JPH06305675A - Vacuum sucking device - Google Patents

Vacuum sucking device

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JPH06305675A
JPH06305675A JP5101498A JP10149893A JPH06305675A JP H06305675 A JPH06305675 A JP H06305675A JP 5101498 A JP5101498 A JP 5101498A JP 10149893 A JP10149893 A JP 10149893A JP H06305675 A JPH06305675 A JP H06305675A
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vacuum
valve
pressure
venturi
pad
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JP5101498A
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Takaharu Yamaguchi
隆春 山口
Kenji Furuta
健次 古田
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Toyota Motor Corp
Taiho Seiki Co Ltd
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Toyota Motor Corp
Taiho Seiki Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a vacuum sucking device which is less in air consumption and of which sucking force can be raised in a short time after vacuum rupture. CONSTITUTION:A venturi 10 is connected to an air source 6 through a venturi valve 8. A vacuum pad 12 is connected to the negative pressure part of the venturi 10 through a check valve 14. The air source 6 is connected to the vacuum pad 12 through a vacuum rupture valve 18a and a vacuum rupture path 21. Also it is detected by a pressure sensor 16 whether the vacuum pressure of the vacuum pad 12 is larger or smaller than a specified limit and, only when it is below the specified limit, the venturi valve 8 is operated to open. Then a pressure sensitive stop valve 24 operated to open by a pressure from the air source 6 is located in the vacuum rupture path 21 between the vacuum pad 12 and the vacuum rupture valve 18a.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はバキュウム吸着装置に関
する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum adsorption device.

【0002】[0002]

【従来の技術】薄鋼板などを吸着保持して搬送するの
に、バキュウム吸着装置が使用される。このバキュウム
吸着装置2は、例えば図5のようにロボットアーム4の
先端に複数ユニット(図示例では2ユニットのみ示す)
取付けて使用される。これらバキュウム吸着装置2は、
吸着するワークの種類毎に専用品となっており、ワーク
の段換え時にバキュウム吸着装置2も一緒に取り替えら
れる。
2. Description of the Related Art A vacuum adsorption device is used for adsorbing and holding a thin steel plate or the like for conveyance. This vacuum adsorption device 2 has a plurality of units (only two units are shown in the illustrated example) at the tip of the robot arm 4 as shown in FIG. 5, for example.
Used by mounting. These vacuum adsorption devices 2
It is a dedicated product for each type of work to be adsorbed, and the vacuum adsorption device 2 can be replaced together when changing the stage of the work.

【0003】図6は図5のバキュウム吸着装置2の配管
構成を示す。図5及び図6において、6はエアー源、8
は電磁式ベンチュリバルブ、10はベンチュリ、11は
水平フレーム、12は水平フレーム11に支持された複
数のバキュウムパッド、16はバキュウムパッド12の
負圧を検知する圧力センサ、18はバキュウムパッド1
2に正圧(真空破壊圧)を強制導入する電磁式真空破壊
バルブ、21は真空破壊通路である。
FIG. 6 shows a piping structure of the vacuum adsorption device 2 shown in FIG. 5 and 6, 6 is an air source, and 8
Is an electromagnetic venturi valve, 10 is a venturi, 11 is a horizontal frame, 12 is a plurality of vacuum pads supported by the horizontal frame 11, 16 is a pressure sensor for detecting a negative pressure of the vacuum pad 12, and 18 is a vacuum pad 1.
An electromagnetic vacuum breaking valve for forcibly introducing a positive pressure (vacuum breaking pressure) into 2 and a vacuum breaking passage 21.

【0004】前記バキュウム吸着装置2では、エアー源
6からのエアがベンチュリ10を通過する時、ベンチュ
リ10の喉部で負圧が発生する。この負圧はバキュウム
パッド12に導入され、薄鋼板などの板状ワーク20を
吸着支持する。
In the vacuum adsorption device 2, when the air from the air source 6 passes through the venturi 10, a negative pressure is generated in the throat of the venturi 10. This negative pressure is introduced into the vacuum pad 12 and sucks and supports the plate-like work 20 such as a thin steel plate.

