with an adhesive has a structure as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b). The pellicle 1 is stretched on the surface of the rectangular frame 2. A hard acrylic adhesive 13 was applied to the back surface of the frame 2 over the entire surface to a substantially uniform thickness.
【０００３】[0003]
上記の如き従来の技術においては、アクリル系の硬質の接着剤５３をフレーム ２の裏面に全面にわたって同じ厚さに塗布しているので、接着剤５３がつぶれに くかった。またレチクルとフレームとを圧着する際、フレーム２の各辺ＡＢ、Ｂ Ｃ、ＣＤ、ＤＡに加わる力はフレーム２のコーナー部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに比べて小 さかった。そのため、レチクル４とフレーム２とを接着した後の断面は、コーナ ー部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄでは、図５（ｃ）に示すように、レチクル４とフレーム２と が接着剤５３により完全に接着されるが、辺ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ、ＤＡの中央付近 では、図５（ｄ）に示すように、接着剤５３とレチクル４との間に隙間５が生じ てしまう場合があり、この隙間から塵等が入り込みレチクル表面に付着してしま うという問題点があった。 In the conventional technique as described above, since the acrylic hard adhesive 53 is applied to the entire back surface of the frame 2 to the same thickness, the adhesive 53 is hard to be crushed. Further, when the reticle and the frame were pressure-bonded, the force applied to each side AB, BC, CD, DA of the frame 2 was smaller than the corner portions A, B, C, D of the frame 2. Therefore, the cross section after the reticle 4 and the frame 2 are bonded is completely covered with the adhesive 53 at the corners A, B, C, and D as shown in FIG. 5C. However, a gap 5 may be formed between the adhesive 53 and the reticle 4 near the center of the sides AB, BC, CD, DA as shown in FIG. 5D. There was a problem that dust and the like entered through the gap and adhered to the reticle surface.
【０００４】 また、フレームとレチクルとをフレーム全周にわたって連続的に隙間なく接着 するために大きな荷重を加えると、レチクルに歪みが生じてしまうという問題点 があった。 本考案はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、大きな荷重を加え ることなく、基板と隙間なく接着できる接着剤付きペリクルフレームを提供する ことを目的とする。Further, there is a problem in that the reticle is distorted when a large load is applied to continuously bond the frame and the reticle over the entire circumference of the frame with no gaps. The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a pellicle frame with an adhesive that can be adhered to a substrate without gaps without applying a large load.
【０００５】[0005]
上記問題点の解決の為に、請求項１の本考案は、フレーム２と、該フレームの 表面に張設するペリクル１と、前記フレームの裏面に基板４を接着するために塗 布した硬質の接着剤３とを有する接着剤付きペリクルフレームにおいて、前記基 板４に圧着させる前記接着剤３の表面を凹凸にした。 In order to solve the above problems, the present invention according to claim 1 provides a frame 2, a pellicle 1 stretched on the front surface of the frame, and a hard coating applied to the back surface of the frame to adhere a substrate 4. In the adhesive-equipped pellicle frame having the adhesive 3, the surface of the adhesive 3 to be pressure-bonded to the base plate 4 is made uneven.
【０００６】 また、請求項２の本考案は、フレーム２と、該フレームの表面に張設するペリ クル１と、前記フレームの裏面に基板を接着するために塗布した硬質の接着剤３ とを有する接着剤付きペリクルフレームにおいて、前記接着剤３を線状に連続的 に塗布する。Further, according to the present invention of claim 2, a frame 2, a pellicle 1 stretched on a front surface of the frame, and a hard adhesive 3 applied for adhering a substrate to a back surface of the frame are provided. In the adhesive-equipped pellicle frame, the adhesive 3 is continuously applied linearly.
【０００７】[0007]
請求項１の本考案においては、基板に圧着される接着剤の表面が凹凸になって いるので、接着剤表面がつぶれやすくなっている。従って、小さい力で基板を圧 着してもコーナー部に塗布された接着剤がつぶれ、フレーム各辺の中央部でも接 着剤表面がレチクルに接着し、基板とフレームとの隙間が生じない。 According to the first aspect of the present invention, the surface of the adhesive to be pressure-bonded to the substrate is uneven, so that the surface of the adhesive is easily crushed. Therefore, even if the substrate is pressed with a small force, the adhesive applied to the corners is crushed, and the adhesive surface adheres to the reticle even at the center of each side of the frame, and no gap is created between the substrate and the frame.
