JPH06324079A - Contact probe - Google Patents
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- JPH06324079A JPH06324079A JP31397592A JP31397592A JPH06324079A JP H06324079 A JPH06324079 A JP H06324079A JP 31397592 A JP31397592 A JP 31397592A JP 31397592 A JP31397592 A JP 31397592A JP H06324079 A JPH06324079 A JP H06324079A
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- Japan
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- sleeve
- conductive wire
- contact probe
- bush
- groove
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はＬＳＩ、実装基板、Ｌ
ＣＤパネル等、各種電子部品の電気的検査に利用される
コンタクトプローブの開示に係るものである。This invention relates to an LSI, a mounting board, an L
The present invention relates to a contact probe used for electrical inspection of various electronic components such as a CD panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来よりのこの種のコンタクトプローブ
は、検査対象とされる電子部品により種々のものが利用
されているが、その一例として第３図に示されたものが
ある。かかるコンタクトプローブ１０１は出願人が先に
開示（特願平４−１５６２３５号）したものであり、ス
リーブ１０２から一方端が突き出されている極細径の導
電ワイヤー１０５がこのスリーブ１０２内に内装されて
いるコイルスプリング１０３によって、該突き出し側に
向けて常時付勢されていて、検査対象物たる端子１０
４、１０４等に接触することにより、この導電ワイヤー
１０５が前記付勢に抗して螺退状に押しもどされる構成
としたものである。2. Description of the Related Art Conventional contact probes of this type are used in various types depending on the electronic parts to be inspected, and one example is shown in FIG. The contact probe 101 was previously disclosed by the applicant (Japanese Patent Application No. 4-156235), and an extremely fine conductive wire 105 whose one end is projected from the sleeve 102 is provided inside the sleeve 102. The coil spring 103 is constantly urged toward the protruding side, and the terminal 10 as the inspection object
The conductive wire 105 is pushed back against the urging force by coming into contact with the wires 4, 104 and the like.
【０００３】かかる従来のコンタクトプローブ１０１
は、検査対象の端子間のピッチが、例えば液晶パネルの
カラー化等が進むにつれて狭小となる一方フラックス等
の無洗浄化が求められている現状に鑑み発明されたもの
であり、プランジャーを極細径の線状体たる導電ワイヤ
ーとして、ピッチの広狭に拘らず、導通絶縁検査を可能
とし、且つこの導電ワイヤーはその軸線が捻られながら
回転しつつ前進後退動するものであるため、フラックス
等があっても回転力により押しのけて、検査対象たる端
子等に接触することを可能にしたものである。又、プラ
ンジャーは回転しつつ前進後退動するものであるから、
回転量によりプランジャーの突出幅が異なり、検査対象
が通常複数個の端子等であるため、この端子等の相互間
に高低差が生じている場合にもかかる高低差に対応して
検査対象に的確に接触することを可能にした等の利点を
有していた。Such a conventional contact probe 101
Was invented in view of the fact that the pitch between the terminals to be inspected becomes narrower as the colorization of the liquid crystal panel progresses, while the need for no cleaning of flux is required. As a conductive wire that is a linear body with a diameter, it is possible to conduct conduction insulation inspection regardless of the pitch range, and since this conductive wire rotates forward and backward while rotating while its axis is twisted, flux etc. Even if there is, it can be pushed away by the rotational force and come into contact with the terminal to be inspected. In addition, the plunger moves forward and backward while rotating,
Since the projecting width of the plunger differs depending on the rotation amount, and the inspection target is usually multiple terminals, etc., even if there is a difference in height between these terminals, etc. It had advantages such as enabling accurate contact.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかるコン
タクトプローブのプランジャーは検査対象たる端子等の
ピッチに対応して直径が０．１〜０．２ｍｍ程度の極細
径とされているものであり、この場合には、耐摩耗性を
重視して硬度の高いタングステン線を使用している。し
かし、プランジャー先端の面が必ずしも平滑面でない
為、前記したフラックス等により平面精度の悪い検査対
象物との接触抵抗のバラツキが大きく正確な測定をなし
得ないことがあり（図５）、又、プランジャーの先端の
押圧によって検査対象物を損傷することがあった。By the way, the plunger of such a contact probe has an extremely fine diameter of about 0.1 to 0.2 mm corresponding to the pitch of the terminals to be inspected. In this case, a tungsten wire having high hardness is used with emphasis on wear resistance. However, since the surface of the tip of the plunger is not necessarily a smooth surface, the above-mentioned flux or the like may cause a large variation in the contact resistance with the object to be inspected having poor plane accuracy, and an accurate measurement may not be possible (Fig. 5). The object to be inspected may be damaged by pressing the tip of the plunger.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は、かかる従来
の技術が有する課題に鑑みて案出されたものであり、請
求項１の発明は、スリーブ２から一方端が突き出されて
いる導電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されて
いるコンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向
けて常時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前
記付勢に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプロ
ーブ１であって、前記スリーブ２から一方端が突き出さ
れている導電ワイヤー５の直径が、０．１ｍｍ〜０．０
５ｍｍであり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面
状とされているコンタクトプローブ１である。又、請求
項２の発明は、直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであ
り、且つ先端が凸球面状とされている導電ワイヤー５の
固定されるブッシュ１３の外側面又はこのブッシュ１３
の納まっているスリーブ１２の内側面のいずれか一方に
前記導電ワイヤー５の動作方向に螺回する溝１３ｂが設
けられており、他方のブッシュ１３の外側面又はスリー
ブ１２の内側面には、この溝１３ｂに係合する小球１２
ｃが納まる小孔１２ｂが設けられているコンタクトプロ
ーブ１１である。The present invention has been devised in view of the problems of the prior art, and the invention of claim 1 is a conductive wire having one end protruding from the sleeve 2. The contact probe 5 is constantly urged toward the protruding side by the contact probe 3 housed in the sleeve 2 and the conductive wire 5 is pushed back against the urging force in a screw-back manner. In the probe 1, the diameter of the conductive wire 5 whose one end projects from the sleeve 2 is 0.1 mm to 0.0
The contact probe 1 has a length of 5 mm, and the tip of the conductive wire 5 has a convex spherical shape. Further, in the invention of claim 2, the outer surface of the bush 13 or the bush 13 to which the conductive wire 5 having a diameter of 0.1 mm to 0.05 mm and the tip of which is a convex spherical surface is fixed.
A groove 13b that is screwed in the operating direction of the conductive wire 5 is provided on one of the inner surfaces of the sleeve 12 in which the above is accommodated, and on the outer surface of the other bush 13 or the inner surface of the sleeve 12, Small ball 12 that engages with groove 13b
The contact probe 11 is provided with a small hole 12b for accommodating c.
【０００６】[0006]
【作用】この発明は、以下の作用を有している。即ち、
通常スプリング３により導電ワイヤ５はブッシュ６と共
に突き出し方向に付勢されているが、この導電ワイヤー
５は、検査箇所にその先端を押し当てることにより、ピ
ン６ａと溝２ａとの係合作用、あるいは小球１２ｃと溝
１６ｂとの係合作用とに規制されつつ、前記スプリング
５の付勢に抗して螺退状に押しもどされることになり、
前記導電ワイヤー５はその軸線が捻られながら回転す
る。そしてその際に前記導電ワイヤー５は、先端に押圧
力を受けているので検査対象の面の形状に追随して凸球
面状部５ａが検査対象に面的に接触する（図４）。尚、
前記導電ワイヤー５は必ずしも１回転以上回転させる必
要はない。The present invention has the following actions. That is,
Usually, the conductive wire 5 is urged together with the bush 6 in the protruding direction by the spring 3. The conductive wire 5 presses the tip of the conductive wire 5 against the inspection location, thereby engaging the pin 6a with the groove 2a, or While being restricted by the engaging action of the small ball 12c and the groove 16b, the small ball 12c is pushed back in a screw-back form against the bias of the spring 5,
The conductive wire 5 rotates while its axis is twisted. At that time, since the conductive wire 5 receives a pressing force at its tip, the convex spherical surface portion 5a comes into surface contact with the inspection object following the shape of the surface of the inspection object (FIG. 4). still,
The conductive wire 5 does not necessarily need to be rotated once or more.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、この発明の一実施例の詳細を添付の図
１をもとに説明する。１は、この発明に係るコンタクト
プローブである。２は、略円筒状のスリーブでありコイ
ルスプリング３を内装し、該コイルスプリング３を挟ん
でその一方の開口部側に計測部（図示せず）に接続され
るターミナル４の一方端が嵌着されており、又、他方の
開口部側には、後述する導電ワイヤー５の固定ブッシュ
６が前記コイルスプリング３と該スリーブ２の開口縁に
ある内向きの鍔２ｂとの間に納められている。前記スリ
ーブ２の内側面には該スリーブ２の長さ方向へ向かって
螺回する溝２ａが設けられており、この溝２ａには、前
記固定ブッシュ６の外側に設けられたピン６ａが前記溝
２ａの周面と間隙を介して係合されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of one embodiment of the present invention will be described below with reference to the attached FIG. 1 is a contact probe according to the present invention. Reference numeral 2 denotes a substantially cylindrical sleeve which houses a coil spring 3, and one end of a terminal 4 which is connected to a measuring section (not shown) is fitted to one opening side of the coil spring 3 with the coil spring 3 interposed therebetween. On the other side of the opening, a fixed bush 6 of a conductive wire 5 described later is housed between the coil spring 3 and the inward flange 2b at the opening edge of the sleeve 2. . The inner surface of the sleeve 2 is provided with a groove 2a which is screwed in the longitudinal direction of the sleeve 2, and a pin 6a provided outside the fixed bush 6 is provided in the groove 2a. It is engaged with the peripheral surface of 2a via a gap.