【0005】ワーク20を放す時は、ベンチュリバルブ
8を閉塞して負圧の発生を停止すると共に、真空破壊バ
ルブ18を開放してエアー源6からの正圧をバキュウム
パッド12に強制導入し、バキュウムパッド12の吸着
力を瞬時にゼロにする。
When the work 20 is released, the venturi valve 8 is closed to stop the generation of negative pressure, and the vacuum break valve 18 is opened to forcibly introduce the positive pressure from the air source 6 to the vacuum pad 12. The suction force of the vacuum pad 12 is instantly set to zero.

【0006】前記のバキュウム吸着装置2は、ワーク2
0を吸着している間中、エアー源6からのエアーがベン
チュリ10に流され続けるから、エネルギの無駄である
し、ベンチュリ10からの排気音が騒音になる。また、
真空破壊バルブ18が一般にバキュウムパッド12から
遠く離間しているため、ワーク20を放すため真空破壊
した後、新たなワーク20を吸着するためベンチュリバ
ルブ8を開放しても、真空破壊通路21内に残存してい
るエアを排気するのに時間がかかり、バキュウムパッド
12の吸着力が速やかに立ち上がらず、ワーク搬送サイ
クル速度を増大させる上で障害になっていた。
[0006] The vacuum adsorption device 2 is the work 2
Since air from the air source 6 continues to flow to the venturi 10 while 0 is adsorbed, energy is wasted and exhaust sound from the venturi 10 becomes noise. Also,
Since the vacuum break valve 18 is generally distant from the vacuum pad 12, even if the venturi valve 8 is opened to adsorb a new work 20 after the work 20 is vacuum broken to release the work 20, the vacuum break passage 21 is placed in the vacuum break passage 21. It takes time to exhaust the remaining air, and the suction force of the vacuum pad 12 does not rise quickly, which is an obstacle in increasing the work transfer cycle speed.

【0007】そこで図7に示すように、ベンチュリ10
とバキュウムパッド12との間にチェックバルブ14を
配設すると共に、ベンチュリバルブ8、ベンチュリ1
0、チェックバルブ14及び真空破壊バルブ18などを
ユニット19として一体化し、エアー消費量の低減と真
空破壊通路21の短縮化を図った装置2aが提案されて
いる。なお同図で86はエア逃がしバルブ、88は圧力
スイッチである。
Therefore, as shown in FIG. 7, the venturi 10 is used.
The check valve 14 is disposed between the vacuum pad 12 and the vacuum pad 12, and the venturi valve 8 and the venturi 1 are provided.
0, the check valve 14, the vacuum breaking valve 18, etc. are integrated as a unit 19 to reduce the air consumption and shorten the vacuum breaking passage 21. In the figure, 86 is an air relief valve, and 88 is a pressure switch.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】図7の改良型バキュウ
ム吸着装置2aは、ユニット化しているため配管箇所が
少ない反面、ユニット19毎に3つのバルブ8,18,
86を組み込んでいるので、バキュウムパッド12の個
数を増やすと必然的にユニット19の数、従ってバルブ
の総数が増大してしまい、これらバルブの制御回線の引
き回しが複雑になる。またユニット19はバルブ組み込
み型で高価であるから、このユニット19からバキュウ
ムパッド12に至る構成をワーク20の種類毎の専用品
として保有するにはコストが嵩む。
The improved vacuum adsorption device 2a of FIG. 7 has a small number of piping points because it is unitized, but three valves 8, 18 are provided for each unit 19.
Since 86 is incorporated, increasing the number of vacuum pads 12 inevitably increases the number of units 19 and thus the total number of valves, which complicates the routing of control lines for these valves. Further, since the unit 19 is a valve built-in type and is expensive, it is costly to hold the configuration from the unit 19 to the vacuum pad 12 as a dedicated product for each type of the work 20.

【0009】更に、図6と図7の装置に共通した課題と
して、真空破壊バルブ18のシール性の問題がある。即
ち、真空破壊バルブ18はバキュウムパッド12でワー
ク20を吸着している間中常に真空圧をシールするた
め、特に真空を保持し続けるには精度の高い真空シール
性能が要求される。
Further, as a problem common to the apparatuses of FIGS. 6 and 7, there is a problem of the sealing property of the vacuum break valve 18. That is, the vacuum breaking valve 18 constantly seals the vacuum pressure while the work piece 20 is adsorbed by the vacuum pad 12, and therefore a highly accurate vacuum sealing performance is required to keep the vacuum in particular.

