JPH0631583A

JPH0631583A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH0631583A
Application number: JP21466492A
Authority: JP
Inventors: Masanori Yamashita; 正憲山下; Seigo Yamamoto; 誠吾山本
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1992-07-19
Filing date: 1992-07-19
Publication date: 1994-02-08

Abstract

(57)【要約】【目的】自動工具交換機能を有するとともに、フロー
ティング保持機能を有する研磨装置において、研磨工具
のサイズ、形状等に拘らず簡単に最適な研磨液供給状態
を得る。【構成】大径筒体５に形成した研磨液供給路１０ｂの
一端が基部研磨液供給管路１０ａと連通され、他端が大
径筒体５の下面に開口し、研磨工具を保持する保持部６
の上面に上記開口と正対させて先部研磨液供給管路１０
ｃの基部開口を設け、研磨液供給路１０ｂの開口を包囲
する環状突部１０ｄと先部研磨液供給管路の基部開口を
包囲する環状弾性部材１０ｅとを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は研磨装置に関し、さら
に詳細にいえば、回転駆動源に対して研磨工具をフロー
ティング保持できるとともに、研磨対象箇所に研磨液を
供給できる研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から金型みがき等の用途に供される
研磨工具を保持するための装置として、特開平３−１６
６０５３号公報に示すように、回転駆動源の回転力を研
磨工具に伝達するための係合軸をスライド可能かつ突出
方向に付勢された状態で有しているとともに、研磨工具
のケーシングのテーパ状基部と係合可能なテーパ筒部を
有する研磨工具着脱部材をスライド可能に有している構
成のものが提案されている。

【０００３】この構成を採用すれば、研磨工具着脱部材
を強制的にスライドさせることによりテーパ係合による
研磨工具の装着、脱着、即ち、研磨工具の自動着脱を行
なうことができ、しかも研磨工具装着時における回転力
伝達状態をも簡単に達成できる。また、主要部が全て同
心上に配置されているのであるから全体として剛性を高
めることができるとともに、コンパクト化できる。

【０００４】また、このような構成の研磨装置を採用す
る場合には、研磨対象箇所に研磨液を供給するための機
構、具体的には研磨液供給配管を研磨工具を着脱可能に
保持する本体側の所定位置（具体的にはロボットハンド
保持部の所定位置等）に位置決め固定するようにしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の構成を採用した
場合には、装着される研磨工具のサイズ、形状等を考慮
して、研磨作業を行なう可能性がある全範囲に研磨液を
供給できるように研磨液吐出ノズルの形状、位置等を設
定し、および／または研磨液吐出ノズルの数を設定しな
ければならず、研磨液供給管路および研磨液吐出ノズル
を含む研磨液供給機構が全体として複雑化するという不
都合がある。この点についてさらに詳細に説明すると、
上記研磨装置は研磨工具を自由に交換できるのであるか
ら、まっすぐに伸びる研磨工具、全体としてＬ時形の研
磨工具、長尺の研磨工具、短寸の研磨工具のように種々
のサイズ、形状の研磨工具が研磨対象面に合せて選択的
に装着されることになる。そして、研磨工具のサイズ、
形状が上述のように異なれば、研磨工具を着脱可能に装
着する本体側に対する研磨対象面の相対位置が大幅に変
化することになる。したがって、相対位置が大幅に変化
する可能性がある研磨対象面に対して十分に研磨液を供
給するためには、上述のように研磨液吐出ノズルの形
状、位置、数等を設定しなければならないのである。

【０００６】また、研磨液吐出ノズルの形状、位置、数
等を上述のように設定する場合にも、これらは一般的な
研磨動作を考慮して設定されるだけであるから、例えば
特殊な研磨動作を行なうような場合には十分な量の研磨
液を供給できなくなってしまい、研磨液不足に起因する
砥石の目詰りが発生する危険性がある。

【０００７】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、研磨対象面に合せて研磨工具が交換され
た場合であっても必要な箇所に十分な量の研磨液を供給
できる新規な研磨装置を提供することを目的としてい
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項１の研磨装置は、研磨工具のケーシングの
所定位置に研磨液供給管路が固定されてある。請求項２
の研磨装置は、研磨工具着脱部材の所定位置に研磨液供
給管路が開口されているとともに、研磨工具着脱部材の
研磨液供給管路開口と研磨工具のケーシングに固定され
た研磨液供給管路の開口とが研磨工具装着時に互に連通
されるように両開口の相対位置が設定されている。