【０００８】 また、請求項２の本考案においては、接着剤をフレームの裏面に線状に連続的 に塗布するので、接着剤がつぶれやすくなっている。従って、小さい力で基板を 圧着してもコーナー部に塗布された接着剤がつぶれ、フレーム各辺の中央部でも 接着剤表面がレチクルに接着し、基板とフレームとの隙間が生じない。Further, in the present invention according to claim 2, since the adhesive is continuously applied linearly on the back surface of the frame, the adhesive is easily crushed. Therefore, even if the substrate is pressure-bonded with a small force, the adhesive applied to the corners is crushed, and the adhesive surface adheres to the reticle even at the center of each side of the frame, and no gap is formed between the substrate and the frame.
【０００９】[0009]
以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。 図１は本考案に係る接着剤付きペリクルフレームの第１の実施例を示す図であ り、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）はフレームの伸長方向に垂直な方向の断面 図である。なお、図５と同一の部材には同一符号を付し説明は省略する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1A and 1B are views showing a first embodiment of a pellicle frame with an adhesive according to the present invention. FIG. 1A is a plan view, and FIG. 1B is a cross section in a direction perpendicular to the extension direction of the frame. It is a figure. The same members as those in FIG. 5 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００１０】 矩形のフレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。また、フレーム２ の裏面には硬質の接着剤３が塗布されている。接着剤３の表面にはフレーム２の 伸長方向と平行にＶ字型の溝が二本形成されている。また凹部、凸部はそれぞれ ほぼ同じに厚さになっている。 上述の如く構成された接着剤付きペリクルフレームの接着剤３表面にレチクル ４を圧着すると、フレーム２のコーナー部では、図２（ａ）に示すように、接着 剤３表面の凸部がほとんどつぶれた状態で接着している。フレーム２の各辺の中 央付近にはコーナー部に比べて加わる力が小さいけれども、コーナー部の変形が 大きいので、図２（ｂ）に示すように、接着剤３表面の凸部が少しつぶれた状態 で接着する。A pellicle 1 is stretched on the surface of a rectangular frame 2. A hard adhesive 3 is applied to the back surface of the frame 2. Two V-shaped grooves are formed on the surface of the adhesive 3 in parallel with the extending direction of the frame 2. The concave and convex portions have approximately the same thickness. When the reticle 4 is pressure-bonded to the surface of the adhesive 3 of the pellicle frame with the adhesive configured as described above, the protrusions on the surface of the adhesive 3 are almost crushed at the corners of the frame 2 as shown in FIG. 2 (a). It is adhered in a closed state. Although the force applied to the vicinity of the center of each side of the frame 2 is smaller than that of the corner portion, the deformation of the corner portion is large. Therefore, as shown in Fig. 2 (b), the convex portion of the surface of the adhesive 3 is slightly crushed. And glue them together.
【００１１】 なお本実施例においては、基板に圧着される接着剤の表面にフレームの伸長方 向と平行に二本のＶ字型の溝を形成したが、接着剤表面の凹凸の形状はこれに限 るものではない。 図３は本考案の第２の実施例を示す図であり、フレームの伸長方向に垂直な方 向の断面図である。なお、図１と同一の部材には同一の符号を付し説明は省略す る。In this embodiment, two V-shaped grooves are formed on the surface of the adhesive to be pressure bonded to the substrate in parallel with the extending direction of the frame. It is not limited to. FIG. 3 is a view showing a second embodiment of the present invention and is a sectional view in a direction perpendicular to the extending direction of the frame. The same members as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００１２】 矩形のフレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。また、フレーム２ の裏面には硬質の接着剤３が、フレームの２の伸長方向と平行に二本、線状に連 続的に塗布されている。線状に塗布された接着剤３はフレーム２の裏面から厚さ がほぼ同じになっている。 上述の如く構成された接着剤付きペリクルフレームの接着剤３の表面にレチク ル４を圧着すると、フレーム２のコーナー部では、図４（ａ）に示すように、接 着剤がほとんどつぶれた状態で接着している。また、フレーム２の各辺の中央付 近はコーナー部に比べて加わる力が小さいが、コーナー部の接着剤のつぶれ方が 大きいので、接着剤の表面が少しつぶれて接着する。A pellicle 1 is stretched on the surface of a rectangular frame 2. On the back surface of the frame 2, two hard adhesives 3 are continuously applied linearly in parallel with the extending direction of the frame 2. The adhesive 3 applied linearly has substantially the same thickness from the back surface of the frame 2. When the reticle 4 is pressure-bonded to the surface of the adhesive 3 of the pellicle frame with adhesive configured as described above, the adhesive is almost crushed at the corners of the frame 2 as shown in FIG. 4 (a). Are glued together. Further, the force applied near the center of each side of the frame 2 is smaller than that at the corner portion, but since the adhesive at the corner portion is crushed largely, the surface of the adhesive is crushed a little and adheres.
