JPH0632572B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0632572B2 JPH0632572B2 JP62262854A JP26285487A JPH0632572B2 JP H0632572 B2 JPH0632572 B2 JP H0632572B2 JP 62262854 A JP62262854 A JP 62262854A JP 26285487 A JP26285487 A JP 26285487A JP H0632572 B2 JPH0632572 B2 JP H0632572B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic motor
- vibrating body
- moving body
- friction material
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、圧電体の超音波振動を利用した超音波モータ
に関するものである。
に関するものである。
(従来の技術) 一般に、超音波モータは圧電体に固定した振動体と動体
とが加圧接触した構造で、圧電体への電力を印加するこ
とによって圧電体とこれに固定した振動体に超音波振動
の進行波を発生させ、摩擦力によって動体を駆動し、機
械エネルギーを得るものである。この種の超音波モータ
について第4図により説明する。同図において、圧電体
1の表面に振動体2が接着固定され、その上面に、表面
に摩擦材3が固着された動体4が重ねられている。圧電
体1に電力を印加すると、振動体2に矢印A方向の超音
波振動の進行波が発生する。振動体2の各質点は、矢印
Bのような楕円運動をしており、その各波頭は進行波の
方向に対し、水平に逆方向に動き、進行波の谷の部分は
進行波と同方向に水平に動く性質がある。したがって、
振動体2の表面に載せられた動体4は、波頭の上部のみ
に接触していて、振動体2との摩擦力によって矢印Cの
方向に水平に駆動される。
とが加圧接触した構造で、圧電体への電力を印加するこ
とによって圧電体とこれに固定した振動体に超音波振動
の進行波を発生させ、摩擦力によって動体を駆動し、機
械エネルギーを得るものである。この種の超音波モータ
について第4図により説明する。同図において、圧電体
1の表面に振動体2が接着固定され、その上面に、表面
に摩擦材3が固着された動体4が重ねられている。圧電
体1に電力を印加すると、振動体2に矢印A方向の超音
波振動の進行波が発生する。振動体2の各質点は、矢印
Bのような楕円運動をしており、その各波頭は進行波の
方向に対し、水平に逆方向に動き、進行波の谷の部分は
進行波と同方向に水平に動く性質がある。したがって、
振動体2の表面に載せられた動体4は、波頭の上部のみ
に接触していて、振動体2との摩擦力によって矢印Cの
方向に水平に駆動される。
超音波モータの振動体2および動体4には、鉄,ステン
レス鋼,アルミニウムなどの金属が使用されている。ま
た、超音波モータは振動体2と動体4が加圧接触した構
造なので、大きなモータ出力を得るには加圧力を強くす
るか、あるいは振動体2と動体4間の摩擦係数を大きく
することが必要である。
レス鋼,アルミニウムなどの金属が使用されている。ま
た、超音波モータは振動体2と動体4が加圧接触した構
造なので、大きなモータ出力を得るには加圧力を強くす
るか、あるいは振動体2と動体4間の摩擦係数を大きく
することが必要である。
従来の超音波モータは、振動体2と動体4の摩耗を少な
くして長期間安定した機械エネルギーを得、しかも大き
な摩擦力を得るために、振動体2または動体4の接触面
に、ゴムやエンジニアリングプラスチック材製の摩擦材
が固着されている。
くして長期間安定した機械エネルギーを得、しかも大き
な摩擦力を得るために、振動体2または動体4の接触面
に、ゴムやエンジニアリングプラスチック材製の摩擦材
が固着されている。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、上記の構成では、ゴムなどの摩擦係数の
大きい摩擦材3を用いた場合、摩擦材3の摩耗が多く、
摩耗粉が振動体2や動体4の接触面に付着して、両者間
の摩擦力、すなわちブレーキトルクが経時的に変動する
という問題があった。また、耐摩耗性を向上したアスベ
スト繊維や無機粉末を充填したエンジニアリングプラス
チックを摩擦材3として用いた場合、振動体2の表面に
引っかき傷が多く発生し、ブレーキトルクが経時的に変
動するという問題があった。さらに、振動体2に付着し
た摩耗粉の影響で、振動体2の共振周波数が経時的に変
動し、安定した起動性が得られないという問題もあっ
た。
