JPH06345541A - マイクロ波焼結方法及びマイクロ波焼結炉 - Google Patents
マイクロ波焼結方法及びマイクロ波焼結炉Info
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- JPH06345541A JPH06345541A JP5166074A JP16607493A JPH06345541A JP H06345541 A JPH06345541 A JP H06345541A JP 5166074 A JP5166074 A JP 5166074A JP 16607493 A JP16607493 A JP 16607493A JP H06345541 A JPH06345541 A JP H06345541A
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- Japan
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- microwave
- sintered
- microwave sintering
- sintering furnace
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- Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 焼結時の被焼結体の各部分の温度勾配を小さ
くしてクラックの発生を防止し、また、エネルギ効率の
よいマイクロ波焼結方法及びその方法に使用するマイク
ロ波焼結炉を提供すること。 【構成】 マイクロ波焼結炉内に配設したヒータ６によ
り、被焼結体１０をマイクロ波焼結炉内で所定温度まで
予熱した後、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表
面温度の差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の
焼結処理を行う。
くしてクラックの発生を防止し、また、エネルギ効率の
よいマイクロ波焼結方法及びその方法に使用するマイク
ロ波焼結炉を提供すること。 【構成】 マイクロ波焼結炉内に配設したヒータ６によ
り、被焼結体１０をマイクロ波焼結炉内で所定温度まで
予熱した後、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表
面温度の差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の
焼結処理を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波加熱により
セラミックス等の誘電体を焼結するマイクロ波焼結方法
及びそれに使用するマイクロ波焼結炉に関するものであ
る。
セラミックス等の誘電体を焼結するマイクロ波焼結方法
及びそれに使用するマイクロ波焼結炉に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、マイクロ波加熱によってセラミッ
クスを焼結することが提案され、実用化されつつある
（例えば、特開昭６０ー２２１３６７号公報、特開平３
−２５７０７２号公報、特開平３−２６７３０４号公
報、特開平４−９２８７０号公報参照。）。
クスを焼結することが提案され、実用化されつつある
（例えば、特開昭６０ー２２１３６７号公報、特開平３
−２５７０７２号公報、特開平３−２６７３０４号公
報、特開平４−９２８７０号公報参照。）。
【０００３】しかしながら、マイクロ波加熱によりセラ
ミックスを焼結する場合、被焼結体が均質なものであれ
ば原理的にはマイクロ波が被焼結体の各部分を均一に加
熱することになるが、焼結処理時、通常マイクロ波焼結
炉内の温度は被焼結体の表面温度よりもかなり低温であ
るため、被焼結体の表面から熱が放射され、結果的に被
焼結体の中心部と表面の間に温度勾配を生じ、クラック
が発生しやすい。また、肉厚差の大きい形状の被焼結体
の場合、被焼結体の中心部と表面部との間だけでなく、
薄肉部と厚肉部とでも温度勾配を生じ、このことによっ
てもクラックが発生する。
ミックスを焼結する場合、被焼結体が均質なものであれ
ば原理的にはマイクロ波が被焼結体の各部分を均一に加
熱することになるが、焼結処理時、通常マイクロ波焼結
炉内の温度は被焼結体の表面温度よりもかなり低温であ
るため、被焼結体の表面から熱が放射され、結果的に被
焼結体の中心部と表面の間に温度勾配を生じ、クラック
が発生しやすい。また、肉厚差の大きい形状の被焼結体
の場合、被焼結体の中心部と表面部との間だけでなく、
薄肉部と厚肉部とでも温度勾配を生じ、このことによっ
てもクラックが発生する。
【０００４】さらに、マイクロ波加熱の特性として、同
一物質であれば温度が高いほど誘電損が大きい。したが
って、一旦温度勾配が生じれば、温度の高い部分のマイ
クロ波吸収効率が高くなるので、その部分の温度が高く
