JPH06324011A - ガス監視装置 - Google Patents
ガス監視装置Info
- Publication number
- JPH06324011A JPH06324011A JP10945493A JP10945493A JPH06324011A JP H06324011 A JPH06324011 A JP H06324011A JP 10945493 A JP10945493 A JP 10945493A JP 10945493 A JP10945493 A JP 10945493A JP H06324011 A JPH06324011 A JP H06324011A
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- Japan
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- gas
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- stages
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- multiplexer
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 多数のガスセンサを用いたガス監視装置にお
いて、設備コストの低減を図る。 【構成】 ６４個のガスセンサＡ１〜Ａ６４と１個のＡ
Ｄ変換器Ｃ１１との間に、８個の１段目のマルチプレク
サＢ１１〜Ｂ１８と１個の２段目のマルチプレクサＢ２
１とを配置し、１段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８
と２段目のマルチプレクサＢ２１とを所定の順序で切換
える。
いて、設備コストの低減を図る。 【構成】 ６４個のガスセンサＡ１〜Ａ６４と１個のＡ
Ｄ変換器Ｃ１１との間に、８個の１段目のマルチプレク
サＢ１１〜Ｂ１８と１個の２段目のマルチプレクサＢ２
１とを配置し、１段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８
と２段目のマルチプレクサＢ２１とを所定の順序で切換
える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス監視装置に関し、
特に、多数のガスセンサを用いて半導体製造工場等の漏
洩ガスを監視するガス監視装置に関する。
特に、多数のガスセンサを用いて半導体製造工場等の漏
洩ガスを監視するガス監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場等では、種々の特殊ガス
を用いているが、これらのガスは、有毒もしくは燃焼性
のものが多いので、工場内に複数のガスセンサを設けて
ガス濃度を監視し、万一、これらのガスが漏洩した際に
は、迅速に避難したり、消火したりできるようにして作
業者の安全を確保している。
を用いているが、これらのガスは、有毒もしくは燃焼性
のものが多いので、工場内に複数のガスセンサを設けて
ガス濃度を監視し、万一、これらのガスが漏洩した際に
は、迅速に避難したり、消火したりできるようにして作
業者の安全を確保している。
【０００３】図２は、従来のガス監視装置の一例を示す
もので、所定の監視区域に設けた多数、例えば６４個の
ガスセンサＡ１〜Ａ６４と、該多数のガスセンサからの
アナログ信号を択一に選択する複数、例えば８個のマル
チプレクサＢ１〜Ｂ８と、該複数のマルチプレクサを介
して出力される前記ガスセンサからのアナログ信号をデ
ジタル信号に変換する複数、例えば８個のＡＤ変換器Ｃ
１〜Ｃ８と、該ＡＤ変換器から出力されるデジタル信号
を演算処理してガス濃度を表示する信号処理回路（図示
せず）とにより構成されている。このように、近時のガ
ス監視装置においては、コンピューターによりデータを
処理するため、ＡＤ変換器が不可欠なものとなってい
る。
もので、所定の監視区域に設けた多数、例えば６４個の
ガスセンサＡ１〜Ａ６４と、該多数のガスセンサからの
アナログ信号を択一に選択する複数、例えば８個のマル
チプレクサＢ１〜Ｂ８と、該複数のマルチプレクサを介
して出力される前記ガスセンサからのアナログ信号をデ
ジタル信号に変換する複数、例えば８個のＡＤ変換器Ｃ
１〜Ｃ８と、該ＡＤ変換器から出力されるデジタル信号
を演算処理してガス濃度を表示する信号処理回路（図示
せず）とにより構成されている。このように、近時のガ
ス監視装置においては、コンピューターによりデータを
処理するため、ＡＤ変換器が不可欠なものとなってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、マルチ
プレクサを使用することにより、多数のガスセンサから
の信号を複数の出力信号にまとめることはできるが、マ
ルチプレクサを一段で用いただけでは、該マルチプレク