【０００８】前記固定ブッシュ６からは、前記スリーブ
２の外方向に向けて導電ワイヤー５が突出されており、
この導電ワイヤー５は、０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍのタ
ングステン等の極細状の線材を用いるものとし、検査対
象物の端子１４、１４等に接触する先端を凸球面状に形
成している。又、この導電ワイヤー５にはこの導電ワイ
ヤー５が前進後退を行う際にその横ブレ等の動きを規制
するガイドチューブ７が被嵌されており、更にこのガイ
ドチューブ７と前記スリーブ２とを一体として保持すべ
く、ガイドチューブ固定ブッシュ８を介して、ハウジン
グ９が、前記スリーブ２と螺合してある。尚、ガイドチ
ューブ固定ブッシュ８は、ハウジング９の一部としてこ
のハウジング９と一体的に成形される場合もある。A conductive wire 5 is projected from the fixed bush 6 toward the outside of the sleeve 2.
The conductive wire 5 is made of an extremely fine wire material such as tungsten having a thickness of 0.1 mm to 0.05 mm, and has a tip in contact with the terminals 14, 14 of the inspection object formed in a convex spherical shape. Further, a guide tube 7 is fitted on the conductive wire 5 to restrict the movement of the conductive wire 5 such as lateral movement when the conductive wire 5 moves forward and backward. Further, the guide tube 7 and the sleeve 2 are integrated. A housing 9 is screw-engaged with the sleeve 2 via a guide tube fixing bush 8 so as to be held as. The guide tube fixing bush 8 may be integrally formed with the housing 9 as a part of the housing 9.
【０００９】尚、１０は、前記スリーブ２に一方端を嵌
入したターミナル４の他方端に嵌合するソケットであ
る。Numeral 10 is a socket which is fitted to the other end of the terminal 4 having one end fitted into the sleeve 2.
【００１０】かかる実施例においては、前記スリーブ２
の内側面に設けた溝2aを前記固定ブッシュ６の外周面に
螺回状に設け、この固定ブッシュ６に設けたピン6aを前
記スリーブ２の内側面から突設させ、前記固定ブッシュ
６に設けた溝に該ピンを嵌合させることもある。In such an embodiment, the sleeve 2
Groove 2a provided on the inner side surface of the fixed bush 6 is provided in a spiral shape on the outer peripheral surface of the fixed bush 6, and a pin 6a provided on the fixed bush 6 is provided on the fixed bush 6 so as to project from the inner side surface of the sleeve 2. The pin may be fitted in the groove.
【００１１】次いで、この発明の他の実施例について図
２をもとに説明する。尚、前記実施例と同一の符号は同
一もしくは相応部分を示す。１１は、この実施例に係る
コンタクトプローブであり、スリーブ１２と、導電ワイ
ヤー５の固定ブッシュ１３との構成を除くすべての構成
を前記第１の実施例と同一にしている。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same reference numerals as those used in the above-mentioned embodiment indicate the same or corresponding parts. Reference numeral 11 denotes a contact probe according to this embodiment, which has the same structure as that of the first embodiment except for the structure of the sleeve 12 and the fixed bush 13 of the conductive wire 5.
【００１２】そこで、前記スリーブ１２と導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３とについて説明する。先ず、固定
ブッシュ１３は前記コイルスプリング３と前記スリーブ
１２の開口縁にある内向きの鍔１２ａとの間に納めら
れ、その外側面には、前記導電ワイヤー５の進退方向に
向って螺回する断面略半円形状の溝１３ｂが設けられて
おり、又前記スリーブ１２には所定の個所に該溝１３ｂ
と連通する小孔１２ｂが開設されている。そして前記小
孔１２ｂと溝１３ｂとを連絡するように小球１２ｃが回
動可能に前記小孔１２ｂと溝１３ｂとで構成される空間
に位置付けされている。Therefore, the sleeve 12 and the fixed bush 13 for the conductive wire 5 will be described. First, the fixed bush 13 is housed between the coil spring 3 and the inward flange 12a at the opening edge of the sleeve 12, and the outer surface of the fixed bush 13 is screwed in the advancing / retreating direction of the conductive wire 5. A groove 13b having a substantially semicircular cross section is provided, and the sleeve 12 has the groove 13b at a predetermined position.
A small hole 12b communicating with is opened. The small ball 12c is rotatably positioned in the space defined by the small hole 12b and the groove 13b so as to connect the small hole 12b and the groove 13b.
【００１３】尚、かかる実施例においては前記固定ブッ
シュ１３の外側面に設けられた溝１３ｂをスリーブ１２
の内側面に前記第一の実施例同様該スリーブ１２の長さ
方向に向って、螺回状に設け、又、該スリーブ１２に設
けられている小孔１２ｂを固定ブッシュ１３の外側面に
設け、前記スリーブ１２の溝と固定ブッシュ１３に設け
られた小孔とにより構成される空間に小球１２ｃを位置
付けすることもある。In this embodiment, the groove 13b provided on the outer surface of the fixed bush 13 is formed in the sleeve 12
Like the first embodiment, the inner surface of the sleeve 12 is provided in a spiral shape in the lengthwise direction of the sleeve 12, and the small hole 12b provided in the sleeve 12 is provided on the outer surface of the fixed bush 13. The small ball 12c may be positioned in a space defined by the groove of the sleeve 12 and the small hole formed in the fixed bush 13.
