JPH0634353A - Comparation judgement device - Google Patents

Comparation judgement device

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JPH0634353A
JPH0634353A JP21376792A JP21376792A JPH0634353A JP H0634353 A JPH0634353 A JP H0634353A JP 21376792 A JP21376792 A JP 21376792A JP 21376792 A JP21376792 A JP 21376792A JP H0634353 A JPH0634353 A JP H0634353A
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probe
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Munehiro Sensei
宗弘 先生
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Senjo Seiki Corp
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Abstract

PURPOSE:To eliminate the necessity for use of any larger space and move a measuring piece to a desired place in a short time by controlling a joint type actuator fitted with the piece using a control means. CONSTITUTION:A probe 3 is moved to a desired place by an actuator 1 of horizontal joint type, and the tip of a measuring piece 5 is contacted with the measuring position on an object 7 to be measured which is placed on a stage 39, and thereupon the measuring takes place. Therein the first servo motor 15 revolves the first arm 13 while the second servo motor 19 spins a spinning block 17. A third servo motor 23 swings the second arm 21, while a fourth servo motor 29 rotates a wrist cylinder 27. A control means to control the actuator 1 is composed of a computer, drive unit, operation panel, etc. The upper limit and lower limit reference data are acquired for the upper limit model object 7' to be measured and the lower limit model object 7'' to be measured, and judgement whether applicable object can be accepted, is passed depending upon the measuring data for the object 7 lying between the two limitations.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、予め測定・記憶されて
いるモデル測定対象物(通常マスターと称される)の測
定データ(基準データ)と、各測定対象物の測定データ
とを比較して、その測定対象物の良否を判別する比較判
別装置に係り、特に、測定子を有するプローブを移動制
御するための構成を改良するとともに、測定対象物の良
否を判別するための判別方法をより簡単にしたものに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention compares the measurement data (reference data) of a model measurement object (usually referred to as a master), which is measured and stored in advance, with the measurement data of each measurement object. The present invention relates to a comparison / discrimination device that discriminates the quality of an object to be measured, and in particular, improves the configuration for controlling the movement of a probe having a tracing stylus, and more particularly a discriminating method for discriminating the quality of an object to be measured. Regarding the simplified ones.

【0002】[0002]

【従来の技術】三次元比較測定装置としては、例えば、
実願平1−257510号の願書に添付した明細書及び
図面に記載されているようなものがある。これを図8及
び図9を参照して説明する。図8は三次元比較測定装置
の正面図であり、又、図9は同上の側面図である。ま
ず、ベース101があり、このベース101上には第1
レール103、103’が設けられていて、これら第1
レール103、103’上には、X軸スライダとしての
テーブル105が往復動可能に配置されている。テーブ
ル105の下面には、図9に示すように、直動ブロック
107、107’が取付けられていて、これら直動ブロ
ック107、107’が、上記第1レール103、10
3’に移動可能に係合している。
2. Description of the Related Art As a three-dimensional comparative measuring device, for example,
There is one as described in the specification and drawings attached to the application of Japanese Utility Model Application No. 1-275510. This will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a front view of the three-dimensional comparative measuring device, and FIG. 9 is a side view of the same. First, there is a base 101, on which the first
Rails 103, 103 'are provided for the first of these
A table 105 as an X-axis slider is reciprocally arranged on the rails 103 and 103 '. As shown in FIG. 9, linear motion blocks 107, 107 ′ are attached to the lower surface of the table 105, and these linear motion blocks 107, 107 ′ are connected to the first rails 103, 10 ′.
3'movably engaged.

【0003】テーブル105にはX軸駆動装置109が
連結されていて、このX軸駆動装置109を駆動するこ
とにより、テーブル105を上記第1レール103、1
03’に沿って往復動させる。テーブル105には定盤
111が固定されている。この定盤111上に測定対象
物113、モデル測定対象物113’が固定される。ベ
ース101上には固定台115が取付けられている。固
定台115上には直動ブロック117、117’が設置
されている。これら直動ブロック117、117’上に
は第2レール119、119’が係合・配置されてい
る。第2レール119、119’上には、Y軸スライダ
121が固定されていて、このY軸スライダ121は、
第2レール119、119’を介して、X軸に直交する
Y軸方向に往復動する。上記Y軸スライダ121を往復
動させるのはY軸駆動装置123である。
An X-axis drive device 109 is connected to the table 105. By driving the X-axis drive device 109, the table 105 is moved to the first rails 103, 1
Reciprocate along 03 '. A surface plate 111 is fixed to the table 105. The measurement object 113 and the model measurement object 113 'are fixed on the surface plate 111. A fixed base 115 is attached on the base 101. Linear motion blocks 117 and 117 ′ are installed on the fixed base 115. Second rails 119 and 119 'are engaged and arranged on these linear motion blocks 117 and 117'. A Y-axis slider 121 is fixed on the second rails 119 and 119 ′, and the Y-axis slider 121 is
It reciprocates in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis via the second rails 119 and 119 '. It is the Y-axis drive device 123 that reciprocates the Y-axis slider 121.

【0004】Y軸スライダ121の前部には、支持台1
25が固定されていて、この支持台125には保持体1
27を介して、Z軸スライダ129がX軸及びY軸に直
交するZ軸に往復動可能に取付けられている。上記保持
体127には第3レール131、131’が設けられて
いて、上記Z軸スライダ129はこれら第3レール13
1、131’に沿って往復動する。そして、Z軸スライ
ダ129を往復動させるのがZ軸駆動装置133であ
る。Z軸スライダ129の下端には、プローブ135が
取付けられていて、このプローブ135は測定子137
を備えている。
At the front of the Y-axis slider 121, the support base 1
25 is fixed, and the holder 1 is attached to the support base 125.
A Z-axis slider 129 is reciprocally attached to the Z-axis, which is orthogonal to the X-axis and the Y-axis, via 27. The holding body 127 is provided with third rails 131 and 131 ′, and the Z-axis slider 129 is provided with the third rails 13 and 131 ′.
It reciprocates along 1, 131 '. The Z-axis drive device 133 reciprocates the Z-axis slider 129. A probe 135 is attached to the lower end of the Z-axis slider 129, and the probe 135 is a measuring element 137.
Is equipped with.

