JPH0632329Y2

JPH0632329Y2 - 研削盤の顕微鏡保護装置

Info

Publication number: JPH0632329Y2
Application number: JP1987068031U
Authority: JP
Inventors: 元夫吉田; 勇川嶋; 孝久政井
Original assignee: 株式会社岡本工作機械製作所
Priority date: 1987-05-07
Filing date: 1987-05-07
Publication date: 1994-08-24
Anticipated expiration: 2002-05-07
Also published as: JPS63176062U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野この考案は、ダイシングマシン、スライシングマシン等
と称せられてワーク観察用の顕微鏡を備えた研削盤の顕
微鏡保護装置に関する。

従来の技術例えば、ダイシングマシンにおいては、二つの対物レン
ズを備えた顕微鏡によりワークを観察し、この観察結果
に基づいてワークの向きを調整するような顕微鏡の使い
方がある。しかし、ブレードと称する砥石によりワーク
を加工する時の切粉や冷却水が顕微鏡の対物レンズに付
着するため、顕微鏡による観察が行い難く、また、対物
レンズに傷が付き易い。

このため、ワーク加工中に、対物レンズにキヤツプを被
せたり、ブレードと顕微鏡との間に遮蔽物を設けたりし
ている。

考案が解決しようとする問題点しかし、対物レンズにキヤツプを被せる方法は、ワーク
と対物レンズとの間隔が狭いためキヤツプの着脱が困難
で、ワークに傷を付けるおそれもある。両者の間隔を開
けてキヤツプを着脱することは、観察の都度対物レンズ
の焦点調節を行わなければならないので極めて煩わし
い。

また、遮蔽物を設けたものについて、遮蔽物が硬い板状
のものである場合は、テーブルをブレード及び対物レン
ズの下を移動させるために遮蔽物の下端とワークとの間
に間隔を開けておかなければならない。これにより、対
物レンズをワーク上の切粉な冷却水から確実に遮断する
ことができない。遮蔽物がカーテンのように柔らかいも
のであれば、その遮蔽物の裾をテーブルの上面に接触さ
せてもテーブルの移動を許容することができるが、この
反面、遮蔽物に付着する切粉がワークに接触しワークに
傷が付く等の問題が有る。

問題点を解決するための手段ワークを保持するテーブルと、それぞれこのテーブルに
対して相対的に移動するスピンドル及び顕微鏡と、前記
スピンドルと一体的に回転するブレードとを有する研削
盤において、前記顕微鏡側から前記ワーク及び前記ブレ
ードに向けて水を噴出するノズルを前記顕微鏡の近傍に
設けた。

作用高速回転するブレードにより発生する空気流でワークの
表面が不均一に乾燥しやすいものであるが、ノズルから
水をブレード及びワークに向けて噴出させることによ
り、ワークの冷却とブレードの潤滑とを相乗的に行なわ
せてワークの冷却を有効に行なうとともにブレードの潤
滑をも良好に行なわせることができ、また、ワークの表
面には一定の厚さの水による流体膜が常に流れた状態で
存在することになつてワーク上を均一に濡らすことがで
き、この流体膜に異物を浮かせて流すことにより切粉等
の異物がワークの表面に付着するのを防止することがで
き、これにより、半導体チツプを製作する等の製造工程
における不良の発生率をきわめて低くすることができ、
また、ノズルから噴出する水は顕微鏡側からブレード及
びワークに向けられているため、冷却水や切粉が顕微鏡
の対物レンズに付着することを防止し、これにより、対
物レンズを冷却水や切粉から有効に保護する。

実施例この考案の一実施例をダイシングマシンを例として図面
に基づいて説明する。まず、第３図ないし第５図に全体
の構造を示す。１は本体で、この本体１には透明なカバ
ー（図示せず）によつて開閉される加工室２が形成さ
れ、この加工室２にはシリコンウエハ等のワーク３を保
持するテーブル４と、ブレード５が固定されたスピンド
ル６と、顕微鏡７と、この顕微鏡７を駆動する顕微鏡駆
動部８と、操作パネル９とが設けられている。この操作
パネル９にはスピンドル６の回転数を調節する摘み１０
と、スピンドル６の回転数を表示する表示部１１と、テ
ーブル４の左右方向の移動速度を調節する摘み１２と、
テーブル４の左右方向の移動速度を表示する表示部１３
と、デイスプレイ１４とが設けられている。

そして、第１図及び第２図に示すように、スピンドル６
は上下方向（Ｚ方向）及び前後方向（Ｙ方向）に位置変
更自在であり、テーブル４は左右方向（Ｘ方向）及び回
転方向（Ｂ方向）に移動自在である。また、顕微鏡駆動
部８には、焦点調整のため顕微鏡７を上下方向（Ｚ方
向）へ移動させる摘み１５と、顕微鏡７の上下方向の動
作を固定するロツク摘み１６と、顕微鏡７を前後方向
（Ｙ方向）に移動させる摘み１７と、顕微鏡７の前後方
向の動作を固定するロツク摘み１８とが設けられてい
る。また、顕微鏡７は、二つの対物レンズ１９，２０
と、接眼レンズ２１と、カメラ装着部２２とを有する。
なお、スピンドル６及びブレード５の上部はカバー２３
により覆われている。

