JPH06320338A - Electric discharge machining electrode and electric discharge machine - Google Patents

Electric discharge machining electrode and electric discharge machine

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JPH06320338A
JPH06320338A JP13538093A JP13538093A JPH06320338A JP H06320338 A JPH06320338 A JP H06320338A JP 13538093 A JP13538093 A JP 13538093A JP 13538093 A JP13538093 A JP 13538093A JP H06320338 A JPH06320338 A JP H06320338A
Authority
JP
Japan
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electric discharge
electrode
discharge machining
voltage
vibration
Prior art date
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Pending
Application number
JP13538093A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasutarou Miyatani
保太朗 宮谷
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP13538093A priority Critical patent/JPH06320338A/en
Publication of JPH06320338A publication Critical patent/JPH06320338A/en
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an electric discharge machining electrode, capable of vibrating, which can be easily used in an electric discharge machine. CONSTITUTION:A piezoelectric ceramic layer 2 and internal electrodes 3a, 3b are alternately laminated, to constitute a layered product, and the internal electrodes 3a, 3b,..., laminated on every other layer, are conducted in the inside of the layered product and connected to a chuck mounting part 4. The internal electrodes 3b, 3b..., laminated on every other layer, are conducted in the inside of the layered product and drawn out from an electrode take out port 5 to the outside of the electrodes by a lead wire.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は放電加工用電極及び放電
加工機に関する。具体的には、型彫り放電加工に用いる
放電加工用電極及びその電極を使用するための放電加工
機に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric discharge machining electrode and an electric discharge machine. Specifically, the present invention relates to an electric discharge machining electrode used for die-sinking electric discharge machining and an electric discharge machine for using the electrode.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電極消耗率を減少させ加工速度を
向上させるために放電加工用電極を振動させることがで
きる型彫り放電加工用の放電加工機がある(例えば19
91年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
p.443〜444)。図5は、その放電加工機Cの一
部破断した概略構造図であって、放電加工機Cのスピン
ドル31には電極振動部32が装着されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is an electric discharge machine for die-sinking electric discharge machining which can vibrate the electrode for electric discharge machining in order to reduce the electrode wear rate and improve the machining speed (for example, 19
Proceedings of the 91st Spring Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
p. 443-444). FIG. 5 is a schematic structural diagram in which the electric discharge machine C is partially broken, and an electrode vibrating section 32 is attached to a spindle 31 of the electric discharge machine C.

【0003】電極振動部32は、電極36に加える振動
を発生させるための複合加振器33と複合加振器33に
電圧を印加するための電源34,35等から構成されて
いる。しかして、複合加振器33は、電源34により交
流電圧を印加されれば一定の周波数flで縦振動を発生
し、電源35により交流電圧を印加されれば一定の周波
数fbでたわみ振動を発生する。また、電源34,35
から同時に交流電圧を印加されれば、周波数flの縦振
動及び周波数fbのたわみ振動が複合された複合振動を
発生し、複合加振器33の先端に取り付けられた電極3
6を上下左右に振動させることができる。
The electrode vibrating section 32 is composed of a composite vibration exciter 33 for generating vibration applied to the electrode 36, and power sources 34, 35 for applying a voltage to the composite vibration exciter 33. Thus, the composite vibrator 33 generates longitudinal vibration at a constant frequency f 1 when an AC voltage is applied by the power source 34, and flexural vibration at a constant frequency f b when an AC voltage is applied by the power source 35. To occur. In addition, the power supplies 34, 35
If an AC voltage is applied simultaneously from the electrode 3 attached to the tip of the composite vibrator 33, a composite vibration is generated by combining the longitudinal vibration with the frequency f l and the flexural vibration with the frequency f b.
6 can be vibrated vertically and horizontally.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造をした放電加工機Cにあっては、電極36を上
下左右に振動させるための電極振動部32を必要とし、
複合加振器33や加振用の電源34,35等を設ける必
要があった。
However, the electric discharge machine C having such a structure requires the electrode vibrating portion 32 for vibrating the electrode 36 vertically and horizontally.
It was necessary to provide the composite shaker 33, the power supplies 34 and 35 for vibration, and the like.