【0005】以上の構成を基にその作用を説明する。ま
ず、モデル測定対象物113’をテーブル105上の定
盤111上に載置・固定する。その状態でサンプリング
が行なわれる。すなわち、載置・固定されているモデル
測定対象物113’の予め設定されている複数個の測定
点において、プローブ135の測定子137を複数回当
接させて、そのときの(X、Y、Z)座標値を読み取る
とともに、それらを平均して基準データを採取する。採
取した基準データは記憶される。
The operation will be described based on the above configuration. First, the model measurement target 113 ′ is placed and fixed on the surface plate 111 on the table 105. Sampling is performed in that state. That is, the probe 137 of the probe 135 is brought into contact a plurality of times at a plurality of preset measurement points of the mounted and fixed model measurement object 113 ′, and (X, Y, Z) Read the coordinate values and average them to collect reference data. The collected reference data is stored.

【0006】次に、測定対象物113の測定を開始す
る。まず、測定対象物113をテーブル105上の定盤
111上に載置・固定する。その状態で測定動作をスタ
ートさせて、プローピングと称される動作が行なわれ
る。すなわち、モデル測定対象物113’に対して行な
ったサンプリングに相当するものであり、測定対象物1
13の各測定点において測定子137を当接させて、そ
のときの(X、Y、Z)座標値を読み取り測定データを
採取する。後は、その測定データと予め採取・記憶され
ている基準データとを比較して、測定対象物113の良
否を判別していくものである。尚、比較・判別の方法と
しては、採取された測定データと基準データとの差を算
出して、それが予め設定された公差内に有るか否かによ
って良否を判別するものである。
Next, the measurement of the measuring object 113 is started. First, the measurement object 113 is placed and fixed on the surface plate 111 on the table 105. In that state, the measurement operation is started, and an operation called propping is performed. That is, this corresponds to the sampling performed on the model measurement object 113 ′, and the measurement object 1
The probe 137 is brought into contact with each of the 13 measurement points, the (X, Y, Z) coordinate values at that time are read, and measurement data is collected. After that, the measurement data is compared with the reference data that is collected and stored in advance to determine the quality of the measurement object 113. As a comparison / determination method, a difference between the collected measurement data and the reference data is calculated, and the quality is determined by whether or not the difference is within a preset tolerance.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成による
と次のような問題があった。まず、測定作業に長時間を
要してしまうという問題があった。これは、測定子13
7を備えたプローブ135を移動させるための駆動手段
として、一軸方向に往復動させるX軸スライダ機構、Y
軸スライダ機構、Z軸スライダ機構を使用していて、そ
れらを適宜組み合わせることにより、測定子137を備
えたプローブ135を任意の測定位置に移動させる構成
になっているからであり、測定子137を所望の場所ま
で移動させるのに長時間を要してしまうからである。
又、それと同時に、X軸スライダ機構、Y軸スライダ機
構、Z軸スライダ機構を組み合わせた移動手段の設置ス
ペースとして大きなスペースを必要とするとともに移動
スペースも大きく確保しておく必要があり、省スペース
化を図る上で問題があった。
The above-mentioned conventional structure has the following problems. First, there was a problem that the measurement work took a long time. This is the probe 13
As a driving means for moving the probe 135 provided with 7, an X-axis slider mechanism that reciprocates in one axis direction, Y
This is because the axial slider mechanism and the Z-axis slider mechanism are used, and by appropriately combining them, the probe 135 provided with the probe 137 is moved to an arbitrary measurement position. This is because it takes a long time to move to a desired place.
At the same time, a large space is required as the installation space for the moving means that combines the X-axis slider mechanism, the Y-axis slider mechanism, and the Z-axis slider mechanism, and it is necessary to secure a large moving space, which saves space. There was a problem in trying.

【0008】又、従来の場合には、測定対象物113の
良否を判別する判別方法として、絶対値データとしての
測定データと基準データとを比較してその差が予め設定
されている公差内に有るか否かによって良否を判別する
方法を採用している。これに対しては、より簡単な方法
で測定対象物113の良否を判別したいという要求があ
り、特に、測定対象物113がそれ程高い寸法精度を要
しないようなものである場合に顕著であった。
Further, in the conventional case, as a determination method for determining the quality of the measuring object 113, the measurement data as absolute value data is compared with the reference data, and the difference is within a preset tolerance. A method of determining pass / fail depending on whether or not there is is adopted. On the other hand, there is a demand to determine the quality of the measuring object 113 by a simpler method, and particularly when the measuring object 113 does not require such high dimensional accuracy. .

