JPH0632568Y2 - センサ支え治具 - Google Patents
センサ支え治具Info
- Publication number
- JPH0632568Y2 JPH0632568Y2 JP11951788U JP11951788U JPH0632568Y2 JP H0632568 Y2 JPH0632568 Y2 JP H0632568Y2 JP 11951788 U JP11951788 U JP 11951788U JP 11951788 U JP11951788 U JP 11951788U JP H0632568 Y2 JPH0632568 Y2 JP H0632568Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- support jig
- subject
- sensor support
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、基板上に形成された膜、例えば、メッキ、コ
ーティング、塗装等により形成された膜の膜厚を超音波
により測定する膜厚測定装置のセンサ部分の固定に用い
るセンサの支え治具に関する。
ーティング、塗装等により形成された膜の膜厚を超音波
により測定する膜厚測定装置のセンサ部分の固定に用い
るセンサの支え治具に関する。
〈従来の技術〉 超音波センサを用いて、基板上に形成された膜を測定す
る場合、水、油等の液体を介して、超音波センサと被検
体を密着し、超音波の入射および受信を行うのが通例で
ある。
る場合、水、油等の液体を介して、超音波センサと被検
体を密着し、超音波の入射および受信を行うのが通例で
ある。
また、超音波センサを被検体と密着せずに用いる場合
は、例えば、被検体を載せた試料台あるいは超音波セン
サを取り付けた支持具が、ゴニオメーターやＸＹＺステ
ージとして動くようになっており、これを手動または自
動で被検体と超音波センサの垂直出しや高さ調節を行う
というものである。
は、例えば、被検体を載せた試料台あるいは超音波セン
サを取り付けた支持具が、ゴニオメーターやＸＹＺステ
ージとして動くようになっており、これを手動または自
動で被検体と超音波センサの垂直出しや高さ調節を行う
というものである。
〈考案が解決しようとする課題〉 膜厚測定装置の超音波センサを被検体と密着せず、液体
を介して超音波の入射及び受信を行う場合は、上記のよ
うなゴニオメーターやＸＹＺステージを用いてセンサの
位置決めを行う必要があるが、測定の毎に位置決めをす
ると、測定を連続的に複数回行う場合、時間と手間を要
してしまう。さらに、ゴニオメーターやステージは高価
なものであり、しかもセンサに比べてかなり大きなもの
になってしまう。
を介して超音波の入射及び受信を行う場合は、上記のよ
うなゴニオメーターやＸＹＺステージを用いてセンサの
位置決めを行う必要があるが、測定の毎に位置決めをす
ると、測定を連続的に複数回行う場合、時間と手間を要
してしまう。さらに、ゴニオメーターやステージは高価
なものであり、しかもセンサに比べてかなり大きなもの
になってしまう。
〈課題を解決するための手段〉 本考案は以上の如き問題点を解決する為、膜厚測定装置
の超音波センサ部分をセンサホルダー部に固定し、輪環
部に高さ調節用の３本の脚部となるネジを通して、この
３本のネジを被検体上または被検体の測定部位と平行平
面なる台上に載せて、予め垂直並びに高さ位置出しをし
て調整を完了しておけば、測定毎度に位置出しをしなく
ても済むようなコンパクトなセンサ支え治具である。
の超音波センサ部分をセンサホルダー部に固定し、輪環
部に高さ調節用の３本の脚部となるネジを通して、この
３本のネジを被検体上または被検体の測定部位と平行平
面なる台上に載せて、予め垂直並びに高さ位置出しをし
て調整を完了しておけば、測定毎度に位置出しをしなく
ても済むようなコンパクトなセンサ支え治具である。
〈実施例〉 以下に、図面を参照して本考案を詳細に説明する。
まず、本考案のセンサ支え治具の構成について説明す
る。第１図のように、膜厚測定装置における超音波セン
サ５部分の音響レンズ１を固定した円筒状のホルダー３
部分の円筒状の側面に接するような円筒状の内容間を有
するリング１０を設ける。
る。第１図のように、膜厚測定装置における超音波セン
サ５部分の音響レンズ１を固定した円筒状のホルダー３
部分の円筒状の側面に接するような円筒状の内容間を有
するリング１０を設ける。
さらに、リング１０にはホルダー３を固定するための、
押えネジ１２用のネジ穴と、音響レンズ１の姿勢制御用
の高さ調節ネジ１４用のネジ穴を設ける。
押えネジ１２用のネジ穴と、音響レンズ１の姿勢制御用
の高さ調節ネジ１４用のネジ穴を設ける。
尚、リングは円筒形でなくても、ホルダーに合えばよ
く、また、押えネジも１つでなくてもよく、さらに、高
さ調節ネジ下端には測定に使用する際に被検体を損傷さ
せないように被検体防護部１６を設けてもよい。
く、また、押えネジも１つでなくてもよく、さらに、高
さ調節ネジ下端には測定に使用する際に被検体を損傷さ
せないように被検体防護部１６を設けてもよい。
〈応用例〉 次に以上のように構成されたセンサ支え治具を用いた超
音波膜厚測定について説明する。
音波膜厚測定について説明する。
この応用例では、第２図のように超音波センサ５をセン
サ支え治具１８に固定して、第３図のようにガラスエポ
キシからなる基板３２に銅メッキ膜３０を施した被検体
３４の銅メッキ層の膜厚を、水を超音波伝搬媒体４０と
して特願昭６２−１２１８６２号の膜厚測定方法で測定
する。
サ支え治具１８に固定して、第３図のようにガラスエポ
キシからなる基板３２に銅メッキ膜３０を施した被検体
３４の銅メッキ層の膜厚を、水を超音波伝搬媒体４０と
して特願昭６２−１２１８６２号の膜厚測定方法で測定
する。
ここで、θ＝３０°においてガラスエポキシ、銅、水か
らなる組み合わせ体において、反射率の極小部の周波数
と銅膜圧ｄの関係は、ｄ＝１８００ＭHzμｍであ