【0010】真空破壊バルブ18に真空圧が作用するの
を防止するだけなら、真空破壊通路21にチェックバル
ブを配設すればすむ。しかし、そうすれば真空破壊圧を
バキュウムパッド12に送り込むことが不可能になって
しまう。
To prevent the vacuum pressure from acting on the vacuum breaking valve 18, a check valve may be provided in the vacuum breaking passage 21. However, in that case, it becomes impossible to send the vacuum breaking pressure to the vacuum pad 12.

【0011】本発明の目的は、ベンチュリバルブ、真空
破壊バルブ及びベンチュリを一体ユニット化せず、それ
でいて真空破壊後の再吸着までの時間は従来に劣らず短
時間であり、しかも真空破壊バルブにはワークの吸着保
持中でも真空圧が作用しないようにして同バルブの耐久
性を格段に向上できると共に、真空破壊圧は従来通りバ
キュウムパッドに導入可能なバキュウム吸着装置を提供
することにある。
An object of the present invention is that the venturi valve, the vacuum break valve and the venturi are not integrated into a unit, and yet the time until re-adsorption after vacuum break is as short as before, and the vacuum break valve is It is an object of the present invention to provide a vacuum adsorption device capable of significantly improving the durability of the valve by preventing the vacuum pressure from acting even while adsorbing and holding a workpiece, and at the same time introducing the vacuum breaking pressure into the vacuum pad.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ベンチ
ュリバルブと真空破壊バルブはそれぞれ独立とし、ベン
チュリとバキュウムパッドとの間にチェックバルブを配
設すると共に、バキュウムパッドと真空破壊バルブとの
間の真空破壊通路に、エアー源からの圧力により開放作
動する圧力感応開閉バルブを配設したことにある。
A feature of the present invention is that the venturi valve and the vacuum break valve are independent of each other, a check valve is provided between the venturi and the vacuum pad, and the vacuum pad and the vacuum break valve are connected to each other. The pressure-sensitive open / close valve that is opened by the pressure from the air source is installed in the vacuum break passage between them.

【0013】[0013]

【作用】バキュウムパッドでワークを吸着支持した後は
ベンチュリバルブを閉じる。バキュウムパッドの真空圧
はチェックバルブにより保持されるので、ベンチュリバ
ルブを閉じてもワークはバキュウムパッドに吸着支持さ
れたままである。
[Function] After the work is adsorbed and supported by the vacuum pad, the venturi valve is closed. Since the vacuum pressure of the vacuum pad is held by the check valve, the work remains adsorbed and supported by the vacuum pad even when the venturi valve is closed.

【0014】次に真空破壊バルブを開放すると、エアー
源からの正圧が圧力感応開閉バルブに作用し、同バルブ
を開放させる。この結果、前記正圧がバキュウムパッド
に導入され、その吸着力が瞬時にゼロになり、バキュウ
ムパッドに吸着支持されていたワークがバキュウムパッ
ドから離れる。
Next, when the vacuum breaking valve is opened, the positive pressure from the air source acts on the pressure-sensitive opening / closing valve to open the same. As a result, the positive pressure is introduced into the vacuum pad, the suction force thereof instantly becomes zero, and the workpiece suction-supported by the vacuum pad separates from the vacuum pad.