【0009】本発明はこのような点に基づいてなされた
ものでその目的とするところは、設置スペース及び移動
スペースが小さくて済むとともに測定子を短い時間で所
望の場所まで移動させることができる移動手段を備えて
いて、又、できるだけ簡単な処理で測定対象物の良否を
判別することを可能にした比較判別装置を提供すること
にある。
The present invention has been made on the basis of such a point, and an object of the present invention is to provide a moving device which can be moved to a desired place in a short time while the installation space and the moving space are small. Another object of the present invention is to provide a comparison / discrimination device which is provided with a means and is capable of discriminating the quality of an object to be measured by the simplest processing possible.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するべく
本願発明による比較判別装置は、モデル測定対象物を所
定の測定位置に載置・固定して該モデル測定対象物にお
ける所定箇所に測定子を当接させて基準データを採取
し、次に、測定対象物を上記所定の測定位置に載置・固
定して該測定対象物における所定箇所に測定子を当接さ
せて測定データを採取し、上記測定データと基準データ
とから測定対象物の良否を判別するように構成した比較
判別装置において、上記測定子を関節型アクチュエータ
に取付けてこの関節型アクチュエータを制御手段によっ
て制御することにより測定子を所望の場所に位置させる
ようにしたことを特徴とするものである。その際、モデ
ル測定対象物を上限モデル測定対象物と下限モデル測定
対象物の二つとして、これら上限モデル測定対象物と下
限モデル測定対象物を使用して上限基準データと下限基
準データを採取し、測定対象物に関する測定データが上
記上限基準データと下限基準データとの間に有るか否か
によって測定対象物の良否を判別するように構成するこ
とが考えられる。又、関節型アクチュエータに取付けら
れている各駆動用サーボモータにそれぞれの旋回部の旋
回角度を検出する専用エンコーダを取付けて、該専用エ
ンコーダの検出値を測定子のモデル測定対象物又は測定
対象物に対する当接信号により制御して、所定の測定位
置における旋回角度データを採取するようにすることが
考えられる。
In order to achieve the above-mentioned object, a comparison and discrimination apparatus according to the present invention is designed such that a model measurement object is placed and fixed at a predetermined measurement position, and a probe is placed at a predetermined position on the model measurement object. To collect the reference data, and then place and fix the measurement target at the predetermined measurement position, and contact the probe at a predetermined position on the measurement target to collect the measurement data. In a comparison and determination device configured to determine the quality of an object to be measured from the measurement data and the reference data, the probe is attached to an articulated actuator and the articulated actuator is controlled by a control means. Is located at a desired place. At that time, the upper limit model measurement object and the lower limit model measurement object are used as the model measurement target, and the upper limit reference data and the lower limit reference data are collected using these upper limit model measurement target and lower limit model measurement target. It is conceivable that the quality of the measurement object may be determined depending on whether the measurement data regarding the measurement object is between the upper limit reference data and the lower limit reference data. Further, a dedicated encoder for detecting the turning angle of each turning portion is attached to each drive servomotor attached to the joint type actuator, and the detection value of the dedicated encoder is used as a model measurement object or measurement object of the probe. It is conceivable to obtain the turning angle data at a predetermined measurement position by controlling the contact signal with respect to.

【0011】[0011]

【作用】本発明による比較判別装置の場合には、測定子
を移動させるための移動手段として関節型アクチュエー
タを使用したものである。関節型アクチュエータの場合
には、従来のX−Y−Zスライダ機構に比べて少ないス
ペースで設置することができるとともに移動スペースも
小さくてすみ、又、測定子を所望の位置まで移動させる
のに要する時間も短いものである。又、判別方法として
は、上限モデル測定対象物と下限モデル測定対象物の二
つについて上限基準データと下限基準データをとり、測
定データがそれら上限基準データと下限基準データの間
に有るか否かによって良否を判別する方法がある。この
場合には、良否の判別が簡単であるのでそれに要するシ
ステムの構築も簡単である。又、データとしては、関節
型アクチュエータの各駆動用サーボモータに旋回部や揺
動部の変位角度を検出するための専用エンコーダをそれ
ぞれ取付けて、それら専用エンコーダからの検出信号を
測定子からの当接信号により制御し、所定の測定位置に
おける旋回角度データや揺動角度データとして採取する
ことが考えられる。この場合には、位置データとしての
絶対値データ、すなわち、(X、Y、Z)座標値を算出
して比較判別する場合に比べて処理が簡単になり、それ
によっても、必要なシステムの構築が簡単になる。
In the case of the comparison / discrimination device according to the present invention, the articulated actuator is used as the moving means for moving the tracing stylus. The articulated actuator can be installed in a smaller space as compared with the conventional XYZ slider mechanism, requires a small moving space, and is required to move the probe to a desired position. The time is also short. In addition, as a discrimination method, the upper limit reference data and the lower limit reference data are taken for the upper limit model measurement target and the lower limit model measurement target, and whether the measurement data is between the upper limit reference data and the lower limit reference data. There is a method of determining pass / fail by. In this case, since it is easy to determine the quality, it is easy to construct the system required for it. In addition, as data, a dedicated encoder for detecting the displacement angle of the swinging part and the swinging part is attached to each driving servomotor of the joint type actuator, and the detection signals from these dedicated encoders are sent from the probe. It is possible to control by a contact signal and collect as turning angle data and rocking angle data at a predetermined measurement position. In this case, the processing is simpler than the case where absolute value data as position data, that is, (X, Y, Z) coordinate values are calculated for comparison and determination, and also by this, the construction of the necessary system Will be easier.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図1乃至図5を参照して本発明の一実
施例を説明する。図1乃至図3は本実施例による比較判
別装置の外観及び動作を示す図である。本実施例の場合
には、関節型アクチュエータの一種である水平関節型ア
クチュエータ1を使用して、プローブ3を所望の位置ま
で移動させるように構成している。上記プローブ3には
測定子5が着脱可能に取付けられていて、この測定子5
の先端を測定対象物7、上限モデル測定対象物7’、下
限モデル測定対象物7”における所定の測定位置に当接
させる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3 are views showing the appearance and operation of the comparison / determination device according to the present embodiment. In the case of this embodiment, a horizontal joint type actuator 1 which is a kind of joint type actuator is used to move the probe 3 to a desired position. A probe 5 is detachably attached to the probe 3, and the probe 5
Is brought into contact with predetermined measurement positions on the measurement target 7, the upper limit model measurement target 7 ', and the lower limit model measurement target 7 ".