【００１４】[0014]
【発明の効果】この発明は、叙上の構成を有しているこ
とにより、以下の効果を奏しうる。EFFECTS OF THE INVENTION The present invention has the above-described structure, so that the following effects can be obtained.
【００１５】プランジャーを０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍ
の極細径の線状体たる導電ワイヤーとし、しかも該導電
ワイヤーの先端を凸球面状とすることにより、ピッチが
狭少であり且つ通常粗面とされる検査対象物の端子等に
対しても、導電ワイヤー先端の追随性が良く充分な接触
抵抗を得ることが可能であり、正確な測定をなすことが
できる。又、導電ワイヤーの先端は凸球面状であるため
検査対象物の端子等への押圧による損傷を回避すること
が可能である。The plunger is 0.1 mm to 0.05 mm
The conductive wire which is a wire body having an extremely small diameter, and the tip of the conductive wire is formed into a convex spherical surface, so that the pitch is narrow and the terminal is usually roughened. Since the tip of the conductive wire has good followability, a sufficient contact resistance can be obtained, and accurate measurement can be performed. Further, since the tip of the conductive wire has a convex spherical shape, it is possible to avoid damage caused by pressing the inspection object to the terminal or the like.
【図１】この発明の典型的な一実施例を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a typical embodiment of the present invention.
【図２】この発明の他の実施例を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図３】従来の技術を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional technique.
【図４】この発明の導電ワイヤーの接触状態を示す拡大
断面図。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a contact state of the conductive wire of the present invention.
【図５】従来の技術の導電ワイヤーの接触状態を示す拡
大断面図。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a contact state of a conventional conductive wire.
１ コンタクトプローブ ２ スリーブ ３ スプリング ４ ターミナル ５ 導電ワイヤー ５ａ 凸球面状部 ６ 固定ブッシュ ７ ガイドチューブ ８ ガイドチューブ固定ブッシュ ９ ハウジング １０ ソケット １１ コンタクトプローブ １２ スリーブ １２ｂ 小孔 １２ｃ 小球 １３ 固定ブッシュ １４ 検査対象物の端子 1 Contact Probe 2 Sleeve 3 Spring 4 Terminal 5 Conductive Wire 5a Convex Spherical Section 6 Fixed Bushing 7 Guide Tube 8 Guide Tube Fixed Bushing 9 Housing 10 Socket 11 Contact Probe 12 Sleeve 12b Small Hole 12c Small Ball 13 Fixed Bushing 14 Inspection Object Terminal
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成５年６月３日[Submission date] June 3, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【書類名】 明細書[Document name] Statement
【発明の名称】 コンタクトプローブ[Title of Invention] Contact probe
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はＬＳＩ、実装基板、Ｌ
ＣＤパネル等、各種電子部品の電気的検査に利用される
コンタクトプローブの開示に係るものである。This invention relates to an LSI, a mounting board, an L
The present invention relates to a contact probe used for electrical inspection of various electronic components such as a CD panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来よりのこの種のコンタクトプローブ
は、検査対象とされる電子部品により種々のものが利用
されているが、その一例として第３図に示されたものが
ある。かかるコンタクトプローブ１０１は出願人が先に
開示（特願平４−１５６２３５号）したものであり、ス
リーブ１０２から一方端が突き出されている極細径の導
電ワイヤー１０５がこのスリーブ１０２内に内装されて
いるコイルスプリング１０３によって、該突き出し側に
向けて常時付勢されていて、検査対象物たる端子１０
４、１０４等に接触することにより、この導電ワイヤー
１０５が前記付勢に抗して螺退状に押しもどされる構成
としたものである。2. Description of the Related Art Conventional contact probes of this type are used in various types depending on the electronic parts to be inspected, and one example is shown in FIG. The contact probe 101 was previously disclosed by the applicant (Japanese Patent Application No. 4-156235), and an extremely fine conductive wire 105 whose one end is projected from the sleeve 102 is provided inside the sleeve 102. The coil spring 103 is constantly urged toward the protruding side, and the terminal 10 as the inspection object
The conductive wire 105 is pushed back against the urging force by coming into contact with the wires 4, 104 and the like.
