JPH06338101A - Magnetic-tape driving device and manufacture of capstan shaft thereof - Google Patents

Magnetic-tape driving device and manufacture of capstan shaft thereof

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JPH06338101A
JPH06338101A JP14697793A JP14697793A JPH06338101A JP H06338101 A JPH06338101 A JP H06338101A JP 14697793 A JP14697793 A JP 14697793A JP 14697793 A JP14697793 A JP 14697793A JP H06338101 A JPH06338101 A JP H06338101A
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capstan shaft
capstan
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thin film
tape
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裕一 中上
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Abstract

PURPOSE:To further increase the tape driving force of a capstan shaft coated with a diamond-like thin-film. CONSTITUTION:A plurality of capstan-shaft element assemblies 1a are irradiated with charged particles while being rolled, fine arc discharge is generated on the surfaces of the capstan-shaft element assemblies 1a, and fine irregularities 1b having height from 10nm to 100nm and pitches from 500nm to 2mum are formed on the surfaces of the capstan-shaft element assemblies 1a. A diamond- like thin-film 1c is formed onto the irregularities 1b to manufacture a capstan shaft 1. Accordingly, a magnetic-tape driving device having driving force higher than conventional capstan shafts coated with the diamond-like thin-film is acquired.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオムービーやカセ
ットデッキなどの磁気記録再生装置に使用される磁気テ
ープ駆動装置およびそのキャプスタン軸の製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic tape drive used in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video movie or cassette deck, and a method of manufacturing a capstan shaft thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】ビデオムービー等の磁気記録再生装置
は、年々、小型、軽量、高機能化を目指して研究開発が
進められている。このため、磁気テープ駆動装置のキャ
プスタン軸などに代表されるメカニズムの精密機構部品
においても各種薄膜をコーティングし、より高精度なメ
カニズムを実現しようとする検討がなされている。
2. Description of the Related Art A magnetic recording / reproducing apparatus for a video movie or the like is being researched and developed year by year so as to be compact, lightweight and highly functional. For this reason, studies have been made to coat various thin films in a precision mechanical component of a mechanism typified by a capstan shaft of a magnetic tape drive to realize a more precise mechanism.

【0003】その一例は出願中の特願平3−20916
1号に示されており、その構成について図14により説
明する。
One example is Japanese Patent Application No. 3-20916, which is pending.
No. 1 and its configuration will be described with reference to FIG.

【0004】図14において、キャプスタン軸11は非
磁性のステンレス鋼で形成され、その表面には少なくと
もビッカース硬度1500kg/mm2 以上の硬さを有
するダイヤモンド状薄膜14が約0.2ミクロンの膜厚で
形成されている。
In FIG. 14, the capstan shaft 11 is made of non-magnetic stainless steel, and a diamond-like thin film 14 having a Vickers hardness of 1500 kg / mm 2 or more is formed on the surface of the capstan shaft 11. It is formed thick.

【0005】磁気テープ13(以下、テープという)は
キャプスタン軸11とキャプスタン軸11に圧接された
ピンチローラー12によって挟圧され、キャプスタン軸
11の低速回転によって図の矢印R方向へ駆動される。
この駆動において、ピンチローラー12の圧接力が小さ
いとテープスリップが生じて十分なテープ駆動が行なえ
ないことがある。したがって、従来は、テープ13をス
リップさせないようにピンチローラー12に1kg以上
の圧接力を加えてテープ13を圧接する必要があった。
A magnetic tape 13 (hereinafter referred to as a tape) is pinched by a capstan shaft 11 and a pinch roller 12 pressed against the capstan shaft 11, and driven in a direction indicated by an arrow R by a low speed rotation of the capstan shaft 11. It
In this drive, if the pressure contact force of the pinch roller 12 is small, tape slip may occur and the tape may not be driven sufficiently. Therefore, conventionally, it has been necessary to apply a pressure contact force of 1 kg or more to the pinch roller 12 to press the tape 13 so that the tape 13 does not slip.

【0006】これに対して、キャプスタン軸11にダイ
ヤモンド状薄膜14をコーティングするとピンチローラ
ー12の圧接力を約半分に低減することができるという
利点が得られる。
On the other hand, coating the capstan shaft 11 with the diamond-like thin film 14 has the advantage that the contact pressure of the pinch roller 12 can be reduced to about half.

【0007】ところで、通常、ダイヤモンド状薄膜14
は低摩擦係数であるといわれているが、磁気テープ13
との相対速度が極めて低速である場合にはダイヤモンド
状薄膜14の摩擦係数は通常の金属に比べて高い値を示
すのである。そして、テープ駆動装置においては、キャ
プスタン軸11とテープ13との相対速度は、約0.1m
m/sec以下であり、静止摩擦と変わらないような低
速度である。したがって、ダイヤモンド状薄膜14をキ
ャプスタン軸11にコーティングすることにより、キャ
プスタン軸11のテープ13に対する摩擦係数を高くす
ることができるものである。
By the way, usually, the diamond-like thin film 14
Is said to have a low coefficient of friction, but magnetic tape 13
When the relative speed with respect to is extremely low, the coefficient of friction of the diamond-like thin film 14 shows a higher value than that of ordinary metal. Then, in the tape drive, the relative speed between the capstan shaft 11 and the tape 13 is about 0.1 m.
It is m / sec or less, and is a low speed that is not different from static friction. Therefore, by coating the capstan shaft 11 with the diamond-like thin film 14, the friction coefficient of the capstan shaft 11 with respect to the tape 13 can be increased.

【0008】さらに、キャプスタン軸11によるテープ
駆動原理は、キャプスタン軸11の回転力がまずピンチ
ローラー12側へ伝達され、ピンチローラー12がテー
プ13を駆動すると考えられている。しかし、図14
(b)に示したように、キャプスタン軸11とテープ1
3との接触長さAがキャプスタン軸11とピンチローラ
ー12との接触長さBに比べて比較的大きい場合には、
キャプスタン軸11とテープ13との間の摩擦係数がテ
ープ駆動に大きく影響する。このため、ダイヤモンド状
薄膜14がコートされたキャプスタン軸11は、キャプ
スタン軸11とテープ13との間の摩擦係数が高くなっ
た分だけ、高いテープ駆動力が得られるものである。
Further, according to the principle of tape driving by the capstan shaft 11, it is considered that the rotational force of the capstan shaft 11 is first transmitted to the pinch roller 12 side, and the pinch roller 12 drives the tape 13. However, in FIG.
As shown in (b), the capstan shaft 11 and the tape 1
When the contact length A with 3 is relatively larger than the contact length B with the capstan shaft 11 and the pinch roller 12,
The friction coefficient between the capstan shaft 11 and the tape 13 has a great influence on the tape drive. Therefore, the capstan shaft 11 coated with the diamond-like thin film 14 can obtain a high tape driving force as much as the friction coefficient between the capstan shaft 11 and the tape 13 is increased.