大きい摩擦材3を用いた場合、摩擦材3の摩耗が多く、
摩耗粉が振動体2や動体4の接触面に付着して、両者間
の摩擦力、すなわちブレーキトルクが経時的に変動する
という問題があった。また、耐摩耗性を向上したアスベ
スト繊維や無機粉末を充填したエンジニアリングプラス
チックを摩擦材3として用いた場合、振動体2の表面に
引っかき傷が多く発生し、ブレーキトルクが経時的に変
動するという問題があった。さらに、振動体2に付着し
た摩耗粉の影響で、振動体2の共振周波数が経時的に変
動し、安定した起動性が得られないという問題もあっ
た。
本発明は上記の問題点を解決するもので、安定した性能
を有する、信頼性の高い超音波モータを提供することを
目的とするものである。
を有する、信頼性の高い超音波モータを提供することを
目的とするものである。
(問題点を解決するための手段) 上記の問題点を解決するため、本発明は、少なくとも炭
素繊維とフルオロカーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂
とからなる複合プラスチック材を摩擦材として使用する
ものである。
素繊維とフルオロカーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂
とからなる複合プラスチック材を摩擦材として使用する
ものである。
(作用) 上記の構成により、大きい摩擦係数を得ることができる
と同時に、摩擦材自身の摩耗と接触相手の鉄やステンレ
ス鋼製の振動体の摩耗が少なくなり、したがって、摩擦
係数の経時変化が少なくなる。その結果、超音波モータ
は長時間にわたり安定したブレーキトルクを得ることが
でき、また、振動体の共振周波数の経時変化も少なくな
り、起動性が得られ、長期信頼性に優れた超音波モータ
となる。
と同時に、摩擦材自身の摩耗と接触相手の鉄やステンレ
ス鋼製の振動体の摩耗が少なくなり、したがって、摩擦
係数の経時変化が少なくなる。その結果、超音波モータ
は長時間にわたり安定したブレーキトルクを得ることが
でき、また、振動体の共振周波数の経時変化も少なくな
り、起動性が得られ、長期信頼性に優れた超音波モータ
となる。
(実施例) 第1図は、本発明による超音波モータの主要部を示す要
部拡大断面図である。圧電体1の表面に金属製の振動体
2が接着固定されている。動体4の接触面には、少なく
とも炭素繊維とフルオロカーボン樹脂粉末とマトリック
スとを含有する複合プラスチック材よりなる摩擦材3が
固着されている。上記の振動体2と摩擦材3とは、締結
力によって加圧された状態で接触している。圧電体1に
共振周波数の高周波電界を印加することにより、振動体
2に超音波振動の進行波が発生する。振動体2の表面と
接触している摩擦材3は、振動体2との摩擦力によって
動体4を駆動する。電力が入力されないときは、振動体
2と摩擦材3との間に働く加圧力と摩擦係数との積に相
当する保持トルクがブレーキトルクとして働く。炭素繊
維とフルオロカーボン樹脂粉末とを含有する複合プラス
チック材からなる摩擦材3の設置により、超音波モータ
は長時間にわたって安定したブレーキトルクを得ること
ができるとともに、振動体の共振周波数の経時変化も少
なく、再現性良く起動し、安定した駆動力が得られるよ
うになる。
部拡大断面図である。圧電体1の表面に金属製の振動体
2が接着固定されている。動体4の接触面には、少なく
とも炭素繊維とフルオロカーボン樹脂粉末とマトリック
スとを含有する複合プラスチック材よりなる摩擦材3が
固着されている。上記の振動体2と摩擦材3とは、締結
力によって加圧された状態で接触している。圧電体1に
共振周波数の高周波電界を印加することにより、振動体
2に超音波振動の進行波が発生する。振動体2の表面と
接触している摩擦材3は、振動体2との摩擦力によって
動体4を駆動する。電力が入力されないときは、振動体
2と摩擦材3との間に働く加圧力と摩擦係数との積に相
当する保持トルクがブレーキトルクとして働く。炭素繊
維とフルオロカーボン樹脂粉末とを含有する複合プラス
チック材からなる摩擦材3の設置により、超音波モータ
は長時間にわたって安定したブレーキトルクを得ること
ができるとともに、振動体の共振周波数の経時変化も少
なく、再現性良く起動し、安定した駆動力が得られるよ
うになる。
炭素繊維には特別の制限がなく、短繊維,長繊維,パル
プ状繊維,フェルト状繊維および織布状繊維などが使用
できる。
プ状繊維,フェルト状繊維および織布状繊維などが使用
できる。
フルオロカーボン樹脂粉末には、四フッ化エチレンおよ
び六フッ化エチレンなどのポリマー、共重合体およびゴ
ムなどの粉末が使用できる。
び六フッ化エチレンなどのポリマー、共重合体およびゴ
ムなどの粉末が使用できる。
マトリックス樹脂にも特別の制限がなく、ポリイミド,