【0005】したがって、従来の放電加工機に電極振動
部32のような電極加振装置を導入する場合には、加振
装置を新たに購入するのはもちろんのこと、電極取り付
け部の取り替え若しくは全面的な改良を必要としてい
た。また、加振用の電源等を新たに設ける必要があり、
多大なコストを要していた。
Therefore, when an electrode vibrating device such as the electrode vibrating part 32 is introduced into a conventional electric discharge machine, it is needless to say that the vibrating device is newly purchased, or the electrode mounting part is replaced or the entire surface is replaced. Needed to be improved. In addition, it is necessary to newly install a power source for vibration,
It cost a lot of money.

【0006】さらに、電極加振装置や加振用の電源等の
ために従来の放電加工機に比べ大型化し複雑化するとい
う問題もあった。
Further, there is a problem that the electrode vibrating device, the power source for vibrating, etc. are larger and more complicated than the conventional electric discharge machine.

【0007】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、簡単に放電
加工用電極を振動させながら行なえる放電加工方法を提
供することにある。
The present invention has been made in view of the drawbacks of the above conventional examples, and an object of the present invention is to provide an electric discharge machining method which can be easily performed while vibrating an electric discharge machining electrode. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の放電加工用電極
は、圧電セラミックス及び該圧電セラミックスに電界を
印加するための内部電極を交互に積層し、前記積層した
内部電極を一層おきに導通した積層体から構成されたこ
とを特徴としている。
In the electric discharge machining electrode of the present invention, piezoelectric ceramics and internal electrodes for applying an electric field to the piezoelectric ceramics are alternately laminated, and the laminated internal electrodes are electrically connected every other layer. It is characterized by being composed of a laminated body.

【0009】また、前記内部電極を一層おきに導通する
ための外部電極を積層体の側面に設け、前記外部電極を
絶縁体で覆うことにしてもよい。
It is also possible to provide an external electrode on each side of the laminated body for electrically connecting the internal electrode to every other layer, and cover the external electrode with an insulator.

【0010】本発明の第1の放電加工機は、請求項1若
しくは請求項2に記載の放電加工用電極と、当該放電加
工用電極を振動させるための電圧を印加する加振用電源
と、放電加工を行なうための電圧を印加する放電加工用
電源とを設けたことを特徴としている。
A first electric discharge machine according to the present invention comprises an electric discharge machining electrode according to claim 1 or 2, and a vibration power source for applying a voltage for vibrating the electric discharge machining electrode. It is characterized in that a power supply for electric discharge machining for applying a voltage for electric discharge machining is provided.

【0011】本発明の第2の放電加工機は、請求項1若
しくは請求項2に記載の放電加工用電極と、当該放電加
工用電極を振動させるとともに放電加工を行なうための
電圧を印加する電源とを設けたことを特徴としている。
A second electric discharge machine according to the present invention is an electric discharge machining electrode according to claim 1 or 2, and a power supply for vibrating the electric discharge machining electrode and applying a voltage for performing electric discharge machining. It is characterized by having and.

【0012】[0012]

【作用】本発明の放電加工用電極は、圧電セラミックス
及び該圧電セラミックスに電界を印加するための内部電
極を交互に積層し、前記積層した内部電極を一層おきに
導通した積層体からなるので、圧電セラミックスを挟む
内部電極間に一定の周波数のパルス電圧若しくは交流電
圧を印加すれば、圧電セラミックスが伸縮して一定の振
動周期で放電加工用電極を上下に振動させることができ
る。
The electric discharge machining electrode of the present invention comprises a laminated body in which piezoelectric ceramics and internal electrodes for applying an electric field to the piezoelectric ceramics are alternately laminated, and the laminated internal electrodes are electrically connected every other layer. When a pulse voltage or an AC voltage having a constant frequency is applied between the internal electrodes sandwiching the piezoelectric ceramic, the piezoelectric ceramic expands and contracts to vertically vibrate the electric discharge machining electrode at a constant vibration cycle.

【0013】したがって、この放電加工用電極にあって
は、圧電セラミックスの伸縮により電極自身が振動する
ため、放電加工用電極を振動させるための加振装置が不
要で、加振用電源を備えるだけでよい。また、従来の放
電加工機にあっても、放電加工用電極に加振用電圧を印
加するための改良を加えるだけで簡単に応用することが
できる。また、放電加工機が大きくなることもなく、複
雑化することもない。
Therefore, in this electric discharge machining electrode, since the electrode itself vibrates due to expansion and contraction of the piezoelectric ceramics, a vibrating device for vibrating the electric discharge machining electrode is unnecessary, and only a vibration power source is provided. Good. Further, even the conventional electric discharge machine can be easily applied only by adding an improvement for applying a vibration voltage to the electric discharge electrode. Further, the electric discharge machine does not become large and does not become complicated.

