JPH063503A - 眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置 - Google Patents
眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置Info
- Publication number
- JPH063503A JPH063503A JP4159619A JP15961992A JPH063503A JP H063503 A JPH063503 A JP H063503A JP 4159619 A JP4159619 A JP 4159619A JP 15961992 A JP15961992 A JP 15961992A JP H063503 A JPH063503 A JP H063503A
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- Japan
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- vapor deposition
- chamber
- lens
- dome
- lenses
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レンズの両面への反射防止膜の真空蒸着を高
能率に行なうことを可能とする。 【構成】 レンズの表面に反射防止膜を真空蒸着により
形成するものにおいて、真空蒸着チャンバを荒引チャン
バ（５）、両面蒸着チャンバ（６）、および取出チャン
バ（７）の３槽構造とし、上記両面蒸着チャンバはその
内部に回転駆動自在に設けられるドーム（１）にレンズ
（１１）を個々に保持する保持部を有するレンズホルダ
（８ａ，８ｂ）を有し、このレンズホルダはその両側部
がドーム（１）側に軸により転回可能に支持され、作動
機構によりレンズホルダを１８０°転回させるようにし
たことを特徴とする。
能率に行なうことを可能とする。 【構成】 レンズの表面に反射防止膜を真空蒸着により
形成するものにおいて、真空蒸着チャンバを荒引チャン
バ（５）、両面蒸着チャンバ（６）、および取出チャン
バ（７）の３槽構造とし、上記両面蒸着チャンバはその
内部に回転駆動自在に設けられるドーム（１）にレンズ
（１１）を個々に保持する保持部を有するレンズホルダ
（８ａ，８ｂ）を有し、このレンズホルダはその両側部
がドーム（１）側に軸により転回可能に支持され、作動
機構によりレンズホルダを１８０°転回させるようにし
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は眼鏡用レンズの反射防止
膜蒸着装置に関する。
膜蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に眼鏡用レンズは、近視、遠視、老
視、乱視のいずれも検眼に基づく処方にしたがってその
個人用として作成される。また近時は在来のガラスレン
ズに代りプラスチックを素材とする成形レンズが多用化
されており、特に成形の容易性から遠近両用の累進多焦
点レンズにおいて顕著となっている。
視、乱視のいずれも検眼に基づく処方にしたがってその
個人用として作成される。また近時は在来のガラスレン
ズに代りプラスチックを素材とする成形レンズが多用化
されており、特に成形の容易性から遠近両用の累進多焦
点レンズにおいて顕著となっている。
【０００３】この種のプラスチック製の眼鏡レンズは、
その素材自体の硬度がガラス素材に比して低いためその
表面処理が不可欠とされている。すなわちその表面処理
としては、レンズの表面硬化のために両面にハードコー
ティングを施して耐摩傷性を高めることが行なわれ、ま
た表面硬化に併せて反射防止機能を持たせる反射防止膜
を形成し、レンズの付加価値を高め、レンズ機能の向上
を図っている。
その素材自体の硬度がガラス素材に比して低いためその
表面処理が不可欠とされている。すなわちその表面処理
としては、レンズの表面硬化のために両面にハードコー
ティングを施して耐摩傷性を高めることが行なわれ、ま
た表面硬化に併せて反射防止機能を持たせる反射防止膜
を形成し、レンズの付加価値を高め、レンズ機能の向上
を図っている。