なり、温度が高くなればさらにマイクロ波吸収効率が高
くなり、さらにその部分の温度が高くなる。このように
して、一旦の温度勾配が生じれば、マイクロ波加熱によ
り温度差がより拡大され、これによってクラックの発生
が助長される。
一物質であれば温度が高いほど誘電損が大きい。したが
って、一旦温度勾配が生じれば、温度の高い部分のマイ
クロ波吸収効率が高くなるので、その部分の温度が高く
なり、温度が高くなればさらにマイクロ波吸収効率が高
くなり、さらにその部分の温度が高くなる。このように
して、一旦の温度勾配が生じれば、マイクロ波加熱によ
り温度差がより拡大され、これによってクラックの発生
が助長される。
【０００５】また、前述のとおり誘電体の誘電損は温度
が低ければ小さく、マイクロ波吸収効率は低い。このた
め、従来のマイクロ波焼結炉においては、常温での誘電
損が小さいセラミックスの主材料であるアルミナやシリ
カ等を焼結する場合、特に低温域でのマイクロ波加熱に
よるエネルギ効率が悪いという問題点を有していた。
が低ければ小さく、マイクロ波吸収効率は低い。このた
め、従来のマイクロ波焼結炉においては、常温での誘電
損が小さいセラミックスの主材料であるアルミナやシリ
カ等を焼結する場合、特に低温域でのマイクロ波加熱に
よるエネルギ効率が悪いという問題点を有していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来の
マイクロ波焼結炉の有する問題点に鑑み、焼結時の被焼
結体の各部分の温度勾配を小さくしてクラックの発生を
防止し、また、エネルギ効率のよいマイクロ波焼結方法
及びその方法に使用するマイクロ波焼結炉を提供するこ
とを目的とする。
マイクロ波焼結炉の有する問題点に鑑み、焼結時の被焼
結体の各部分の温度勾配を小さくしてクラックの発生を
防止し、また、エネルギ効率のよいマイクロ波焼結方法
及びその方法に使用するマイクロ波焼結炉を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明は、マイクロ波により誘電体を加熱し、
焼結するマイクロ波焼結方法において、被焼結体をマイ
クロ波焼結炉内で輻射熱により所定温度まで予熱する工
程と、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度
の差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の焼結処
理を行う工程とからなることを要旨とする。
め、本第１発明は、マイクロ波により誘電体を加熱し、
焼結するマイクロ波焼結方法において、被焼結体をマイ
クロ波焼結炉内で輻射熱により所定温度まで予熱する工
程と、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度
の差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の焼結処
理を行う工程とからなることを要旨とする。
【０００８】また、本第２発明は、マイクロ波により誘
電体を加熱し、焼結するマイクロ波焼結炉において、マ
イクロ波焼結炉にヒータを配設し、該ヒータによってマ
イクロ波焼結炉内の温度を制御してなることを要旨とす
る。
電体を加熱し、焼結するマイクロ波焼結炉において、マ
イクロ波焼結炉にヒータを配設し、該ヒータによってマ
イクロ波焼結炉内の温度を制御してなることを要旨とす
る。
【０００９】
【作用】被焼結体を加熱する際、マイクロ波焼結炉内の
温度を制御して、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体
の表面温度差を小さくすることにより、被焼結体表面か
らの熱の放射を低減し、温度の分布を均一にして、被焼
結体の各部分の温度差を小さくしてクラックの発生を防
止する。
温度を制御して、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体
の表面温度差を小さくすることにより、被焼結体表面か
らの熱の放射を低減し、温度の分布を均一にして、被焼
結体の各部分の温度差を小さくしてクラックの発生を防
止する。
【００１０】また、マイクロ波による加熱の前処理とし
て、マイクロ波焼結炉内において輻射熱によって被焼結
体を予熱し、常温での誘電損の小さい物質の温度を所定
温度まで上昇させてからマイクロ波により加熱すること
によって、エネルギ効率を向上させる。
て、マイクロ波焼結炉内において輻射熱によって被焼結
体を予熱し、常温での誘電損の小さい物質の温度を所定
温度まで上昇させてからマイクロ波により加熱すること
によって、エネルギ効率を向上させる。
【００１１】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。図１は、本発明のマイクロ波焼結炉の第１実施例を
示す。マイクロ波焼結炉は、マイクロ波発生器１と、マ
イクロ波発生器１からマイクロ波を導く導波管２と、導
波管２の端部に設けたアプリケータ３と、アプリケータ