【０００９】請求項３の研磨装置は、研磨工具着脱部材
の研磨液供給管路開口を包囲する環状突部をさらに有し
ているとともに、研磨工具のケーシングに固定された研
磨液供給管路の開口を包囲する環状弾性部材をさらに有
している。

【００１０】

【作用】請求項１の研磨装置であれば、回転駆動源のケ
ーシングと連結された基部ケーシングの内部に研磨工具
の回転軸と係合して回転駆動源の回転力を研磨工具に伝
達する係合軸をスライド可能かつ突出方向に付勢された
状態で有しているとともに、研磨工具のケーシングのテ
ーパ状基部と係合可能なテーパ筒部を有する研磨工具着
脱部材をスライド可能に有している研磨装置を用いて金
型等の研磨対象物を研磨する場合に、どのようなサイ
ズ、形状の研磨工具が装着されても、研磨液供給管路が
研磨工具の所定位置に固定されてあるので、研磨工具に
基づいて定まる研磨対象領域に十分な量の研磨液を供給
でき、研磨液不足に起因する砥石の目詰りを未然に防止
できる。即ち、研磨液供給管路を本体側ではなく研磨工
具に固定しているのであるから、固定位置は研磨工具の
サイズ、形状に合せて予め最適位置に設定できるので、
研磨対象領域に十分な量の研磨液を供給できる。

【００１１】請求項２の研磨装置であれば、研磨工具着
脱部材の研磨液供給管路開口と研磨工具のケーシングに
固定された研磨液供給管路の開口とが研磨工具装着時に
互に連通されるように両開口の相対位置が設定されてい
るので、研磨工具の装着作業を行なうに当って両開口の
位置調節等を行なう必要がなくなり、しかも研磨工具の
サイズ、形状等に対応して定まる研磨対象領域に十分な
量の研磨液を供給できる。

【００１２】請求項３の研磨装置であれば、研磨工具装
着時に互に連通される両開口に対応させて環状の突部お
よび環状の弾性部材を設けているのであるから、研磨工
具装着時の押し込み力により環状の突部および環状の弾
性部材とを確実に係合させることができ、両研磨液供給
管路同士の確実な連通を達成できる。

【００１３】

【実施例】以下、実施例を示す添付図面によって詳細に
説明する。図１はこの発明の研磨装置の一実施例の要部
を示す正面図、図２は中央縦断面図であり、エア・モー
タ等の回転駆動源１の出力軸１ａに角軸２が一体的に連
結され、角軸２に対して、ばね２ａにより付勢される角
筒３が嵌合されている。そして、角軸２および角筒３を
包囲する二重筒体４が回転駆動源１に対して一体的に連
結されており、二重筒体４の内側部材４ａと外側部材４
ｂとの間隙４ｃに、先端部内面がテーパ面５ａに形成さ
れた大径筒体５がころがり軸受け５ｂを介してスライド
可能に収容されている。また、研磨工具（図示せず）を
保持する保持部６は、基部側に上記テーパ面５ａと係合
するテーパ面６ａが形成されたハウジング６ｂを貫通す
る状態で軸６ｃが支持されており、軸６ｃの基端部側が
上記角軸２と等しい断面形状の角軸６ｄに形成されてい
る。そして、大径筒体５を貫通してテーパ面５ａから内
向きに突出するように付勢されたツール・チェンジャと
しての保持具７が設けられてあるとともに、テーパ面６
ａの所定位置に保持具７の突出先端部を受け入れる凹所
６ｅが形成されてある。尚、８ａは大径筒体５の先端面
所定位置に形成された位置決め穴であり、８ｂはハウジ
ング６ｂの所定位置に設けられた突軸であり、突軸８ｂ
が位置決め穴８ａに係合するように保持部６を挿入する
ことにより、保持具７と凹所６ｅとの相対位置を揃える
ことができる。また、５ｆは二重筒体４の外側部材４ｂ
と大径筒体５との間に設けられた蛇腹であり、研磨屑等
の侵入を確実に阻止できる。さらに、２ｃは角軸２の所
定位置に形成された長溝であり、３ａは角筒３に内向き
に設けられた軸であり、両者の係合により角筒３が強制
的に抜き取られることを防止する。そして、第１エア吐
出流路９ａ、第２エア吐出流路９ｂが二重筒体４の外側
部材４ｂの所定位置（無負荷状態に対応するストローク
エンドに対応する所定位置および過大負荷状態に対応す
るストロークエンドに対応する所定位置）に設けられて
いるとともに、エア吐出流路９ａ，９ｂを選択的に閉塞
する閉塞部材９ｃが大径筒体５の所定位置に設けられて
いる。要部を示す図３を参照しながらさらに詳細に説明
すると、第１エア吐出流路９ａは上向きに開口されてい
るとともに第２エア吐出流路９ｂは下向きに開口されて
おり、大径筒体５の両移動限界位置において例えば板材
等からなる閉塞部材９ｃが対応するエア吐出流路の開口
を閉塞することができる。さらに、テーパ面５ａにおい
て開口するように大径筒体５の所定位置に第３エア吐出
流路９ｊが設けられ、保持部６のテーパ面６ａがテーパ
面５ａと係合することにより第３エア吐出流路９ｊの開
口が閉塞される。