【０００３】かかる従来のコンタクトプローブ１０１
は、検査対象の端子間のピッチが、例えば液晶パネルの
カラー化等が進むにつれて狭小となる一方フラックス等
の無洗浄化が求められている現状に鑑み発明されたもの
であり、プランジャーを極細径の線状体たる導電ワイヤ
ーとして、ピッチの広狭に拘らず、導通絶縁検査を可能
とし、且つこの導電ワイヤーはその軸線が捻られながら
回転しつつ前進後退動するものであるため、フラックス
等があっても回転力により押しのけて、検査対象たる端
子等に接触することを可能にしたものである。又、プラ
ンジャーは回転しつつ前進後退動するものであるから、
回転量によりプランジャーの突出幅が異なり、検査対象
が通常複数個の端子等であるため、この端子等の相互間
に高低差が生じている場合にもかかる高低差に対応して
検査対象に的確に接触することを可能にした等の利点を
有していた。Such a conventional contact probe 101
Was invented in view of the fact that the pitch between the terminals to be inspected becomes narrower as the colorization of the liquid crystal panel progresses, while the need for no cleaning of flux is required. As a conductive wire that is a linear body with a diameter, it is possible to conduct conduction insulation inspection regardless of the pitch range, and since this conductive wire rotates forward and backward while rotating while its axis is twisted, flux etc. Even if there is, it can be pushed away by the rotational force and come into contact with the terminal to be inspected. In addition, the plunger moves forward and backward while rotating,
Since the projecting width of the plunger differs depending on the rotation amount, and the inspection target is usually multiple terminals, etc., even if there is a difference in height between these terminals, etc. It had advantages such as enabling accurate contact.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかるコン
タクトプローブのプランジャーは検査対象たる端子等の
ピッチに対応して直径が０．１〜０．２ｍｍ程度の極細
径とされているものであり、この場合には、耐摩耗性を
重視して硬度の高いタングステン線を使用している。し
かし、プランジャー先端の面が必ずしも平滑面でない
為、前記したフラックス等により平面精度の悪い検査対
象物との接触抵抗のバラツキが大きく正確な測定をなし
得ないことがあり（図５）、又、プランジャーの先端の
押圧によって検査対象物を損傷することがあった。By the way, the plunger of such a contact probe has an extremely fine diameter of about 0.1 to 0.2 mm corresponding to the pitch of the terminals to be inspected. In this case, a tungsten wire having high hardness is used with emphasis on wear resistance. However, since the surface of the tip of the plunger is not necessarily a smooth surface, the above-mentioned flux or the like may cause a large variation in the contact resistance with the object to be inspected having poor plane accuracy, and an accurate measurement may not be possible (Fig. 5). The object to be inspected may be damaged by pressing the tip of the plunger.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は、かかる従来
の技術が有する課題に鑑みて案出されたものであり、請
求項１の発明は、スリーブ２から一方端が突き出されて
いる導電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されて
いるコンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向
けて常時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前
記付勢に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプロ
ーブ１であって、前記スリーブ２から一方端が突き出さ
れている導電ワイヤー５の直径が、０．１ｍｍ〜０．０
５ｍｍであり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面
状とされているコンタクトプローブ１である。又、請求
項２の発明は、直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであ
り、且つ先端が凸球面状とされている導電ワイヤー５の
固定されるブッシュ１３の軸線方向に設けられている螺
旋溝１３ｂと、小球１２ｃの収まる凹部１２ｂとが、前
記ブッシュ１３とこのブッシュ１３の収められているス
リーブ１２との対向した周面に設けられており、前記凹
部１２ｂに収められている小球１２ｃの一部が前記螺旋
溝１３ｂ内に収められているコンタクトプローブ１１で
ある。The present invention has been devised in view of the problems of the prior art, and the invention of claim 1 is a conductive wire having one end protruding from the sleeve 2. The contact probe 5 is constantly urged toward the protruding side by the contact probe 3 housed in the sleeve 2 and the conductive wire 5 is pushed back against the urging force in a screw-back manner. In the probe 1, the diameter of the conductive wire 5 whose one end projects from the sleeve 2 is 0.1 mm to 0.0
The contact probe 1 has a length of 5 mm, and the tip of the conductive wire 5 has a convex spherical shape. Further, the invention of claim 2 has a spiral groove provided in the axial direction of the bush 13 to which the conductive wire 5 having a diameter of 0.1 mm to 0.05 mm and having a convex spherical end is fixed. 13b and a recess 12b for accommodating the small ball 12c are provided on the peripheral surfaces of the bush 13 and the sleeve 12 in which the bush 13 is accommodated, which are opposed to each other, and the small ball 12c accommodated in the recess 12b. Is a part of the contact probe 11 housed in the spiral groove 13b.