サの数に応じてＡＤ変換器を設置する必要があり、ガス
センサの設置数の増加に伴い、高価なＡＤ変換器の数も
増す必要がある。
プレクサを使用することにより、多数のガスセンサから
の信号を複数の出力信号にまとめることはできるが、マ
ルチプレクサを一段で用いただけでは、該マルチプレク
サの数に応じてＡＤ変換器を設置する必要があり、ガス
センサの設置数の増加に伴い、高価なＡＤ変換器の数も
増す必要がある。
【０００５】例えば、前記図２に示すように、６４個の
ガスセンサに対して８点切換え式のマルチプレクサを使
用したときには、８個のＡＤ変換器が必要になり、ガス
センサの設置数が１〜８個増すごとに、マルチプレクサ
とＡＤ変換器とを増設する必要がある。したがって、高
価なＡＤ変換器を多数用意する必要があり、これが設備
コストを上昇させる一因となっていた。
ガスセンサに対して８点切換え式のマルチプレクサを使
用したときには、８個のＡＤ変換器が必要になり、ガス
センサの設置数が１〜８個増すごとに、マルチプレクサ
とＡＤ変換器とを増設する必要がある。したがって、高
価なＡＤ変換器を多数用意する必要があり、これが設備
コストを上昇させる一因となっていた。
【０００６】そこで本発明は、ＡＤ変換器に比べて安価
なマルチプレクサを使用することにより、略同条件での
ガス監視能力を備えながら、設備コストの大幅な低減を
図れるガス監視装置を提供することを目的としている。
なマルチプレクサを使用することにより、略同条件での
ガス監視能力を備えながら、設備コストの大幅な低減を
図れるガス監視装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明のガス監視装置は、監視区域に設けた多数
のガスセンサと、該ガスセンサからのアナログ信号をデ
ジタル信号に変換するＡＤ変換器とを備えたガス監視装
置において、前記多数のガスセンサからの信号を複数段
に配置したマルチプレクサを介して前記ＡＤ変換器に接
続したことを特徴としている。
ため、本発明のガス監視装置は、監視区域に設けた多数
のガスセンサと、該ガスセンサからのアナログ信号をデ
ジタル信号に変換するＡＤ変換器とを備えたガス監視装
置において、前記多数のガスセンサからの信号を複数段
に配置したマルチプレクサを介して前記ＡＤ変換器に接
続したことを特徴としている。
【０００８】
【作 用】上記構成によれば、多数のガスセンサの出力
信号を、最終的に１個のマルチプレクサからの出力にま
とめることができるので、高価なＡＤ変換器は、１個だ
け設置すればよい。例えば、８点切換えマルチプレクサ
を２段接続した場合は、６４個のガスセンサに対して１
個のＡＤ変換器でよく、さらに、３段接続した場合は、
５１２個のガスセンサにも対応することが可能である。
信号を、最終的に１個のマルチプレクサからの出力にま
とめることができるので、高価なＡＤ変換器は、１個だ
け設置すればよい。例えば、８点切換えマルチプレクサ
を２段接続した場合は、６４個のガスセンサに対して１
個のＡＤ変換器でよく、さらに、３段接続した場合は、
５１２個のガスセンサにも対応することが可能である。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を、図面に示す一実施例に基づ
いてさらに詳細に説明する。図１は、８点切換えマルチ
プレクサを２段接続した実施例を示すもので、監視区域
に設けた６４個のガスセンサＡ１〜Ａ６４からのアナロ
グ信号を、２段のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８，Ｂ２
１を介して１個のＡＤ変換器Ｃ１１でデジタル信号に変
換して信号処理回路に入力し、ガス濃度を監視するよう
に構成したものである。
いてさらに詳細に説明する。図１は、８点切換えマルチ
プレクサを２段接続した実施例を示すもので、監視区域
に設けた６４個のガスセンサＡ１〜Ａ６４からのアナロ
グ信号を、２段のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８，Ｂ２
１を介して１個のＡＤ変換器Ｃ１１でデジタル信号に変
換して信号処理回路に入力し、ガス濃度を監視するよう
に構成したものである。
【００１０】本実施例に示すガス監視装置は、上記６４
個のガスセンサＡ１〜Ａ６４と１個のＡＤ変換器Ｃ１１
との間に、８個の１段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１
８と１個の２段目のマルチプレクサＢ２１とを配置した
ものであって、前記６４個のガスセンサＡ１〜Ａ６４
を、８個ずつのグループに区分けし、各グループ内の８
個のガスセンサを、それぞれ１段目のマルチプレクサＢ
１１〜Ｂ１８の入力部に接続するとともに、該１段目の
マルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８からの８本の出力を、２
段目のマルチプレクサＢ２１の入力部に接続し、該２段