【００１４】図４はエア吐出流路９ａ，９ｂ，９ｊに対
するエア配管を示す概略図であり、両エア吐出流路９
ａ，９ｂに対して共通のエア源９ｄから所定圧力（例え
ば１ｋｇ／ｃｍ²程度）のエアが供給されているととも
に、両エア吐出流路９ａ，９ｂ，９ｊの途中にオリフィ
ス９ｅ，９ｆ，９ｋが介在され、オリフィス９ｅ，９
ｆ，９ｋの前後のエア圧力を入力とする差圧スイッチ９
ｇ，９ｈ，９ｍが設けられている。尚、オリフィス、差
圧スイッチについては研磨工具から十分に離れた箇所に
簡単に配置でき、これらに対する研磨屑等の影響を確実
に排除できる。したがって、エア吐出流路の開口が閉塞
部材９ｃまたはテーパ面係合により閉塞された場合に差
圧が著しく小さくなり、閉塞されていない場合に差圧が
著しく大きくなることを差圧スイッチにより検出でき
る。この検出は、エア吐出流路の開口からエアが吐出で
きるか、閉塞部材９ｃにより吐出が阻止されているかに
基づいて行なわれるのであるから、研磨作業に伴なう過
酷な環境下においても環境の影響を受けることなく正確
に検出動作を達成できる。したがって、研磨工具を保持
する保持部６が何れのストロークエンドに位置している
か、何れのストロークエンドにも位置していないか、確
実にテーパ面係合しているか否かを正確に判定できる。

【００１５】さらに、この発明の最も特徴として、要部
のみを図５に示すように、大径筒体５の下部所定位置
に、一端が基部研磨液供給管路１０ａと連通され、他端
が下面に開口する研磨液供給路１０ｂが形成されている
とともに、保持部６のフランジの所定位置上面に先部研
磨液供給管路１０ｃの基端部が位置決めされ、かつ基端
部が開口されている。要部を拡大した図６をも参照して
さらに詳細に説明すると、研磨液供給路１０ｂの他端開
口を包囲するように大径筒体５の下面に環状突部１０ｄ
が形成されているとともに、先部研磨液供給管路１０ｃ
の基端部を包囲するように環状弾性部材１０ｅが設けら
れている。尚、先部研磨液供給管路１０ｃの研磨液吐出
口は特には図示していないが、研磨工具の先部に設けら
れた砥石（図示せず）に近接する位置に配置されてい
る。

【００１６】図７はフローティング機構を構成する二重
筒体４と大径筒体５との関係を示す縦断面図であり、二
重筒体４の内側部材４ａの所定位置に段付きの外向き環
状フランジ４ｄが一体形成されてある。そして、大径筒
体５の基部寄り内面所定位置に、フランジ４ｄの高さと
等しい深さの、圧力流体室としての環状溝５ｃが形成さ
れてあり、しかも、外向き環状フランジ４ｄを環状溝５
ｃに収容した状態においてフランジにより区画される環
状溝５ｃの各空間にエアを供給するためのエア供給路５
ｄ，５ｅが形成されてある。