【０００６】[0006]
【作用】この発明は、以下の作用を有している。即ち、
通常スプリング３により導電ワイヤ５はブッシュ６と共
に突き出し方向に付勢されているが、この導電ワイヤー
５は、検査箇所にその先端を押し当てることにより、ピ
ン６ａと溝２ａとの係合作用、あるいは小球１２ｃと溝
１６ｂとの係合作用とに規制されつつ、前記スプリング
５の付勢に抗して螺退状に押しもどされることになり、
前記導電ワイヤー５はその軸線が捻られながら回転す
る。そしてその際に前記導電ワイヤー５は、先端に押圧
力を受けているので検査対象の面の形状に追随して凸球
面状部５ａが検査対象に面的に接触する（図４）。The present invention has the following actions. That is,
Usually, the conductive wire 5 is urged together with the bush 6 in the protruding direction by the spring 3. The conductive wire 5 presses the tip of the conductive wire 5 against the inspection location, thereby engaging the pin 6a with the groove 2a, or While being restricted by the engaging action of the small ball 12c and the groove 16b, the small ball 12c is pushed back in a screw-back form against the bias of the spring 5,
The conductive wire 5 rotates while its axis is twisted. At that time, since the conductive wire 5 receives a pressing force at its tip, the convex spherical surface portion 5a comes into surface contact with the inspection object following the shape of the surface of the inspection object (FIG. 4).
【０００７】[0007]
【実施例】以下、この発明の一実施例の詳細を添付の図
１に基づいて説明する。１は、この実施例に係るコンタ
クトプローブである。２は、略円筒状のスリーブであり
コイルスプリング３を内装し、該コイルスプリング３を
挟んでその一方の開口部側に計測部（図示せず）に接続
されるターミナル４の一方端が嵌着されており、又、他
方の開口部側には、後述する導電ワイヤー５の固定ブッ
シュ６が嵌入されている。前記スリーブ２はまた、内周
の軸線方向に螺旋状の溝２ａを有すると共に、一方の開
口端に内向きの鍔２ｂが設けられており、この鍔２ｂの
設けられている側のスリーブ２の外周が雄螺子部２ｃと
されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of one embodiment of the present invention will be described below with reference to the attached FIG. Reference numeral 1 is a contact probe according to this embodiment. Reference numeral 2 denotes a substantially cylindrical sleeve which houses a coil spring 3, and one end of a terminal 4 which is connected to a measuring section (not shown) is fitted to one opening side of the coil spring 3 with the coil spring 3 interposed therebetween. The fixed bush 6 of the conductive wire 5, which will be described later, is fitted into the other opening side. The sleeve 2 also has a spiral groove 2a in the axial direction of the inner circumference, and an inward flange 2b is provided at one opening end of the sleeve 2 on the side where the flange 2b is provided. The outer circumference is a male screw portion 2c.
【０００８】前記スリーブ２に螺進退自在に組みつけら
れる固定ブッシュ６は、その外周から突き出すピン６ａ
を有すると共に、導電ワイヤー５を嵌着状態に取りつけ
てあり、前記溝２ａに該ピン６ａを嵌め入れて、前記ス
リーブ２内に組みつけられている。The fixed bush 6, which is assembled to the sleeve 2 so as to be freely screwed back and forth, has a pin 6a protruding from the outer periphery thereof.
In addition, the conductive wire 5 is attached in a fitted state, and the pin 6a is fitted in the groove 2a and assembled in the sleeve 2.
【０００９】このように組み付けられた前記ブッシュ６
を前記導電ワイヤー５の突き出し方向に押すように、コ
イルスプリング３が前記スリーブ２内に収め入れられて
おり、このコイルスプリング３の他方端が前記ターミナ
ル４で支持されるように、該ターミナル４が前記スリー
ブ２に嵌着状態で止着してある。また、前記固定ブッシ
ュ６に設けられている前記導電ワイヤー５は、ガイドチ
ューブ７内を移動自在としてあり、このガイドチューブ
７は雌螺子部９ａを有する筒状のハウジング９内に嵌め
込み状態で止着されているガイドチューブ固定ブッシュ
８に対して嵌着状態で組み付けられている。なお、ガイ
ドチューブ固定ブッシュ８は、ハウジング９の一部とし
て該ハウジング９と一体的に成形される場合もある。そ
して前記ハウジング９は、前記固定ブッシュ６に組み付
けられている前記導電ワイヤー５を前記ガイドチューブ
固定ブッシュ８に止着されている前記ガイドチューブ７
内より突き出すように、前記スリーブ２の雄螺子部２ｃ
に前記雌螺子部９ａを螺着させることにより組み付けら
れている。The bush 6 assembled in this way
A coil spring 3 is housed in the sleeve 2 so as to push in the protruding direction of the conductive wire 5, and the terminal 4 is supported so that the other end of the coil spring 3 is supported by the terminal 4. It is fixed to the sleeve 2 in a fitted state. Further, the conductive wire 5 provided on the fixed bush 6 is movable in the guide tube 7, and the guide tube 7 is fixed in a tubular housing 9 having a female screw portion 9a in a fitted state. The guide tube fixing bush 8 is assembled in a fitted state. The guide tube fixing bush 8 may be formed integrally with the housing 9 as a part of the housing 9. The housing 9 has the guide tube 7 in which the conductive wire 5 assembled to the fixed bush 6 is fixed to the guide tube fixed bush 8.