【0015】圧力感応開閉バルブは真空破壊バルブより
もバキュウムパッド側に位置しており、真空破壊後に真
空破壊バルブを閉塞し、ベンチュリバルブを開放して新
たなワークの吸着支持をする時、圧力感応開閉バルブは
既に閉塞しており、同バルブと真空破壊バルブとの間の
真空破壊通路内に閉じこめられているエアは、ベンチュ
リ側に吸い出されない。従ってバキュウムパッドの吸着
力が速やかに立ち上がる。なおワークの吸着支持中、真
空圧は圧力感応開閉バルブで遮断されて真空破壊バルブ
には全く影響を及ぼさない。
The pressure sensitive opening / closing valve is located closer to the vacuum pad side than the vacuum breaking valve, and when the vacuum breaking valve is closed after the vacuum breaking and the venturi valve is opened to adsorb and support a new work, the pressure sensitive opening / closing valve is pressed. The on-off valve is already closed, and the air trapped in the vacuum break passage between the valve and the vacuum break valve is not sucked out to the venturi side. Therefore, the suction force of the vacuum pad rises quickly. During the suction and support of the work, the vacuum pressure is shut off by the pressure sensitive opening / closing valve and does not affect the vacuum breaking valve at all.

【0016】[0016]

【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づき説明す
る。図1は図5と同様の図を示し、同一部分には同一符
号を付してある。このバキュウム吸着装置2bが図5と
異なる点は、図2のように吸着保持ユニット22内に従
来のチェックバルブ14と、新規な圧力感応開閉バルブ
24とを収納し、かつ真空破壊バルブ18aを常態で圧
力感応開閉バルブ24に大気圧を導入する構成としたこ
とである。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the same view as FIG. 5, and the same parts are denoted by the same reference numerals. This vacuum adsorption device 2b is different from that shown in FIG. 5 in that, as shown in FIG. 2, a conventional check valve 14 and a new pressure-sensitive open / close valve 24 are housed in an adsorption holding unit 22, and a vacuum break valve 18a is normally installed. That is, the atmospheric pressure is introduced into the pressure sensitive on-off valve 24.

【0017】詳しくは図2に示すように、圧力感応開閉
バルブ24は2位置切換式2ポート弁であって、所定圧
以上の圧力が真空破壊通路21に作用すると、自動的に
弁が開放側に切換わって両側のポートが連通するように
構成されている。
More specifically, as shown in FIG. 2, the pressure sensitive on-off valve 24 is a two-position switching type two-port valve, and when a pressure higher than a predetermined pressure acts on the vacuum breaking passage 21, the valve automatically opens. The ports on both sides communicate with each other.

【0018】吸着保持ユニット22の具体例を図3及び
図4に示す。同図で26は一体形のハウジング、28は
蓋板であって、蓋板28は複数本のボルト30によって
ハウジング26上面に固定されている。蓋板28に形成
された2つの孔32,34のうち、一方の孔32が通路
36によってベンチュリ10の喉部(負圧部)と接続さ
れ、他方の孔34が真空破壊通路21によって真空破壊
バルブ18aと接続されている。ハウジング26の下面
に形成された孔40は、通路42によってバキュウムパ
ッド12に接続されている。またハウジング26の側面
に形成された孔44は、通路46によって圧力センサ1
6に接続されている。
A specific example of the suction holding unit 22 is shown in FIGS. In the figure, 26 is an integral housing, 28 is a cover plate, and the cover plate 28 is fixed to the upper surface of the housing 26 by a plurality of bolts 30. Of the two holes 32, 34 formed in the cover plate 28, one hole 32 is connected to the throat (negative pressure part) of the venturi 10 by the passage 36, and the other hole 34 is vacuum-break by the vacuum break passage 21. It is connected to the valve 18a. The hole 40 formed in the lower surface of the housing 26 is connected to the vacuum pad 12 by a passage 42. Further, the hole 44 formed in the side surface of the housing 26 is provided with the passage 46 so that the pressure sensor 1
Connected to 6.

【0019】ハウジング26内には、孔32と孔40と
を上下方向に連通する縦孔48内にチェックバルブ14
が配設されている。この縦孔48の中間部は孔44を介
して圧力センサ16にも連通している。チェックバルブ
14は、上端閉塞下端開放形の中空円筒形をした弁体5
0と、この弁体50の上端部周囲に一体嵌合され弁座5
4に着座したゴム製リング部材52と、弁体50を下方
に付勢するばね56とで構成されている。なお弁体50
の周壁には、弁体50の内外を連通する連通孔58が形
成されている。
In the housing 26, a check valve 14 is provided in a vertical hole 48 which vertically connects the hole 32 and the hole 40.
Is provided. The intermediate portion of the vertical hole 48 also communicates with the pressure sensor 16 via the hole 44. The check valve 14 is a hollow cylindrical valve body 5 having an upper end closed and a lower end opened.
0 and the valve seat 5 is integrally fitted around the upper end of the valve body 50.
It is composed of a rubber ring member 52 seated on the No. 4 and a spring 56 for urging the valve body 50 downward. The valve body 50
A communication hole 58 that communicates the inside and the outside of the valve body 50 is formed in the peripheral wall of the.