３の外周を覆うジャケット４と、ジャケット４の外壁４
ａ及び内壁４ｂの間に配設した断熱材５と、アプリケー
タ３とジャケット４の内壁４ｂの間に形成した空隙に配
設したヒータ６と、温度制御装置８と、ヒータ電源９と
からその主要部を構成する。
る。図１は、本発明のマイクロ波焼結炉の第１実施例を
示す。マイクロ波焼結炉は、マイクロ波発生器１と、マ
イクロ波発生器１からマイクロ波を導く導波管２と、導
波管２の端部に設けたアプリケータ３と、アプリケータ
３の外周を覆うジャケット４と、ジャケット４の外壁４
ａ及び内壁４ｂの間に配設した断熱材５と、アプリケー
タ３とジャケット４の内壁４ｂの間に形成した空隙に配
設したヒータ６と、温度制御装置８と、ヒータ電源９と
からその主要部を構成する。
【００１２】第１実施例においては、導波管２は銅で、
それに連なるアプリケータ３はタングステンで、ヒータ
６は黒鉛で構成しているが、他の材料を使用することも
できる。また、ヒータ６は、横方向に３分割し、各ヒー
タ６ａ，６ｂ，６ｃは、温度制御装置８によって制御さ
せるヒータ電源９に接続して、それぞれの発熱量を独立
して調節可能に構成する。なお、ヒータ６の分割形態は
これに限定されず、縦方向にも分割する等、さらに細分
化することも可能である。なお、マイクロ波焼結炉内の
温度を上げる手段として、ヒータ以外のものを使用する
こともできる。アプリケータ３、被焼結体１０の表面等
の適当な箇所に熱電対７を配設し、熱電対７によって測
定されるマイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温
度に基づいて温度制御装置８によりマイクロ波発生器１
及びヒータ６を制御する。なお、マイクロ波焼結炉内の
温度と被焼結体の表面温度を測定するためのセンサーと
しては、熱電対以外の温度センサーを使用することもで
きる。
それに連なるアプリケータ３はタングステンで、ヒータ
６は黒鉛で構成しているが、他の材料を使用することも
できる。また、ヒータ６は、横方向に３分割し、各ヒー
タ６ａ，６ｂ，６ｃは、温度制御装置８によって制御さ
せるヒータ電源９に接続して、それぞれの発熱量を独立
して調節可能に構成する。なお、ヒータ６の分割形態は
これに限定されず、縦方向にも分割する等、さらに細分
化することも可能である。なお、マイクロ波焼結炉内の
温度を上げる手段として、ヒータ以外のものを使用する
こともできる。アプリケータ３、被焼結体１０の表面等
の適当な箇所に熱電対７を配設し、熱電対７によって測
定されるマイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温
度に基づいて温度制御装置８によりマイクロ波発生器１
及びヒータ６を制御する。なお、マイクロ波焼結炉内の
温度と被焼結体の表面温度を測定するためのセンサーと
しては、熱電対以外の温度センサーを使用することもで
きる。
【００１３】図２は、本発明のマイクロ波焼結炉の第２
実施例を示す。マイクロ波焼結炉は、マイクロ波発生器
１と、マイクロ波発生器１からマイクロ波を導く導波管
２と、導波管２の端部に設けたアプリケータ３と、アプ
リケータ３の外周を覆うジャケット４と、アプリケータ
３とジャケット４の間に形成した空隙を流通する冷却水
１１と、アプリケータ３内に配設したヒータ６と、温度
制御装置８と、ヒータ電源９とからその主要部を構成す
る。
実施例を示す。マイクロ波焼結炉は、マイクロ波発生器
１と、マイクロ波発生器１からマイクロ波を導く導波管
２と、導波管２の端部に設けたアプリケータ３と、アプ
リケータ３の外周を覆うジャケット４と、アプリケータ
３とジャケット４の間に形成した空隙を流通する冷却水
１１と、アプリケータ３内に配設したヒータ６と、温度
制御装置８と、ヒータ電源９とからその主要部を構成す
る。
【００１４】第２実施例においては、導波管２は銅で、
それに連なるアプリケータ３はステンレスで、ヒータ６
はタングステンで構成しているが、他の材料を使用する
こともできる。また、ヒータ６は、横方向に３分割し、
各ヒータ６ａ，６ｂ，６ｃは、温度制御装置８によって
制御させるヒータ電源９に接続して、それぞれの発熱量
を独立して調節可能に構成する。なお、ヒータ６の分割
形態はこれに限定されず、縦方向にも分割する等、さら
に細分化することも可能である。なお、マイクロ波焼結
炉内の温度を上げる手段として、ヒータ以外のものを使
用することもできる。ヒータ６、被焼結体１０の表面等
の適当な箇所に熱電対７を配設し、熱電対７によって測
定されるマイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温
度に基づいて温度制御装置８によりマイクロ波発生器１
及びヒータ６を制御する。なお、マイクロ波焼結炉内の
温度と被焼結体の表面温度を測定するためのセンサーと
しては、熱電対以外の温度センサーを使用することもで
きる。
それに連なるアプリケータ３はステンレスで、ヒータ６
はタングステンで構成しているが、他の材料を使用する
