JPH06323820A - ３次元形状測定方法 - Google Patents
３次元形状測定方法Info
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- JPH06323820A JPH06323820A JP10954593A JP10954593A JPH06323820A JP H06323820 A JPH06323820 A JP H06323820A JP 10954593 A JP10954593 A JP 10954593A JP 10954593 A JP10954593 A JP 10954593A JP H06323820 A JPH06323820 A JP H06323820A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２つ以上のスリット光を必要とせず、被測定
物ステージに対する被測定物の姿勢を変えて３次元形状
の測定ができ、しかも被測定物の姿勢を高い精度で変換
しなくても正確な測定ができるようにする。 【構成】 被測定物ステージ10に対する被測定物11の姿
勢を複数の状態に変え、各姿勢状態において、被測定物
11の位置を変えながら、テレビカメラ14で光切断線15を
撮像して、被測定物11の３次元形状データを求める。被
測定物11の１つの面11a に、スリット光13を反射しない
３つのマーク18を付けておき、各姿勢状態において、被
測定物11の３次元形状データを求める際に、スリット光
像の切れ目をマーク18として検出し、３つのマーク18の
位置から、そのときの被測定物11の姿勢データを求め、
各姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の姿勢
状態における被測定物11の３次元形状データを合成する
ことにより、被測定物11の３次元形状を求める。
物ステージに対する被測定物の姿勢を変えて３次元形状
の測定ができ、しかも被測定物の姿勢を高い精度で変換
しなくても正確な測定ができるようにする。 【構成】 被測定物ステージ10に対する被測定物11の姿
勢を複数の状態に変え、各姿勢状態において、被測定物
11の位置を変えながら、テレビカメラ14で光切断線15を
撮像して、被測定物11の３次元形状データを求める。被
測定物11の１つの面11a に、スリット光13を反射しない
３つのマーク18を付けておき、各姿勢状態において、被
測定物11の３次元形状データを求める際に、スリット光
像の切れ目をマーク18として検出し、３つのマーク18の
位置から、そのときの被測定物11の姿勢データを求め、
各姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の姿勢
状態における被測定物11の３次元形状データを合成する
ことにより、被測定物11の３次元形状を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光切断法を用いた３
次元形状測定方法に関する。
次元形状測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、光切断法を用いた３次元形状測
定装置の１例を示している。
定装置の１例を示している。
【０００３】図４において、(10)は被測定物(11)が固定
される被測定物ステージ、(12)は被測定物(11)にスリッ
ト光(13)を照射するためのスリット光源装置、(14)はス
リット光(13)を含む平面に対して所定の角度を有して設
置され、被測定物(11)の表面に形成された光切断線(15)
を撮像するためのテレビカメラ（２次元撮像装置）であ
る。このような測定装置における形状測定は、たとえば
次のように行われる。すなわち、被測定物(11)をステー
ジ(10)に所定の姿勢になるように固定し、ステージ(10)
の上下方向の移動と垂直軸を中心とする回転を行って被
測定物(11)の位置を変え、複数の各被測定物位置におい
て、被測定物(11)に光源装置(12)からスリット光(13)を
照射し、このスリット光(13)が被測定物(11)に当たって
形成される光切断線(15)をテレビカメラ(14)で撮像し、
テレビカメラ(14)の画面座標系における光切断線像の２
次元画像データを、変換位置データを用いて、スリット
光面を含む測定座標系における光切断線(15)の２次元形
状データに変換し、複数の被測定物位置における光切断
線(15)の２次元形状データを合成することにより、測定
座標系における被測定物の３次元形状データを求める。
される被測定物ステージ、(12)は被測定物(11)にスリッ
ト光(13)を照射するためのスリット光源装置、(14)はス
リット光(13)を含む平面に対して所定の角度を有して設
置され、被測定物(11)の表面に形成された光切断線(15)
を撮像するためのテレビカメラ（２次元撮像装置）であ
る。このような測定装置における形状測定は、たとえば
次のように行われる。すなわち、被測定物(11)をステー
ジ(10)に所定の姿勢になるように固定し、ステージ(10)
の上下方向の移動と垂直軸を中心とする回転を行って被
測定物(11)の位置を変え、複数の各被測定物位置におい
て、被測定物(11)に光源装置(12)からスリット光(13)を
照射し、このスリット光(13)が被測定物(11)に当たって
形成される光切断線(15)をテレビカメラ(14)で撮像し、
テレビカメラ(14)の画面座標系における光切断線像の２
次元画像データを、変換位置データを用いて、スリット
光面を含む測定座標系における光切断線(15)の２次元形
状データに変換し、複数の被測定物位置における光切断
線(15)の２次元形状データを合成することにより、測定
座標系における被測定物の３次元形状データを求める。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように光源装置
(3) から水平な横スリット光(13)だけを照射して測定を
行う場合、被測定物(11)の垂直方向の稜線は決定される
が、水平方向の稜線を決定することはできず、したがっ
て、被測定物(11)全体の３次元形状を求めることができ
ない。
(3) から水平な横スリット光(13)だけを照射して測定を
行う場合、被測定物(11)の垂直方向の稜線は決定される
が、水平方向の稜線を決定することはできず、したがっ
て、被測定物(11)全体の３次元形状を求めることができ
ない。
【０００５】被測定物(11)全体の３次元形状を求めるた
めには、上記のように横スリット光(13)を照射して３次
元形状データの合成を行った後に、図４に鎖線で示すよ
うな垂直な縦スリット光(16)を照射し、縦スリット光(1
6)により被測定物(11)の表面に形成された光切断線を縦
スリット光(16)を含む平面に対して所定の角度を有して
設置されたテレビカメラ(19)により撮像して、横スリッ
ト光(13)のときと同様に３次元形状データの合成を行
い、これらの３次元形状データを合成することにより被
測定物(11)の３次元形状を求める必要がある。しかしな
がら、このようにするには、２つのスリット光(13)(16)
を照射する光源装置(12)と、各スリット光(13)(16)を撮
像するための２台のテレビカメラ(14)(19)が必要であ
り、装置が複雑になる。
めには、上記のように横スリット光(13)を照射して３次
元形状データの合成を行った後に、図４に鎖線で示すよ
うな垂直な縦スリット光(16)を照射し、縦スリット光(1
6)により被測定物(11)の表面に形成された光切断線を縦
スリット光(16)を含む平面に対して所定の角度を有して
設置されたテレビカメラ(19)により撮像して、横スリッ
ト光(13)のときと同様に３次元形状データの合成を行
い、これらの３次元形状データを合成することにより被
測定物(11)の３次元形状を求める必要がある。しかしな
がら、このようにするには、２つのスリット光(13)(16)
を照射する光源装置(12)と、各スリット光(13)(16)を撮
像するための２台のテレビカメラ(14)(19)が必要であ
り、装置が複雑になる。
【０００６】光源装置(12)からは横スリット光(13)だけ
を照射し、上記のように３次元形状データの合成を行っ
た後に、ステージ(10)に対する被測定物(11)の姿勢を変
えて、同様に３次元形状データの合成を行い、これらの
３次元形状データを合成することによっても、被測定物
(11)全体の３次元形状を求めることができる。しかしな
がら、この場合は、ステージ(10)に対する被測定物(11)
の姿勢変換に高い精度が要求され、装置が複雑になるば
かりでなく、精度の高い測定が困難である。
を照射し、上記のように３次元形状データの合成を行っ
た後に、ステージ(10)に対する被測定物(11)の姿勢を変
えて、同様に３次元形状データの合成を行い、これらの
３次元形状データを合成することによっても、被測定物
(11)全体の３次元形状を求めることができる。しかしな
がら、この場合は、ステージ(10)に対する被測定物(11)
の姿勢変換に高い精度が要求され、装置が複雑になるば
かりでなく、精度の高い測定が困難である。
【０００７】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
被測定物ステージに対する被測定物の姿勢を変えて３次
元形状の測定ができ、２つ以上のスリット光を必要とせ
ず、しかも被測定物の姿勢変換に高い精度が要求されな
い３次元形状測定方法を提供することにある。
被測定物ステージに対する被測定物の姿勢を変えて３次
元形状の測定ができ、２つ以上のスリット光を必要とせ
ず、しかも被測定物の姿勢変換に高い精度が要求されな
い３次元形状測定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明による３次元形