The male screw portion 2c of the sleeve 2 so as to protrude from the inside.
It is assembled by screwing the female screw portion 9a to.
【００１０】前記導電ワイヤー５は、０．１ｍｍ〜０．
０５ｍｍのタングステン等の極細状の線材を用いるもの
とし、検査対象物の端子１４、１４等に接触する先端を
凸球面状に形成している。前記ガイドチューブ７は、こ
の導電ワイヤー５が前進後退を行う際にその横ブレ等の
動きを規制する機能を有している。The conductive wire 5 has a thickness of 0.1 mm to 0.1 mm.
It is assumed that an ultrafine wire material such as 05 mm tungsten is used, and the tip end that contacts the terminals 14, 14 of the inspection object is formed in a convex spherical shape. The guide tube 7 has a function of restricting movement of the conductive wire 5 such as lateral shake when the conductive wire 5 moves forward and backward.
【００１１】なお、図中１０で示されるのは、前記スリ
ーブ２に一方端を嵌入したターミナル４の他方端に嵌合
するソケットである。Reference numeral 10 in the drawing denotes a socket which fits into the other end of the terminal 4 which has one end fitted into the sleeve 2.
【００１２】また、かかる実施例においては、前記スリ
ーブ２の内側面に設けた溝２ａを前記固定ブッシュ６の
外周面に螺回状に設け、この固定ブッシュ６に設けたピ
ン６ａを前記スリーブ２の内側面から突設させ、前記固
定ブッシュ６に設けた溝に該ピンを嵌合させることもあ
る。Further, in this embodiment, the groove 2a provided on the inner side surface of the sleeve 2 is provided on the outer peripheral surface of the fixed bush 6 in a spiral shape, and the pin 6a provided on the fixed bush 6 is provided on the sleeve 2 The pin may be fitted in a groove provided in the fixed bush 6 by projecting from the inner side surface of the pin.
【００１３】次いで、この発明の他の実施例を図２に基
づいて説明する。尚、前記実施例と同一の符号は同一も
しくは相応部分を示す。１１は、この実施例に係るコン
タクトプローブであり、スリーブ１２と、導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３との構成を除くすべての構成を前
記第１の実施例と同一にしている。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same reference numerals as those used in the above-mentioned embodiment indicate the same or corresponding parts. Reference numeral 11 denotes a contact probe according to this embodiment, which has the same structure as that of the first embodiment except for the structure of the sleeve 12 and the fixed bush 13 of the conductive wire 5.
【００１４】そこで、前記スリーブ１２と導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３とについて説明する。先ず、固定
ブッシュ１３は前記コイルスプリング３と前記スリーブ
１２の開口縁にある内向きの鍔１２ａとの間に納めら
れ、その外側面には、前記導電ワイヤー５の進退方向に
向って螺回する断面略半円形状の溝１３ｂが設けられて
おり、又前記スリーブ１２には所定の個所に該溝１３ｂ
と連通する凹部１２ｂが開設されている。そして前記凹
部１２ｂと溝１３ｂとを連絡するように小球１２ｃが回
動可能に前記凹部１２ｂと溝１３ｂとで構成される空間
に位置付けされている。Therefore, the sleeve 12 and the fixed bush 13 of the conductive wire 5 will be described. First, the fixed bush 13 is housed between the coil spring 3 and the inward flange 12a at the opening edge of the sleeve 12, and the outer surface of the fixed bush 13 is screwed in the advancing / retreating direction of the conductive wire 5. A groove 13b having a substantially semicircular cross section is provided, and the sleeve 12 has the groove 13b at a predetermined position.
A recess 12b communicating with is opened. A small ball 12c is rotatably positioned in a space defined by the recess 12b and the groove 13b so as to connect the recess 12b and the groove 13b.
【００１５】尚、かかる実施例においては前記固定ブッ
シュ１３の外側面に設けられた溝１３ｂをスリーブ１２
の内側面に前記第一の実施例同様該スリーブ１２の長さ
方向に向って、螺回状に設け、又、該スリーブ１２に設
けられている凹部１２ｂを固定ブッシュ１３の外側面に
設け、前記スリーブ１２の溝と固定ブッシュ１３に設け
られた凹部とにより構成される空間に小球１２ｃを位置
付けすることもある。In this embodiment, the groove 13b provided on the outer surface of the fixed bush 13 is formed in the sleeve 12
In the same manner as in the first embodiment, the inner surface of the sleeve 12 is provided in a spiral shape in the longitudinal direction of the sleeve 12, and the recess 12b provided in the sleeve 12 is provided on the outer surface of the fixed bush 13. The small ball 12c may be positioned in a space defined by the groove of the sleeve 12 and the recess provided in the fixed bush 13.
【００１６】[0016]
【発明の効果】この発明は、叙上の構成を有しているこ
とにより、以下の効果を奏しうる。EFFECTS OF THE INVENTION The present invention has the above-described structure, so that the following effects can be obtained.