【0009】この結果、ピンチローラー12の圧接力を
低減しても従来並のテープ駆動性能を得ることができる
ものである。
As a result, even if the pressure contact force of the pinch roller 12 is reduced, it is possible to obtain the same tape drive performance as the conventional one.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、物質の摩擦
現象において、物質表面の粗さが摩擦係数に影響するこ
とはよく知られており、通常、粗さを増加させると摩擦
係数も増加するということがいわれる。キャプスタン軸
11と磁気テープ13の摩擦に関しても、従来より、キ
ャプスタン軸11の表面の粗さを増加すれば摩擦係数が
増加するということが通説となっており、それにより駆
動力も向上するといわれていた。しかし、キャプスタン
軸11の表面粗さが大きいと、圧接されたテープ13に
表面粗さの凸部分が食い込む形となり、このくさび的な
効果がテープ13の走行に対する抵抗となって摩擦係数
が増加するのであるが、キャプスタン軸11とテープ1
3の摩擦において、キャプスタン軸11の表面粗さがあ
る特定範囲以上に大きくなると却って駆動力を低下する
傾向を示す。すなわち、表面粗さが大きすぎると、つま
り、表面粗さの密度が疎であると凸部のくさび的な効果
の増加よりも、むしろテープ13とキャプスタン軸11
の接触面積の減少につながり、摩擦係数が小さくなると
いう問題があった。
By the way, in the friction phenomenon of a substance, it is well known that the roughness of the surface of the substance affects the friction coefficient, and generally, it is said that when the roughness is increased, the friction coefficient also increases. It is said that. Regarding the friction between the capstan shaft 11 and the magnetic tape 13, it has been conventionally accepted that if the roughness of the surface of the capstan shaft 11 is increased, the friction coefficient is increased, and it is said that the driving force is also improved. Was there. However, if the surface roughness of the capstan shaft 11 is large, the convex portion of the surface roughness bites into the pressure-bonded tape 13, and this wedge-like effect becomes resistance to the running of the tape 13 and the friction coefficient increases. The capstan shaft 11 and the tape 1
In the case of friction No. 3, when the surface roughness of the capstan shaft 11 becomes larger than a certain range, the driving force tends to decrease. That is, when the surface roughness is too large, that is, when the density of the surface roughness is sparse, the tape 13 and the capstan shaft 11 are rather increased rather than the wedge-like effect of the convex portion.
However, there was a problem that the contact area was reduced and the friction coefficient was reduced.

【0011】また、逆にキャプスタン軸11の表面粗さ
が小さいと、つまり表面粗さの密度が密であるとテープ
13とのキャプスタン軸11の摩擦係数は表面粗さの影
響がきわめて小さくなり、その材料がもつ固有の摩擦係
数値で決定されるようになる。すなわち、ダイヤモンド
状薄膜14の本来有する摩擦係数によってテープ駆動力
が決定され、摩擦係数が小さくなるという問題があっ
た。
On the contrary, if the surface roughness of the capstan shaft 11 is small, that is, if the density of the surface roughness is high, the influence of the surface roughness on the coefficient of friction of the capstan shaft 11 with the tape 13 is extremely small. Therefore, it is determined by the inherent friction coefficient value of the material. That is, there is a problem that the tape driving force is determined by the friction coefficient originally possessed by the diamond-like thin film 14 and the friction coefficient becomes small.

【0012】このような問題に対し、本発明者らは、ダ
イヤモンド状薄膜14がコートされたキャプスタン軸1
1の表面粗さとテープ駆動力の関係についてさらなる検
討を行った結果、以下に示す粗さにおいて、従来のダイ
ヤモンド状薄膜14がコートされたキャプスタン軸以上
にテープ駆動力を向上させることができる事実を見出し
たのである。
In order to solve such a problem, the present inventors have made a capstan shaft 1 coated with a diamond-like thin film 14.
As a result of further examination of the relationship between the surface roughness of No. 1 and the tape driving force, the fact that the tape driving force can be improved over the conventional capstan shaft coated with the diamond-like thin film 14 at the roughness shown below. Was found.

【0013】本発明は、上記検討結果に基き、ダイヤモ
ンド状薄膜がコートされたキャプスタン軸のテープ駆動
力をさらに向上させることができる磁気テープ駆動装置
およびそのキャプスタン軸の製造方法を提供することを
目的としている。
The present invention provides a magnetic tape driving device and a method for manufacturing the capstan shaft, which can further improve the tape driving force of the capstan shaft coated with the diamond-like thin film, based on the above-mentioned examination results. It is an object.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するもので、磁気テープを駆動するキャプスタン軸と、
前記磁気テープを前記キャプスタン軸へ圧接するピンチ
ローラーとを備え、前記キャプスタン軸は、キャプスタ
ン軸素体の表面に高さ10nm以上100nm以下、ピ
ッチ500nm以上2μm以下の微細な凹凸面を形成
し、前記凹凸面上にダイヤモンド状薄膜を成膜して形成
したものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above problems and includes a capstan shaft for driving a magnetic tape,
A pinch roller that press-contacts the magnetic tape to the capstan shaft, the capstan shaft forming a fine uneven surface having a height of 10 nm to 100 nm and a pitch of 500 nm to 2 μm on the surface of the capstan shaft body. Then, a diamond-like thin film is formed on the uneven surface.

【0015】また、複数のキャプスタン軸素体を転動し
て互いに接触させながら前記キャプスタン軸素体に荷電
粒子を照射し、前記照射により前記キャプスタン軸素体
の表面に微細な凹凸を形成するようにしたものである。
The capstan shaft element is irradiated with charged particles while rolling the capstan shaft element so as to be in contact with each other, and fine irregularities are formed on the surface of the capstan shaft element by the irradiation. It is designed to be formed.