【0020】前記縦孔48の側方には、ゴム製のダイヤ
フラム62が配設されている。このダイヤフラム62
は、下側の受板64との間に配設された圧縮ばね66に
よって常時上方に付勢されている。ダイヤフラム62の
上面周囲は、通路63,孔34及び真空破壊通路21を
介して真空破壊バルブ18aと連通されている。またダ
イヤフラム62の中央肉厚部の周囲は常時は弁座68に
着座し、中央肉厚部上面は通路70を介してチェックバ
ルブ14の弁体50周壁部の内外と連通している。
A rubber diaphragm 62 is disposed on the side of the vertical hole 48. This diaphragm 62
Are constantly urged upward by a compression spring 66 arranged between the lower support plate 64 and the lower support plate 64. The periphery of the upper surface of the diaphragm 62 is communicated with the vacuum break valve 18 a through the passage 63, the hole 34, and the vacuum break passage 21. The periphery of the central thick portion of the diaphragm 62 is always seated on the valve seat 68, and the upper surface of the central thick portion communicates with the inside and outside of the peripheral wall portion of the valve body 50 of the check valve 14 via the passage 70.

【0021】次にバキュウム吸着装置2bの作動につき
説明する。装置2bの休止状態では、図2のように、ベ
ンチュリバルブ8と圧力感応開閉バルブ24が閉塞し、
真空破壊バルブ18aがエアー源6側を閉塞し、かつ圧
力感応開閉バルブ24側を大気に開放している。
Next, the operation of the vacuum adsorption device 2b will be described. In the rest state of the device 2b, as shown in FIG. 2, the venturi valve 8 and the pressure sensitive on-off valve 24 are closed,
The vacuum break valve 18a closes the air source 6 side, and opens the pressure sensitive opening / closing valve 24 side to the atmosphere.

【0022】バキュウムパッド12でワーク20を吸着
支持するため図示しない制御回路によってベンチュリバ
ルブ8が開放されると、ベンチュリ10にエアが流され
て喉部に負圧が生じる。この負圧によってチェックバル
ブ14の弁体50が図3でばね56に抗して上昇し、リ
ング部材52と弁座54との間に隙間が形成される。こ
の隙間を通して負圧がバキュウムパッド12に導入さ
れ、ワーク20を吸着支持する。このとき、ダイヤフラ
ム62の中央肉厚部上面には負圧が作用し、ダイヤフラ
ム62は圧縮ばね66の力で上方へ押し上げられている
ので、ダイヤフラム62の弁座68は閉塞される。
When the venturi valve 8 is opened by a control circuit (not shown) in order to suck and support the work 20 with the vacuum pad 12, air is flown into the venturi 10 and a negative pressure is generated in the throat. Due to this negative pressure, the valve body 50 of the check valve 14 rises against the spring 56 in FIG. 3, and a gap is formed between the ring member 52 and the valve seat 54. Negative pressure is introduced into the vacuum pad 12 through this gap to adsorb and support the work 20. At this time, a negative pressure acts on the upper surface of the thick center portion of the diaphragm 62, and the diaphragm 62 is pushed upward by the force of the compression spring 66, so that the valve seat 68 of the diaphragm 62 is closed.