【0013】上記水平関節型アクチュエータ1は基台9
上に固定されている。以下、この水平関節型アクチュエ
ータ1の構成を詳細に説明する。まず、基台9上にはコ
ラム11が立設されており、このコラム11の上端には
第1アーム13が旋回可能に連結されている。上記第1
アーム13を旋回させるのが第1サーボモータ15であ
る。上記第1アーム13は略L字状をしていて、その先
端部の下面には旋回ブロック17が旋回可能に連結され
ている。この旋回ブロック17を旋回させるのが第2サ
ーボモータ19である。
The horizontal joint actuator 1 is a base 9
It is fixed on. Hereinafter, the structure of the horizontal joint type actuator 1 will be described in detail. First, a column 11 is erected on the base 9, and a first arm 13 is rotatably connected to the upper end of the column 11. First above
The first servo motor 15 rotates the arm 13. The first arm 13 is substantially L-shaped, and a turning block 17 is turnably connected to the lower surface of the tip of the first arm 13. The second servo motor 19 turns the turning block 17.

【0014】上記旋回ブロック17の下側には第2アー
ム21が揺動可能に取付けられている。この第2アーム
21を揺動させるのが第3サーボモータ23である。上
記第2アーム21の先端には揺動ブロック25が揺動可
能に連結されている。さらに、上記揺動ブロック25の
下端には手首筒27が旋回可能に取付けられている。こ
の手首筒27を旋回させるのが第4サーボモータ29で
ある。上記手首筒27の下端にはプローブヘッド31が
取付けられていて、このプローブヘッド31に既に述べ
たプローブ3が着脱可能に取付けられている。
A second arm 21 is swingably attached to the lower side of the turning block 17. The third servo motor 23 swings the second arm 21. A swing block 25 is swingably connected to the tip of the second arm 21. Further, a wrist cylinder 27 is rotatably attached to the lower end of the swing block 25. The fourth servomotor 29 rotates the wrist cylinder 27. A probe head 31 is attached to the lower end of the wrist cylinder 27, and the probe 3 described above is detachably attached to the probe head 31.

【0015】上記構成によると、図2にも示すように、
第1アーム13は第1サーボモータ15によって、矢印
a方向に旋回する。又、旋回ブロック17は第2サーボ
モータ19によって、矢印b方向に旋回する。又、第2
アーム21は第3サーボモータ23によって矢印c方向
に揺動する。さらに、手首筒27は第4サーボモータ2
9によって矢印d方向に旋回することになる。又、図2
に仮想線で示す範囲内をカバーすることができ、その範
囲内であれば任意の場所にプローブ3を位置させること
ができる。
According to the above structure, as shown in FIG.
The first arm 13 is swung in the direction of arrow a by the first servomotor 15. The turning block 17 is turned in the direction of arrow b by the second servomotor 19. Also, the second
The arm 21 swings in the direction of arrow c by the third servomotor 23. Further, the wrist cylinder 27 is the fourth servomotor 2
9 turns in the direction of arrow d. Moreover, FIG.
It is possible to cover the range indicated by a virtual line, and the probe 3 can be positioned at any place within the range.

【0016】又、揺動ブロック25は揺動することによ
り手首筒27、プローブヘッド31、ひいては測定子5
を常時同じ姿勢に保持するように機能する。これを実現
するのが、第2アーム21内に内蔵されているリンク機
構33である。このリンク機構33は、上リンク35と
下リンク37とから構成されていて、既に述べた第3サ
ーボモータ23は、下リンク37に連結されている。こ
れら上リンク35と下リンク37の連動作用により、揺
動ブロック25を矢印e方向に揺動させ、それによっ
て、手首筒27、プローブヘッド31、ひいては測定子
5を常時同じ姿勢に保持するものである。その様子を図
3に示す。
Further, the swing block 25 swings, whereby the wrist cylinder 27, the probe head 31, and by extension, the probe 5.
To keep the same posture at all times. The link mechanism 33 built in the second arm 21 realizes this. The link mechanism 33 is composed of an upper link 35 and a lower link 37, and the above-mentioned third servomotor 23 is connected to the lower link 37. By the interlocking action of the upper link 35 and the lower link 37, the swing block 25 is swung in the direction of the arrow e, whereby the wrist cylinder 27, the probe head 31, and thus the probe 5 are always held in the same posture. is there. The situation is shown in FIG.

【0017】一方、基台9上には載架台39が設置され
ていて、既に説明した測定対象物7、上限モデル測定対
象物7’、下限モデル測定対象物7”は、この載架台3
9上に載置・固定されることになる。尚、測定対象物
7、上限モデル測定対象物7’、下限モデル測定対象物
7”としては、種々の形状、大きさのものがあり、図に
示すのはその一例である。
On the other hand, a mounting table 39 is installed on the base 9, and the measuring object 7, the upper limit model measuring object 7 ', and the lower limit model measuring object 7 "which have already been described are mounted on this mounting table 3.
It will be placed and fixed on 9. The measurement object 7, the upper limit model measurement object 7 ′, and the lower limit model measurement object 7 ″ have various shapes and sizes, and the drawings show only one example.

【0018】上記構成をなす水平関節型アクチュエータ
1は、図4に示す制御手段41によって制御される。こ
の制御手段41は、コンピュータ43、ドライブユニッ
ト45、グラフィック操作パネル47、カウンターボー
ド49等から構成されている。上記コンピュータ43に
はキーボード51が接続されているとともに、ディスプ
レイ53、プリンタ55が接続されている。又、ドライ
ブユニット45にはティーチングボックス57が接続さ
れている。一方、プローブ3からの信号は、インターフ
ェイス59により増幅・変換されて、カウンターボード
49に入力され、更に、前記コンピュータ43及びドラ
イブユニット45に及ぼされる。尚、制御手段41にお
いては各機器に電源が供給されることになるがそれを纏
めて電源61として示す。
The horizontal joint type actuator 1 having the above structure is controlled by the control means 41 shown in FIG. The control means 41 comprises a computer 43, a drive unit 45, a graphic operation panel 47, a counter board 49 and the like. A keyboard 51, a display 53 and a printer 55 are connected to the computer 43. A teaching box 57 is connected to the drive unit 45. On the other hand, the signal from the probe 3 is amplified and converted by the interface 59, input to the counter board 49, and further transmitted to the computer 43 and the drive unit 45. In the control means 41, power is supplied to each device, which is collectively shown as a power supply 61.