目のマルチプレクサＢ２１からの出力をＡＤ変換器Ｃ１
１に入力するように構成されている。
個のガスセンサＡ１〜Ａ６４と１個のＡＤ変換器Ｃ１１
との間に、８個の１段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１
８と１個の２段目のマルチプレクサＢ２１とを配置した
ものであって、前記６４個のガスセンサＡ１〜Ａ６４
を、８個ずつのグループに区分けし、各グループ内の８
個のガスセンサを、それぞれ１段目のマルチプレクサＢ
１１〜Ｂ１８の入力部に接続するとともに、該１段目の
マルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８からの８本の出力を、２
段目のマルチプレクサＢ２１の入力部に接続し、該２段
目のマルチプレクサＢ２１からの出力をＡＤ変換器Ｃ１
１に入力するように構成されている。
【００１１】また、本実施例装置には、各マルチプレク
サＢ１１〜Ｂ１８，Ｂ２１を制御するための制御部Ｄが
設けられている。この制御部Ｄは、１段目のマルチプレ
クサＢ１１〜Ｂ１８と２段目のマルチプレクサＢ２１と
を、所定の順序で切換えて各ガスセンサＡ１〜Ａ６４か
らの信号を信号処理回路に送出すもので、例えば、図１
に示すように、１段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８
及び２段目のマルチプレクサＢ２１のそれぞれのデータ
読取り位置が、図において最上部にあるときには、ガス
センサＡ１からの信号（アナログ信号）が１段目のマル
チプレクサＢ１１及び２段目のマルチプレクサＢ２１を
介してＡＤ変換器Ｃ１１に入力され、デジタル信号に変
換されて信号処理回路に送出される。
サＢ１１〜Ｂ１８，Ｂ２１を制御するための制御部Ｄが
設けられている。この制御部Ｄは、１段目のマルチプレ
クサＢ１１〜Ｂ１８と２段目のマルチプレクサＢ２１と
を、所定の順序で切換えて各ガスセンサＡ１〜Ａ６４か
らの信号を信号処理回路に送出すもので、例えば、図１
に示すように、１段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８
及び２段目のマルチプレクサＢ２１のそれぞれのデータ
読取り位置が、図において最上部にあるときには、ガス
センサＡ１からの信号（アナログ信号）が１段目のマル
チプレクサＢ１１及び２段目のマルチプレクサＢ２１を
介してＡＤ変換器Ｃ１１に入力され、デジタル信号に変
換されて信号処理回路に送出される。
【００１２】この状態で、マルチプレクサＢ１１のデー
タ読取り位置を順次切換えれば、該マルチプレクサＢ１
１に接続されている８個のガスセンサＡ１〜Ａ８からの
信号を処理することができ、次いで、２段目のマルチプ
レクサＢ２１のデータ読取り位置を２段目にしてマルチ
プレクサＢ１２を順次切換えて行けば、該マルチプレク
サＢ１２に接続されている８個のガスセンサＡ９〜Ａ１
６からの信号を処理することができる。以下同様に、１
段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８と２段目のマルチ
プレクサＢ２１とを切換えていくことにより、６４個全
てのガスセンサＡ１〜Ａ６４からの信号を処理すること
ができる。なお、制御部Ｄは、通常は、信号処理回路内
に組み込まれており、所定の順序で各ガスセンサＡ１〜
Ａ６４からの信号を処理するように構成されている。
タ読取り位置を順次切換えれば、該マルチプレクサＢ１
１に接続されている８個のガスセンサＡ１〜Ａ８からの
信号を処理することができ、次いで、２段目のマルチプ
レクサＢ２１のデータ読取り位置を２段目にしてマルチ
プレクサＢ１２を順次切換えて行けば、該マルチプレク
サＢ１２に接続されている８個のガスセンサＡ９〜Ａ１
６からの信号を処理することができる。以下同様に、１
段目のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８と２段目のマルチ
プレクサＢ２１とを切換えていくことにより、６４個全
てのガスセンサＡ１〜Ａ６４からの信号を処理すること
ができる。なお、制御部Ｄは、通常は、信号処理回路内
に組み込まれており、所定の順序で各ガスセンサＡ１〜
Ａ６４からの信号を処理するように構成されている。
【００１３】上記のように、６４個のガスセンサＡ１〜
Ａ６４に対し、９個のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８，
Ｂ２１と１個のＡＤ変換器Ｃ１１とを組み合わせてガス
監視装置を構成し、安価なマルチプレクサを効果的に配
置して高価なＡＤ変換器の数を減らすことにより、前記
従来装置に比べて装置コストを約半分にすることが可能
となる。
Ａ６４に対し、９個のマルチプレクサＢ１１〜Ｂ１８，
Ｂ２１と１個のＡＤ変換器Ｃ１１とを組み合わせてガス
監視装置を構成し、安価なマルチプレクサを効果的に配