こともできる。また、ヒータ６は、横方向に３分割し、
各ヒータ６ａ，６ｂ，６ｃは、温度制御装置８によって
制御させるヒータ電源９に接続して、それぞれの発熱量
を独立して調節可能に構成する。なお、ヒータ６の分割
形態はこれに限定されず、縦方向にも分割する等、さら
に細分化することも可能である。なお、マイクロ波焼結
炉内の温度を上げる手段として、ヒータ以外のものを使
用することもできる。ヒータ６、被焼結体１０の表面等
の適当な箇所に熱電対７を配設し、熱電対７によって測
定されるマイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温
度に基づいて温度制御装置８によりマイクロ波発生器１
及びヒータ６を制御する。なお、マイクロ波焼結炉内の
温度と被焼結体の表面温度を測定するためのセンサーと
しては、熱電対以外の温度センサーを使用することもで
きる。
【００１５】次に、上記第１実施例又は第２実施例のマ
イクロ波焼結炉を用いて行う焼結の工程について説明す
る。被焼結体１０の各部分の温度分布を均一にし、クラ
ックの発生を防止するためには、マイクロ波焼結炉内の
温度と被焼結体の表面温度差を小さくすることにより、
被焼結体１０の表面からの熱の放射を低減することが必
要である。このため、被焼結体を加熱する際、マイクロ
波による加熱に加えて、熱電対７によって測定されるマ
イクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度に基づい
て温度制御装置８によりヒータ６を制御し、ヒータ６が
発生する輻射熱によってマイクロ波焼結炉内の温度を制
御して、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体１０の表
面温度差を小さくすることにより、被焼結体表面からの
熱の放射を低減し、温度の分布を均一にして、被焼結体
の各部分の温度差を小さくしてクラックの発生を防止す
る。
イクロ波焼結炉を用いて行う焼結の工程について説明す
る。被焼結体１０の各部分の温度分布を均一にし、クラ
ックの発生を防止するためには、マイクロ波焼結炉内の
温度と被焼結体の表面温度差を小さくすることにより、
被焼結体１０の表面からの熱の放射を低減することが必
要である。このため、被焼結体を加熱する際、マイクロ
波による加熱に加えて、熱電対７によって測定されるマ
イクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度に基づい
て温度制御装置８によりヒータ６を制御し、ヒータ６が
発生する輻射熱によってマイクロ波焼結炉内の温度を制
御して、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体１０の表
面温度差を小さくすることにより、被焼結体表面からの
熱の放射を低減し、温度の分布を均一にして、被焼結体
の各部分の温度差を小さくしてクラックの発生を防止す
る。
【００１６】この場合において、ヒータ６は数個のヒー
タ６ａ，６ｂ，６ｃに分割して、それぞれの発熱量を独
立して調節可能に構成しているので、マイクロ波焼結炉
内の温度分布に応じて各ヒータ６ａ，６ｂ，６ｃの発熱
量を調節する。
タ６ａ，６ｂ，６ｃに分割して、それぞれの発熱量を独
立して調節可能に構成しているので、マイクロ波焼結炉
内の温度分布に応じて各ヒータ６ａ，６ｂ，６ｃの発熱
量を調節する。
【００１７】また、マイクロ波による加熱の前処理とし
て、マイクロ波焼結炉に配設したヒータ６から発生する
輻射熱によって被焼結体１０を予熱することによって、
常温での誘電損の小さい被焼結体の温度をマイクロ波吸
収効率がよくなる所定温度まで上昇させた後、マイクロ
波により加熱することによって、マイクロ波加熱時のエ
ネルギ効率を向上させる。
て、マイクロ波焼結炉に配設したヒータ６から発生する
輻射熱によって被焼結体１０を予熱することによって、
常温での誘電損の小さい被焼結体の温度をマイクロ波吸
収効率がよくなる所定温度まで上昇させた後、マイクロ
波により加熱することによって、マイクロ波加熱時のエ
ネルギ効率を向上させる。
【００１８】なお、同種の被焼結体を連続して焼結する
場合には、最初は上記と同様の工程で焼結を行う必要が
あるが、この焼結処理工程におけるマイクロ波発生器１
及びヒータ６の稼働状態を温度制御装置８に設けたメモ
リーに記憶しておき、次の焼結処理を行う際、記憶した
データに基づいて温度制御装置８によりマイクロ波発生
器１及びヒータ６の稼働状態を制御することにより、被
焼結体１０の表面に配設する熱電対７を省略することが
できる。この場合における加熱状態の異常等は、アプリ
ケータ３、ヒータ６の表面等に配設した熱電対７によっ
て測定されるマイクロ波焼結炉内の温度変化によって検
知することができる。
場合には、最初は上記と同様の工程で焼結を行う必要が
あるが、この焼結処理工程におけるマイクロ波発生器１
及びヒータ６の稼働状態を温度制御装置８に設けたメモ
リーに記憶しておき、次の焼結処理を行う際、記憶した