【0023】圧力センサ16はバキュウムパッド12の
真空圧が所定値以上であるか否かを検知し、所定値以上
であれば図示しない制御回路によりベンチュリバルブ8
を閉塞する。ベンチュリバルブ8を閉塞しても、チェッ
クバルブ14によってバキュウムパッド12の真空圧が
維持されるので、ワーク20はバキュウムパッド12で
吸着支持されたままである。またワーク20を長時間吸
着支持する場合は、バキュウムパッド12等からの空気
漏れでバキュウムパッド12の真空圧が徐々に低下する
が、真空圧が所定値以下になるとベンチュリバルブ8が
開放されてバキュウムパッド12に負圧が補給される。
The pressure sensor 16 detects whether or not the vacuum pressure of the vacuum pad 12 is a predetermined value or more, and if it is the predetermined value or more, the venturi valve 8 is controlled by a control circuit (not shown).
To block. Even if the venturi valve 8 is closed, the vacuum pressure of the vacuum pad 12 is maintained by the check valve 14, so that the work 20 remains adsorbed and supported by the vacuum pad 12. Further, when the work 20 is adsorbed and supported for a long time, the vacuum pressure of the vacuum pad 12 gradually decreases due to air leakage from the vacuum pad 12, etc., but when the vacuum pressure becomes a predetermined value or less, the venturi valve 8 is opened and the vacuum pressure is reduced. Negative pressure is supplied to the pad 12.

【0024】次に、ワーク20をバキュウムパッド12
から放す時は、ベンチュリバルブ8を閉塞すると共に真
空破壊バルブ18aを開放する。これにより、バキュウ
ムパッド12に対する真空圧の供給が停止されると共
に、真空破壊バルブ18aを通してエアー源6からの正
圧が圧力感応開閉バルブ24に作用し、同バルブ24の
ダイヤフラム62を圧縮ばね66に抗して押し下げて開
放させ、正圧が通路70、連通孔58、縦孔48及び通
路42を通ってバキュウムパッド12に強制導入され
る。このためバキュウムパッド12内の負圧は速やかに
解消され、吸着力が瞬時にゼロに低下し、ワーク20が
バキュウムパッド12から離れる。
Next, the work 20 is attached to the vacuum pad 12
When releasing from, the venturi valve 8 is closed and the vacuum break valve 18a is opened. As a result, the supply of vacuum pressure to the vacuum pad 12 is stopped, and the positive pressure from the air source 6 acts on the pressure-sensitive open / close valve 24 through the vacuum break valve 18a, causing the diaphragm 62 of the valve 24 to act as a compression spring 66. Then, the positive pressure is forcedly introduced into the vacuum pad 12 through the passage 70, the communication hole 58, the vertical hole 48 and the passage 42. Therefore, the negative pressure in the vacuum pad 12 is quickly eliminated, the suction force is instantly reduced to zero, and the work 20 separates from the vacuum pad 12.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明は前記の如く、ベンチュリバルブ
と真空破壊バルブは別体で構成し、ベンチュリとバキュ
ウムパッドとの間にチェックバルブを配設し、かつ、真
空破壊バルブとバキュウムパッドとの間に圧力感応開閉
バルブを配設したので、ベンチュリバルブと真空破壊バ
ルブは各1個でエアの供給系を構成可能で、従って各バ
ルブを大流量タイプとしてもコスト及び重量面での影響
は軽微であり、また1つのベンチュリバルブに多数のベ
ンチュリ及びバキュウムパッドを接続することができる
ので、吸着装置全体としてのコストを低減できる。加え
て真空破壊後にバキュウムパッドに負圧をかける際、圧
力感応開閉バルブの上流側のエアはベンチュリ側に吸い
出されないので、バキュウムパッドの吸着力の立ち上が
りを早くでき、これによりワークの吸着搬送のサイクル
タイムを短縮でき、また真空破壊バルブには負圧が作用
しないのでその耐久性を向上できるし、チェックバルブ
によるバキュウムパッドの真空保持機能により、エアー
源の消費量を低減できるので省エネ効果及び騒音低減効
果も発揮する。さらに、真空破壊バルブをバキュウムパ
ッドから遠く離間させて配置しても、バキュウムパッド
の吸着力の立ち上がりに何ら問題が生じないから、バル
ブ配置の自由度が向上する。またチェックバルブと圧力
感応開閉バルブを吸着保持ユニットとして一体化する
と、配管箇所が少なくなり組立ての手間を節約できる。
As described above, according to the present invention, the venturi valve and the vacuum break valve are separately configured, the check valve is provided between the venturi and the vacuum pad, and the vacuum break valve and the vacuum pad are separated from each other. Since a pressure sensitive on-off valve is installed between them, one venturi valve and one vacuum break valve can configure the air supply system, so even if each valve is a large flow type, the impact on cost and weight is minimal. Moreover, since a large number of venturi and vacuum pads can be connected to one venturi valve, the cost of the adsorption device as a whole can be reduced. In addition, when negative pressure is applied to the vacuum pad after breaking the vacuum, the air on the upstream side of the pressure-sensitive on-off valve is not sucked out to the venturi side, so the suction force of the vacuum pad can rise faster, which makes it easier The cycle time can be shortened, and the vacuum break valve does not act on negative pressure, so its durability can be improved, and the vacuum holding function of the vacuum pad by the check valve can reduce the air source consumption, thus saving energy and noise. It also has a reduction effect. Further, even if the vacuum breaking valve is arranged far away from the vacuum pad, there is no problem in the rise of the suction force of the vacuum pad, so that the degree of freedom in valve arrangement is improved. Also, if the check valve and the pressure-sensitive on-off valve are integrated as a suction holding unit, the number of piping points will be reduced, and assembly work will be saved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るバキュウム吸着装置の概略図。FIG. 1 is a schematic view of a vacuum adsorption device according to the present invention.