【0016】[0016]

【作用】上記構成において、キャプスタン軸の表面に高
さ10nm以上100nm以下、ピッチ500nm以上
2μm以下の微細な凹凸面を形成したことにより、ダイ
ヤモンド状薄膜がもつ固有の摩擦係数にキャプスタン軸
の表面凹凸のテープへのくさび的な効果が付加され、両
者の相乗効果によってテープ駆動力が向上される。
In the above structure, by forming a fine uneven surface having a height of 10 nm or more and 100 nm or less and a pitch of 500 nm or more and 2 μm or less on the surface of the capstan shaft, the unique coefficient of friction of the diamond-like thin film is A wedge-like effect is added to the tape due to surface irregularities, and the synergistic effect of the two improves the tape driving force.

【0017】また、上記製造方法において、複数のキャ
プスタン軸を転動させることにより、キャプスタン軸は
互いに不安定な接触状態で位置移動する。この状態で荷
電粒子を照射してキャプスタン軸に電流が流されると、
電流は不安定な接触状態にある複数のキャプスタン軸間
を自由に流れてキャプスタン軸間で瞬時アーク放電を起
こしキャプスタン軸の表面に放電痕を残す。この放電痕
は、最大高さ10nm以上100nm以下、ピッチ50
0nm以上2μm以下の微細な凹凸となり、さらに、キ
ャプスタン軸の転動が続けられることによりキャプスタ
ン軸の表面に無数の微細な凹凸が均一に形成される。
Further, in the above-mentioned manufacturing method, by rolling the plurality of capstan shafts, the capstan shafts move in position in an unstable contact state with each other. In this state, when charged particles are irradiated and a current is applied to the capstan shaft,
The electric current freely flows between a plurality of capstan shafts in an unstable contact state to cause an instantaneous arc discharge between the capstan shafts, leaving discharge marks on the surface of the capstan shafts. This discharge mark has a maximum height of 10 nm or more and 100 nm or less and a pitch of 50 nm.
Fine irregularities having a size of 0 nm or more and 2 μm or less are formed, and further, as the capstan shaft continues to roll, countless fine irregularities are uniformly formed on the surface of the capstan shaft.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図1から
図13を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0019】(実施例1)図1(a)は、本発明の第1
の実施例において使用したキャプスタン軸素体の表面に
微少な凹凸を形成する装置の構成図、(b)はキャプス
タン軸素体を保持する保持部枠の構成図である。
(Embodiment 1) FIG. 1A shows a first embodiment of the present invention.
2B is a configuration diagram of an apparatus for forming minute irregularities on the surface of the capstan shaft element body used in the embodiment of FIG. 1, and FIG. 7B is a configuration diagram of a holding frame that holds the capstan shaft element body.

【0020】図において、真空チャンバー21内にはイ
オン源22を設置され、その上方に未加工の複数のキャ
プスタン軸素体(以下、素体という)1aを保持する保
持枠23が設けられている。保持枠23には窓24が設
けられてあり、イオン源22からのイオン22aが素体
1aに直接衝突するようにされている。また、保持枠2
3はモーター25に連動する偏心カム26によって振動
が与えられ、保持する素体1aにランダムな転動を与え
るようになっている。さらに、保持枠23には直流電源
部27が接続され、素体1aにバイアス電圧を印加する
ようになっている。
In the figure, an ion source 22 is installed in a vacuum chamber 21, and a holding frame 23 for holding a plurality of unprocessed capstan shaft element bodies (hereinafter referred to as element bodies) 1a is provided above the ion source 22. There is. The holding frame 23 is provided with a window 24 so that the ions 22a from the ion source 22 directly collide with the element body 1a. Also, the holding frame 2
The eccentric cam 26 interlocked with the motor 25 gives vibration to the element 3 so that the element body 1a to be held is randomly rolled. Further, a DC power supply 27 is connected to the holding frame 23, and a bias voltage is applied to the element body 1a.

【0021】上記装置において、まず、真空チャンバー
21内を真空ポンプ(図示せず)によって10-4〜10
-6torrまで真空排気し、イオン源22の熱フィラメ
ントを通電加熱するとともに、不活性ガスのアルゴンを
導入して、アルゴンイオンを発生させる。次いで、保持
枠23をモーター25によって振動させ、素体1aを保
持枠23でランダムに転動させる。そして、直流電源2
7から素体1aに−1.0〜−3.0kVの負バイアス電圧
を印加し、アルゴンイオン22aを加速して素体1aの
表面に衝突させる。このとき、素体1aに到達したアル
ゴンイオン22aが有する電荷は転動している素体1a
間を移動し、最終的に直流電源27へ流入する。
In the above apparatus, first, the inside of the vacuum chamber 21 is set to 10 −4 to 10 −4 by a vacuum pump (not shown).
The gas is evacuated to -6 torr, the hot filament of the ion source 22 is electrically heated, and an inert gas, argon, is introduced to generate argon ions. Next, the holding frame 23 is vibrated by the motor 25, and the element body 1 a is randomly rolled by the holding frame 23. And DC power supply 2
A negative bias voltage of -1.0 to -3.0 kV is applied to the element body 1a from 7 to accelerate the argon ions 22a to collide with the surface of the element body 1a. At this time, the charges of the argon ions 22a that have reached the element body 1a are rolling elements 1a.
After moving through the space, it finally flows into the DC power supply 27.

【0022】このような処理によって、素体1aの表面
には電荷の移動とともに生じる微少なアーク放電によっ
て、無数の微細な凹凸1b(図4参照)が均一に形成さ
れる。
By such a treatment, innumerable fine irregularities 1b (see FIG. 4) are uniformly formed on the surface of the element body 1a by the minute arc discharge which occurs along with the movement of charges.

【0023】図2に本実施例で粗面処理を行なった素体
1aの表面粗さの実測データを示す。
FIG. 2 shows measured data of the surface roughness of the element body 1a which has been subjected to the surface roughening treatment in this embodiment.