状測定方法は、被測定物を被測定物ステージに一定の姿
勢になるように固定し、しかも被測定物ステージに対す
る被測定物の姿勢を複数の状態に変え、各姿勢状態にお
いて、被測定物ステージを少なくとも移動させて被測定
物の位置を変え、各被測定物位置において、被測定物に
スリット光源装置からスリット光を照射し、このスリッ
ト光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線を
２次元撮像装置で撮像し、２次元撮像装置の画面座標系
における光切断線像の２次元画像データを、変換位置デ
ータを用いて、スリット光面を含む測定座標系における
光切断線の２次元形状データに変換し、複数の被測定物
位置における光切断線の２次元形状データを合成するこ
とにより、測定座標系における被測定物の３次元形状デ
ータを求め、複数の姿勢状態における被測定物の３次元
形状データを合成することにより、測定座標系における
被測定物の３次元形状を求める３次元形状測定方法であ
って、各姿勢状態においてスリット光が照射される被測
定物の１つの面に、スリット光を反射しない３つのマー
クを付けておき、各姿勢状態において、被測定物の３次
元形状データを求める際に、スリット光像の切れ目をマ
ークとして検出し、３つのマークの位置から、そのとき
の被測定物ステージに対する被測定物の姿勢データを求
め、各姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の
姿勢状態における被測定物の３次元形状データを合成す
ることにより、被測定物の３次元形状を求めることを特
徴とするものである。
状測定方法は、被測定物を被測定物ステージに一定の姿
勢になるように固定し、しかも被測定物ステージに対す
る被測定物の姿勢を複数の状態に変え、各姿勢状態にお
いて、被測定物ステージを少なくとも移動させて被測定
物の位置を変え、各被測定物位置において、被測定物に
スリット光源装置からスリット光を照射し、このスリッ
ト光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線を
２次元撮像装置で撮像し、２次元撮像装置の画面座標系
における光切断線像の２次元画像データを、変換位置デ
ータを用いて、スリット光面を含む測定座標系における
光切断線の２次元形状データに変換し、複数の被測定物
位置における光切断線の２次元形状データを合成するこ
とにより、測定座標系における被測定物の３次元形状デ
ータを求め、複数の姿勢状態における被測定物の３次元
形状データを合成することにより、測定座標系における
被測定物の３次元形状を求める３次元形状測定方法であ
って、各姿勢状態においてスリット光が照射される被測
定物の１つの面に、スリット光を反射しない３つのマー
クを付けておき、各姿勢状態において、被測定物の３次
元形状データを求める際に、スリット光像の切れ目をマ
ークとして検出し、３つのマークの位置から、そのとき
の被測定物ステージに対する被測定物の姿勢データを求
め、各姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の
姿勢状態における被測定物の３次元形状データを合成す
ることにより、被測定物の３次元形状を求めることを特
徴とするものである。
【０００９】
【作用】被測定物の面に付けたマークにスリット光が当
たったとき、マークはスリット光を反射しないので、マ
ークはスリット光像の切れ目として検出され、そのとき
の被測定物ステージの位置からマークの位置が求められ
る。複数の各姿勢状態において、被測定物ステージに対
する被測定物の姿勢にかかわらず、被測定物の面の３つ
のマークの位置を求めることによって、被測定物ステー
ジに対する被測定物の姿勢が正確に求められる。そし
て、複数の姿勢状態におけるマークの位置が一致するよ
うに、複数の姿勢状態において求めた３次元形状データ
を合成することにより、被測定物の３次元形状が求めら
れる。被測定物の姿勢を変えて３次元形状データを求め
るので、１つのスリット光だけで被測定物の垂直、水平
両方向の稜線を含む３次元形状を求めることができる。
また、被測定物の姿勢にかかわらず、３つのマークの位
置を求めることによって、被測定物の姿勢が正確に求め
られ、このようにして求めた被測定物の姿勢データを用
いて、複数の姿勢状態における３次元形状データの合成
ができるので、被測定物の姿勢変換に高い精度が不要で
ある。
たったとき、マークはスリット光を反射しないので、マ
ークはスリット光像の切れ目として検出され、そのとき
の被測定物ステージの位置からマークの位置が求められ
る。複数の各姿勢状態において、被測定物ステージに対
する被測定物の姿勢にかかわらず、被測定物の面の３つ
のマークの位置を求めることによって、被測定物ステー
ジに対する被測定物の姿勢が正確に求められる。そし
て、複数の姿勢状態におけるマークの位置が一致するよ