【００１７】図８は角軸２と角筒３との関係を示す横断
面図であり、角軸２が正六角形断面形状である。そし
て、角筒３の外形が円形断面形状であり、内形が互に３
０度ずらせた正六角形を重ね合せた断面形状である。上
記の構成の研磨装置の動作は次のとおりである。研磨工
具を保持していない状態においては、図９に示すよう
に、保持部６が装着されておらず、角筒３がばね２ａに
より付勢されて抜け方向の限界位置までスライドした状
態である。また、大径筒体５は、エア供給路５ｅを通し
て環状溝５ｃの上側の区画室に圧力エアを供給すること
により押し込み方向に限界位置までスライドされてお
り、閉塞部材９ｃが第２エア吐出流路９ｂの開口を閉塞
している。したがって、差圧スイッチ９ｈにより押し込
み方向のストロークエンドを検出できる。即ち、産業用
ロボットが研磨作業のための動作を行なっていないこと
と相俟って研磨工具を装着可能な状態であることを検出
できる。

【００１８】研磨工具を装着する場合には、軸６ｃの先
端部に研磨工具（図示せず）を装着した保持部６を、大
径筒体５に挿入するとともに、エア供給路５ｄを通して
環状溝５ｃの下側の区画室に圧力エアを供給して大径筒
体５を抜け方向にスライドさせればよく、テーパ面５ａ
とテーパ面６ａとが係合した状態で保持具７が凹所６ｅ
と係合し、保持部６が抜け止め状に保持される。ここ
で、テーパ面５ａとテーパ面６ａとが係合すれば第３エ
ア吐出流路９ｊの開口が閉塞されて差圧スイッチ９ｍの
入力圧力差が著しく小さくなり、大径筒体５が抜け方向
のストロークエンドまでスライドするので第１エア吐出
流路９ａの開口が閉塞部材９ｃにより閉塞されて差圧ス
イッチ９ｇの入力圧力差が著しく小さくなるので、研磨
工具装着のためのロボット動作と相俟って研磨工具を完
全に装着できたことを検出できる。また、このようにし
て研磨工具が装着されれば、大径筒体５の研磨液供給路
１０ｂと保持部６の先部研磨液供給管路１０ｃの基端部
とが正対し、かつ環状突部１０ｄの全周と環状弾性部材
１０ｅとが強圧接されるので、研磨液供給路１０ｂと先
部研磨液供給管路１０ｃとが水密的に連通された状態に
なる。但し、この状態においては、軸６ｃの基端部の角
軸６ｄが角筒３に挿入されている保障は全くなく、一般
的には、角軸６ｄがばね２ａに抗して角筒３を押し込ん
だ状態である（図１０参照）。即ち、このままでは回転
駆動源１の出力軸１ａの回転を軸６ｃにスムーズに伝達
することができないのであるが、角筒３の内形が図５に
示す断面形状であるから、軸６ｃの回転、即ち、研磨工
具の回転を規制した状態において出力軸１ａを僅かに回
転させればよく、３０度未満の回転角度で、角軸６ｄが
角筒３に挿入される状態が得られ、ばね２ａの付勢力に
より角筒３が復動して角軸６ｄと角筒３との係合を達成
できる（図１１参照）。

【００１９】その後は、回転駆動源１を把持するロボッ
ト・アーム（図示せず）を制御するとともに、回転駆動
源１を動作させることにより、金型等の自動みがき動作
を行なうことができ、図示しない研磨液供給源を動作さ
せることにより、基部研磨液供給管路１０ａ、研磨液供
給路１０ｂ、環状突部１０ｄと環状弾性部材１０ｅとで
密閉される密閉空間、先部研磨液供給管路１０ｃおよび
図示しない研磨液吐出口を通して研磨対象領域に研磨液
を供給できる。したがって、砥石等の研磨面に目詰りを
生じさせることなく良好な研磨を達成できる。