【0019】図4に示すように、第1サーボモータ1
5、第2サーボモータ19、第3サーボモータ23、第
4サーボモータ29には、パルスエンコーダ63、6
5、67、69がそれぞれ設置されている。これらパル
スエンコーダ63、65、67、69からの信号は、速
度と位置の確認信号として、ドライブユニット45にフ
ィードバックされる。又、第1サーボモータ15、第2
サーボモータ19、第3サーボモータ23、第4サーボ
モータ29には、上記パルスエンコーダ63、65、6
7、69とは別に、各旋回部或いは揺動部の変位角度を
検出するための専用エンコーダ60、62、64、66
が設置されている。これら専用エンコーダ60、62、
64、66からの検出信号に基づいて、水平関節型アク
チュエータ1の各旋回部或いは揺動部における変位角度
を検出する。その角度データが基準データ或いは測定デ
ータとなる。尚、上記専用エンコーダ60、62、6
4、66からの検出信号を採取する場合には、測定子5
が測定対象物7、上限モデル測定対象物7’、下限モデ
ル測定対象物7”等に当接するプローブ3からの信号に
より、専用エンコーダ60、62、64、66からカウ
ンターボード49に伝送された検出信号をホールドする
ことによって行なわれ、コンピュータ43に記憶される
ことになる。
As shown in FIG. 4, the first servomotor 1
5, the second servo motor 19, the third servo motor 23, and the fourth servo motor 29 include pulse encoders 63, 6
5, 67, 69 are installed respectively. The signals from these pulse encoders 63, 65, 67, 69 are fed back to the drive unit 45 as confirmation signals of speed and position. In addition, the first servomotor 15, the second
In the servo motor 19, the third servo motor 23, and the fourth servo motor 29, the pulse encoders 63, 65, 6 are provided.
Separately from 7, 69, dedicated encoders 60, 62, 64, 66 for detecting the displacement angle of each swivel part or swing part.
Is installed. These dedicated encoders 60, 62,
Based on the detection signals from 64 and 66, the displacement angle at each turning portion or swinging portion of the horizontal joint actuator 1 is detected. The angle data serves as reference data or measurement data. The dedicated encoders 60, 62, 6
When collecting the detection signals from 4 and 66,
Is transmitted from the dedicated encoders 60, 62, 64, 66 to the counter board 49 by a signal from the probe 3 that abuts on the measurement target 7, the upper limit model measurement target 7 ′, the lower limit model measurement target 7 ″, etc. This is done by holding the signal and stored in the computer 43.

【0020】以上の構成を基に図5を参照してその作用
を説明する。まず、上限基準データの採取・記憶から始
める。上限モデル測定対象物7’を載架台39上に載置
・固定して(シーケンス1)、スタートする(シーケン
ス2)。そして、サンプリングを行なって(シーケンス
3)、データを取り込む(シーケンス4)。次に、平均
値演算を行なって(シーケンス5)、記憶する(シーケ
ンス6)。これで上限モデル測定対象物7’についての
上限基準データの採取・記憶が完了する。
Based on the above configuration, the operation will be described with reference to FIG. First, start with the collection and storage of upper limit reference data. The upper limit model measurement object 7'is placed and fixed on the mounting table 39 (sequence 1) and started (sequence 2). Then, sampling is performed (sequence 3) and data is taken in (sequence 4). Next, the average value is calculated (sequence 5) and stored (sequence 6). This completes the collection and storage of the upper limit reference data for the upper limit model measurement object 7 '.

【0021】尚、上記サンプリングについては従来例の
説明で述べたものと同様のものであり、載置・固定され
ている上限モデル測定対象物7’の予め設定されている
複数個の測定点において、プローブ3の測定子5を複数
回当接させる。その際、水平関節型アクチュエータ1の
各旋回部或いは揺動部の変位角度データを、第1サーボ
モータ15、第2サーボモータ19、第3サーボモータ
23、第4サーボモータ29に設置されている各専用エ
ンコーダ60、62、64、66により採取し、場合に
よっては複数回のデータの平均値をとって、これを上限
基準データとするものである。
The above sampling is the same as that described in the description of the conventional example, and is performed at a plurality of preset measurement points of the upper limit model measurement object 7'which is mounted and fixed. , The probe 5 of the probe 3 is brought into contact with the probe 3 multiple times. At that time, the displacement angle data of each swinging portion or swinging portion of the horizontal joint type actuator 1 is set in the first servo motor 15, the second servo motor 19, the third servo motor 23, and the fourth servo motor 29. The data is sampled by the dedicated encoders 60, 62, 64, 66, and in some cases, an average value of a plurality of times of data is taken, and this is used as upper limit reference data.

【0022】次に、下限モデル測定対象物7”を使用し
て下限基準データを採取する。すなわち、下限モデル測
定対象物7”を取付けて(シーケンス7)、スタートす
る(シーケンス8)。そして、サンプリングを行ない
(シーケンス9)、データを取り込んで(シーケンス1
0)、平均演算し(シーケンス11)、記憶する(シー
ケンス12)。これで、下限基準データの採取・記憶が
完了する。尚、上記サンプリングについては上限基準デ
ータを採取する場合と同じものである。
Next, lower limit reference data is collected using the lower limit model measurement object 7 ". That is, the lower limit model measurement object 7" is attached (sequence 7) and started (sequence 8). Then, sampling is performed (sequence 9) and data is captured (sequence 1).
0), average calculation (sequence 11), and storage (sequence 12). This completes the collection and storage of the lower limit reference data. Note that the above sampling is the same as the case of collecting the upper limit reference data.