置して高価なＡＤ変換器の数を減らすことにより、前記
従来装置に比べて装置コストを約半分にすることが可能
となる。
【００１４】なお、使用するガスセンサは、目的とする
ガスの種類に応じて適宜最適なものを選定すればよく、
マルチプレクサ，ＡＤ変換器，信号処理回路等の各機器
も、適宜最適なものを選択することが可能であり、従来
からこの種の装置に用いられているものをそのまま使用
することができるので、これらの詳細な説明は省略す
る。
ガスの種類に応じて適宜最適なものを選定すればよく、
マルチプレクサ，ＡＤ変換器，信号処理回路等の各機器
も、適宜最適なものを選択することが可能であり、従来
からこの種の装置に用いられているものをそのまま使用
することができるので、これらの詳細な説明は省略す
る。
【００１５】また、本発明は、上記実施例に限るもので
はなく、ガスセンサの設置数に応じてマルチプレクサを
３段階以上にすることも可能である。また、ガスセンサ
の数や検出するガスの種類等に応じて、上記構成の系統
を２系統以上設けることもできる。
はなく、ガスセンサの設置数に応じてマルチプレクサを
３段階以上にすることも可能である。また、ガスセンサ
の数や検出するガスの種類等に応じて、上記構成の系統
を２系統以上設けることもできる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス監視
装置は、多数のガスセンサからの信号を複数段に配置し
たマルチプレクサにより集約してＡＤ変換器に入力する
ようにしたから、高価なＡＤ変換器の所用数を低減する
ことができ、装置コストの低減が図れる。
装置は、多数のガスセンサからの信号を複数段に配置し
たマルチプレクサにより集約してＡＤ変換器に入力する
ようにしたから、高価なＡＤ変換器の所用数を低減する
ことができ、装置コストの低減が図れる。
【図１】 本発明のガス監視装置の一実施例を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】 従来のガス監視装置の一例を示すブロック図
である。
である。
Ａ１〜Ａ６４…ガスセンサ、Ｂ１１〜Ｂ１８，Ｂ２１…
マルチプレクサ、Ｃ１１…ＡＤ変換器
マルチプレクサ、Ｃ１１…ＡＤ変換器
Claims (1)
- 【請求項１】 監視区域に設けた多数のガスセンサと、
該ガスセンサからのアナログ信号をデジタル信号に変換
するＡＤ変換器とを備えたガス監視装置において、前記
多数のガスセンサからの信号を複数段に配置したマルチ
プレクサを介して前記ＡＤ変換器に接続したことを特徴
とするガス監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10945493A JPH06324011A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | ガス監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10945493A JPH06324011A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | ガス監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324011A true JPH06324011A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=14510650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10945493A Pending JPH06324011A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | ガス監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06324011A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4898003A (en) * | 1987-10-30 | 1990-02-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Automobile air conditioner |
-
1993
- 1993-05-11 JP JP10945493A patent/JPH06324011A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4898003A (en) * | 1987-10-30 | 1990-02-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Automobile air conditioner |
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