【0024】(a)は処理前の素体1aの表面の粗さを
示し、(b)は処理後の素体1aの表面の粗さを示すも
ので、本発明の第1の実施例によれば、素体1aの表面
に無数の微小な凹凸1bが形成されていることが解る。
この凹凸1bの大きさは、最大なものでもピッチが約1
μm以下、高さが0.1μm以下となっている。
(A) shows the surface roughness of the element body 1a before the treatment, and (b) shows the surface roughness of the element body 1a after the treatment, which is the same as in the first embodiment of the present invention. According to this, it is understood that innumerable minute irregularities 1b are formed on the surface of the element body 1a.
The size of the unevenness 1b has a maximum pitch of about 1
It is less than μm and the height is less than 0.1 μm.

【0025】なお、(b)に示したものの処理条件は、
バイアス電圧−1.5kV、照射イオン電流10mA、処
理時間30分であった。
The processing conditions shown in (b) are as follows:
The bias voltage was -1.5 kV, the irradiation ion current was 10 mA, and the treatment time was 30 minutes.

【0026】このような粗面処理を行った素体1aに、
図4に示したようにダイヤモンド状薄膜1cをコートし
てキャプスタン軸1を作製し、その評価を行なった。
On the element body 1a which has been subjected to such a surface roughening treatment,
As shown in FIG. 4, the capstan shaft 1 was manufactured by coating the diamond-like thin film 1c and evaluated.

【0027】ダイヤモンド状薄膜1cの成膜は、図3に
示した装置により行った。この装置の基本的な構成は、
第1の実施例に示したものと同じで、素体1aを回転保
持するようにしたキャプスタン軸の保持具28が異なる
のみである。
The diamond-like thin film 1c was formed by the apparatus shown in FIG. The basic configuration of this device is
It is the same as that shown in the first embodiment, except that the holder 28 for the capstan shaft adapted to hold the element body 1a in rotation is different.

【0028】上記装置において、粗面処理を行った素体
1aを保持具28で保持してイオン源22の上方に設置
し、モーター25で回転させながらダイヤモンド状薄膜
1cを成膜する。この原料ガスにはベンゼンを使用し、
これを第1の実施例と同様にイオン化22bし、加速衝
突させることにより素体1aの素面上にダイヤモンド状
薄膜1cが成膜される。
In the above apparatus, the roughened element body 1a is held by the holder 28 and placed above the ion source 22, and the diamond-like thin film 1c is formed while being rotated by the motor 25. Benzene is used for this source gas,
The diamond-like thin film 1c is formed on the surface of the element body 1a by ionizing 22b and accelerating the same as in the first embodiment.

【0029】ダイヤモンド状薄膜1cはその成膜条件に
よって、その膜特性が大きく変化する。そこで、本実施
例の場合、比較的硬い膜を付着性よく成膜できる成膜条
件として、バイアス電圧−3.0kV、照射イオン電流1
0mA、成膜時間30分の条件で、約0.2μm成膜し
た。
The film characteristics of the diamond-like thin film 1c vary greatly depending on the film forming conditions. Therefore, in the case of the present embodiment, a bias voltage of −3.0 kV and an irradiation ion current of 1 are set as film forming conditions for forming a relatively hard film with good adhesion.
A film having a thickness of about 0.2 μm was formed under the conditions of 0 mA and a film forming time of 30 minutes.

【0030】このようにして成膜されたダイヤモンド状
薄膜コートキャプスタン(以下、キャプスタンという)
1の評価はテープ駆動力の測定によって行なった。
The diamond-like thin film coated capstan thus formed (hereinafter referred to as capstan)
The evaluation of 1 was performed by measuring the tape driving force.

【0031】このテープ駆動力の測定方法は図14によ
り説明する。キャプスタン11へのピンチローラー12
の圧接力を一定にし、かつ磁気テープ13には駆動方向
Rと逆向きのテープテンションTを加えつつ走行させ
る。磁気テープ13に加えるテープテンションを変化さ
せた時に、キャプスタン11の周速とテープ13の走行
速度との間に0.5%のスリップが生じたときのテープテ
ンション値Tをテープ駆動力と定義した。
A method of measuring the tape driving force will be described with reference to FIG. Pinch roller 12 to capstan 11
The magnetic tape 13 is made to travel while applying a constant tape contact force to the magnetic tape 13 and applying a tape tension T to the magnetic tape 13 in the direction opposite to the driving direction R. When the tape tension applied to the magnetic tape 13 is changed, the tape tension value T when a slip of 0.5% occurs between the peripheral speed of the capstan 11 and the running speed of the tape 13 is defined as the tape driving force. did.

【0032】上記測定方法で評価した試料は、本実施例
により処理されたキャプスタン軸1の他に、表面粗さ形
状の異る素体1aにダイヤモンド状薄膜1cを成膜した
もの2種類を比較例として用いた。
Two types of samples evaluated by the above measuring method were prepared by forming a diamond-like thin film 1c on an element body 1a having a different surface roughness, in addition to the capstan shaft 1 treated according to this embodiment. It was used as a comparative example.

【0033】図5に上記したキャプスタン軸1の表面粗
さ実測データを示す。(a)は本実施例の処理によるも
ので、素体1aの表面に高さ10nm以上100nm以
下、ピッチ500nm以上2μm以下の微細な凹凸1b
を形成したもの。
FIG. 5 shows surface roughness measurement data of the capstan shaft 1 described above. (A) is the result of the treatment of this example, in which fine irregularities 1b having a height of 10 nm to 100 nm and a pitch of 500 nm to 2 μm are formed on the surface of the element body 1a.
Formed.

【0034】(b)は第1の比較例で、素体1aの表面
に高さ100nm、ピッチ2μmをそれぞれ越える粗さ
の凹凸を形成したもの。
(B) is a first comparative example, in which irregularities having roughness of 100 nm in height and 2 μm in pitch are formed on the surface of the element body 1a.

【0035】(c)は第2の比較例で、素体1aの表面
をラッピングして鏡面化したもので、高さ10nm、ピ
ッチ500nmよりそれぞれ小さい凹凸を形成したもの
である。
(C) is a second comparative example, in which the surface of the element body 1a is lapped to be a mirror surface, and unevenness smaller than 10 nm in height and 500 nm in pitch is formed.

【0036】また、図6に上記(a),(b),(c)
に示した各キャプスタン軸1の表面の金属組織の写真を
示す。
Further, FIG. 6 shows the above (a), (b), (c).
The photograph of the metal structure of the surface of each capstan shaft 1 shown in FIG.