うに、複数の姿勢状態において求めた３次元形状データ
を合成することにより、被測定物の３次元形状が求めら
れる。被測定物の姿勢を変えて３次元形状データを求め
るので、１つのスリット光だけで被測定物の垂直、水平
両方向の稜線を含む３次元形状を求めることができる。
また、被測定物の姿勢にかかわらず、３つのマークの位
置を求めることによって、被測定物の姿勢が正確に求め
られ、このようにして求めた被測定物の姿勢データを用
いて、複数の姿勢状態における３次元形状データの合成
ができるので、被測定物の姿勢変換に高い精度が不要で
ある。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１１】図１および図２は３次元形状測定装置を用
いた形状測定の概要を示しており、図３のフローチャー
トは形状測定の手順の概要を示している。
いた形状測定の概要を示しており、図３のフローチャー
トは形状測定の手順の概要を示している。
【００１２】図１および図２において、光源装置(12)か
らは、横スリット光(13)だけが照射される。被測定物(1
1)は直方体状をなし、その１つの面(11a) に、スリット
光(13)を反射しない３つのマーク(18)が付けられてい
る。マーク(18)は、たとえば、スリット光(13)を反射し
ない適当な材料を被測定物(11)に固着することにより、
またはスリット光(13)を反射しない適当な塗料などを被
測定物(11)に塗布することにより、設けられる。これら
のマーク(18)は、後述するように被測定物(11)をステー
ジ(10)に固定して位置を変えたときに、いずれかの位置
においてスリット光(13)が照射される面に形成される。
なお、図１の姿勢における被測定物(11)の垂直方向の稜
線(11b) を垂直稜線、水平方向の稜線(11c) を水平稜線
ということにする。(17)はテレビカメラ(14)の出力であ
る光切断線像の２次元画像データから被測定物(11)の３
次元形状を求めるためのデータ処理装置であり、たとえ
ばマイクロコンピュータによって構成されている。他は
図４の場合と同様であり、同じ部分には同一の符号を付
している。
らは、横スリット光(13)だけが照射される。被測定物(1
1)は直方体状をなし、その１つの面(11a) に、スリット
光(13)を反射しない３つのマーク(18)が付けられてい
る。マーク(18)は、たとえば、スリット光(13)を反射し
ない適当な材料を被測定物(11)に固着することにより、
またはスリット光(13)を反射しない適当な塗料などを被
測定物(11)に塗布することにより、設けられる。これら
のマーク(18)は、後述するように被測定物(11)をステー
ジ(10)に固定して位置を変えたときに、いずれかの位置
においてスリット光(13)が照射される面に形成される。
なお、図１の姿勢における被測定物(11)の垂直方向の稜
線(11b) を垂直稜線、水平方向の稜線(11c) を水平稜線
ということにする。(17)はテレビカメラ(14)の出力であ
る光切断線像の２次元画像データから被測定物(11)の３
次元形状を求めるためのデータ処理装置であり、たとえ
ばマイクロコンピュータによって構成されている。他は
図４の場合と同様であり、同じ部分には同一の符号を付
している。
【００１３】上記の測定装置において、被測定物(11)の
３次元形状の測定は次のように行われる。
３次元形状の測定は次のように行われる。
【００１４】まず、１つの面(11a) に３つのマーク(18)
を付けた被測定物(11)を図１に示すような姿勢になるよ
うにステージ(10)に固定する（ステップ１）。この姿勢
状態を第１の姿勢状態ということにする。この際、後述
するようにステージ(10)を移動および回転させて被測定
物(11)の位置を変えたときに、いずれかの位置において
マーク(18)のある面(11a) にスリット光(13)が照射され
るように、被測定物(11)を固定する。そして、第１の姿
勢状態において、測定座標系における被測定物(11)の３
次元形状データおよび姿勢データを求める（ステップ
２）。すなわち、ステージ(10)の上下方向の移動と垂直
軸を中心とする回転を行って被測定物(11)の位置を変
え、各被測定物位置において、被測定物(11)に光源装置
(12)からスリット光(13)を照射し、このスリット光(13)
が被測定物(11)の表面に当たって形成される光切断線(1
5)をテレビカメラ(14)で撮像し、テレビカメラ(14)の画
面座標系における光切断線像の２次元画像データを、変
換位置データを用いて、スリット光面を含む測定座標系
における光切断線(15)の２次元形状データに変換し、複
数の被測定物位置における光切断線(15)の２次元形状デ
ータを合成することにより、測定座標系における被測定
物(11)の３次元形状データを求める。なお、このような
３次元形状データを求める手順は公知であるから、詳細