【図2】同バキュウム吸着装置の配管図。FIG. 2 is a piping diagram of the vacuum adsorption device.

【図3】吸着保持ユニットの断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of a suction holding unit.

【図4】吸着保持ユニットの平面図。FIG. 4 is a plan view of a suction holding unit.

【図5】従来のバキュウム吸着装置の概略図。FIG. 5 is a schematic view of a conventional vacuum adsorption device.

【図6】同バキュウム吸着装置の配管図。FIG. 6 is a piping diagram of the vacuum adsorption device.

【図7】各バルブ及びベンチュリなどをユニット化した
従来のバキュウム吸着装置の配管図。 18 真空破壊バルブ 20 ワーク 21 真空破壊通路 22 吸着保持ユニット 24 圧力感応開閉バルブ 26 ハウジング 62 ダイヤフラム
FIG. 7 is a piping diagram of a conventional vacuum adsorption device in which each valve, venturi, and the like are unitized. 18 Vacuum Breaking Valve 20 Work 21 Vacuum Breaking Passage 22 Adsorption Holding Unit 24 Pressure Sensitive Open / Close Valve 26 Housing 62 Diaphragm

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エアー源にベンチュリバルブを介して接
続されたベンチュリと、 前記ベンチュリの負圧部にチェックバルブを介して接続
されたバキュウムパッドと、 前記エアー源と前記バキュウムパッドとを、真空破壊バ
ルブを介して連通する真空破壊通路と、 前記バキュウムパッドに接続され、バキュウムパッドの
真空圧が所定値よりも上か下かを検知し、所定値以下の
ときだけ前記ベンチュリバルブを開放作動させる圧力セ
ンサとを具備したバキュウム吸着装置において、 前記バキュウムパッドと真空破壊バルブとの間の真空破
壊通路に、前記エアー源からの圧力により開放作動する
圧力感応開閉バルブを配設したことを特徴とするバキュ
ウム吸着装置。
1. A vacuum break of a venturi connected to an air source via a venturi valve, a vacuum pad connected to a negative pressure portion of the venturi via a check valve, and the air source and the vacuum pad. A vacuum break passage communicating through a valve, and connected to the vacuum pad to detect whether the vacuum pressure of the vacuum pad is above or below a predetermined value, and to open the venturi valve only when the vacuum pressure is below a predetermined value. In a vacuum adsorption device equipped with a sensor, a vacuum sensitive passage which is opened by a pressure from the air source is arranged in a vacuum breaking passage between the vacuum pad and the vacuum breaking valve. Adsorption device.
【請求項2】 前記チェックバルブと圧力感応開閉バル
ブを、一体形ハウジング内に収容したことを特徴とする
バキュウム吸着装置。
2. A vacuum adsorption device in which the check valve and the pressure-sensitive on-off valve are housed in an integral housing.
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