【0023】次に、測定対象物7について測定を行なう
とともにその良否の判別を行なう。まず、測定対象物7
を取付け(シーケンス13)、スタートする(シーケン
ス14)。そして、プロービングを行なって(シーケン
ス15)、データを取り込む(シーケンス16)。上記
プロービングについても従来例の説明で述べたものと同
様の内容であり、上記サンプリングに相当するものであ
る。すなわち、測定対象物7の各測定点において測定子
5を当接させることにより、水平関節型アクチュエータ
1の各旋回部或いは揺動部の変位角度データを、第1サ
ーボモータ15、第2サーボモータ19、第3サーボモ
ータ23、第4サーボモータ29に設置されている各専
用エンコーダ60、62、64、66により採取してい
き、これを測定データとするものである。
Next, the object 7 to be measured is measured and its quality is determined. First, the measurement object 7
Is attached (sequence 13) and started (sequence 14). Then, probing is performed (sequence 15) and data is taken in (sequence 16). The above-mentioned probing also has the same contents as those described in the explanation of the conventional example, and corresponds to the above-mentioned sampling. That is, the contact point 5 is brought into contact with each measurement point of the measurement object 7 so that the displacement angle data of each swivel part or swing part of the horizontal joint actuator 1 is converted into the first servomotor 15 and the second servomotor. 19, dedicated servo encoders 60, 62, 64 and 66 installed on the third servo motor 23 and the fourth servo motor 29 are used to collect the data, which are used as measurement data.

【0024】次に、測定対象物7の良否の判別を行な
う。まず、測定対象物7の測定データと、上限モデル測
定対象物7’の上限基準データ及び下限モデル測定対象
物7”の下限基準データとの比較を行なう(シーケンス
17)。すなわち、記憶されている上限基準データの中
から必要なデータ(例えば、所定の測定点におけるデー
タ)を抽出するとともに(シーケンス18)、記憶され
ている下限基準データの中から必要なデータ(例えば、
上記所定の測定点におけるデータ)を抽出する(シーケ
ンス19)。そして、所定の測定点の測定データがそれ
ら上限基準データと下限基準データとの間に入っている
か否かを判別する。
Next, the quality of the measuring object 7 is determined. First, the measurement data of the measurement target 7 is compared with the upper limit reference data of the upper limit model measurement target 7 ′ and the lower limit reference data of the lower limit model measurement target 7 ″ (sequence 17). Necessary data (for example, data at a predetermined measurement point) is extracted from the upper limit reference data (sequence 18), and required data (for example, data at the lower limit reference data stored (for example,
Data at the predetermined measurement point) is extracted (sequence 19). Then, it is determined whether or not the measurement data at a predetermined measurement point is between the upper limit reference data and the lower limit reference data.

【0025】そして、比較・判別の結果、測定データが
それら上限基準データと下限基準データとの間に入って
いる場合には「OK」となり、その旨表示されるととも
に(シーケンス18’)、出力される(シーケンス1
9’)。又、比較・判別の結果、測定データがそれら上
限基準データと下限基準データとの間に入っていない場
合には「NG」となり、その旨表示されるとともに(シ
ーケンス20)、出力される(シーケンス21)。そし
て、各測定点について同様の比較・判別がなされ、それ
に基づいて総合判定が行なわれる(シーケンス22)。
尚、上記表示は、グラフィック操作パネル47の必要画
面上に表示されることになる。
Then, as a result of the comparison / discrimination, if the measured data is between the upper limit reference data and the lower limit reference data, "OK" is displayed, and that is displayed (sequence 18 ') and output. Done (sequence 1
9 '). Further, as a result of the comparison / discrimination, when the measured data is not between the upper limit reference data and the lower limit reference data, “NG” is displayed, that is displayed (sequence 20) and output (sequence). 21). Then, the same comparison / discrimination is performed for each measurement point, and the comprehensive discrimination is performed based on the same comparison / discrimination (sequence 22).
The above display will be displayed on the necessary screen of the graphic operation panel 47.

【0026】総合判定の結果、「OK」である場合に
は、その旨表示されるとともに(シーケンス23)、出
力される(シーケンス24)。又、総合判定の結果、
「NG」である場合には、その旨表示されるとともに
(シーケンス25)、出力される(シーケンス26)。
以上で終了となり(シーケンス27)、測定子5は水平
関節型アクチュエータ1によって原点に復帰され(シー
ケンス28)、測定対象物7が載架台39上より撤去さ
れる(シーケンス29)。
If the result of the comprehensive judgment is "OK", that fact is displayed (sequence 23) and output (sequence 24). Also, as a result of the comprehensive judgment,
In the case of "NG", the fact is displayed (sequence 25) and output (sequence 26).
This is the end (sequence 27), the probe 5 is returned to the origin by the horizontal joint type actuator 1 (sequence 28), and the measuring object 7 is removed from the platform 39 (sequence 29).