【００１７】プランジャーを０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍ
の極細径の線状体たる導電ワイヤーとし、しかも該導電
ワイヤーの先端を凸球面状とすることにより、ピッチが
狭少であり且つ通常粗面とされる検査対象物の端子等に
対しても、導電ワイヤー先端の追随性が良く充分な接触
抵抗を得ることが可能であり、正確な測定をなすことが
できる。又、導電ワイヤーの先端は凸球面状であるため
検査対象物の端子等への押圧による損傷を回避すること
が可能である。The plunger is 0.1 mm to 0.05 mm
The conductive wire which is a wire body having an extremely small diameter, and the tip of the conductive wire is formed into a convex spherical surface, so that the pitch is narrow and the terminal is usually roughened. Since the tip of the conductive wire has good followability, a sufficient contact resistance can be obtained, and accurate measurement can be performed. Further, since the tip of the conductive wire has a convex spherical shape, it is possible to avoid damage caused by pressing the inspection object to the terminal or the like.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】この発明の典型的な一実施例を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a typical embodiment of the present invention.
【図２】この発明の他の実施例を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図３】従来の技術を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional technique.
【図４】この発明の導電ワイヤーの接触状態を示す拡大
断面図。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a contact state of the conductive wire of the present invention.
【図５】従来の技術の導電ワイヤーの接触状態を示す拡
大断面図。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a contact state of a conventional conductive wire.
【符号の説明】 １ コンタクトプローブ ２ スリーブ ３ スプリング ４ ターミナル ５ 導電ワイヤー ５ａ 凸球面状部 ６ 固定ブッシュ ７ ガイドチューブ ８ ガイドチューブ固定ブッシュ ９ ハウジング １０ ソケット １１ コンタクトプローブ １２ スリーブ １２ｂ 凹部 １２ｃ 小球 １３ 固定ブッシュ １４ 検査対象物の端子[Explanation of reference symbols] 1 contact probe 2 sleeve 3 spring 4 terminal 5 conductive wire 5a convex spherical portion 6 fixing bush 7 guide tube 8 guide tube fixing bush 9 housing 10 socket 11 contact probe 12 sleeve 12b recess 12c small ball 13 fixing bush 14 Terminal of inspection object
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１[Name of item to be corrected] Figure 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１】 [Figure 1]
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図２[Name of item to be corrected] Figure 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図２】 [Fig. 2]
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図３[Name of item to be corrected] Figure 3
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図３】 [Figure 3]
Claims (2)
導電ワイヤーが、このスリーブ内に内装されているコイ
ルスプリングによって該突き出し側に向けて常時付勢さ
れていると共にこの導電ワイヤーが前記付勢に抗して螺
退状に押しもどされるコンタクトプローブであって、前
記スリーブから突き出されている前記導電ワイヤーの直
径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであり、且つ該導電ワイ
ヤーの先端が凸球面状とされていることを特徴とするコ
ンタクトプローブ。1. A conductive wire having one end protruding from a sleeve is constantly urged toward the protruding side by a coil spring installed in the sleeve, and the conductive wire is urged to the urging direction. A contact probe that is pushed back in a screw-back manner, wherein the diameter of the conductive wire protruding from the sleeve is 0.1 mm to 0.05 mm, and the tip of the conductive wire has a convex spherical shape. A contact probe characterized in that
側面又はこのブッシュの納まっているスリーブの内側面
のいずれか一方に前記導電ワイヤーの動作方向に螺回す
る溝が設けられており、他方のブッシュの外側面又はス
リーブの内側面にはこの溝に係合する小球が納まる小孔
が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のコ
ンタクトプローブ。2. A groove for screwing in the operating direction of the conductive wire is provided on either the outer side surface of the bush to which the conductive wire is fixed or the inner side surface of the sleeve in which the bush is housed, and the other side of the bush is provided. The contact probe according to claim 1, wherein the outer surface of the bush or the inner surface of the sleeve is provided with a small hole for accommodating a small ball engaging with the groove.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31397592A JPH06324079A (en) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | Contact probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31397592A JPH06324079A (en) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | Contact probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324079A true JPH06324079A (en) | 1994-11-25 |
Family
ID=18047737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31397592A Pending JPH06324079A (en) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | Contact probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06324079A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023084888A1 (en) * | 2021-11-12 | 2023-05-19 | 株式会社村田製作所 | Measurement probe |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831336U (en) * | 1971-08-23 | 1973-04-17 | ||
| JPH0471248A (en) * | 1990-07-11 | 1992-03-05 | Nec Kyushu Ltd | Measuring probe |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP31397592A patent/JPH06324079A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831336U (en) * | 1971-08-23 | 1973-04-17 | ||
| JPH0471248A (en) * | 1990-07-11 | 1992-03-05 | Nec Kyushu Ltd | Measuring probe |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2023084888A1 (en) * | 2021-11-12 | 2023-05-19 | 株式会社村田製作所 | Measurement probe |
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