フェノール樹脂,エポキシ樹脂,エンジニアリングプラ
スチック,液晶性ポリマーなど、通常のプラスチックが
使用できる。
フェノール樹脂,エポキシ樹脂,エンジニアリングプラ
スチック,液晶性ポリマーなど、通常のプラスチックが
使用できる。
炭素繊維およびフルオロカーボン樹脂粉末の含有割合
は、それぞれ5重量パーセント以上を同時に含有するこ
とがより望ましい。
は、それぞれ5重量パーセント以上を同時に含有するこ
とがより望ましい。
なお、炭素繊維およびフルオロカーボン樹脂粉末に加え
て、他の有機や無機の微粉末を添加含有することも可能
である。
て、他の有機や無機の微粉末を添加含有することも可能
である。
超音波モータの形状は特別の制限がなく、第2図に示す
ような円板形および第3図に示すような円環形の超音波
モータが可能である。
ような円板形および第3図に示すような円環形の超音波
モータが可能である。
次に、本発明を具体的実施例によってさらに詳しく説明
する。
する。
実施例1 表1に示すように、6種類の炭素繊維と5種類のフルオ
ロカーボン樹脂粉末と4種類のマトリックス樹脂を用
い、本発明による実施番号AないしEの組成の異なる5
種類の配合を用いた、炭素繊維が均一に分散した厚さ1
mmの複合プラスチック摩擦材シートと、従来と同じ組成
による比較例FないしHの、フルオロカーボン樹脂粉末
または炭素繊維を含有しない3種類の厚さ1mmの摩擦材
シートを作り、これを直径40mm,厚さ1mmのステンレス
鋼円板に接着し、試験片とした。
ロカーボン樹脂粉末と4種類のマトリックス樹脂を用
い、本発明による実施番号AないしEの組成の異なる5
種類の配合を用いた、炭素繊維が均一に分散した厚さ1
mmの複合プラスチック摩擦材シートと、従来と同じ組成
による比較例FないしHの、フルオロカーボン樹脂粉末
または炭素繊維を含有しない3種類の厚さ1mmの摩擦材
シートを作り、これを直径40mm,厚さ1mmのステンレス
鋼円板に接着し、試験片とした。
動摩擦測定実験は、上記の試験片を回転速度30rpmで回
転し、中心から15mmの位置で。直径3mmのステンレス鋼
球を荷重200gで接触させ、動摩擦係数の経時変化を測定
した。その実験結果を表2に示す。
転し、中心から15mmの位置で。直径3mmのステンレス鋼
球を荷重200gで接触させ、動摩擦係数の経時変化を測定
した。その実験結果を表2に示す。
表1および表2から明らかなように、炭素繊維とフルオ
ロカーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂とよりなる複合
プラスチック摩擦材は、いずれも摩擦係数が0.2以上の
大きな摩擦係数を有し、しかも摩擦係数の経時変化もほ
とんど認められなかった。
ロカーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂とよりなる複合
プラスチック摩擦材は、いずれも摩擦係数が0.2以上の
大きな摩擦係数を有し、しかも摩擦係数の経時変化もほ
とんど認められなかった。
これに対し、比較例FおよびGのようにフルオロカーボ
ン樹脂粉末を含まない摩擦材は、いずれも経時時に摩擦
係数が大きく変動した。また、比較例Hのように炭素繊
維を含まない摩擦材は、摩擦係数の経時変化はほとんど
認められないが、摩擦係数は極めて小さかった。
ン樹脂粉末を含まない摩擦材は、いずれも経時時に摩擦
係数が大きく変動した。また、比較例Hのように炭素繊
維を含まない摩擦材は、摩擦係数の経時変化はほとんど
認められないが、摩擦係数は極めて小さかった。
実施例2 実施例1で用いた実施番号AないしEおよび比較例Fな
いしHの摩擦材3を用いて、第2図に示すような円板形
超音波モータを試作した。試作した円板形超音波モータ
は、圧電体1の表面にはステンレス鋼製の振動体2を接
着固定し、ステンレス鋼製の動体4の接触面には実施例
1で試作した複合プラスチック摩擦材シートをそれぞれ
摩擦材3として固定した。振動体2と動体4とはばねに
よって加圧し、初期のブレーキトルクが500g・cmになる
ように調整した。円板の円周方向に4波の進行波が励起
されるように圧電体1に電極を配置し、約70KHzの共振
周波数の電界を印加して、動体4を無荷回転数500rpmで
駆動させた。
いしHの摩擦材3を用いて、第2図に示すような円板形
超音波モータを試作した。試作した円板形超音波モータ
は、圧電体1の表面にはステンレス鋼製の振動体2を接
着固定し、ステンレス鋼製の動体4の接触面には実施例
1で試作した複合プラスチック摩擦材シートをそれぞれ
摩擦材3として固定した。振動体2と動体4とはばねに
よって加圧し、初期のブレーキトルクが500g・cmになる
ように調整した。円板の円周方向に4波の進行波が励起