【0037】そして、図7に上記(a),(b),
(c)に示した各キャプスタン軸1によるテープ駆動力
の比較を示す。
Then, in FIG. 7, the above (a), (b),
The comparison of the tape drive force by each capstan shaft 1 shown in (c) is shown.

【0038】横軸に磁気テープの駆動時間(エージング
時間)、縦軸にテープ駆動力の変化を示している。な
お、ピンチローラー12の圧接力は600gとした。本
実施例(a)の駆動力は、第1,第2の比較例(b),
(c)に比べて最も高い駆動力を示し、1000時間駆
動後にも高駆動力を維持している。
The horizontal axis shows the drive time (aging time) of the magnetic tape, and the vertical axis shows the change in the tape drive force. The pressure contact force of the pinch roller 12 was 600 g. The driving force of this example (a) is the same as that of the first and second comparative examples (b),
It shows the highest driving force as compared with (c), and maintains high driving force even after 1000 hours of driving.

【0039】この結果の理由は次のように考えられる。
本実施例(a)では、素体1aに微細な凹凸1bを形成
した結果、磁気テープ13の凸部に接触する面積が増加
し、これにより摩擦係数が増加して駆動力が向上する。
The reason for this result is considered as follows.
In this example (a), as a result of forming the fine irregularities 1b on the element body 1a, the area in contact with the convex portions of the magnetic tape 13 increases, which increases the friction coefficient and improves the driving force.

【0040】一方、第1の比較例(b)のもの、すなわ
ち、微細な凹凸がないもの、換言すれば凸部の密度が高
いものは、実施例(a)のものに比べて、凸部が少ない
分だけ、換言すれば凸部の密度が低い分だけキャプスタ
ンとテープとの接触は面積は小さくなる。このため、摩
擦係数も低下し、駆動力は低下している。また、第2の
比較例(c)の場合、素体1aは鏡面であるため表面粗
さの影響がなく、ダイヤモンド状薄膜1cのもつ性質に
よって摩擦係数および駆動力は決定され、駆動は低いも
のとなっている。
On the other hand, the first comparative example (b), that is, the one without fine irregularities, in other words, the one with a high density of the convex portions, has a higher convex portion than that of the embodiment (a). The area of the contact between the capstan and the tape becomes smaller as the density of the convex portions becomes lower. Therefore, the friction coefficient is also reduced and the driving force is reduced. In the case of the second comparative example (c), since the element body 1a is a mirror surface, there is no influence of surface roughness, and the friction coefficient and the driving force are determined by the properties of the diamond-like thin film 1c, and the driving is low. Has become.

【0041】この結果から明らかなように、本発明の第
1の実施例によれば、ダイヤモンド状薄膜1cがもつ固
有の摩擦係数と素体1aの表面に形成した微細な凹凸1
bのテープへのくさび的な効果の相乗作用によってテー
プ駆動力を向上することができるという効果が得られ
る。
As is clear from this result, according to the first embodiment of the present invention, the unique coefficient of friction of the diamond-like thin film 1c and the fine unevenness 1 formed on the surface of the element body 1a.
The effect that the tape driving force can be improved by the synergistic action of the wedge effect of b on the tape is obtained.

【0042】(実施例2)次に、本発明の第2の実施例
について図8により説明する。
(Embodiment 2) Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

【0043】図8(a)は本発明の第2の実施例におい
て使用したキャプスタン素体の表面に微少な凹凸を形成
する装置の構成図で、図1に示した装置とは素体の保持
枠が異るのみである。
FIG. 8A is a block diagram of an apparatus for forming minute irregularities on the surface of the capstan element body used in the second embodiment of the present invention, which is different from the element shown in FIG. Only the holding frame is different.

【0044】図において、素体1aの保持部30は、素
体1aの両端部を保持する1対の円筒形部材30aとこ
れらを両端に保持する中心軸30bとから構成されてい
る。そして、中心軸30bの中央部はアルゴンイオン2
2aが直接加速衝突できるようにイオン源22に対向し
て設置されている。この保持部30はモーター25に連
結され、保持部30が回転することにより複数の素体は
ランダムに回動されるようになっている。
In the figure, the holding portion 30 of the element body 1a is composed of a pair of cylindrical members 30a holding both ends of the element body 1a and a central shaft 30b holding these at both ends. And, the central part of the central axis 30b is the argon ion 2
It is installed so as to face the ion source 22 so that the 2a can be directly accelerated and collided. The holding unit 30 is connected to the motor 25, and the plurality of element bodies are rotated at random by the rotation of the holding unit 30.

【0045】上記装置において、第1の実施例に示した
ものと同様にして、素体1aには無数の微細な凹凸1b
が均一に形成される。
In the above apparatus, in the same manner as that shown in the first embodiment, the element body 1a has innumerable minute irregularities 1b.
Are uniformly formed.

【0046】なお、処理条件は、バイアス電圧−1.5k
V、照射イン電流10mA、処理時間30分とした。
The processing conditions are as follows: bias voltage -1.5k
V, irradiation in-current 10 mA, treatment time 30 minutes.

【0047】図9(d)に本実施例で粗面処理を行った
素体1aの表面粗さデータを示す。なお、参考のため、
同図(a)に処理前の素体1aの表面粗さデータを、
(b)に、保持部30を回転により、素体1aを単に回
動させたものの表面粗さデータを(c)に、アルゴンイ
オン22aの照射をせずに、バイアス電圧のみを印加し
ながら素体1aを回動させたものの表面粗さデータを示
した。
FIG. 9 (d) shows surface roughness data of the element body 1a subjected to the surface roughening treatment in this embodiment. For reference,
The surface roughness data of the pre-processed element body 1a is shown in FIG.
In (b), the surface roughness data of what is obtained by simply rotating the body 1a by rotating the holding unit 30 is shown in (c) while applying only the bias voltage without irradiating the argon ions 22a. The surface roughness data of the rotated body 1a are shown.

【0048】上記データから明らかなように、本実施例
(d)によれば、素体1aの表面に無数の微小な凹凸1
bが形成されていることが解る。また、本実施例(d)
と各参考例(a),(b),(c)との比較から、素体
1aの表面に凹凸1bを形成する効果はイオンの照射に
よって得られるということが理解され、単に素体1aを
転動させることだけや、バイアス電圧を印加するだけで
は得られないということが理解される。
As is clear from the above data, according to the present embodiment (d), innumerable minute irregularities 1 are formed on the surface of the element body 1a.
It can be seen that b is formed. In addition, this embodiment (d)
It is understood from the comparison between each of the reference examples (a), (b), and (c) that the effect of forming the unevenness 1b on the surface of the element body 1a is obtained by ion irradiation. It is understood that it cannot be obtained only by rolling or applying a bias voltage.