【００１３】 なお本実施例においては、フレームの伸長方向に平行に二本の線状の接着剤を 連続的に塗布したが、接着剤の塗布方法はこれに限らない。In this embodiment, the two linear adhesives are continuously applied in parallel to the extending direction of the frame, but the adhesive applying method is not limited to this.
【００１４】[0014]
上述したように本考案によれば、矩形フレームの裏面に塗布した接着剤の表面 を凹凸にして、接着剤をつぶれやすくしたので、大きな荷重を加えなくてもフレ ームと基板とを隙間なく接着できる。 また、線状に連続的に接着剤をフレームの裏面に塗布して接着剤を潰れやすく したので、大きな荷重を加えなくてもフレームと基板とを隙間なく接着できる。 As described above, according to the present invention, since the surface of the adhesive applied to the back surface of the rectangular frame is made uneven so that the adhesive is easily crushed, there is no gap between the frame and the substrate without applying a large load. Can be glued. Further, since the adhesive is continuously applied linearly on the back surface of the frame to facilitate the crushing of the adhesive, the frame and the substrate can be bonded to each other without a gap without applying a large load.
【図１】 本考案の接着剤付きペリクルフレームの第１
実施例を示す図である。FIG. 1 is the first of the pellicle frame with an adhesive of the present invention.
It is a figure which shows an Example.
【図２】 本考案の第１実施例の接着剤付きペリクルフ
レームのコーナー部と辺部の接着状態を説明する図であ
る。FIG. 2 is a diagram for explaining a bonding state of a corner portion and a side portion of the pellicle frame with an adhesive according to the first embodiment of the present invention.
【図３】 本考案の第２実施例を示す図である。FIG. 3 is a view showing a second embodiment of the present invention.
【図４】 本考案の第２実施例の接着剤付きペリクルフ
レームのコーナー部と辺部の接着状態を説明する図であ
る。FIG. 4 is a view for explaining a bonding state of a corner portion and a side portion of a pellicle frame with an adhesive according to a second embodiment of the present invention.
【図５】 従来の接着剤付きペリクルフレームを示す図
である。FIG. 5 is a view showing a conventional pellicle frame with an adhesive.
１ ペリクル ２ フレーム ３、３３ 接着剤 ４ レチクル 1 Pellicle 2 Frame 3, 33 Adhesive 4 Reticle
Claims (2)
ペリクルと、前記フレームの裏面に基板を接着するため
に塗布した硬質の接着剤とを有する接着剤付きペリクル
フレームにおいて、 前記基板に圧着させる前記接着剤の表面を凹凸にしたこ
とを特徴とする接着剤付きペリクルフレーム。1. A pellicle frame with an adhesive, comprising a frame, a pellicle stretched on the front surface of the frame, and a hard adhesive applied to adhere the substrate to the back surface of the frame. A pellicle frame with an adhesive characterized in that the surface of the adhesive is made uneven.
ペリクルと、前記フレームの裏面に基板を接着するため
に塗布した硬質の接着剤とを有する接着剤付きペリクル
フレームにおいて、 前記接着剤を線状に連続的に塗布したことを特徴とする
接着剤付きペリクルフレーム。2. A pellicle frame with an adhesive, comprising a frame, a pellicle stretched on a front surface of the frame, and a hard adhesive applied to adhere a substrate to a back surface of the frame, wherein the adhesive is used. A pellicle frame with an adhesive characterized by being applied continuously in a line.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6863692U JP2599827Y2 (en) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | Pellicle frame |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6863692U JP2599827Y2 (en) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | Pellicle frame |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0636054U true JPH0636054U (en) | 1994-05-13 |
| JP2599827Y2 JP2599827Y2 (en) | 1999-09-20 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP6863692U Expired - Fee Related JP2599827Y2 (en) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | Pellicle frame |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2599827Y2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011075662A (en) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | Pellicle, photomask, and semiconductor device |
| US8323855B2 (en) | 2007-03-01 | 2012-12-04 | Nikon Corporation | Pellicle frame apparatus, mask, exposing method, exposure apparatus, and device fabricating method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP6863692U patent/JP2599827Y2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8323855B2 (en) | 2007-03-01 | 2012-12-04 | Nikon Corporation | Pellicle frame apparatus, mask, exposing method, exposure apparatus, and device fabricating method |
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| JP2011075662A (en) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | Pellicle, photomask, and semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2599827Y2 (en) | 1999-09-20 |
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