されるように圧電体1に電極を配置し、約70KHzの共振
周波数の電界を印加して、動体4を無荷回転数500rpmで
駆動させた。
それぞれの試作モータについて、所定の時間の駆動後、
電源を断接したときの再起動の有無、電源切断後のブレ
ーキトルクおよび共振周波数を測定した結果を表3に示
す。
電源を断接したときの再起動の有無、電源切断後のブレ
ーキトルクおよび共振周波数を測定した結果を表3に示
す。
表3より明らかなように、炭素繊維とフルオロカーボン
樹脂粉末とマトリックス樹脂とからなる摩擦材を使用し
た実験番号AないしEの超音波モータは、いずれもブレ
ーキトルクの経時変化は小さく、また、共振周波数の経
時変化も少なく、再起動性にも問題が生じなかった。さ
らに、これに接触するステンレス鋼製の振動体2の傷つ
き摩耗もほとんど認められなかった。
樹脂粉末とマトリックス樹脂とからなる摩擦材を使用し
た実験番号AないしEの超音波モータは、いずれもブレ
ーキトルクの経時変化は小さく、また、共振周波数の経
時変化も少なく、再起動性にも問題が生じなかった。さ
らに、これに接触するステンレス鋼製の振動体2の傷つ
き摩耗もほとんど認められなかった。
これに対し、フルオロカーボン樹脂粉末を含まない摩擦
材を使用した実験番号FおよびGの超音波モータは、ブ
レーキトルクが大きく変動し、また、共振周波数も変動
して、動体4が再起動しなくなることもあった。
材を使用した実験番号FおよびGの超音波モータは、ブ
レーキトルクが大きく変動し、また、共振周波数も変動
して、動体4が再起動しなくなることもあった。
また、表3にない炭素繊維を含まない摩擦材を使用した
実験番号Hの超音波モータは、摩擦係数が小さすぎて動
体4が回転しなかった。
実験番号Hの超音波モータは、摩擦係数が小さすぎて動
体4が回転しなかった。
実施例3 表4に示すように、パルプ状PAN系の炭素繊維と、フ
ルオロカーボン樹脂粉末として平均粒径3μmの四フッ
化エチレン樹脂粉末と、マトリックス樹脂としてポリイ
ミドを用い、含有割合を変えて表に実験番号IないしN
で示した6種類の炭素繊維が均一に分散した厚さ1mmの
複合プラスチック摩擦材シートを作り、これを使用して
実施例2と同じ円板形超音波モータを試作し、実施例2
と同じ実験方法で共振周波数電界を印加して超音波モー
タを駆動した。
ルオロカーボン樹脂粉末として平均粒径3μmの四フッ
化エチレン樹脂粉末と、マトリックス樹脂としてポリイ
ミドを用い、含有割合を変えて表に実験番号IないしN
で示した6種類の炭素繊維が均一に分散した厚さ1mmの
複合プラスチック摩擦材シートを作り、これを使用して
実施例2と同じ円板形超音波モータを試作し、実施例2
と同じ実験方法で共振周波数電界を印加して超音波モー
タを駆動した。
それぞれの試作超音波モータについて、所定の時間の駆
動後、電源を断接したときの再起動性の良否、電源切断
後のブレーキトルクおよび共振周波数を測定した結果を
表4に示す。
動後、電源を断接したときの再起動性の良否、電源切断
後のブレーキトルクおよび共振周波数を測定した結果を
表4に示す。
表4より明らかなように、炭素繊維の含有量が5重量%
以上、およびフルオロカーボン樹脂粉末の含有量が5重
量%以上の組成の摩擦材3を使用した実験番号K,L,
Mの超音波モータは、いずれもブレーキトルクの経時変
化が小さく、また、共振周波数の経時変化も少なく、再
起動性にも問題を生じなかった。
以上、およびフルオロカーボン樹脂粉末の含有量が5重
量%以上の組成の摩擦材3を使用した実験番号K,L,
Mの超音波モータは、いずれもブレーキトルクの経時変
化が小さく、また、共振周波数の経時変化も少なく、再
起動性にも問題を生じなかった。
これに対し、フルオロカーボン樹脂粉末の含有量が2重
量%以下の実験番号I,Jの超音波モータは、ブレーキ
トルクの経時変化が大きく、また、共振周波数も大きく
変化して再起動しないことがあった。炭素繊維を含まな
いでフルオロカーボン樹脂粉末だけを含有する実験番号
Nの超音波モータは、ブレーキトルクが200g・cmより大
きい加圧を加えると回転しなくなり、大きな出力が得ら
れず、また、摩擦材3の摩耗が大きかった。
量%以下の実験番号I,Jの超音波モータは、ブレーキ
トルクの経時変化が大きく、また、共振周波数も大きく
変化して再起動しないことがあった。炭素繊維を含まな
いでフルオロカーボン樹脂粉末だけを含有する実験番号
Nの超音波モータは、ブレーキトルクが200g・cmより大
きい加圧を加えると回転しなくなり、大きな出力が得ら
れず、また、摩擦材3の摩耗が大きかった。
実施例4 フェルトに、炭素繊維とフルオロカーボン樹脂粉末を均
一に分散させたフェノール樹脂溶液を含浸し、予備乾燥
後、圧縮成形して厚さ1mmの複合プラスチック摩擦材シ