【0049】以上の各参考例(a),(b),(c)と
本実施例(d)について、この表面に第1の実施例と同
条件によってダイヤモンド状薄膜1cを形成し、そのテ
ープ駆動力評価を行なった。
For each of the above-mentioned reference examples (a), (b), (c) and this example (d), a diamond-like thin film 1c was formed on this surface under the same conditions as in the first example, and the tape was prepared. The driving force was evaluated.

【0050】ダイヤモンド状薄膜1cを成膜した後のキ
ャプスタン軸1の表面粗さを測定したが、図9に示した
ものと同様であった。
The surface roughness of the capstan shaft 1 after forming the diamond-like thin film 1c was measured, and it was the same as that shown in FIG.

【0051】また、図10に各参考例(a),(b),
(c)と本実施例(d)の表面写真を示し、さらに図1
1にテープ駆動力の比較を示した。図11から明らかな
ように、参考例(a),(b),(c)はいずれも差異
がなく同じ傾向を示している。一方、本実施例(d)は
第1の実施例のものと同様に高いテープ駆動力を示して
いる。また、この駆動力の値は図7に示した(b),
(c)に比較しても高くなっていることが解る。
Further, in FIG. 10, each reference example (a), (b),
(C) and the surface photograph of this Example (d) are shown, and also FIG.
Table 1 shows the comparison of the tape driving force. As is clear from FIG. 11, the reference examples (a), (b), and (c) show the same tendency without any difference. On the other hand, this embodiment (d) shows a high tape driving force as in the case of the first embodiment. The value of this driving force is shown in FIG.
It can be seen that it is higher than that in (c).

【0052】この結果から明らかなように、本発明の第
2の実施例によれば、第1の実施例のものと同様にダイ
ヤモンド状薄膜1cと表面粗さの相乗効果によってテー
プ駆動力を向上することができるという効果が得られ
る。
As is clear from this result, according to the second embodiment of the present invention, the tape driving force is improved by the synergistic effect of the diamond-like thin film 1c and the surface roughness as in the first embodiment. The effect of being able to do is obtained.

【0053】(実施例3)次に、本発明の第3の実施例
について説明する。
(Embodiment 3) Next, a third embodiment of the present invention will be described.

【0054】第2の実施例に示した装置を用いた微少な
凹凸1bが形成された素体1aを複数本用意し、これに
数種の硬さのダイヤモンド状薄膜1cを成膜してそのテ
ープ駆動評価を行なった。ダイヤモンド状薄膜1cの硬
さは、素体1aに印加するバイアス電圧を変化させるこ
とにより制御できる。ダイヤモンド状薄膜1cの種類
は、(a)ビッカース硬度1500kg/mm2 のも
の、(b)3000kg/mm2 のもの、(c)600
0kg/mm2 のものの3種類について成膜を行い、そ
のテープ駆動力特性を比較評価した。
Using the apparatus shown in the second embodiment, a plurality of element bodies 1a on which minute irregularities 1b are formed are prepared, and diamond-like thin films 1c of several kinds of hardness are formed on them. Tape drive evaluation was performed. The hardness of the diamond-like thin film 1c can be controlled by changing the bias voltage applied to the element body 1a. The types of the diamond-like thin film 1c are (a) Vickers hardness of 1500 kg / mm 2 , (b) 3000 kg / mm 2 , and (c) 600.
Films were formed on three kinds of 0 kg / mm 2 and the tape driving force characteristics were comparatively evaluated.

【0055】その結果を図12に示す。(a)のもの、
すなわち、ダイヤモンド状薄膜1cの硬さが低いもので
はキャプスタン1の表面は摩耗しやすく、テープ駆動力
は従来並にまで低下している。これは、ダイヤモンド状
薄膜1cの膜質が柔らかいために、素体1aの表面の凹
凸1bの形状を維持できないためであると考えられる。
また、(c)のもの、すなわち、ダイヤモンド状薄膜1
cが非常に硬いものではそれ自身の内部応力によりダイ
ヤモンド状薄膜1cが剥離した。この結果、キャプスタ
ン軸1の素体1aの金属が露出し、そのテープ駆動力は
極端に低下した。本発明における微細な凹凸1bの形状
を維持するには、ダイヤモンド状薄膜1cの硬さ(c)
のものより硬くすることが望ましく、(b)のものの値
が最もよい特性を示した。
The results are shown in FIG. Of (a),
That is, if the hardness of the diamond-like thin film 1c is low, the surface of the capstan 1 is easily worn, and the tape driving force is reduced to the level of the conventional one. It is considered that this is because the diamond-like thin film 1c has a soft film quality and cannot maintain the shape of the unevenness 1b on the surface of the element body 1a.
Also, the one of (c), that is, the diamond-like thin film 1
When c was extremely hard, the diamond-like thin film 1c peeled off due to its own internal stress. As a result, the metal of the element body 1a of the capstan shaft 1 was exposed and the tape driving force was extremely reduced. In order to maintain the shape of the fine irregularities 1b in the present invention, the hardness of the diamond-like thin film 1c (c)
It is desirable to make it harder than that of (b), and the value of (b) showed the best characteristics.

【0056】(実施例4)次に、本発明の第4の実施例
について説明する。
(Fourth Embodiment) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.