な説明は省略する。また、この際に、マーク(18)のある
面(11a) にスリット光(13)が照射されている間に、スリ
ット光像の切れ目をマーク(18)として検出し、３つのマ
ーク(18)の位置から、そのときのステージ(10)に対する
被測定物(11)の姿勢データを求める。被測定物(11)の面
(11a) に付けたマーク(18)にスリット光(13)が当たった
とき、マーク(18)はスリット光(13)を反射しないので、
マーク(18)はスリット光像の切れ目として検出され、そ
のときのステージ(10)の位置からマーク(18)の位置が求
められる。被測定物(11)の姿勢にかかわらず、３つのマ
ーク(18)の位置を求めることによって、ステージ(10)に
対する被測定物(11)の姿勢が正確に求められる。第１の
姿勢状態における３次元形状データが求められたなら
ば、被測定物(11)の姿勢を変えて、これを図２に示すよ
うな姿勢になるようにステージ(10)に固定する（ステッ
プ３）。この姿勢状態を第２の姿勢状態ということにす
る。この際も、いずれかの位置においてマーク(18)のあ
る面(11a) にスリット光(13)が照射されるように、被測
定物(11)を固定する。そして、第２の姿勢状態におい
て、前記同様、測定座標系における被測定物(11)の３次
元形状データおよび姿勢データを求める（ステップ
４）。そして、２つの姿勢状態における姿勢データに基
づいて、２つの姿勢状態における被測定物(11)の３次元
形状データを合成することにより、被測定物(11)の３次
元形状を求める（ステップ５）。すなわち、２つの姿勢
状態におけるマーク(18)の位置が一致するように、２つ
の姿勢状態において求めた３次元形状データを合成す
る。
を付けた被測定物(11)を図１に示すような姿勢になるよ
うにステージ(10)に固定する（ステップ１）。この姿勢
状態を第１の姿勢状態ということにする。この際、後述
するようにステージ(10)を移動および回転させて被測定
物(11)の位置を変えたときに、いずれかの位置において
マーク(18)のある面(11a) にスリット光(13)が照射され
るように、被測定物(11)を固定する。そして、第１の姿
勢状態において、測定座標系における被測定物(11)の３
次元形状データおよび姿勢データを求める（ステップ
２）。すなわち、ステージ(10)の上下方向の移動と垂直
軸を中心とする回転を行って被測定物(11)の位置を変
え、各被測定物位置において、被測定物(11)に光源装置
(12)からスリット光(13)を照射し、このスリット光(13)
が被測定物(11)の表面に当たって形成される光切断線(1
5)をテレビカメラ(14)で撮像し、テレビカメラ(14)の画
面座標系における光切断線像の２次元画像データを、変
換位置データを用いて、スリット光面を含む測定座標系
における光切断線(15)の２次元形状データに変換し、複
数の被測定物位置における光切断線(15)の２次元形状デ
ータを合成することにより、測定座標系における被測定
物(11)の３次元形状データを求める。なお、このような
３次元形状データを求める手順は公知であるから、詳細
な説明は省略する。また、この際に、マーク(18)のある
面(11a) にスリット光(13)が照射されている間に、スリ
ット光像の切れ目をマーク(18)として検出し、３つのマ
ーク(18)の位置から、そのときのステージ(10)に対する
被測定物(11)の姿勢データを求める。被測定物(11)の面
(11a) に付けたマーク(18)にスリット光(13)が当たった
とき、マーク(18)はスリット光(13)を反射しないので、
マーク(18)はスリット光像の切れ目として検出され、そ
のときのステージ(10)の位置からマーク(18)の位置が求
められる。被測定物(11)の姿勢にかかわらず、３つのマ
ーク(18)の位置を求めることによって、ステージ(10)に
対する被測定物(11)の姿勢が正確に求められる。第１の
姿勢状態における３次元形状データが求められたなら
ば、被測定物(11)の姿勢を変えて、これを図２に示すよ
うな姿勢になるようにステージ(10)に固定する（ステッ
プ３）。この姿勢状態を第２の姿勢状態ということにす
る。この際も、いずれかの位置においてマーク(18)のあ
る面(11a) にスリット光(13)が照射されるように、被測
定物(11)を固定する。そして、第２の姿勢状態におい
て、前記同様、測定座標系における被測定物(11)の３次
元形状データおよび姿勢データを求める（ステップ
４）。そして、２つの姿勢状態における姿勢データに基
づいて、２つの姿勢状態における被測定物(11)の３次元
形状データを合成することにより、被測定物(11)の３次
元形状を求める（ステップ５）。すなわち、２つの姿勢
状態におけるマーク(18)の位置が一致するように、２つ
の姿勢状態において求めた３次元形状データを合成す
る。
【００１５】２つの各姿勢状態において、ステージ(10)