【0027】以上本実施例によると次のような効果を奏
することができる。まず、測定子5を任意の測定点に移
動させるための移動手段として、従来のようにX軸スラ
イダ機構、Y方向スライダ機構、Z軸スライダ機構を組
み合わせたものを使用するのではなく、関節型アクチュ
エータの一種である水平関節型アクチュエータ1を使用
しているので、まず、設置スペースと移動スペースの縮
小化を図ることができる。つまり、比較判別装置そのも
のがよりコンパクトなものとなる。又、測定子5を任意
の場所に移動させるために要する時間も短縮されること
になり、全体として測定に要する時間が短くなる。これ
に対しては、X軸スライダ機構、Y軸スライダ機構、Z
軸スライダ機構を組み合わせたものであっても、それぞ
れの移動速度を早くすれば、測定子5を任意の場所に移
動させるために要する時間を短縮することはできるが、
その場合には精度が低下してしまうことになる。これに
対して、水平関節型アクチュエータ1の場合には、そも
そもできるだけ少ない動作で広範囲をカバーできる構成
になっているので、そのような精度の低下を来すことな
く移動に要する時間の短縮が図れる。
As described above, according to this embodiment, the following effects can be obtained. First, as a moving means for moving the tracing stylus 5 to an arbitrary measuring point, a combination of an X-axis slider mechanism, a Y-direction slider mechanism, and a Z-axis slider mechanism as in the past is not used, but a joint type is used. Since the horizontal joint type actuator 1 which is a kind of actuator is used, first, the installation space and the moving space can be reduced. That is, the comparison / discrimination device itself becomes more compact. Further, the time required to move the tracing stylus 5 to any place is also shortened, and the time required for measurement is shortened as a whole. For this, an X-axis slider mechanism, a Y-axis slider mechanism, a Z-axis slider mechanism,
Even if a combination of the shaft slider mechanisms is used, the time required to move the tracing stylus 5 to an arbitrary location can be shortened by increasing the respective moving speeds.
In that case, the accuracy is reduced. On the other hand, in the case of the horizontal joint type actuator 1, since it has a configuration capable of covering a wide range with as few operations as possible in the first place, the time required for movement can be shortened without causing such a decrease in accuracy. .

【0028】又、比較判別の方法として、上限モデル測
定対象物7’と下限モデル測定対象物7”を使用して、
それぞれ上限基準データと下限基準データとを採取し、
測定対象物7の測定データが上限基準データと下限基準
データとの間に入っているか否かによって、測定対象物
7の良否を判別するようにしている。よって、比較判別
が容易でありそれを実現するためのシステムの構築も簡
単である。特に、測定対象物7がそれ程高い寸法精度を
要しないようなものである場合に好適である。尚、この
場合において、下限基準データと上限基準データとの公
差値として、ある特定の値を入力しておく(デフォルト
する)ことも考えられ、その場合には、より簡易な判別
方法となる。それと同時に、データとして、水平関節型
アクチュエータ1の各旋回部或いは揺動部の変位角度を
採取し、それをそのまま使用するようにしている。よっ
て、それから絶対値データ、例えば、(X、Y、Z)座
標値を算出する場合のような複雑な処理は不要となり、
それによっても、システムの構築がより簡単なものとな
る。さらに、旋回角度データや揺動角度データを採取す
るために、専用エンコーダ60、62、64、66を取
付けていて、これに高い精度のものを使用しているの
で、検出精度も極めて高いものである。
As a method of comparison and determination, the upper limit model measurement object 7'and the lower limit model measurement object 7 "are used,
Collecting upper limit reference data and lower limit reference data respectively,
The quality of the measurement object 7 is determined based on whether the measurement data of the measurement object 7 falls between the upper limit reference data and the lower limit reference data. Therefore, comparison and determination are easy, and a system for realizing the determination is easy. In particular, it is suitable when the measurement target 7 does not require such high dimensional accuracy. In this case, a specific value may be input (default) as the tolerance value between the lower limit reference data and the upper limit reference data. In that case, a simpler determination method is provided. At the same time, as the data, the displacement angle of each swinging portion or swinging portion of the horizontal joint actuator 1 is sampled and used as it is. Therefore, there is no need for complicated processing such as when calculating absolute value data, for example, (X, Y, Z) coordinate values,
This also makes building the system easier. Further, in order to collect the turning angle data and the swing angle data, the dedicated encoders 60, 62, 64, 66 are attached, and the ones with high accuracy are used, so the detection accuracy is extremely high. is there.

【0029】尚、本発明は前記一実施例に限定されるも
のではない。前記一実施例では関節型アクチュエータと
して、水平関節型アクチュエータ1を使用したが、図6
及び図7に示すような垂直関節型アクチュエータ71を
使用しても同様の効果を奏することができる。上記垂直
関節型アクチュエータ71は、概略次のような構成にな
っている。まず、コラム73があり、このコラム73の
上端には旋回ブロック75が旋回可能に取付けられてい
る。上記旋回ブロック75の先端部には第1アーム77
が揺動可能に取付けられている。この第1アーム77の
先端には第2アーム79が揺動可能に取付けられてい
る。上記第2アーム79の先端には手首筒81が回転可
能に取付けられている。この手首筒81に図示しないプ
ローブヘッドが着脱可能に取付けられ、さらに、測定子
を有するプローブが着脱可能に取付けられることにな
る。図6及び図7中、仮想線で示すのがカバーできる範
囲であり、その範囲内であれば測定子を任意の場所に位
置させることができる。又、関節型アクチュェータとし
ては、図示したもの以外にも種々のものがあることは勿
論である。
The present invention is not limited to the above embodiment. In the embodiment described above, the horizontal joint type actuator 1 is used as the joint type actuator.
Also, the same effect can be obtained by using the vertical joint type actuator 71 as shown in FIG. The vertical joint type actuator 71 is roughly configured as follows. First, there is a column 73, and a swing block 75 is rotatably attached to the upper end of the column 73. A first arm 77 is provided at the tip of the turning block 75.
Is swingably mounted. A second arm 79 is swingably attached to the tip of the first arm 77. A wrist cylinder 81 is rotatably attached to the tip of the second arm 79. A probe head (not shown) is detachably attached to the wrist cylinder 81, and a probe having a measuring element is detachably attached. In FIGS. 6 and 7, an imaginary line indicates a covered range, and the stylus can be positioned at any place within the covered range. Further, it goes without saying that there are various types of articulated actuators other than those shown in the drawings.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上詳述したように本発明による比較判
別装置によると、測定子5を移動させるための駆動手段
として、従来のように直線移動手段を組み合わせたもの
を使用するのではなく、関節型アクチュエータを使用し
ているので、設置スペースの縮小化を図ることができる
とともに、測定子を任意の場所に移動させるために要す
る時間も短縮されることになり、全体として測定に要す
る時間が短くなる。又、上限モデル測定対象物と下限モ
デル測定対象物を使用して、それぞれ上限基準データと
下限基準データとを採取し、測定対象物の測定データが
上限基準データと下限基準データとの間に入っているか
否かによって、測定対象物の良否を判別するようにして
いるので、比較判別が容易でありそれを実現するための
システムの構築も簡単である。又、データとして、関節
型アクチュエータの各回転軸の回転角度を採取してそれ
をそのまま使用するようにしているので、それから絶対
値データを算出する場合のような複雑な処理は不要とな
る。
As described above in detail, according to the comparison / discrimination device of the present invention, the driving means for moving the tracing stylus 5 does not use a combination of linear movement means as in the prior art. Since the joint type actuator is used, the installation space can be reduced and the time required to move the contact point to any place can be shortened, and the time required for measurement as a whole can be reduced. It gets shorter. Also, using the upper limit model measurement target and the lower limit model measurement target, upper limit reference data and lower limit reference data are sampled respectively, and the measured data of the measurement target falls between the upper limit reference data and the lower limit reference data. Since the quality of the measurement object is determined depending on whether or not the comparison is performed, comparison and determination can be easily performed, and a system for realizing the determination can be easily constructed. Further, since the rotation angle of each rotary shaft of the joint type actuator is sampled and used as it is, the complicated processing such as the case of calculating the absolute value data from it is not necessary.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す図で比較判別装置の斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a comparison / discrimination device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例を示す図で比較判別装置の動
作範囲を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing an operation range of the comparison / determination device in a diagram showing an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例を示す図で比較判別装置の動
作範囲を示す正面図である。
FIG. 3 is a view showing an embodiment of the present invention and is a front view showing an operation range of the comparison / determination device.