【0057】第2の実施例に示した装置を用いて、微少
な凹凸1bが形成された素体1aを複数本用意し、ダイ
ヤモンド状薄膜1cの中間層として珪素含有薄膜を成膜
し、さらに、その上に数種の硬さのダイヤモンド状薄膜
1cを成膜してその駆動力評価を行なった。珪素含有薄
膜の成膜は図3に示した装置を用いて、原料にはテトラ
メチルシラン(TMS)を用い、ダイヤモンド状薄膜1
cの成膜と同様な手段で約50nmの膜厚だけ成膜し
た。成膜条件はバイアス電圧−3.0kV、イオン電流1
0mA、成膜時間は15分とした。さらに引続いて、数
種の硬さを有するダイヤモンド状薄膜1cを成膜した。
ダイヤモンド状薄膜1cの種類は、(a)ビッカース硬
度1500kg/mm2 のもの、(b)3000kg/
mm2 のもの、(c)6000kg/mm2 のものの3
種類で、第3の実施例のものと同様である。そして、こ
れについてテープ駆動力特性を比較評価した。
Using the apparatus shown in the second embodiment, a plurality of element bodies 1a on which minute irregularities 1b are formed are prepared, and a silicon-containing thin film is formed as an intermediate layer of the diamond-like thin film 1c. Then, a diamond-like thin film 1c having several kinds of hardness was formed thereon, and its driving force was evaluated. The silicon-containing thin film is formed by using the apparatus shown in FIG. 3, and tetramethylsilane (TMS) is used as a raw material.
A film having a thickness of about 50 nm was formed by the same method as the film formation of c. The film forming conditions are a bias voltage of −3.0 kV and an ion current of 1
The current was 0 mA and the film formation time was 15 minutes. Further subsequently, a diamond-like thin film 1c having several kinds of hardness was formed.
The types of the diamond-like thin film 1c are (a) Vickers hardness of 1500 kg / mm 2 , and (b) 3000 kg /
mm 2 and (c) 3 of 6000 kg / mm 2
The type is the same as that of the third embodiment. Then, the tape driving force characteristics were comparatively evaluated.

【0058】その結果を図13に示す。(c)のもので
は、第3の実施例では剥離したが、珪素含有薄膜を中間
層に成膜したことにより、付着性が向上して剥離しなか
った。しかも、硬さが最も硬いため、(a),(b)の
ものに比べて駆動力が高くなっている。一方、(a),
(b)のもののテープ駆動力は第3の実施例と大差はな
かった。
The results are shown in FIG. In the case of (c), peeling occurred in the third example, but by forming a silicon-containing thin film on the intermediate layer, the adhesiveness was improved and the peeling did not occur. In addition, since the hardness is the highest, the driving force is higher than those of (a) and (b). On the other hand, (a),
The tape driving force of (b) was not much different from that of the third embodiment.

【0059】以上の各実施例の説明から明らかなよう
に、本発明の磁気テープ駆動装置およびそのキャプスタ
ン軸の製造方法によれば、素体1aの表面に微細な凹凸
1bを形成し、その表面にダイヤモンド状薄膜1cを成
膜することにより、従来のダイヤモンド状薄膜をコート
したキャプスタンの特徴を維持しながら、テープ駆動力
をさらに向上させることができるという効果がある。
As is apparent from the above description of each embodiment, according to the magnetic tape driving device and the method of manufacturing the capstan shaft thereof of the present invention, the fine irregularities 1b are formed on the surface of the element body 1a, and By forming the diamond-like thin film 1c on the surface, the tape driving force can be further improved while maintaining the characteristics of the conventional capstan coated with the diamond-like thin film.

【0060】なお、本実施例において、照射する荷電粒
子は不活性ガスのアルゴンをイオン化しているが、活
性、不活性に限らず、また、ガスに限るものでもない。
たとえば、電子を用いてもよいもので、電荷を有するす
べての粒子を利用することができるものである。
In the present embodiment, the charged particles to be irradiated are ionized argon of an inert gas, but the charged particles are not limited to active or inactive, and are not limited to gas.
For example, electrons may be used, and all charged particles can be used.

【0061】また、各実施例において、微細な凹凸1b
を形成する装置とダイヤモンド状薄膜1cあるいは、珪
素含有薄膜の成膜を別の装置を示して実施するようにし
ているが、同一チャンバーを用いて、素体1aの保持部
だけを交換することによって、連続的に製造することも
可能である。
Further, in each embodiment, the fine unevenness 1b is formed.
The apparatus for forming the diamond-like thin film 1c or the silicon-containing thin film is formed by using a different apparatus, but by using the same chamber and exchanging only the holding portion of the element body 1a. It is also possible to manufacture continuously.

【0062】また、本発明の凹凸形成処理は従来の機械
的な仕上げ加工方法では実現することが難しく、本実施
例で示した方法によってのみ容易に実現できるものであ
る。しかも、本実施例に述べた方法を用いるならば、大
量のキャプスタン軸の処理を一括で行なうことも可能で
あり、量産効果も非常に高いものである。
Further, the concavo-convex forming treatment of the present invention is difficult to be realized by the conventional mechanical finishing method, and can be easily realized only by the method shown in this embodiment. Moreover, if the method described in this embodiment is used, it is possible to collectively process a large amount of capstan shafts and the mass production effect is very high.

【0063】[0063]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ダイヤモンド状薄膜がコートされたキャプス
タン軸のテープ駆動力をさらに向上させることができ、
かつ、量産性に優れた工業的価値の高い磁気テープ駆動
装置とそのキャプスタン軸の製造方法を提供することが
できる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the tape driving force of the capstan shaft coated with the diamond-like thin film can be further improved,
In addition, it is possible to provide a magnetic tape drive device excellent in mass productivity and having high industrial value, and a method for manufacturing the capstan shaft thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は本発明の磁気テープ駆動装置の製造方
法の第1の実施例において使用した粗面処理装置の概略
の構成図 (b)は同要部の斜視図
FIG. 1A is a schematic configuration diagram of a surface roughening device used in a first embodiment of a method of manufacturing a magnetic tape driving device of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view of the main part.

【図2】(a)は粗面処理前のキャプスタン軸素体の表
面粗さのグラフ (b)は同第1の実施例による粗面処理後のキャプスタ
ン軸素体の表面粗さのグラフ
FIG. 2A is a graph of the surface roughness of a capstan axial element before roughening, and FIG. 2B is a surface roughness of the capstan axial element after roughening according to the first embodiment. Graph

【図3】同第1の実施例において使用したダイヤモンド
状薄膜形成装置の概略の構成図
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a diamond-like thin film forming apparatus used in the first embodiment.

【図4】(a)は本発明の磁気テープ駆動装置のキャプ
スタン軸の斜視図 (b)は同要部の側断面図
FIG. 4A is a perspective view of a capstan shaft of a magnetic tape driving device of the present invention, and FIG.