【００２０】自動みがき動作を行なっている間において
は研磨工具に対して適切な押圧力が付与されていなけれ
ばならないのであるが、適切な押圧力が付与されている
か否かは、第１エア吐出流路９ａ、第２エア吐出流路９
ｂの開口が閉塞部材９ｃにより閉塞されているか否かを
示す差圧スイッチ９ｇ，９ｈからの出力信号に基づいて
常時監視できる。即ち、例えば、研磨工具の長さ設定が
実際よりも短い場合には、研磨工具に対して過大な押圧
力が与えられ、押し込み方向のストロークエンドまで移
動するので、第２エア吐出流路９ｂの開口が閉塞部材９
ｃにより閉塞され、差圧スイッチ９ｈからの出力信号に
基づいてフローティングが機能しない押し付け状態であ
ることを検出できる。逆に、研磨工具の長さ設定が実際
よりも長い場合、または研磨面がある程度以上磨耗した
場合には、研磨工具が無負荷状態になり、抜け方向のス
トロークエンドまで移動するので、第１エア吐出流路９
ａの開口が閉塞部材９ｃにより閉塞され、差圧スイッチ
９ｇからの出力信号に基づいて研磨面が研磨対象面に接
触していない状態であることを検出できる。特に、研磨
面の磨耗が生じた場合には、抜け方向のストロークエン
ドで顕著なチャタリングが発生するので、チャタリング
に対応する差圧スイッチ９ｇからの出力信号に基づいて
研磨面の磨耗を認識できる。以上の説明から明らかなよ
うに、研磨動作遂行中において異常状態が発生したか否
かを常時監視できる。そして、差圧スイッチの出力信号
に基づいて何れのストロークエンドまで移動しているか
を認識できるのであるから、研磨工具を逆方向に移動さ
せるべく産業用ロボットのハンドの位置を補正すること
により適正状態での研磨作業を遂行させることもでき
る。

【００２１】研磨工具を取り外す場合には、エア供給路
５ｅを通して環状溝５ｃの上側の区画室に圧力エアを供
給して大径筒体５を押し込み方向にスライドさせればよ
く、保持具７と凹所６ｅとの係合が強制的に解除される
ので、簡単に保持部６と共に研磨工具を取り外すことが
できる。そして、大径筒体５の移動に伴なって第２エア
吐出流路９ｂの開口が閉塞部材９ｃにより閉塞され、差
圧スイッチ９ｈからの出力信号に基づいて大径筒体５の
移動を確認できるとともに、テーパ面５ａとテーパ面６
ａとの係合が外れることにより第３エア吐出流路９ｊの
開口が開放され、差圧スイッチ９ｍからの出力信号に基
づいてテーパ面係合の外れを確認できるので、両差圧ス
イッチ９ｈ，９ｍからの出力信号に基づいて研磨工具の
取外しを確認でき、研磨工具が完全に外れていない状態
で新たな研磨工具を装着するというミスを確実に排除で
きる。また、研磨工具の交換を行なうに当って研磨工具
とツールポケットとの干渉の可能性のチェックを行なう
こともでき、干渉の可能性を未然に排除できる。

【００２２】その後は、上記一連の動作を反復すること
により、研磨工具を交換した状態での金型等の自動みが
きを行なうことができる。また、研磨工具を交換するこ
とに伴なってロボットハンド等の本体側に対する研磨対
象領域の相対位置が変化するのであるが、この実施例に
おいては、研磨工具に対して最適な研磨液供給状態を達
成できるように先部研磨液供給管路１０ｃおよび図示し
ない研磨液吐出口を予め設けておき、研磨工具の装着動
作に伴なって自動的に先部研磨液供給管路１０ｃを大径
筒体５に設けた研磨液供給路１０ｂと連通させるように
しているのであるから、研磨液の供給に関しては何ら考
慮する必要がなく、常に最適の研磨液供給状態を確保で
きる。

【００２３】尚、以上の説明においては、保持部６を大
径筒体５に向かって挿入するようにしているが、研磨工
具を装着した保持部６を所定の待機位置に支持させてお
き、ロボット・アームを動作させることにより大径筒体
５を保持部６の直上に正対させ、大径筒体５を含む全体
を下降させるとともに、下降終期において圧力エアを供
給して大径筒体５を抜け方向にスライドさせることによ
っても同様に研磨工具の装着を達成でき、逆の動作を行
なわせることにより研磨工具の取り外しを達成できる。