【図4】本発明の一実施例を示す図で制御手段の構成を
示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a control means in a diagram showing an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施例を示す図で作用を示すフロー
チャートである。
FIG. 5 is a flow chart showing the operation of the embodiment of the present invention.

【図6】本発明の他の実施例を示す図で比較判別装置の
動作範囲を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing an operation range of the comparison / determination device in a view showing another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施例を示す図で比較判別装置の
動作範囲を示す正面図である。
FIG. 7 is a view showing another embodiment of the present invention and is a front view showing an operation range of the comparison / determination device.

【図8】従来例を示す図で三次元比較測定装置の正面図
である。
FIG. 8 is a view showing a conventional example and is a front view of a three-dimensional comparative measuring device.

【図9】従来例を示す図で三次元比較測定装置の側面図
である。
FIG. 9 is a side view of a three-dimensional comparative measuring device showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 水平関節型アクチュエータ 3 プローブ 5 測定子 7 測定対象物 7’ 上限モデル測定対象物 7” 下限モデル測定対象物 41 制御手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Horizontal joint type actuator 3 Probe 5 Measuring element 7 Measuring object 7'Upper limit model measuring object 7 "Lower limit model measuring object 41 Control means

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 モデル測定対象物を所定の測定位置に載
置・固定して該モデル測定対象物における所定箇所に測
定子を当接させて基準データを採取し、次に、測定対象
物を上記所定の測定位置に載置・固定して該測定対象物
における所定箇所に測定子を当接させて測定データを採
取し、上記測定データと基準データとから測定対象物の
良否を判別するように構成した比較判別装置において、
上記測定子を関節型アクチュエータに取付けてこの関節
型アクチュエータを制御手段によって制御することによ
り測定子を所望の場所に位置させるようにしたことを特
徴とする比較判別装置。
1. A model measurement object is placed and fixed at a predetermined measurement position, a probe is brought into contact with a predetermined position on the model measurement object to collect reference data, and then the measurement object is measured. The measurement piece is placed on and fixed to the predetermined measurement position, the measuring element is brought into contact with a predetermined position on the measurement object, and the measurement data is collected, and the quality of the measurement object is determined from the measurement data and the reference data. In the comparison and discrimination device configured in
A comparative discriminating apparatus characterized in that the probe is attached to an articulated actuator and the probe is controlled by a control means to position the probe at a desired position.
【請求項2】 請求項1記載の比較判別装置において、
モデル測定対象物は上限モデル測定対象物と下限モデル
測定対象物の二つであって、これら上限モデル測定対象
物と下限モデル測定対象物を使用して上限基準データと
下限基準データを採取し、測定対象物に関する測定デー
タが上記上限基準データと下限基準データとの間に有る
か否かによって測定対象物の良否を判別するようにした
ことを特徴とする比較判別装置。
2. The comparison / determination device according to claim 1,
The model measurement objects are the upper limit model measurement object and the lower limit model measurement object, and the upper limit reference data and the lower limit reference data are collected using these upper limit model measurement object and lower limit model measurement object, A comparison / discrimination device characterized in that the quality of an object to be measured is determined by whether or not the measured data on the object to be measured is between the upper limit reference data and the lower limit reference data.
【請求項3】 請求項1又は請求項2記載の比較判別装
置において、関節型アクチュエータに取付けられている
各駆動用サーボモータにはそれぞれの旋回部や揺動部の
旋回角度や揺動角度を検出する専用エンコーダが取付け
られていて、該専用エンコーダの検出値を測定子のモデ
ル測定対象物又は測定対象物に対する当接信号により制
御して、所定の測定位置における旋回角度データや揺動
角度データを採取し、それをそのまま基準データ或いは
測定データとするようにしたことを特徴とする比較判別
装置。
3. The comparison / determination device according to claim 1, wherein each of the drive servomotors attached to the articulated actuator is provided with a swing angle or swing angle of the swing portion or swing portion. A dedicated encoder for detection is attached, and the detection value of the dedicated encoder is controlled by the contact signal to the model measurement target object or the measurement target object of the probe, and the swing angle data and swing angle data at a predetermined measurement position are detected. A comparison / discrimination device characterized in that the sample is sampled and used as the reference data or the measurement data as it is.
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