る。そこで、高さ調節ネジにより、音響レンズが第３図
のように正しくθ＝３０°になり、焦点を結ぶように配
置される。これは、反射超音波をオシロスコープで見な
がら、その振幅が最大となるようにネジを調節すればよ
い。このとき、反射超音波のスペクトルを調べると、第
４図のようになり、極小部は１＝45.5ＭHzである。よ
ってｄ＝１８００ＭHz・μｍよりｄ１＝39.6μｍであ
ることが分かる。
らなる組み合わせ体において、反射率の極小部の周波数
と銅膜圧ｄの関係は、ｄ＝１８００ＭHzμｍであ
る。そこで、高さ調節ネジにより、音響レンズが第３図
のように正しくθ＝３０°になり、焦点を結ぶように配
置される。これは、反射超音波をオシロスコープで見な
がら、その振幅が最大となるようにネジを調節すればよ
い。このとき、反射超音波のスペクトルを調べると、第
４図のようになり、極小部は１＝45.5ＭHzである。よ
ってｄ＝１８００ＭHz・μｍよりｄ１＝39.6μｍであ
ることが分かる。
さらに、一度高さ調節ネジを調整しておけば、センサを
置くだけで、角度合わせと焦点合わせをすることなし
に、連続測定を行うことができる。なお、この考案は上
述した実施例に限定されることなく、この考案の範囲内
で種々の変形可能である。
置くだけで、角度合わせと焦点合わせをすることなし
に、連続測定を行うことができる。なお、この考案は上
述した実施例に限定されることなく、この考案の範囲内
で種々の変形可能である。
例えば、この考案のセンサ支え治具に色々な超音波セン
サを取り付ければ、上記応用例以外の被検体でも測定可
能である。基板は固体であればよく、また膜は金属メッ
キ層の他に、蒸着膜、ペンキ塗装膜等でもよい。超音波
伝搬体として、水の他にアルコール、水銀、液体ヘリウ
ムを用いても良い。
サを取り付ければ、上記応用例以外の被検体でも測定可
能である。基板は固体であればよく、また膜は金属メッ
キ層の他に、蒸着膜、ペンキ塗装膜等でもよい。超音波
伝搬体として、水の他にアルコール、水銀、液体ヘリウ
ムを用いても良い。
〈考案の効果〉 本考案のセンサ支え治具に超音波センサを取り付けてお
けば、最初に一度だけセンサの姿勢調整をしてやれば、
それ以後測定の際は被検体にセンサを載せるだけで測定
できる。従って測定毎にセンサの姿勢を調整する必要が
なく、連続して複数個所測定する場合、測定を迅速に行
うことができる。
けば、最初に一度だけセンサの姿勢調整をしてやれば、
それ以後測定の際は被検体にセンサを載せるだけで測定
できる。従って測定毎にセンサの姿勢を調整する必要が
なく、連続して複数個所測定する場合、測定を迅速に行
うことができる。
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図はこの考案
のセンサ支え治具の説明図でＡは側面、Ｂは平面図であ
る。第２図はこの考案のセンサ支え治具を超音波センサ
に取り付けた様子を示す斜視図。第３図は応用例を行う
際の配置図、第４図は被検体からの反射波のスペクトル
を示す図である。 １……音響レンズ ３……レンズホルダー ５……超音波センサー １０……リング １２……押えネジ １４……高さ調節ネジ １６……被検体防護部 １８……センサ支え治具
のセンサ支え治具の説明図でＡは側面、Ｂは平面図であ
る。第２図はこの考案のセンサ支え治具を超音波センサ
に取り付けた様子を示す斜視図。第３図は応用例を行う
際の配置図、第４図は被検体からの反射波のスペクトル
を示す図である。 １……音響レンズ ３……レンズホルダー ５……超音波センサー １０……リング １２……押えネジ １４……高さ調節ネジ １６……被検体防護部 １８……センサ支え治具
Claims (1)
- 【請求項１】固体基板と基板上に形成された膜とを有す
る被検体の膜厚を測定する膜厚測定装置の超音波センサ
部分を基板に対して密着せず最適な位置に保持するため
のセンサホルダー部と、３本の高さ調節用の脚部を有す
るセンサ支え治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11951788U JPH0632568Y2 (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | センサ支え治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11951788U JPH0632568Y2 (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | センサ支え治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0241114U JPH0241114U (ja) | 1990-03-22 |
| JPH0632568Y2 true JPH0632568Y2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=31364818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11951788U Expired - Lifetime JPH0632568Y2 (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | センサ支え治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632568Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-12 JP JP11951788U patent/JPH0632568Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0241114U (ja) | 1990-03-22 |
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