【0014】さらに、圧電セラミックス自身も放電加工
用電極として作用し、放電を生じさせることができるの
で、従来電極を振動させるだけでは向上しなかった加工
面の表面粗さ、特に電極側面における加工面の表面粗さ
を改善することができ、放電加工用電極の耐摩耗性や耐
腐食性を向上させることができる。
Further, since the piezoelectric ceramics themselves also act as an electrode for electric discharge machining and can generate electric discharge, the surface roughness of the machined surface which has not been improved only by vibrating the electrode in the related art, particularly the machined surface on the side surface of the electrode. The surface roughness of can be improved, and the wear resistance and corrosion resistance of the electric discharge machining electrode can be improved.

【0015】また、内部電極を一層おきに導通するため
の外部電極を積層体の側面に設け、外部電極を絶縁体で
覆うことにすれば、従来の圧電素子を簡単に放電加工用
電極として転用することができる。
Further, by providing external electrodes on the side surface of the laminated body for electrically connecting the internal electrodes every other layer, and covering the external electrodes with an insulator, the conventional piezoelectric element can be easily converted to an electric discharge machining electrode. can do.

【0016】本発明の第1の放電加工機によれば、放電
加工用電極を振動させるための電圧を印加する加振用電
源と、放電加工を行なうための電圧を印加する放電加工
用電源とを設けることにしているので、放電加工用電極
を振動させるための印加電圧を放電加工用の電圧とは別
に印加し、任意の振動周期や任意の振動幅により放電加
工用電極を振動させることができる。したがって、印加
電圧の周波数や電圧を変化させ振動周期や振動幅を調整
することにより、加工速度の向上や電極消耗率の低減あ
るいは加工面の表面粗さなどをより改善することができ
る。
According to the first electric discharge machine of the present invention, a power supply for vibration application for applying a voltage for vibrating the electrode for electric discharge machining, and a power supply for electric discharge machining for applying a voltage for performing electric discharge machining. Therefore, the applied voltage for vibrating the electric discharge machining electrode can be applied separately from the voltage for electric discharge machining, and the electric discharge machining electrode can be vibrated at an arbitrary vibration cycle or arbitrary vibration width. it can. Therefore, by changing the frequency or voltage of the applied voltage and adjusting the vibration period or vibration width, it is possible to improve the processing speed, reduce the electrode wear rate, or improve the surface roughness of the processed surface.

【0017】本発明の第2の放電加工機によれば、放電
加工用電極を振動させるとともに放電加工を行なうため
の電圧を印加する電源とを設けることとしているので、
加振用電源を別個に設ける必要がなく、さらに放電加工
機を小型化することができる。
According to the second electric discharge machine of the present invention, since the electric discharge machining electrode is vibrated and a power supply for applying a voltage for electric discharge machining is provided,
It is not necessary to separately provide a power source for vibration, and the electric discharge machine can be further downsized.

【0018】また、放電加工用電極は放電パルスの発生
と同期して振動することになるので、放電加工用電極は
放電時にしか振動せず、消費電力の軽減、圧電セラミッ
クスの長寿命化を図ることができ、ランニングコストの
軽減を図ることができる。
Further, since the electric discharge machining electrode vibrates in synchronization with the generation of the electric discharge pulse, the electric discharge machining electrode vibrates only during electric discharge, thereby reducing power consumption and extending the life of the piezoelectric ceramic. Therefore, the running cost can be reduced.

【0019】[0019]