【０００４】上記反射防止膜の形成手段としては、真空
蒸着法、イオンプレーティング方、熱硬化法などがある
が、一般には真空蒸着によって金属酸化物、金属フッ化
物等を蒸着させて反射防止膜を形成する方法が採られて
いる。そして従来の真空蒸着により反射防止膜を形成す
る真空蒸着装置は、荒引チャンバと蒸着チャンバを同一
チャンバで処理するバッチ式か、荒引チャンバ、蒸着チ
ャンバ、取出チャンバの３槽構造となっており、それぞ
れのチャンバから次のチャンバへレンズを移動させて処
理する連続式チャンバが一般に用いられている。
蒸着法、イオンプレーティング方、熱硬化法などがある
が、一般には真空蒸着によって金属酸化物、金属フッ化
物等を蒸着させて反射防止膜を形成する方法が採られて
いる。そして従来の真空蒸着により反射防止膜を形成す
る真空蒸着装置は、荒引チャンバと蒸着チャンバを同一
チャンバで処理するバッチ式か、荒引チャンバ、蒸着チ
ャンバ、取出チャンバの３槽構造となっており、それぞ
れのチャンバから次のチャンバへレンズを移動させて処
理する連続式チャンバが一般に用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかして従来の真空蒸
着により反射防止膜を形成する真空蒸着装置は、蒸着チ
ャンバでは１回の投入で片面の処理しかできないため、
片面処理後大気中にレンズを取出して反転させたのち他
の片面の処理を行なうため、生産性が劣り、受注から製
品出荷までを一貫生産する場合には製造時間の大巾な短
縮を図ろうとする目的に反する要素を持ち、プラスチッ
クレンズ生産ライン中での高速生産上の一つのネックと
なっている。
着により反射防止膜を形成する真空蒸着装置は、蒸着チ
ャンバでは１回の投入で片面の処理しかできないため、
片面処理後大気中にレンズを取出して反転させたのち他
の片面の処理を行なうため、生産性が劣り、受注から製
品出荷までを一貫生産する場合には製造時間の大巾な短
縮を図ろうとする目的に反する要素を持ち、プラスチッ
クレンズ生産ライン中での高速生産上の一つのネックと
なっている。
【０００６】なかにはチャンバ内でレンズを反転させる
ようにして上記の問題点をなくするようにしたものとし
て、ドーム全体を扇形状に６〜８個に分割し、各分割片
にレンズを複数枚ずつセットするようにし、分割片ごと
反転させるようにしたものがあるが、これによるとドー
ムを分割しないものに比してレンズのセット枚数が５０
％以下となってセット率が落ち、充填率が低下して眼鏡
レンズの生産においては生産性の低下から到底採用する
ことができない。
ようにして上記の問題点をなくするようにしたものとし
て、ドーム全体を扇形状に６〜８個に分割し、各分割片
にレンズを複数枚ずつセットするようにし、分割片ごと
反転させるようにしたものがあるが、これによるとドー
ムを分割しないものに比してレンズのセット枚数が５０
％以下となってセット率が落ち、充填率が低下して眼鏡
レンズの生産においては生産性の低下から到底採用する
ことができない。
【０００７】本発明はこれに鑑み、レンズの両面への反
射防止膜の真空蒸着を高能率に行なうことができる眼鏡
用レンズの反射防止膜蒸装置を提供することを目的とし
てなされたものである。
射防止膜の真空蒸着を高能率に行なうことができる眼鏡
用レンズの反射防止膜蒸装置を提供することを目的とし
てなされたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記従来の技術が有する
問題点を解決するため、本発明は、レンズの表面に反射
防止膜を真空蒸着により形成するものにおいて、真空蒸
着チャンバを荒引チャンバ、両面蒸着チャンバ、および
取出チャンバの３槽構造とし、上記両面蒸着チャンバは
その内部に回転駆動自在に設けられるドームにレンズを
個々に保持する保持部を有するレンズホルダを有し、こ
のレンズホルダはその両側部がドーム側に軸により転回
可能に支持され、作動機構によりレンズホルダを１８０
°転回させるようにしたことを特徴とするものである。
問題点を解決するため、本発明は、レンズの表面に反射
防止膜を真空蒸着により形成するものにおいて、真空蒸
着チャンバを荒引チャンバ、両面蒸着チャンバ、および
取出チャンバの３槽構造とし、上記両面蒸着チャンバは
その内部に回転駆動自在に設けられるドームにレンズを
