JPH06331310A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
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- JPH06331310A JPH06331310A JP5121705A JP12170593A JPH06331310A JP H06331310 A JPH06331310 A JP H06331310A JP 5121705 A JP5121705 A JP 5121705A JP 12170593 A JP12170593 A JP 12170593A JP H06331310 A JPH06331310 A JP H06331310A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 タルボ干渉計でヌルテストや波面補正ができ
るようにする。 【構成】 液晶パネル１０３の遮光マスクをタルボ干渉
計の入射側の格子に使う。偏光ビームスプリッタで補正
光２０２と計測光２０３に分離する。計測波面の複素共
役を液晶パネルに記録する。
るようにする。 【構成】 液晶パネル１０３の遮光マスクをタルボ干渉
計の入射側の格子に使う。偏光ビームスプリッタで補正
光２０２と計測光２０３に分離する。計測波面の複素共
役を液晶パネルに記録する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光学装置は、図５に示すように、
振幅格子５０３を利用したタルボ干渉計を用いて光の波
面を測定するものであった。
振幅格子５０３を利用したタルボ干渉計を用いて光の波
面を測定するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光学装
置には、光の波面を測定するだけで、それを変化させる
ことができず、ヌルテストや波面補正ができないという
問題があった。本発明は、このような問題点を解決する
ものであって、その目的は、簡便な手段により高性能な
光学装置を提供するところにある。
置には、光の波面を測定するだけで、それを変化させる
ことができず、ヌルテストや波面補正ができないという
問題があった。本発明は、このような問題点を解決する
ものであって、その目的は、簡便な手段により高性能な
光学装置を提供するところにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の光学装置
は、タルボ干渉計を備えた光学装置において、少なくと
も、透過率の周期構造を持った空間光変調器を備え、前
記タルボ干渉計の光の入射側の格子として前記空間光変
調器の周期構造を用いたことを特徴とする。
は、タルボ干渉計を備えた光学装置において、少なくと
も、透過率の周期構造を持った空間光変調器を備え、前
記タルボ干渉計の光の入射側の格子として前記空間光変
調器の周期構造を用いたことを特徴とする。
【０００５】本発明の第２の光学装置は、前記第１の光
学装置において、前記タルボ干渉計に導く光と前記空間
光変調器で変調された光を分離するための手段を備えた
ことを特徴とする。
学装置において、前記タルボ干渉計に導く光と前記空間
光変調器で変調された光を分離するための手段を備えた
ことを特徴とする。
【０００６】本発明の第３の光学装置は、前記第２の光
学装置において、前記分離するための手段が２重回折光
学系と空間フィルタから成ることを特徴とする。
学装置において、前記分離するための手段が２重回折光
学系と空間フィルタから成ることを特徴とする。
【０００７】本発明の第４の光学装置は、前記第３の光
学装置において、前記空間フィルタが前記空間光変調器
の周期構造による回折光の０次光とそれ以外の光を分離
するものであることを特徴とする。
学装置において、前記空間フィルタが前記空間光変調器
の周期構造による回折光の０次光とそれ以外の光を分離
するものであることを特徴とする。
【０００８】本発明の第５の光学装置は、前記第１ない
し４の光学装置において、前記タルボ干渉計による像と
その像を観測する手段の間に回折格子を備えたことを特
徴とする。
し４の光学装置において、前記タルボ干渉計による像と
その像を観測する手段の間に回折格子を備えたことを特
徴とする。
【０００９】本発明の第６の光学装置は、前記第１ない
し５の光学装置において、前記タルボ干渉計が第２の格
子として振幅変調型空間光変調器を用いたことを特徴と
する。
し５の光学装置において、前記タルボ干渉計が第２の格
子として振幅変調型空間光変調器を用いたことを特徴と
する。
【００１０】本発明の第７の光学装置は、前記第６の光
学装置において、前記振幅変調型空間光変調器が液晶空
間光変調器であることを特徴とする。
学装置において、前記振幅変調型空間光変調器が液晶空
間光変調器であることを特徴とする。
【００１１】本発明の第８の光学装置は、前記第１ない
し７の光学装置において、前記光の入射側の空間光変調
器が位相変調型空間光変調器であることを特徴とする。
し７の光学装置において、前記光の入射側の空間光変調
器が位相変調型空間光変調器であることを特徴とする。
【００１２】本発明の第９の光学装置は、前記第１ない
し８の光学装置において、前記光の入射側の空間光変調
器が液晶空間光変調器であることを特徴とする。
し８の光学装置において、前記光の入射側の空間光変調
器が液晶空間光変調器であることを特徴とする。
【００１３】本発明の第１０の光学装置は、前記第９の
光学装置において、前記液晶空間光変調器がＥＣＢモー
ドの液晶空間光変調器であることを特徴とする。
光学装置において、前記液晶空間光変調器がＥＣＢモー
ドの液晶空間光変調器であることを特徴とする。
【００１４】本発明の第１１の光学装置は、前記第９な
いし１０の光学装置において、前記透過率の周期構造が
液晶空間光変調器の画素への配線であることを特徴とす
る。
いし１０の光学装置において、前記透過率の周期構造が
液晶空間光変調器の画素への配線であることを特徴とす
る。
【００１５】本発明の第１２の光学装置は、前記第９な
いし１０の光学装置において、前記透過率の周期構造が
液晶空間光変調器の遮光マスクであることを特徴とす
る。
いし１０の光学装置において、前記透過率の周期構造が
液晶空間光変調器の遮光マスクであることを特徴とす
る。
【００１６】本発明の第１３の光学装置は、前記第７な
いし１２の光学装置において、前記分離するための手段
が偏光ビームスプリッタであることを特徴とする。
いし１２の光学装置において、前記分離するための手段
が偏光ビームスプリッタであることを特徴とする。
【００１７】
【実施例】以下、実施例により本発明の詳細を示す。
【００１８】（実施例１）まず、タルボ干渉の原理を説
明する（なお、タルボ干渉計の詳細については例えば、
横関俊介：「タルボ干渉計」，光学，９（１９８０）２
７５を参照のこと）。
明する（なお、タルボ干渉計の詳細については例えば、
横関俊介：「タルボ干渉計」，光学，９（１９８０）２
７５を参照のこと）。
【００１９】第１の格子を通過したコヒーレント光は、
格子から、 ｚ＝ｍｄ2／λ ・・・・・（１） だけ離れた位置にフーリエイメージを作る（ｍは整数、
ｄは格子のピッチ、λは光の波長）。このフーリエイメ
ージは入射光が平面波の場合は第１の格子と同じ強度分
布をもつ。一方、入射光に歪がある場合には第１の格子
が変形した像が現れる。このためこの位置に第１の格子
とピッチが同じ第２の格子を置けば、モアレによって入
射波面の歪が測定できる。
格子から、 ｚ＝ｍｄ2／λ ・・・・・（１） だけ離れた位置にフーリエイメージを作る（ｍは整数、
ｄは格子のピッチ、λは光の波長）。このフーリエイメ
ージは入射光が平面波の場合は第１の格子と同じ強度分
布をもつ。一方、入射光に歪がある場合には第１の格子
が変形した像が現れる。このためこの位置に第１の格子
とピッチが同じ第２の格子を置けば、モアレによって入
射波面の歪が測定できる。
【００２０】図１に本発明の光学装置の構成を示す。
【００２１】液晶パネル１０３を光の入射側に配置す
る。この液晶パネルはＴＦＴアクティブマトリックス駆
動方式で、格子状の遮光マスクを備えており、これをタ
ルボ干渉計の第１の格子として利用する。本実施例では
液晶パネルとしてホモジニアス配向のＥＣＢ（電界制御
複屈折）モードの液晶パネルを用いた。この液晶パネル
は液晶ダイレクタに平行な偏光成分の位相を連続的に２
π以上変調できる。
る。この液晶パネルはＴＦＴアクティブマトリックス駆
動方式で、格子状の遮光マスクを備えており、これをタ
ルボ干渉計の第１の格子として利用する。本実施例では
液晶パネルとしてホモジニアス配向のＥＣＢ（電界制御
複屈折）モードの液晶パネルを用いた。この液晶パネル
は液晶ダイレクタに平行な偏光成分の位相を連続的に２
π以上変調できる。
【００２２】式１のｚの位置に第２の格子１０４を配置
し、モアレ像をＣＣＤ１０７で取り込む。この取り込ん
だモアレ縞から計算機１０８で計算することにより、入
射光１０１の位相分布を求めることができる。なお、大
きなモアレの他に細かい縞が多数現れるので、すりガラ
ス１０５でこの細かい縞をぼかして計算機での処理を簡
単にする。
し、モアレ像をＣＣＤ１０７で取り込む。この取り込ん
だモアレ縞から計算機１０８で計算することにより、入
射光１０１の位相分布を求めることができる。なお、大
きなモアレの他に細かい縞が多数現れるので、すりガラ
ス１０５でこの細かい縞をぼかして計算機での処理を簡
単にする。
【００２３】本発明の光学装置では、この求められた位
相分布の複素共役を液晶パネルに記録して入射光の歪を
打ち消すことにより、モアレを消すことができる。これ
により物体の変形などを簡単に計測できるようになっ
た。
相分布の複素共役を液晶パネルに記録して入射光の歪を
打ち消すことにより、モアレを消すことができる。これ
により物体の変形などを簡単に計測できるようになっ
た。
【００２４】また、本発明の光学装置は原器として用い
ることができる。例えばレンズの設計値から位相分布を
計算しておき、その複素共役を液晶パネルに記録してお
けば、モアレのヌルテストによって製品の良品判定を簡
単におこなうことができる。なお、原器として用いると
きには偏光板１０２をその透過軸が液晶ダイレクタに平
行になるように配置する。
ることができる。例えばレンズの設計値から位相分布を
計算しておき、その複素共役を液晶パネルに記録してお
けば、モアレのヌルテストによって製品の良品判定を簡
単におこなうことができる。なお、原器として用いると
きには偏光板１０２をその透過軸が液晶ダイレクタに平
行になるように配置する。
【００２５】本実施例ではＴＦＴ方式の液晶パネルを用
いたが、この他にもＭＩＭ方式の液晶パネルや、光書き
込み型の液晶パネルを用いることもできる。ＭＩＭの場
合はアクティブ素子の配線（信号線）が１次元なので、
１次元格子として用いることもできる（遮光マスクで２
次元格子にしても良い）。また、光書き込み式の場合は
透過型の素子を用いる方が装置構成が容易である。この
素子は例えばａ−ＳｉＣ：Ｈ薄膜を光導電層に用いたも
ので、青の光で書き込むことができ、赤の光を透過させ
るものである。この場合は振幅格子を別に付ける必要が
ある。
いたが、この他にもＭＩＭ方式の液晶パネルや、光書き
込み型の液晶パネルを用いることもできる。ＭＩＭの場
合はアクティブ素子の配線（信号線）が１次元なので、
１次元格子として用いることもできる（遮光マスクで２
次元格子にしても良い）。また、光書き込み式の場合は
透過型の素子を用いる方が装置構成が容易である。この
素子は例えばａ−ＳｉＣ：Ｈ薄膜を光導電層に用いたも
ので、青の光で書き込むことができ、赤の光を透過させ
るものである。この場合は振幅格子を別に付ける必要が
ある。
【００２６】（実施例２）図２に本発明の別の実施例の
構成を示す。
構成を示す。
【００２７】本発明の光学装置は光の波面を計測すると
ともに、ほぼ実時間で光の波面を補正することができ
る。
ともに、ほぼ実時間で光の波面を補正することができ
る。
【００２８】液晶パネル１０３を通過したコヒーレント
光は偏光ビームスプリッタ２０１によって２つに分離さ
れる。液晶ダイレクタに直交する成分は偏光ビームスプ
リッタで反射されてタルボ干渉計に導かれる。
光は偏光ビームスプリッタ２０１によって２つに分離さ
れる。液晶ダイレクタに直交する成分は偏光ビームスプ
リッタで反射されてタルボ干渉計に導かれる。
【００２９】本実施例で用いたホモジニアス配向のＥＣ
Ｂモードの液晶パネルは液晶ダイレクタに平行な偏光成
分の位相は２π以上変調させるのに対し、液晶ダイレク
タに垂直な偏光成分の位相は変化させない。
Ｂモードの液晶パネルは液晶ダイレクタに平行な偏光成
分の位相は２π以上変調させるのに対し、液晶ダイレク
タに垂直な偏光成分の位相は変化させない。
【００３０】すなわち、偏光ビームスプリッタで反射さ
れた光２０３は液晶パネル１０３による変調は受けてお
らず、単なる格子を通過した光とみなすことができる。
この光を用いてタルボ干渉計によって入射光の波面を求
め、補正データを液晶パネル１０３に記録する。
れた光２０３は液晶パネル１０３による変調は受けてお
らず、単なる格子を通過した光とみなすことができる。
この光を用いてタルボ干渉計によって入射光の波面を求
め、補正データを液晶パネル１０３に記録する。
【００３１】一方、液晶ダイレクタに平行な偏光成分２
０２は、偏光ビームスプリッタを通過する。この光は液
晶パネルによって位相変調を受けており、波面を補正さ
れている（必要ならば、補正光と計測光の光量比を液晶
パネルの前に波長板などを配置して調整する）。
０２は、偏光ビームスプリッタを通過する。この光は液
晶パネルによって位相変調を受けており、波面を補正さ
れている（必要ならば、補正光と計測光の光量比を液晶
パネルの前に波長板などを配置して調整する）。
【００３２】このように本発明の光学装置では、一方の
偏光成分を用いて常に波面を計測し、もう一方の偏光成
分の波面を補正することができる。すなわち液晶パネル
の応答時間や、位相の計算時間を除けばほぼ実時間で波
面を補正することができる。
偏光成分を用いて常に波面を計測し、もう一方の偏光成
分の波面を補正することができる。すなわち液晶パネル
の応答時間や、位相の計算時間を除けばほぼ実時間で波
面を補正することができる。
【００３３】本実施例ではタルボ干渉計の第２の格子と
して液晶パネル２０４を用いた。これは振幅変調型の液
晶パネルで、各画素の透過率変化を使って格子を記録す
ることができる。一般にタルボ干渉計では縞走査するた
めに第２の格子を光軸に垂直な方向に移動させながらモ
アレを取り込む。しかし、本実施例の光学装置では第２
の液晶パネルに記録する格子のパターンをずらしていく
ことによって縞走査がおこなえるので、可動部がなく、
取扱いが容易なままで高精度の測定ができる。
して液晶パネル２０４を用いた。これは振幅変調型の液
晶パネルで、各画素の透過率変化を使って格子を記録す
ることができる。一般にタルボ干渉計では縞走査するた
めに第２の格子を光軸に垂直な方向に移動させながらモ
アレを取り込む。しかし、本実施例の光学装置では第２
の液晶パネルに記録する格子のパターンをずらしていく
ことによって縞走査がおこなえるので、可動部がなく、
取扱いが容易なままで高精度の測定ができる。
【００３４】なお、この液晶パネル２０４は振幅が変調
できればツイステッドネマティク、強誘電性液晶、反強
誘電性液晶など何を用いてもよい。勿論液晶以外の振幅
変調器を用いることも可能である。
できればツイステッドネマティク、強誘電性液晶、反強
誘電性液晶など何を用いてもよい。勿論液晶以外の振幅
変調器を用いることも可能である。
【００３５】（実施例３）図３に本発明の別の実施例の
構成を示す。本実施例の光学装置もほぼ実時間で光の波
面を補正することができる。
構成を示す。本実施例の光学装置もほぼ実時間で光の波
面を補正することができる。
【００３６】本実施例では計測用の光と補正光の分離を
二重回折光学系と空間フィルタを用いておこなった。
二重回折光学系と空間フィルタを用いておこなった。
【００３７】入射したコヒーレント光は液晶パネルの画
素によって回折される。この回折像を図４に示すような
空間フィルタ３０４で０次光４０１とそれ以外の回折光
４０３に分離する。このフィルタは０次光を開口４０２
から通過させ、その他の回折光は反射するものである。
素によって回折される。この回折像を図４に示すような
空間フィルタ３０４で０次光４０１とそれ以外の回折光
４０３に分離する。このフィルタは０次光を開口４０２
から通過させ、その他の回折光は反射するものである。
【００３８】反射された高次の回折光をレンズ３０５で
再結像させると液晶パネルの像とほぼ同じ（ただし０次
の成分は無い）像３０６が得られる。この像から式１の
ｚだけ離れた位置に第２の格子１０４を置けば実施例
１、２とほぼ同様なモアレ縞が得られる。これによって
入射波面の位相分布を測定することができる。
再結像させると液晶パネルの像とほぼ同じ（ただし０次
の成分は無い）像３０６が得られる。この像から式１の
ｚだけ離れた位置に第２の格子１０４を置けば実施例
１、２とほぼ同様なモアレ縞が得られる。これによって
入射波面の位相分布を測定することができる。
【００３９】この測定結果をもとに補正データを液晶パ
ネルに記録すれば、０次光として補正波面３０２が得ら
れる。このように本実施例の光学装置でもほぼ実時間で
波面補正ができる。
ネルに記録すれば、０次光として補正波面３０２が得ら
れる。このように本実施例の光学装置でもほぼ実時間で
波面補正ができる。
【００４０】本実施例の光学装置ではこれまで不要とさ
れていた画素による回折光を計測用に用いるので、波面
補正における光の利用効率が高い。
れていた画素による回折光を計測用に用いるので、波面
補正における光の利用効率が高い。
【００４１】本実施例では実施例１、２のすりガラスの
代わりに、回折格子３０７を用いた。この回折格子は計
算機で設計された位相格子で、特定の回折次数（本実施
例では±１，±２次）にのみに光を集めることができ
る。これによってＣＣＤで取り込まれるモアレ縞は、近
傍５×５画素の平均化処理を施したものと同じになり、
縞の解析が容易になる。
代わりに、回折格子３０７を用いた。この回折格子は計
算機で設計された位相格子で、特定の回折次数（本実施
例では±１，±２次）にのみに光を集めることができ
る。これによってＣＣＤで取り込まれるモアレ縞は、近
傍５×５画素の平均化処理を施したものと同じになり、
縞の解析が容易になる。
【００４２】なお、以上の実施例では本発明を２つの格
子を組み合わせたタルボ干渉計に適用した場合について
述べたが、本発明はこの他にも第２の格子を用いずに画
像処理によって波面を求めるタルボ干渉計にも応用でき
る。
子を組み合わせたタルボ干渉計に適用した場合について
述べたが、本発明はこの他にも第２の格子を用いずに画
像処理によって波面を求めるタルボ干渉計にも応用でき
る。
【００４３】
【発明の効果】本発明によれば、空間光変調器を用いる
ことにより、タルボ干渉計でヌルテストをおこなうこと
が可能になるという効果が得られる。これにより物体の
変形や原器からのずれを容易に計測できるようになっ
た。また、空間光変調器を用いることにより、計測され
た波面の情報をもとに波面補正をおこなうことが可能と
なった。
ことにより、タルボ干渉計でヌルテストをおこなうこと
が可能になるという効果が得られる。これにより物体の
変形や原器からのずれを容易に計測できるようになっ
た。また、空間光変調器を用いることにより、計測され
た波面の情報をもとに波面補正をおこなうことが可能と
なった。
【００４４】しかも空間光変調器の画素構造をタルボ干
渉計の入射側の格子として用いるので装置の構成が簡単
になる。
渉計の入射側の格子として用いるので装置の構成が簡単
になる。
【００４５】タルボ干渉による縞画像とそれを観測する
手段との間に回折格子を配置することにより、周辺の画
素との平均化処理が光学的におこなわれ、波面を求める
ための計算が容易になるという効果が得られる。
手段との間に回折格子を配置することにより、周辺の画
素との平均化処理が光学的におこなわれ、波面を求める
ための計算が容易になるという効果が得られる。
【００４６】タルボ干渉計の第２の格子に振幅変調型空
間光変調器を用いることによりタルボ干渉計で縞走査が
可能となり、高精度の波面計測が可能となるという効果
が得られる。
間光変調器を用いることによりタルボ干渉計で縞走査が
可能となり、高精度の波面計測が可能となるという効果
が得られる。
【００４７】２重回折光学系で高次の回折光を分離し、
その光を用いて波面を計測した場合には、０次光を計測
に用いなくて済むので光の利用効率が高くなるという効
果が得られる。
その光を用いて波面を計測した場合には、０次光を計測
に用いなくて済むので光の利用効率が高くなるという効
果が得られる。
【００４８】タルボ干渉計に液晶空間光変調器を用いる
場合、偏光ビームスプリッタによって、液晶空間光変調
器が変調しなかった偏光成分を干渉計測に用いることが
できるようになるため、波面補正における光の利用効率
を高くできるという効果が得られる。
場合、偏光ビームスプリッタによって、液晶空間光変調
器が変調しなかった偏光成分を干渉計測に用いることが
できるようになるため、波面補正における光の利用効率
を高くできるという効果が得られる。
【図１】 本発明の光学装置の構成を示す側面図であ
る。
る。
【図２】 本発明の光学装置の別の構成を示す側面図で
ある。
ある。
【図３】 本発明の光学装置の別の構成を示す側面図で
ある。
ある。
【図４】 本発明の実施例で用いた空間フィルタを示す
上面図である。
上面図である。
【図５】 従来の光学装置の構成を示す側面図である。
１０１ 入射光 １０２ 偏光板 １０３ 液晶パネル １０４ 第２の格子 １０５ すりガラス １０６ レンズ １０７ ＣＣＤ １０８ 計算機 １０９ 液晶駆動回路 ２０１ 偏光ビームスプリッタ ２０２ 液晶ダイレクタに平行な偏光成分 ２０３ 偏光ビームスプリッタで反射された光 ２０４ 液晶パネル ２０５ 液晶駆動回路 ２０８ 計算機 ３０１ レンズ ３０２ 補正波面 ３０３ レンズ ３０４ 空間フィルタ ３０５ レンズ ３０６ 液晶パネルの像とほぼ同じ像（０次の成分は無
い） ３０７ 回折格子 ４０１ ０次光 ４０２ 開口 ４０３ ０次光以外の回折光 ５０３ 振幅格子 ５０４ 第２の格子 ５０５ すりガラス ５０６ レンズ ５０７ ＣＣＤ ５０８ モニタ
い） ３０７ 回折格子 ４０１ ０次光 ４０２ 開口 ４０３ ０次光以外の回折光 ５０３ 振幅格子 ５０４ 第２の格子 ５０５ すりガラス ５０６ レンズ ５０７ ＣＣＤ ５０８ モニタ
Claims (13)
- 【請求項１】 タルボ（Ｔａｌｂｏｔ）干渉計を備えた
光学装置において、少なくとも、透過率の周期構造を持
った空間光変調器を備え、前記タルボ干渉計の光の入射
側の格子として前記空間光変調器の周期構造を用いたこ
とを特徴とする光学装置。 - 【請求項２】 前記タルボ干渉計に導く光と前記空間光
変調器で変調された光を分離するための手段を備えたこ
とを特徴とする請求項１記載の光学装置。 - 【請求項３】 前記分離するための手段は２重回折光学
系と空間フィルタから成ることを特徴とする請求項２記
載の光学装置。 - 【請求項４】 前記空間フィルタは前記空間光変調器の
周期構造による回折光の０次光とそれ以外の光を分離す
るものであることを特徴とする請求項３記載の光学装
置。 - 【請求項５】 前記タルボ干渉計による像とその像を観
測する手段の間に回折格子を備えたことを特徴とする請
求項１ないし４記載の光学装置。 - 【請求項６】 前記タルボ干渉計は第２の格子として振
幅変調型空間光変調器を用いたことを特徴とする請求項
１ないし５記載の光学装置。 - 【請求項７】 前記振幅変調型空間光変調器は液晶空間
光変調器であることを特徴とする請求項６記載の光学装
置。 - 【請求項８】 前記光の入射側の空間光変調器は位相変
調型空間光変調器であることを特徴とする請求項１ない
し７記載の光学装置。 - 【請求項９】 前記光の入射側の空間光変調器は液晶空
間光変調器であることを特徴とする請求項１ないし８記
載の光学装置。 - 【請求項１０】 前記液晶空間光変調器はＥＣＢモード
の液晶空間光変調器であることを特徴とする請求項９記
載の光学装置。 - 【請求項１１】 前記透過率の周期構造は液晶空間光変
調器の画素への配線であることを特徴とする請求項９な
いし１０記載の光学装置。 - 【請求項１２】 前記透過率の周期構造は液晶空間光変
調器の遮光マスクであることを特徴とする請求項９ない
し１０記載の光学装置。 - 【請求項１３】 前記分離するための手段は偏光ビーム
スプリッタであることを特徴とする請求項７ないし１２
記載の光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5121705A JPH06331310A (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5121705A JPH06331310A (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331310A true JPH06331310A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14817847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5121705A Pending JPH06331310A (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06331310A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105785609A (zh) * | 2016-04-28 | 2016-07-20 | 长春理工大学 | 基于透射式液晶空间光调制器波前校正的方法及装置 |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP5121705A patent/JPH06331310A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105785609A (zh) * | 2016-04-28 | 2016-07-20 | 长春理工大学 | 基于透射式液晶空间光调制器波前校正的方法及装置 |
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