しかして、顕微鏡７の側面にはノズル２４とこのノズル
２４を給水パイプ２５に接続する接続部２６とが固定さ
れている。このノズル２４には水を下方に向けるととも
に扇形に拡散する拡散孔２７が形成されている。

このような構成において、ワーク３のダイシング加工を
例として作用を説明する。まず、ワーク３について説明
する。ワーク３はシリコンウエハに多数の印刷回路とこ
れらの印刷回路の境界をなす多数のストリートとを形成
したもので、ストリートは碁盤目状に縦横に形成されて
いる。また、ワーク３は破損し易いので裏面が粘着テー
プに接着されている。この粘着テープはワーク３の外径
より大きく、その外周には環状のマウントリングが接着
されている。そして、このマウントリングをクランプ
（図示せず）によつてテーブル４に固定する。次いで、
テーブル４を右方へ移動させてワーク３を顕微鏡７の対
物レンズ１９，２０の真下に位置させ、摘み１７を操作
して顕微鏡７を前後方向へ移動させて対物レンズ１９，
２０をワーク３の所定の部分に対向させ、摘み１５を操
作して顕微鏡７を上下方向に移動させてワーク３に対す
る対物レンズ１９，２０の焦点距離を調整し、この状態
で接眼レンズ２１からワーク３のストリートの方向を観
察する。対物レンズ１９に対向する部分はデイスプレイ
１４の左半分に表示され、対物レンズ２０に対向する部
分はデイスプレイ１４の右半分に表示される。そして、
テーブル４を旋回方向に移動させるとともに、摘み１８
を操作して顕微鏡７を前後方向へ移動させてデイスプレ
イ１４上で電子ライン（ヘアライン）を上下方向に移動
させながらワーク３のストリートとデイスプレイ１４上
の電子ラインとを一致させ、これをチヤンネル１とし、
次いでテーブル４を９０度回転させ、摘み１８を操作し
て顕微鏡７を前後方向へ移動させてデイスプレイ１４上
で電子ラインを上下方向に移動させながらワーク３のス
トリートとデイスプレイ１４上の電子ラインとを一致さ
せ、これをチヤンネル２とする。

そして、チヤンネル２についての加工に移る。すなわ
ち、ワーク３に対するスピンドル６の高さを設定してこ
のスピンドル６をブレード５とともに回転させ、テーブ
ル４を左右方向へ往復動させることにより、ワーク３に
左右方向に沿う一条のスリツトが形成される。この操作
をスピンドル６を前後方向に等間隔で移動させる度毎に
繰り返すことにより、ワーク３に左右方向に沿う複数本
のスリツトが平行に形成される。次にチヤンネル１につ
いての加工を行う。すなわち、テーブル４を回転方向に
９０度回転させることにより今形成された複数本のスリ
ツトと直交するスリツトを形成するが、ワーク３とスピ
ンドル６との動作は前述した動作と同様である。

この間、ノズル２４から水が噴出されるため、切粉や冷
却水が対物レンズ１９，２０に付着することがない。こ
のため、顕微鏡７を上方へ退却させる必要がない。これ
により、同じ厚さのワーク３を加工する限り、ワーク３
に対して対物レンズ１９，２０の焦点調整を一度行え
ば、テーブル４にワーク３をセツトする度に対物レンズ
１９，２０の焦点調整を行う必要がない。

考案の効果この考案は上述のように、ワークを保持するテーブル
と、それぞれこのテーブルに対して相対的に移動するス
ピンドル及び顕微鏡と、前記スピンドルと一体的に回転
するブレードとを有する研削盤において、前記顕微鏡側
から前記ワーク及び前記ブレードに向けて水を噴出する
ノズルを前記顕微鏡の近傍に設けたので、高速回転する
ブレードにより発生する空気流でワークの表面が不均一
に乾燥しやすいものであるが、ノズルから水をブレード
及びワークに向けて噴出させることにより、ワークの冷
却とブレードの潤滑とを相乗的に行なわせてワークの冷
却を有効に行なうとともにブレードの潤滑をも良好に行
なわせることができ、また、ワークの表面には一定の厚
さの水による流体膜が常に流れた状態で存在することに
なつてワーク上を均一に濡らすことができ、この流体膜
に異物を浮かせて流すことにより切粉等の異物がワーク
の表面に付着するのを防止することができ、これによ
り、半導体チツプを製作する等の製造工程における不良
の発生率をきわめて低くすることができ、また、ノズル
から噴出する水は顕微鏡側からブレード及びワークに向
けられているため、冷却水や切粉が顕微鏡の対物レンズ
に付着することを防止し、これにより、対物レンズを冷
却水や切粉から有効に保護することができる等の効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１図は一部
を断面にして要部を示す正面図、第２図は要部の平面
図、第３図は全体の構造を示す正面図、第４図はその側
面図、第５図はその平面図である。３…ワーク、４…テーブル、５…ブレード、６…スピン
ドル、７…顕微鏡、２４…ノズル

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ワークを保持するテーブルと、それぞれこ
のテーブルに対して相対的に移動するスピンドル及び顕
微鏡と、前記スピンドルと一体的に回転するブレードと
を有する研削盤において、前記顕微鏡側から前記ワーク
及び前記ブレードに向けて水を噴出するノズルを前記顕
微鏡の近傍に設けたことを特徴とする研削盤の顕微鏡保
護装置。