個々に保持する保持部を有するレンズホルダを有し、こ
のレンズホルダはその両側部がドーム側に軸により転回
可能に支持され、作動機構によりレンズホルダを１８０
°転回させるようにしたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】成形されたレンズを荒引チャンバにセットして
下地処理を行ない、ついで両面蒸着チャンバのドームの
レンズホルダの保持部にセットし、一面に蒸着させて蒸
着膜を形成したのち作動機構によりレンズホルダを１８
０°反転させて他面への蒸着を行なう。蒸着終了後レン
ズホルダから取出す。
下地処理を行ない、ついで両面蒸着チャンバのドームの
レンズホルダの保持部にセットし、一面に蒸着させて蒸
着膜を形成したのち作動機構によりレンズホルダを１８
０°反転させて他面への蒸着を行なう。蒸着終了後レン
ズホルダから取出す。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例を参照して
説明する。
説明する。
【００１１】本発明による眼鏡用プラスチックレンズの
製造は、図１に示す工程がとられる。すなわちレンズは
ドームにセットされ、真空チャンバ内で蒸着される。こ
の蒸着は、凹面蒸着２、返しセット３、凸面蒸着４の順
に行なわれるが、このチャンバは、３槽構造とされ、図
２のように荒引チャンバ５、両面蒸着チャンバ６、取出
しチャンバ７からなる。前記荒引チャンバでは１０-4To
rr程度、蒸着チャンバでは１０-5Torr程度とされ、膜厚
の制御は反射光の光量制御により行なわれる。
製造は、図１に示す工程がとられる。すなわちレンズは
ドームにセットされ、真空チャンバ内で蒸着される。こ
の蒸着は、凹面蒸着２、返しセット３、凸面蒸着４の順
に行なわれるが、このチャンバは、３槽構造とされ、図
２のように荒引チャンバ５、両面蒸着チャンバ６、取出
しチャンバ７からなる。前記荒引チャンバでは１０-4To
rr程度、蒸着チャンバでは１０-5Torr程度とされ、膜厚
の制御は反射光の光量制御により行なわれる。
【００１２】前記両面蒸着チャンバ６は、図３に平面を
示すように、速度可変に回転駆動されるドーム１を内蔵
しており、このドーム１は、レンズの２枚１組用、１枚
用のレンズホルダ８ａ，８ｂ（図４Ａ，図４Ｂ）をセッ
トするための保持穴９ａ，９ｂがドーム１の回転中心０
に対し同心位置に多数設けられている。
示すように、速度可変に回転駆動されるドーム１を内蔵
しており、このドーム１は、レンズの２枚１組用、１枚
用のレンズホルダ８ａ，８ｂ（図４Ａ，図４Ｂ）をセッ
トするための保持穴９ａ，９ｂがドーム１の回転中心０
に対し同心位置に多数設けられている。
【００１３】２枚用レンズホルダ８ａは、図４（Ａ）に
平面を示すように回転軸１０に対し左右に一対のレンズ
１１，１１を挟み込んで保持する保持部１２ａ，１２ａ
を有し、一方の保持部１２ａ端にはバランサ１３ａ，１
３ａが設けられ、回転軸１０の一端近くには反転用の突
部１４ａが半径方向に突設されている。
平面を示すように回転軸１０に対し左右に一対のレンズ
１１，１１を挟み込んで保持する保持部１２ａ，１２ａ
を有し、一方の保持部１２ａ端にはバランサ１３ａ，１
３ａが設けられ、回転軸１０の一端近くには反転用の突
部１４ａが半径方向に突設されている。
【００１４】１枚用のレンズホルダ８ｂは、図４（Ｂ）
に平面を示すようにコ字状をなす保持部１２ｂを有し、
そのコ字状に連なる部分がバランサ１６ｂとされてお
り、回転軸１７の一端近くに突部１４ｂが突設されてい
る。
に平面を示すようにコ字状をなす保持部１２ｂを有し、
そのコ字状に連なる部分がバランサ１６ｂとされてお
り、回転軸１７の一端近くに突部１４ｂが突設されてい
る。
【００１５】そしてこれら回転軸１０，１７の両端がド
ーム１の保持穴９ａ，９ｂの両側部に設けられる軸受部
１８ａ，１８ｂに係合して回転可能に支持され、また水
平姿勢の保持は保持穴９ａ，９ｂの内側面とのフリクシ
ョン等により保たれるようになっている。
ーム１の保持穴９ａ，９ｂの両側部に設けられる軸受部
１８ａ，１８ｂに係合して回転可能に支持され、また水
平姿勢の保持は保持穴９ａ，９ｂの内側面とのフリクシ
ョン等により保たれるようになっている。