【実施例】図1は、本発明の一実施例である放電加工用
の電極1の斜視図である。電極1にあっては、シリコン
系の圧電セラミックス層2とCuなどからなる薄板状の
内部電極3a,3bとを交互に積層して積層体を構成
し、一層おきに積層された内部電極3a,3a,…を積
層体内部で導通し、積層体上端のチャック取り付け部4
に電気的に接続している。また、一層おきに積層された
残りの内部電極3b,3b,…を積層体内部で導通し、
積層体上端面の電極取り出し口5よりリード線(図示せ
ず)等により外部に引き出している。
FIG. 1 is a perspective view of an electrode 1 for electric discharge machining which is an embodiment of the present invention. In the electrode 1, the silicon-based piezoelectric ceramic layers 2 and the thin plate-shaped internal electrodes 3a and 3b made of Cu or the like are alternately laminated to form a laminated body, and the internal electrodes 3a and 3a are laminated every other layer. 3a, ... Are conducted inside the laminated body, and the chuck mounting portion 4 at the upper end of the laminated body
Electrically connected to. Further, the remaining internal electrodes 3b, 3b, ... Which are laminated every other layer are conducted inside the laminated body,
A lead wire (not shown) or the like pulls out from the electrode lead-out port 5 on the upper end surface of the laminate.

【0020】この電極1のチャック取り付け部4を、図
2に示すように放電加工機Aのチャック12に取り付
け、放電加工機Aにセットする。チャック12には、電
源13、電極1に印加する電圧を制御するための制御回
路14、抵抗15などから構成される放電回路17の一
端が接続され、放電回路17の他端は加工ステージ19
に接続されていて、電極1を構成する一層おきの内部電
極3a,3a,…はチャック12及びチャック取り付け
部4を介して放電回路17と電気的に接続され、加工ス
テージ19に載置された被加工物20との間に放電を生
じるようになっている。また、電極1を構成する一層お
きの残りの内部電極3b,3b,…は電極取り出し口5
より引き出されたリード線により、放電加工機Aのスピ
ンドル16から接地回路18に接続されている。
The chuck mounting portion 4 of the electrode 1 is mounted on the chuck 12 of the electric discharge machine A as shown in FIG. 2 and set on the electric discharge machine A. The chuck 12 is connected to one end of a discharge circuit 17 including a power supply 13, a control circuit 14 for controlling the voltage applied to the electrode 1, a resistor 15 and the like, and the other end of the discharge circuit 17 is connected to the processing stage 19.
, Which constitute the electrode 1, are alternately connected to the discharge circuit 17 via the chuck 12 and the chuck mounting portion 4, and are placed on the processing stage 19. An electric discharge is generated between the work piece 20 and the work piece 20. Further, the remaining internal electrodes 3b, 3b, ...
The lead wire pulled out further connects the spindle 16 of the electric discharge machine A to the ground circuit 18.

【0021】しかして、放電回路17を介して、電極1
と被加工物20との間に制御回路14により一定の周波
数f1にパルス制御された放電電圧が印加されると、内
部電極3aと内部電極3bとの間に電圧が印加され、圧
電セラミックス層2は周波数f1で伸縮を生じ、電極1
は上下方向に振動周期1/f1で伸縮振動をする。次い
で電極1を徐々に被加工物20に近づけていくと、電極
1の内部電極3a及び圧電セラミックス層2と被加工物
20との間に放電を生じて、被加工物20は放電加工さ
れる。この放電加工機Aにあっては、電極1の振動周期
は電極1に印加された放電電圧のパルス数の逆数(1/
f1)に等しく、実際の放電加工の周期と等しくなる。
また、電極1の振動幅は、放電エネルギの大きさに比例
することになるので、制御回路14により放電電圧の周
波数f1を変化させ、放電電圧を変化させることによ
り、電極1の振動周期や振動幅を調整することができ
る。
Therefore, the electrode 1 is connected through the discharge circuit 17.
When a discharge voltage pulse-controlled by the control circuit 14 to a constant frequency f1 is applied between the workpiece 20 and the workpiece 20, the voltage is applied between the internal electrode 3a and the internal electrode 3b, and the piezoelectric ceramic layer 2 Causes expansion and contraction at frequency f1
Oscillates vertically with a vibration cycle of 1 / f1. Next, when the electrode 1 is gradually brought closer to the work piece 20, an electric discharge is generated between the work piece 20 and the internal electrode 3a of the electrode 1 and the piezoelectric ceramic layer 2, and the work piece 20 is subjected to electric discharge machining. . In the electric discharge machine A, the vibration cycle of the electrode 1 is the reciprocal of the pulse number of the discharge voltage applied to the electrode 1 (1 /
f1), which is equal to the actual electrical discharge machining cycle.
Further, since the vibration width of the electrode 1 is proportional to the magnitude of the discharge energy, the control circuit 14 changes the frequency f1 of the discharge voltage to change the discharge voltage. The width can be adjusted.