【００２４】尚、この発明は上記の実施例に限定される
ものではなく、例えば、基部研磨液供給管路１０ａの先
端部をロボットハンド等の本体側から取外し可能に構成
しておくとともに、取外された基部研磨液供給管路１０
ａの先端部を研磨工具の所定位置に固定する構成を採用
することが可能であるほか、研磨液供給路１０ｂの開口
と先部研磨液供給管路１０ｃとを水密的に凹凸嵌合させ
ることが可能であり、その他、この発明の要旨を変更し
ない範囲内において種々の設計変更を施すことが可能で
ある。

【００２５】

【発明の効果】請求項１の発明は、着脱可能な研磨工具
の所定位置に研磨液供給管路を固定するのであるから、
研磨液供給管路の固定位置を研磨工具毎に予め設定して
おくことにより最適の研磨液供給状態を簡単に得て良好
な研磨状態を達成することができ、必要以上の広範囲に
わたって研磨液を供給することに伴なう構成の複雑化を
排除できるという特有の効果を奏する。

【００２６】請求項２の発明は、研磨工具に予め研磨液
供給管路を設けておくことにより最適の研磨液供給可能
状態を設定でき、しかも研磨工具装着動作を行なうだけ
で本体側の研磨液供給管路と研磨工具側の研磨液供給管
路とを正対させることができるので、両研磨液供給管路
同士の相対位置の調節作業等を不要にでき、研磨工具の
交換に伴なって必要とさせる作業量を著しく低減できる
という特有の効果を奏する。

【００２７】請求項３の発明は、研磨工具の装着に伴な
って本体側の研磨液供給管路と研磨工具側の研磨液供給
管路との連通を自動的に達成でき、研磨工具の交換に伴
なう研磨液供給管路同士を連通するための作業を皆無に
できるという特有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の研磨装置の一実施例の要部を示す正
面図である。

【図２】この発明の研磨装置の一実施例の要部を示す中
央縦断面図である。

【図３】ストロークエンド検出のための要部を示す概略
図である。

【図４】エア吐出流路に対するエア配管を示す概略図で
ある。

【図５】研磨液供給管路の、大径筒体および保持部に対
応する部分を示す図である。

【図６】大径筒体と保持部との間における研磨液供給管
路の連通状態を示す拡大縦断面図である。

【図７】フローティング機構を構成する二重筒体と大径
筒体との関係を示す縦断面図である。

【図８】角軸と角筒との関係を示す横断面図である。

【図９】研磨工具取外し状態を示す縦断面図である。

【図１０】テーパ面係合状態を示す縦断面図である。

【図１１】かど軸と角筒とが係合した状態を示す縦断面
図である。

【符号の説明】

１回転駆動源３角筒４二重筒体５大径筒体５ａテーパ面６保持部６ａテーパ面１０ｂ研磨液供給路１０ｃ先部研磨液供給管路１０ｄ環状突部１０ｅ環状弾性部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転駆動源（１）のケーシングと連結さ
れた基部ケーシング（４）の内部に研磨工具の回転軸と
係合して回転駆動源（１）の回転力を研磨工具に伝達す
る係合軸（３）をスライド可能かつ突出方向に付勢され
た状態で有しているとともに、研磨工具のケーシング
（６）のテーパ状基部（６ａ）と係合可能なテーパ筒部
（５ａ）を有する研磨工具着脱部材（５）をスライド可
能に有している研磨装置において、研磨工具のケーシン
グ（６）の所定位置に研磨液供給管路（１０ｃ）が固定
されてあることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】研磨工具着脱部材（５）の所定位置に研
磨液供給路（１０ｂ）が開口されているとともに、研磨
工具着脱部材（５）の研磨液供給路（１０ｂ）開口と研
磨工具のケーシング（６）に固定された研磨液供給管路
（１０ｃ）の開口とが研磨工具装着時に互に連通される
ように両開口の相対位置が設定されている請求項１に記
載の研磨装置。
【請求項３】研磨工具着脱部材（５）の研磨液供給路
（１０ｂ）開口を包囲する環状突部（１０ｄ）をさらに
有しているとともに、研磨工具のケーシング（６）に固
定された研磨液供給管路（１０ｃ）の開口を包囲する環
状弾性部材（１０ｅ）をさらに有している請求項２に記
載の研磨装置。