【００１６】前記ドーム１の半径線上の上方部には図５
に示すように反転用作動部材１９がチャンバ側に所定距
離にわたり昇降可能に支持して設けられ、チャンバ外の
エアシリンダ等の駆動手段により図５においてＡ位置と
Ｂ位置とに位置づけられるようになっている。
に示すように反転用作動部材１９がチャンバ側に所定距
離にわたり昇降可能に支持して設けられ、チャンバ外の
エアシリンダ等の駆動手段により図５においてＡ位置と
Ｂ位置とに位置づけられるようになっている。
【００１７】この作動部材１９には、前記ドーム１の半
径線上に並ぶ保持穴９ａ，９ａ，９ｂ内のレンズホルダ
８ａ，８ｂの突部１４ａ，１４ｂに係合する作動子２
０，２０…が垂設され、Ｂ位置に下降したとき各ホルダ
８ａ，８ｂの突部１４ａ，１４ｂが作動子２０，２０…
に当ってホルダ８ａ，８ｂが軸１０，１７を中心に反転
動作されるようになっている。
径線上に並ぶ保持穴９ａ，９ａ，９ｂ内のレンズホルダ
８ａ，８ｂの突部１４ａ，１４ｂに係合する作動子２
０，２０…が垂設され、Ｂ位置に下降したとき各ホルダ
８ａ，８ｂの突部１４ａ，１４ｂが作動子２０，２０…
に当ってホルダ８ａ，８ｂが軸１０，１７を中心に反転
動作されるようになっている。
【００１８】したがってホルダ８ａ，８ｂにレンズ１１
をセットし、その回転軸１０，１７をドーム１の保持穴
９ａ，９ｂの軸受部１８ａ，１８ｂに嵌合してセットし
たのちドーム１を回転させてレンズ１１の片面の蒸着を
行ない、片面蒸着終了後ドーム１の回転を一旦停止さ
せ、反転用作動部材１９をＡ位置からＢ位置へ下降させ
る。ついでドーム１を低回転で回転させると、各保持穴
９ａ，９ｂ内のホルダ８ａ，８ｂの突部１４ａ，１４ｂ
が作動部材１９の作動子２０，２０…に次々と当ってホ
ルダ８ａ，８ｂが回転され、９０°以上回ったあとバラ
ンサ１３ａ，１６ｂにより反転し、保持穴９ａ，９ｂと
のフリクション接合等によりその反転位置で安定する。
をセットし、その回転軸１０，１７をドーム１の保持穴
９ａ，９ｂの軸受部１８ａ，１８ｂに嵌合してセットし
たのちドーム１を回転させてレンズ１１の片面の蒸着を
行ない、片面蒸着終了後ドーム１の回転を一旦停止さ
せ、反転用作動部材１９をＡ位置からＢ位置へ下降させ
る。ついでドーム１を低回転で回転させると、各保持穴
９ａ，９ｂ内のホルダ８ａ，８ｂの突部１４ａ，１４ｂ
が作動部材１９の作動子２０，２０…に次々と当ってホ
ルダ８ａ，８ｂが回転され、９０°以上回ったあとバラ
ンサ１３ａ，１６ｂにより反転し、保持穴９ａ，９ｂと
のフリクション接合等によりその反転位置で安定する。
【００１９】ドーム１の１回転ですべてのホルダ８ａ，
８ｂが反転を完了し、レンズ１１は裏返える。こうした
のち作動部材１９をＡ位置へ上昇させ、ドーム１を蒸着
時の回転数に戻してレンズ１１の反転面への蒸着が行な
われる。
８ｂが反転を完了し、レンズ１１は裏返える。こうした
のち作動部材１９をＡ位置へ上昇させ、ドーム１を蒸着
時の回転数に戻してレンズ１１の反転面への蒸着が行な
われる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ンズの両面に反射防止膜を蒸着する場合の蒸着装置を３
槽構造とし、その蒸着チャンバ内でレンズを自動的に反
転させるようにし、しかも個々のレンズを反転させるよ
うにしたことによりチャンバへの充填率が高められ、ま
た反転のためのレンズの取出しや裏返しての再セットの
作業が不要となり、これにより生産性を著しく高めるこ
とができ、蒸着に要する時間の大幅な短縮を図ることが
できる。
ンズの両面に反射防止膜を蒸着する場合の蒸着装置を３
槽構造とし、その蒸着チャンバ内でレンズを自動的に反
転させるようにし、しかも個々のレンズを反転させるよ
うにしたことによりチャンバへの充填率が高められ、ま
た反転のためのレンズの取出しや裏返しての再セットの
作業が不要となり、これにより生産性を著しく高めるこ
とができ、蒸着に要する時間の大幅な短縮を図ることが
できる。
【図１】反射防止膜蒸着工程を示す工程図。
【図２】蒸着チャンバの配列を示すブロック図。
【図３】反転蒸着チャンバ内のドームを示す平面図。
【図４】（Ａ），（Ｂ）はレンズホルダの平面図。
【図５】ドーム上のレンズホルダの反転機構の一例を示
す略示側面図。
す略示側面図。