【0022】したがって、この電極1を用いることによ
って、簡単に電極1を振動させながら放電加工すること
ができ、被加工物20の加工面の表面粗さや放電加工機
Aの加工速度を向上させることができる。
Therefore, by using the electrode 1, it is possible to easily perform electric discharge machining while vibrating the electrode 1, and improve the surface roughness of the machined surface of the workpiece 20 and the machining speed of the electric discharge machine A. You can

【0023】また、電極自身を振動させることができな
かった従来の放電加工機において、電極取り出し口5と
接地回路18を接続できるように改良するだけでよく、
放電回路17とは別に加振用電源装置を設ける必要もな
いので、簡単に放電加工機Aのように電極1を用いるこ
とができる。また、電極加振装置等も不要なので、放電
加工機Aは従来の加振放電加工機Cに比べて小型化する
こともできる。
Further, in the conventional electric discharge machine in which the electrode itself could not be vibrated, it is only necessary to improve so that the electrode take-out port 5 and the ground circuit 18 can be connected.
Since it is not necessary to provide a power supply device for vibration separately from the electric discharge circuit 17, the electrode 1 can be easily used like the electric discharge machine A. Further, since the electrode exciting device and the like are not necessary, the electric discharge machine A can be made smaller than the conventional electric discharge machine C for exciter.

【0024】なお、放電加工機Aにおいて接地回路18
を設けずに、内部電極の一方(例えば、内部電極3b)
を電気的に浮かせた状態にしておくこともできる。この
場合には、電極1を徐々に被加工物20に近づけていく
と、電極1と被加工物20との間に放電を開始すると同
時に圧電セラミック層2が伸縮を開始して、被加工物2
0に放電加工がされる。また、電極1を被加工物20か
ら遠ざけると、放電が止まると同時に圧電セラミックス
層2にも電圧が印加されなくなるので、圧電セラミック
ス層2は伸縮を生じず電極1も振動しない。したがっ
て、消費電力の軽減や電極1の寿命を延ばすことがで
き、ランニングコストの低減を図ることができる。
In the electric discharge machine A, the ground circuit 18
One of the internal electrodes without providing (for example, the internal electrode 3b)
Can also be left electrically floating. In this case, when the electrode 1 is gradually brought closer to the work piece 20, discharge is started between the electrode 1 and the work piece 20, and at the same time, the piezoelectric ceramic layer 2 starts to expand and contract, and the work piece is processed. Two
Electric discharge machining is performed at 0. Further, when the electrode 1 is moved away from the workpiece 20, the discharge is stopped and the voltage is not applied to the piezoelectric ceramic layer 2 at the same time, so that the piezoelectric ceramic layer 2 does not expand or contract and the electrode 1 does not vibrate. Therefore, it is possible to reduce the power consumption, extend the life of the electrode 1, and reduce the running cost.

【0025】図3は、電極1を用いた別な放電加工機B
の概略構成図である。電極1のチャック取り付け部4を
放電加工機Bのチャック12に取り付け、放電加工機B
にセットする。チャック12には放電回路17の一端が
接続されていて、電極1の内部電極3a,3a,…には
チャック取り付け部4を介して放電電圧が印加されるよ
うになっている。また、内部電極3a,3bはチャック
取り付け部4及び電極取り出し口5より引き出されたリ
ード線を介して、スピンドル16から駆動回路21に電
気的に接続されている。
FIG. 3 shows another electric discharge machine B using the electrode 1.
2 is a schematic configuration diagram of FIG. Attach the chuck mounting portion 4 of the electrode 1 to the chuck 12 of the electric discharge machine B,
Set to. One end of a discharge circuit 17 is connected to the chuck 12, and a discharge voltage is applied to the internal electrodes 3a, 3a, ... Of the electrode 1 via the chuck mounting portion 4. Further, the internal electrodes 3a and 3b are electrically connected from the spindle 16 to the drive circuit 21 via lead wires drawn out from the chuck mounting portion 4 and the electrode lead-out port 5.