データに基づいて温度制御装置８によりマイクロ波発生
器１及びヒータ６の稼働状態を制御することにより、被
焼結体１０の表面に配設する熱電対７を省略することが
できる。この場合における加熱状態の異常等は、アプリ
ケータ３、ヒータ６の表面等に配設した熱電対７によっ
て測定されるマイクロ波焼結炉内の温度変化によって検
知することができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、被焼結体を加熱する
際、マイクロ波による加熱に加えて、マイクロ波焼結炉
内の温度を制御して、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼
結体の表面温度差を小さくすることができ、被焼結体表
面からの熱の放射を低減し、温度の分布を均一にして、
被焼結体の各部分の温度差を小さくすることによって、
被焼結体にクラックが発生することを防止し、高品質の
被焼結体を得ることができる。
際、マイクロ波による加熱に加えて、マイクロ波焼結炉
内の温度を制御して、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼
結体の表面温度差を小さくすることができ、被焼結体表
面からの熱の放射を低減し、温度の分布を均一にして、
被焼結体の各部分の温度差を小さくすることによって、
被焼結体にクラックが発生することを防止し、高品質の
被焼結体を得ることができる。
【００２０】また、マイクロ波による加熱の前処理とし
て、マイクロ波焼結炉内において輻射熱によって被焼結
体を予熱し、常温での誘電損の小さい物質の温度を所定
温度まで上昇させてからマイクロ波により加熱すること
ができ、特に低温域でのマイクロ波加熱によるエネルギ
効率が悪いアルミナやシリカ等のセラミックスの主材料
を焼結する場合のマイクロ波加熱によるエネルギ効率を
向上することができる。
て、マイクロ波焼結炉内において輻射熱によって被焼結
体を予熱し、常温での誘電損の小さい物質の温度を所定
温度まで上昇させてからマイクロ波により加熱すること
ができ、特に低温域でのマイクロ波加熱によるエネルギ
効率が悪いアルミナやシリカ等のセラミックスの主材料
を焼結する場合のマイクロ波加熱によるエネルギ効率を
向上することができる。
【図１】本発明の第１実施例のマイクロ波焼結炉を示す
図である。
図である。
【図２】本発明の第２実施例のマイクロ波焼結炉を示す
図である。
図である。
１ マイクロ波発生器 ２ 導波管 ３ アプリケータ ４ ジャケット ５ 断熱材 ６ ヒータ ７ 熱電対 ８ 温度制御装置 ９ ヒータ電源 １０ 被焼結体 １１ 冷却水
Claims (2)
- 【請求項１】 マイクロ波により誘電体を加熱し、焼結
するマイクロ波焼結方法において、被焼結体をマイクロ
波焼結炉内で輻射熱により所定温度まで予熱する工程
と、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度の
差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の焼結処理
を行う工程とからなることを特徴とするマイクロ波焼結
方法。 - 【請求項２】 マイクロ波により誘電体を加熱し、焼結
するマイクロ波焼結炉において、マイクロ波焼結炉にヒ
ータを配設し、該ヒータによってマイクロ波焼結炉内の
温度を制御してなることを特徴とするマイクロ波焼結
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5166074A JP2654903B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | マイクロ波焼結方法及びマイクロ波焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5166074A JP2654903B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | マイクロ波焼結方法及びマイクロ波焼結炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06345541A true JPH06345541A (ja) | 1994-12-20 |
| JP2654903B2 JP2654903B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=15824501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5166074A Expired - Fee Related JP2654903B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | マイクロ波焼結方法及びマイクロ波焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654903B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09501539A (ja) * | 1993-08-10 | 1997-02-10 | イーエイ テクノロジー リミテッド | マイクロ波利用の材料加工 |