【図5】(a)は同第1の実施例によるキャプスタン軸
の表面粗さのグラフ (b)は(a)と対比する第1の比較例のキャプスタン
軸の表面粗さのグラフ (c)は同第2の比較例のキャプスタン軸の表面粗さの
グラフ
FIG. 5A is a graph of the surface roughness of the capstan shaft according to the first embodiment, and FIG. 5B is a graph of the surface roughness of the capstan shaft of the first comparative example in comparison with FIG. c) is a graph of the surface roughness of the capstan shaft of the second comparative example.

【図6】(a)は図5(a)に対応するキャプスタン軸
の表面の金属組織を表わす写真 (b)は図5(b)に対応するキャプスタン軸の表面の
金属組織を表わす写真 (c)は図5(c)に対応するキャプスタン軸の表面の
金属組織を表わす写真
6 (a) is a photograph showing the metallographic structure of the surface of the capstan shaft corresponding to FIG. 5 (a), and (b) is a photograph showing the metallographic structure of the surface of the capstan shaft corresponding to FIG. 5 (b). 5 (c) is a photograph showing the metallographic structure of the surface of the capstan shaft corresponding to FIG. 5 (c).

【図7】同第1の実施例におけるテープ駆動力の比較特
性図
FIG. 7 is a comparative characteristic diagram of the tape driving force in the first embodiment.

【図8】(a)は同第2の実施例において使用した粗面
処理装置の概略の構成図 (b)は図要部の分解斜視図
FIG. 8A is a schematic configuration diagram of a rough surface treatment apparatus used in the second embodiment, and FIG. 8B is an exploded perspective view of essential parts of the drawing.

【図9】(a)は粗面処理前のキャプスタン軸素体の表
面粗さのグラフ (b)はキャプスタン軸素体を単に回動させたときのキ
ャプスタン軸素体の表面粗さのグラフ (c)はキャプスタン軸素体にバイアス電圧を印加して
回動させたときのキャプスタン軸素体の表面粗さのグラ
フ (d)は同第2の実施例による粗面処理後のキャプスタ
ン軸素体の表面粗さのグラフ
FIG. 9A is a graph of the surface roughness of a capstan shaft element before roughening treatment. FIG. 9B is a surface roughness of the capstan shaft element when the capstan shaft element is simply rotated. (C) is a graph of the surface roughness of the capstan shaft element when the capstan shaft element is rotated by applying a bias voltage. (D) is the surface roughness after the second embodiment. Graph of surface roughness of capstan shaft element

【図10】(a)は図9(a)に対応するキャプスタン
の表面の金属組織を表わす写真 (b)は図9(b)に対応するキャプスタンの表面の金
属組織を表わす写真 (c)は図9(c)に対応するキャプスタンの表面の金
属組織を表わす写真 (d)は図9(d)に対応するキャプスタンの表面の金
属組織を表わす写真
10A is a photograph showing a metallographic structure on the surface of the capstan corresponding to FIG. 9A, and FIG. 10B is a photograph showing a metallographic structure on the surface of the capstan corresponding to FIG. 9B. 9D is a photograph showing the metallographic structure of the surface of the capstan corresponding to FIG. 9C, and FIG. 9D is a photograph showing the metallographic structure of the surface of the capstan corresponding to FIG. 9D.

【図11】同第2の実施例におけるテープ駆動力の比較
特性図
FIG. 11 is a comparative characteristic diagram of the tape driving force in the second embodiment.

【図12】同第3の実施例におけるテープ駆動力の比較
特性図
FIG. 12 is a comparative characteristic diagram of the tape driving force in the third embodiment.

【図13】同第4の実施例におけるテープ駆動力の比較
特性図
FIG. 13 is a comparative characteristic diagram of tape driving force in the fourth embodiment.

【図14】(a)は従来例の磁気テープ駆動装置の要部
の側面図 (b)は同平面図
FIG. 14A is a side view of a main part of a conventional magnetic tape drive device, and FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 キャプスタン軸 1a キャプスタン軸素体(素体) 1b 微小な凹凸 1c ダイヤモンド状薄膜 12 ピンチローラー 13 磁気テープ 1 Capstan Axis 1a Capstan Axis Element (element) 1b Micro unevenness 1c Diamond thin film 12 Pinch roller 13 Magnetic tape

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気テープを駆動するキャプスタン軸
と、前記磁気テープを前記キャプスタン軸へ圧接するピ
ンチローラーとを備え、前記キャプスタン軸は、キャプ
スタン軸素体の表面に高さ10nm以上100nm以
下、ピッチ500nm以上2μm以下の微細な凹凸を形
成し、前記凹凸面上にダイヤモンド状薄膜を成膜して形
成したことを特徴とする磁気テープ駆動装置。
1. A capstan shaft for driving a magnetic tape, and a pinch roller for press-contacting the magnetic tape to the capstan shaft, the capstan shaft having a height of 10 nm or more on a surface of a capstan shaft body. A magnetic tape drive device, wherein fine irregularities having a pitch of 100 nm or less and a pitch of 500 nm or more and 2 μm or less are formed, and a diamond-like thin film is formed on the irregular surface.
【請求項2】 ダイヤモンド状薄膜のビッカース硬さが
3000kg/mm2以上であることを特徴とする請求
項1記載の磁気テープ駆動装置。
2. The magnetic tape drive device according to claim 1, wherein the Vickers hardness of the diamond-like thin film is 3000 kg / mm 2 or more.
【請求項3】 キャプスタン軸の凹凸面とダイヤモンド
状薄膜の間に珪素を含有する薄膜層を形成したことを特
徴とする請求項1または2記載の磁気テープ駆動装置
3. The magnetic tape drive device according to claim 1, wherein a thin film layer containing silicon is formed between the uneven surface of the capstan shaft and the diamond-like thin film.
【請求項4】 複数のキャプスタン軸素体を転動して互
いに接触させながら前記キャプスタン軸素体に荷電粒子
を照射し、前記照射により前記キャプスタン軸素体の表
面に微細な凹凸を形成することを特徴とする磁気テープ
駆動装置のキャプスタン軸の製造方法。
4. The capstan shaft element is irradiated with charged particles while rolling a plurality of capstan shaft elements so as to be in contact with each other, and fine irregularities are formed on the surface of the capstan shaft element by the irradiation. A method of manufacturing a capstan shaft for a magnetic tape drive, the method comprising: forming.
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