【0026】しかして、加振用電源22から一定の周波
数f2でパルス電圧若しくは交流電圧を印加すると、電
極1の圧電セラミックス層2に電圧を印加することがで
き、電極1は振動周期1/f2で上下に振動を生じる。
一方放電回路17に一定の周波数f1で放電電圧が印加
されると、電極1と被加工物20との間に放電を生じ、
被加工物20が放電加工されることになる。
Therefore, when a pulse voltage or an AC voltage is applied from the excitation power source 22 at a constant frequency f2, the voltage can be applied to the piezoelectric ceramic layer 2 of the electrode 1, and the electrode 1 vibrates with a vibration period of 1 / f2. It causes vibration up and down.
On the other hand, when a discharge voltage is applied to the discharge circuit 17 at a constant frequency f1, a discharge is generated between the electrode 1 and the workpiece 20,
The workpiece 20 is to be electric discharge machined.

【0027】放電加工機Bのように放電回路17と独立
して駆動回路21を設けることにすれば、圧電セラミッ
クス層2を放電とは独立して伸縮させることもできる。
したがって、任意の振動周期1/f2及び任意の振動幅
でもって電極1を上下に振動させながら周波数f1の放
電パルスにより放電加工することができ、より優れた表
面粗さの加工面やより良好な加工速度を得ることができ
る。
If the drive circuit 21 is provided independently of the discharge circuit 17 as in the electric discharge machine B, the piezoelectric ceramic layer 2 can be expanded and contracted independently of the discharge.
Therefore, it is possible to perform the electric discharge machining with the electric discharge pulse of the frequency f1 while vibrating the electrode 1 up and down with an arbitrary vibration period 1 / f2 and an arbitrary vibration width, and to obtain a machined surface having a better surface roughness and a better surface roughness. The processing speed can be obtained.

【0028】また、電極自身を振動させることができな
かった従来の放電加工機においては、電極1のチャック
取り付け部4及び電極取り出し口5から取り出されたリ
ード線と駆動回路21とを接続できるように改良し、加
振用電源22を設けることで電極1を簡単に用いること
ができる。
Further, in the conventional electric discharge machine in which the electrode itself could not be vibrated, the lead wire taken out from the chuck mounting portion 4 of the electrode 1 and the electrode take-out port 5 can be connected to the drive circuit 21. The electrode 1 can be easily used by improving the above and providing a power supply 22 for vibration.

【0029】図4に、本発明の別な実施例である放電加
工用の電極11を示す。電極11は、圧電セラミックス
層2と内部電極3a,3b,…とを交互に積層されて積
層体が構成され、積層体の一方側面に設けられた外部電
極6aによって一層おきに積層された内部電極3a,3
a,…が接続され、積層体の他方側面に設けられた外部
電極6bによって一層おきに積層された残りの内部電極
3b,3b,…が接続されている。また、外部電極6
a,6bの外側は絶縁体7で覆われていて、外部電極6
a,6bはそれぞれリード線8,8により電極11の外
部へ引き出されている。
FIG. 4 shows an electrode 11 for electric discharge machining which is another embodiment of the present invention. The electrode 11 is a laminated body formed by alternately laminating the piezoelectric ceramic layers 2 and the internal electrodes 3a, 3b, ..., And the internal electrodes are laminated every other layer by the external electrode 6a provided on one side surface of the laminated body. 3a, 3
, are connected to each other, and the remaining internal electrodes 3b, 3b, ..., which are stacked every other layer, are connected by the external electrode 6b provided on the other side surface of the stacked body. In addition, the external electrode 6
The outer sides of a and 6b are covered with an insulator 7, and the outer electrode 6
a and 6b are drawn out of the electrode 11 by lead wires 8 and 8, respectively.

【0030】この電極11を図2に示すような放電加工
機Aのチャック12に取り付け、外部電極6aと放電回
路17とを、また、外部電極6bと接地回路18とをリ
ード線8,8によって電気的に接続できるようになって
いる。しかして、放電回路17を介して電極11と被加
工物20との間に制御回路14により一定の周波数f1
にパルス制御された放電電圧を印加すると、圧電セラミ
ックス層2は周波数f1で伸縮し電極11は振動周期1
/f1で上下方向に伸縮振動をする。また、電極11を
被加工物20に近づけていくと、電極11と被加工物2
0との間に放電を生じ、被加工物20は放電加工される
ことになる。
The electrode 11 is attached to the chuck 12 of the electric discharge machine A as shown in FIG. 2, and the external electrode 6a and the electric discharge circuit 17 and the external electrode 6b and the ground circuit 18 are connected by the lead wires 8 and 8. It can be electrically connected. Therefore, the control circuit 14 controls the constant frequency f1 between the electrode 11 and the workpiece 20 through the discharge circuit 17.
When a pulse-controlled discharge voltage is applied to the piezoelectric ceramic layer 2, the piezoelectric ceramic layer 2 expands and contracts at a frequency f1 and the electrode 11 vibrates in a cycle
/ F1 causes stretching vibration in the vertical direction. Further, when the electrode 11 is brought closer to the workpiece 20, the electrode 11 and the workpiece 2
An electric discharge is generated between the electric field and 0, and the workpiece 20 is subjected to electric discharge machining.