に対する被測定物(11)の姿勢にかかわらず、３つのマー
ク(18)の位置を求めることによって、ステージ(10)に対
する被測定物(11)の姿勢が正確に求められる。そして、
２つの姿勢状態におけるマーク(18)の位置が一致するよ
うに、２つの姿勢状態において求めた３次元形状データ
を合成することにより、被測定物(11)の３次元形状が求
められる。第１の姿勢状態においては被測定物(11)の垂
直稜線(11b) を含む３次元形状データが求められ、第２
の姿勢状態においては被測定物(11)の水平稜線(11c) を
含む３次元形状データが求められるので、１つのスリッ
ト光(13)だけで被測定物(11)の垂直、水平両方向の稜線
(11b)(11c)を含む３次元形状を求めることができる。ま
た、被測定物(11)の姿勢にかかわらず、３つのマーク(1
8)の位置を求めることによって、被測定物(11)の姿勢が
正確に求められ、このようにして求めた被測定物(11)の
姿勢データを用いて、２つの姿勢状態における３次元形
状データの合成ができるので、被測定物(11)の姿勢変換
に高い精度が不要である。
に対する被測定物(11)の姿勢にかかわらず、３つのマー
ク(18)の位置を求めることによって、ステージ(10)に対
する被測定物(11)の姿勢が正確に求められる。そして、
２つの姿勢状態におけるマーク(18)の位置が一致するよ
うに、２つの姿勢状態において求めた３次元形状データ
を合成することにより、被測定物(11)の３次元形状が求
められる。第１の姿勢状態においては被測定物(11)の垂
直稜線(11b) を含む３次元形状データが求められ、第２
の姿勢状態においては被測定物(11)の水平稜線(11c) を
含む３次元形状データが求められるので、１つのスリッ
ト光(13)だけで被測定物(11)の垂直、水平両方向の稜線
(11b)(11c)を含む３次元形状を求めることができる。ま
た、被測定物(11)の姿勢にかかわらず、３つのマーク(1
8)の位置を求めることによって、被測定物(11)の姿勢が
正確に求められ、このようにして求めた被測定物(11)の
姿勢データを用いて、２つの姿勢状態における３次元形
状データの合成ができるので、被測定物(11)の姿勢変換
に高い精度が不要である。
【００１６】
【発明の効果】この発明の３次元形状測定方法によれ
ば、上述のように、１つのスリット光だけを使用して、
被測定物の姿勢を変えて３次元形状の測定ができ、しか
も被測定物の姿勢を高い精度で変換しなくても、正確な
測定ができる。このため、装置が簡単になり、測定も容
易になる。
ば、上述のように、１つのスリット光だけを使用して、
被測定物の姿勢を変えて３次元形状の測定ができ、しか
も被測定物の姿勢を高い精度で変換しなくても、正確な
測定ができる。このため、装置が簡単になり、測定も容
易になる。
【図１】この発明の実施例を示す３次元形状測定装置の
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図２】図１と異なる状態の３次元形状測定装置を示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図３】３次元形状測定の手順の１例を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図４】通常の３次元形状測定装置を示す概略斜視図で
ある。
ある。
(10) 被測定物ステージ (11) 被測定物 (11a) 被測定物の面 (12) スリット光源装置 (13) スリット光 (14) テレビカメラ（２次元撮像装置） (15) 光切断線 (17) データ処理装置 (18) マーク
Claims (1)
- 【請求項１】被測定物を被測定物ステージに一定の姿勢
になるように固定し、しかも被測定物ステージに対する
被測定物の姿勢を複数の状態に変え、各姿勢状態におい
て、被測定物ステージを少なくとも移動させて被測定物
の位置を変え、各被測定物位置において、被測定物にス
リット光源装置からスリット光を照射し、このスリット
光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線を２
次元撮像装置で撮像し、２次元撮像装置の画面座標系に
おける光切断線像の２次元画像データを、変換位置デー
タを用いて、スリット光面を含む測定座標系における光
切断線の２次元形状データに変換し、複数の被測定物位
置における光切断線の２次元形状データを合成すること
により、測定座標系における被測定物の３次元形状デー
タを求め、複数の姿勢状態における被測定物の３次元形
状データを合成することにより、測定座標系における被
測定物の３次元形状を求める３次元形状測定方法であっ
て、 各姿勢状態においてスリット光が照射される被測定物の
１つの面に、スリット光を反射しない３つのマークを付
けておき、各姿勢状態において、被測定物の３次元形状
データを求める際に、スリット光像の切れ目をマークと