ートを得た。これを摩擦材3として用いて、実施例2と
同じ方法で第2図に示すような円板形超音波モータを試
作した。
一に分散させたフェノール樹脂溶液を含浸し、予備乾燥
後、圧縮成形して厚さ1mmの複合プラスチック摩擦材シ
ートを得た。これを摩擦材3として用いて、実施例2と
同じ方法で第2図に示すような円板形超音波モータを試
作した。
実施例5 積層した炭素繊維の平織織布に、平均粒径1μmのフル
オロカーボン樹脂粉末を均一に分散したポリイミド溶液
を含浸し、予備乾燥後、圧縮成形により厚さ1mmの複合
プラスチック摩擦材シートを得た。これを摩擦材3とし
て用いて、実施例2と同じ方法で第2図に示すような円
板形超音波モータを試作した。
オロカーボン樹脂粉末を均一に分散したポリイミド溶液
を含浸し、予備乾燥後、圧縮成形により厚さ1mmの複合
プラスチック摩擦材シートを得た。これを摩擦材3とし
て用いて、実施例2と同じ方法で第2図に示すような円
板形超音波モータを試作した。
実施例4および実施例5のいずれも超音波モータも、ブ
レーキトルクが初期500g・cmから5時間後530g・cmの間
にあり、しかもその経時変化は小さかった。また、共振
周波数もそれぞれ70.8KHz,70.6KHzであり、初期と5
時間後においてもほとんど変化がなく、再起動性にも問
題がなかった。また、接触相手材のステンレス鋼製の振
動体2は傷もつかず、摩耗もほとんど認められなかっ
た。
レーキトルクが初期500g・cmから5時間後530g・cmの間
にあり、しかもその経時変化は小さかった。また、共振
周波数もそれぞれ70.8KHz,70.6KHzであり、初期と5
時間後においてもほとんど変化がなく、再起動性にも問
題がなかった。また、接触相手材のステンレス鋼製の振
動体2は傷もつかず、摩耗もほとんど認められなかっ
た。
(発明の効果) 以上説明したように、少なくとも炭素繊維とフルオロカ
ーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂とを含有する複合プ
ラスチック材からなる摩擦材を、振動体あるいは動体の
一方の接触面に固定することによって、摩耗が少なく、
また、ブレーキトルクの経時変動が少なく、さらに、振
動体の共振周波数の経時変化も少ない安定した起動性を
有し、極めて信頼性が高い超音波モータが得られる。
ーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂とを含有する複合プ
ラスチック材からなる摩擦材を、振動体あるいは動体の
一方の接触面に固定することによって、摩耗が少なく、
また、ブレーキトルクの経時変動が少なく、さらに、振
動体の共振周波数の経時変化も少ない安定した起動性を
有し、極めて信頼性が高い超音波モータが得られる。
第1図は本発明による超音波モータの構成を示す要部拡
大断面図、第2図および第3図はそれぞれ本発明による
超音波モータの斜視断面図、第4図は超音波モータの原
理を示す要部拡大断面図である。 1……圧電体、2……振動体、3……摩擦材、4……動
体。
大断面図、第2図および第3図はそれぞれ本発明による
超音波モータの斜視断面図、第4図は超音波モータの原
理を示す要部拡大断面図である。 1……圧電体、2……振動体、3……摩擦材、4……動
体。
Claims (1)
- 【請求項1】圧電体の振動により進行波を発生する振動
体に、動体を加圧接触し、前記振動体と前記動体との間
の摩擦力を介して、前記動体を駆動する超音波モータに
おいて、少なくとも5重量%以上の炭素繊維と、少なく
とも5重量%以上のフルオロカーボン樹脂と、マトリッ
クス樹脂とを含有する複合プラスチック材からなる摩擦
材を、前記振動体または前記動体の接触面に固定したこ
とを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62262854A JPH0632572B2 (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 超音波モータ |
KR1019880013628A KR910003669B1 (ko) | 1987-10-20 | 1988-10-19 | 초음파 모우터 |
DE3853251T DE3853251T2 (de) | 1987-10-20 | 1988-10-20 | Ultraschallmotoranordnung. |
EP88309862A EP0313352B1 (en) | 1987-10-20 | 1988-10-20 | Ultrasonic motor |
EP94105760A EP0612115B1 (en) | 1987-10-20 | 1988-10-20 | Ultrasonic motor |