１ ドーム ５ 荒引チャンバ ６ 両面蒸着チャンバ ７ 取出しチャンバ ８ａ ２枚用レンズホルダ ８ｂ １枚用レンズホルダ ９ａ，９ｂ 保持穴 １０，１７ 回転軸 １１ レンズ １２ａ，１２ｂ 保持部 １９ 反転用作動部材 ２０ 作動子
Claims (2)
- 【請求項１】レンズの表面に反射防止膜を真空蒸着によ
り形成するものにおいて、真空蒸着チャンバを荒引チャ
ンバ、両面蒸着チャンバ、および取出チャンバの３槽構
造とし、上記両面蒸着チャンバはその内部に回転駆動自
在に設けられるドームにレンズを個々に保持する保持部
を有するレンズホルダを有し、このレンズホルダはその
両側部がドーム側に軸により転回可能に支持され、作動
機構によりレンズホルダを１８０°転回させるようにし
たことを特徴とする眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装
置。 - 【請求項２】前記作動機構は前記レンズホルダに設けら
れた突部と、この突部に係合して転回させるエアシリン
ダ等により前記突部に係合する位置と退去する位置にわ
たり移動可能な作動部材とで構成されている請求項１記
載の眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159619A JPH063503A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159619A JPH063503A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063503A true JPH063503A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15697678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4159619A Pending JPH063503A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063503A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000336472A (ja) * | 1999-05-04 | 2000-12-05 | Satis Vacuum Ind Vertriebs Ag | 光学基板上にコーティング被覆を蒸着するための真空被覆装置 |
| JP2002198413A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-07-12 | Boc Group Inc:The | 真空チャンバロードロック構造及び物品搬送機構 |
| JP2005514310A (ja) * | 2002-01-14 | 2005-05-19 | エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティック | 眼用レンズの処理方法 |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP4159619A patent/JPH063503A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000336472A (ja) * | 1999-05-04 | 2000-12-05 | Satis Vacuum Ind Vertriebs Ag | 光学基板上にコーティング被覆を蒸着するための真空被覆装置 |
| JP2002198413A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-07-12 | Boc Group Inc:The | 真空チャンバロードロック構造及び物品搬送機構 |
| JP2005514310A (ja) * | 2002-01-14 | 2005-05-19 | エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティック | 眼用レンズの処理方法 |
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