して検出し、３つのマークの位置から、そのときの被測
定物ステージに対する被測定物の姿勢データを求め、各
姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の姿勢状
態における被測定物の３次元形状データを合成すること
により、被測定物の３次元形状を求めることを特徴とす
る３次元形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10954593A JPH06323820A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | ３次元形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10954593A JPH06323820A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | ３次元形状測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323820A true JPH06323820A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=14512970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10954593A Withdrawn JPH06323820A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | ３次元形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06323820A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100733396B1 (ko) * | 2006-03-17 | 2007-06-29 | 주식회사 솔루션닉스 | 3차원 측정 데이터 획득장치 및 방법 |
| CN104006762A (zh) * | 2014-06-03 | 2014-08-27 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 获取物体三维信息的方法、装置和系统 |
| JP2017083234A (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-18 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測システム、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、および三次元形状計測方法 |
| RU2706806C2 (ru) * | 2017-05-22 | 2019-11-21 | Яков Борисович Ландо | Способ бесконтактного измерения трехмерных объектов с помощью тени от тонкого стержня или нити |
-
1993
- 1993-05-11 JP JP10954593A patent/JPH06323820A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100733396B1 (ko) * | 2006-03-17 | 2007-06-29 | 주식회사 솔루션닉스 | 3차원 측정 데이터 획득장치 및 방법 |
| CN104006762A (zh) * | 2014-06-03 | 2014-08-27 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 获取物体三维信息的方法、装置和系统 |
| JP2017083234A (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-18 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測システム、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、および三次元形状計測方法 |
| RU2706806C2 (ru) * | 2017-05-22 | 2019-11-21 | Яков Борисович Ландо | Способ бесконтактного измерения трехмерных объектов с помощью тени от тонкого стержня или нити |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000801 |