| JP2003075077A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Natl Inst For Fusion Science | マイクロ波焼成炉およびマイクロ波焼成方法 |
| JP2003519071A (ja) * | 1999-12-28 | 2003-06-17 | コーニング インコーポレイテッド | セラミックを焼成するためのハイブリッド方法 |
| EP1333012A1 (en) * | 2000-10-19 | 2003-08-06 | Japan as represented by Director-General of National Institute for Fusion Science | Burning furnace, burnt body producing method, and burnt body |
| US7217909B2 (en) | 2004-04-16 | 2007-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave baking furnace |
| US7223950B2 (en) | 2004-02-05 | 2007-05-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave burning furnace including heating element having two types of materials |
| KR100885342B1 (ko) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | 김병관 | 마이크로파 소결로 |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP5166074A patent/JP2654903B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09501539A (ja) * | 1993-08-10 | 1997-02-10 | イーエイ テクノロジー リミテッド | マイクロ波利用の材料加工 |
| JP2003519071A (ja) * | 1999-12-28 | 2003-06-17 | コーニング インコーポレイテッド | セラミックを焼成するためのハイブリッド方法 |
| EP1333012A1 (en) * | 2000-10-19 | 2003-08-06 | Japan as represented by Director-General of National Institute for Fusion Science | Burning furnace, burnt body producing method, and burnt body |
| EP1333012A4 (en) * | 2000-10-19 | 2007-06-13 | Jp Nat Inst For Fusion Science | CALCINATION OVEN, PREPARATION OF CALCINATED BODIES AND CALCINATED BODY |
| JP2003075077A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Natl Inst For Fusion Science | マイクロ波焼成炉およびマイクロ波焼成方法 |
| US7223950B2 (en) | 2004-02-05 | 2007-05-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave burning furnace including heating element having two types of materials |
| US7217909B2 (en) | 2004-04-16 | 2007-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave baking furnace |
| KR100885342B1 (ko) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | 김병관 | 마이크로파 소결로 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2654903B2 (ja) | 1997-09-17 |
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