DE3855207T DE3855207T2 (de) | 1987-10-20 | 1988-10-20 | Ultraschallmotor |
US07/477,198 US5150000A (en) | 1987-10-20 | 1990-02-06 | Ultrasonic motor |
US07/841,553 US5311094A (en) | 1987-10-20 | 1992-02-26 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62262854A JPH0632572B2 (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01107675A JPH01107675A (ja) | 1989-04-25 |
JPH0632572B2 true JPH0632572B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=17381548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62262854A Expired - Fee Related JPH0632572B2 (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0632572B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2585996B2 (ja) * | 1988-04-12 | 1997-02-26 | 株式会社ニコン | 超音波モータ |
-
1987
- 1987-10-20 JP JP62262854A patent/JPH0632572B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01107675A (ja) | 1989-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5013956A (en) | Lining material and ultrasonic wave driven motor using lining material | |
EP0313352B1 (en) | Ultrasonic motor | |
JPH01270776A (ja) | 超音波モータの動体 | |
JPH0632572B2 (ja) | 超音波モータ | |
JP2575028B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH01206880A (ja) | 超音波モータ | |
JPH01248975A (ja) | 超音波モータ | |
JPH01110067A (ja) | 超音波モータ | |
JPH074073B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH0217873A (ja) | 超音波モータ | |
JPH01129781A (ja) | 超音波モータ装置 | |
JPH01110066A (ja) | 超音波モータ | |
JPS63257475A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPS63277478A (ja) | 超音波モ−タ | |
JP2548253B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH01138977A (ja) | 超音波モータ | |
JPS62193568A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPS63136986A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPS63302772A (ja) | 超音波モ−タ | |
JP2668681B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH0670450B2 (ja) | 超音波モータ用の円板状摩擦体 | |
JPS63257477A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPS63265574A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH02184275A (ja) | 超音波モータ | |
JPH0226279A (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |