JPH06326238A - Film applying method - Google Patents

Film applying method

Info

Publication number
JPH06326238A
JPH06326238A JP11314193A JP11314193A JPH06326238A JP H06326238 A JPH06326238 A JP H06326238A JP 11314193 A JP11314193 A JP 11314193A JP 11314193 A JP11314193 A JP 11314193A JP H06326238 A JPH06326238 A JP H06326238A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
punch
die
cold air
lead frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11314193A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2720752B2 (en
Inventor
Toshio Kawamura
村 敏 雄 川
Takashi Suzumura
村 隆 志 鈴
Satoshi Sasaki
敏 佐々木
Hirohisa Endo
藤 裕 寿 遠
Hiroshi Sugimoto
本 洋 杉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP5113141A priority Critical patent/JP2720752B2/en
Publication of JPH06326238A publication Critical patent/JPH06326238A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2720752B2 publication Critical patent/JP2720752B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To realize high speed application of film by allowing local cooling, i.e., the cooling only at the unnecessarily high temperature parts of a metal mold. CONSTITUTION:A film 8 is punched by means of a punching metal mold comprising a punch 7, a die 2 and a stripper 3. The punched film 8 is then transferred to a predetermined position where the film 8 is applied to a lead frame 1 heated by a heating means. In this regard, high pressure air is fed through a cold air hole 9 made through the punch 7 in the vicinity of film applying part in order to apply the film 8 while locally cooling the metal mold.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームのフィ
ルム貼り付け方法、特に、高品質にフィルムをリードフ
レームに貼り付ける方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for attaching a film to a lead frame, and more particularly to a method for attaching a film to a lead frame with high quality.

【0002】[0002]

【従来の技術】集積回路の高密度実装技術の発展によ
り、チップ面積に対応する入出力ピン数が増加し、基板
上に搭載されるチップ数の減少と基板の小型化が図ら
れ、高密度の実装が実現されている。基板の実装方法に
は、従来のリード型、表面実装型、等が考えられる。チ
ップ面積に対応する入出力ピン数の増加と基板の実装を
考慮し、近年、各種高信頼性、高品質リードフレームの
開発が行われている。
2. Description of the Related Art With the development of high-density packaging technology for integrated circuits, the number of input / output pins corresponding to the chip area is increased, the number of chips mounted on the board is reduced, and the board is downsized. Has been implemented. A conventional lead type, surface mount type, or the like can be considered as a method of mounting the substrate. In consideration of the increase in the number of input / output pins corresponding to the chip area and the mounting of the board, various types of high reliability and high quality lead frames have been developed in recent years.

【0003】ICあるいはLSIなどを搭載するリード
フレームでは、従来からリード先端部の段差やシフトを
防止するため、フィルムを短冊状に打ち抜きまたは切断
し、リード先端部に貼り付けること、あるいは、LOC
(Lead On Chip)構造などでは、リードと
チップとを貼り合わせるために、リードフレームにフィ
ルムを貼り付けることが多く行われている。
In a lead frame on which an IC or LSI is mounted, a film is conventionally punched or cut into a strip shape and attached to the lead tip in order to prevent a step or shift of the lead tip, or LOC.
In the (Lead On Chip) structure and the like, a film is often attached to the lead frame in order to attach the lead and the chip.

【0004】このようなフィルムを貼り付ける方法とし
て、図4に示すようなフィルム貼り付け装置を用いて、
フィルム8を金型で所定形状に切断または打ち抜いてか
ら、その直下に設置された被貼り付け材となるリードフ
レーム1に貼り付ける方法が行われている。図4に示す
フィルム貼付装置において、金型はパンチ7、ダイ2、
パンチガイド3またはストリッパにより構成されてお
り、金型下部にはヒータ4が配置され、ヒータ4上にあ
らかじめ位置決めされたリードフレーム1が載置される
ように構成されている。
As a method for sticking such a film, a film sticking apparatus as shown in FIG. 4 is used.
A method is used in which the film 8 is cut or punched into a predetermined shape with a mold and then attached to a lead frame 1 which is a material to be attached and which is placed immediately below. In the film sticking apparatus shown in FIG. 4, the die is a punch 7, a die 2,
It is composed of a punch guide 3 or a stripper, a heater 4 is arranged at the lower part of the die, and the lead frame 1 which is positioned in advance on the heater 4 is mounted.

【0005】このようなフィルム貼付装置を用いた従来
のフィルム貼り付け方法を図5(a),(b)および
(c)に示す。従来のフィルム貼り付け方法において
は、図5(a)に示すように、打ち抜くフィルム8はパ
ンチガイド3とダイ2との間にテープ状に供給されて、
ダイ上面にセットされ、一方リードフレーム1はダイ下
面にセットされた後、金型のシャンク6が押されること
により、図5(b)に示すようにパンチ7がフィルム8
を所定形状に切断もしくは打ち抜き、図5(c)に示す
ようにダイ2の下面に待機しているリードフレーム1に
加熱したヒータ4(熱可塑性フィルムでは、約400℃
に加熱)を介して貼り付けを行うようになっている。
A conventional film sticking method using such a film sticking apparatus is shown in FIGS. 5 (a), 5 (b) and 5 (c). In the conventional film sticking method, as shown in FIG. 5A, the punching film 8 is fed in a tape shape between the punch guide 3 and the die 2,
The lead frame 1 is set on the lower surface of the die, while the lead frame 1 is set on the lower surface of the die, and then the shank 6 of the die is pushed, so that the punch 7 is moved to the film 8 as shown in FIG.
5 is cut or punched into a predetermined shape, and the heater 4 heated to the lead frame 1 waiting on the lower surface of the die 2 as shown in FIG.
It is designed to be attached via heating).

【0006】ヒータ4により加熱される金型、すなは
ち、パンチ7、ダイ2およびパンチガイド3には高い寸
法精度が要求されるので、これらがが過熱されると、パ
ンチ7とダイ2との間、およびパンチ7とパンチガイド
3との間のクリアランスが変化するため、正常な打ち抜
きを行うことができない。このため、図4に示すような
従来のフィルム貼り付け装置においては、過熱防止対策
の一例として金型本体に水冷管路11を設けて、金型全
体を水冷する方法が主に採用されている。この水冷方法
は冷水を金型内の循環水冷管路11に循環をさせて、金
型を冷却し、パンチ7、ダイ2およびパンチガイド3な
どの過熱を防止しようとするものである。
Since high dimensional accuracy is required for the die heated by the heater 4, that is, the punch 7, the die 2 and the punch guide 3, if these are overheated, the punch 7 and the die 2 will be damaged. However, since the clearance between the punch 7 and the punch guide 3 changes, normal punching cannot be performed. For this reason, in the conventional film sticking apparatus as shown in FIG. 4, as an example of measures against overheating, a method of providing a water cooling pipe 11 in the mold body and cooling the entire mold with water is mainly adopted. . In this water cooling method, cold water is circulated through a circulating water cooling pipe line 11 in the mold to cool the mold and prevent overheating of the punch 7, the die 2, the punch guide 3, and the like.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の過熱防止対策である水冷方法には、以下のよ
うな問題点があった。 1.この方法は、水冷方式であるため、金型内の過熱部
の熱伝導を考慮し、冷水循環水路網を設ける場合、循環
水路11の引き廻しが複雑である。 2.金型内の冷水巡環によって金型内の循環水路11が
腐食し、水漏れあるいはクリーン度低下の原因となる。
However, the water cooling method which is the conventional measure against overheating has the following problems. 1. Since this method is a water-cooling method, the circulation of the circulating water passage 11 is complicated when a cold water circulating water passage network is provided in consideration of heat conduction in the overheated portion in the mold. 2. The circulating water passage 11 in the mold is corroded by the cold water circulation in the mold, which may cause water leakage or deterioration of cleanliness.

【0008】3.冷水温度が低い場合、金型表面が結露
し、貼り付けフィルム8が吸湿する。(なお、一般的に
貼り付けフィルムは、吸湿特性の高い材料が多く、吸湿
した場合、貼り付け性、ダイボンド性、あるいは組立後
の特性を著しく低下させる場合がある。) 4.金型内の循環水路11に冷水を循環をさせる冷水循
環ユニット等、高価な設備および面倒なメンテナンスが
必要となる。 5.パンチ7が小さいためパンチ先端部への冷水循環路
11の加工が不可能であり、高温部となるパンチ先端部
のみの冷却ができない。従って、貼り付けの高速化を行
う場合、パンチ先端温度が上昇するため、パンチ3に接
するフィルム8の接着層と接着してしまう。
3. When the cold water temperature is low, the surface of the mold is condensed and the sticking film 8 absorbs moisture. (In general, a sticking film is often made of a material having a high hygroscopic property, and when it absorbs moisture, the sticking property, the die-bonding property, or the property after assembly may be significantly deteriorated.) Expensive equipment and troublesome maintenance such as a cold water circulation unit for circulating cold water in the circulating water passage 11 in the mold are required. 5. Since the punch 7 is small, it is impossible to process the cold water circulation passage 11 at the punch tip portion, and it is not possible to cool only the punch tip portion, which is a high temperature portion. Therefore, when the sticking speed is increased, the temperature at the tip of the punch rises, and the punch 3 adheres to the adhesive layer of the film 8 in contact with the punch 3.

【0009】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、金型の不要高温部のみを冷却することができる
とともに、局所冷却によって高速貼り付けを可能とする
ことができるフィルム貼り付け方法を提供するにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to cool only an unnecessary high temperature portion of a mold, and to perform high speed bonding by local cooling. There is a way to provide.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、パンチ、ダイおよびストリッパまたはパ
ンチガイドにより構成されたフィルム打抜金型を用いて
フィルムを打ち抜き、前記パンチ先端で打ち抜かれたフ
ィルムを所定位置に搬送し、加熱手段により加熱された
リードフレームに前記フィルムを貼り付けるに際し、前
記フィルム貼り付けを行う前記パンチのフィルム貼り付
け部近傍に設られた冷風孔に高圧気体を流し局所冷却し
て貼り付けを行うことを特徴とするフィルム貼り付け方
法を提供するものである。ここで、前記冷風孔、すなは
ちパンチ先端の冷風孔が、前記フィルム貼り付け部近傍
において開放されているのが好ましい。
In order to achieve the above object, the present invention punches a film using a film punching die composed of a punch, a die and a stripper, or a punch guide, and punches at the tip of the punch. When the removed film is conveyed to a predetermined position and the film is attached to the lead frame heated by the heating means, high-pressure gas is supplied to the cold air holes provided near the film attaching portion of the punch for attaching the film. It is intended to provide a film sticking method, which is characterized in that the film is stuck by locally cooling in a sink. Here, it is preferable that the cold air holes, that is, the cold air holes at the tip of the punch are opened in the vicinity of the film attaching portion.

【0011】[0011]

【発明の作用】本発明のフィルム貼り付け方法は、金型
への熱の入口であるパンチ先端近傍、すなはち、フィル
ム貼り付け部近傍に冷風孔を設け、この冷風孔から高圧
気体(空気または窒素など)を流出させることにより、
金型の局部冷却をおこなうとともにフィルム貼り付けの
高速化を可能とするものである。
According to the film sticking method of the present invention, cold air holes are provided in the vicinity of the punch tip, which is the entrance of heat to the die, that is, in the vicinity of the film sticking portion, and high pressure gas (air (Or nitrogen etc.)
It enables local cooling of the mold and speeds up film attachment.

【0012】[0012]

【実施態様】本発明に係るフィルム貼り付け方法を添付
の図面に示す好適実施例に基づいて以下に詳細に説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The film sticking method according to the present invention will be described below in detail with reference to the preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

【0013】図1(a),(b)および(c)は、本発
明のフィルム貼り付け方法の打ち抜き貼り付けプロセス
を、これを実施するフィルム貼り付け装置の一実施例の
要部を用いて示したものであり、それぞれ打ち抜き前の
状態、打ち抜き後局所冷却の状態および貼り付け中の状
態を示す部分断面図である。ここで、本発明に用いられ
るフィルム貼り付け装置は、パンチ7に冷風孔9が設け
られている以外は図4に示すフィルム貼り付け装置と同
様であるので、パンチ7の先端、ダイ2、パンチガイド
3およびヒータ4の一部などを含む主要部のみを図示
し、それ以外の図示および詳細な説明を省略する。
1 (a), 1 (b) and 1 (c) show the punching and sticking process of the film sticking method of the present invention, using the essential parts of one embodiment of a film sticking apparatus for carrying out this process. FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the state before punching, the state of local cooling after punching, and the state during sticking, respectively. Here, the film sticking apparatus used in the present invention is the same as the film sticking apparatus shown in FIG. 4 except that the punch 7 is provided with the cold air holes 9, so that the tip of the punch 7, the die 2, the punch. Only the main part including the guide 3 and a part of the heater 4 and the like are shown, and the other drawings and detailed description are omitted.

【0014】図1(a)に示すように、本発明のフィル
ム貼り付け方法は、パンチ7の先端に冷風孔(冷気通
路)9を設けたフィルム貼り付け装置を用い、パンチホ
ルダ5側より圧縮した気体を流し、パンチ先端のみを局
部冷却することを特徴とするものである。
As shown in FIG. 1 (a), the film sticking method of the present invention uses a film sticking apparatus in which a cold air hole (cold air passage) 9 is provided at the tip of the punch 7, and the film is compressed from the punch holder 5 side. It is characterized in that only the tip of the punch is locally cooled by flowing the generated gas.

【0015】なお、フィルム貼り付け装置は、リードフ
レーム1を所定位置に設置する位置決め機構(図示せ
ず)と、リードフレーム1を加熱するヒータ4と、フィ
ルム8を所定切り抜き位置まで送り込む送り込み機構と
(図示せず)と、フィルム8を所定形状に切り抜くパン
チ7、ダイ2、パンチガイド3、パンチホルダ5および
シャンク6などからなる切抜機構と、切り抜かれたフィ
ルム8をリードフレーム1の近傍まで搬送するパンチ
7、パンチガイド3およびシャンク6などからなる搬送
機構と、搬送されたフィルム8を所定位置において加熱
されたリードフレーム1に押し付けるパンチ7およびシ
ャンク6などからなる押し付け機構と、パンチ7の先端
を局部冷却する冷風孔9などからなる冷却機構とを有す
る。
The film sticking apparatus includes a positioning mechanism (not shown) for setting the lead frame 1 at a predetermined position, a heater 4 for heating the lead frame 1, and a feeding mechanism for feeding the film 8 to a predetermined cutout position. (Not shown), a punching mechanism that cuts the film 8 into a predetermined shape, a die 2, a punch guide 3, a punch holder 5, a shank 6, and the like, and the cut-out film 8 is conveyed to the vicinity of the lead frame 1. A transport mechanism including a punch 7, a punch guide 3, a shank 6, and the like, a pressing mechanism including the punch 7 and the shank 6 that press the transported film 8 against the heated lead frame 1 at a predetermined position, and a tip of the punch 7. And a cooling mechanism including a cold air hole 9 for locally cooling the.

【0016】本発明法においては、図1(a)に示すよ
うに、リードフレーム1がフィルム貼り付け装置のダイ
2の下に供給されると、フィルム貼り付け装置の図示し
ない位置決め機構によりリードフレーム1は位置合わせ
されて所定の位置に設置される。次に、図1(b)に示
すように、パンチガイド3とダイ2との間に送られてき
た接着剤付きのフィルム8は、パンチ7およびダイ2か
ら構成される打ち抜き金型において金型のパンチ7を駆
動するシャンク6を押すことによりパンチ7によって所
定形状に打ち抜かれる。ここで、パンチ7内に設けられ
た冷風孔9の先端開放端がダイ2とパンチガイド3との
間の隙間に来て開放されると、パンチホルダ5側より高
圧に圧縮された気体、例えば空気、窒素などが冷風孔9
に流され、その開放端より吐出されることにより、パン
チ7の先端部のみが局部冷却される。
In the method of the present invention, as shown in FIG. 1A, when the lead frame 1 is supplied under the die 2 of the film sticking apparatus, the lead frame is driven by a positioning mechanism (not shown) of the film sticking apparatus. 1 is aligned and installed at a predetermined position. Next, as shown in FIG. 1B, the adhesive-attached film 8 sent between the punch guide 3 and the die 2 is used as a die in a punching die composed of the punch 7 and the die 2. By pressing the shank 6 which drives the punch 7, the punch 7 punches the punch 7 into a predetermined shape. Here, when the open end of the cold air hole 9 provided in the punch 7 comes into the gap between the die 2 and the punch guide 3 and is opened, a gas compressed to a high pressure from the side of the punch holder 5, for example, Air, nitrogen, etc. are cold air holes 9
And is discharged from its open end, so that only the tip of the punch 7 is locally cooled.

【0017】図1(c)に示すように、打ち抜かれたフ
ィルム8は、図示しない付着手段によりパンチ7の先端
に付着されたまま、搬送機構を構成するシャンク6の押
圧によりダイ2の下面に待機しているリードフレーム1
の近傍(直上)まで搬送される。そして、搬送されたフ
ィルム8は、ヒータ4によって所定温度(例えば、熱可
塑性フィルム8では約400℃)に加熱されたリードフ
レーム1に、シャンク6をさらに押圧することにより、
あるいは、その上にリードフレーム1を載置したままヒ
ータ4を図示しない移動機構を用いて上昇させることに
より、押し付けられて、貼り付けられる。ここで、リー
ドフレーム1はヒータ4により接着剤付きフィルム8に
応じた温度に加熱されているが、パンチ7の先端は冷風
孔9により局部冷却されるため、過熱されることはな
く、フィルム8がパンチ7の先端に接着することはな
い。
As shown in FIG. 1 (c), the punched film 8 is attached to the tip of the punch 7 by an attaching means (not shown), and is pressed onto the lower surface of the die 2 by pressing the shank 6 which constitutes the transport mechanism. Lead frame 1 waiting
It is transported to the vicinity of (immediately above). Then, the transported film 8 is further pressed by the shank 6 against the lead frame 1 heated to a predetermined temperature (for example, about 400 ° C. in the thermoplastic film 8) by the heater 4,
Alternatively, while the lead frame 1 is placed on the heater 4, the heater 4 is lifted by using a moving mechanism (not shown) to be pressed and attached. Here, the lead frame 1 is heated to a temperature corresponding to the adhesive-attached film 8 by the heater 4, but since the tip of the punch 7 is locally cooled by the cold air holes 9, it is not overheated and the film 8 is not heated. Does not adhere to the tip of the punch 7.

【0018】また、本発明においては、図2に示すよう
に、パンチガイド3にドレイン溝10を設け、フィルム
8上の異物あるいはフィルム8の打ち抜きバリなどを吹
き飛ばして、除去することのできる装置構成としてもよ
い。
Further, in the present invention, as shown in FIG. 2, the punch guide 3 is provided with the drain groove 10, and the foreign matter on the film 8 or the punching burr of the film 8 can be blown off and removed. May be

【0019】図3は、熱可塑性接着剤付きフィルムを用
いた場合の接着条件、すなはち貼り付け時間と貼り付け
温度の関係の一例を示したものである。貼り付け温度を
高くすれば貼り付け時間は短縮されるが、さらに温度を
上げていくと、図2に示す従来のパンチホルダ5の循環
冷水管路11のみを用いる方法では、パンチ7の先端温
度が上がり過ぎて、フィルム接着温度以上に上昇し、フ
ィルム8がパンチ7に接着してしまう。従って、パンチ
7の先端部近傍を直接冷却することが有効であるが、本
発明においては、パンチ7内にその先端部近傍まで延在
する冷気通路(冷風孔9)を設けているので、好ましく
はこの冷気通路をパンチ7の先端部近傍で開放している
ので、パンチ7の先端部のみを直接効果的に冷却するこ
とができる。従って、本発明においては、フィルム8の
接着層とパンチ7の接着の問題もなく、常に接着適正領
域で、フィルム8のリードフレーム1への、高品質の貼
り付けを行うことができる。
FIG. 3 shows an example of the relationship between the bonding conditions, that is, the bonding time and the bonding temperature when a film with a thermoplastic adhesive is used. Although the sticking time is shortened by increasing the sticking temperature, when the sticking temperature is further raised, the tip temperature of the punch 7 is increased by the method using only the circulating cold water conduit 11 of the conventional punch holder 5 shown in FIG. Rises above the film bonding temperature and the film 8 adheres to the punch 7. Therefore, it is effective to directly cool the vicinity of the tip of the punch 7, but in the present invention, a cold air passage (cold air hole 9) extending to the vicinity of the tip of the punch 7 is provided, which is preferable. Since this cold air passage is opened near the tip of the punch 7, only the tip of the punch 7 can be directly and effectively cooled. Therefore, in the present invention, there is no problem of adhesion between the adhesive layer of the film 8 and the punch 7, and high quality attachment of the film 8 to the lead frame 1 can always be performed in the appropriate adhesion region.

【0020】本発明法において冷風孔9内に流下するの
に用いられる気体は、フィルム8、フィルム8の接着
剤、リードフレーム1および装置を構成する種々の部
材、例えばパンチ7、ダイ2、パンチガイド3などの金
型等を劣化させたり、変質させたりするものでなく、パ
ンチ7の先端を冷却できれる冷気であれば、どのような
ものでもよい。例えば、この気体として、空気や窒素、
アルゴンなどの不活性ガスなどを挙げることができる
が、不活性ガスを用いることによって、リードフレーム
1の加熱による酸化防止を同時におこなうことができる
ので、不活性ガスを用いるのが好ましい。また、この気
体の温度は、パンチ7へのフィルム8の接着が生じない
温度までパンチ7の先端を冷却できる温度であれば、常
温でも、低温でも、パンチ7へのフィルム8の接着が生
じる温度以下の温度でも、どのような温度でもよい。
The gas used to flow into the cold air holes 9 in the method of the present invention is the film 8, the adhesive of the film 8, the lead frame 1 and various members constituting the apparatus, such as the punch 7, the die 2 and the punch. Any type of cold air can be used as long as it can cool the tip of the punch 7 as long as it does not deteriorate or deteriorate the metal mold of the guide 3 or the like. For example, as this gas, air or nitrogen,
Although an inert gas such as argon can be used, it is preferable to use an inert gas because the use of the inert gas can simultaneously prevent oxidation due to heating of the lead frame 1. Further, the temperature of the gas is a temperature at which the film 8 is adhered to the punch 7 at room temperature or at a low temperature as long as the tip of the punch 7 can be cooled to a temperature at which the film 8 is not adhered to the punch 7. The following temperature or any temperature may be used.

【0021】図1(a)〜(c)に示す例では、パンチ
7内に設けられ、その先端部近傍まで延在する冷気通路
(冷風孔9)をパンチ7の先端部近傍で開放している
が、本発明はこれに限定されるわけではなく、冷気がパ
ンチ7の先端部を冷却できれば冷気通路はパンチ7の先
端部以外で開放されていてもよいし、開放されていなく
ても良い。また、冷気通路はパンチ7内に図示例のよう
に一本設けられてもよいし、複数本設けられてもよい
く、さらに冷気がパンチ7内を循環するように構成され
ていてもよい。
In the example shown in FIGS. 1A to 1C, a cold air passage (cold air hole 9) provided in the punch 7 and extending to the vicinity of the tip of the punch 7 is opened near the tip of the punch 7. However, the present invention is not limited to this, and the cold air passage may or may not be opened at a portion other than the tip portion of the punch 7 as long as cold air can cool the tip portion of the punch 7. . Further, one cold air passage may be provided in the punch 7 as shown in the drawing, or a plurality of cold air passages may be provided, and further, cold air may be circulated in the punch 7.