【0031】また、図3に示すように放電回路17と独
立した駆動回路21を設けた放電加工機Bのチャック1
2に取り付け、外部電極6a,6bと駆動回路21とを
接続することにしてもよい。
Further, as shown in FIG. 3, the chuck 1 of the electric discharge machine B provided with a drive circuit 21 independent of the electric discharge circuit 17.
The external electrodes 6a and 6b may be connected to the drive circuit 21 by attaching the external electrodes 6a and 6b.

【0032】なお、絶縁体7は積層体の外周全面に施す
ように、外部電極6a,6bの外側だけでなく露出した
積層体の側面にも施すこととしてもよく、さらに絶縁体
7の表面に電極11下端の内部電極3aと導通した電極
部を形成することにしてもよい。
It should be noted that the insulator 7 may be applied not only to the outside of the outer electrodes 6a and 6b, but also to the exposed side surface of the laminate, as on the entire outer periphery of the laminate. You may decide to form the electrode part electrically connected with the internal electrode 3a of the lower end of the electrode 11.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明の放電加工用電極によれば、圧電
セラミックス及び圧電セラミックスに電界を印加するた
めの内部電極を交互に積層し、積層した内部電極を一層
おきに導通しているので、圧電セラミックスに電界を印
加し一定の周波数で伸縮を起こさせ、放電加工用電極を
上下に振動させることができる。
According to the electric discharge machining electrode of the present invention, the piezoelectric ceramics and the internal electrodes for applying an electric field to the piezoelectric ceramics are alternately laminated, and the laminated internal electrodes are electrically connected to each other. An electric field can be applied to the piezoelectric ceramic to cause expansion and contraction at a constant frequency, and the electric discharge machining electrode can be vertically vibrated.

【0034】この放電加工用電極にあっては、放電加工
用電極を振動させるための加振装置が不要で、加振用電
源を設けるだけでよい。したがって、従来の放電加工機
においても、放電加工用電極に加振用電圧を印加するた
めの改良を加えるだけで簡単に応用することができる。
また、放電加工機が大きくなることもなく、複雑化する
こともない。
This electric discharge machining electrode does not require a vibrating device for vibrating the electric discharge machining electrode, and only needs to provide a power supply for vibration. Therefore, even the conventional electric discharge machine can be easily applied only by adding an improvement for applying the vibration voltage to the electric discharge electrode.
Further, the electric discharge machine does not become large and does not become complicated.

【0035】さらに圧電セラミックスを放電加工用電極
として作用させることもできるので、従来放電加工用電
極を振動させるだけでは向上しなかった加工面の表面粗
さを改善することができ、放電加工用電極の耐摩耗性や
耐腐食性を向上させることができる。
Furthermore, since the piezoelectric ceramics can also act as an electric discharge machining electrode, it is possible to improve the surface roughness of the machined surface which has not been improved simply by vibrating the electric discharge machining electrode, and the electric discharge machining electrode can be improved. It is possible to improve the wear resistance and corrosion resistance of the.

【0036】また、内部電極を一層おきに導通するため
の外部電極を積層体の側面に設け、外部電極を絶縁体で
覆うことにしているので、従来の圧電素子を簡単に放電
加工用電極として転用することができる。
Further, since the external electrodes for conducting the internal electrodes every other layer are provided on the side surfaces of the laminate and the external electrodes are covered with the insulator, the conventional piezoelectric element can be easily used as an electrode for electric discharge machining. Can be diverted.

【0037】本発明の第1の放電加工機によれば、加振
用電源と放電加工用電源とを設けることにしているの
で、任意の振動周期や任意の振動幅により放電加工用電
極を振動させることができる。したがって、印加電圧の
周波数や電圧を調整することにより、加工速度の向上や
電極消耗率の低減あるいは加工面の表面粗さなどをより
改善することができる。
According to the first electric discharge machine of the present invention, since the excitation power supply and the electric discharge power supply are provided, the electric discharge electrode is vibrated at an arbitrary vibration cycle and an arbitrary vibration width. Can be made. Therefore, by adjusting the frequency or voltage of the applied voltage, it is possible to improve the processing speed, reduce the electrode wear rate, or improve the surface roughness of the processed surface.

【0038】本発明の第2の放電加工機によれば、放電
加工用電極を振動させるとともに放電加工を行なうため
の電圧を印加する電源とを設けることにしているので、
加振用電源を別個に設ける必要がなく、さらに放電加工
機を小型化することができる。
According to the second electric discharge machine of the present invention, since the electric discharge machining electrode is vibrated and a power supply for applying a voltage for electric discharge machining is provided,
It is not necessary to separately provide a power source for vibration, and the electric discharge machine can be further downsized.

【0039】また、放電加工用電極は放電パルスの発生
と同期して振動することになるので、放電加工用電極は
放電時にしか振動せず、消費電力の軽減、圧電セラミッ
クスの長寿命化を図ることができ、ランニングコストの
軽減を図ることができる。
Further, since the electric discharge machining electrode vibrates in synchronization with the generation of the electric discharge pulse, the electric discharge machining electrode only vibrates at the time of electric discharge, thereby reducing power consumption and extending the life of the piezoelectric ceramic. Therefore, the running cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である放電加工用電極の斜視
図である。
FIG. 1 is a perspective view of an electric discharge machining electrode according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例である放電加工機の概略構成
図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an electric discharge machine that is an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の別な実施例である放電加工機の概略構
成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an electric discharge machine which is another embodiment of the present invention.

【図4】本発明の別な実施例である放電加工用電極の側
面図である。
FIG. 4 is a side view of an electric discharge machining electrode which is another embodiment of the present invention.

【図5】従来例である放電加工機の電極振動部を示す概
略構成図である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an electrode vibrating portion of a conventional electric discharge machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 圧電セラミックス層 3a,3b 内部電極 6a,6b 外部電極 8 リード線 12 チャック 17 放電回路 21 駆動回路 2 Piezoelectric ceramic layers 3a, 3b Internal electrodes 6a, 6b External electrodes 8 Lead wire 12 Chuck 17 Discharge circuit 21 Drive circuit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電セラミックス及び該圧電セラミック
スに電界を印加するための内部電極を交互に積層し、前
記積層した内部電極を一層おきに導通した積層体から構
成されたことを特徴とする放電加工用電極。
1. An electric discharge machine comprising a piezoelectric ceramic and an internal electrode for applying an electric field to the piezoelectric ceramic, which are alternately laminated, and the laminated internal electrodes are electrically connected every other layer. Electrodes.
【請求項2】 前記内部電極を一層おきに導通するため
の外部電極を前記積層体の側面に設け、前記外部電極を
絶縁体で覆ったことを特徴とする請求項1に記載の放電
加工用電極。
2. The electrical discharge machining according to claim 1, wherein external electrodes for electrically connecting the internal electrodes to every other layer are provided on a side surface of the laminated body, and the external electrodes are covered with an insulator. electrode.
【請求項3】 請求項1若しくは請求項2に記載の放電
加工用電極と、当該放電加工用電極を振動させるための
電圧を印加する加振用電源と、放電加工を行なうための
電圧を印加する放電加工用電源とを設けたことを特徴と
する放電加工機。
3. The electric discharge machining electrode according to claim 1 or 2, an excitation power supply for applying a voltage for vibrating the electric discharge machining electrode, and a voltage for performing electric discharge machining. An electric discharge machine equipped with a power supply for electric discharge machining.
【請求項4】 請求項1若しくは請求項2に記載の放電
加工用電極と、当該放電加工用電極を振動させるととも
に放電加工を行なうための電圧を印加する電源とを設け
たことを特徴とする放電加工機。
4. The electric discharge machining electrode according to claim 1 or 2, and a power supply for vibrating the electric discharge machining electrode and applying a voltage for performing electric discharge machining. Electric discharge machine.
JP13538093A 1993-05-12 1993-05-12 Electric discharge machining electrode and electric discharge machine Pending JPH06320338A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100812537B1 (en) * 2007-02-12 2008-03-17 (주)하이탑 Discharge apparatus for melting beat ball of hammer

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