【0022】上記実施例では、パンチ7内に冷風孔9の
みを設けているが、本発明はこれに限定されず、パンチ
7が大きく、循環冷水管路を設けることが可能な場合に
は、水冷を行ってもよい。水冷のみで十分な局部冷却が
可能な場合には、循環冷水管路のみを設けてもよい。
In the above embodiment, only the cold air holes 9 are provided in the punch 7, but the present invention is not limited to this, and when the punch 7 is large and a circulating cold water pipe can be provided, Water cooling may be performed. If sufficient local cooling is possible only with water cooling, only the circulating cold water pipeline may be provided.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のフィルム
貼り付け方法によれば、熱の入口であるパンチ先端を冷
却するため、金型温度を常に一定に保つことができ(従
って、金型クリアランスを一定に保つことができ)、常
に、適正な高い精度でのフィルムの打ち抜きおよびリー
ドフレームへのフィルムの高品質な貼り付けを行うこと
ができる。また、本発明の方法によれば、冷却を必要と
する部分、すなわちパンチ先端の高温部のみを局所冷却
するため、貼り付け温度を高くすることができ、高速貼
り付けを可能とすることができる。さらに、本発明の方
法によれば、冷却気体に窒素ガス等の不活性ガスを用い
ることにより、リードフレームの高温酸化を防止するこ
とができる。さらにまた、本発明の方法によれば、冷風
孔は閉路でなく、冷気体が漏れていても、冷却効果を発
することができるので、複雑な微細部分にも適用するこ
とができるし、その加工が容易となる。
As described in detail above, according to the film sticking method of the present invention, the punch tip, which is a heat inlet, is cooled, so that the mold temperature can be kept constant (hence, the metal mold temperature). (The mold clearance can be kept constant), and the film can be punched and the film can be attached to the lead frame with high quality at an appropriate high accuracy. Further, according to the method of the present invention, only the portion requiring cooling, that is, only the high temperature portion of the tip of the punch is locally cooled, so that the attachment temperature can be increased and high-speed attachment can be achieved. . Furthermore, according to the method of the present invention, high temperature oxidation of the lead frame can be prevented by using an inert gas such as nitrogen gas as the cooling gas. Furthermore, according to the method of the present invention, the cold air holes are not closed, and even if the cold gas leaks, the cooling effect can be exerted, so that it can be applied to a complicated fine portion, and its processing. Will be easier.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 (a),(b)および(c)は、それぞれ、
本発明に係るフィルム貼り付け方法を実施するフィルム
貼り付け装置の一実施例の打ち抜き前、打ち抜き後局所
冷却および貼り付け中の各プロセスの状態を示す部分断
面図である。
1 (a), (b) and (c) are, respectively,
It is a fragmentary sectional view showing the state of each process before punching of the example of the film pasting device which carries out the film pasting method concerning the present invention, local cooling after punching, and during pasting.

【図2】 本発明に係るフィルム貼り付け方法を実施す
るフィルム貼り付け装置の他の実施例を示す部分断面図
である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing another embodiment of the film sticking apparatus for carrying out the film sticking method according to the present invention.

【図3】 本発明のフィルム貼り付け方法二用いられる
フィルム貼り付け条件の一例を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing an example of film sticking conditions used in the film sticking method 2 of the present invention.

【図4】 従来技術によるフィルム貼り付け装置の金型
構造を示す部分断面図である。
FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a mold structure of a film sticking apparatus according to a conventional technique.

【図5】 (a),(b)および(c)は、それぞれ、
従来のフィルム貼り付け方法を実施するフィルム貼り付
け装置の打ち抜き前、打ち抜き後および貼り付け中の各
プロセスの状態を示す部分断面図である。
5 (a), (b) and (c) are respectively,
It is a partial cross-sectional view which shows the state of each process before punching, after punching, and during sticking of the film sticking apparatus which implements the conventional film sticking method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リードフレーム 2 ダイ 3 パンチガイド 4 ヒータ 5 パンチホルダ 6 シャンク 7 パンチ 8 フィルム 9 冷風孔 10 ドレン溝 11 冷水管路 1 Lead Frame 2 Die 3 Punch Guide 4 Heater 5 Punch Holder 6 Shank 7 Punch 8 Film 9 Cold Air Vent 10 Drain Groove 11 Cold Water Pipeline

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠 藤 裕 寿 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電線 株式会社システムマテリアル研究所内 (72)発明者 杉 本 洋 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電線 株式会社システムマテリアル研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hirotoshi Endo 3550, Kidayo-cho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Prefecture Hitachi Cable Ltd. System Materials Laboratory (72) Inventor Hiroshi Sugimoto 3550, Kida-yocho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Hitachi Cable Co., Ltd. System Materials Research Center

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】パンチ、ダイおよびストリッパまたはパン
チガイドにより構成されたフィルム打抜金型を用いてフ
ィルムを打ち抜き、前記パンチ先端で打ち抜かれたフィ
ルムを所定位置に搬送し、加熱手段により加熱されたリ
ードフレームに前記フィルムを貼り付けるに際し、前記
フィルム貼り付けを行う前記パンチのフィルム貼り付け
部近傍に設られた冷風孔に高圧気体を流し局所冷却して
貼り付けを行うことを特徴とするフィルム貼り付け方
法。
1. A film punching die comprising a punch, a die and a stripper or a punch guide is used to punch a film, and the punched film is conveyed to a predetermined position and heated by a heating means. When pasting the film on the lead frame, high-pressure gas is caused to flow through the cold air holes provided in the vicinity of the film pasting part of the punch for pasting the film, and the film is pasted by local cooling. How to attach.
【請求項2】前記冷風孔が、前記フィルム貼り付け部近
傍において開放されている請求項1に記載のフィルム貼
り付け方法。
2. The film sticking method according to claim 1, wherein the cold air holes are opened near the film sticking portion.
JP5113141A 1993-05-14 1993-05-14 Film pasting method Expired - Fee Related JP2720752B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5113141A JP2720752B2 (en) 1993-05-14 1993-05-14 Film pasting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5113141A JP2720752B2 (en) 1993-05-14 1993-05-14 Film pasting method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06326238A true JPH06326238A (en) 1994-11-25
JP2720752B2 JP2720752B2 (en) 1998-03-04

Family

ID=14604611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5113141A Expired - Fee Related JP2720752B2 (en) 1993-05-14 1993-05-14 Film pasting method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2720752B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030027192A (en) * 2001-09-14 2003-04-07 주식회사 아큐텍반도체기술 Taping apparatus
KR100393335B1 (en) * 2001-02-10 2003-07-31 문영훈 Press apparatus and its application method to sheet form
JP2011061174A (en) * 2009-09-07 2011-03-24 Toray Advanced Materials Korea Inc Method of laminating adhesive tape, and lead frame

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03228A (en) * 1989-05-29 1991-01-07 Hitachi Cable Ltd Apparatus for attaching film

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03228A (en) * 1989-05-29 1991-01-07 Hitachi Cable Ltd Apparatus for attaching film

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100393335B1 (en) * 2001-02-10 2003-07-31 문영훈 Press apparatus and its application method to sheet form
KR20030027192A (en) * 2001-09-14 2003-04-07 주식회사 아큐텍반도체기술 Taping apparatus
JP2011061174A (en) * 2009-09-07 2011-03-24 Toray Advanced Materials Korea Inc Method of laminating adhesive tape, and lead frame

Also Published As

Publication number Publication date
JP2720752B2 (en) 1998-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW383475B (en) Grid array assembly and method of making
US20030088959A1 (en) Wafer transfer apparatus
JPH0927466A (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP3699575B2 (en) IC package mounting method
US6347655B1 (en) Die bonding device and semiconductor device
JPH06326238A (en) Film applying method
JP2720753B2 (en) Film pasting method
JPH10242359A (en) Manufacturing facility of lead frame for semiconductor device
JP3402131B2 (en) Method of attaching adhesive sheet to substrate for semiconductor package
JPH05129509A (en) Noncontact type lead and package thereof
JP2757741B2 (en) Film pasting device
US6096250A (en) Process for releasing a runner from an electronic device package on a laminate plate
JP3243197B2 (en) Equipment for manufacturing lead frames for semiconductor devices
JP2809207B2 (en) Semiconductor device repair method and repair device
JPH11162805A (en) Method for removing resist
JP3333292B2 (en) Method for manufacturing resin-encapsulated semiconductor device
JP2000114446A (en) Manufacture of lead frame with radiating plate
KR100385870B1 (en) Semiconductor device and a method for assembling the same
JP3028997B2 (en) How to attach film to lead frame
JP2746060B2 (en) Film punching die
JP2526666B2 (en) How to attach the film to the lead frame
JPH07202114A (en) Film adhering method for lead frame, and chip adhering method for lead frame
JP3039317B2 (en) Punching die device for insulating tape for lead frame
JP2996053B2 (en) Method and apparatus for attaching film to lead frame
JP3052986B2 (en) Lead frame film pasting equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19971021

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees